TWI223084B - Electronic component characteristic measuring device - Google Patents

Description

1223084 坎、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於電子元件之特性測定裝置 於用以將待測定電氣特性之電子元件予 之/是，關 構造改良。 、保持具的 【先前技術】 ，與本發明有關之習知的電子元件之特性測定 吴國專利帛5842579號已有記載。該f知=，在 性測定裝置的主要部分，如圖9所示。 …牛之特 —參照圖9’特性敎裝置i ’係用來測定在彼 弟1及第2端部分別形成有第1及第2外部端子電極;之 3之晶片狀電子元件4的特性。 及 ”特=定裝置丨具備保持具8,該保持具8具有收納 二子…之收納空間5,並且在使"及第2外部:; '極2及3分別朝向在收納空間5彼此對向…及第2 外部開口端6及7側的狀態下，來保持電子元件4。 又’特性測定裝置1，具備：第1及第2測定端子9 :1〇 ’設置在收納空間5之第1及第2開口端6及7的位 ，使得可以分別與電子以4之第！及帛2外部端子電 ° 2 = 3接m測定端子9,例如由板彈簧所構成， 可以免性地接觸到第丨外部端子電極2。第 ’例如為塊狀且設成固定。 “子 保持/、8，通常為圓板狀，在此沿圓周方向排列複數 個收納空間5，在各個收納空間 此，可理解到圖9表示著保持具 >逐一容納電子元件4。 8之一部分。 因 …之保持具8可被旋轉。藉由該保持具“ 而移動之收納容器5之路徑上的既定位置，電子元件^ 被放入收納容器5中，接著，收緬士人 曰 考收納於收納容器5内之雷； 兀件4，被移動至第丨及第2測定 ，第1月楚〇认、 而子9及10之間的位置 、測定端子9及10會接觸到第1及第2外邛 知子電極2及3，藉此來測定堂2 卜4 德干工 肖此末心電子元件4之電氣特性 -子兀件4’從收納容器5取 之電氣特性，例如，按昭電氣 杈'、、、所測定 件4。 文…^虱4寸性之好壞，來篩選電子元 L發明内容】 使用如上述之特性測定裝置丨 雷雷六ϋ Ldr 水水I于凡件4之 电合的W兄’為提高其精度， 來求靜電電容。 、 月匕以以下的步騎 人繞線（未圖示）等之帝 ' 分。接著，敎電子元件4要產生之電氣寄生成 容成為含有電氣寄生成A之'電電容。該測得之靜電電 ^ t ^ - 、σ 刀之值。然後，將從電子元件4之 月〜各的測定結果扣除掉 午4之 子元件4之靜電電容。U寄生成》後之值，作為電 因此’預先測定之雷今分丄1 件4時所產生之電氣寄生：成分值與實際測定電子元 孔寄生成分值之間若有差值時，此差值 1223084 會作為誤差而包含在所求之靜電電容。 域之電氣寄生成分，含有心端子9及⑺之間的浮 力电合。在圖9,產生該浮動電容 箭頭來作FI _ 又电力綠1 1，以虛線之 …作圖不。電子元件4之尺寸小，因此， 測疋端子9及} 〇之間的距離愈 子9及10之斟A 入 又’弟1及第2測定端 對向面積忽大’該浮動電容亦變得不可忽視。 ， 況下，電子元件4的尺寸若產生偏差時， 该尺寸之偏差會成A^值¥ 玍偏差日守， 烕為，于動^谷偏差之原因，其、纟士果，不檑 在特性測定時之雷璃中在 僅 #八 ^乱可生成刀值會與預先測定之電氣寄生 成分值之間產生差值，該差值合找* 乱哥生 奋A入 ^ i值會變動，因此所產生之誤羔 曰匕g在靜電電容之測定結果。 、 同樣的問題，不限定於靜電 之帝今4士 U ^合之測疋f月況，在其他 之电乳4寸性的測定情況，亦會遭遇到。 因此，為解決如上所述之問 供一猶帝工_ Μ Ί ^本發明之目的在於提 種电子7L件之特性測定裝詈， 性的、、則—,^ 置可作更高精度之電氣特 電翕>兩一 係盡可能地減低於所測定 付,土 <电子兀件附近所寄生之& Ah ^

Ah , « , 予却電谷5藉此5盡可 月匕地抑制因電子元件之尺寸 , 雨憂而產生之測定誤差。 更詳細地說，為解決上述 特性、、目,丨…服 , ^ 碭’本發明之電子元件之 分別形成有第i及第2外部…向之第1及第2端部 電氣特性；其特徵在於，具備而："極之晶片狀電子元件的 保持具，係具有用以收命 且在# % ^ 、，、内°亥毛子元件之收納空間，並 且在使该第1及第2外部她a +』 + a極分別朝向該收納空間之 1223084 端側的狀態下，來保持該電子 彼此對向之第1及第2開 元件；以及 第1及第2測定端子，係設置在該收納空間之第1及 第2開口端位置，並可以分別與該電子元件之第 外部端子電極接觸； 該保：具係具備由導電性材料所構成之屏蔽層…穿過 ^弟二及弟2測定端子間的位置的方式延伸），該屏蔽層係 與測疋基準電位形成電氣連接。 μ 如上所述，在保持具上設置屏蔽層，藉此 電容之電力線，合*雷$ -从， 生土子動 曰在電子7L件附近以屏蔽層來 ，可以減低浮動電容。 、研U此 在本發明，保持具較佳係，具有可逐

件之複數個該收納允f1，j 、Μ電子7L m _持具可相對於 測定端子進行移動，以使該第上及第2測定端子盘=2 各該收納空間内之夂+工_从 人收納於 内之各電子兀件的第1及第2外部踹一 依序接觸。藉Jf，1、，> Γ ^ ^子電極 斤安^華曰此，可以有效率地對複數 性測定。 电于凡件進行特 在上述之較佳實施形態中’較佳 ，複數個該收納空Μ μ > 符具為0板狀 二間係排列成沿該保持具之 ，藉由該保持罝之斿- ^ U周方向分布 之方疋轉，以使該第丨及第2 納於各該收納空問少々斗+ 彳疋知子與收 ……該電子元件之第1及第2外心不 电極依序接觸。藉由如此構成，按照沿保持 广而子 …：地進行電子元件之特性測定步驟。 a之較佳實施形態宁，複數對之第 1只弟2測定 端子，亦可沿保持具之圓周方向分布的方式配置。依據如 此構成’彳以在保持具之複數個位置設置測定部，來進行 電氣特性之測定，X，在各測定部，可以同時實施電氣特 性之測定步驟H ’在複數個測定部進行同種類之電氣 特性的測定情況下’可以有效率地進行該電氣特性之測定 步驟’另-方® ’在複數個測定部，於測定彼此不同種類 之電氣特性情況’可以在被保持具保持的狀態了，進行電 子元件之複數種類之電氣特性的測定。 如上述之後者，在測定複數種類之電氣特性的情況， 屏蔽層較佳為以沿該保持具之圓周方向分布的方式分割成 複數個部分，在所公宝丨夕士产0 d之5亥屏敝層的各個部分，至少設置 1個該收納空間。藉此’針對每個欲測定之電氣特性的種 類’可以改變供應至屏蔽層之測定基準電位。 纟保持具與第1及第2測定端子可作相對移動的 t月況，較佳為第1及镇 6 拉細 弟2 /則疋端子之至少一方，係具備邊 接觸對應之外部端子 心7门 電柽邊轉動之滾輪。藉此，可使測定 崎丁画滑地接觸外部端子電極。 又，在保持具與第1 情況，較佳係在保持具設 與該屏蔽層形成電氣連接 ，且為了供應該測定基準 面接觸之屏蔽端子。藉此 蔽^子，透過屏蔽導電面 在上述之實施型態， 及第2測定端子可作相對移動的 成可移動的情況，在保持具，將 之屏蔽導電面設置成露出的狀態 兒位而進一步具備與該屏蔽導電 ’在保持具移動期間，可以從屏 對*屏蔽層供應測定基準電位。 冨將屏蔽層的一部分作為屏蔽導 1223084 電面時，則可不必特別地設置屏蔽導雷； 具的構造複雜化。 、電面，故可避免保持 【實施方式】 圖1，係用來說明本發明之原理 電子元件之特性測定裝置13的主㈣八表*關於本發明之 圖！中，相當於表示於圖9之要件^亡相當於圖9°在 ，其重複之說明則省略之。 …目同之參考符號 表示於圖1之特性測定裝置13，

保持具一上有特徵。亦即，：::== 電性材料所構成之屏蔽層15， /、備由V …。之間的位置方式而延伸。牙又過弟二第2測定端子 定基準電位16形成電氣連接。 以屏敝層15係與測 在圖1中，與圖9的情況— 線11是以虛線之箭頭來表示，，產生浮動電容之電力 u，=二第；測定端子9及丨。之間所產生之電力線 。因此來遮斷’限制只能通過電子元件4内者 此，可抑：因子元件4附近所寄生之浮動電容。因 變動，其元件4之尺寸偏差而產生之浮動電容的 不易產生。 可使对電電容之電氣特性的測定誤差，更 以下，說明本終 圖2及圖；…具體的實施形態。 示電子元件之特性實施形態，表 又衣置2】的主要部分。在此，在圖2 10 1223084 中4寸性測定裝置21所具備之保持具22，是 表不，在圖3中， 以俯視圖來 示 保持具22之局部被放大且以截面圖來表 在該特性測定裝置中，與表 元件 、表不表圖1及圖9之電子 第 樣’曰曰片狀的電子元件4係在彼此對向之第^ 的導分別形成有第丨及第”卜部端子電極2及3 置複^具22,如圖2所示，為圓板狀。在保持具22,設 置禝數個收納空間23，逐一 納* Η ” I内電子兀件4。複數個收 未圖八，曰、Γ置成沿保持具22的圓周方向分布。又，雖 。 依須要排列成複數列 之轉2:的，心，設置轉轴孔24,藉由裝在此處 4 韓旋轉來帶動’保持具22,會依照箭頭 所不來旋轉。保持具22，通常是作間歇性地旋轉。 卜在依照上述之保持具22的旋轉而移動之收納空間Μ h仅……立置1子元件4會載入到收納空間23裡 第收納：收納空間23内之電子元件4,如圖3所示，收納 1及第2外部端子電極2 , L ^ 及係成為分別朝向在收納 二間23彼此對向之第1及第2開口端26及27側。 29該特性^定裝置21，具備第1及第2測定端子28及 ’其係配置成在收納空間23之第丨及第2開口端％及 子:位I得可分別與電子元件4之第1及第2外部端 子電極2及3接觸。藉由伴 保持具22的旋轉，第1及第2測 11 1223084 定端子28及29，會依序地與收 各電子……及第2外部端二== 此狀態下’實施所欲之電子 及3接觸，在 。 ^ ^氣特性的測定步驟 之後，電子元件4，隨著保持具 從收納空間23取出。此時，按/轉而移動後， ’按照電氣特性的好壞 、疋之電氣特性，例如 奴不師4電子元件4。 在此實施形態，第ί及第2測定 輪30及31，邊接觸第I及第2外部〃 29具備滾 動。該滾輪30及31，係設置成°❼電極2及3邊轉 而移動之電子元件4的外部 I 22的紅轉 如圖3所夕4 &331滑地接觸。 如圖3所表不之該局部，在保持且 座32進行接收，使得收納於收^門 下方设有固定 不會掉落。又，收納空間2 0之電子兀件4 形狀，則不須要設置固定座^係可防止電子元件4掉落之 保持具22具備屏蔽層33，以穿過第 子28及29之間的位置方式而延伸。屏……·測疋端 或其合金或者其他金屬之導兩 开眼/日J J，例如由銅 ^ ^ ¥甩性材料所構成。雖合依所虚 :電子元件4的尺寸而有所不同，舉例而言二= 之整體厚度約為500 “ m左太r 保持具22 m左右。 ’屏蔽層Μ的厚度約為35μ 構/持η2,除了屏蔽層33以外，都是由絕缘材料所 構成’以該絕緣材料而言，彻」 巴、、象材科所 、驗酸塑料等之樹脂，或如」可使用如玻5离環氧樹脂 虱化錯等之陶瓷材料。又，若 12 螭：氧：22之耐久性、耐磨耗性及成本，較佳為使用玻 接j料具22之内周側，形成與料層33形成電氣連 开蚊導電φ 34。在該實施形態，屏蔽導電面34，係 蔽2層33的一部分所構成。屏蔽…係設置成與屏 广面34接觸。對屏蔽端子35供應測定基準電位，因 :猎由屏蔽端子35與屏蔽導電面34之接觸，屏蔽層33 τ”成與測定基準電位形成電氣連接的狀態。 κ只轭形恶，屏蔽端子35，具備邊與屏蔽導電面34 351邊t動之滾⑥36 °滾輪36 ’係設置成使得屏蔽端子 。：方、Ik著保持具22之旋轉而移動之屏蔽導電面34，可 作圓滑的接觸。 如圖2所示’在屏蔽導電面34係沿保持具22的圓周 方向連績的情況，屏蔽端子35，只要能與屏蔽導電面Μ 作接觸，可設置在任意之位置。 如以上所述，依據該特性測定裝置2ι，在第！及第2 測定端子28及29之間所產生之電力線；以屏蔽層33有效 地遮斷，限制只能通過電子元件4者。因此，可以減低寄 生於電子元件4附近之浮動電容，抑制因電子元件4之尺 核差而產生之電氣特性的測定誤差，且能以高精度來進 行電氣特性之測定。 又’以欲”之電氣特性而言’有各種不同種類。在 電子-件4為電容器的情況’除了前述之靜電電容，還可 測定絕緣電阻之電氣特性，以片型電阻nm可以 13 1223084 測定像電阻值之類的電氣特性，在晶m 可以測定像電感值之類的電氣特性。 的h況’ 以下’說明本發明之其他實施形態。 —圖4、圖5及圖6，分別用來說明本發明之第2 ^ 及第4之貫施形態，表示關於測定端子之, … 圖4至岡 < 丄 文心例。又，在 圖6中，相當於表示於圖3之要件，附 考符號，省略其重複之說明。 μ问樣的參 由板2示於圖4之第2實施形態中，第1測定端… 情況是同樣的。 “貝上…貫施形態的 以表示於圖4之第2實施形態的變形例而古， ^ ^ 口禾 / 消ij 、而 可由板彈簧所構成，第1測定端子28亦可具備 滾輪3 0。或去 穿】 &者$ 1及弟2測定端子28及29雙方亦可由 板弹黃來構成。 在表示於圖5之第3實施形態中，帛2測定端子Μ可 由塊狀的物體所構成。塊狀之測定端子29上，較佳為形成 有錐形面3 8。 、表示於圖5之第3實施形態的變形例而言，第1測 疋而子28可由塊狀的物體所構成，第2測定端子29亦可 具備滾輪3 1。式}Tl·· hh rs 、〜 A者，弟1及弟2測定端子28及29雙方亦 可由塊狀的物體來構成。 I表示於圖6之第4實施形態中，帛i測定端子28是 由探針所構成。 乂表示方；圖6之第4實施形態的變形例而言，第2測 14 定端子29可由探針所構成，第" 輪3〇。或者’第！及第2測定端 亦可具備滾 針來構成。 及Μ又方亦可由探 又，雖省略了具體之圖示， 子與塊狀之測定端子的組合、由==構成之測定端 塊狀之測定端子的組合等之應用亦可。“之则定端子與 圖7係用來說明本發明之篦 相當於表示於圖3之上 5貫施形態。在圖”， 丁於圖3之凡素，附有同 重複之說明。 > 考付就’省略其 在圖7,表示圓板狀之保持具 層Μ形成電氣連接之屏蔽導電面34/卜=":。與屏蔽 的外周面上露出。$卡 係形成攸保持具22 設置與屏蔽導電面…觸之 之外周面邊轉動Ϊ ㈣滾輪36可邊接觸保持具22 關於如上述之屏蔽端子 ，雖未具體地圖示，若二=之其他貫施形態而言 以勺下面倒形成屏蔽:；；面圖/來作說明，亦可在保持具 持具22的下面側。电面*將屏蔽端子35設置在保 又，關於屏蔽端+1 ς 35 4主 之，、他實施形態而言，屏蔽端子 μ’如表示於圖4之筮1、ΒΪ〜 ， 弟1測疋端子28，可由板彈簧來構成 亦可如表示於圖5之黛 來構成。 口 5之弟2測定端子29,可由塊狀之物體 圖8係用來說明本發 a之俯視圖。在圖8中， 明之第6實施形態，係保持具22 相當於表示於圖2之要件，附有 15 ΙΖΖόΌΜ 同樣的參照符號，省略其重複之說明。 在表不於圖8之保拉旦丄 ^ 保持具22a中，屏蔽層33係以沿保 持具22a之圓周方向分布的方+ ,、 刀可的方式，分割成複數個部分。鋏 後，在所分剎之屏蔽層3 3的各彳 彳固。卩分，至少設置1個收納 空間23。 力 在該實施形態中，複數對之第1及第2測定端子28及 29(該位置以/點鏈線的圓來表示），較佳為設置成沿保 持具22a的圓周方向分布。又 刀Ψ 又’關於屏蔽端子35，如該 位置是以1點鏈線的圓夾矣+ & ^ 表不，較佳為對應第1及第2測 定端子28及29之各對來作設置。 依據該實施形態，在將雷；—从 任將電子兀件4保持於保持具22a 的狀態下’可以對各種欲測中 、 種奴，則疋之電氣特性的種類，邊改變 測定基準電位，邊同時測定雷工— 丁州疋冤子7G件4之複數種類之電_ 特性。 乳 又，測定複數種類之電氣特性的測定基準電位，若可 以疋相同H兄下’如圖8所示，不須將屏蔽層33分割成 複數個部分5可將複數對之第1及第罐端子28及29 ’設置成沿保持具22的圓周方向分布即可。在此情況，若 非測定複數種類之電氣特性，而是測定同一種類之電氣特 性的話，可以更有效率地進行如此之電氣特性的測定。 以上’ 5兄明了本發明之圖所示的實施形態，但是，在 本發明之範圍内，其他’亦可有各種的變形例。 例如，在圖所示之實施形態中，保持具22及22a為 圓板狀，這些刪22 &…雖係旋轉之構成，但是， 16 保持具，例如亦可為平行移動之構成。 第二第在2保二具上設置複數個收納空間的情況，為了使 之夂干丨/貝1疋端子可依序地接觸到收納於各收_門内 口笔子元件的第1及第2外部端子電極 二:’内 形態中，是以保持具作移動，反之，亦可由施 定端子作移動。 弟及弟2測 又’在圖所示之實施形態中，保持具U及％ 该處所設置之收納空間23之開口端26及 在 上下方向，但亦可讲f分 配置成朝向 斜邊方向。 °又Λ ”平方向’亦可設置成朝向 又’測疋基準電位，不限定於零電位，亦可按照電子 兀件之電氣特性，來調整特定之電位。 所述，依本發明，在欲測定電氣特性之保持具， 设置以牙過第 1i ,、丨+ 弟1及弟2測定端子間之位置方式而延伸之屏 蔽層’由於料蔽層係與測定基準電位連接，所 及二：測疋端子之間所產生的電力線，能以屏蔽層來遮斷 ，可以減低寄生於第丨及第2敎端子間的浮動· 容。其結果’可以抑制因電子元件之尺寸的偏差所產生2 淨動電容的變動而造成電氣特性之測定誤差。 因此’能以更高精度來測定電子元件之電氣特性。其 結果’可以擴大電子元件之電氣特性的良品篩選範圍，期 待良率之改善。 在本發明中，保持具具備複數個收納空間，可逐一收 ’内包子70件，方將保持具與第i與第2測定端子設成可相 17 各個收使仔第1與第2測定端子可依序地接觸到收納於 則=!間之各電子元件的第1與第2外部測定電極， 放率地對複數個電子元件進行特性測定步驟。 上述之情況，保持1兔 、一 排列& ^ # /、為®板狀，禝數個收納空間係 第:=持具之圓周方向分布，㈣ 電子元測：子=地接觸到收納於收納空間之各個 往單—方向L 子電極’則一面可使保持具 載入之插入二驟、在ΓΓί續地進行電子元件往收納空間 定步I?另一 、納空間内之電子元件的電氣特性測 ‘、及從收納空間取出電子元件之取出、 率地進行特性測定步驟。 y Μ更有效 I在上述之情形，複數對之第1及第2測定端子… 置成沿保持呈的圓用太 、 ，右设 于’、的Η周方向分布，則可以在 進行特性測定步驟。 1數個地方同時 :上述之情形’屏蔽層以沿保持具之圓周方 方式成複數個部分，當在所分宝 〃布的 ，至少設置丨個收％ ★ 8日Bt 敝㈢的各個部分 測定基準電位，、喜门士— a遣以、交供應至屏蔽層之 驟。 σ%貫施複數種類之電氣特性的測定步 又’在保持具與第丨及第2測定端子 之…第1及第2測定端子中的其，一方，：：對移動 對應之外部端子電極接觸邊轉動之滾二備邊與 端子對外部端子電極之圓滑接觸狀態。現挪定 又’在保持具係可移動的主 矛夕勤的！·月形，當與屏蔽層成電氣接 18 1之屏敝導電面係設置成從保 使屏蔽端子與該屏蔽導電 /、路出的“ ’則可藉由 影響，將測定基準，立…：’不會受到保持具移動之 又丞+兒位供應至屏蔽層。 【圖式簡單說明】 (一）圖式部分 件之二係Λ來說明本發明之原理，圖解性地表示電子 、<測疋裝置13的主要部分之截面圖。

壯圖2係將本發明第1實施形態之電子元件之特性測 衣置以所具備之保持具22與第"収端子^及屏蔽端 3 5同時表示之俯視圖。 圖3係表示將圖2所示之電子元件之特性測定裝置υ 所具備之第1及第2測定端子28及29、及屏蔽端子35之 放大前視圖，以及將保持具22之局部放大截面圖表示。

圖4係用來說明本發明之第2實施形態，表示第丨及 第2測定端子28及29之放大前視圖，以及保持具22之局 部放大戴面圖。 圖5係用來說明本發明之第3實施形態之相當於圖4 部分。 圖6係用來說明本發明之第4實施形態之相當於圖* 部分。 圖7，係用來說明本發明之第5實施形態，表示屏蔽 端子35之放大前視圖，以及保持具22之外周部放大截面 圖。 19 1223084 圖8係用來說明本發明之第6實施形態之保持具22 a 之俯視圖。 圖9係用來圖解性地表示與本發明相關之習知電子元 件之特性測定裝置1的主要部分之截面圖。 (二）元件代表符號 2 第1外部端子電極 3 第2外部端子電極 4 電子元件 5，23 6，26 7，27 9，28 10，29 14，22，22 a 15，33 16 30，31 34 35 收納空間 第1開口端 第2開口端 第1測定端子 第2測定端子 保持具 屏蔽層 測定基準電位 滚輪 屏蔽導電面 屏蔽端子 20

Claims (1)

1223〇84 拾、申請專利範圍： 1、 -種電子元件之特性測定 對向之第1及第2端部分別形成有、#係用來測定在彼此 極之晶片狀電子元件的電氣：性有二二第2外部端子電 保持具，係具有用以收納該:：，具備： 且在使該第丄及第2外部端子電極間，並 彼此對向之第1及第7 „ 引朝向该收納空間之 -/ 開°端側的狀態下，來m… 凡件；以及 木保持该電子 第1及第2測定端子，係 第2開口俨位詈，,、°置在该收納空間之第i及 1知位置亚分別與該電子元件 端子電極接觸； ^件之弟1及第2外部 該保持具係具備由導電性材 該第1及第2制定沪工叫 偁成之屏敝層（以穿過 及弟2測疋碥子間的位置的方式延 與測定基準電位形成電氣連接。 《屏敝層係 2、 如申請專利範圍第1項之電 ，苴中，兮仅枝目 包于兀件之特性測定裝置 τ 。亥保持具，具有可逐一收納 — 該收纳” 1…* 收，.内°亥電子几件之複數個 行㈣ 亥保持具可相對於該第1及第2測定端子淮 =動’以使該第1及第2測定端子與收納於各該收納空 S之各電子元件的第i及第2外部端子電極依序接觸。 ，其士申明專利範圍第2項之電子元件之特性測定裝置 〃、中，该保持具為圓板狀，複數個該收納空間係排列 沿2保持具之圓周方向分布，藉由該保持具之旋轉，以 一 久乐2測定端子與收納於各該收納空間之各該電子 兀件之第1及第2外部端子電極依序接觸。 21 1223084 4、 如申請專利範圍第3項之電子元件之特性測定裝置 ’其中，複數對之該第i及第2測定端子，係設置成沿該 保持具的圓周方向分布。 5、 如申請專利範圍第4項之電子元件之特性测定裝置 ^其中，該屏蔽層係以沿該保持具之圓周方向分布的方式 分割成複數個部分，在所分割之該屏蔽層的各個部八，" 少設置1個該收納空間。 刀 6、 如申請專利範圍第2至5項中任一項之電 之 特性測定裝置，其中，該第i及第2測定端子之至少一方 ’係具備邊接觸對應之外部端子f極邊轉動之滚輪。 7、 如申請專利範圍第2至5項中任一 =測定裝置，其中，該保持具可移動，在== :、二=成電氣連接之屏蔽導電面設置成露出嶋 面接觸之屏蔽端子。 、u屏蔽導電 ，並8、如巾請專利範圍第6項之電子元件之特性測定裝置 /、中，该保持具可作銘 , 形成電氣連接之屏㈣雷 #具，將與該屏蔽層 應該測定基準電位而ΓΓ置成露出的狀態，且為了供 蔽端子。 ^-步具備與該屏蔽導電面接觸之屏 ，其中，祀Μ 7項之電子元件之特性測定裝置 “、如申==由該屏蔽層之一部分來構成。 置，其中專£心圍第8項之電子元件之特性測定裝 、该屏❹電面係藉由該料層之-部分來構成 22 1223084 拾壹、圖式： 如次頁 23