JP7243860B2 - 検査用プローブ装置及びコネクタ検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、同軸ケーブルに接続される検査用プローブ装置及びコネクタ検査方法に関する。

従来の検査用プローブ装置に関する発明としては、例えば、特許文献１に記載の自動検査機のプラグが知られている。自動検査機のプラグは、信号端子及びアース端子を備えている。アース端子は、上下方向に延びる中心軸を有する円筒形状を有する。アース端子は、底面を有している。アース端子の底面の中心には孔が設けられている。信号端子は、上下方向に延びるピンである。信号端子は、アース端子の内部において上下方向に延びている。また、信号端子は、アース端子の底面の孔を介してアース端子から下方向に突出している。

このような自動検査機のプラグは、スイッチ付きコネクタの検査に利用される。スイッチ付きコネクタの上面には、孔が設けられている。信号端子は、この孔を介してスイッチ付きコネクタの内部に挿入される。これにより、信号端子は、スイッチ付きコネクタの中心導体に接触する。また、アース端子の下面は、スイッチ付きコネクタの上面に接触する。これにより、アース端子は、スイッチ付きコネクタの外部導体に接触する。

特開平９－２２３５４８号公報

ところで、特許文献１に記載の自動検査機のプラグでは、自動検査機のプラグとスイッチ付きコネクタとを精度よく位置合わせをした状態で、信号端子をスイッチ付きコネクタの孔に挿入する必要がある。このような自動検査機のプラグとスイッチ付きコネクタとの位置合わせを容易に行いたいという要望が存在する。

そこで、本発明の目的は、コネクタに対する中心プランジャの位置合わせを容易に行うことができる検査用プローブ装置及びコネクタ検査方法を提供することである。

本発明の一形態に係る検査用プローブ装置は、
中心導体線と、前記中心導体線の周囲を囲んでいる外部導体と、前記中心導体線と前記外部導体とを絶縁している絶縁体と、を備える同軸ケーブルの端部に接続される検査用プローブ装置であって、
前記中心導体線に電気的に接続され、かつ、上下方向に延びる中心プランジャと、
前記外部導体に電気的に接続され、かつ、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる外部プランジャと、
前記中心プランジャと前記外部プランジャとを絶縁し、かつ、前記外部プランジャの下端から下方向に突出するように前記外部プランジャに固定されている絶縁部材であって、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる絶縁部材と、
を備えており、
前記中心プランジャは、前記絶縁部材の下端より下方向に突出しており、
前記絶縁部材において前記外部プランジャの下端より下に位置する部分を絶縁部材接触部と定義し、
前記絶縁部材接触部は、下方向に向かって先細りする形状を有する部分を含んでいる。

以下に、本明細書における用語の定義について説明する。本明細書において、前後方向に延びる軸や部材は、必ずしも前後方向と平行である軸や部材だけを示すものではない。前後方向に延びる軸や部材とは、前後方向に対して±４５°の範囲で傾斜している軸や部材のことである。同様に、上下方向に延びる軸や部材とは、上下方向に対して±４５°の範囲で傾斜している軸や部材のことである。左右方向に延びる軸や部材とは、左右方向に対して±４５°の範囲で傾斜している軸や部材のことである。

以下に、本明細書における部材の位置関係について定義する。第１部材ないし第３部材は、検査用プローブ装置の構成である。本明細書において、前後方向に並ぶ第１部材及び第２部材とは、以下の状態を示す。前後方向に垂直な方向に第１部材及び第２部材を見たときに、第１部材及び第２部材の両方が前後方向を示す任意の直線上に配置されている状態である。本明細書において、上下方向に見たときに前後方向に並ぶ第１部材及び第２部材とは、以下の状態を示す。上下方向に第１部材及び第２部材を見たときに、第１部材及び第２部材の両方が前後方向を示す任意の直線上に配置されている。この場合、上下方向とは異なる左右方向から第１部材及び第２部材を見ると、第１部材及び第２部材のいずれか一方が前後方向を示す任意の直線上に配置されていなくてもよい。なお、第１部材と第２部材とが接触していてもよい。第１部材と第２部材とが離れていてもよい。第１部材と第２部材との間に第３部材が存在していてもよい。この定義は、前後方向以外の方向にも適用される。

本明細書において、第１部材が第２部材の前に配置されるとは、以下の状態を指す。第１部材の少なくとも一部は、第２部材が前方向に平行移動するときに通過する領域内に配置されている。よって、第１部材は、第２部材が前方向に平行移動するときに通過する領域内に収まっていてもよいし、第２部材が前方向に平行移動するときに通過する領域から突出していてもよい。この場合、第１部材及び第２部材は、前後方向に並んでいる。この定義は、前後方向以外の方向にも適用される。

本明細書において、左右方向に見たときに、第１部材が第２部材の前に配置されるとは、以下の状態を指す。左右方向に見たときに、第１部材と第２部材が前後方向に並んでおり、かつ、左右方向に見たときに、第１部材の第２部材と対向する部分が、第２部材の前に配置される。この定義において、第１部材と第２部材は、３次元では、前後方向に並んでいなくてもよい。この定義は、前後方向以外の方向も適用される。

本明細書において、第１部材が第２部材より前に配置されるとは、以下の状態を指す。第１部材は、第２部材の前端を通り前後方向に直交する平面の前に配置される。この場合、第１部材及び第２部材は、前後方向に並んでいてもよく、並んでいなくてもよい。この定義は、前後方向以外の方向にも適用される。

本明細書において、特に断りのない場合には、第１部材の各部について以下のように定義する。第１部材の前部とは、第１部材の前半分を意味する。第１部材の後部とは、第１部材の後半分を意味する。第１部材の左部とは、第１部材の左半分を意味する。第１部材の右部とは、第１部材の右半分を意味する。第１部材の上部とは、第１部材の上半分を意味する。第１部材の下部とは、第１部材の下半分を意味する。第１部材の前端とは、第１部材の前方向の端を意味する。第１部材の後端とは、第１部材の後方向の端を意味する。第１部材の左端とは、第１部材の左方向の端を意味する。第１部材の右端とは、第１部材の右方向の端を意味する。第１部材の上端とは、第１部材の上方向の端を意味する。第１部材の下端とは、第１部材の下方向の端を意味する。第１部材の前端部とは、第１部材の前端及びその近傍を意味する。第１部材の後端部とは、第１部材の後端及びその近傍を意味する。第１部材の左端部とは、第１部材の左端及びその近傍を意味する。第１部材の右端部とは、第１部材の右端及びその近傍を意味する。第１部材の上端部とは、第１部材の上端及びその近傍を意味する。第１部材の下端部とは、第１部材の下端及びその近傍を意味する。

本明細書における任意の２つの部材を第１部材及び第２部材と定義した場合、任意の２つの部材の関係は以下のような意味になる。本明細書において、第１部材が第２部材に支持されているとは、第１部材が第２部材に対して移動不可能に第２部材に取り付けられている（すなわち、固定されている）場合、及び、第１部材が第２部材に対して移動可能に第２部材に取り付けられている場合を含む。また、第１部材が第２部材に支持されているとは、第１部材が第２部材に直接に取り付けられている場合、及び、第１部材が第３部材を介して第２部材に取り付けられている場合の両方を含む。

本明細書において、第１部材が第２部材に保持されているとは、第１部材が第２部材に対して移動不可能に第２部材に取り付けられている（すなわち、固定されている）場合を含み、第１部材が第２部材に対して移動可能に第２部材に取り付けられている場合を含まない。また、第１部材が第２部材に保持されているとは、第１部材が第２部材に直接に取り付けられている場合、及び、第１部材が第３部材を介して第２部材に取り付けられている場合の両方を含む。

本明細書において、「第１部材と第２部材とが電気的に接続される」とは、第１部材と第２部材との間で電気が導通していることを意味する。従って、第１部材と第２部材とが接触していてもよいし、第１部材と第２部材とが接触していなくてもよい。第１部材と第２部材とが接触していない場合には、第１部材と第２部材との間に導電性を有する第３部材が配置されている。

本発明に係る検査用プローブ装置によれば、コネクタに対する中心プランジャの位置合わせを容易に行うことができる。

図１は、検査用ユニット１０の外観斜視図である。 図２は、検査用プローブ装置１００の下部の拡大図である。 図３は、検査用プローブ装置１００のＡ－Ａにおける断面図である。 図４は、検査用ユニット１０の分解斜視図である。 図５は、ケーブルアダプタ１０５、信号ピン１２０、ソケット１２３、ブッシング１２４，１２６の斜視図である。 図６は、ケーブルアダプタ１０５、信号ピン１２０、ソケット１２３、ブッシング１２４，１２６の分解斜視図である。 図７は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００及びコネクタ３００の断面図である。 図８は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００及びコネクタ３００の断面図である。 図９は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００及びコネクタ３００の断面図である。 図１０は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００及びコネクタ３００の断面図である。 図１１は、検査用プローブ装置１００ａの外観斜視図である。 図１２は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００ａ及びコネクタ３００Ｌ，３００Ｒの断面図である。 図１３は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００ａ及びコネクタ３００Ｌ，３００Ｒの断面図である。 図１４は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００ａ及びコネクタ３００Ｌ，３００Ｒの断面図である。 図１５は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００ａ及びコネクタ３００Ｌ，３００Ｒの断面図である。

（実施形態）
［検査用プローブ装置の構造］
以下に、本発明の実施形態に係る検査用プローブ装置１００を備える検査用ユニット１０の構造について図面を参照しながら説明する。図１は、検査用ユニット１０の外観斜視図である。図２は、検査用プローブ装置１００の下部の拡大図である。図３は、検査用プローブ装置１００のＡ－Ａにおける断面図である。図４は、検査用ユニット１０の分解斜視図である。図５は、ケーブルアダプタ１０５、信号ピン１２０、ソケット１２３、ブッシング１２４，１２６の斜視図である。図６は、ケーブルアダプタ１０５、信号ピン１２０、ソケット１２３、ブッシング１２４，１２６の分解斜視図である。

図１に示すように上下方向、左右方向及び前後方向を定義する。ただし、上下方向、左右方向及び前後方向は、説明のために定義した方向である。従って、検査用ユニット１０の実際の使用時における上下方向、左右方向及び前後方向は、本明細書の上下方向、左右方向及び前後方向と一致していなくてよい。また、上下方向は、各図面の上下方向と逆であってもよい。左右方向は、各図面の左右方向と逆であってもよい。前後方向は、各図面の前後方向と逆であってもよい。

検査用ユニット１０は、電子機器内を伝送される高周波信号の測定に用いられる。検査用ユニット１０は、図１に示すように、検査用プローブ装置１００、外部接続用コネクタ２００及び同軸ケーブル２０２を備えている。外部接続用コネクタ２００は、図示しない測定機器に接続される。外部接続用コネクタ２００の構造は一般的な構造であるので説明を省略する。

同軸ケーブル２０２は、検査用プローブ装置１００に挿入されていると共に、外部接続用コネクタ２００に挿入されている。同軸ケーブル２０２は、図３及び図６に示すように、中心導体線２０４、外部導体２０６、絶縁体２０８及び被膜２１０を備えている。中心導体線２０４は、同軸ケーブル２０２の芯線である。従って、中心導体線２０４は、同軸ケーブル２０２の中心に位置している。中心導体線２０４は、低抵抗な導体により作製されている。中心導体線２０４は、例えば、銅により作製されている。

外部導体２０６は、中心導体線２０４の周囲を囲んでいる。従って、外部導体２０６は、同軸ケーブル２０２が延びる方向に直交する断面において、円環形状を有している。このような外部導体２０６は、例えば、細い導線が編まれることにより作製されている。外部導体２０６は、低抵抗な導体により作製されている。外部導体２０６は、例えば、銅により作製されている。

絶縁体２０８は、中心導体線２０４と外部導体２０６とを絶縁している。絶縁体２０８は、中心導体線２０４と外部導体２０６との間に位置している。絶縁体２０８は、中心導体線２０４の周囲を囲んでいる。絶縁体２０８の周囲は、外部導体２０６により囲まれている。絶縁体２０８は、同軸ケーブル２０２が延びる方向に直交する断面において、円環形状を有している。絶縁体２０８は、絶縁性を有する樹脂により作製されている。絶縁体２０８は、例えば、ポリエチレンにより作製されている。

被膜２１０は、外部導体２０６の周囲を囲んでいる。従って、被膜２１０は、同軸ケーブル２０２が延びる方向に直交する断面において、円環形状を有している。被膜２１０は、絶縁性を有する樹脂により作製されている。被膜２１０は、例えば、ポリエチレンにより作製されている。ただし、被膜２１０には、複数の孔が設けられていない、又は、絶縁体２０８より少ない孔が設けられている。そのため、被膜２１０は、絶縁体２０８より変形しにくい。

同軸ケーブル２０２の下端部では、外部導体２０６、絶縁体２０８及び被膜２１０が除去されることにより、中心導体線２０４が、同軸ケーブル２０２から露出している。また、中心導体線２０４が露出している部分より上において被膜２１０が除去されることにより、外部導体２０６が、同軸ケーブル２０２から露出している。

検査用プローブ装置１００は、図１及び図２に示すように、同軸ケーブル２０２の端部に接続されている。本実施形態では、検査用プローブ装置１００は、同軸ケーブル２０２の下端部に接続されている。検査用プローブ装置１００は、図１ないし図３に示すように、外部プランジャ１０２、ハウジング１０４、ケーブルアダプタ１０５、フランジ１０６、スプリング１０８、信号ピン１２０、ソケット１２３、ブッシング１２４（絶縁部材）及びブッシング１２６を備えている。

ケーブルアダプタ１０５は、図３に示すように、外部導体２０６に電気的に接続されている。ケーブルアダプタ１０５は、図４ないし図６に示すように、円筒形状を有している。同軸ケーブル２０２は、ケーブルアダプタ１０５に挿入されている。これにより、ケーブルアダプタ１０５は、外部導体２０６を保持している。また、外部導体２０６の外周面は、図３に示すように、ケーブルアダプタ１０５の内周面に接触している。これにより、ケーブルアダプタ１０５は、外部導体２０６に電気的に接続されている。ケーブルアダプタ１０５は、グランド電位に接続されている。ケーブルアダプタ１０５は、導電性の高い金属により作製されている。ケーブルアダプタ１０５は、例えば、ＳＵＳにより作製されている。

ソケット１２３は、図３に示すように、中心導体線２０４に電気的に接続されている。ただし、ソケット１２３は、外部導体２０６に電気的に接続されていない。より詳細には、ソケット１２３は、同軸ケーブル２０２の下端部に取り付けられている。そのため、ソケット１２３は、ケーブルアダプタ１０５の下に配置されている。ソケット１２３は、図６に示すように、上下方向に延びる中心軸線を有する円筒形状を有している。ソケット１２３の上端部は、開口している。ソケット１２３の下端部は、開口していない。ただし、ソケット１２３の下端部は、開口していてもよい。同軸ケーブル２０２の下端部では中心導体線２０４が露出している。中心導体線２０４は、ソケット１２３の上端部の開口からソケット１２３の内部に挿入されている。中心導体線２０４は、半田によりソケット１２３に固定されている。これにより、中心導体線２０４は、ソケット１２３に電気的に接続されている。ただし、ソケット１２３は、外部導体２０６に接触していない。これにより、ソケット１２３は、外部導体２０６に電気的に接続されていない。以上のような構造を有するソケット１２３は、例えば、黄銅により作製されている。

信号ピン１２０は、比較的に高い周波数を有する高周波信号が印加される端子である。比較的に高い周波数を有する高周波信号は、例えば、０．３ＧＨｚ～０．３ＴＨｚの周波数を有するミリ波やマイクロ波である。信号ピン１２０は、図３ないし図６に示すように、上下方向に延びる棒状部材である。信号ピン１２０の上端は、図３に示すように、ソケット１２３の下端に接触している。これにより、信号ピン１２０は、ソケット１２３に電気的に接続されている。すなわち、信号ピン１２０は、中心導体線２０４に電気的に接続されている。

信号ピン１２０は、図３に示すように、筒部１２０２、中心プランジャ１２０４及びスプリング１２０８を含んでいる。筒部１２０２は、上下方向に延びる中心軸線を有する円筒形状を有している。筒部１２０２の形状は、六角柱等の多角柱形状であってもよい。筒部１２０２の下端は、開口している。筒部１２０２の上端は、開口していない。筒部１２０２の下端部の直径は、筒部１２０２の残余の部分の直径より小さい。すなわち、筒部１２０２は、筒部１２０２の下端部が少し絞られた形状を有している。

中心プランジャ１２０４は、図３に示すように、上下方向に延びる棒状部材である。中心プランジャ１２０４の下端部は、下方向に突出する凸曲面である。中心プランジャ１２０４の上部は、筒部１２０２の内部に位置している。中心プランジャ１２０４の下部は、筒部１２０２の外に位置している。ただし、中心プランジャ１２０４の上部の直径は、中心プランジャ１２０４の残余の部分の直径より大きい。これにより、中心プランジャ１２０４は、筒部１２０２を下方向に通過することができない。

スプリング１２０８は、図３に示すように、筒部１２０２の内部に配置されている。スプリング１２０８の下端は、中心プランジャ１２０４の上端に接触している。スプリング１２０８の上端は、筒部１２０２の内周面の上端に接触している。これにより、スプリング１２０８（弾性体）は、中心プランジャ１２０４を下方向に押している。信号ピン１２０は、スプリング１２０８が伸縮することにより、上下方向に伸縮することができる。

ところで、筒部１２０２の上端は、図３に示すように、ソケット１２３の下端に接触している。そのため、中心プランジャ１２０４は、筒部１２０２、スプリング１２０８及びソケット１２３を介して、中心導体線２０４に電気的に接続されている。以上のような信号ピン１２０は、例えば、黄銅により作製されている。

外部プランジャ１０２は、図２ないし図４に示すように、上下方向に延びる筒状部材である。本実施形態では、外部プランジャ１０２は、上下方向に延びる中心軸線を有する円筒形状を有している。外部プランジャ１０２には、図３に示すように、上下方向に延びる貫通孔Ｈ１が設けられている。貫通孔Ｈ１は、外部プランジャ１０２の上端から下端までを貫通している。外部プランジャ１０２は、上下方向に見て、信号ピン１２０の周囲を囲んでいる。従って、信号ピン１２０は、貫通孔Ｈ１において上下方向に延びている。ただし、外部プランジャ１０２は、信号ピン１２０に電気的に接続されていない。

また、外部プランジャ１０２の貫通孔Ｈ１の内周面は、図３に示すように、ケーブルアダプタ１０５の外周面に接触している。これにより、外部プランジャ１０２は、ケーブルアダプタ１０５を介して外部導体２０６に電気的に接続されている。外部プランジャ１０２は、グランド電位に接続されている。以上のような外部プランジャ１０２は、導電性の高い金属により作製されている。外部プランジャ１０２は、例えば、ＳＵＳにより作製されている。

ブッシング１２６は、図３に示すように、外部プランジャ１０２とソケット１２３とを絶縁している。ブッシング１２６は、図３に示すように、上下方向に見て、ソケット１２３の周囲を囲んでいる。ブッシング１２６は、上下方向に延びる中心軸線を有する円筒形状を有している。ブッシング１２６の中心軸線は、ソケット１２３の中心軸線と一致する。ソケット１２３は、ブッシング１２６の内部に挿入されている。ブッシング１２６は、外部プランジャ１０２の貫通孔Ｈ１の内部に配置されている。ブッシング１２６は、絶縁性を有する樹脂により作製されている。ブッシング１２６は、例えば、エポキシ樹脂により作製されている。これにより、ソケット１２３は、外部プランジャ１０２と絶縁されている。

ブッシング１２４（絶縁部材）は、図３に示すように、中心プランジャ１２０４と外部プランジャ１０２とを絶縁している。ブッシング１２４は、図３ないし図５に示すように、上下方向に見て、中心プランジャ１２０４の周囲を囲んでいる。ブッシング１２４は、上下方向に見て、円形状を有している。中心プランジャ１２０４は、ブッシング１２４を上下方向に貫通している。そのため、中心プランジャ１２０４は、ブッシング１２４（絶縁部材）の下端より下方向に突出している。また、上下方向に見て、中心プランジャ１２０４とブッシング１２４（絶縁部材）との間には隙間が存在する。そのため、ブッシング１２４は、中心プランジャ１２０４を保持していない。従って、中心プランジャ１２０４は、スプリング１２０８の伸縮により、ブッシング１２４に対して上下方向に変位することができる。

ところで、ブッシング１２４は、図３に示すように、ブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）及びブッシング非接触部１２４ｂを有する。ブッシング非接触部１２４ｂは、外部プランジャ１０２の貫通孔Ｈ１の内部に位置している部分である。ブッシング非接触部１２４ｂの外周面は、貫通孔Ｈ１の内周面に接触している。これにより、ブッシング非接触部１２４ｂは、外部プランジャ１０２に固定されている。また、ブッシング接触部１２４ａは、ブッシング１２４において外部プランジャ１０２の貫通孔Ｈ１外に位置している部分である。すなわち、ブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）は、ブッシング１２４（絶縁部材）において外部プランジャ１０２の下端より下に位置している部分である。このように、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されている。

以下に、ブッシング接触部１２４ａの形状についてより詳細に説明する。ブッシング接触部１２４ａは、図３に示すように、ブッシング非接触部１２４ｂの下に位置する。ブッシング接触部１２４ａは、下方向に向かって先細りする形状を有する部分を含んでいる。本実施形態では、ブッシング接触部１２４ａは、下方向に向かって先細りする形状を有している。具体的には、ブッシング接触部１２４ａは、図２に示すように、円錐台形状を有している。図３に示すように、上下方向に直交する断面を断面Ｄと定義する。更に、上下方向に直交する２つの断面を上断面Ｄ１及び下断面Ｄ２と定義する。上断面Ｄ１は、下断面Ｄ２より上に位置している。なお、図３では、断面Ｄと下断面Ｄ２とは一致しているが、断面Ｄと下断面Ｄ２とは一致していなくてもよい。

上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）の外縁に囲まれた領域の面積は、断面Ｄが下方向に移動するにしたがって減少している。ここで、ブッシング接触部１２４ａには上下方向に貫通する孔が設けられている。従って、上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａは、外側の円と内側の円とを輪郭として有している。本明細書では、上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）の外縁とは、内側の円と外側の円との内の外側の円を指す。更に、上断面Ｄ１と下断面Ｄ２との全ての組み合わせにおいて、下断面Ｄ２におけるブッシング接触部１２４ａの外縁が、上下方向に見て、上断面Ｄ１におけるブッシング接触部１２４ａの外縁に収まる関係が成立している。換言すれば、以下の２つの条件が満たされている。

条件１：下断面Ｄ２におけるブッシング接触部１２４ａの外縁は、下断面Ｄ２より上に位置する全ての上断面Ｄ１におけるブッシング接触部１２４ａの外縁に収まっている。
条件２：条件１がブッシング接触部１２４ａにおける全ての下断面Ｄ２において成立している。

従って、ブッシング接触部１２４ａは、断面Ｄが下に移動するにしたがって、前後方向及び左右方向の幅が細くなっていく形状を有している。特に、上下方向に見て、ブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）の外縁の形状は、円である。更に、上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）の外縁に囲まれた領域の面積は、断面Ｄが下方向に移動するにしたがって連続的に減少している。そのため、ブッシング接触部１２４ａは、前記の通り、円錐台形状を有している。

ハウジング１０４は、図３に示すように、上下方向に延びる筒状部材である。ハウジング１０４には、上下方向に延びる貫通孔Ｈ２が設けられている。貫通孔Ｈ２は、ハウジング１０４の上端から下端までを貫通している。ハウジング１０４の下端部は、外部プランジャ１０２の上端部に挿入されている。これにより、ハウジング１０４は、外部プランジャ１０２の上に位置するように外部プランジャ１０２に支持されている。更に、上下方向に見て、貫通孔Ｈ１と貫通孔Ｈ２とは重なっている。同軸ケーブル２０２は、貫通孔Ｈ２の内部を上下方向に通過している。このようなハウジング１０４は、導電性の高い金属により作製されている。ハウジング１０４は、例えば、ＳＵＳにより作製されている。

フランジ１０６は、板形状を有する部材である。フランジ１０６は、下方向に見たときに、長方形状を有する。フランジ１０６は、上下方向において、ハウジング１０４の上端部近傍に配置される。フランジ１０６には、上下方向に延びる貫通孔Ｈ３が設けられている。ハウジング１０４は、貫通孔Ｈ３内を上下方向に通過している。ただし、ハウジング１０４の上端部の直径は、フランジ１０６の貫通孔Ｈ３の直径より大きい。そのため、ハウジング１０４は、貫通孔Ｈ３を下方向に向かって抜けることができない。このようなフランジ１０６は、導電性の高い金属により作製されている。フランジ１０６は、例えば、ＳＵＳにより作製されている。

スプリング１０８は、フランジ１０６を上方向に押している。スプリング１０８は、外部プランジャ１０２を下方向に押している。より詳細には、スプリング１０８の上端は、フランジ１０６の下面に固定されている。スプリング１０８の下端は、外部プランジャ１０２の上端に固定されている。そのため、外部プランジャ１０２が上方向に押されると、スプリング１０８が縮んで、外部プランジャ１０２及びハウジング１０４がフランジ１０６に対して上方向に変位する。

次に、検査用プローブ装置１００を用いてコネクタ３００を検査するコネクタ検査方法について図面を参照しながら説明する。図７ないし図１０は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００及びコネクタ３００の断面図である。

まず、コネクタ３００について説明する。コネクタ３００は、コネクタ中心導体３０２、コネクタ外部導体３０４及びコネクタ絶縁体３０６を備えている。コネクタ中心導体３０２には、検査時に、中心プランジャ１２０４が接触する。コネクタ中心導体３０２は、図７に示すように上下方向に延びるピンである。

コネクタ外部導体３０４には、検査時に、外部プランジャ１０２が接触する。コネクタ外部導体３０４は、上下方向に見て、コネクタ中心導体３０２の周囲を囲んでいる。コネクタ外部導体３０４は、上下方向に延びる中心軸線を有する円筒形状を有している。

コネクタ絶縁体３０６は、コネクタ中心導体３０２とコネクタ外部導体３０４とを絶縁している。コネクタ絶縁体３０６は、ブッシング接触部１２４ａ（絶縁体接触部）の形状に倣った形状を有している。従って、コネクタ絶縁体３０６は、凹曲面Ｓを有している。凹曲面Ｓは、下方向に見て、視認することができる。以下に、コネクタ絶縁体３０６の凹曲面Ｓについて説明する。

図７に示すように、上下方向に直交する断面を断面ｄと定義する。更に、上下方向に直交する２つの断面を上断面ｄ１及び下断面ｄ２と定義する。上断面ｄ１は、下断面ｄ２より上に位置している。なお、図７では、断面ｄと下断面ｄ２とは一致しているが、断面ｄと下断面ｄ２とは一致していなくてもよい。

上下方向に直交する断面ｄにおける凹曲面Ｓに囲まれた領域の面積は、断面ｄが下方向に移動するにしたがって減少している。更に、上断面ｄ１と下断面ｄ２との全ての組み合わせにおいて、下断面ｄ２における凹曲面Ｓが、上下方向に見て、上断面ｄ１における凹曲面Ｓの外縁に収まる関係が成立している。

本実施形態に係るコネクタ検査方法では、検査用プローブ装置１００の中心プランジャ１２０４とコネクタ絶縁体３０６を接触させることにより、コネクタ中心導体３０２に対する中心プランジャ１２０４の上下方向に直交する方向の位置合わせを行う。更に、本実施形態に係るコネクタ検査方法では、検査用プローブ装置１００のブッシング接触部１２４ａをコネクタ絶縁体３０６に接触させることにより、コネクタ中心導体３０２に対する中心プランジャ１２０４の上下方向に直交する方向の位置合わせを行う。

まず、検査用プローブ装置１００は、図７に示すように、コネクタ３００の上にセットされる。そして、検査用プローブ装置１００が下降させられる。中心プランジャ１２０４の下端は、外部プランジャ１０２及びブッシング接触部１２４ａの下端より下方向に突出している。これにより、中心プランジャ１２０４の下端は、図８に示すように、コネクタ絶縁体３０６の凹曲面Ｓに接触する。検査用プローブ装置１００が下降させられると、中心プランジャ１２０４は、上下方向に見てコネクタ絶縁体３０６の中心に位置するコネクタ中心導体３０２に導かれる。その結果、中心プランジャ１２０４は、図９に示すように、コネクタ中心導体３０２と接触する。ただし、この段階では、ブッシング接触部１２４ａは、コネクタ絶縁体３０６に接触していない。

検査用プローブ装置１００が更に下降させられると、スプリング１２０８が縮む。これにより、外部プランジャ１０２及びブッシング１２４が下降させられる。そして、ブッシング接触部１２４ａは、コネクタ絶縁体３０６の凹曲面Ｓに接触する。コネクタ絶縁体３０６の凹曲面Ｓは、ブッシング接触部１２４ａに倣った形状を有する。そのため、図１０に示すように、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６に密着する。この際、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６から上下方向に直交する方向に力を受けることにより、コネクタ中心導体３０２に対する中心プランジャ１２０４の上下方向に直交する方向の位置合わせが行われる。なお、図示を省略するが、図１０の状態では、中心プランジャ１２０４の破損の防止のために、スプリング１０８が縮んで、外部プランジャ１０２がフランジ１０６に対して上方向に変位している。以上の動作により、検査用プローブ装置１００に接続された測定装置は、コネクタ３００への接続性を確保しながら、比較的に高い周波数を有する高周波信号を測定することができる。

［効果］
検査用プローブ装置１００によれば、コネクタ３００に対する中心プランジャ１２０４の位置合わせを容易に行うことができる。より詳細には、ブッシング接触部１２４ａは、下方向に向かって先細りする形状を有している。そこで、コネクタ３００のコネクタ絶縁体３０６がブッシング接触部１２４ａの形状に倣った形状を有していればよい。これにより、検査用プローブ装置１００が下降しているときにブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）がコネクタ絶縁体３０６に接触することにより、コネクタ中心導体３０２に対する中心プランジャ１２０４の上下方向に直交する方向の位置合わせが行われるようになる。その結果、検査用プローブ装置１００によれば、コネクタ３００に対する中心プランジャ１２０４の位置合わせを容易に行うことができる。

検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の構造を簡素化できる。より詳細には、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されている。これにより、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位しない。従って、検査用プローブ装置１００では、ブッシング１２４を外部プランジャ１０２に対して上下動させる機構（例えば、スプリング）が不要となる。その結果、検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の構造を簡素化できる。

検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００が破損しにくい。より詳細には、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されている。これにより、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位しない。そのため、ブッシング１２４が外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位できるように、ブッシング１２４と外部プランジャ１０２との間に小さな隙間が形成されなくてもよい。ブッシング１２４が外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されていることにより、ブッシング１２４が外部プランジャ１０２に対して上下方向に直交する方向に変位しにくくなる。その結果、ブッシング１２４がコネクタ３００から上下方向に直交する方向に力を受けたとしても、ブッシング１２４が中心プランジャ１２０４に上下方向に直交する方向に力を及ぼすことが抑制される。以上より、中心プランジャ１２０４が折れ曲がることが抑制される。

検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の高周波特性の劣化が抑制されると共に、検査用プローブ装置１００の検査精度の劣化が抑制される。より詳細には、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されている。これにより、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位しない。そのため、ブッシング１２４が外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位できるように、ブッシング１２４と外部プランジャ１０２との間に小さな隙間が形成されなくてもよい。ブッシング１２４が外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されていることにより、ブッシング１２４が外部プランジャ１０２に対して上下方向に直交する方向に変位しにくくなる。その結果、ブッシング１２４がコネクタ３００から上下方向に直交する方向に力を受けたとしても、ブッシング１２４が中心プランジャ１２０４に上下方向に直交する方向に力を及ぼすことが抑制される。よって、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２に対して上下方向に直交する方向にずれた状態で接触することが抑制される。以上より、検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の高周波特性の劣化が抑制されると共に、検査用プローブ装置１００の検査精度の劣化が抑制される。

検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の高周波特性の劣化が抑制されると共に、検査用プローブ装置１００の検査精度の劣化が抑制される。より詳細には、ブッシングが外部プランジャに固定されていない場合、ブッシング及び中心プランジャが外部プランジャに対して上下方向に変位できる。この場合、ブッシング及び中心プランジャがそれぞれ独立して上下方向に変位できる。その結果、ブッシングがコネクタ絶縁体に密着せずにずれて接触した状態で、中心プランジャがコネクタ中心導体に接触する場合がある。ブッシング及び中心プランジャがそれぞれ独立して上下方向に変位できるので、検査用プローブ装置を下降させても、ブッシングが外部プランジャに密着せずに、ブッシングが外部プランジャに対して上下方向に変位する。その結果、中心プランジャがコネクタ中心導体に対して上下方向に直交する方向にずれた状態で接触する。このような場合、検査用プローブ装置の高周波特性が劣化すると共に、検査用プローブ装置の検査精度が劣化する。

そこで、検査用プローブ装置１００では、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されている。これにより、ブッシング１２４が、外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位せず、中心プランジャ１２０４が、ブッシング１２４及び外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位する。これにより、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６に密着することができる。その結果、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２に対して上下方向に直交する方向にずれた状態で接触することが抑制される。以上より、検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の高周波特性の劣化が抑制されると共に、検査用プローブ装置１００の検査精度の劣化が抑制される。

検査用プローブ装置１００では、上下方向に見て、ブッシング接触部１２４ａの外縁の形状は、円である。これにより、検査用プローブ装置１００が中心プランジャ１２０４の中心軸線周りに回転したとしても、コネクタ３００に対する中心プランジャ１２０４の位置合わせを容易に行うことができる。

検査用プローブ装置１００では、上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａの外縁に囲まれた領域の面積は、断面Ｄが下方向に移動するにしたがって連続的に減少している。これにより、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６の表面上を滑ることができる。検査用プローブ装置１００によれば、コネクタ３００に対する中心プランジャ１２０４の位置合わせを容易に行うことができる。

検査用プローブ装置１００では、中心プランジャ１２０４は、ブッシング１２４に対して上下方向に変位することができる。これにより、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６に接触するときに、中心プランジャ１２０４がブッシング１２４に対して上方向に変位することができる。よって、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６に密着することが可能となり、コネクタ３００に対する中心プランジャ１２０４の位置合わせがより精度よく行われるようになる。

検査用プローブ装置１００では、スプリング１２０８（弾性体）は、中心プランジャ１２０４を下方向に押す。これにより、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２に押し付けられるようになる。その結果、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２により確実に接続されるようになる。

検査用プローブ装置１００では、中心プランジャ１２０４の下端部は、下方向に突出する凸曲面である。これにより、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２に点接触するようになる。その結果、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２により確実に接続されるようになる。

検査用プローブ装置１００では、上下方向に見て、中心プランジャ１２０４とブッシング１２４（絶縁部材）との間には隙間が存在する。これにより、中心プランジャ１２０４がブッシング１２４に対してスムーズに上下動できる。

（変形例）
以下に変形例に係る検査用ユニット１０ａ及び検査用プローブ装置１００ａについて図面を参照しながら説明する。図１１は、検査用プローブ装置１００ａの外観斜視図である。図１２ないし図１５は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００ａ及びコネクタ３００Ｌ，３００Ｒの断面図である。図１２ないし図１５では、信号ピン１２０Ｌ，１２０Ｒの構造を簡素化して示した。

検査用プローブ装置１００ａは、図１１に示すように、２個の検査用プローブ装置１００が一体化された構造を有している。これにより、検査用プローブ装置１００ａは、コネクタ３００Ｌ，３００Ｒの検査を行うことができる。コネクタ３００Ｌ，３００Ｒのそれぞれは、図１１及び図１２に示すように、コネクタ３００と同じ構造を有している。

具体的には、検査用プローブ装置１００ａは、図１２に示すように、外部プランジャ１０２ａ、信号ピン１２０Ｌ，１２０Ｒ及びブッシング１２４Ｌ，１２４Ｒを備えている。なお、検査用プローブ装置１００ａは、ケーブルアダプタ１０５Ｌ，１０５Ｒ、フランジ１０６、スプリング１０８、ソケット１２３Ｌ，１２３Ｒ及びブッシング１２４Ｒ，１２４Ｒも備えている。しかしながら、ケーブルアダプタ１０５Ｌ，１０５Ｒ、フランジ１０６、スプリング１０８、ソケット１２３Ｌ，１２３Ｒ及びブッシング１２４Ｒ，１２４Ｒは、ケーブルアダプタ１０５、フランジ１０６、スプリング１０８、ソケット１２３及びブッシング１２４と同じであるので説明を省略する。

検査用プローブ装置１００ａの外部プランジャ１０２ａは、２個の外部プランジャ１０２が左右に並んだ構造を有している。外部プランジャ１０２ａは、外部プランジャ左部１０２ａＬ及び外部プランジャ右部１０２ａＲを含んでいる。外部プランジャ左部１０２ａＬには、上下方向に延びる貫通孔Ｈ１Ｌが設けられている。外部プランジャ右部１０２ａＲには、上下方向に延びる貫通孔Ｈ１Ｒが設けられている。

信号ピン１２０Ｌ及び信号ピン１２０Ｒは、左右方向に並んでいる。信号ピン１２０Ｌは、信号ピン１２０Ｒの左に位置している。信号ピン１２０Ｌは、外部プランジャ左部１０２ａＬの貫通孔Ｈ１Ｌにおいて上下方向に延びている。信号ピン１２０Ｌは、筒部１２０２Ｌ（参照符号を図示せず）、中心プランジャ１２０４Ｌ及びスプリング１２０８Ｌ（参照符号を図示せず）を含んでいる。信号ピン１２０Ｒは、外部プランジャ右部１０２ａＲの貫通孔Ｈ１Ｒにおいて上下方向に延びている。信号ピン１２０Ｒは、筒部１２０２Ｒ（参照符号を図示せず）、中心プランジャ１２０４Ｒ及びスプリング１２０８Ｒ（参照符号を図示せず）を含んでいる。ただし、図１２ないし図１５では、信号ピン１２０Ｌ，１２０Ｒの構造を簡素化して示したので、筒部１２０２Ｌ，１２０２Ｒ、中心プランジャ１２０４Ｌ，１２０４Ｒ及びスプリング１２０８Ｌ，１２０８Ｒの詳細な構造は省略されている。また、筒部１２０２Ｌ，１２０２Ｒ、中心プランジャ１２０４Ｌ，１２０４Ｒ及びスプリング１２０８Ｌ，１２０８Ｒは、筒部１２０２、中心プランジャ１２０４及びスプリング１２０８と同じであるので説明を省略する。

ブッシング１２４Ｌは、中心プランジャ１２０４Ｌと外部プランジャ１０２ａとを絶縁している。ブッシング１２４Ｒは、中心プランジャ１２０４Ｒと外部プランジャ１０２ａとを絶縁している。ただし、ブッシング１２４Ｌ，１２４Ｒは、ブッシング１２４と同じであるので説明を省略する。

次に、検査用プローブ装置１００ａを用いてコネクタ３００Ｌ，３００Ｒを検査するコネクタ検査方法について図１２ないし図１５を参照しながら説明する。

まず、検査用プローブ装置１００ａは、図１２に示すように、コネクタ３００Ｌ，３００Ｒの上にセットされる。そして、検査用プローブ装置１００ａが下降させられる。これにより、中心プランジャ１２０４Ｌの下端は、図１３に示すように、コネクタ絶縁体３０６Ｌの凹曲面ＳＬに接触する。中心プランジャ１２０４Ｒの下端は、図１３に示すように、コネクタ絶縁体３０６Ｒの凹曲面ＳＲに接触する。そのため、検査用プローブ装置１００ａが下降させられると、中心プランジャ１２０４Ｌは、コネクタ中心導体３０２Ｌに導かれる。同様に、中心プランジャ１２０４Ｒは、コネクタ中心導体３０２Ｒに導かれる。その結果、中心プランジャ１２０４Ｌは、図１４に示すように、コネクタ中心導体３０２Ｌと接触する。中心プランジャ１２０４Ｒは、図１４に示すように、コネクタ中心導体３０２Ｒと接触する。

検査用プローブ装置１００ａが更に下降させられると、スプリング１２０８Ｌ，１２０８Ｒが縮む。これにより、外部プランジャ１０２ａ及びブッシング１２４Ｌ，１２４Ｒが下降させられる。そして、ブッシング接触部１２４ａＬは、コネクタ絶縁体３０６Ｌに接触する。ブッシング接触部１２４ａＲは、コネクタ絶縁体３０６Ｒに接触する。コネクタ絶縁体３０６Ｌは、ブッシング接触部１２４ａＬに倣った形状を有する。コネクタ絶縁体３０６Ｒは、ブッシング接触部１２４ａＲに倣った形状を有する。そのため、図１５に示すように、ブッシング接触部１２４ａＬがコネクタ絶縁体３０６Ｌに密着する。同様に、図１５に示すように、ブッシング接触部１２４ａＲがコネクタ絶縁体３０６Ｒに密着する。この際、ブッシング接触部１２４ａＬがコネクタ絶縁体３０６Ｌから上下方向に直交する方向に力を受けることにより、コネクタ中心導体３０２Ｌに対する中心プランジャ１２０４Ｌの上下方向に直交する方向の位置合わせが行われる。同様に、ブッシング接触部１２４ａＲがコネクタ絶縁体３０６Ｒから上下方向に直交する方向に力を受けることにより、コネクタ中心導体３０２Ｒに対する中心プランジャ１２０４Ｒの上下方向に直交する方向の位置合わせが行われる。以上の動作により、検査用プローブ装置１００ａに接続された測定装置は、コネクタ３００Ｌ，３００Ｒへの接続性を確保しながら、比較的に高い周波数を有する高周波信号を測定することができる。

検査用プローブ装置１００ａによれば、検査用プローブ装置１００と同じ作用効果を奏することができる。

（その他の実施形態）
本発明に係る検査用コネクタは、前記実施形態に係る検査用プローブ装置１００，１００ａに限らず、その要旨の範囲内において変更可能である。

なお、検査用プローブ装置１００，１００ａの構成を任意に組み合わせてもよい。

なお、上下方向に見て、上断面Ｄ１におけるブッシング接触部１２４ａの外縁の形状は、円以外であってもよい。円以外の形状は、例えば、正方形、長方形、楕円、三角形等である。

なお、上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａの外縁に囲まれた領域の面積は、断面Ｄが下方向に移動するにしたがって階段状に減少してもよい。

なお、中心プランジャ１２０４は、ブッシング１２４に対して上下方向に変位できなくてもよい。

なお、検査用プローブ装置１００は、中心プランジャ１２０４を下方向に押すスプリング１２０８を備えていなくてもよい。

なお、中心プランジャ１２０４の下端部は、下方向に突出する凸曲面以外の形状であってもよい。中心プランジャ１２０４の下端部は、例えば、下方向に突出する針形状であってもよい。

なお、上下方向に見て、中心プランジャ１２０４とブッシング１２４との間には隙間が存在しなくてもよい。

なお、ハウジング１０４及びフランジ１０６は、導電性を有していなくてもよい。ただし、ハウジング１０４及びフランジ１０６が導電性を有していると、コネクタ３００のグランドとフランジ１０６が固定される固定台のグランドとを共通化できる。

なお、ブッシング接触部１２４ａは、下方向に向かって先細りする形状を有する部分を含んでいればよい。従って、ブッシング接触部１２４ａは、例えば、円柱等の先細りしていない形状と、円錐台等の下方向に向かって先細りする形状との組み合わせでもよい。この場合、ブッシング接触部１２４ａは、円錐台が円柱の下端に接合された構造を有する。

１０，１０ａ：検査用ユニット
１００，１００ａ：検査用プローブ装置
１０２，１０２ａ：外部プランジャ
１０２ａＬ：外部プランジャ左部
１０２ａＲ：外部プランジャ右部
１０４：ハウジング
１０５，１０５Ｌ，１０５Ｒ：ケーブルアダプタ
１０６：フランジ
１０８：スプリング
１２０，１２０Ｌ，１２０Ｒ：信号ピン
１２３，１２３Ｌ，１２３Ｒ：ソケット
１２４，１２４Ｌ，１２４Ｒ，１２６：ブッシング
１２４ａ，１２４ａＬ，１２４ａＲ：ブッシング接触部
１２４ｂ：ブッシング非接触部
２００：外部接続用コネクタ
２０２：同軸ケーブル
２０４：中心導体線
２０６：外部導体
２０８：絶縁体
２１０：被膜
３００，３００Ｌ，３００Ｒ：コネクタ
３０２，３０２Ｌ，３０２Ｒ：コネクタ中心導体
３０４：コネクタ外部導体
３０６，３０６Ｌ，３０６Ｒ：コネクタ絶縁体
１２０４，１２０４Ｌ，１２０４Ｒ：中心プランジャ
Ｓ，ＳＬ，ＳＲ：凹曲面

Claims (9)

1. 中心導体線と、前記中心導体線の周囲を囲んでいる外部導体と、前記中心導体線と前記外部導体とを絶縁している絶縁体と、を備える同軸ケーブルの端部に接続される検査用プローブ装置であって、
   前記中心導体線に電気的に接続され、かつ、上下方向に延びる中心プランジャと、
   前記外部導体に電気的に接続され、かつ、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる外部プランジャと、
   前記中心プランジャと前記外部プランジャとを絶縁し、かつ、前記外部プランジャの下端から下方向に突出するように前記外部プランジャに固定されている絶縁部材であって、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる絶縁部材と、
   を備えており、
   前記中心プランジャは、前記絶縁部材の下端より下方向に突出しており、
   前記絶縁部材において前記外部プランジャの下端より下に位置する部分を絶縁部材接触部と定義し、
   前記絶縁部材接触部は、下方向に向かって先細りする形状を有する部分を含んでいる、
   検査用プローブ装置。
2. 上下方向に見て、前記絶縁部材接触部の外縁の形状は、円である、
   請求項１に記載の検査用プローブ装置。
3. 上下方向に直交する断面における前記絶縁部材接触部の外縁に囲まれた領域の面積は、前記断面が下方向に移動するにしたがって連続的に減少している、
   請求項１又は請求項２のいずれかに記載の検査用プローブ装置。
4. 前記中心プランジャは、前記絶縁部材に対して上下方向に変位することができる、
   請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の検査用プローブ装置。
5. 前記検査用プローブ装置は、
   前記中心プランジャを下方向に押す弾性体を、
   更に備えている、
   請求項４に記載の検査用プローブ装置。
6. 前記中心プランジャの下端部は、下方向に突出する凸曲面である、
   請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の検査用プローブ装置。
7. 上下方向に見て、前記中心プランジャと前記絶縁部材との間には隙間が存在する、
   請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の検査用プローブ装置。
8. 中心導体線と、前記中心導体線の周囲を囲んでいる外部導体と、前記中心導体線と前記外部導体とを絶縁している絶縁体と、を備える同軸ケーブルの端部に接続される検査用プローブ装置であって、
   前記中心導体線に電気的に接続され、かつ、上下方向に延びる中心プランジャと、
   前記外部導体に電気的に接続され、かつ、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる外部プランジャと、
   前記中心プランジャと前記外部プランジャとを絶縁し、かつ、前記外部プランジャの下端から下方向に突出するように前記外部プランジャに固定されている絶縁部材であって、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる絶縁部材と、
   を備えており、
   前記中心プランジャは、前記絶縁部材の下端より下方向に突出しており、
   前記絶縁部材は、前記外部プランジャの下端より下に位置する絶縁部材接触部を有しており、
   検査用プローブ装置を用いてコネクタの検査を行うコネクタ検査方法であって、
   前記コネクタは、
   前記中心プランジャが接触するコネクタ中心導体と、
   前記外部プランジャが接触するコネクタ外部導体であって、上下方向に見て、前記コネクタ中心導体の周囲を囲んでいるコネクタ外部導体と、
   コネクタ中心導体と前記コネクタ外部導体とを絶縁し、かつ、前記絶縁部材接触部の形状に倣った形状を有するコネクタ絶縁体と、
   を備えており、
   前記検査用プローブ装置の前記中心プランジャと前記コネクタ絶縁体を接触させることにより、前記コネクタ中心導体に対する前記中心プランジャの上下方向に直交する方向の位置合わせを行い、
   前記検査用プローブ装置の前記絶縁部材接触部を前記コネクタ絶縁体に接触させることにより、前記コネクタ中心導体に対する前記中心プランジャの上下方向に直交する方向の位置合わせを行う、
   コネクタ検査方法。
9. 前記絶縁部材接触部は、下方向に向かって先細りする形状を有する部分を含んでいる、
   請求項８に記載のコネクタ検査方法。

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