JP2002296320A - 電気特性値測定用ユニットおよび測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被測定物の電気特性値を精度よく測定できる
電気特性値測定用ユニットを提供する。 【解決手段】 電気特性値測定用ユニット21は、互いに
離間対向した一対の端子41a，41bを備える。一方の端子
41aの他方の端子41bとの対向面上部には上端から下端に
向かうに従って徐々に他方の端子41b側に接近する一方
側接触面70aを形成する。他方の端子41bの一方の端子41
aとの対向面上部には上端から下端に向かうに従って徐
々に一方の端子41a側に接近する他方側接触面70bを形成
する。ワークＷの電気特性値の測定の際には、ワークＷ
の一方の電極部Ａと一方側接触面70aとが線接触で接触
し、ワークＷの他方の電極部Ｂと他方側接触面70bとが
線接触で接触する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の電気特
性値を測定するための電気特性値測定用ユニットおよび
このユニットを具備した測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、図９に示す電気特性値測
定用ユニットが知られている。

【０００３】この図９に示す従来の電気特性値測定用ユ
ニットは、ベース１から立ち上がった２本のシャフト
２，２の上端に固着された板状の端子ベース３を備え、
この端子ベース３の中央部には円形状の端子ユニット４
が取り付けられている。

【０００４】この端子ユニット４は、略円板状の信号端
子５を有し、この信号端子５の外周には絶縁体６を介し
て略リング板状のアース端子７が取り付けられており、
信号端子５の上面およびアース端子７の上面は同一の水
平面上に配置されている。

【０００５】そして、例えば樹脂乾燥工程等の前工程か
ら搬送レール８に沿って搬送されてきたチップインダク
タ等の被測定物としてのワークＷは、搬送レール８の搬
送終端位置で吸着ノズル９にて吸着保持される。

【０００６】次いで、この吸着ノズル９の移動によりワ
ークＷが端子ユニット４上に移送され、ワークＷの一方
の電極部と信号端子５とが面接触で接触しかつワークＷ
の他方の電極部とアース端子７とが面接触で接触した状
態になり、この状態でワークＷの電気特性値の測定が行
われる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
９に示す従来の電気特性値測定用ユニットでは、ワーク
Ｗの一方の電極部と信号端子５とが面接触で接触すると
ともに、ワークＷの他方の電極部とアース端子７とが面
接触で接触するので、例えば端子５，７の上面における
接触面に付着した汚れ、錆び等の付着異物による影響を
受けやすく、ワークＷの電気特性値を精度よく測定でき
ないおそれがある。

【０００８】すなわち、例えば、図１０に示すように、
信号端子５やアース端子７の接触面10上に汚れ、錆び等
の付着異物11が付着していると、この付着異物11等によ
る電気的絶縁層12がワークＷと端子５，７との間に存在
し、ワークＷと端子５，７との安定接触が得られず、そ
の結果、ワークＷの電気特性値を精度よく測定できない
おそれがある。なお、高周波では最も安定した端子形状
であり漏れは殆ど無い。問題なのは異物の付着である。
本発明の構成または形状であれば異物に対しての効果は
大きいが、高周波特性がやや劣る。しかし、高周波にお
いても測定可能なように構成したのが本発明の一つであ
る。

【０００９】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、ワーク等の被測定物の電気特性値を精度よく測定
できる電気特性値測定用ユニットおよび測定装置を提供
することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の電気特性
値測定用ユニットは、互いに電気的に絶縁されるととも
に離間対向した対をなす端子と、これら対をなす端子の
一方の端子における他方の端子との対向面に形成され、
一端から他端に向かうに従って徐々に前記他方の端子側
に接近するように位置する一方側接触面と、この一方側
接触面と対応して前記他方の端子における前記一方の端
子との対向面に形成され、一端から他端に向かうに従っ
て徐々に前記一方の端子側に接近するように位置する他
方側接触面とを備え、対をなす電極部を有する被測定物
の電気特性値の測定時に、前記被測定物の一方の電極部
と前記一方の端子の前記一方側接触面とが線接触で接触
するとともに、前記被測定物の他方の電極部と前記他方
の端子の前記他方側接触面とが線接触で接触するもので
ある。

【００１１】そして、この構成では、被測定物の一方の
電極部と一方の端子の一方側接触面とが線接触で接触す
るとともに、被測定物の他方の電極部と他方の端子の他
方側接触面とが線接触で接触するので、従来のように被
測定物の電極部と端子とが面接触で接触する構成に比べ
て、例えば汚れ、錆び等の付着異物による影響を受けに
くくなり、よって、被測定物の電気特性値を精度よく測
定可能である。

【００１２】請求項２記載の電気特性値測定用ユニット
は、所定の基準方向に互いに離間対向した状態で、略同
一面上に位置する対をなす板状の端子と、これら対をな
す端子の一方の端子における他方の端子との対向面に形
成され、一端ほど前記他方の端子側から離反するように
前記基準方向に直交する方向に対して一方側に所定角度
だけ傾斜した一方側接触面と、この一方側接触面と対応
して前記他方の端子における前記一方の端子との対向面
に形成され、一端ほど前記一方の端子側から離反するよ
うに前記基準方向に直交する方向に対して他方側に所定
角度だけ傾斜した他方側接触面とを備え、対をなす電極
部を有する被測定物の電気特性値の測定時に、前記被測
定物の一方の電極部と前記一方の端子の前記一方側接触
面とが線接触で接触するとともに、前記被測定物の他方
の電極部と前記他方の端子の前記他方側接触面とが線接
触で接触するものである。

【００１３】そして、この構成では、被測定物の一方の
電極部と一方の端子の一方側接触面とが線接触で接触す
るとともに、被測定物の他方の電極部と他方の端子の他
方側接触面とが線接触で接触するので、従来のように被
測定物の電極部と端子とが面接触で接触する構成に比べ
て、例えば汚れ、錆び等の付着異物による影響を受けに
くくなり、よって、被測定物の電気特性値を精度よく測
定可能である。

【００１４】請求項３記載の電気特性値測定用ユニット
は、請求項１または２記載の電気特性値測定用ユニット
において、一方側接触面の一端側および他方側接触面の
一端側の各々は、円弧面状に形成されているものであ
る。

【００１５】そして、この構成では、一方側接触面の一
端側および他方側接触面の一端側の各々を円弧面状に形
成したので、尖った形状とした場合に比べて、高周波領
域においても被測定物の電気特性値を精度よく測定可能
である。

【００１６】請求項４記載の電気特性値測定用ユニット
は、請求項１ないし３のいずれかに記載の電気特性値測
定用ユニットにおいて、対をなす端子から漏れる電磁波
を遮蔽する電磁波遮蔽手段を備えているものである。

【００１７】そして、この構成では、電磁波遮蔽手段が
対をなす端子から漏れる電磁波を遮蔽するので、端子か
ら漏れる電磁波が周囲に逃げるのを抑制でき、高周波領
域においても被測定物の電気特性値を精度よく測定可能
である。

【００１８】請求項５記載の電気特性値測定用ユニット
は、請求項４記載の電気特性値測定用ユニットにおい
て、電磁波遮蔽手段は、対をなす端子を収容する端子収
容室が形成され前記対をなす端子のいずれか一方に電気
的に接続された導電性のある遮蔽板を有しているもので
ある。

【００１９】そして、この構成では、対をなす端子のい
ずれか一方に電気的に接続した遮蔽板の端子収容室にて
端子を収容できるので、高周波領域においても被測定物
の電気特性値を確実に精度よく測定可能である。

【００２０】請求項６記載の電気特性値測定用ユニット
は、請求項１ないし５のいずれかに記載の電気特性値測
定用ユニットにおいて、対をなす端子をそれぞれ個別的
に弾性支持する弾性支持手段を備えているものである。

【００２１】そして、この構成では、弾性支持手段が対
をなす端子をそれぞれ個別的に弾性支持する構成である
から、被測定物と端子とが接触した際にこれら被測定物
と端子との間に無理な力が作用せず、被測定物や端子が
保護される。

【００２２】請求項７記載の測定装置は、請求項１ない
し６のいずれかに記載の電気特性値測定用ユニットと、
この電気特性値測定用ユニットに接続された測定器とを
具備するので、それぞれの作用を奏する。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態の構
成を図面を参照して説明する。

【００２４】図１において、20は測定装置で、この測定
装置20は、例えば製品特性検査工程において、製品であ
る被測定物としてのワークＷの電気特性値を測定するた
めの装置である。

【００２５】ワークＷは、電子部品であるチップ部品、
例えばチップインダクタ等であり、このワークＷの電気
特性値とは、例えば、Ｌ値（インダクタンス）、Ｑ値
（振動系の共振の鋭さを表す量）、Ｒ値（直流抵抗値）
等である。また、ワークＷは、図４、図５等に示される
ように、例えば外形略直方体形状で、長手方向両端部下
側に一対の電極部Ａ，Ｂが形成されており、各電極部
Ａ，Ｂは側面視で略Ｌ字状となっている。なお、ワーク
Ｗは、図８に示されるように、側面視略Ｈ字状で、電極
部Ａ，Ｂが長手方向両端側の突出部下側のみに略三角状
に形成されたものでもよい。

【００２６】そして、測定装置20は、例えば、電気特性
値測定用プローブである電気特性値測定用ユニット21
と、この電気特性値測定用ユニット21に接続ケーブル22
を介して電気的に接続された測定器23とにて構成されて
いる。

【００２７】電気特性値測定用ユニット21は、図１に示
すように、所定の基準方向Ｘ、例えば左右水平方向に長
手方向を有する略細長矩形板状の底板である本体ベース
25を備えており、この本体ベース25の４つの角部は放電
しやすい尖った部分を有することなく、円弧面状に形成
されている。

【００２８】また、本体ベース25の外周端部には、上下
面を開口した四角筒状の筒体26が立設されており、この
筒体26の４つの角部は、本体ベース25と同様、放電しや
すい尖った部分を有することなく、円弧面状に形成され
ている。この筒体26は、例えば、前後方向に互いに離間
対向した一対の反射板等の遮蔽板である前後板部27，28
と、左右方向に互いに離間対向した一対の反射板等の遮
蔽板である側板部29，30とにて構成されている。なお、
前板部27は、両側板部29，30に対して着脱可能な構成と
なっている。

【００２９】また一方、本体ベース25の中央近傍には、
円柱状の複数、例えば２本の軸体であるベースシャフト
31，31が、筒体26と略同じ高さで立設されている。この
ベースシャフト31の上端部には、左右水平方向に長手方
向を有する略細長矩形板状の反射板としての天井板33が
水平状に取り付けられており、本体ベース25と筒体26と
天井板33とにて箱状の本体ケース34が構成されている。

【００３０】なお、図２、図３等に示されるように、天
井板33の略中央部上面側には略細長矩形状のガイド収容
部38が形成されており、天井板33の略中央部下面側には
略細長矩形状の端子収容部39がガイド収容部38に連続し
た状態で形成されている。ガイド収容部38および端子収
容部39にて端子収容室37が構成されている。天井板33の
略中央部下面における端子収容部39の近傍位置から略円
筒状の一対の係合突部40，40が下方に向って突出してい
る。

【００３１】また、図１および図２に示すように、ベー
スシャフト31の上下方向中間部には、基準方向Ｘである
左右水平方向に互いに電気的に絶縁された状態で離間対
向した一対の端子41a，41bすなわち信号端子41aおよび
アース端子41b等を有した端子ユニット45が、円筒状の
取付け部46，46を介して取り付けられており、この端子
ユニット45はベースシャフト31に沿って上下方向に移動
可能となっている。すなわち、端子ユニット45は、上下
一対の位置決め用のカラー47，47を操作等することで、
本体ベース25からの高さ位置を調節可能となっている。

【００３２】ここで、端子ユニット45は、インナーカバ
ー52にて覆われた可動ベース51を有し、この可動ベース
51の左右両側には、ベースシャフト31が挿通された取付
け部46，46が一体に設けられている。なお、インナーカ
バー52は、例えば、銅（Ｃｕ）および銀（Ａｇ）等で遮
蔽効果がある。

【００３３】また、この可動ベース51には、断面略Ｌ字
状の端子ベース53が固着されているとともに、軸方向が
上下方向に一致した左右一対のピンであるばねガイドピ
ン54，54が固着されている。

【００３４】まず、端子ベース53は、鉛直面に沿ったベ
ース板部56とこのベース板部56の下端部から前方に向っ
て突出した突出板部57とを有して側面視略Ｌ字状の形状
となっている。突出板部57には、左右一対の弾性体とし
ての端子バッファバネである第１ばね58a，58bが取り付
けられており、第１ばね58a，58bの上端側が突出板部57
から上方に向って突出している。

【００３５】そして、両第１ばね58a，58bにて絶縁性を
有した左右一対の端子支持体としての端子ステー60a，6
0bが弾性的に支持されており、各端子ステー60a，60bは
対応する第１ばね58a，58bの変形に応じて個別的に昇降
する構成となっている。なお、両第１ばね58a，58bにて
対をなす端子41a，41bをそれぞれ個別的に弾性支持する
弾性支持手段59が構成されている。

【００３６】信号端子41aを支持する一方の端子ステー6
0aは、例えば絶縁材料で上下方向に細長い略矩形板状に
形成され、この一方の端子ステー60aの一面である前面
における上部には、他方の端子ステー60b側である左側
に位置して略Ｌ字状の空間部である座ぐり部61aが座ぐ
り加工により形成されている。

【００３７】そして、一方の端子ステー60aの前面上部
には、座ぐり部61aの存在によって信号端子41aとの係合
によりこの信号端子41aを位置決めする位置決め用段部6
2aが形成されている。なお、座ぐり部61aの一部が銅箔
収容部63aとなっている。

【００３８】この一方の端子ステー60aの位置決め用段
部62aと係合した状態で固定具であるねじ64aでその端子
ステー60aに対して固定された信号端子41aは、例えば導
電材料で断面略Ｌ字状の板状をなし、放電しやすい尖っ
た部分を有することなく、６つの角部すべてが円弧面状
に形成されており、一方の端子ステー60aに対して着脱
可能となっている。つまり、信号端子41aは所定の曲率
半径（Ｒ）をもった形状となっている。

【００３９】また、この信号端子41aは、図５に示され
るように、基準方向Ｘである左右水平方向に長手方向を
有する細長矩形板状の取付け板部65aを有し、この取付
け板部65aの長手方向両端側にねじ用孔66aが開口形成さ
れている。

【００４０】また、取付け板部65aの長手方向一端側で
あるアース端子41b側の上面には、上下方向に長手方向
を有する細長板状の突出板部67aが上方に向って突出し
た状態で連設されており、この突出板部67aの先端面で
ある上面にて、ワークＷの一方の電極部Ａと線接触で接
触する一方側接触面70aが形成されている。

【００４１】この一方側接触面70aは、一端である上端
ほどアース端子41b側から離反するように、基準方向Ｘ
に直交する方向Ｙ、つまり上下方向に対して一方側、図
５では時計回りに所定角度αだけ傾斜した状態に配置さ
れている。すなわち、この一方側接触面70aは、信号端
子41aのアース端子41bとの対向面上部において、上端か
ら下端に向かうに従って徐々にアース端子41b側に接近
するように傾斜状に配置されており、この一方側接触面
70aの上端側および下端側がそれぞれ円弧面状となって
いる。

【００４２】一方、アース端子41bを支持する他方の端
子ステー60bは、上述の一方の端子ステー60aとは左右対
称構造となっており、例えば絶縁材料で上下方向に細長
い略矩形板状に形成され、この他方の端子ステー60bの
一面である前面における上部には、一方の端子ステー60
a側である右側に位置して略Ｌ字状の空間部である座ぐ
り部61bが座ぐり加工により形成されている。

【００４３】そして、他方の端子ステー60bの前面上部
には、座ぐり部61bの存在によってアース端子41bとの係
合によりこのアース端子41bを位置決めする位置決め用
段部62bが形成されている。なお、座ぐり部61bの一部が
銅箔収容部63bとなっている。

【００４４】この他方の端子ステー60bの位置決め用段
部62bと係合した状態で固定具であるねじ64bでその端子
ステー60bに対して固定されたアース端子41bは、例えば
導電材料で断面略Ｌ字状の板状をなし、放電しやすい尖
った部分を有することなく、６つの角部すべてが円弧面
状に形成されており、他方の端子ステー60bに対して着
脱可能となっている。つまり、アース端子41bは所定の
曲率半径（Ｒ）をもった形状となっている。

【００４５】また、このアース端子41bは、上述の信号
端子41aとは同一の形状のものであるが左右対称に取り
付けられている点で異なる。すなわち、このアース端子
41bは、図５に示されるように、基準方向Ｘである左右
水平方向に長手方向を有する細長矩形板状の取付け板部
65bを有し、この取付け板部65bの長手方向両端側にねじ
用孔66bが開口形成されている。

【００４６】また、取付け板部65bの長手方向一端側で
ある信号端子41a側の上面には、上下方向に長手方向を
有する細長板状の突出板部67bが上方に向って突出した
状態で連設されており、この突出板部67bの先端面であ
る上面にて、ワークＷの他方の電極部Ｂと線接触で接触
する他方側接触面70bが形成されている。

【００４７】この他方側接触面70bは、一端である上端
ほど信号端子41a側から離反するように、基準方向Ｘに
直交する方向Ｙ、つまり上下方向に対して他方側、図５
では反時計回りに信号端子41aと同じ所定角度αだけ傾
斜した状態に配置されている。すなわち、この他方側接
触面70bは、アース端子41bの信号端子41aとの対向面上
部において、上端から下端に向かうに従って徐々に信号
端子41a側に接近するように傾斜状に配置されており、
両接触面70a，70bが略ハ字状に位置している。他方側接
触面70bの上端側および下端側もそれぞれ円弧面状とな
っている。なお、信号端子41aおよびアース端子41bは、
略同じ鉛直面上に配置されている。

【００４８】次いで、両ばねガイドピン54，54には、図
１および図２に示すように、左右一対の弾性体としての
ガイドバッファバネである第２ばね71，71が取り付けら
れており、第２ばね71およびばねガイドピン54のそれぞ
れの上端側が可動ベース51の上面から上方に向って突出
している。

【００４９】このばねガイドピン54の可動ベース51から
の突出部分が、略円筒状をなす上下方向のガイドピン72
の下部内に遊挿されており、このガイドピン72は、その
下端部に形成されたフランジ部73で第２ばね71にて弾性
的に支持され、第２ばね71の変形に応じて昇降する構成
となっている。

【００５０】また、このガイドピン72の上部側が、天井
板33に固着した円筒状の係合突部40内に端子ユニット45
の昇降に応じて出入可能となっており、このガイドピン
72の上端面が、ガイド収容部38内に遊嵌状態に収容され
たガイド保持体75を下方から当接支持する支持面74とな
っている。

【００５１】ここで、この絶縁性を有したガイド保持体
75は、ワークＷをガイドして一定位置に保持するもの
で、絶縁体ガイド76および絶縁体プレート77にて構成さ
れている。

【００５２】このガイド保持体75は、絶縁材料、例えば
アクリル等の合成樹脂でガイド収容部38内に遊嵌可能な
細長矩形板状に形成されており、測定時には長手方向両
端部下面と両ガイドピン72の支持面74とが当接した状態
となって両ガイドピン72にて両持ち状態で下方から支持
される。なお、端子41a，41bの交換時には、ガイド保持
体75とガイドピン72の支持面74とは離反し、ガイド保持
体75は天井板33の係合突部40上に位置する。

【００５３】また、ガイド保持体75の中央部上面には、
図４等に示されるように、円形状の窪み部78が形成され
ており、この窪み部78の底面78a中央には、ワークＷと
嵌合、嵌合解除する凹状のワーク収容部である嵌合溝部
80が形成されている。

【００５４】この嵌合溝部80は、ワークＷの形状に対応
するワーク寸法に形成され、底面にはワークＷ下面の所
定部分と接触する載置面79が形成されており、測定時に
は嵌合溝部80内に入り込んだワークＷが載置面79上に載
置される。

【００５５】さらに、ガイド保持体75の中央部には、端
子41a，41bの突出板部67a，67bの上端部を嵌合溝部80に
臨ませるための孔部81が嵌合溝部80に連続した状態で形
成されている。この孔部81は、上下に開口し、突出板部
67a，67bを挿通可能な形状となっている。なお、端子41
a，41bの取付け板部65a，65bは、端子ステー60a，60bの
上端部と一体となって天井板33の端子収容部39に対して
出入可能となっている。また、端子41a，41b全体は、天
井板33の端子収容室37に対して出入可能となっている。

【００５６】また一方、端子ユニット45は、図１、図３
等に示すように、同軸ケーブルであるセミリジットケー
ブル等のケーブル83を有しており、このケーブル83は、
例えば円柱状の中心導体84とこの中心導体84の外周に絶
縁体85を介して取り付けられて露出した円筒状の外部導
体86とにて構成されている。

【００５７】このケーブル83の基端部にはコネクタ88が
取り付けられており、このコネクタ88に、一端が測定器
23に接続された接続ケーブル22の他端が接続されてい
る。

【００５８】また、ケーブル83の先端部では、中心導体
84の先端が絶縁体85端面より突出しており、この中心導
体84の突出した先端に、可撓性を有する薄肉板状の一方
の連絡片である導電体箔としての銅箔90aの基端が接合
されている。

【００５９】この一方の銅箔90aの先端部は、一方の端
子ステー60aと信号端子41aとの間に形成された間隙であ
る銅箔収容部63a内に差し込まれた状態で収容され、信
号端子41aと電気的に接続されている。すなわち、一方
の銅箔90aの先端部は、一方の端子ステー60aと信号端子
41aとで挟み込まれた状態で、ねじ64aにて信号端子41a
に固定されている。

【００６０】また同様に、外部導体86の先端には、可撓
性を有する薄肉板状の他方の連絡片である導電体箔とし
ての銅箔90bの基端が接合されている。この他方の銅箔9
0bの先端部は、他方の端子ステー60bとアース端子41bと
の間に形成された間隙である銅箔収容部63b内に差し込
まれた状態で収容され、アース端子41bと電気的に接続
されている。すなわち、他方の銅箔90bの先端部は、他
方の端子ステー60bとアース端子41bとで挟み込まれた状
態で、ねじ64bにてアース端子41bに固定されている。

【００６１】さらに、端子ユニット45は、図３に示すよ
うに、ケーブル83を天井板33に対して固定するための着
脱可能な固定具である固定板91を有しており、この固定
板91には、ケーブル83の先端部のみを収容するケーブル
収容部92が形成されている。

【００６２】そして、固定板91のケーブル収容部92内に
ケーブル83の先端部を位置させた状態で、この固定板91
を図示しない固定手段であるねじで天井板33に固着する
ことにより、ケーブル83の先端部を天井板33に対して固
定でき、この状態ではケーブル83の先端部が固定板91と
天井板33とで挟み込まれた状態となっている。

【００６３】なお、信号端子41a、一方の銅箔90aおよび
ケーブル83の中心導体84にて一方のライン93が構成さ
れ、アース端子41b、他方の銅箔90bおよびケーブル83の
外部導体86にて他方のライン94が構成されている。

【００６４】また、例えば固定板91、天井板33、筒体2
6、本体ベース25、ベースシャフト31およびカラー47
は、導電材料にて所定形状に形成されており、これら導
電性を有する各部材にて電磁波遮蔽手段としての電波逃
げ抑制手段であるアースライン95が構成されている。こ
のアースライン95は、ケーブル83の外部導体86と、固定
板91および天井板33とが互いに圧接しして電気的に接続
されていることで、アース端子41b側の他方のライン94
と電気的に接続され、同電位に設定されている。

【００６５】さらに、図１に示されるように、測定装置
20は、例えば樹脂乾燥工程等の前工程からのワークＷを
順次搬送する搬送レール96の近傍位置に配置されてい
る。また、この搬送レール96の搬送終端位置まで搬送さ
れたワークＷは、移送手段である吸着ノズル97で測定装
置20に向けて移送される。ワークＷの測定は、測定用の
保持ノズル97aにて行われる。測定後のワークＷは、図
示しない別の吸着ノズルでテーピング工程等の次工程に
向けて移送される。

【００６６】次に、上記一実施の形態の作用等を説明す
る。

【００６７】図６(a)に示す待機状態では、端子ユニッ
ト45の可動ベース51は、ベースシャフト31の上部におけ
る所定の測定位置に固定されている。

【００６８】また、この待機状態では、信号端子41aお
よびアース端子41bは、ワークＷと端子41a，41bとの当
接を緩和するための緩衝用の第１ばね58a，58bにて、端
子ステー60a，60bを介して弾持されている。ガイド保持
体75は、ワークＷとガイド保持体75との当接を緩和する
ための緩衝用の第２ばね71，71にて、ガイドピン72を介
して弾持されている。なお、ガイド保持体75とガイドピ
ン72の支持面74との間には間隙Ｈが形成されている。

【００６９】そして、図６(b)に示すように、測定の際
には、ワークＷは、保持ノズル97aで保持された状態で
この保持ノズル97aとともに下降し、ガイド保持体75の
嵌合溝部80と嵌合して載置面79に接触し、この載置面79
上に載置された状態となる。

【００７０】ワークＷが載置面79に接触した後さらに下
降すると、ワークＷは、第２ばね71，71の付勢力に抗し
てガイド保持体75およびガイドピン72と一体となって所
定位置まで下降し、両端子41a，41bと接触した状態とな
る。このとき、ワークＷが、第１ばね58a，58bの付勢力
に抗して端子41a，41bを例えば約０．２ｍｍ程押し下げ
るまで下降することで、ワークＷと両端子41a，41bとの
安定導通が得られる。

【００７１】そして、図４および図５に示されるよう
に、ワークＷの一方の電極部Ａの下側角部と信号端子41
aの一方側接触面70aとが線接触で接触し、かつ、ワーク
Ｗの他方の電極部Ｂの下側角部とアース端子41bの他方
側接触面70bとが線接触で接触した状態となる。

【００７２】そして、測定器23の動作によりワークＷの
電気特性値、例えば、Ｌ値、Ｑ値またはＲ値の測定が行
われる。この場合、特に、ケーブル83が動かないこと
と、端子41a，41bの動作が微妙であることから、低イン
ダクタンスの測定精度が向上する。

【００７３】Ｒ値の測定の際には直流電流がライン93，
94に流れる。Ｌ値やＱ値の測定の際には、周波数の高い
交流、例えば１ＧＨｚ以上の高周波電流がライン93，94
に流れる。高周波電流を用いる場合、端子41a，41bの先
端部やケーブル83の先端部等から、電磁波である電波が
漏れやすいが、この漏れ電波は、アース接地されたアー
スライン95にて遮蔽、すなわち反射、吸収等されるた
め、電気特性値測定用ユニット21周囲にほとんど逃げる
ことができず、高周波領域においても安定した高周波測
定が行われる。

【００７４】なお、一方の電極部Ａの下端位置と他方の
電極部Ｂの下端位置とがややずれている場合等において
は、図６(c)に示すように、第１ばね58a，58bのいずれ
か一方が他方より大きく変形することで、信号端子41a
およびアース端子41bが左右独立して下降し、ワークＷ
と両端子41a，41bとの安定した接触が確保される。

【００７５】ワークＷの電気特性値の測定が終了する
と、ワークＷは、保持ノズル97aから開放され、ガイド
保持体75上に放置される。その後、ワークＷは、図示し
ない別の吸着ノズルでテーピング工程等の次工程に向け
て移送されていく。

【００７６】一方、端子41a，41bを交換、洗浄等する場
合、図７に示すように、前板部27を取り外して本体ケー
ス34の前面を開口させた後、固定板91を天井板33から取
り外す。続いて、位置決め用のカラー47，47を緩め、端
子ユニット45を下降させ、信号端子41aおよびアース端
子41bを天井板33の端子収容室37外に位置させる。そし
て、この露出した信号端子41aおよびアース端子41bから
ねじ64a，64bを取り外し、端子41a，41bの交換作業、洗
浄作業等を行う。作業終了後は、端子ユニット45を上昇
させ、位置決め用のカラー47，47を締めつけ、端子ユニ
ット45をもとの位置に固定する。

【００７７】このようにして、上記一実施の形態によれ
ば、測定の際にワークＷの一方の電極部Ａと信号端子41
aの一方側接触面70aとが線接触で接触し、かつ、ワーク
Ｗの他方の電極部Ｂとアース端子41bの他方側接触面70b
とが線接触で接触する構成であるから、従来のようにワ
ークＷの電極部と端子とが面接触で接触する構成に比べ
て、例えば端子41a，41bの汚れ、錆び等の付着異物によ
る影響を受けにくくなり、よって、測定精度が時系列で
変化することもなく、ワークＷの電気特性値を長期に亘
って精度よく測定できる。

【００７８】また、端子41a，41bに汚れ、錆び等の付着
異物が付きにくいため、交換作業や洗浄作業の頻度をき
わめて少なくでき、段取り、コスト的な負荷を低減でき
る。

【００７９】さらに、高周波電流を用いる場合、端子41
a，41bの先端部やケーブル83の先端部等から、電波が漏
れやすいが、この漏れ電波を、アース接地されたアース
ライン95で反射、吸収等することで電気特性値測定用ユ
ニット21周囲に逃げるのを抑制でき、よって、高周波特
性が安定し、例えば１ＧＨｚ以上の高周波領域において
も精度良く安定したＬ値およびＱ値、特にＱ値の測定を
行うことができる。

【００８０】また、端子41a，41b、本体ケース34等のす
べての角部を円弧面状にし、天井板33の端子収容室37に
て端子41a，41bを囲むように収容し、また、ケーブル83
をより先端部で反射板である天井板33に固定した構成で
あるから、高周波特性がより一層安定し、高周波領域に
おいてワークＷの電気特性値をより一層確実に精度よく
測定できる。

【００８１】さらに、端子41a，41bの交換等する場合
に、端子ステー60a，60bの位置決め用段部62a，62bを利
用することで、端子41a，41bを端子ステー60a，60bに対
して一定に位置に容易に取り付けることができる。

【００８２】また、端子41a，41bと位置決め用段部62
a，62bとが常に係合しているため、端子41a，41bのねじ
64a，64bによる固定の際、最小トルクで締め付けるだけ
で、測定時に端子41a，41bが上方からの負荷を受けても
滑りが発生しない。

【００８３】さらに、座ぐり部61a，61bの一部に銅箔逃
げ用の銅箔収容部63a，63bを設けたので、銅箔90a，90b
が端子41a，41bにより端子ステー60a，60bに押しつけら
れた際等に、銅箔90a，90bに折れ、曲り等が発生するこ
とがない。

【００８４】また、ケーブル83の先端部に接合された銅
箔90a，90bを、端子41a，41bと端子ステー60a，60bとで
挟み込むようにしたので、端子ステー60a，60bに対する
ねじ64a，64bの締め付けの際に、銅箔90a，90bのねじ
れ、損傷等が発生することがない。

【００８５】さらに、測定の際に、ワークＷとガイド保
持体75の嵌合溝部80とを嵌合させることで、ワークＷを
ガイド保持体75で一定姿勢に保持する構成であるから、
ワークＷの電極部Ａ，Ｂを、端子41a，41bの接触面70
a，70bの常に一定の位置に確実に接触させることがで
き、よって、ワークＷの電気特性値をより一層確実に精
度よく測定できる。

【００８６】また、ガイド保持体75をアクリル等の合成
樹脂で形成したので、ワークＷがガイド保持体75に接触
した際のワークＷに対する影響を軽減でき、ワークＷの
表面が傷付くこと等を抑制できる。

【００８７】さらに、端子ユニット45が高さ位置調節可
能であり、端子41a，41bを天井板33の端子収容室37内の
測定位置から端子収容室37外の位置に移動させることが
でき、天井板33が邪魔にならず、端子41a，41bの交換、
洗浄等を容易にできる。

【００８８】また、信号端子41aおよびアース端子41bを
弾持する緩衝用の第１ばね58a，58bと、ガイド保持体75
を弾持する緩衝用の第２ばね71，71とを設けた構成であ
るから、ワークＷ、端子41a，41bおよびガイド保持体75
に過大負荷がかからず、ワークＷ、端子41a，41bおよび
ガイド保持体75を保護でき、端子41a，41bの寿命も向上
する。

【００８９】さらに、緩衝用の第１ばね58a，58bにて構
成された弾性支持手段59は、信号端子41aおよびアース
端子41bをそれぞれ個別的に弾性支持する構成であるか
ら、ワークＷ、端子41a，41bを保護できるばかりでな
く、ワークＷと端子41a，41bとの安定接触を確保でき、
よって、ワークＷの電気特性値をより一層確実に精度よ
く測定できる。

【００９０】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、被測定物
の一方の電極部と一方の端子の一方側接触面とが線接触
で接触するとともに、被測定物の他方の電極部と他方の
端子の他方側接触面とが線接触で接触するので、従来の
ように被測定物の電極部と端子とが面接触で接触する構
成に比べて、例えば汚れ、錆び等の付着異物による影響
を受けにくくなり、よって、被測定物の電気特性値を精
度よく測定できる。

【００９１】請求項２記載の発明によれば、被測定物の
一方の電極部と一方の端子の一方側接触面とが線接触で
接触するとともに、被測定物の他方の電極部と他方の端
子の他方側接触面とが線接触で接触するので、従来のよ
うに被測定物の電極部と端子とが面接触で接触する構成
に比べて、例えば汚れ、錆び等の付着異物による影響を
受けにくくなり、よって、被測定物の電気特性値を精度
よく測定できる。

【００９２】請求項３記載の発明によれば、一方側接触
面の一端側および他方側接触面の一端側の各々を円弧面
状に形成したので、尖った形状とした場合に比べて、高
周波領域においても被測定物の電気特性値を精度よく測
定できる。

【００９３】請求項４記載の発明によれば、電磁波遮蔽
手段が対をなす端子から漏れる電磁波を遮蔽するので、
端子から漏れる電磁波が周囲に逃げるのを抑制でき、高
周波領域においても被測定物の電気特性値を精度よく測
定できる。

【００９４】請求項５記載の発明によれば、対をなす端
子のいずれか一方に電気的に接続した遮蔽板の端子収容
室にて端子を収容できるので、高周波領域においても被
測定物の電気特性値を確実に精度よく測定できる。

【００９５】請求項６記載の発明によれば、弾性支持手
段が対をなす端子をそれぞれ個別的に弾性支持する構成
であるから、被測定物と端子とが接触した際にこれら被
測定物と端子との間に無理な力が作用せず、被測定物や
端子を保護できる。

【００９６】請求項７記載の発明によれば、請求項１な
いし６のいずれかに記載の電気特性値測定用ユニットと
この電気特性値測定用ユニットに接続された測定器とを
具備したので、それぞれの効果を奏することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の測定装置を示す斜視図
である。

【図２】同上測定装置の電気特性値測定用ユニットを示
す一部を省略した斜視図である。

【図３】同上電気特性値測定用ユニットのケーブルを端
子に固定した状態の図である。

【図４】同上電気特性値測定用ユニットの端子とワーク
との接触状態を示す斜視図である。

【図５】同上電気特性値測定用ユニットの端子とワーク
との接触状態を示す正面図である。

【図６】ワークの電気特性値を測定する場合の説明図で
ある。

【図７】端子を交換する場合の説明図である。

【図８】被測定物であるワークを示す図である。

【図９】従来の電気特性値測定用ユニットを示す斜視図
である。

【図１０】同上従来の電気特性値測定用ユニットの端子
とワークとの接触状態を示す図である。

【符号の説明】

20 測定装置 21 電気特性値測定用ユニット 23 測定器 33 遮蔽板としての天井板 37 端子収容室 41a，41b 端子 59 弾性支持手段 70a 一方側接触面 70b 他方側接触面 95 電磁波遮蔽手段としてのアースライン Ｗ 被測定物としてのワーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 哲也 長野県伊那市大字伊那3672番地 コーア株 式会社内 Ｆターム(参考） 2G003 AB00 AE03 AG03 AG12 AG16 AH05 AH07 AH09 2G028 AA01 AA02 AA04 BB07 BB20 BC10 CG02 CG06 CG14 DH14 HM08 HN20 JP01 JP04

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに電気的に絶縁されるとともに離間
   対向した対をなす端子と、 これら対をなす端子の一方の端子における他方の端子と
   の対向面に形成され、一端から他端に向かうに従って徐
   々に前記他方の端子側に接近するように位置する一方側
   接触面と、 この一方側接触面と対応して前記他方の端子における前
   記一方の端子との対向面に形成され、一端から他端に向
   かうに従って徐々に前記一方の端子側に接近するように
   位置する他方側接触面とを備え、 対をなす電極部を有する被測定物の電気特性値の測定時
   に、前記被測定物の一方の電極部と前記一方の端子の前
   記一方側接触面とが線接触で接触するとともに、前記被
   測定物の他方の電極部と前記他方の端子の前記他方側接
   触面とが線接触で接触することを特徴とする電気特性値
   測定用ユニット。
2. 【請求項２】 所定の基準方向に互いに離間対向した状
   態で、略同一面上に位置する対をなす板状の端子と、 これら対をなす端子の一方の端子における他方の端子と
   の対向面に形成され、一端ほど前記他方の端子側から離
   反するように前記基準方向に直交する方向に対して一方
   側に所定角度だけ傾斜した一方側接触面と、 この一方側接触面と対応して前記他方の端子における前
   記一方の端子との対向面に形成され、一端ほど前記一方
   の端子側から離反するように前記基準方向に直交する方
   向に対して他方側に所定角度だけ傾斜した他方側接触面
   とを備え、 対をなす電極部を有する被測定物の電気特性値の測定時
   に、前記被測定物の一方の電極部と前記一方の端子の前
   記一方側接触面とが線接触で接触するとともに、前記被
   測定物の他方の電極部と前記他方の端子の前記他方側接
   触面とが線接触で接触することを特徴とする電気特性値
   測定用ユニット。
3. 【請求項３】 一方側接触面の一端側および他方側接触
   面の一端側の各々は、円弧面状に形成されていることを
   特徴とする請求項１または２記載の電気特性値測定用ユ
   ニット。
4. 【請求項４】 対をなす端子から漏れる電磁波を遮蔽す
   る電磁波遮蔽手段を備えていることを特徴とする請求項
   １ないし３のいずれかに記載の電気特性値測定用ユニッ
   ト。
5. 【請求項５】 電磁波遮蔽手段は、対をなす端子を収容
   する端子収容室が形成され前記対をなす端子のいずれか
   一方に電気的に接続された導電性のある遮蔽板を有して
   いることを特徴とする請求項４記載の電気特性値測定用
   ユニット。
6. 【請求項６】 対をなす端子をそれぞれ個別的に弾性支
   持する弾性支持手段を備えていることを特徴とする請求
   項１ないし５のいずれかに記載の電気特性値測定用ユニ
   ット。
7. 【請求項７】 請求項１ないし６のいずれかに記載の電
   気特性値測定用ユニットと、 この電気特性値測定用ユニットに接続された測定器とを
   具備したことを特徴とする測定装置。