WO2022014435A1 - 検査用プローブ装置及びコネクタ検査方法 - Google Patents

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WO2022014435A1
WO2022014435A1 PCT/JP2021/025600 JP2021025600W WO2022014435A1 WO 2022014435 A1 WO2022014435 A1 WO 2022014435A1 JP 2021025600 W JP2021025600 W JP 2021025600W WO 2022014435 A1 WO2022014435 A1 WO 2022014435A1
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plunger
connector
central
vertical direction
probe device
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PCT/JP2021/025600
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真一 剱崎
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株式会社村田製作所
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    • H01R43/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing, assembling, maintaining, or repairing of line connectors or current collectors or for joining electric conductors

Definitions

  • the present invention relates to an inspection probe device connected to a coaxial cable and a connector inspection method.
  • a plug of an automatic inspection machine described in Patent Document 1 is known.
  • the plug of the automatic inspection machine is provided with a signal terminal and a ground terminal.
  • the ground terminal has a cylindrical shape with a central axis extending in the vertical direction.
  • the ground terminal has a bottom surface.
  • a hole is provided in the center of the bottom surface of the ground terminal.
  • the signal terminal is a pin extending in the vertical direction.
  • the signal terminal extends in the vertical direction inside the ground terminal. Further, the signal terminal projects downward from the ground terminal through a hole on the bottom surface of the ground terminal.
  • the plug of such an automatic inspection machine is used for inspection of connectors with switches.
  • a hole is provided on the upper surface of the connector with a switch.
  • the signal terminal is inserted inside the connector with a switch through this hole.
  • the signal terminal contacts the central conductor of the connector with a switch.
  • the lower surface of the ground terminal contacts the upper surface of the connector with a switch.
  • the ground terminal comes into contact with the outer conductor of the connector with a switch.
  • an object of the present invention is to provide an inspection probe device and a connector inspection method capable of easily aligning the central plunger with respect to the connector.
  • the inspection probe device is For inspection connected to the end of a coaxial cable comprising a central conductor wire, an external conductor surrounding the central conductor wire, and an insulator insulating the central conductor wire from the external conductor. It ’s a probe device, A central plunger that is electrically connected to the central conductor wire and extends in the vertical direction, An external plunger that is electrically connected to the outer conductor and surrounds the central plunger when viewed in the vertical direction. An insulating member that insulates the central plunger and the external plunger and is fixed to the external plunger so as to project downward from the lower end of the external plunger. When viewed in the vertical direction, the central plunger is used.
  • the central plunger projects downward from the lower end of the insulating member.
  • the portion of the insulating member located below the lower end of the external plunger is defined as the insulating member contact portion.
  • the insulating member contact portion includes a portion having a shape that tapers downward.
  • the shafts and members extending in the front-rear direction do not necessarily indicate only the shafts and members that are parallel to the front-rear direction.
  • a shaft or member extending in the front-rear direction is a shaft or member inclined in a range of ⁇ 45 ° with respect to the front-back direction.
  • a shaft or member extending in the vertical direction is a shaft or member inclined in a range of ⁇ 45 ° with respect to the vertical direction.
  • a shaft or member extending in the left-right direction is a shaft or member inclined in a range of ⁇ 45 ° with respect to the left-right direction.
  • the positional relationship of the members in the present specification is defined below.
  • the first member to the third member is a configuration of an inspection probe device.
  • the first member and the second member arranged in the front-rear direction indicate the following states.
  • both the first member and the second member are arranged on an arbitrary straight line indicating the front-rear direction.
  • the first member and the second member arranged in the front-rear direction when viewed in the vertical direction indicate the following states.
  • both the first member and the second member are arranged on an arbitrary straight line indicating the front-rear direction.
  • first member and the second member when the first member and the second member are viewed from a left-right direction different from the vertical direction, one of the first member and the second member may not be arranged on an arbitrary straight line indicating the front-rear direction. ..
  • the first member and the second member may be in contact with each other.
  • the first member and the second member may be separated from each other.
  • a third member may be present between the first member and the second member. This definition applies to directions other than the front-back direction.
  • the fact that the first member is arranged in front of the second member means the following state. At least a portion of the first member is located within a region through which the second member translates forward. Therefore, the first member may be contained in the region through which the second member passes when the second member moves in parallel in the forward direction, or protrudes from the region through which the second member passes when the second member moves in parallel in the forward direction. May be good. In this case, the first member and the second member are arranged in the front-rear direction. This definition applies to directions other than the front-back direction.
  • the first member when the first member is arranged in front of the second member when viewed in the left-right direction, it means the following state.
  • the first member and the second member When viewed in the left-right direction, the first member and the second member are lined up in the front-rear direction, and when viewed in the left-right direction, the portion of the first member facing the second member is the second member. Placed in front.
  • the first member and the second member do not have to be arranged in the front-rear direction in three dimensions. This definition applies to directions other than the front-back direction.
  • the fact that the first member is arranged before the second member means the following state.
  • the first member is arranged in front of a plane that passes through the front end of the second member and is orthogonal to the front-rear direction.
  • the first member and the second member may or may not be arranged in the front-rear direction. This definition applies to directions other than the front-back direction.
  • each part of the first member is defined as follows.
  • the front portion of the first member means the front half of the first member.
  • the rear part of the first member means the rear half of the first member.
  • the left portion of the first member means the left half of the first member.
  • the right portion of the first member means the right half of the first member.
  • the upper part of the first member means the upper half of the first member.
  • the lower part of the first member means the lower half of the first member.
  • the front end of the first member means the front end of the first member.
  • the rear end of the first member means the rear end of the first member.
  • the left end of the first member means the left end of the first member.
  • the right end of the first member means the right end of the first member.
  • the upper end of the first member means the upper end of the first member.
  • the lower end of the first member means the lower end of the first member.
  • the front end portion of the first member means the front end of the first member and its vicinity.
  • the rear end portion of the first member means the rear end of the first member and its vicinity.
  • the left end portion of the first member means the left end portion of the first member and its vicinity.
  • the right end portion of the first member means the right end portion of the first member and its vicinity.
  • the upper end portion of the first member means the upper end portion of the first member and its vicinity.
  • the lower end portion of the first member means the lower end portion of the first member and its vicinity.
  • first member When any two members in the present specification are defined as a first member and a second member, the relationship between the two members has the following meaning.
  • the fact that the first member is supported by the second member means that the first member is immovably attached to (that is, fixed) to the second member with respect to the second member. This includes the case where the first member is movably attached to the second member with respect to the second member. Further, the first member is supported by the second member when the first member is directly attached to the second member and when the first member is attached to the second member via the third member. Includes both if.
  • the fact that the first member is held by the second member means that the first member is immovably attached to (that is, fixed) to the second member with respect to the second member.
  • the case is included, and the case where the first member is movably attached to the second member with respect to the second member is not included.
  • the first member is held by the second member when the first member is directly attached to the second member and when the first member is attached to the second member via the third member. Includes both if.
  • the first member and the second member are electrically connected means that electricity is conducted between the first member and the second member. Therefore, the first member and the second member may be in contact with each other, or the first member and the second member may not be in contact with each other. When the first member and the second member are not in contact with each other, a third member having conductivity is arranged between the first member and the second member.
  • the alignment of the central plunger with respect to the connector can be easily performed.
  • FIG. 1 is an external perspective view of the inspection unit 10.
  • FIG. 2 is an enlarged view of the lower part of the inspection probe device 100.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of the inspection probe device 100.
  • FIG. 4 is an exploded perspective view of the inspection unit 10.
  • FIG. 5 is a perspective view of the cable adapter 105, the signal pin 120, the socket 123, and the bushings 124, 126.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view of the cable adapter 105, the signal pin 120, the socket 123, and the bushings 124, 126.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the inspection probe device 100 and the connector 300 in the connector inspection method.
  • FIG. 1 is an external perspective view of the inspection unit 10.
  • FIG. 2 is an enlarged view of the lower part of the inspection probe device 100.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of the inspection probe device 100.
  • FIG. 4 is an
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the inspection probe device 100 and the connector 300 in the connector inspection method.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the inspection probe device 100 and the connector 300 in the connector inspection method.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view of the inspection probe device 100 and the connector 300 in the connector inspection method.
  • FIG. 11 is an external perspective view of the inspection probe device 100a.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view of the inspection probe device 100a and the connectors 300L and 300R in the connector inspection method.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view of the inspection probe device 100a and the connectors 300L and 300R in the connector inspection method.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view of the inspection probe device 100a and the connectors 300L and 300R in the connector inspection method.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view of the inspection probe device 100a and the connectors 300L and 300R in the connector inspection method.
  • FIG. 1 is an external perspective view of the inspection unit 10.
  • FIG. 2 is an enlarged view of the lower part of the inspection probe device 100.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of the inspection probe device 100.
  • FIG. 4 is an exploded perspective view of the inspection unit 10.
  • FIG. 5 is a perspective view of the cable adapter 105, the signal pin 120, the socket 123, and the bushings 124, 126.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view of the cable adapter 105, the signal pin 120, the socket 123, and the bushings 124, 126.
  • the vertical direction, the horizontal direction, and the front-back direction are defined.
  • the vertical direction, the horizontal direction, and the front-back direction are the directions defined for the sake of explanation. Therefore, the vertical direction, the horizontal direction, and the front-rear direction in the actual use of the inspection unit 10 do not have to coincide with the vertical direction, the left-right direction, and the front-rear direction of the present specification.
  • the vertical direction may be opposite to the vertical direction of each drawing.
  • the left-right direction may be opposite to the left-right direction of each drawing.
  • the front-back direction may be opposite to the front-back direction of each drawing.
  • the inspection unit 10 is used for measuring a high frequency signal transmitted in an electronic device. As shown in FIG. 1, the inspection unit 10 includes an inspection probe device 100, an external connection connector 200, and a coaxial cable 202. The external connection connector 200 is connected to a measuring device (not shown). Since the structure of the external connection connector 200 is a general structure, the description thereof will be omitted.
  • the coaxial cable 202 is inserted into the inspection probe device 100 and also into the external connection connector 200.
  • the coaxial cable 202 includes a center conductor wire 204, an outer conductor 206, an insulator 208, and a coating film 210.
  • the center conductor wire 204 is the core wire of the coaxial cable 202. Therefore, the central conductor wire 204 is located at the center of the coaxial cable 202.
  • the center conductor wire 204 is made of a low resistance conductor.
  • the center conductor wire 204 is made of, for example, copper.
  • the outer conductor 206 surrounds the center conductor wire 204. Therefore, the outer conductor 206 has an annular shape in a cross section orthogonal to the direction in which the coaxial cable 202 extends. Such an outer conductor 206 is manufactured, for example, by knitting a thin conducting wire.
  • the outer conductor 206 is made of a low resistance conductor.
  • the outer conductor 206 is made of, for example, copper.
  • the insulator 208 insulates the central conductor wire 204 and the outer conductor 206.
  • the insulator 208 is located between the center conductor wire 204 and the outer conductor 206.
  • the insulator 208 surrounds the center conductor wire 204.
  • the circumference of the insulator 208 is surrounded by the outer conductor 206.
  • the insulator 208 has an annular shape in a cross section orthogonal to the direction in which the coaxial cable 202 extends.
  • the insulator 208 is made of an insulating resin.
  • the insulator 208 is made of, for example, polyethylene.
  • the coating film 210 surrounds the outer conductor 206. Therefore, the coating film 210 has an annular shape in a cross section orthogonal to the direction in which the coaxial cable 202 extends.
  • the coating film 210 is made of an insulating resin.
  • the coating 210 is made of, for example, polyethylene.
  • the coating film 210 is not provided with a plurality of holes, or is provided with holes smaller than those of the insulator 208. Therefore, the coating film 210 is less likely to be deformed than the insulator 208.
  • the central conductor wire 204 is exposed from the coaxial cable 202 by removing the outer conductor 206, the insulator 208, and the coating film 210. Further, the outer conductor 206 is exposed from the coaxial cable 202 by removing the coating film 210 above the portion where the central conductor wire 204 is exposed.
  • the inspection probe device 100 is connected to the end of the coaxial cable 202 as shown in FIGS. 1 and 2. In this embodiment, the inspection probe device 100 is connected to the lower end of the coaxial cable 202. As shown in FIGS. 1 to 3, the inspection probe device 100 includes an external plunger 102, a housing 104, a cable adapter 105, a flange 106, a spring 108, a signal pin 120, a socket 123, a bushing 124 (insulating member), and a bushing 126. It is equipped with.
  • the cable adapter 105 is electrically connected to the outer conductor 206.
  • the cable adapter 105 has a cylindrical shape.
  • the coaxial cable 202 is inserted into the cable adapter 105.
  • the cable adapter 105 holds the outer conductor 206.
  • the outer peripheral surface of the outer conductor 206 is in contact with the inner peripheral surface of the cable adapter 105.
  • the cable adapter 105 is electrically connected to the outer conductor 206.
  • the cable adapter 105 is connected to the ground potential.
  • the cable adapter 105 is made of a highly conductive metal.
  • the cable adapter 105 is made of, for example, SUS.
  • the socket 123 is electrically connected to the center conductor wire 204. However, the socket 123 is not electrically connected to the outer conductor 206. More specifically, the socket 123 is attached to the lower end of the coaxial cable 202. Therefore, the socket 123 is arranged below the cable adapter 105. As shown in FIG. 6, the socket 123 has a cylindrical shape having a central axis extending in the vertical direction. The upper end of the socket 123 is open. The lower end of the socket 123 is not open. However, the lower end of the socket 123 may be open. The central conductor wire 204 is exposed at the lower end of the coaxial cable 202.
  • the center conductor wire 204 is inserted into the socket 123 through the opening at the upper end of the socket 123.
  • the center conductor wire 204 is fixed to the socket 123 by soldering.
  • the central conductor wire 204 is electrically connected to the socket 123.
  • the socket 123 is not in contact with the outer conductor 206.
  • the socket 123 is not electrically connected to the outer conductor 206.
  • the socket 123 having the above structure is made of brass, for example.
  • the signal pin 120 is a terminal to which a high frequency signal having a relatively high frequency is applied.
  • the high frequency signal having a relatively high frequency is, for example, a millimeter wave or a microwave having a frequency of 0.3 GHz to 0.3 THz.
  • the signal pin 120 is a rod-shaped member extending in the vertical direction. The upper end of the signal pin 120 is in contact with the lower end of the socket 123, as shown in FIG. As a result, the signal pin 120 is electrically connected to the socket 123. That is, the signal pin 120 is electrically connected to the center conductor wire 204.
  • the signal pin 120 includes a tubular portion 1202, a central plunger 1204, and a spring 1208.
  • the tubular portion 1202 has a cylindrical shape having a central axis extending in the vertical direction.
  • the shape of the tubular portion 1202 may be a polygonal column shape such as a hexagonal column.
  • the lower end of the tubular portion 1202 is open.
  • the upper end of the tubular portion 1202 is not open.
  • the diameter of the lower end of the tubular portion 1202 is smaller than the diameter of the remaining portion of the tubular portion 1202. That is, the tubular portion 1202 has a shape in which the lower end portion of the tubular portion 1202 is slightly narrowed.
  • the central plunger 1204 is a rod-shaped member extending in the vertical direction.
  • the lower end of the central plunger 1204 is a convex curved surface protruding downward.
  • the upper part of the central plunger 1204 is located inside the tubular portion 1202.
  • the lower part of the central plunger 1204 is located outside the tubular portion 1202.
  • the diameter of the upper part of the central plunger 1204 is larger than the diameter of the remaining portion of the central plunger 1204. As a result, the central plunger 1204 cannot pass through the tubular portion 1202 in the downward direction.
  • the spring 1208 is arranged inside the tubular portion 1202.
  • the lower end of the spring 1208 is in contact with the upper end of the central plunger 1204.
  • the upper end of the spring 1208 is in contact with the upper end of the inner peripheral surface of the tubular portion 1202.
  • the signal pin 120 can be expanded and contracted in the vertical direction by expanding and contracting the spring 1208.
  • the central plunger 1204 is electrically connected to the central conductor wire 204 via the tubular portion 1202, the spring 1208, and the socket 123.
  • the signal pin 120 as described above is made of brass, for example.
  • the external plunger 102 is a tubular member extending in the vertical direction as shown in FIGS. 2 to 4.
  • the external plunger 102 has a cylindrical shape having a central axis extending in the vertical direction.
  • the external plunger 102 is provided with a through hole H1 extending in the vertical direction.
  • the through hole H1 penetrates from the upper end to the lower end of the external plunger 102.
  • the external plunger 102 surrounds the signal pin 120 when viewed in the vertical direction. Therefore, the signal pin 120 extends in the vertical direction in the through hole H1.
  • the external plunger 102 is not electrically connected to the signal pin 120.
  • the inner peripheral surface of the through hole H1 of the external plunger 102 is in contact with the outer peripheral surface of the cable adapter 105.
  • the external plunger 102 is electrically connected to the external conductor 206 via the cable adapter 105.
  • the external plunger 102 is connected to the ground potential.
  • the external plunger 102 as described above is made of a highly conductive metal.
  • the external plunger 102 is made of, for example, SUS.
  • the bushing 126 insulates the external plunger 102 and the socket 123.
  • the bushing 126 surrounds the socket 123 when viewed in the vertical direction.
  • the bushing 126 has a cylindrical shape having a central axis extending in the vertical direction.
  • the central axis of the bushing 126 coincides with the central axis of the socket 123.
  • the socket 123 is inserted inside the bushing 126.
  • the bushing 126 is arranged inside the through hole H1 of the external plunger 102.
  • the bushing 126 is made of an insulating resin.
  • the bushing 126 is made of, for example, an epoxy resin. As a result, the socket 123 is insulated from the external plunger 102.
  • the bushing 124 (insulating member) insulates the central plunger 1204 and the external plunger 102. As shown in FIGS. 3 to 5, the bushing 124 surrounds the central plunger 1204 when viewed in the vertical direction.
  • the bushing 124 has a circular shape when viewed in the vertical direction.
  • the central plunger 1204 penetrates the bushing 124 in the vertical direction. Therefore, the central plunger 1204 projects downward from the lower end of the bushing 124 (insulating member). Further, when viewed in the vertical direction, there is a gap between the central plunger 1204 and the bushing 124 (insulating member). Therefore, the bushing 124 does not hold the central plunger 1204. Therefore, the central plunger 1204 can be displaced in the vertical direction with respect to the bushing 124 by the expansion and contraction of the spring 1208.
  • the bushing 124 has a bushing contact portion 124a (insulating member contact portion) and a bushing non-contact portion 124b.
  • the bushing non-contact portion 124b is a portion located inside the through hole H1 of the external plunger 102.
  • the outer peripheral surface of the bushing non-contact portion 124b is in contact with the inner peripheral surface of the through hole H1.
  • the bushing non-contact portion 124b is fixed to the external plunger 102.
  • the bushing contact portion 124a is a portion of the bushing 124 located outside the through hole H1 of the external plunger 102.
  • the bushing contact portion 124a (insulating member contact portion) is a portion of the bushing 124 (insulating member) located below the lower end of the external plunger 102. In this way, the bushing 124 is fixed to the external plunger 102 so as to project downward from the lower end of the external plunger 102.
  • the shape of the bushing contact portion 124a will be described in more detail below.
  • the bushing contact portion 124a is located below the bushing non-contact portion 124b as shown in FIG.
  • the bushing contact portion 124a includes a portion having a shape that tapers downward.
  • the bushing contact portion 124a has a shape that tapers downward.
  • the bushing contact portion 124a has a truncated cone shape as shown in FIG.
  • a cross section orthogonal to the vertical direction is defined as a cross section D.
  • two cross sections orthogonal to each other in the vertical direction are defined as an upper cross section D1 and a lower cross section D2.
  • the upper cross section D1 is located above the lower cross section D2.
  • the cross section D and the lower cross section D2 are the same, but the cross section D and the lower cross section D2 do not have to be the same.
  • the area of the region surrounded by the outer edge of the bushing contact portion 124a (insulating member contact portion) in the cross section D orthogonal to the vertical direction decreases as the cross section D moves downward.
  • the bushing contact portion 124a is provided with a hole that penetrates in the vertical direction. Therefore, the bushing contact portion 124a in the cross section D orthogonal to the vertical direction has an outer circle and an inner circle as contours.
  • the outer edge of the bushing contact portion 124a (insulating member contact portion) in the cross section D orthogonal to the vertical direction refers to the inner outer circle of the inner circle and the outer circle.
  • Condition 1 The outer edge of the bushing contact portion 124a in the lower cross section D2 is contained in the outer edge of the bushing contact portion 124a in all the upper cross sections D1 located above the lower cross section D2.
  • Condition 2 Condition 1 is satisfied in all the lower cross sections D2 of the bushing contact portion 124a.
  • the bushing contact portion 124a has a shape in which the width in the front-rear direction and the width in the left-right direction becomes narrower as the cross section D moves downward.
  • the shape of the outer edge of the bushing contact portion 124a (insulating member contact portion) is circular.
  • the area of the region surrounded by the outer edge of the bushing contact portion 124a (insulating member contact portion) in the cross section D orthogonal to the vertical direction continuously decreases as the cross section D moves downward. Therefore, the bushing contact portion 124a has a truncated cone shape as described above.
  • the housing 104 is a tubular member extending in the vertical direction.
  • the housing 104 is provided with a through hole H2 extending in the vertical direction.
  • the through hole H2 penetrates from the upper end to the lower end of the housing 104.
  • the lower end of the housing 104 is inserted into the upper end of the external plunger 102.
  • the housing 104 is supported by the external plunger 102 so as to be located above the external plunger 102.
  • the through hole H1 and the through hole H2 overlap each other.
  • the coaxial cable 202 passes through the inside of the through hole H2 in the vertical direction.
  • Such a housing 104 is made of a highly conductive metal.
  • the housing 104 is made of, for example, SUS.
  • the flange 106 is a member having a plate shape.
  • the flange 106 has a rectangular shape when viewed downward.
  • the flange 106 is arranged near the upper end of the housing 104 in the vertical direction.
  • the flange 106 is provided with a through hole H3 extending in the vertical direction.
  • the housing 104 passes through the through hole H3 in the vertical direction.
  • the diameter of the upper end portion of the housing 104 is larger than the diameter of the through hole H3 of the flange 106. Therefore, the housing 104 cannot pass through the through hole H3 downward.
  • Such a flange 106 is made of a highly conductive metal.
  • the flange 106 is made of, for example, SUS.
  • the spring 108 pushes the flange 106 upward.
  • the spring 108 pushes the external plunger 102 downward. More specifically, the upper end of the spring 108 is fixed to the lower surface of the flange 106. The lower end of the spring 108 is fixed to the upper end of the external plunger 102. Therefore, when the external plunger 102 is pushed upward, the spring 108 contracts, and the external plunger 102 and the housing 104 are displaced upward with respect to the flange 106.
  • FIG. 7 to 10 are cross-sectional views of the inspection probe device 100 and the connector 300 in the connector inspection method.
  • the connector 300 includes a connector center conductor 302, a connector outer conductor 304, and a connector insulator 306.
  • the center plunger 1204 comes into contact with the connector center conductor 302 at the time of inspection.
  • the connector center conductor 302 is a pin extending in the vertical direction as shown in FIG.
  • the external plunger 102 comes into contact with the connector outer conductor 304 at the time of inspection.
  • the connector outer conductor 304 surrounds the connector center conductor 302 when viewed in the vertical direction.
  • the connector outer conductor 304 has a cylindrical shape having a central axis extending in the vertical direction.
  • the connector insulator 306 insulates the connector center conductor 302 and the connector outer conductor 304.
  • the connector insulator 306 has a shape that follows the shape of the bushing contact portion 124a (insulator contact portion). Therefore, the connector insulator 306 has a concave curved surface S.
  • the concave curved surface S can be visually recognized by looking downward.
  • the concave curved surface S of the connector insulator 306 will be described below.
  • a cross section orthogonal to the vertical direction is defined as a cross section d.
  • two cross sections orthogonal to each other in the vertical direction are defined as an upper cross section d1 and a lower cross section d2.
  • the upper cross section d1 is located above the lower cross section d2.
  • the cross section d and the lower cross section d2 are the same, but the cross section d and the lower cross section d2 do not have to be the same.
  • the area of the region surrounded by the concave curved surface S in the cross section d orthogonal to the vertical direction decreases as the cross section d moves downward. Further, in all combinations of the upper cross section d1 and the lower cross section d2, a relationship is established in which the concave curved surface S in the lower cross section d2 fits into the outer edge of the concave curved surface S in the upper cross section d1 when viewed in the vertical direction.
  • the center plunger 1204 of the inspection probe device 100 and the connector outer conductor 304 are brought into contact with each other to align the center plunger 1204 with respect to the connector center conductor 302 in the direction orthogonal to the vertical direction. .. Further, in the connector inspection method according to the present embodiment, by bringing the bushing contact portion 124a of the inspection probe device 100 into contact with the connector insulator 306, the position in the direction orthogonal to the vertical direction of the central plunger 1204 with respect to the connector center conductor 302. Make a match.
  • the inspection probe device 100 is set on the connector 300 as shown in FIG. 7. Then, the inspection probe device 100 is lowered.
  • the lower end of the central plunger 1204 projects downward from the lower ends of the external plunger 102 and the bushing contact portion 124a. As a result, the lower end of the central plunger 1204 comes into contact with the concave curved surface S of the connector insulator 306 as shown in FIG.
  • the central plunger 1204 is guided to the connector center conductor 302 located at the center of the connector insulator 306 when viewed in the vertical direction. As a result, the central plunger 1204 comes into contact with the connector center conductor 302, as shown in FIG. However, at this stage, the bushing contact portion 124a is not in contact with the connector insulator 306.
  • the spring 1208 contracts.
  • the external plunger 102 and the bushing 124 are lowered.
  • the bushing contact portion 124a comes into contact with the concave curved surface S of the connector insulator 306.
  • the concave curved surface S of the connector insulator 306 has a shape that follows the bushing contact portion 124a. Therefore, as shown in FIG. 10, the bushing contact portion 124a is in close contact with the connector insulator 306.
  • the bushing contact portion 124a receives a force from the connector insulator 306 in the direction orthogonal to the vertical direction, so that the alignment of the central plunger 1204 with respect to the connector center conductor 302 in the vertical direction is performed.
  • the measuring device connected to the inspection probe device 100 can measure a high frequency signal having a relatively high frequency while ensuring connectivity to the connector 300.
  • the alignment of the central plunger 1204 with respect to the connector 300 can be easily performed. More specifically, the bushing contact portion 124a has a shape that tapers downward. Therefore, the connector insulator 306 of the connector 300 may have a shape that follows the shape of the bushing contact portion 124a. As a result, when the inspection probe device 100 is lowered, the bushing contact portion 124a (insulating member contact portion) comes into contact with the connector insulator 306, so that the bushing contact portion 124a is orthogonal to the connector center conductor 302 in the vertical direction of the center plunger 1204. Directional alignment will be performed. As a result, according to the inspection probe device 100, the alignment of the central plunger 1204 with respect to the connector 300 can be easily performed.
  • the structure of the inspection probe device 100 can be simplified. More specifically, the bushing 124 is fixed to the external plunger 102 so as to project downward from the lower end of the external plunger 102. As a result, the bushing 124 is not displaced in the vertical direction with respect to the external plunger 102. Therefore, the inspection probe device 100 does not require a mechanism (for example, a spring) for moving the bushing 124 up and down with respect to the external plunger 102. As a result, according to the inspection probe device 100, the structure of the inspection probe device 100 can be simplified.
  • the inspection probe device 100 is not easily damaged. More specifically, the bushing 124 is fixed to the external plunger 102 so as to project downward from the lower end of the external plunger 102. As a result, the bushing 124 is not displaced in the vertical direction with respect to the external plunger 102. Therefore, a small gap may not be formed between the bushing 124 and the external plunger 102 so that the bushing 124 can be displaced in the vertical direction with respect to the external plunger 102. Since the bushing 124 is fixed to the external plunger 102 so as to project downward from the lower end of the external plunger 102, the bushing 124 is less likely to be displaced in the direction orthogonal to the external plunger 102 in the vertical direction.
  • the bushing 124 is fixed to the external plunger 102 so as to project downward from the lower end of the external plunger 102. As a result, the bushing 124 is not displaced in the vertical direction with respect to the external plunger 102. Therefore, a small gap may not be formed between the bushing 124 and the external plunger 102 so that the bushing 124 can be displaced in the vertical direction with respect to the external plunger 102.
  • the bushing 124 is fixed to the external plunger 102 so as to project downward from the lower end of the external plunger 102, the bushing 124 is less likely to be displaced in the direction orthogonal to the external plunger 102 in the vertical direction. As a result, even if the bushing 124 receives a force from the connector 300 in the direction orthogonal to the vertical direction, it is suppressed that the bushing 124 exerts a force on the central plunger 1204 in the direction orthogonal to the vertical direction. Therefore, it is possible to prevent the center plunger 1204 from coming into contact with the connector center conductor 302 in a direction orthogonal to the vertical direction. From the above, according to the inspection probe device 100, deterioration of the high frequency characteristics of the inspection probe device 100 is suppressed, and deterioration of the inspection accuracy of the inspection probe device 100 is suppressed.
  • the inspection probe device 100 According to the inspection probe device 100, deterioration of the high frequency characteristics of the inspection probe device 100 is suppressed, and deterioration of the inspection accuracy of the inspection probe device 100 is suppressed. More specifically, if the bushing is not fixed to the external plunger, the bushing and central plunger can be displaced vertically with respect to the external plunger. In this case, the bushing and the central plunger can be independently displaced in the vertical direction. As a result, the central plunger may come into contact with the connector center conductor in a state where the bushing is not in close contact with the connector insulator but is in contact with the connector insulator.
  • the bushing and the central plunger can be independently displaced in the vertical direction, even if the inspection probe device is lowered, the bushing does not adhere to the external plunger and the bushing is displaced in the vertical direction with respect to the external plunger. As a result, the center plunger comes into contact with the connector center conductor in a direction orthogonal to the vertical direction. In such a case, the high frequency characteristics of the inspection probe device are deteriorated, and the inspection accuracy of the inspection probe device is deteriorated.
  • the bushing 124 is fixed to the external plunger 102 so as to project downward from the lower end of the external plunger 102.
  • the bushing 124 is not displaced in the vertical direction with respect to the external plunger 102, and the central plunger 1204 is displaced in the vertical direction with respect to the bushing 124 and the external plunger 102.
  • the bushing contact portion 124a can be brought into close contact with the connector insulator 306.
  • contact of the center plunger 1204 with respect to the connector center conductor 302 in a direction orthogonal to the vertical direction is suppressed. From the above, according to the inspection probe device 100, deterioration of the high frequency characteristics of the inspection probe device 100 is suppressed, and deterioration of the inspection accuracy of the inspection probe device 100 is suppressed.
  • the shape of the outer edge of the bushing contact portion 124a is a circle when viewed in the vertical direction. As a result, even if the inspection probe device 100 rotates around the central axis of the central plunger 1204, the alignment of the central plunger 1204 with respect to the connector 300 can be easily performed.
  • the area of the region surrounded by the outer edge of the bushing contact portion 124a in the cross section D orthogonal to the vertical direction continuously decreases as the cross section D moves downward.
  • the bushing contact portion 124a can slide on the surface of the connector insulator 306. According to the inspection probe device 100, the alignment of the central plunger 1204 with respect to the connector 300 can be easily performed.
  • the central plunger 1204 can be displaced in the vertical direction with respect to the bushing 124.
  • the central plunger 1204 can be displaced upward with respect to the bushing 124. Therefore, the bushing contact portion 124a can be brought into close contact with the connector insulator 306, and the alignment of the center plunger 1204 with respect to the connector 300 can be performed more accurately.
  • the spring 1208 (elastic body) pushes the central plunger 1204 downward.
  • the center plunger 1204 is pressed against the connector center conductor 302.
  • the center plunger 1204 is securely connected by the connector center conductor 302.
  • the lower end of the central plunger 1204 is a convex curved surface protruding downward. As a result, the center plunger 1204 comes into point contact with the connector center conductor 302. As a result, the center plunger 1204 is securely connected by the connector center conductor 302.
  • the central plunger 1204 In the inspection probe device 100, there is a gap between the central plunger 1204 and the bushing 124 (insulating member) when viewed in the vertical direction. As a result, the central plunger 1204 can move up and down smoothly with respect to the bushing 124.
  • FIG. 11 is an external perspective view of the inspection probe device 100a.
  • 12 to 15 are cross-sectional views of the inspection probe device 100a and the connectors 300L and 300R in the connector inspection method.
  • the structures of the signal pins 120L and 120R are shown in a simplified manner.
  • the inspection probe device 100a has a structure in which two inspection probe devices 100 are integrated. As a result, the inspection probe device 100a can inspect the connectors 300L and 300R. As shown in FIGS. 11 and 12, each of the connectors 300L and 300R has the same structure as the connector 300.
  • the inspection probe device 100a includes an external plunger 102a, signal pins 120L and 120R, and bushings 124L and 124R.
  • the inspection probe device 100a also includes cable adapters 105L and 105R, flanges 106, springs 108, sockets 123L and 123R, and bushings 124R and 124R.
  • the cable adapter 105L, 105R, the flange 106, the spring 108, the socket 123L, 123R and the bushing 124R, 124R are the same as the cable adapter 105, the flange 106, the spring 108, the socket 123, and the bushing 124, 124R are the same as the cable adapter 105, the flange 106, the spring 108, the socket 123, and the bushing 124, the description thereof will be omitted.
  • the external plunger 102a of the inspection probe device 100a has a structure in which two external plungers 102 are arranged side by side.
  • the external plunger 102a includes an external plunger left portion 102aL and an external plunger right portion 102aR.
  • the left portion 102aL of the external plunger is provided with a through hole H1L extending in the vertical direction.
  • the right portion 102aR of the external plunger is provided with a through hole H1R extending in the vertical direction.
  • the signal pin 120L and the signal pin 120R are arranged in the left-right direction.
  • the signal pin 120L is located to the left of the signal pin 120R.
  • the signal pin 120L extends in the vertical direction in the through hole H1L of the left portion 102aL of the external plunger.
  • the signal pin 120L includes a cylinder portion 1202L (reference code not shown), a central plunger 1204L and a spring 1208L (reference code not shown).
  • the signal pin 120R extends in the vertical direction in the through hole H1R of the right portion 102aR of the external plunger.
  • the signal pin 120R includes a cylinder 1202R (reference code not shown), a central plunger 1204R and a spring 1208R (reference code not shown).
  • FIGS. 12 to 15 since the structures of the signal pins 120L and 120R are shown in a simplified manner, the detailed structures of the tubular portions 1202L and 1202R, the central plungers 1204L and 1204R and the springs 1208L and 1208R are omitted. Further, since the tubular portions 1202L and 1202R, the central plungers 1204L and 1204R and the springs 1208L and 1208R are the same as the tubular portions 1202, the central plunger 1204 and the spring 1208, the description thereof will be omitted.
  • the bushing 124L insulates the central plunger 1204L and the external plunger 102a.
  • the bushing 124R insulates the central plunger 1204R and the external plunger 102a.
  • the bushings 124L and 124R are the same as the bushings 124, the description thereof will be omitted.
  • the inspection probe device 100a is set on the connectors 300L and 300R as shown in FIG. Then, the inspection probe device 100a is lowered. As a result, the lower end of the central plunger 1204L comes into contact with the concave curved surface SL of the connector insulator 306L as shown in FIG. As shown in FIG. 13, the lower end of the central plunger 1204R contacts the concave curved surface SR of the connector insulator 306R. Therefore, when the inspection probe device 100a is lowered, the central plunger 1204L is guided to the connector center conductor 302L. Similarly, the center plunger 1204R is guided to the connector center conductor 302R. As a result, the central plunger 1204L comes into contact with the connector center conductor 302L as shown in FIG. The central plunger 1204R comes into contact with the connector center conductor 302R, as shown in FIG.
  • the springs 1208L and 1208R contract.
  • the external plunger 102a and the bushings 124L and 124R are lowered.
  • the bushing contact portion 124aL comes into contact with the connector insulator 306L.
  • the bushing contact portion 124aR contacts the connector insulator 306R.
  • the connector insulator 306L has a shape that follows the bushing contact portion 124aL.
  • the connector insulator 306R has a shape that follows the bushing contact portion 124aR. Therefore, as shown in FIG. 15, the bushing contact portion 124aL is in close contact with the connector insulator 306L. Similarly, as shown in FIG.
  • the bushing contact portion 124aR is in close contact with the connector insulator 306R. At this time, the bushing contact portion 124aL receives a force from the connector insulator 306L in the direction orthogonal to the vertical direction, so that the alignment of the central plunger 1204L with respect to the connector center conductor 302L in the vertical direction is performed. Similarly, when the bushing contact portion 124aR receives a force from the connector insulator 306R in the direction orthogonal to the vertical direction, the alignment of the central plunger 1204R with respect to the connector center conductor 302R in the vertical direction is performed.
  • the measuring device connected to the inspection probe device 100a can measure a high frequency signal having a relatively high frequency while ensuring connectivity to the connectors 300L and 300R.
  • the same operation and effect as the inspection probe device 100 can be obtained.
  • the inspection connector according to the present invention is not limited to the inspection probe devices 100 and 100a according to the embodiment, and can be changed within the scope of the gist thereof.
  • the shape of the outer edge of the bushing contact portion 124a in the upper cross section D1 may be other than a circle. Shapes other than circles are, for example, squares, rectangles, ellipses, triangles, and the like.
  • the area of the region surrounded by the outer edge of the bushing contact portion 124a in the cross section D orthogonal to the vertical direction may decrease stepwise as the cross section D moves downward.
  • central plunger 1204 does not have to be able to be displaced in the vertical direction with respect to the bushing 124.
  • the inspection probe device 100 does not have to include the spring 1208 that pushes the central plunger 1204 downward.
  • the lower end of the central plunger 1204 may have a shape other than a convex curved surface protruding downward.
  • the lower end of the central plunger 1204 may have, for example, a needle shape protruding downward.
  • the housing 104 and the flange 106 do not have to have conductivity. However, if the housing 104 and the flange 106 have conductivity, the gland of the connector 300 and the gland of the fixing base on which the flange 106 is fixed can be shared.
  • the bushing contact portion 124a may include a portion having a shape that tapers downward. Therefore, the bushing contact portion 124a may be a combination of, for example, a shape that does not taper, such as a cylinder, and a shape that tapers downward, such as a truncated cone. In this case, the bushing contact portion 124a has a structure in which the truncated cone is joined to the lower end of the cylinder.

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Abstract

中心プランジャは、中心導体線に電気的に接続され、かつ、上下方向に延びている。外部プランジャは、外部導体に電気的に接続され、かつ、上下方向に見て、中心プランジャの周囲を囲んでいる。絶縁部材は、中心プランジャと外部プランジャとを絶縁し、かつ、外部プランジャの下端から下方向に突出するように外部プランジャに固定されている。絶縁部材は、上下方向に見て、中心プランジャの周囲を囲んでいる。中心プランジャは、絶縁部材の下端より下方向に突出している。絶縁部材において外部プランジャの下端より下に位置する部分を絶縁部材接触部と定義する。絶縁部材接触部は、下方向に向かって先細りする形状を有する部分を含んでいる。

Description

検査用プローブ装置及びコネクタ検査方法
　本発明は、同軸ケーブルに接続される検査用プローブ装置及びコネクタ検査方法に関する。
　従来の検査用プローブ装置に関する発明としては、例えば、特許文献１に記載の自動検査機のプラグが知られている。自動検査機のプラグは、信号端子及びアース端子を備えている。アース端子は、上下方向に延びる中心軸を有する円筒形状を有する。アース端子は、底面を有している。アース端子の底面の中心には孔が設けられている。信号端子は、上下方向に延びるピンである。信号端子は、アース端子の内部において上下方向に延びている。また、信号端子は、アース端子の底面の孔を介してアース端子から下方向に突出している。
　このような自動検査機のプラグは、スイッチ付きコネクタの検査に利用される。スイッチ付きコネクタの上面には、孔が設けられている。信号端子は、この孔を介してスイッチ付きコネクタの内部に挿入される。これにより、信号端子は、スイッチ付きコネクタの中心導体に接触する。また、アース端子の下面は、スイッチ付きコネクタの上面に接触する。これにより、アース端子は、スイッチ付きコネクタの外部導体に接触する。
特開平９－２２３５４８号公報
　ところで、特許文献１に記載の自動検査機のプラグでは、自動検査機のプラグとスイッチ付きコネクタとを精度よく位置合わせをした状態で、信号端子をスイッチ付きコネクタの孔に挿入する必要がある。このような自動検査機のプラグとスイッチ付きコネクタとの位置合わせを容易に行いたいという要望が存在する。
　そこで、本発明の目的は、コネクタに対する中心プランジャの位置合わせを容易に行うことができる検査用プローブ装置及びコネクタ検査方法を提供することである。
　本発明の一形態に係る検査用プローブ装置は、
　中心導体線と、前記中心導体線の周囲を囲んでいる外部導体と、前記中心導体線と前記外部導体とを絶縁している絶縁体と、を備える同軸ケーブルの端部に接続される検査用プローブ装置であって、
　前記中心導体線に電気的に接続され、かつ、上下方向に延びる中心プランジャと、
　前記外部導体に電気的に接続され、かつ、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる外部プランジャと、
　前記中心プランジャと前記外部プランジャとを絶縁し、かつ、前記外部プランジャの下端から下方向に突出するように前記外部プランジャに固定されている絶縁部材であって、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる絶縁部材と、
　を備えており、
　前記中心プランジャは、前記絶縁部材の下端より下方向に突出しており、
　前記絶縁部材において前記外部プランジャの下端より下に位置する部分を絶縁部材接触部と定義し、
　前記絶縁部材接触部は、下方向に向かって先細りする形状を有する部分を含んでいる。
　以下に、本明細書における用語の定義について説明する。本明細書において、前後方向に延びる軸や部材は、必ずしも前後方向と平行である軸や部材だけを示すものではない。前後方向に延びる軸や部材とは、前後方向に対して±４５°の範囲で傾斜している軸や部材のことである。同様に、上下方向に延びる軸や部材とは、上下方向に対して±４５°の範囲で傾斜している軸や部材のことである。左右方向に延びる軸や部材とは、左右方向に対して±４５°の範囲で傾斜している軸や部材のことである。
　以下に、本明細書における部材の位置関係について定義する。第１部材ないし第３部材は、検査用プローブ装置の構成である。本明細書において、前後方向に並ぶ第１部材及び第２部材とは、以下の状態を示す。前後方向に垂直な方向に第１部材及び第２部材を見たときに、第１部材及び第２部材の両方が前後方向を示す任意の直線上に配置されている状態である。本明細書において、上下方向に見たときに前後方向に並ぶ第１部材及び第２部材とは、以下の状態を示す。上下方向に第１部材及び第２部材を見たときに、第１部材及び第２部材の両方が前後方向を示す任意の直線上に配置されている。この場合、上下方向とは異なる左右方向から第１部材及び第２部材を見ると、第１部材及び第２部材のいずれか一方が前後方向を示す任意の直線上に配置されていなくてもよい。なお、第１部材と第２部材とが接触していてもよい。第１部材と第２部材とが離れていてもよい。第１部材と第２部材との間に第３部材が存在していてもよい。この定義は、前後方向以外の方向にも適用される。
　本明細書において、第１部材が第２部材の前に配置されるとは、以下の状態を指す。第１部材の少なくとも一部は、第２部材が前方向に平行移動するときに通過する領域内に配置されている。よって、第１部材は、第２部材が前方向に平行移動するときに通過する領域内に収まっていてもよいし、第２部材が前方向に平行移動するときに通過する領域から突出していてもよい。この場合、第１部材及び第２部材は、前後方向に並んでいる。この定義は、前後方向以外の方向にも適用される。
　本明細書において、左右方向に見たときに、第１部材が第２部材の前に配置されるとは、以下の状態を指す。左右方向に見たときに、第１部材と第２部材が前後方向に並んでおり、かつ、左右方向に見たときに、第１部材の第２部材と対向する部分が、第２部材の前に配置される。この定義において、第１部材と第２部材は、３次元では、前後方向に並んでいなくてもよい。この定義は、前後方向以外の方向も適用される。
　本明細書において、第１部材が第２部材より前に配置されるとは、以下の状態を指す。第１部材は、第２部材の前端を通り前後方向に直交する平面の前に配置される。この場合、第１部材及び第２部材は、前後方向に並んでいてもよく、並んでいなくてもよい。この定義は、前後方向以外の方向にも適用される。
　本明細書において、特に断りのない場合には、第１部材の各部について以下のように定義する。第１部材の前部とは、第１部材の前半分を意味する。第１部材の後部とは、第１部材の後半分を意味する。第１部材の左部とは、第１部材の左半分を意味する。第１部材の右部とは、第１部材の右半分を意味する。第１部材の上部とは、第１部材の上半分を意味する。第１部材の下部とは、第１部材の下半分を意味する。第１部材の前端とは、第１部材の前方向の端を意味する。第１部材の後端とは、第１部材の後方向の端を意味する。第１部材の左端とは、第１部材の左方向の端を意味する。第１部材の右端とは、第１部材の右方向の端を意味する。第１部材の上端とは、第１部材の上方向の端を意味する。第１部材の下端とは、第１部材の下方向の端を意味する。第１部材の前端部とは、第１部材の前端及びその近傍を意味する。第１部材の後端部とは、第１部材の後端及びその近傍を意味する。第１部材の左端部とは、第１部材の左端及びその近傍を意味する。第１部材の右端部とは、第１部材の右端及びその近傍を意味する。第１部材の上端部とは、第１部材の上端及びその近傍を意味する。第１部材の下端部とは、第１部材の下端及びその近傍を意味する。
　本明細書における任意の２つの部材を第１部材及び第２部材と定義した場合、任意の２つの部材の関係は以下のような意味になる。本明細書において、第１部材が第２部材に支持されているとは、第１部材が第２部材に対して移動不可能に第２部材に取り付けられている（すなわち、固定されている）場合、及び、第１部材が第２部材に対して移動可能に第２部材に取り付けられている場合を含む。また、第１部材が第２部材に支持されているとは、第１部材が第２部材に直接に取り付けられている場合、及び、第１部材が第３部材を介して第２部材に取り付けられている場合の両方を含む。
　本明細書において、第１部材が第２部材に保持されているとは、第１部材が第２部材に対して移動不可能に第２部材に取り付けられている（すなわち、固定されている）場合を含み、第１部材が第２部材に対して移動可能に第２部材に取り付けられている場合を含まない。また、第１部材が第２部材に保持されているとは、第１部材が第２部材に直接に取り付けられている場合、及び、第１部材が第３部材を介して第２部材に取り付けられている場合の両方を含む。
　本明細書において、「第１部材と第２部材とが電気的に接続される」とは、第１部材と第２部材との間で電気が導通していることを意味する。従って、第１部材と第２部材とが接触していてもよいし、第１部材と第２部材とが接触していなくてもよい。第１部材と第２部材とが接触していない場合には、第１部材と第２部材との間に導電性を有する第３部材が配置されている。
　本発明に係る検査用プローブ装置によれば、コネクタに対する中心プランジャの位置合わせを容易に行うことができる。
図１は、検査用ユニット１０の外観斜視図である。 図２は、検査用プローブ装置１００の下部の拡大図である。 図３は、検査用プローブ装置１００のＡ－Ａにおける断面図である。 図４は、検査用ユニット１０の分解斜視図である。 図５は、ケーブルアダプタ１０５、信号ピン１２０、ソケット１２３、ブッシング１２４，１２６の斜視図である。 図６は、ケーブルアダプタ１０５、信号ピン１２０、ソケット１２３、ブッシング１２４，１２６の分解斜視図である。 図７は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００及びコネクタ３００の断面図である。 図８は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００及びコネクタ３００の断面図である。 図９は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００及びコネクタ３００の断面図である。 図１０は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００及びコネクタ３００の断面図である。 図１１は、検査用プローブ装置１００ａの外観斜視図である。 図１２は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００ａ及びコネクタ３００Ｌ，３００Ｒの断面図である。 図１３は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００ａ及びコネクタ３００Ｌ，３００Ｒの断面図である。 図１４は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００ａ及びコネクタ３００Ｌ，３００Ｒの断面図である。 図１５は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００ａ及びコネクタ３００Ｌ，３００Ｒの断面図である。
（実施形態）
［検査用プローブ装置の構造］
　以下に、本発明の実施形態に係る検査用プローブ装置１００を備える検査用ユニット１０の構造について図面を参照しながら説明する。図１は、検査用ユニット１０の外観斜視図である。図２は、検査用プローブ装置１００の下部の拡大図である。図３は、検査用プローブ装置１００のＡ－Ａにおける断面図である。図４は、検査用ユニット１０の分解斜視図である。図５は、ケーブルアダプタ１０５、信号ピン１２０、ソケット１２３、ブッシング１２４，１２６の斜視図である。図６は、ケーブルアダプタ１０５、信号ピン１２０、ソケット１２３、ブッシング１２４，１２６の分解斜視図である。
　図１に示すように上下方向、左右方向及び前後方向を定義する。ただし、上下方向、左右方向及び前後方向は、説明のために定義した方向である。従って、検査用ユニット１０の実際の使用時における上下方向、左右方向及び前後方向は、本明細書の上下方向、左右方向及び前後方向と一致していなくてよい。また、上下方向は、各図面の上下方向と逆であってもよい。左右方向は、各図面の左右方向と逆であってもよい。前後方向は、各図面の前後方向と逆であってもよい。
　検査用ユニット１０は、電子機器内を伝送される高周波信号の測定に用いられる。検査用ユニット１０は、図１に示すように、検査用プローブ装置１００、外部接続用コネクタ２００及び同軸ケーブル２０２を備えている。外部接続用コネクタ２００は、図示しない測定機器に接続される。外部接続用コネクタ２００の構造は一般的な構造であるので説明を省略する。
　同軸ケーブル２０２は、検査用プローブ装置１００に挿入されていると共に、外部接続用コネクタ２００に挿入されている。同軸ケーブル２０２は、図３及び図６に示すように、中心導体線２０４、外部導体２０６、絶縁体２０８及び被膜２１０を備えている。中心導体線２０４は、同軸ケーブル２０２の芯線である。従って、中心導体線２０４は、同軸ケーブル２０２の中心に位置している。中心導体線２０４は、低抵抗な導体により作製されている。中心導体線２０４は、例えば、銅により作製されている。
　外部導体２０６は、中心導体線２０４の周囲を囲んでいる。従って、外部導体２０６は、同軸ケーブル２０２が延びる方向に直交する断面において、円環形状を有している。このような外部導体２０６は、例えば、細い導線が編まれることにより作製されている。外部導体２０６は、低抵抗な導体により作製されている。外部導体２０６は、例えば、銅により作製されている。
　絶縁体２０８は、中心導体線２０４と外部導体２０６とを絶縁している。絶縁体２０８は、中心導体線２０４と外部導体２０６との間に位置している。絶縁体２０８は、中心導体線２０４の周囲を囲んでいる。絶縁体２０８の周囲は、外部導体２０６により囲まれている。絶縁体２０８は、同軸ケーブル２０２が延びる方向に直交する断面において、円環形状を有している。絶縁体２０８は、絶縁性を有する樹脂により作製されている。絶縁体２０８は、例えば、ポリエチレンにより作製されている。
　被膜２１０は、外部導体２０６の周囲を囲んでいる。従って、被膜２１０は、同軸ケーブル２０２が延びる方向に直交する断面において、円環形状を有している。被膜２１０は、絶縁性を有する樹脂により作製されている。被膜２１０は、例えば、ポリエチレンにより作製されている。ただし、被膜２１０には、複数の孔が設けられていない、又は、絶縁体２０８より少ない孔が設けられている。そのため、被膜２１０は、絶縁体２０８より変形しにくい。
　同軸ケーブル２０２の下端部では、外部導体２０６、絶縁体２０８及び被膜２１０が除去されることにより、中心導体線２０４が、同軸ケーブル２０２から露出している。また、中心導体線２０４が露出している部分より上において被膜２１０が除去されることにより、外部導体２０６が、同軸ケーブル２０２から露出している。
　検査用プローブ装置１００は、図１及び図２に示すように、同軸ケーブル２０２の端部に接続されている。本実施形態では、検査用プローブ装置１００は、同軸ケーブル２０２の下端部に接続されている。検査用プローブ装置１００は、図１ないし図３に示すように、外部プランジャ１０２、ハウジング１０４、ケーブルアダプタ１０５、フランジ１０６、スプリング１０８、信号ピン１２０、ソケット１２３、ブッシング１２４（絶縁部材）及びブッシング１２６を備えている。
　ケーブルアダプタ１０５は、図３に示すように、外部導体２０６に電気的に接続されている。ケーブルアダプタ１０５は、図４ないし図６に示すように、円筒形状を有している。同軸ケーブル２０２は、ケーブルアダプタ１０５に挿入されている。これにより、ケーブルアダプタ１０５は、外部導体２０６を保持している。また、外部導体２０６の外周面は、図３に示すように、ケーブルアダプタ１０５の内周面に接触している。これにより、ケーブルアダプタ１０５は、外部導体２０６に電気的に接続されている。ケーブルアダプタ１０５は、グランド電位に接続されている。ケーブルアダプタ１０５は、導電性の高い金属により作製されている。ケーブルアダプタ１０５は、例えば、ＳＵＳにより作製されている。
　ソケット１２３は、図３に示すように、中心導体線２０４に電気的に接続されている。ただし、ソケット１２３は、外部導体２０６に電気的に接続されていない。より詳細には、ソケット１２３は、同軸ケーブル２０２の下端部に取り付けられている。そのため、ソケット１２３は、ケーブルアダプタ１０５の下に配置されている。ソケット１２３は、図６に示すように、上下方向に延びる中心軸線を有する円筒形状を有している。ソケット１２３の上端部は、開口している。ソケット１２３の下端部は、開口していない。ただし、ソケット１２３の下端部は、開口していてもよい。同軸ケーブル２０２の下端部では中心導体線２０４が露出している。中心導体線２０４は、ソケット１２３の上端部の開口からソケット１２３の内部に挿入されている。中心導体線２０４は、半田によりソケット１２３に固定されている。これにより、中心導体線２０４は、ソケット１２３に電気的に接続されている。ただし、ソケット１２３は、外部導体２０６に接触していない。これにより、ソケット１２３は、外部導体２０６に電気的に接続されていない。以上のような構造を有するソケット１２３は、例えば、黄銅により作製されている。
　信号ピン１２０は、比較的に高い周波数を有する高周波信号が印加される端子である。比較的に高い周波数を有する高周波信号は、例えば、０．３ＧＨｚ～０．３ＴＨｚの周波数を有するミリ波やマイクロ波である。信号ピン１２０は、図３ないし図６に示すように、上下方向に延びる棒状部材である。信号ピン１２０の上端は、図３に示すように、ソケット１２３の下端に接触している。これにより、信号ピン１２０は、ソケット１２３に電気的に接続されている。すなわち、信号ピン１２０は、中心導体線２０４に電気的に接続されている。
　信号ピン１２０は、図３に示すように、筒部１２０２、中心プランジャ１２０４及びスプリング１２０８を含んでいる。筒部１２０２は、上下方向に延びる中心軸線を有する円筒形状を有している。筒部１２０２の形状は、六角柱等の多角柱形状であってもよい。筒部１２０２の下端は、開口している。筒部１２０２の上端は、開口していない。筒部１２０２の下端部の直径は、筒部１２０２の残余の部分の直径より小さい。すなわち、筒部１２０２は、筒部１２０２の下端部が少し絞られた形状を有している。
　中心プランジャ１２０４は、図３に示すように、上下方向に延びる棒状部材である。中心プランジャ１２０４の下端部は、下方向に突出する凸曲面である。中心プランジャ１２０４の上部は、筒部１２０２の内部に位置している。中心プランジャ１２０４の下部は、筒部１２０２の外に位置している。ただし、中心プランジャ１２０４の上部の直径は、中心プランジャ１２０４の残余の部分の直径より大きい。これにより、中心プランジャ１２０４は、筒部１２０２を下方向に通過することができない。
　スプリング１２０８は、図３に示すように、筒部１２０２の内部に配置されている。スプリング１２０８の下端は、中心プランジャ１２０４の上端に接触している。スプリング１２０８の上端は、筒部１２０２の内周面の上端に接触している。これにより、スプリング１２０８（弾性体）は、中心プランジャ１２０４を下方向に押している。信号ピン１２０は、スプリング１２０８が伸縮することにより、上下方向に伸縮することができる。
　ところで、筒部１２０２の上端は、図３に示すように、ソケット１２３の下端に接触している。そのため、中心プランジャ１２０４は、筒部１２０２、スプリング１２０８及びソケット１２３を介して、中心導体線２０４に電気的に接続されている。以上のような信号ピン１２０は、例えば、黄銅により作製されている。
　外部プランジャ１０２は、図２ないし図４に示すように、上下方向に延びる筒状部材である。本実施形態では、外部プランジャ１０２は、上下方向に延びる中心軸線を有する円筒形状を有している。外部プランジャ１０２には、図３に示すように、上下方向に延びる貫通孔Ｈ１が設けられている。貫通孔Ｈ１は、外部プランジャ１０２の上端から下端までを貫通している。外部プランジャ１０２は、上下方向に見て、信号ピン１２０の周囲を囲んでいる。従って、信号ピン１２０は、貫通孔Ｈ１において上下方向に延びている。ただし、外部プランジャ１０２は、信号ピン１２０に電気的に接続されていない。
　また、外部プランジャ１０２の貫通孔Ｈ１の内周面は、図３に示すように、ケーブルアダプタ１０５の外周面に接触している。これにより、外部プランジャ１０２は、ケーブルアダプタ１０５を介して外部導体２０６に電気的に接続されている。外部プランジャ１０２は、グランド電位に接続されている。以上のような外部プランジャ１０２は、導電性の高い金属により作製されている。外部プランジャ１０２は、例えば、ＳＵＳにより作製されている。
　ブッシング１２６は、図３に示すように、外部プランジャ１０２とソケット１２３とを絶縁している。ブッシング１２６は、図３に示すように、上下方向に見て、ソケット１２３の周囲を囲んでいる。ブッシング１２６は、上下方向に延びる中心軸線を有する円筒形状を有している。ブッシング１２６の中心軸線は、ソケット１２３の中心軸線と一致する。ソケット１２３は、ブッシング１２６の内部に挿入されている。ブッシング１２６は、外部プランジャ１０２の貫通孔Ｈ１の内部に配置されている。ブッシング１２６は、絶縁性を有する樹脂により作製されている。ブッシング１２６は、例えば、エポキシ樹脂により作製されている。これにより、ソケット１２３は、外部プランジャ１０２と絶縁されている。
　ブッシング１２４（絶縁部材）は、図３に示すように、中心プランジャ１２０４と外部プランジャ１０２とを絶縁している。ブッシング１２４は、図３ないし図５に示すように、上下方向に見て、中心プランジャ１２０４の周囲を囲んでいる。ブッシング１２４は、上下方向に見て、円形状を有している。中心プランジャ１２０４は、ブッシング１２４を上下方向に貫通している。そのため、中心プランジャ１２０４は、ブッシング１２４（絶縁部材）の下端より下方向に突出している。また、上下方向に見て、中心プランジャ１２０４とブッシング１２４（絶縁部材）との間には隙間が存在する。そのため、ブッシング１２４は、中心プランジャ１２０４を保持していない。従って、中心プランジャ１２０４は、スプリング１２０８の伸縮により、ブッシング１２４に対して上下方向に変位することができる。
　ところで、ブッシング１２４は、図３に示すように、ブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）及びブッシング非接触部１２４ｂを有する。ブッシング非接触部１２４ｂは、外部プランジャ１０２の貫通孔Ｈ１の内部に位置している部分である。ブッシング非接触部１２４ｂの外周面は、貫通孔Ｈ１の内周面に接触している。これにより、ブッシング非接触部１２４ｂは、外部プランジャ１０２に固定されている。また、ブッシング接触部１２４ａは、ブッシング１２４において外部プランジャ１０２の貫通孔Ｈ１外に位置している部分である。すなわち、ブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）は、ブッシング１２４（絶縁部材）において外部プランジャ１０２の下端より下に位置している部分である。このように、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されている。
　以下に、ブッシング接触部１２４ａの形状についてより詳細に説明する。ブッシング接触部１２４ａは、図３に示すように、ブッシング非接触部１２４ｂの下に位置する。ブッシング接触部１２４ａは、下方向に向かって先細りする形状を有する部分を含んでいる。本実施形態では、ブッシング接触部１２４ａは、下方向に向かって先細りする形状を有している。具体的には、ブッシング接触部１２４ａは、図２に示すように、円錐台形状を有している。図３に示すように、上下方向に直交する断面を断面Ｄと定義する。更に、上下方向に直交する２つの断面を上断面Ｄ１及び下断面Ｄ２と定義する。上断面Ｄ１は、下断面Ｄ２より上に位置している。なお、図３では、断面Ｄと下断面Ｄ２とは一致しているが、断面Ｄと下断面Ｄ２とは一致していなくてもよい。
　上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）の外縁に囲まれた領域の面積は、断面Ｄが下方向に移動するにしたがって減少している。ここで、ブッシング接触部１２４ａには上下方向に貫通する孔が設けられている。従って、上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａは、外側の円と内側の円とを輪郭として有している。本明細書では、上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）の外縁とは、内側の円と外側の円との内の外側の円を指す。更に、上断面Ｄ１と下断面Ｄ２との全ての組み合わせにおいて、下断面Ｄ２におけるブッシング接触部１２４ａの外縁が、上下方向に見て、上断面Ｄ１におけるブッシング接触部１２４ａの外縁に収まる関係が成立している。換言すれば、以下の２つの条件が満たされている。
条件１：下断面Ｄ２におけるブッシング接触部１２４ａの外縁は、下断面Ｄ２より上に位置する全ての上断面Ｄ１におけるブッシング接触部１２４ａの外縁に収まっている。　
条件２：条件１がブッシング接触部１２４ａにおける全ての下断面Ｄ２において成立している。
　従って、ブッシング接触部１２４ａは、断面Ｄが下に移動するにしたがって、前後方向及び左右方向の幅が細くなっていく形状を有している。特に、上下方向に見て、ブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）の外縁の形状は、円である。更に、上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）の外縁に囲まれた領域の面積は、断面Ｄが下方向に移動するにしたがって連続的に減少している。そのため、ブッシング接触部１２４ａは、前記の通り、円錐台形状を有している。
　ハウジング１０４は、図３に示すように、上下方向に延びる筒状部材である。ハウジング１０４には、上下方向に延びる貫通孔Ｈ２が設けられている。貫通孔Ｈ２は、ハウジング１０４の上端から下端までを貫通している。ハウジング１０４の下端部は、外部プランジャ１０２の上端部に挿入されている。これにより、ハウジング１０４は、外部プランジャ１０２の上に位置するように外部プランジャ１０２に支持されている。更に、上下方向に見て、貫通孔Ｈ１と貫通孔Ｈ２とは重なっている。同軸ケーブル２０２は、貫通孔Ｈ２の内部を上下方向に通過している。このようなハウジング１０４は、導電性の高い金属により作製されている。ハウジング１０４は、例えば、ＳＵＳにより作製されている。
　フランジ１０６は、板形状を有する部材である。フランジ１０６は、下方向に見たときに、長方形状を有する。フランジ１０６は、上下方向において、ハウジング１０４の上端部近傍に配置される。フランジ１０６には、上下方向に延びる貫通孔Ｈ３が設けられている。ハウジング１０４は、貫通孔Ｈ３内を上下方向に通過している。ただし、ハウジング１０４の上端部の直径は、フランジ１０６の貫通孔Ｈ３の直径より大きい。そのため、ハウジング１０４は、貫通孔Ｈ３を下方向に向かって抜けることができない。このようなフランジ１０６は、導電性の高い金属により作製されている。フランジ１０６は、例えば、ＳＵＳにより作製されている。
　スプリング１０８は、フランジ１０６を上方向に押している。スプリング１０８は、外部プランジャ１０２を下方向に押している。より詳細には、スプリング１０８の上端は、フランジ１０６の下面に固定されている。スプリング１０８の下端は、外部プランジャ１０２の上端に固定されている。そのため、外部プランジャ１０２が上方向に押されると、スプリング１０８が縮んで、外部プランジャ１０２及びハウジング１０４がフランジ１０６に対して上方向に変位する。
　次に、検査用プローブ装置１００を用いてコネクタ３００を検査するコネクタ検査方法について図面を参照しながら説明する。図７ないし図１０は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００及びコネクタ３００の断面図である。
　まず、コネクタ３００について説明する。コネクタ３００は、コネクタ中心導体３０２、コネクタ外部導体３０４及びコネクタ絶縁体３０６を備えている。コネクタ中心導体３０２には、検査時に、中心プランジャ１２０４が接触する。コネクタ中心導体３０２は、図７に示すように上下方向に延びるピンである。
　コネクタ外部導体３０４には、検査時に、外部プランジャ１０２が接触する。コネクタ外部導体３０４は、上下方向に見て、コネクタ中心導体３０２の周囲を囲んでいる。コネクタ外部導体３０４は、上下方向に延びる中心軸線を有する円筒形状を有している。
　コネクタ絶縁体３０６は、コネクタ中心導体３０２とコネクタ外部導体３０４とを絶縁している。コネクタ絶縁体３０６は、ブッシング接触部１２４ａ（絶縁体接触部）の形状に倣った形状を有している。従って、コネクタ絶縁体３０６は、凹曲面Ｓを有している。凹曲面Ｓは、下方向に見て、視認することができる。以下に、コネクタ絶縁体３０６の凹曲面Ｓについて説明する。
　図７に示すように、上下方向に直交する断面を断面ｄと定義する。更に、上下方向に直交する２つの断面を上断面ｄ１及び下断面ｄ２と定義する。上断面ｄ１は、下断面ｄ２より上に位置している。なお、図７では、断面ｄと下断面ｄ２とは一致しているが、断面ｄと下断面ｄ２とは一致していなくてもよい。
　上下方向に直交する断面ｄにおける凹曲面Ｓに囲まれた領域の面積は、断面ｄが下方向に移動するにしたがって減少している。更に、上断面ｄ１と下断面ｄ２との全ての組み合わせにおいて、下断面ｄ２における凹曲面Ｓが、上下方向に見て、上断面ｄ１における凹曲面Ｓの外縁に収まる関係が成立している。
　本実施形態に係るコネクタ検査方法では、検査用プローブ装置１００の中心プランジャ１２０４とコネクタ外部導体３０４を接触させることにより、コネクタ中心導体３０２に対する中心プランジャ１２０４の上下方向に直交する方向の位置合わせを行う。更に、本実施形態に係るコネクタ検査方法では、検査用プローブ装置１００のブッシング接触部１２４ａをコネクタ絶縁体３０６に接触させることにより、コネクタ中心導体３０２に対する中心プランジャ１２０４の上下方向に直交する方向の位置合わせを行う。
　まず、検査用プローブ装置１００は、図７に示すように、コネクタ３００の上にセットされる。そして、検査用プローブ装置１００が下降させられる。中心プランジャ１２０４の下端は、外部プランジャ１０２及びブッシング接触部１２４ａの下端より下方向に突出している。これにより、中心プランジャ１２０４の下端は、図８に示すように、コネクタ絶縁体３０６の凹曲面Ｓに接触する。検査用プローブ装置１００が下降させられると、中心プランジャ１２０４は、上下方向に見てコネクタ絶縁体３０６の中心に位置するコネクタ中心導体３０２に導かれる。その結果、中心プランジャ１２０４は、図９に示すように、コネクタ中心導体３０２と接触する。ただし、この段階では、ブッシング接触部１２４ａは、コネクタ絶縁体３０６に接触していない。
　検査用プローブ装置１００が更に下降させられると、スプリング１２０８が縮む。これにより、外部プランジャ１０２及びブッシング１２４が下降させられる。そして、ブッシング接触部１２４ａは、コネクタ絶縁体３０６の凹曲面Ｓに接触する。コネクタ絶縁体３０６の凹曲面Ｓは、ブッシング接触部１２４ａに倣った形状を有する。そのため、図１０に示すように、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６に密着する。この際、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６から上下方向に直交する方向に力を受けることにより、コネクタ中心導体３０２に対する中心プランジャ１２０４の上下方向に直交する方向の位置合わせが行われる。なお、図示を省略するが、図１０の状態では、中心プランジャ１２０４の破損の防止のために、スプリング１０８が縮んで、外部プランジャ１０２がフランジ１０６に対して上方向に変位している。以上の動作により、検査用プローブ装置１００に接続された測定装置は、コネクタ３００への接続性を確保しながら、比較的に高い周波数を有する高周波信号を測定することができる。
［効果］
　検査用プローブ装置１００によれば、コネクタ３００に対する中心プランジャ１２０４の位置合わせを容易に行うことができる。より詳細には、ブッシング接触部１２４ａは、下方向に向かって先細りする形状を有している。そこで、コネクタ３００のコネクタ絶縁体３０６がブッシング接触部１２４ａの形状に倣った形状を有していればよい。これにより、検査用プローブ装置１００が下降しているときにブッシング接触部１２４ａ（絶縁部材接触部）がコネクタ絶縁体３０６に接触することにより、コネクタ中心導体３０２に対する中心プランジャ１２０４の上下方向に直交する方向の位置合わせが行われるようになる。その結果、検査用プローブ装置１００によれば、コネクタ３００に対する中心プランジャ１２０４の位置合わせを容易に行うことができる。
　検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の構造を簡素化できる。より詳細には、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されている。これにより、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位しない。従って、検査用プローブ装置１００では、ブッシング１２４を外部プランジャ１０２に対して上下動させる機構（例えば、スプリング）が不要となる。その結果、検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の構造を簡素化できる。
　検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００が破損しにくい。より詳細には、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されている。これにより、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位しない。そのため、ブッシング１２４が外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位できるように、ブッシング１２４と外部プランジャ１０２との間に小さな隙間が形成されなくてもよい。ブッシング１２４が外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されていることにより、ブッシング１２４が外部プランジャ１０２に対して上下方向に直交する方向に変位しにくくなる。その結果、ブッシング１２４がコネクタ３００から上下方向に直交する方向に力を受けたとしても、ブッシング１２４が中心プランジャ１２０４に上下方向に直交する方向に力を及ぼすことが抑制される。以上より、中心プランジャ１２０４が折れ曲がることが抑制される。
　検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の高周波特性の劣化が抑制されると共に、検査用プローブ装置１００の検査精度の劣化が抑制される。より詳細には、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されている。これにより、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位しない。そのため、ブッシング１２４が外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位できるように、ブッシング１２４と外部プランジャ１０２との間に小さな隙間が形成されなくてもよい。ブッシング１２４が外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されていることにより、ブッシング１２４が外部プランジャ１０２に対して上下方向に直交する方向に変位しにくくなる。その結果、ブッシング１２４がコネクタ３００から上下方向に直交する方向に力を受けたとしても、ブッシング１２４が中心プランジャ１２０４に上下方向に直交する方向に力を及ぼすことが抑制される。よって、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２に対して上下方向に直交する方向にずれた状態で接触することが抑制される。以上より、検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の高周波特性の劣化が抑制されると共に、検査用プローブ装置１００の検査精度の劣化が抑制される。
　検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の高周波特性の劣化が抑制されると共に、検査用プローブ装置１００の検査精度の劣化が抑制される。より詳細には、ブッシングが外部プランジャに固定されていない場合、ブッシング及び中心プランジャが外部プランジャに対して上下方向に変位できる。この場合、ブッシング及び中心プランジャがそれぞれ独立して上下方向に変位できる。その結果、ブッシングがコネクタ絶縁体に密着せずにずれて接触した状態で、中心プランジャがコネクタ中心導体に接触する場合がある。ブッシング及び中心プランジャがそれぞれ独立して上下方向に変位できるので、検査用プローブ装置を下降させても、ブッシングが外部プランジャに密着せずに、ブッシングが外部プランジャに対して上下方向に変位する。その結果、中心プランジャがコネクタ中心導体に対して上下方向に直交する方向にずれた状態で接触する。このような場合、検査用プローブ装置の高周波特性が劣化すると共に、検査用プローブ装置の検査精度が劣化する。
　そこで、検査用プローブ装置１００では、ブッシング１２４は、外部プランジャ１０２の下端から下方向に突出するように外部プランジャ１０２に固定されている。これにより、ブッシング１２４が、外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位せず、中心プランジャ１２０４が、ブッシング１２４及び外部プランジャ１０２に対して上下方向に変位する。これにより、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６に密着することができる。その結果、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２に対して上下方向に直交する方向にずれた状態で接触することが抑制される。以上より、検査用プローブ装置１００によれば、検査用プローブ装置１００の高周波特性の劣化が抑制されると共に、検査用プローブ装置１００の検査精度の劣化が抑制される。
　検査用プローブ装置１００では、上下方向に見て、ブッシング接触部１２４ａの外縁の形状は、円である。これにより、検査用プローブ装置１００が中心プランジャ１２０４の中心軸線周りに回転したとしても、コネクタ３００に対する中心プランジャ１２０４の位置合わせを容易に行うことができる。
　検査用プローブ装置１００では、上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａの外縁に囲まれた領域の面積は、断面Ｄが下方向に移動するにしたがって連続的に減少している。これにより、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６の表面上を滑ることができる。検査用プローブ装置１００によれば、コネクタ３００に対する中心プランジャ１２０４の位置合わせを容易に行うことができる。
　検査用プローブ装置１００では、中心プランジャ１２０４は、ブッシング１２４に対して上下方向に変位することができる。これにより、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６に接触するときに、中心プランジャ１２０４がブッシング１２４に対して上方向に変位することができる。よって、ブッシング接触部１２４ａがコネクタ絶縁体３０６に密着することが可能となり、コネクタ３００に対する中心プランジャ１２０４の位置合わせがより精度よく行われるようになる。
　検査用プローブ装置１００では、スプリング１２０８（弾性体）は、中心プランジャ１２０４を下方向に押す。これにより、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２に押し付けられるようになる。その結果、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２により確実に接続されるようになる。
　検査用プローブ装置１００では、中心プランジャ１２０４の下端部は、下方向に突出する凸曲面である。これにより、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２に点接触するようになる。その結果、中心プランジャ１２０４がコネクタ中心導体３０２により確実に接続されるようになる。
　検査用プローブ装置１００では、上下方向に見て、中心プランジャ１２０４とブッシング１２４（絶縁部材）との間には隙間が存在する。これにより、中心プランジャ１２０４がブッシング１２４に対してスムーズに上下動できる。
（変形例）
　以下に変形例に係る検査用ユニット１０ａ及び検査用プローブ装置１００ａについて図面を参照しながら説明する。図１１は、検査用プローブ装置１００ａの外観斜視図である。図１２ないし図１５は、コネクタ検査方法における検査用プローブ装置１００ａ及びコネクタ３００Ｌ，３００Ｒの断面図である。図１２ないし図１５では、信号ピン１２０Ｌ，１２０Ｒの構造を簡素化して示した。
　検査用プローブ装置１００ａは、図１１に示すように、２個の検査用プローブ装置１００が一体化された構造を有している。これにより、検査用プローブ装置１００ａは、コネクタ３００Ｌ，３００Ｒの検査を行うことができる。コネクタ３００Ｌ，３００Ｒのそれぞれは、図１１及び図１２に示すように、コネクタ３００と同じ構造を有している。
　具体的には、検査用プローブ装置１００ａは、図１２に示すように、外部プランジャ１０２ａ、信号ピン１２０Ｌ，１２０Ｒ及びブッシング１２４Ｌ，１２４Ｒを備えている。なお、検査用プローブ装置１００ａは、ケーブルアダプタ１０５Ｌ，１０５Ｒ、フランジ１０６、スプリング１０８、ソケット１２３Ｌ，１２３Ｒ及びブッシング１２４Ｒ，１２４Ｒも備えている。しかしながら、ケーブルアダプタ１０５Ｌ，１０５Ｒ、フランジ１０６、スプリング１０８、ソケット１２３Ｌ，１２３Ｒ及びブッシング１２４Ｒ，１２４Ｒは、ケーブルアダプタ１０５、フランジ１０６、スプリング１０８、ソケット１２３及びブッシング１２４と同じであるので説明を省略する。
　検査用プローブ装置１００ａの外部プランジャ１０２ａは、２個の外部プランジャ１０２が左右に並んだ構造を有している。外部プランジャ１０２ａは、外部プランジャ左部１０２ａＬ及び外部プランジャ右部１０２ａＲを含んでいる。外部プランジャ左部１０２ａＬには、上下方向に延びる貫通孔Ｈ１Ｌが設けられている。外部プランジャ右部１０２ａＲには、上下方向に延びる貫通孔Ｈ１Ｒが設けられている。
　信号ピン１２０Ｌ及び信号ピン１２０Ｒは、左右方向に並んでいる。信号ピン１２０Ｌは、信号ピン１２０Ｒの左に位置している。信号ピン１２０Ｌは、外部プランジャ左部１０２ａＬの貫通孔Ｈ１Ｌにおいて上下方向に延びている。信号ピン１２０Ｌは、筒部１２０２Ｌ（参照符号を図示せず）、中心プランジャ１２０４Ｌ及びスプリング１２０８Ｌ（参照符号を図示せず）を含んでいる。信号ピン１２０Ｒは、外部プランジャ右部１０２ａＲの貫通孔Ｈ１Ｒにおいて上下方向に延びている。信号ピン１２０Ｒは、筒部１２０２Ｒ（参照符号を図示せず）、中心プランジャ１２０４Ｒ及びスプリング１２０８Ｒ（参照符号を図示せず）を含んでいる。ただし、図１２ないし図１５では、信号ピン１２０Ｌ，１２０Ｒの構造を簡素化して示したので、筒部１２０２Ｌ，１２０２Ｒ、中心プランジャ１２０４Ｌ，１２０４Ｒ及びスプリング１２０８Ｌ，１２０８Ｒの詳細な構造は省略されている。また、筒部１２０２Ｌ，１２０２Ｒ、中心プランジャ１２０４Ｌ，１２０４Ｒ及びスプリング１２０８Ｌ，１２０８Ｒは、筒部１２０２、中心プランジャ１２０４及びスプリング１２０８と同じであるので説明を省略する。
　ブッシング１２４Ｌは、中心プランジャ１２０４Ｌと外部プランジャ１０２ａとを絶縁している。ブッシング１２４Ｒは、中心プランジャ１２０４Ｒと外部プランジャ１０２ａとを絶縁している。ただし、ブッシング１２４Ｌ，１２４Ｒは、ブッシング１２４と同じであるので説明を省略する。
　次に、検査用プローブ装置１００ａを用いてコネクタ３００Ｌ，３００Ｒを検査するコネクタ検査方法について図１２ないし図１５を参照しながら説明する。
　まず、検査用プローブ装置１００ａは、図１２に示すように、コネクタ３００Ｌ，３００Ｒの上にセットされる。そして、検査用プローブ装置１００ａが下降させられる。これにより、中心プランジャ１２０４Ｌの下端は、図１３に示すように、コネクタ絶縁体３０６Ｌの凹曲面ＳＬに接触する。中心プランジャ１２０４Ｒの下端は、図１３に示すように、コネクタ絶縁体３０６Ｒの凹曲面ＳＲに接触する。そのため、検査用プローブ装置１００ａが下降させられると、中心プランジャ１２０４Ｌは、コネクタ中心導体３０２Ｌに導かれる。同様に、中心プランジャ１２０４Ｒは、コネクタ中心導体３０２Ｒに導かれる。その結果、中心プランジャ１２０４Ｌは、図１４に示すように、コネクタ中心導体３０２Ｌと接触する。中心プランジャ１２０４Ｒは、図１４に示すように、コネクタ中心導体３０２Ｒと接触する。
　検査用プローブ装置１００ａが更に下降させられると、スプリング１２０８Ｌ，１２０８Ｒが縮む。これにより、外部プランジャ１０２ａ及びブッシング１２４Ｌ，１２４Ｒが下降させられる。そして、ブッシング接触部１２４ａＬは、コネクタ絶縁体３０６Ｌに接触する。ブッシング接触部１２４ａＲは、コネクタ絶縁体３０６Ｒに接触する。コネクタ絶縁体３０６Ｌは、ブッシング接触部１２４ａＬに倣った形状を有する。コネクタ絶縁体３０６Ｒは、ブッシング接触部１２４ａＲに倣った形状を有する。そのため、図１５に示すように、ブッシング接触部１２４ａＬがコネクタ絶縁体３０６Ｌに密着する。同様に、図１５に示すように、ブッシング接触部１２４ａＲがコネクタ絶縁体３０６Ｒに密着する。この際、ブッシング接触部１２４ａＬがコネクタ絶縁体３０６Ｌから上下方向に直交する方向に力を受けることにより、コネクタ中心導体３０２Ｌに対する中心プランジャ１２０４Ｌの上下方向に直交する方向の位置合わせが行われる。同様に、ブッシング接触部１２４ａＲがコネクタ絶縁体３０６Ｒから上下方向に直交する方向に力を受けることにより、コネクタ中心導体３０２Ｒに対する中心プランジャ１２０４Ｒの上下方向に直交する方向の位置合わせが行われる。以上の動作により、検査用プローブ装置１００ａに接続された測定装置は、コネクタ３００Ｌ，３００Ｒへの接続性を確保しながら、比較的に高い周波数を有する高周波信号を測定することができる。
　検査用プローブ装置１００ａによれば、検査用プローブ装置１００と同じ作用効果を奏することができる。
（その他の実施形態）
　本発明に係る検査用コネクタは、前記実施形態に係る検査用プローブ装置１００，１００ａに限らず、その要旨の範囲内において変更可能である。
　なお、検査用プローブ装置１００，１００ａの構成を任意に組み合わせてもよい。
　なお、上下方向に見て、上断面Ｄ１におけるブッシング接触部１２４ａの外縁の形状は、円以外であってもよい。円以外の形状は、例えば、正方形、長方形、楕円、三角形等である。
　なお、上下方向に直交する断面Ｄにおけるブッシング接触部１２４ａの外縁に囲まれた領域の面積は、断面Ｄが下方向に移動するにしたがって階段状に減少してもよい。
　なお、中心プランジャ１２０４は、ブッシング１２４に対して上下方向に変位できなくてもよい。
　なお、検査用プローブ装置１００は、中心プランジャ１２０４を下方向に押すスプリング１２０８を備えていなくてもよい。
　なお、中心プランジャ１２０４の下端部は、下方向に突出する凸曲面以外の形状であってもよい。中心プランジャ１２０４の下端部は、例えば、下方向に突出する針形状であってもよい。
　なお、上下方向に見て、中心プランジャ１２０４とブッシング１２４との間には隙間が存在しなくてもよい。
　なお、ハウジング１０４及びフランジ１０６は、導電性を有していなくてもよい。ただし、ハウジング１０４及びフランジ１０６が導電性を有していると、コネクタ３００のグランドとフランジ１０６が固定される固定台のグランドとを共通化できる。
　なお、ブッシング接触部１２４ａは、下方向に向かって先細りする形状を有する部分を含んでいればよい。従って、ブッシング接触部１２４ａは、例えば、円柱等の先細りしていない形状と、円錐台等の下方向に向かって先細りする形状との組み合わせでもよい。この場合、ブッシング接触部１２４ａは、円錐台が円柱の下端に接合された構造を有する。
１０，１０ａ：検査用ユニット
１００，１００ａ：検査用プローブ装置
１０２，１０２ａ：外部プランジャ
１０２ａＬ：外部プランジャ左部
１０２ａＲ：外部プランジャ右部
１０４：ハウジング
１０５，１０５Ｌ，１０５Ｒ：ケーブルアダプタ
１０６：フランジ
１０８：スプリング
１２０，１２０Ｌ，１２０Ｒ：信号ピン
１２３，１２３Ｌ，１２３Ｒ：ソケット
１２４，１２４Ｌ，１２４Ｒ，１２６：ブッシング
１２４ａ，１２４ａＬ，１２４ａＲ：ブッシング接触部
１２４ｂ：ブッシング非接触部
２００：外部接続用コネクタ
２０２：同軸ケーブル
２０４：中心導体線
２０６：外部導体
２０８：絶縁体
２１０：被膜
３００，３００Ｌ，３００Ｒ：コネクタ
３０２，３０２Ｌ，３０２Ｒ：コネクタ中心導体
３０４：コネクタ外部導体
３０６，３０６Ｌ，３０６Ｒ：コネクタ絶縁体
１２０４，１２０４Ｌ，１２０４Ｒ：中心プランジャ
Ｓ，ＳＬ，ＳＲ：凹曲面

Claims (9)

  1. 　中心導体線と、前記中心導体線の周囲を囲んでいる外部導体と、前記中心導体線と前記外部導体とを絶縁している絶縁体と、を備える同軸ケーブルの端部に接続される検査用プローブ装置であって、
    　前記中心導体線に電気的に接続され、かつ、上下方向に延びる中心プランジャと、
    　前記外部導体に電気的に接続され、かつ、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる外部プランジャと、
    　前記中心プランジャと前記外部プランジャとを絶縁し、かつ、前記外部プランジャの下端から下方向に突出するように前記外部プランジャに固定されている絶縁部材であって、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる絶縁部材と、
    　を備えており、
    　前記中心プランジャは、前記絶縁部材の下端より下方向に突出しており、
    　前記絶縁部材において前記外部プランジャの下端より下に位置する部分を絶縁部材接触部と定義し、
    　前記絶縁部材接触部は、下方向に向かって先細りする形状を有する部分を含んでいる、
    　検査用プローブ装置。
  2. 　上下方向に見て、前記絶縁部材接触部の外縁の形状は、円である、
    　請求項１に記載の検査用プローブ装置。
  3. 　上下方向に直交する断面における前記絶縁部材接触部の外縁に囲まれた領域の面積は、前記断面が下方向に移動するにしたがって連続的に減少している、
    　請求項１又は請求項２のいずれかに記載の検査用プローブ装置。
  4. 　前記中心プランジャは、前記絶縁部材に対して上下方向に変位することができる、
    　請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の検査用プローブ装置。
  5. 　前記検査用プローブ装置は、
    　前記中心プランジャを下方向に押す弾性体を、
    　更に備えている、
    　請求項４に記載の検査用プローブ装置。
  6. 　前記中心プランジャの下端部は、下方向に突出する凸曲面である、
    　請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の検査用プローブ装置。
  7. 　上下方向に見て、前記中心プランジャと前記絶縁部材との間には隙間が存在する、
    　請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の検査用プローブ装置。
  8. 　中心導体線と、前記中心導体線の周囲を囲んでいる外部導体と、前記中心導体線と前記外部導体とを絶縁している絶縁体と、を備える同軸ケーブルの端部に接続される検査用プローブ装置であって、
    　前記中心導体線に電気的に接続され、かつ、上下方向に延びる中心プランジャと、
    　前記外部導体に電気的に接続され、かつ、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる外部プランジャと、
    　前記中心プランジャと前記外部プランジャとを絶縁し、かつ、前記外部プランジャの下端から下方向に突出するように前記外部プランジャに固定されている絶縁部材であって、上下方向に見て、前記中心プランジャの周囲を囲んでいる絶縁部材と、
    　を備えており、
    　前記中心プランジャは、前記絶縁部材の下端より下方向に突出しており、
    　前記絶縁部材は、前記外部プランジャの下端より下に位置する部分を、絶縁部材接触部を有する、
    　検査用プローブ装置を用いてコネクタの検査を行うコネクタ検査方法であって、
    　前記コネクタは、
    　前記中心プランジャが接触するコネクタ中心導体と、
    　前記外部プランジャが接触するコネクタ外部導体であって、上下方向に見て、前記コネクタ中心導体の周囲を囲んでいるコネクタ外部導体と、
    　コネクタ中心導体と前記コネクタ外部導体とを絶縁し、かつ、前記絶縁部材接触部の形状に倣った形状を有するコネクタ絶縁体と、
    　を備えており、
    　前記検査用プローブ装置の前記中心プランジャと前記コネクタ外部導体を接触させることにより、前記コネクタ中心導体に対する前記中心プランジャの上下方向に直交する方向の位置合わせを行い、
    　前記検査用プローブ装置の前記絶縁部材接触部を前記コネクタ絶縁体に接触させることにより、前記コネクタ中心導体に対する前記中心プランジャの上下方向に直交する方向の位置合わせを行う、
    　コネクタ検査方法。
  9. 　前記絶縁部材接触部は、下方向に向かって先細りする形状を有する部分を含んでいる、
    　請求項8に記載のコネクタ検査方法。
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