KR101785636B1 - 동축 프로브 니들장치 - Google Patents

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KR101785636B1
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임창민
전현수
김웅겸
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주식회사 에스디에이
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Abstract

본 명세서에 개시된 내용은 반도체 검사용 프로브카드의 주파수 신호 전달율의 개선을 위한 동축 프로브 니들장치에 관한 것이다.
본 명세서에 개시된 내용의 일 실시예에 따르면, 동축 프로브 니들장치는 일단을 향해 날카롭게 형성되는 팁과 상기 팁의 타단으로 연장되도록 형성되는 와이어로 구성되는 캔틸레버 니들; 상기 와이어를 둘러싸며 절연물질로 형성되는 제1 절연체로 구성된 절연부; 상기 절연부의 일부를 둘러싸는 동관; 및 상기 팁의 타단과 상기 동관 사이에 구비되는 보조노이즈차단부;를 포함할 수 있다.

Description

동축 프로브 니들장치{COAXIAL PROBE NEEDLE DEVICE}
본 명세서에 개시된 내용은 반도체 검사용 프로브카드의 주파수 신호 전달율의 개선을 위한 동축 프로브 니들장치에 관한 것이다.
본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 식별항목에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 식별항목에 기재된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.
일반적으로, 반도체 소자는 반도체 웨이퍼를 제조하는 공정, 반도체 웨이퍼로부터 복수의 단위 반도체 칩들을 제조하는 공정, 반도체 칩의 불량여부를 판별하는 반도체 칩의 전기적 검사공정, 반도체 패키징 공정, 패키징된 반도체 칩을 테스트하는 공정 등의 과정들을 거치면서 반도체칩에 전기적 신호를 인가시켜 반도체칩의 상태를 판별하게 된다.
이러한 검사장치는 전기적 신호를 발생시키는 테스터와, 테스터로부터 전기적 신호를 반도체 웨이퍼상의 반도체칩상에 형성된 전극에 전송하기 위해 복수의 니들들이 부착되어 있는 프로브카드를 구비한다. 프로브 카드는 웨이퍼와 접촉하는 니들을 통해 테스터로부터 발생한 전기적 신호를 웨이퍼에 전달하거나 웨이퍼로부터 전기적 신호를 테스터로 전달하게 된다.
그러나 종래의 프로브카드에 부착되는 금속재질의 니들(needle)들은 웨이퍼와 직접적으로 접촉하는 쉴드 오픈(Shield open)구간(비절연구간)의 길이가 길어 니들들간의 신호간섭이 발생하게 되고, 그에 따라 주파수의 신호 전달율이 감소되는 단점이 있다.
종래의 기술들과 관련하여 공개특허공보 제10-2009-0066974호는 니들을 한 쌍의 핀이 서로 대향되게 배치하여 니들의 휨 현상을 방지하는 프로브카드 니들을 개시하고 있고, 등록특허공보 제10-0850433호는 동축케이블 구조의 고주파 측정이 가능한 프로브카드를 개시하고 있다.
니들들간의 신호간섭을 최소화하고 주파수의 신호 전달율의 개선을 위해, 웨이퍼와 접촉하는 니들의 비절연구간의 면적은 줄이면서 비절연구간의 감소에 의한 신호 전달율의 손실은 최소화하는 발명을 필요로 한다.
니들(needle)의 비절연구간을 최소화하여 신호 전달율을 개선하도록 한 동축 프로브 니들장치를 제공함에 있다.
또한, 상술한 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 이하의 설명으로부터 또 다른 기술적 과제가 도출될 수도 있음은 자명하다.
개시된 내용의 일 실시예에 의하면, 동축 프로브 니들장치는 일단을 향해 날카롭게 형성되는 팁과 상기 팁의 타단으로 연장되도록 형성되는 와이어로 구성되는 캔틸레버 니들; 상기 와이어를 둘러싸며 절연물질로 형성되는 제1 절연체로 구성된 절연부; 상기 절연부의 일부를 둘러싸는 동관; 및 상기 팁의 타단과 상기 동관 사이에 구비되는 보조노이즈차단부;를 포함할 수 있다.
또한, 동축 프로브 니들장치는 일단은 상기 동관의 외부를 둘러싸며 결합되고 타단은 외경이 확장 형성되고 소정의 거리만큼 연장되어 상기 동축 케이블과 결합되는 연결부를 더 포함할 수 있다.
본 명세서에 개시된 내용의 일 실시예에 따르면, 동축 프로브 니들에 일부는 고주파 전기적 신호를 외부의 전기적 간섭으로부터 차단하는 절연부가 형성되고 절연부와 팁 사이는 보조노이즈차단부가 둘러싸며 형성되어 동축 프로브 니들들에 의해 발생되는 전기적 간섭을 최소화하게 된다.
또한, 보조노이즈차단부에는 동관에서 전달되는 전기가 흘러 외부의 전기적 간섭은 차단하고, 보조노이즈차단부의 하부에는 절연부에서 연장되는 얇은 두께의 절연체가 형성되어 보조노이즈차단부와 동축 프로브 니들간의 쇼트(short)를 방지하는 장점이 있다.
또한, 동축 프로브 니들과 동축케이블 사이에는 동축 프로브 니들과 동축케이블을 전기적으로 연결시키는 연결부가 형성되어 팁에서 전송되는 고주파 전기신호를 안정적으로 전달하고 외부의 전기적 간섭은 차단하는 장점이 있다.
도 1은 본 명세서에 개시된 내용의 일 실시예에 따른 동축 프로브 니들장치가 결합된 프로브카드의 단면도.
도 2는 본 명세서에 개시된 내용의 일 실시예에 따른 분해된 동축 프로브 니들장치의 측면도.
도 3은 도 1의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도.
도 4는 도 1의 II-II' 선을 따라 절단한 단면도.
도 5는 도 3 및 도 4의 동축 프로브 니들, 연결부 및 동축 케이블의 결합된 상태를 나타내는 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 따른 동축 프로브 니들장치의 구성, 동작 및 작용효과에 대하여 살펴본다. 참고로, 이하 도면에서, 각 구성요소는 편의 및 명확성을 위하여 생략되거나 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 반영하는 것은 아니다, 또한 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭하며 개별 도면에서 동일 구성에 대한 도면 부호는 생략하기로 한다.
도 1은 본 명세서에 개시된 내용의 일 실시예에 따른 동축 프로브 니들장치가 결합된 프로브카드의 단면도를 도시한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 프로브 카드(10)는 수평으로 형성되어 프레임으로 형성되는 보강판(11), 상기 보강판(11)의 내부에 형성되는 LIF 커넥터(12), 상기 보강판(11)의 하부에 결합되는 인쇄회로기판(13), 상기 인쇄회로기판(13)의 하부 일부분과 결합되는 세라믹링(14) 및 상기 LIF 커넥터(12)와 연결되고 상기 세라믹링(14)에 걸쳐져 형성되는 동축 프로브 니들장치(100)를 포함한다.
상기 프로브 카드(10)는 웨이퍼(15)가 완성되고 절단되기 전에 반도체로서의 기능과 성능의 검사를 위해 사용되고, 상기 프로브 카드(10)의 하부에는 복수의 상기 동축 프로브 니들장치(100)들이 형성되어, 상기 웨이퍼(15)와 접촉하게 된다.
상기 웨이퍼와 접촉된 상기 동축 프로브 니들장치(100)는 상기 웨이퍼(15)에서 발생한 고주파 신호를 상기 인쇄회로기판(13)으로 전송하고, 고주파 신호를 수신한 상기 인쇄회로기판(13)은 상기 고주파 신호를 분석하여 상기 웨이퍼(15)의 작동 유무를 검사하게 된다.
상기 동축 프로브 니들장치(100)는 복수개가 촘촘히 형성되어 상기 웨이퍼(15)와 접촉하므로 상기 웨이퍼(15)와 접촉하면서 발생될 수 있는 손상을 방지하기 위해 유연성을 가지고 있어야 한다.
복수의 상기 동축 프로브 니들장치(100)들은 서로 인접하도록 형성되어 각각의 상기 동축 프로브 니들장치(100)가 발생시키는 전기적 신호에 의해 인접한 상기 동축 프로브 니들장치(100)가 전기적 간섭을 받게되어 고주파 신호의 전달율이 감소되어 상기 웨이퍼(15)의 검사를 방해할 수 있다.
상기 동축 프로브 니들장치(100)에 가해지는 전기적 간섭을 방지하기 위해 상기 동축 프로브 니들장치(100)의 표면을 절연물질로 둘러싸도록 형성시킬 수 있지만 이 경우 상기 동축 프로브 니들장치(100)의 유연성이 감소되어 상기 웨이퍼(15)가 파손될 수 있다.
따라서, 소정의 유연성은 유지시키면서 상기 동축 프로브 니들장치(100)에 가해지는 전기적 간섭을 방지하기 위한 절연구조가 필요하다.
도 2는 본 명세서에 개시된 내용의 일 실시예에 따른 분해된 동축 프로브 니들장치의 측면도를 도시한다.
본 명세서에 개시된 내용의 일 실시예에 따른 동축 프로브 니들장치(100)는 상기 동축 프로브 니들장치(100)의 일단에 형성되어 반도체와 접촉하는 동축 프로브 니들(120), 일단이 상기 동축 프로브 니들(120)의 타단에 결합되는 연결부(140)를 포함한다.
여기서 상기 연결부(140)의 타단은 동축케이블(160)과 결합되고, 상기 동축케이블(160)은 상기 인쇄회로기판(13)과 연결된다.
상기 동축 프로브 니들(120)은 일단으로 연장되어 형성되고 도전성의 재료로 형성되는 캔틸레버 니들(121), 상기 캔틸레버 니들(121)의 일부를 둘러싸며 형성되는 동관(122) 및 상기 동관(122)의 측면에 형성되는 보조노이즈차단부(123)를 포함한다.
여기서, 상기 캔틸레버 니들(121)의 일단은 날카로운 팁이 형성되고 반도체를 검사하는 프로브카드와 결합된 후 날카로운 부분이 소정의 각도로 휘어지도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 동축 프로브 니들(120)은 고주파용 니들로써 상기 연결부(140)를 통해 상기 동축 케이블(160)과 연결되어 안정적인 전기적 신호를 수신하게 된다.
또한, 도면에 도시되어 있지 않지만, 상기 캔틸레버 니들(121)과 상기 동관(122) 사이에는 절연물질이 형성되어 상기 동관(122)과 상기 캔틸레버 니들(121)의 쇼트(short)를 방지하게 된다.
상기 캔틸레버 니들(121)의 타단은 상기 연결부(140)를 향해 연장되고, 상기 동관(122)은 상기 캔틸레버 니들(121)의 팁을 제외한 나머지 부분을 둘러싸며 형성된다.
종래의 동축 프로브 니들의 경우 절연부가 캔틸레버 니들의 날카로운 팁 부분과 소정의 거리만큼 이격되고 이격된 구간에 비절연구간이 형성되어 인접한 캔틸레버 니들들과 전기적인 간섭이 발생하게 된다.
반면에, 상기 동축 프로브 니들(120)은 상기 비절연구간에 도전성의 보조노이즈차단부가 형성되어 인접한 캔틸레버 니들에 의해 발생되는 전기적 간섭을 방지한다.
따라서, 반도체 검사 중에 인접한 복수의 동축 프로브 니들(120)들 간에 발생할 수 있는 전기적 간섭을 최소화하고 고주파 신호를 안정적으로 유지시키기 위해 상기 보조노이즈차단부(123)는 상기 비절연구간을 둘러싸며 형성된다.
상기 연결부(140)는 원통형의 형태로 형성되고 내부에 공간이 형성된다. 상기 연결부(140)의 일단은 타단을 향해 소정의 거리만큼 연장된 후 외경이 확장된 상태에서 다시 타단을 향해 연장되어 형성된다.
상기 연결부(140)의 일단은 상기 동축 프로브 니들(120)과 결합되고, 상기 연결부(140)의 타단은 상기 동축 프로브 니들(120)보다 상대적으로 외경이 큰 상기 동축케이블(160)과 결합하여 상기 동축 프로브 니들(120)과 상기 동축케이블(160)을 전기적으로 연결시키게 된다.
상기 동축 케이블(160)은 와이어 형태로 형성되고, 내부에 도전성 와이어와 상기 도전성 와이어를 둘러싸는 절연체와 도전성 물질들이 겹겹이 층을 이루며 형성된다.
상기 동축 케이블(160)은 상기 연결부(140)를 통해 상기 동축 프로브 니들(120)과 결합되고, 상기 동축 케이블(160) 중심에 형성되는 와이어는 상기 연결부(140)의 내부에서 상기 캔틸레버 니들(121)과 연결된다.
도 3은 도 1의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도를 도시한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 동축 프로브 니들(120)은 일단으로 날카롭게 형성된 팁(124), 상기 팁(124)에서 타단으로 연장되는 와이어(125), 상기 와이어(125)를 둘러싸며 형성되는 절연부(126) 및 상기 절연부(126)의 일부를 둘러싸며 형성되는 동관(122)을 포함한다.
상기 절연부(126)는 상기 와이어(125)를 둘러싸며 형성되는 제1 절연체(127), 상기 제1 절연체(127)의 일부를 둘러싸며 형성되는 제2 절연체(128)를 포함한다.
상기 팁(124)의 일단은 반도체와 접촉하는 부분을 향해 날카롭게 연장되도록 형성되고, 상기 와이어(125)의 일단은 상기 팁(124)의 타단에서 상기 연결부(140)를 향해 동일한 외경을 가지는 원통형의 형태로 연장되어 형성된다.
여기서, 상기 팁(124) 및 상기 와이어(125)는 전기적인 신호 전달을 위해 도전성 물질로 형성되고, 결합되는 프로브카드의 종류에 따라 캔틸레버 니들의 형태로 구조변경이 될 수 있다.
상기 와이어(125)의 외부 표면은 상기 제1 절연체(127)가 둘러싸며 형성되고, 전기 전도도가 소정의 값 이하인 재료로 사용되며, 상기 와이어(125)를 통해 흐르는 전기적인 신호가 안정적으로 이동할 수 있도록 한다.
상기 제2 절연체(128)는 상기 제1 절연체(127) 표면의 일부를 둘러싸며 형성되고, 상기 연결부(140)로 치우치도록 형성된다. 그리고 상기 동관(122)에서 흐르는 전기적인 신호의 크기에 따라 상기 제2 절연체(128)의 두께는 상기 제1 절연체(127)의 두께보다 상대적으로 크게 형성될 수 있다.
상기 동관(122)은 상기 제2 절연체(128)를 둘러싸며 형성되고, 도전성 물질로 형성된다. 상기 동관(122)은 상기 연결부(140)를 통해 상기 동축케이블(160)과 연결되어,외부의 전기적 간섭을 차단하게 된다.
그리고 상기 제1 절연체(127) 및 상기 제2 절연체(128)는 이중으로 상기 와이어(125)와 상기 동관(122)을 서로 분리시키고 절연시키므로, 상기 와이어(125)와 상기 동관(122) 사이에 발생될 수 있는 쇼트(short)를 방지 할 수 있다.
상기 보조노이즈차단부(123)는 상기 동관(122)과 솔더링을 통해 전기적으로 연결되고 상기 팁(124)과 인접하게 배치되며 외부로 노출된 상기 제1 절연체(127)를 둘러싸며 형성된다. 상기 보조노이즈차단부(123)는 상기 제1 절연체(127)와 접촉하지 않도록 상기 제1 절연체(127)와 서로 이격되도록 형성될 수 있다.
여기서, 상기 보조노이즈차단부(123)의 표면에는 상기 제1 절연체(127)와 상기 보조노이즈차단부(123) 사이에 형성되는 공간이 외부 공간과 연결될 수 있도록 복수의 공간들이 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 절연체(127)의 두께는 상기 보조노이즈차단부(123)가 차지하는 공간 또는 상기 보조노이즈차단부(123)를 통해 흐르는 전기적 신호의 크기에 따라 달라질 수 있다.
또한, 상기 동축 프로브 니들(120)에서 상기 보조노이즈차단부(123)가 배치되는 면적은 검사하는 반도체의 물성 또는 검사하는 주파수의 종류에 따라 변경될 수 있다.
상기 보조노이즈차단부(123)는 상기 와이어(125)와 인접하게 형성되는 와이어들의 전기적인 간섭을 차단하여 주파수의 신호전달률을 증가시키고, 상기 제1 절연체(127)는 상기 와이어(125)와 상기 보조노이즈차단부(123) 사이에 발생될 수 있는 쇼트(short)를 방지할 수 있다.
한편, 고주파 신호를 감지하는 상기 동축 프로브 니들(120)의 경우 상기 팁(124)이 반도체에 소정의 압력을 가하며 접촉하게 되고, 소정의 압력에 의해 휘어지는 유연성이 부족하게 되면 상기 반도체의 표면에 파손이 발생할 수 있다.
이 경우, 상기 보조노이즈차단부(123)가 위치한 부분에 상기 제1 절연체(127), 상기 제2 절연체(128) 및 상기 동관(122)이 배치되면 상기 동축 프로브 니들(120)의 유연성이 감소하여 상기 반도체의 표면에 파손이 발생할 수 있다.
따라서, 상대적으로 두께가 크고 유연성이 부족한 상기 제1 절연체(127), 상기 제2 절연체(128) 및 상기 동관(122) 대신에 상대적으로 유연성이 있고 부피가 작은 상기 보조노이즈차단부(123)가 배치되면 반도체의 고주파를 감지하는 상기 동축 프로브 니들(120)의 유연성이 증가하면서도 고주파에 의한 간섭 등의 영향을 줄일 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 보조노이즈차단부(123)가 형성되는 상기 와이어(125)의 일부는 상기 보조노이즈차단부(123)에 의해 발생될 수 있는 쇼트를 최소화시키기 위해 상기 제1 절연체(127)가 상기 와이어(125)와 상기 보조노이즈차단부(123) 사이에 배치되어 상기 와이어(125)와 상기 보조노이즈차단부(123)의 접촉을 차단하게 된다.
또한, 상기 제1 절연체(127) 및 상기 보조노이즈차단부(123)가 차지하는 공간의 부피는 상기 제1 절연체(127), 상기 제2 절연체(128) 및 상기 동관(122)이 차지하는 부피보다 상대적으로 작으므로, 전기적 간섭을 최소화시킴과 동시에 기존의 와이어들이 형성되는 좁은 공간에 용이하게 배치될 수 있는 장점이 있다.
도 4는 도 1의 II-II' 선을 따라 절단한 단면도를 도시한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 연결부(140)는 일단이 상기 동축 프로브 니들(120)을 둘러싸며 결합되도록 원통형으로 형성되는 제1 도체(141), 상기 제1 도체(141)의 타단에서 외경이 확장되도록 연장되는 경사면(142) 및 상기 경사면의 타단에 결합되는 제2 도체(143)를 포함한다.
상기 연결부(140)는 원통형 형태로 형성되고, 내부에는 상기 연결부(140)의 일단에서 타단까지 연장되는 내부공간이 형성된다. 상기 연결부(140)의 일단에는 상기 연결부(140)의 타단보다 상대적으로 외경이 작은 상기 제1 도체(141)가 형성된다.
상기 제1 도체(141)는 소정의 거리만큼 연장되고, 상기 경사면(142)의 일단은 상기 제1 도체(141)의 타단에서부터 소정의 거리만큼 외경이 확장되도록 연장되어 형성된다. 상기 제2 도체(143)의 일단은 외경이 확장된 상기 경사면(142)과 결합하고, 소정의 거리만큼 연장된다.
따라서, 상기 동축 프로브 니들(120)과 상기 동축 프로브 니들(120)보다 상대적으로 부피가 큰 상기 동축케이블(160)을 서로 전기적으로 연결시키기 위해 상기 연결부(140)의 내부공간은 일단부터 타단을 향해 부피가 확장되는 구조를 가지게 된다.
상기 동축케이블(160)은 와이어 형태로 형성되는 내부도체(161), 상기 내부도체(161)를 둘러싸며 와이어 형태로 형성되는 케이블 절연체(162), 상기 케이블 절연체(162)를 둘러싸며 와이어 형태로 형성되는 외부도체(163) 및 상기 외부도체(163)를 둘러싸며 와이어 형태로 형성되는 외부커버(164)를 포함한다.
상기 내부도체(161)는 도전성 재료로 구성되고, 상기 연결부(140)를 통해 상기 동축 프로브 니들(120)과 전기적으로 연결되면, 상기 팁(124)에서 전달되는 고주파의 전기적 신호를 프로브카드로 전송하게 된다.
상기 케이블 절연체(162)는 상기 내부도체(161)의 표면과 밀착된 상태로 상기 내부도체(161)를 둘러싸며 형성되고, 상기 외부도체(163)는 상기 케이블 절연체(162)와 밀착된 상태로 상기 케이블 절연체(162)를 둘러싸며 형성된다.
상기 외부도체(163)는 도전성 물질로 형성되고, 외부에서 발생하는 전기적 간섭을 차단하여 상기 내부도체(161)에서 전기적 신호가 안정적으로 전송되도록 한다. 상기 케이블 절연체(162)는 상기 내부도체(161)와 상기 외부도체(163)가 접촉하여 쇼트가 발생하는 것을 방지하게 된다.
상기 외부커버(164)는 상기 외부도체(163)의 표면에 밀착된 상태로 상기 외부도체(163)를 둘러싸며 형성되고, 외부의 충격에 의한 상기 외부도체(163)의 파손 및 이로 인한 감전을 방지하며, 절연성, 탄성 및 강도를 가진 고분자로 구성되어 상기 동축케이블(160)의 내구성을 증가시킬 수 있다.
도 5는 도 3 및 도 4의 동축 프로브 니들, 연결부 및 동축 케이블의 결합된 구조를 나타내는 단면도를 도시한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 연결부(140)의 일단은 상기 동축 프로브 니들(120)의 타단 일부와 밀착된 상태로 둘러싸며 결합되고, 상기 연결부(140)의 타단은 상기 동축케이블(160)의 상기 외부도체(163)와 밀착된 상태로 상기 외부도체(163)를 둘러싸며 결합된다.
구체적으로, 상기 제1 도체(141)는 상기 동관(122)과 밀착된 상태에서 상기 동관(122)의 일부를 둘러싸며 결합되고, 상기 제2 도체(143)는 상기 연결부(140)의 내부로 돌출된 상기 외부도체(163)와 밀착된 상태에서 상기 외부도체(163)를 둘러싸며 결합된다.
그리고 상기 와이어(125)는 상기 연결부(140)의 내부에서 상기 내부도체(161)와 연결되고, 상기 연결부(140)의 내부는 전기 전도도 및 절연 성능의 개선을 위해 진공으로 형성될 수 있다.
상기 동축 프로브 니들(120), 상기 연결부(140) 및 상기 동축케이블(160)의 결합 과정을 살펴보면, 상기 와이어(125)와 상기 내부도체(161)가 제1차 솔더링(500)을 통해 결합된다.
상기 와이어(125)와 상기 내부도체(161)가 결합된 후 상기 동축 프로브 니들(120)이 상기 연결부(140)의 내부로 삽입되고, 상기 연결부(140)는 상기 동축케이블(160)을 향해 슬라이딩 이동하게 된다.
상기 제2 도체(143)가 상기 외부도체(163)와 접촉되면 상기 제2 도체(143)와 상기 외부도체(163)는 제2차 솔더링(510)을 통해 결합된다. 그리고 상기 제1 도체(141)와 상기 동관(122)을 제3차 솔더링(520)을 통해 결합시켜 상기 동축 프로브 니들(120), 상기 연결부(140) 및 상기 동축케이블(160)의 결합 과정을 마무리하게 된다.
여기서, 상기 제1 도체(141) 및 상기 제2 도체(143)와 각각 연결되는 상기 동관(122) 및 상기 외부도체(163) 각각은 솔더링이 아닌 도전성 접착물질을 통해 서로 결합될 수 있다.
따라서, 상기 외부도체(163)와 전기적으로 연결되는 상기 동관(122)은 외부의 전기적 간섭을 차단하여 상기 와이어(125)를 통해 흐르는 고주파 전기신호의 안정적인 전송이 가능하다.
또한, 상기 보조노이즈차단부(123)는 상기 동관(122)과 솔더링을 통해 전기적으로 연결되고, 상기 동관(122)보다 외부의 전기적 간섭의 차단 기능이 상대적으로 감소하지만, 인접한 와이어들에서 발생되는 전기적 간섭은 차단하면서 부피 및 중량이 감소하는 장점이 있다.
또한, 상기 제1 도체(141) 및 상기 제2 도체(143)는 외부의 전기적 간섭을 차단하여 상기 연결부(140) 내부에 형성되는 상기 와이어(125) 및 상기 내부도체(161)에 흐르는 고주파 전기신호의 안정적인 전송이 가능한 장점이 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 프로브카드 11: 보강판
12: LIF 커넥터 13: 인쇄회로기판
14: 세라믹링 15: 웨이퍼
100: 동축 프로브 니들장치 120: 동축 프로브 니들
121: 캔틸레버 니들 122: 동관
123: 보조노이즈차단부 124: 팁
125: 와이어 126: 절연부
127: 제1 절연체 128: 제2 절연체
140: 연결부 160: 동축 케이블
161: 내부도체 162: 케이블 절연체
163: 외부도체 164: 외부커버
500: 제1차 솔더링 510: 제2차 솔더링
520: 제3차 솔더링

Claims (8)

  1. 반도체 검사용 프로브카드에 구비되고, 동축케이블에 연결되는 동축 프로브 니들장치에 있어서,
    일단을 향해 날카롭게 형성되는 팁과 상기 팁의 타단으로 연장되도록 형성되는 와이어로 구성되는 캔틸레버 니들;
    상기 와이어를 둘러싸며 절연물질로 형성되는 제1 절연체로 구성된 절연부;
    상기 절연부의 일부를 둘러싸는 동관; 및
    상기 팁의 타단과 상기 동관 사이에서 코일스프링으로 형성되고, 상기 코일 스프링은 상기 동관과 연결되는 보조노이즈차단부;를 포함하는 동축 프로브 니들을 포함하는 동축 프로브 니들장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    일단은 상기 동관의 외부를 둘러싸며 결합되고 타단은 외경이 확장 형성되고 소정의 거리만큼 연장되어 상기 동축 케이블과 결합되는 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 동축 프로브 니들장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 연결부는,
    원통형으로 형성되고 일단이 상기 동관과 결합되는 제1 도체;
    상기 제1 도체의 타단에서 외경이 확장되도록 연장되는 경사면; 및
    상기 경사면의 타단에 결합되는 제2 도체를 포함하는 것을 특징으로 하는 동축 프로브 니들장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1도체는,
    상기 동관의 일부를 둘러싸며 결합되는 것을 특징으로 하는 동축 프로브 니들장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 제2 도체는,
    상기 동축케이블의 중심에 형성되는 내부도체와 절연층을 사이에 두고 상기 내부도체를 둘러싸며 형성되는 외부도체와 결합되는 것을 특징으로 하는 동축 프로브 니들장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 와이어는,
    상기 연결부의 내부에서 상기 동축케이블의 중심에 형성되는 내부도체와 결합되는 것을 특징으로 하는 동축 프로브 니들장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 절연부는,
    상기 동관과 상기 제1 절연체 사이에 배치되는 제2 절연체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 동축 프로브 니들장치.





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