JPH09304464A - 複数素子チップ部品の測定方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定工程を単純化し、複数素子チップ部品の
高速測定処理を可能とし、併せて測定のための機構の簡
素化、測定の信頼性の向上を図る。 【解決手段】 複数素子を内蔵した複数素子チップ部品
３０を間欠回転するロータリーインデックステーブル１
０に載置し、ロータリーインデックステーブル１０が停
止する複数のステーションにわたって複数素子チップ部
品３０の全素子の端子電極に対応して配置された測定端
子２２により、複数素子チップ部品３０が前記ステーシ
ョンに到着する毎に当該複数素子チップ部品の各素子の
測定を順次実行する構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンデンサ、イン
ダクタ、抵抗等の複数素子を内蔵した複数素子チップ部
品の電気的特性を高速で測定するための複数素子チップ
部品の測定方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子機器等の回路基板の小型化、
部品の実装密度の高度化を目的としてコンデンサ、イン
ダクタ、抵抗等の複数素子を内蔵した複数素子チップ部
品が使用されるようになってきている。

【０００３】図１２はこの種の複数素子チップ部品の１
例であって、４個の素子を内蔵している例であり、部品
本体１の一方の側に４個、他方の側に４個、合計８個
（４対）の端子電極Ａ，Ａ’，Ｂ，Ｂ’，Ｃ，Ｃ’，
Ｄ，Ｄ’が形成されているものである。ここで、端子電
極Ａ，Ａ’間に例えば第１の素子が形成され、端子電極
Ｂ，Ｂ’間に第２の素子が形成され、端子電極Ｃ，Ｃ’
間に第３の素子が形成され、端子電極Ｄ，Ｄ’間に第４
の素子が形成されている。

【０００４】さて、複数対の端子電極を有する複数素子
チップ部品を測定する場合、従来は１対の測定端子を持
つ測定ユニットを、複数素子チップ部品側の端子電極配
列ピッチ分だけ順次移動させ、１対の測定端子を複数素
子チップ部品側の複数対の端子電極に順次接触させて行
くことで、当該チップ部品内の個々の素子全ての電気的
特性の測定を実行していた。

【０００５】また、別の測定方法として、１つのパレッ
トに１個の複数素子チップ部品をセットし、パレットを
順次搬送、位置決め後、複数素子チップ部品の全素子分
の端子電極に対応した測定端子群を一度に接触させて測
定を実行するものがあった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した１
対の測定端子を持つ測定ユニットを複数素子チップ部品
側の端子電極配列ピッチ分だけ順次移動させて測定を行
う方法は、１対の測定端子を移動させ各素子の対をなす
端子電極に１回毎に接触させるため、測定時間が素子個
数倍かかることになる。すなわち、複数素子チップ部品
の素子個数がＮ個である場合、素子数が１個の場合の測
定時間のＮ倍かかることになる。

【０００７】また、パレットに１個の複数素子チップ部
品をセットして測定を行う別の方法では、パレット自体
を搬送、位置決めするために、高速向きではない。その
上、チップ部品をパレットに詰めて搬送するためのパレ
ットへのチップ部品詰めユニット、パレット搬送のため
のパレット送り機構、パレットからのチップ部品の取り
出しユニット、パレットのリターン機構等が必要となる
ために、装置が複雑化、大型化し、これらの点でも測定
の高速化に不向きである。

【０００８】なお、本出願人により電子部品の特性測定
方法及び装置が特願平７−２２７４０８号で提案されて
いるが、この特願平７−２２７４０８号の測定方法及び
装置は、測定対象のチップ部品が複数素子を内蔵する複
数素子チップ部品である場合の測定方法及び装置につい
ては具体的に言及していない。

【０００９】本発明は、上記の点に鑑み、測定工程を単
純化することができ、複数素子チップ部品の高速測定処
理を可能とし、併せて測定のための機構の簡素化、測定
の信頼性の向上を図った複数素子チップ部品の測定方法
及び装置を提供することを目的とする。

【００１０】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の複数素子チップ部品の測定方法は、複数素
子を内蔵した複数素子チップ部品を間欠回転する間欠回
転テーブルに載置し、該間欠回転テーブルが停止する１
つ又は複数のステーションにわたって複数素子チップ部
品の全素子の端子電極に対応して配置された測定端子に
より、複数素子チップ部品が前記ステーションに到着す
る毎に当該複数素子チップ部品の各素子の測定を同時に
又は順次実行することを特徴としている。

【００１２】上記複数素子チップ部品の測定方法におい
て、前記測定端子が配置されたステーションにて複数素
子チップ部品を前記間欠回転テーブルから押し上げて当
該複数素子チップ部品の端子電極を前記測定端子に接触
させるようにしてもよい。

【００１３】また、本発明に係る第１の複数素子チップ
部品の測定装置は、複数素子を内蔵した複数素子チップ
部品を載置して間欠回転する間欠回転テーブルと、該間
欠回転テーブルが停止する複数のステーションにそれぞ
れ配置されていて複数素子チップ部品の個々の素子の端
子電極に接触する測定端子をそれぞれ持つ測定ユニット
とを備え、それらの測定ユニット全体で前記複数素子チ
ップ部品の全素子の端子電極に対応した測定端子を有す
ることを特徴としている。

【００１４】さらに、本発明に係る第２の複数素子チッ
プ部品の測定装置は、複数素子を内蔵した複数素子チッ
プ部品を載置して間欠回転する間欠回転テーブルと、該
間欠回転テーブルが停止するステーションに配置されて
いて複数素子チップ部品の全素子の端子電極に接触する
測定端子を持つ測定ユニットとを備えることを特徴とし
ている。

【００１５】上記第１又は第２の複数素子チップ部品の
測定装置において、前記測定ユニットが配置されたステ
ーションに、複数素子チップ部品を前記間欠回転テーブ
ルから押し上げて当該複数素子チップ部品の端子電極を
当該測定ユニットの持つ測定端子に接触させる押し上げ
手段を設ける構成としてもよい。

【００１６】さらに、前記測定端子の先端部を下方に向
かって二股に分岐した構造とすることもできる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る複数素子チッ
プ部品の測定方法及び装置の実施の形態を図面に従って
説明する。

【００１８】図１乃至図７で本発明の第１の実施の形態
について説明する。図１は間欠回転テーブルとしてのロ
ータリーインデックステーブル１０の左半分及びその左
側に配設された１個の測定ユニット２０を示し、図２は
ロータリーインデックステーブル１０上に沿った測定ユ
ニット２０の配置を示している。これらの図において、
ロータリーインデックステーブル１０は、装置基台（図
示せず）上に立設固定されたテーブル支持フレーム１１
で水平面内で回転自在に軸支されている。すなわち、ロ
ータリーインデックステーブル１０の中心に中心軸１２
が垂直に固定されており、該中心軸１２はテーブル支持
フレーム１１に固定の軸受１３で回転自在に支持されて
いる。このロータリーインデックステーブル１０は中心
軸１２をサーボモータで回転駆動することにより高速の
間欠回転動作を行う。

【００１９】図３に示すように、被測定物としてのコン
デンサ、インダクタ、抵抗等の複数素子を内蔵した複数
素子チップ部品３０は、ロータリーインデックステーブ
ル１０の上面周縁部のキャリア部１０ａ上に等間隔で載
置されるようになっており、位置ずれを起こさないよう
に各複数素子チップ部品３０を吸着保持するために、テ
ーブル側真空吸引路１４がキャリア部１０ａの複数素子
チップ部品３０の載置位置に対応して形成されている。

【００２０】前記テーブル支持フレーム１１の周縁部に
設けられた圧縮ばね１５によりロータリーインデックス
テーブル１０の下面に密着する（但し回転しない）よう
に付勢されたエアライナー（真空吸引路を形成するため
の部材）１６には前記テーブル側真空吸引路１４に連通
する部分的な環状凹溝１７及びこれに連通する真空吸引
路１８が形成され、ホース連結用真空吸引パイプ１９及
びこれに接続されるホースを介して外部の真空ポンプ等
の負圧源に接続されている。

【００２１】前記装置基台に対し所定高さに固定支持さ
れた測定ユニット取付台座２１は、図２の如く円環を部
分的に切欠いた平面形状であって、ロータリーインデッ
クステーブル１０の外周を部分的に囲んでおり、該測定
ユニット取付台座２１上に測定ユニット２０が固定され
ている。図１２で述べたような４個の素子を内蔵した複
数素子チップ部品３０を測定対象とする場合、ロータリ
ーインデックステーブル１０の停止位置に対応したステ
ーションのうちの４箇所の測定ステーションＳ１，Ｓ
２，Ｓ３，Ｓ４に測定ユニット２０をそれぞれ固定配置
する。そして、図４の如く各測定ユニット２０には１対
の測定端子２２が設けられており、例えば、測定ステー
ションＳ１の測定ユニット２０が持つ１対の測定端子２
２は複数素子チップ部品３０の第１の素子の対をなす端
子電極Ａ，Ａ’間を測定し（静電容量、インダクタン
ス、抵抗値等の電気的特性を測定し）、同様に測定ステ
ーションＳ２の測定ユニット２０が持つ１対の測定端子
２２は複数素子チップ部品３０の第２の素子の対をなす
端子電極Ｂ，Ｂ’間を測定し、測定ステーションＳ３の
測定ユニット２０が持つ１対の測定端子２２は複数素子
チップ部品３０の第３の素子の対をなす端子電極Ｃ，
Ｃ’間を測定し、測定ステーションＳ４の測定ユニット
２０が持つ１対の測定端子２２は複数素子チップ部品３
０の第４の素子の対をなす端子電極Ｄ，Ｄ’間を測定す
るものである。

【００２２】図１乃至図３に示すように、各測定ユニッ
ト２０は、測定ユニット取付台座２１にボルト２３で固
定された固定部２４と、該固定部２４で軸支された軸体
２５を中心として回動可能なアーム部２６と、該アーム
部２６の先端面に固定された絶縁ブロック２７，２８で
支持された１対の測定端子２２とを有している。アーム
部２６は通常の測定時には測定ユニット取付台座２１に
螺着した締め付けボルト２９で固定部２４に平行に固定
される。

【００２３】図３及び図４に示すように、アーム部２６
の先端面から絶縁ブロック２７，２８は庇状に突出して
おり、１対の測定端子２２は、絶縁ブロック２７の上下
方向の端子嵌入溝２７ａに上から嵌合することで、絶縁
ブロック２７に対し上下方向に移動可能に装着されてい
る。但し、測定端子２２の突出位置は測定端子２２の中
間の幅広部２２ａが絶縁ブロック２７上面に当接するこ
とで規定されている。また、１対の測定端子２２の上方
延長部２２ｂは細く形成されていて前記絶縁ブロック２
８を上下方向に移動自在に貫通しており、絶縁ブロック
２８の下面と幅広部２２ａ間の上方延長部２２ｂの周囲
にクッションスプリング（圧縮ばね）３２が設けられて
いる。該クッションスプリング３２により測定端子２２
は下方に付勢されている。前記アーム部２６の上部に絶
縁取付板３３が固定され、該取付板３３に１対のリセプ
タクル３５が固定されている。１対のリセプタクル３５
と１対の測定端子２２同士はそれぞれ導線３８で接続さ
れており、１対のリセプタクル３５は外部の静電容量、
インダクタンス、抵抗値等の電気的特性の測定器に接続
されるようになっている。

【００２４】なお、１対の測定端子２２間を絶縁しかつ
電気シールドするためにシールド板３６（例えば金属板
の両面を絶縁処理したもの等）が取付板３３に固定さ
れ、シールド板３６の下部は１対の測定端子２２間に介
在している。また、絶縁ブロック２７には測定端子２２
と平行に押さえピン３７が固定されている。この押さえ
ピン３７は測定時に被測定物としての複数素子チップ部
品３０をキャリア部１０ａとほぼ平行に保つようにする
もので、複数素子チップ部品３０が傾斜して測定に支障
をきたさないようにする機能を持つ。測定端子２２及び
押さえピン３７の先端位置は、キャリア部１０ａに載置
された複数素子チップ部品３０の上面より僅かに高い位
置に設定されている。

【００２５】図５及び図６は各測定端子２２の先端部２
２ｃの構造を示すものであり、図５は図４と同様に測定
端子２２を正面よりみた正面図（但し図４の左側の測定
端子２２を示す）、図６は側面図である。これらの図に
おいて、複数素子チップ部品３０の有する端子電極との
電気接触を確実にするために、測定端子２２の先端部２
２ｃの底辺Ｌは外側上下辺Ｋに対し約８０度をなしてお
り、図５中仮想線で示す複数素子チップ部品３０の幅方
向の中心から外れるに従って底辺Ｌは徐々に下がってい
る。また、図６のように先端部２２ｃは下方に向かって
二股に分岐している。これは、先端部２２ｃを二股に分
岐することで尖らせ、複数素子チップ部品３０の端子電
極に確実に突き当たるようにし、かつ複数箇所で接触で
きるようにするためである。

【００２６】図１及び図３に示すように、前記測定ユニ
ット２０が配置された測定ステーションＳ１，Ｓ２，Ｓ
３，Ｓ４に対応させて、前記測定ユニット取付台座２１
に固定された取付ブロック４０には、砲金等の摩擦の少
ない材質で形成された円筒スリーブ４１が固着され、そ
の内側に図７に示す如き突き上げピン４２が上下に摺動
自在に下方から嵌入されている。この場合、突き上げピ
ン４２はフランジ４３ａ付きの円筒部材４３の内側にピ
ン本体４４を固着した構造で、クッション効果を持たな
いものであり、円筒スリーブ４１とフランジ４３ａとの
間に設けられた圧縮ばね４５によって下方に付勢されて
いる。この突き上げピン４２は測定時にキャリア部１０
ａ上の載置位置にて吸着されている複数素子チップ部品
３０を１対の測定端子２２に向けて押し上げる押し上げ
手段として機能するものである。

【００２７】前記突き上げピン４２を昇降させるため
に、突き上げピン昇降カム５０が装置基台側にて軸支さ
れている。該突き上げピン昇降カム５０はサーボモータ
により回転制御される。また、装置基台側に固定された
ボールブッシュ等の上下方向のスライドガイド５５によ
り昇降板５１が昇降自在に支持されており、該昇降板５
１に固定の取付板５３に前記カム５０に当接して作動さ
れるカムフォロアとしてのローラー５２が枢着されてい
る。そして、昇降板５１に固定の当接部材５４の上端面
が前記突き上げピン４２の下端面に当接している。従っ
て、突き上げピン昇降カム５０により昇降板５１が昇降
するのに伴って突き上げピン４２も上下動する。なお、
前記キャリア部１０ａの複数素子チップ部品３０の載置
位置には、図３の如く前記突き上げピン４２が貫通する
穴部１０ｂが形成されている。また、各測定ステーショ
ンＳ１乃至Ｓ４に設けられた各突き上げピン４２は同時
駆動となっている。

【００２８】次に、この第１の実施の形態の全体的な動
作説明を行う。

【００２９】複数素子チップ部品３０はパーツフィーダ
より直接ロータリーインデックステーブル１０のキャリ
ア部１０ａ上の載置位置に送り込まれる。該載置位置の
複数素子チップ部品３０はテーブル側真空吸引路１４、
部分的な環状凹溝１７、真空吸引路１８及びホース連結
用真空吸引パイプ１９の経路で真空吸引され、位置ずれ
しないようにキャリア部１０ａ上に吸着されている。そ
して、ロータリーインデックステーブル１０の間欠回転
動作に伴い複数素子チップ部品３０は測定ステーション
Ｓ１に到着する。この測定ステーションＳ１に配置され
た測定ユニット２０の１対の測定端子２２により図１２
の如き複数素子チップ部品３０の第１の素子の端子電極
Ａ，Ａ’間の電気的特性を測定する。すなわち、複数素
子チップ部品３０が測定ステーションＳ１に到着する
と、突き上げピン昇降カム５０により突き上げピン４２
が上昇方向に駆動され、キャリア部１０ａの穴部１０ｂ
を貫通して複数素子チップ部品３０を下から押し上げ
る。この結果、複数素子チップ部品３０の端子電極Ａ，
Ａ’が１対の測定端子２２の先端に押し当てられ、測定
端子２２及びリセプタクル３５を介して接続された測定
器により静電容量、インダクタンス、抵抗値等の電気的
特性の測定が実行される。

【００３０】ロータリーインデックステーブル１０の間
欠回転に伴い次の測定ステーションＳ２に到着した複数
素子チップ部品３０に対しては、この測定ステーション
Ｓ２に配置された測定ユニット２０の１対の測定端子２
２により図１２の如き複数素子チップ部品３０の第２の
素子の端子電極Ｂ，Ｂ’間の電気的特性の測定が同様に
して行われる。

【００３１】以後、測定ステーションＳ３に到着した複
数素子チップ部品３０に対しては、この測定ステーショ
ンＳ３に配置された測定ユニット２０の１対の測定端子
２２により複数素子チップ部品３０の第３の素子の端子
電極Ｃ，Ｃ’間の電気的特性の測定が、測定ステーショ
ンＳ４に到着した複数素子チップ部品３０に対しては、
この測定ステーションＳ４に配置された測定ユニット２
０の１対の測定端子２２により複数素子チップ部品３０
の第４の素子の端子電極Ｄ，Ｄ’間の電気的特性の測定
が順次行われる。

【００３２】なお、各測定ステーションＳ１乃至Ｓ４で
の突き上げピン４２の作動時には各複数素子チップ部品
３０の真空吸引を一時的にオフとしている。

【００３３】測定ステーションＳ４のあとの複数のステ
ーションは測定後の複数素子チップ部品３０を排出する
排出ステーションとなる。これらの排出ステーションに
おいては、キャリア部１０ａの載置位置のテーブル側真
空吸引路１４がエアライナー１６の凹溝１７から外れ
て、逆に正圧エアー源に接続されるようになっており、
載置位置上の複数素子チップ部品３０は正圧エアーで排
出される。すなわち、良品は複数の等級別に別々のステ
ーションから排出されてそれぞれ等級別の良品排出パイ
プに送り込まれ、不良品は不良品排出ステーションから
排出されて不良品排出パイプに送り込まれる。

【００３４】この第１の実施の形態によれば、次の通り
の効果を得ることができる。

【００３５】(1) 複数素子を内蔵した複数素子チップ
部品３０を載置して間欠回転するロータリーインデック
ステーブル１０と、ロータリーインデックステーブル１
０が停止する複数の測定ステーションＳ１乃至Ｓ４にそ
れぞれ配置されていて複数素子チップ部品３０の個々の
素子の端子電極に接触する測定端子２２をそれぞれ持つ
測定ユニット２０とを備えており、それらの測定ステー
ションＳ１乃至Ｓ４の測定ユニット全体で前記複数素子
チップ部品３０の全素子の端子電極Ａ，Ａ’，Ｂ，
Ｂ’，Ｃ，Ｃ’，Ｄ，Ｄ’に対応した測定端子を有する
ことになり、ロータリーインデックステーブル１０を高
速で間欠回転させていくことで高速測定ができる。つま
り、従来方法の場合、４素子のチップ部品では１素子の
チップ部品の４倍測定時間がかかる所を、この第１の実
施の形態では１素子分の測定時間で済み、測定時間は従
来方法の約１／４となる。

【００３６】(2) 測定ユニット２０が配置された測定
ステーションＳ１乃至Ｓ４において、複数素子チップ部
品３０をロータリーインデックステーブル１０のキャリ
ア部１０ａから突き上げピン４２で押し上げて当該複数
素子チップ部品３０の端子電極を前記測定ユニット２０
の持つ測定端子２２に接触させる構成であり、測定端子
２２側に開閉機構や昇降機構は不要であり、測定端子２
２側の支持構造等を簡素化することができる。

【００３７】(3) 各測定ユニット２０の１対の測定端
子２２の先端部２２ｃが図６の如く下方に向いて二股に
分岐しており、測定時に複数素子チップ部品３０が突き
上げピン４２により押し上げられた場合に複数素子チッ
プ部品３０の端子電極に先端部２２ｃが突き当たって
（例えば端子電極のはんだ層に突き刺さって）確実な接
触を複数箇所で確保することができ、接触不良を除去し
て精度の良い高信頼度の測定値を得ることができる。

【００３８】(4) 各測定ユニット２０は、複数素子チ
ップ部品３０が持つ個々の素子の１対の端子電極に対応
した１対の測定端子２２を有するだけであり、端子電極
の配列ピッチが狭くとも残りの隣接素子の影響は受けに
くい構造となっており、隣接素子の端子電極を同時に測
定する場合の浮遊容量等を嫌う高周波対応となってい
る。従って、高周波用チップ部品の測定が可能である。

【００３９】上記第１の実施の形態は、複数素子チップ
部品の隣接素子の端子電極を同時に測定する場合の浮遊
容量等を嫌う高周波対応となっているが、短絡検出や精
度の粗い測定値でも許容される場合には、１個の測定ユ
ニットに複数素子チップ部品の全素子の端子電極に対応
する測定端子をまとめて設けることができる。この場合
を本発明の第２の実施の形態として図８乃至図１０で説
明する。

【００４０】この第２の実施の形態において、測定ユニ
ット２０は、アーム部２６の先端面に固定された絶縁ブ
ロック２７，２８で支持された４対の測定端子２２−
１，２２−２，２２−３，２２−４を有している。ここ
で、対をなす測定端子２２−１は図１２の如き複数素子
チップ部品３０の端子電極Ａ，Ａ’に接触するもので、
同様に対をなす測定端子２２−２は端子電極Ｂ，Ｂ’
に、対をなす測定端子２２−３は端子電極Ｃ，Ｃ’に、
対をなす測定端子２２−４は端子電極Ｄ，Ｄ’に接触す
るものである。そして、図１０のように各測定端子２２
−１，２２−２，２２−３，２２−４が絶縁ブロック２
７，２８に対し上下移動自在でクッションスプリング３
２で下方に付勢されている。但し、各測定端子の上部に
導線を接続するための便宜上、各対の測定端子の上方延
長部の引き出し位置は交互に位置がずれている。すなわ
ち、図１０からわかるように、各対の測定端子は左右非
対称であり、１対目と３対目の測定端子２２−１，２２
−３は同形であり、２対目と４対目の測定端子２２−
２，２２−４は１対目の測定端子２２−１を裏返した形
状である。

【００４１】なお、第２の実施の形態のその他の構成は
前述した第１の実施の形態と同様であり、第１の実施の
形態と同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略
する。

【００４２】この第２の実施の形態によれば、複数素子
チップ部品３０の全素子の端子電極Ａ，Ａ’，Ｂ，
Ｂ’，Ｃ，Ｃ’，Ｄ，Ｄ’に対応する測定端子２２−
１，２２−２，２２−３，２２−４をまとめて設けた１
個の測定ユニット２０を１個の測定ステーションに設け
ることで、複数素子チップ部品３０の電気的特性の測定
をいっそう高速で行うことができる。その他の作用効果
は前述した第１の実施の形態と同様である。

【００４３】上記第１及び第２の実施の形態では、測定
ユニットが有する測定端子側にクッションスプリング３
２を設けて測定時に突き上げピン４２で複数素子チップ
部品３０を押し上げた際の衝撃を吸収するようにしてい
るが、突き上げピン側にクッションスプリングを設けて
測定端子側はクッションスプリング無しの固定支持構造
とすることも可能である。クッションスプリングを内蔵
した突き上げピンの１例を図１１に示す。この図１１に
おいて、突き上げピン６２はフランジ６３ａ付きの円筒
部材６３の内側にピン本体６４及びクッションスプリン
グ６５を設け、ピン本体６４を摺動自在にガイドする支
持ガイド部材６６を円筒部材６３の開口部に螺着したも
のである。前記ピン本体６４はクッションスプリング６
５により突出方向に付勢されている。

【００４４】なお、上記各実施の形態では図１２のよう
に４素子で４対の端子電極を有する複数素子チップ部品
の電気的特性を測定する場合を例示したが、５素子以上
で５対以上の端子電極を有する複数素子チップ部品の測
定も測定ステーション及び測定ユニットの増設、又は１
個の測定ユニットに配設される測定端子の増設により対
応可能である。

【００４５】また、第１の実施の形態では、１個の測定
ユニットが１対の測定端子を持ち、これにより複数素子
チップ部品の１個の素子を測定する構成とし、４個の測
定ユニット全体で複数素子チップ部品の有する全素子
（４素子）全てを測定するようにし、第２の実施の形態
では複数素子チップ部品の全素子に対応した４対の測定
端子を持つ１個の測定ユニットで全素子を測定するよう
にしたが、測定ユニットが複数素子チップ部品の複数素
子（全素子よりは少ない個数）に対応する複数対の測定
端子を有していてもよく、測定ユニットの測定端子個数
に応じて全素子を測定可能とするための当該測定ユニッ
トの配置個数も適宜増減可能である。つまり、第１の測
定ユニットが複数対の測定端子（例えば２対又は３対）
を有し、それら複数対の測定端子により複数素子チップ
部品内の複数個の素子（例えば２個又は３個）を測定
し、第２の測定ユニットが所要対の測定端子（例えば２
対又は１対）を有し、それらの測定端子により残りの素
子（２個又は１個）を測定するような構成でも差し支え
ない。

【００４６】さらに、上記第１又は第２の実施の形態で
は、複数素子チップ部品を突き上げピンで押し上げて複
数素子チップ部品の各端子電極を測定ユニット側の測定
端子に接触させているが、逆に測定端子が下降して複数
素子チップ部品の各端子電極に接触する構成とすること
もできる。

【００４７】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数素子を内蔵した複数素子チップ部品を間欠回転する
間欠回転テーブルに載置し、該間欠回転テーブルが停止
する１つ又は複数のステーションにわたって複数素子チ
ップ部品の全素子の端子電極に対応して配置された測定
端子により、複数素子チップ部品が前記ステーションに
到着する毎に当該複数素子チップ部品の各素子の測定を
同時に又は順次実行するようにしたので、測定工程を単
純化できるとともに、複数素子チップ部品に対する高速
測定処理が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る複数素子チップ部品の測定方法及
び装置の第１の実施の形態であって、ロータリーインデ
ックステーブルの左側部分を示す側断面図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態の平面図である。

【図３】第１の実施の形態における測定ステーションの
拡大断面図である。

【図４】前記測定ステーションに配置された測定ユニッ
トが有する測定端子及びその周辺部分の構成を示す正断
面図である。

【図５】前記測定端子先端部の部分拡大正面図である。

【図６】同部分拡大側面図である。

【図７】第１の実施の形態で用いる突き上げピンの１例
を示す正断面図である。

【図８】本発明の第２の実施の形態であって、測定ステ
ーションの拡大断面図である。

【図９】第２の実施の形態の測定ユニットの平面図であ
る。

【図１０】第２の実施の形態の測定ユニットが有する測
定端子及びその周辺部分の構成を示す正断面図である。

【図１１】突き上げピンの変形例を示す正断面図であ
る。

【図１２】測定対象となる複数素子チップ部品の１例を
示す平面図である。

【符号の説明】

１ 部品本体 １０ ロータリーインデックステーブル １０ａ キャリア部 １１ テーブル支持フレーム １２ 中心軸 １３ 軸受 １４，１８ 真空吸引路 １５，４５ 圧縮ばね １６ エアライナー １７ 環状凹溝 １９ 真空吸引パイプ ２０ 測定ユニット ２１ 測定ユニット取付台座 ２２ 測定端子 ２２ａ 幅広部 ２２ｂ 上方延長部 ２２ｃ 先端部 ２４ 固定部 ２６ アーム部 ２７，２８ 絶縁ブロック ２９ 締め付けボルト ３０ 複数素子チップ部品 ３２，６５ クッションスプリング ３３ 絶縁取付板 ３５ リセプタクル ３６ シールド板 ３７ 押さえピン ４０ 取付ブロック ４１ 円筒スリーブ ４２，６２ 突き上げピン ４３，６３ 円筒部材 ４４，６４ ピン本体 ５０ 突き上げピン昇降カム ５１ 昇降板 ５２ ローラー ５４ 当接部材 ５５ スライドガイド ６６ 支持ガイド部材 Ａ，Ａ’，Ｂ，Ｂ’，Ｃ，Ｃ’，Ｄ，Ｄ’ 端子電極 Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４ 測定ステーション

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数素子を内蔵した複数素子チップ部品
   を間欠回転する間欠回転テーブルに載置し、該間欠回転
   テーブルが停止する１つ又は複数のステーションにわた
   って複数素子チップ部品の全素子の端子電極に対応して
   配置された測定端子により、複数素子チップ部品が前記
   ステーションに到着する毎に当該複数素子チップ部品の
   各素子の測定を同時に又は順次実行することを特徴とす
   る複数素子チップ部品の測定方法。
2. 【請求項２】 前記測定端子が配置されたステーション
   において複数素子チップ部品を前記間欠回転テーブルか
   ら押し上げて当該複数素子チップ部品の端子電極を前記
   測定端子に接触させる請求項１記載の複数素子チップ部
   品の測定方法。
3. 【請求項３】 複数素子を内蔵した複数素子チップ部品
   を載置して間欠回転する間欠回転テーブルと、該間欠回
   転テーブルが停止する複数のステーションにそれぞれ配
   置されていて複数素子チップ部品の個々の素子の端子電
   極に接触する測定端子をそれぞれ持つ測定ユニットとを
   備え、 それらの測定ユニット全体で前記複数素子チップ部品の
   全素子の端子電極に対応した測定端子を有することを特
   徴とする複数素子チップ部品の測定装置。
4. 【請求項４】 複数素子を内蔵した複数素子チップ部品
   を載置して間欠回転する間欠回転テーブルと、該間欠回
   転テーブルが停止するステーションに配置されていて複
   数素子チップ部品の全素子の端子電極に接触する測定端
   子を持つ測定ユニットとを備えることを特徴とする複数
   素子チップ部品の測定装置。
5. 【請求項５】 前記測定ユニットが配置されたステーシ
   ョンには、複数素子チップ部品を前記間欠回転テーブル
   から押し上げて当該複数素子チップ部品の端子電極を当
   該測定ユニットの持つ測定端子に接触させる押し上げ手
   段が設けられている請求項３又は４記載の複数素子チッ
   プ部品の測定装置。
6. 【請求項６】 前記測定端子の先端部が下方に向いて二
   股に分岐してなる請求項３，４，又は５記載の複数素子
   チップ部品の測定装置。