CN114207952A - 检查用探针装置和连接器检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及检查用探针装置和连接器检查方法，其中，中心插销与中心导体线电连接，并且在上下方向上延伸。外部插销与外部导体电连接，并且在上下方向上观察时，外部插销从四周包围中心插销。绝缘部件使中心插销与外部插销绝缘，并且固定于外部插销，并从外部插销的下端向下方突出。在上下方向上观察时，绝缘部件从四周包围中心插销。中心插销比绝缘部件的下端向下方突出。将绝缘部件中的比外部插销的下端的位置靠下方的部分定义为绝缘部件接触部。绝缘部件接触部包括具有朝向下方而尖端渐细的形状的部分。

Description

检查用探针装置和连接器检查方法

技术领域

本发明涉及与同轴电缆连接的检查用探针装置和连接器检查方法。

背景技术

作为与以往的检查用探针装置有关的发明，例如公知有专利文献1所记载的自动检查机的插头。自动检查机的插头具备信号端子和接地端子。接地端子为具有在上下方向上延伸的中心轴线的圆筒形状。接地端子具有底面。在接地端子的底面的中心设置有孔。信号端子是在上下方向上延伸的销。信号端子在接地端子的内部在上下方向上延伸。另外，信号端子经由接地端子的底面的孔而从接地端子向下方突出。

这种自动检查机的插头被利用于检查带开关的连接器。在带开关的连接器的上表面设置有孔。信号端子经由该孔而被插入至带开关的连接器的内部。由此，信号端子与带开关的连接器的中心导体接触。另外，接地端子的下表面与带开关的连接器的上表面接触。由此，接地端子与带开关的连接器的外部导体接触。

专利文献1：日本特开平9-223548号公报

然而，在专利文献1所记载的自动检查机的插头中，需要在将自动检查机的插头与带开关的连接器高精度地进行了对位的状态下，将信号端子插入至带开关的连接器的孔。存在想要容易进行这种自动检查机的插头与带开关的连接器的对位的迫切期望。

发明内容

为此，本发明的目的在于提供能够容易进行中心插销相对于连接器的对位的检查用探针装置和连接器检查方法。

本发明的一个方式的检查用探针装置与具备中心导体线、从四周包围上述中心导体线的外部导体、以及使上述中心导体线与上述外部导体绝缘的绝缘体的同轴电缆的端部连接，其中，

上述检查用探针装置具备：

中心插销，其与上述中心导体线电连接，并且在上下方向上延伸；

外部插销，其与上述外部导体电连接，并且在上下方向上观察时，从四周包围上述中心插销；和

绝缘部件，其使上述中心插销与上述外部插销绝缘，并且固定于上述外部插销，并从上述外部插销的下端向下方突出，在上下方向上观察时，绝缘部件从四周包围上述中心插销，

上述中心插销比上述绝缘部件的下端向下方突出，

将上述绝缘部件中的比上述外部插销的下端的位置靠下方的部分定义为绝缘部件接触部，

上述绝缘部件接触部包括具有朝向下方而尖端渐细的形状的部分。

以下，对本说明书中的用语的定义进行说明。在本说明书中，在前后方向上延伸的轴线或部件并不一定仅表示与前后方向平行的轴线或部件。在前后方向上延伸的轴线或部件是在相对于前后方向以±45°的范围内倾斜的轴线或部件。同样，在上下方向上延伸的轴线或部件是在相对于上下方向以±45°的范围内倾斜的轴线或部件。在左右方向上延伸的轴线或部件是在相对于左右方向以±45°的范围内倾斜的轴线或部件。

以下，对本说明书中的部件的位置关系进行定义。第一部件～第三部件是检查用探针装置的结构。在本说明书中，在前后方向上排列的第一部件和第二部件表示以下状态。在与前后方向垂直的方向上观察第一部件和第二部件时，第一部件和第二部件双方处于配置于表示前后方向的任意直线上的状态。在本说明书中，在上下方向上观察时在前后方向排列的第一部件和第二部件表现以下状态。在上下方向上观察第一部件和第二部件时，第一部件和第二部件双方配置于表示前后方向的任意直线上。在该情况下，若从与上下方向不同的左右方向观察第一部件和第二部件，则第一部件和第二部件的任一者也可以不配置于表示前后方向的任意直线上。此外，第一部件与第二部件也可以接触。第一部件与第二部件也可以分离。在第一部件与第二部件之间也可以存在第三部件。该定义也应用于前后方向以外的方向。

在本说明书中，第一部件配置于第二部件的前方是指以下状态。第一部件的至少局部配置于在第二部件向前方向进行平行移动时第二部件通过的区域内。由此，第一部件可以收于在第二部件向前方向进行平行移动时第二部件通过的区域内，也可以从在第二部件向前方向进行平行移动时第二部件通过的区域突出。在该情况下，第一部件和第二部件在前后方向上排列。该定义也应用于前后方向以外的方向。

在本说明书中，在左右方向上观察时，第一部件配置于第二部件的前方是指以下状态。在左右方向上观察时，第一部件与第二部件在前后方向上排列，并且在左右方向上观察时，第一部件的与第二部件对置的部分配置于第二部件的前方。在该定义中，第一部件与第二部件在三维中也可以在前后方向上不排列。该定义也应用于前后方向以外的方向。

在本说明书中，第一部件比第二部件配置得靠前方是指以下状态。第一部件配置于在第二部件的前端通过并与前后方向正交的平面的前方。在该情况下，第一部件和第二部件在前后方向上可以排列，也可以不排列。该定义也应用于前后方向以外的方向。

在本说明书中，在不特别进行否定的情况下，对第一部件的各部分如以下那样进行定义。第一部件的前部意味着第一部件的前半部分。第一部件的后部意味着第一部件的后半部分。第一部件的左部意味着第一部件的左半部分。第一部件的右部意味着第一部件的右半部分。第一部件的上部意味着第一部件的上半部分。第一部件的下部意味着第一部件的下半部分。第一部件的前端意味着第一部件的前方向的端。第一部件的后端意味着第一部件的后方向的端。第一部件的左端意味着第一部件的左方向的端。第一部件的右端意味着第一部件的右方向的端。第一部件的上端意味着第一部件的上方向的端。第一部件的下端意味着第一部件的下方向的端。第一部件的前端部意味着第一部件的前端及其附近。第一部件的后端部意味着第一部件的后端及其附近。第一部件的左端部意味着第一部件的左端及其附近。第一部件的右端部意味着第一部件的右端及其附近。第一部件的上端部意味着第一部件的上端及其附近。第一部件的下端部意味着第一部件的下端及其附近。

在将本说明书中的任意的两个部件定义为第一部件和第二部件的情况下，任意的两个部件的关系成为如以下那样的意思。在本说明书中，第一部件受第二部件支承，包括第一部件相对于第二部件无法移动地安装(即，固定)于第二部件这种情况、和第一部件相对于第二部件能够移动地安装于第二部件这种情况。另外，第一部件受第二部件支承，包括第一部件直接安装于第二部件这种情况、和第一部件经由第三部件而安装于第二部件这种情况双方。

在本说明书中，第一部件受第二部件保持，包括第一部件相对于第二部件无法移动地安装(即，固定)于第二部件这种情况，不包括第一部件相对于第二部件能够移动地安装于第二部件这种情况。另外，第一部件受第二部件保持，包括第一部件直接安装于第二部件这种情况、和第一部件经由第三部件而安装于第二部件这种情况双方。

在本说明书中，“第一部件与第二部件电连接”意味着在第一部件与第二部件之间电导通。因此，可以第一部件与第二部件接触，也可以第一部件与第二部件不接触。在第一部件与第二部件不接触的情况下，在第一部件与第二部件之间配置有具有导电性的第三部件。

根据本发明的检查用探针装置，能够容易进行中心插销相对于连接器的对位。

附图说明

图1是检查用单元10的外观立体图。

图2是检查用探针装置100的下部的放大图。

图3是检查用探针装置100的A-A处的剖视图。

图4是检查用单元10的分解立体图。

图5是电缆适配器105、信号销120、插座123、衬套124、126的立体图。

图6是电缆适配器105、信号销120、插座123、衬套124、126的分解立体图。

图7是连接器检查方法中的检查用探针装置100和连接器300的剖视图。

图8是连接器检查方法中的检查用探针装置100和连接器300的剖视图。

图9是连接器检查方法中的检查用探针装置100和连接器300的剖视图。

图10是连接器检查方法中的检查用探针装置100和连接器300的剖视图。

图11是检查用探针装置100a的外观立体图。

图12是连接器检查方法中的检查用探针装置100a和连接器300L、300R的剖视图。

图13是连接器检查方法中的检查用探针装置100a和连接器300L、300R的剖视图。

图14是连接器检查方法中的检查用探针装置100a和连接器300L、300R的剖视图。

图15是连接器检查方法中的检查用探针装置100a和连接器300L、300R的剖视图。

具体实施方式

(实施方式)

[检查用探针装置的构造]

以下，参照附图对具备本发明的实施方式的检查用探针装置100的检查用单元10的构造进行说明。图1是检查用单元10的外观立体图。图2是检查用探针装置100的下部的放大图。图3是检查用探针装置100的A-A处的剖视图。图4是检查用单元10的分解立体图。图5是电缆适配器105、信号销120、插座123和衬套124、126的立体图。图6是电缆适配器105、信号销120、插座123和衬套124、126的分解立体图。

如图1所示那样定义上下方向、左右方向和前后方向。其中，上下方向、左右方向和前后方向是为了进行说明而定义的方向。因此，检查用单元10实际使用时的上下方向、左右方向和前后方向也可以与本说明书的上下方向、左右方向和前后方向不一致。另外，上下方向也可以与各附图的上下方向相反。左右方向也可以与各附图的左右方向相反。前后方向也可以与各附图的前后方向相反。

检查用单元10用于测定在电子设备内传输的高频信号。如图1所示，检查用单元10具备检查用探针装置100、外部连接用连接器200和同轴电缆202。外部连接用连接器200与未图示的测定设备连接。外部连接用连接器200的构造为一般构造，因而省略说明。

同轴电缆202被插入至检查用探针装置100并且被插入至外部连接用连接器200。如图3和图6所示，同轴电缆202具备中心导体线204、外部导体206、绝缘体208和被膜210。中心导体线204是同轴电缆202的芯线。因此，中心导体线204位于同轴电缆202的中心。中心导体线204由低电阻的导体制成。中心导体线204例如由铜制成。

外部导体206从四周包围中心导体线204。因此，在与同轴电缆202进行延伸的方向正交的截面上，外部导体206具有圆环形状。这种外部导体206是例如通过编织细导线而制成的。外部导体206由低电阻的导体制成。外部导体206例如由铜制成。

绝缘体208使中心导体线204与外部导体206绝缘。绝缘体208位于中心导体线204与外部导体206之间。绝缘体208从四周包围中心导体线204。绝缘体208由外部导体206从四周包围。绝缘体208在与同轴电缆202进行延伸的方向正交的截面上具有圆环形状。绝缘体208由具有绝缘性的树脂制成。绝缘体208例如由聚乙烯制成。

被膜210从四周包围外部导体206。因此，在与同轴电缆202进行延伸的方向正交的截面上，被膜210具有圆环形状。被膜210是由具有绝缘性的树脂制成的。被膜210例如由聚乙烯制成。其中，在被膜210未设置有多个孔，或者设置有比绝缘体208少的孔。因此，被膜210比绝缘体208不易变形。

在同轴电缆202的下端部，通过去除外部导体206、绝缘体208和被膜210，由此中心导体线204从同轴电缆202暴露。另外，在比中心导体线204暴露的部分靠上的部位去除被膜210，由此外部导体206从同轴电缆202暴露。

如图1和图2所示，检查用探针装置100与同轴电缆202的端部连接。在本实施方式中，检查用探针装置100与同轴电缆202的下端部连接。如图1～图3所示，检查用探针装置100具备外部插销102、外壳104、电缆适配器105、凸缘106、弹簧108、信号销120、插座123、衬套124(绝缘部件)和衬套126。

如图3所示，电缆适配器105与外部导体206电连接。如图4～图6所示，电缆适配器105具有圆筒形状。同轴电缆202被插入至电缆适配器105。由此，电缆适配器105保持外部导体206。另外，如图3所示，外部导体206的外周面与电缆适配器105的内周面接触。由此，电缆适配器105与外部导体206电连接。电缆适配器105与接地电位连接。电缆适配器105由导电性高的金属制成。电缆适配器105例如由SUS制成。

如图3所示，插座123与中心导体线204电连接。其中，插座123与外部导体206没有电连接。更详细而言，插座123安装于同轴电缆202的下端部。因此，插座123配置于电缆适配器105的下方。如图6所示，插座123为具有在上下方向上延伸的中心轴线的圆筒形状。插座123的上端部开口。插座123的下端部不开口。其中，插座123的下端部也可以开口。在同轴电缆202的下端部处中心导体线204暴露。中心导体线204从插座123的上端部的开口插入至插座123的内部。中心导体线204通过焊接固定于插座123。由此，中心导体线204与插座123电连接。其中，插座123与外部导体206不接触。由此，插座123与外部导体206没有电连接。具有以上那样的构造的插座123例如由黄铜制成。

信号销120是被施加具有比较高的频率的高频信号的端子。具有比较高的频率的高频信号例如是具有0.3GHz～0.3THz的频率的毫米波或微波。如图3～图6所示，信号销120是在上下方向上延伸的棒状部件。如图3所示，信号销120的上端与插座123的下端接触。由此，信号销120与插座123电连接。即，信号销120与中心导体线204电连接。

如图3所示，信号销120包括筒部1202、中心插销1204和弹簧1208。筒部1202为具有在上下方向上延伸的中心轴线线的圆筒形状。筒部1202的形状也可以为六棱柱等多棱柱形状。筒部1202的下端开口。筒部1202的上端不开口。筒部1202的下端部的直径小于筒部1202的剩余部分的直径。即，筒部1202具有筒部1202的下端部被稍微挤压的形状。

如图3所示，中心插销1204是在上下方向上延伸的棒状部件。中心插销1204的下端部是向下方突出的凸曲面。中心插销1204的上部位于筒部1202的内部。中心插销1204的下部位于筒部1202之外。其中，中心插销1204的上部的直径大于中心插销1204的剩余部分的直径。由此，中心插销1204在筒部1202中无法向下方通过。

如图3所示，弹簧1208配置于筒部1202的内部。弹簧1208的下端与中心插销1204的上端接触。弹簧1208的上端与筒部1202的内周面的上端接触。由此，弹簧1208(弹性体)向下方推压中心插销1204。信号销120能够通过弹簧1208伸缩而在上下方向上伸缩。

然而，如图3所示，筒部1202的上端与插座123的下端接触。因此，中心插销1204经由筒部1202、弹簧1208和插座123而与中心导体线204电连接。以上那样的信号销120例如由黄铜制成。

如图2～图4所示，外部插销102为在上下方向上延伸的筒状部件。在本实施方式中，外部插销102为具有在上下方向上延伸的中心轴线的圆筒形状。如图3所示，在外部插销102上设置有在上下方向上延伸的贯通孔H1。贯通孔H1从外部插销102的上端贯通至下端。在上下方向上观察时，外部插销102从四周包围信号销120。因此，信号销120在贯通孔H1中在上下方向上延伸。其中，外部插销102与信号销120没有电连接。

另外，如图3所示，外部插销102的贯通孔H1的内周面与电缆适配器105的外周面接触。由此，外部插销102经由电缆适配器105而与外部导体206电连接。外部插销102与接地电位连接。以上那样的外部插销102由导电性高的金属制成。外部插销102例如由SUS制成。

如图3所示，衬套126使外部插销102与插座123绝缘。如图3所示，在上下方向上观察衬套126时，从四周包围插座123。衬套126为具有在上下方向上延伸的中心轴线的圆筒形状。衬套126的中心轴线与插座123的中心轴线对齐。插座123被插入至衬套126的内部。衬套126配置于外部插销102的贯通孔H1的内部。衬套126由具有绝缘性的树脂制成。衬套126例如由环氧树脂制成。由此，插座123与外部插销102绝缘。

如图3所示，衬套124(绝缘部件)使中心插销1204与外部插销102绝缘。如图3～图5所示，在上下方向上观察时，衬套124从四周包围中心插销1204。在上下方向上观察时，衬套124具有圆形状。中心插销1204将衬套124在上下方向上贯通。因此，中心插销1204比衬套124(绝缘部件)的下端向下方突出。另外，在上下方向上观察时，在中心插销1204与衬套124(绝缘部件)之间存在间隙。因此，衬套124没有保持中心插销1204。因此，中心插销1204能够通过弹簧1208的伸缩而相对于衬套124在上下方向上位移。

然而，如图3所示，衬套124具有衬套接触部124a(绝缘部件接触部)和衬套非接触部124b。衬套非接触部124b是位于外部插销102的贯通孔H1的内部的部分。衬套非接触部124b的外周面与贯通孔H1的内周面接触。由此，衬套非接触部124b固定于外部插销102。另外，衬套接触部124a是衬套124中的位于外部插销102的贯通孔H1外的部分。即，衬套接触部124a(绝缘部件接触部)是衬套124(绝缘部件)中的比外部插销102的下端的位置靠下方的部分。这样，衬套124固定于外部插销102，并从外部插销102的下端向下方突出。

以下，对衬套接触部124a的形状更详细地进行说明。如图3所示，衬套接触部124a位于衬套非接触部124b的下方。衬套接触部124a包括具有朝向下方而尖端渐细的形状的部分。在本实施方式中，衬套接触部124a具有朝向下方而尖端渐细的形状。具体而言，如图2所示，衬套接触部124a具有圆台形。如图3所示，将与上下方向正交的截面定义为截面D。此外，将与上下方向正交的两个截面定义为上截面D1和下截面D2。上截面D1比下截面D2的位置靠上方。此外，在图3中，截面D与下截面D2一致，但截面D也可以与下截面D2不一致。

与上下方向正交的截面D中的被衬套接触部124a(绝缘部件接触部)的外缘包围的区域的面积随着截面D向下方移动而减少。这里，在衬套接触部124a设置有在上下方向上贯通的孔。因此，与上下方向正交的截面D中的衬套接触部124a具有外侧的圆和内侧的圆作为轮廓。在本说明书中，与上下方向正交的截面D中的衬套接触部124a(绝缘部件接触部)的外缘是指内侧的圆与外侧的圆中的外侧的圆。此外，在上截面D1与下截面D2的全部组合中，下截面D2中的衬套接触部124a的外缘在上下方向上观察时收于上截面D1中的衬套接触部124a的外缘的关系成立。换言之，满足以下两个条件。

条件1：下截面D2中的衬套接触部124a的外缘收于比下截面D2靠上方的全部上截面D1中的衬套接触部124a的外缘。

条件2：条件1在衬套接触部124a中的全部下截面D2处成立。

因此，衬套接触部124a具有随着截面D向下移动而前后方向和左右方向的宽度逐渐变窄的形状。特别是，在上下方向上观察时，衬套接触部124a(绝缘部件接触部)的外缘的形状为圆。此外，与上下方向正交的截面D中的被衬套接触部124a(绝缘部件接触部)的外缘包围的区域的面积随着截面D向下方移动而连续减少。因此，衬套接触部124a如上述那样具有圆台形。

如图3所示，外壳104是在上下方向延伸的筒状部件。在外壳104设置有在上下方向上延伸的贯通孔H2。贯通孔H2从外壳104的上端贯通至下端。外壳104的下端部被插入至外部插销102的上端部。由此，外壳104受外部插销102支承，并位于外部插销102的上方。此外，在上下方向上观察时，贯通孔H1与贯通孔H2重叠。同轴电缆202在上下方向上在贯通孔H2的内部通过。这种外壳104由导电性高的金属制成。外壳104例如由SUS制成。

凸缘106是具有板形状的部件。在向下方观察时，凸缘106为长方形。在上下方向上，凸缘106配置于外壳104的上端部附近。在凸缘106设置有在上下方向上延伸的贯通孔H3。外壳104在上下方向上在贯通孔H3内通过。其中，外壳104的上端部的直径大于凸缘106的贯通孔H3的直径。因此，外壳104在贯通孔H3中无法朝向下方脱落。这种凸缘106由导电性高的金属制成。凸缘106例如由SUS制成。

弹簧108向上方向推压凸缘106。弹簧108向下方推压外部插销102。更详细而言，弹簧108的上端固定于凸缘106的下表面。弹簧108的下端固定于外部插销102的上端。因此，若向上方向推压外部插销102，则弹簧108收缩，从而外部插销102和外壳104相对于凸缘106向上方向位移。

接下来，参照附图对使用检查用探针装置100检查连接器300的连接器检查方法进行说明。图7～图10是连接器检查方法中的检查用探针装置100和连接器300的剖视图。

首先，对连接器300进行说明。连接器300具备连接器中心导体302、连接器外部导体304和连接器绝缘体306。在检查时，中心插销1204与连接器中心导体302接触。如图7所示，连接器中心导体302是在上下方向上延伸的销。

在检查时，外部插销102与连接器外部导体304接触。在上下方向上观察时，连接器外部导体304从四周包围连接器中心导体302。连接器外部导体304为具有在上下方向上延伸的中心轴线的圆筒形状。

连接器绝缘体306使连接器中心导体302与连接器外部导体304绝缘。连接器绝缘体306的形状仿照衬套接触部124a(绝缘体接触部)的形状。因此，连接器绝缘体306具有凹曲面S。在向下方观察时，能够辨识凹曲面S。以下，对连接器绝缘体306的凹曲面S进行说明。

如图7所示，将与上下方向正交的截面定义为截面d。此外，将与上下方向正交的两个截面定义为上截面d1和下截面d2。上截面d1比下截面d2靠上方。此外，在图7中，截面d与下截面d2一致，但截面d与下截面d2也可以不一致。

与上下方向正交的截面d中的被凹曲面S包围的区域的面积随着截面d向下方移动而减少。此外，在上截面d1与下截面d2的全部组合中，在上下方向上观察时，下截面d2中的凹曲面S收于上截面d1中的凹曲面S的外缘的关系成立。

在本实施方式的连接器检查方法中，通过使检查用探针装置100的中心插销1204与连接器外部导体304接触，而进行中心插销1204相对于连接器中心导体302的在与上下方向正交的方向的对位。此外，在本实施方式的连接器检查方法中，通过使检查用探针装置100的衬套接触部124a与连接器绝缘体306接触，而进行中心插销1204相对于连接器中心导体302的在与上下方向正交的方向的对位。

首先，如图7所示，检查用探针装置100被放置在连接器300的上方。然后，使检查用探针装置100下降。中心插销1204的下端比外部插销102和衬套接触部124a的下端向下方突出。由此，如图8所示，中心插销1204的下端与连接器绝缘体306的凹曲面S接触。若检查用探针装置100下降，则中心插销1204受到向在上下方向上观察时位于连接器绝缘体306中心的连接器中心导体302引导。其结果是，如图9所示，中心插销1204与连接器中心导体302接触。其中，在该阶段中，衬套接触部124a与连接器绝缘体306不接触。

若使检查用探针装置100进一步下降，则弹簧1208收缩。由此，使外部插销102和衬套124下降。然后，衬套接触部124a与连接器绝缘体306的凹曲面S接触。连接器绝缘体306的凹曲面S具有仿照衬套接触部124a的形状。因此，如图10所示，衬套接触部124a紧贴于连接器绝缘体306。此时，衬套接触部124a在与上下方向正交的方向上从连接器绝缘体306受力，由此进行中心插销1204相对于连接器中心导体302的在与上下方向正交的方向的对位。此外，虽省略图示，但在图10的状态下，为了防止中心插销1204破损，而使弹簧108收缩，从而外部插销102相对于凸缘106向上方向位移。通过以上动作，与检查用探针装置100连接的测定装置能够一边确保向连接器300连接的连接性能一边测定具有比较高的频率的高频信号。

[效果]

根据检查用探针装置100，能够容易进行中心插销1204相对于连接器300的对位。更详细而言，衬套接触部124a具有朝向下方而尖端渐细的形状。为此，连接器300的连接器绝缘体306的形状仿照衬套接触部124a的形状即可。由此，在检查用探针装置100下降时衬套接触部124a(绝缘部件接触部)与连接器绝缘体306接触，由此进行中心插销1204相对于连接器中心导体302的在与上下方向正交的方向的对位。其结果是，根据检查用探针装置100，能够容易进行中心插销1204相对于连接器300的对位。

根据检查用探针装置100，能够简化检查用探针装置100的构造。更详细而言，衬套124固定于外部插销102，并从外部插销102的下端向下方突出。由此，衬套124相对于外部插销102在上下方向上不形成位移。因此，在检查用探针装置100中，无需使衬套124相对于外部插销102进行上下移动的机构(例如弹簧)。其结果是，根据检查用探针装置100，能够简化检查用探针装置100的构造。

根据检查用探针装置100，检查用探针装置100不易破损。更详细而言，衬套124固定于外部插销102，并从外部插销102的下端向下方突出。由此，衬套124相对于外部插销102在上下方向上不形成位移。因此，也可以在衬套124与外部插销102之间没有形成有小间隙，且使衬套124能够相对于外部插销102在上下方向上位移。衬套124固定于外部插销102，并从外部插销102的下端向下方突出，由此衬套124相对于外部插销102在与上下方向正交的方向上不易位移。其结果是，即便是衬套124在与上下方向正交的方向上从连接器300受力，也抑制衬套124在与上下方向正交的方向上对中心插销1204施力。由此，抑制中心插销1204折弯。

根据检查用探针装置100，抑制检查用探针装置100的高频特性变差，并且抑制检查用探针装置100的检查精度变差。更详细而言，衬套124固定于外部插销102，并从外部插销102的下端向下方突出。由此，衬套124相对于外部插销102在上下方向上不形成位移。因此，也可以在衬套124与外部插销102之间没有形成有小间隙，且使衬套124能够相对于外部插销102在上下方向上位移。衬套124固定于外部插销102，并从外部插销102的下端向下方突出，由此衬套124相对于外部插销102在与上下方向正交的方向上不易位移。其结果是，即便是衬套124在与上下方向正交的方向上从连接器300受力，也抑制衬套124在与上下方向正交的方向上对中心插销1204施力。由此，抑制中心插销1204相对于连接器中心导体302以在与上下方向正交的方向上错开的状态进行接触这种情况。由此，根据检查用探针装置100，抑制检查用探针装置100的高频特性变差，并且抑制检查用探针装置100的检查精度变差。

根据检查用探针装置100，抑制检查用探针装置100的高频特性变差，并且抑制检查用探针装置100的检查精度变差。更详细而言，在衬套没有固定于外部插销的情况下，衬套和中心插销能够相对于外部插销在上下方向上位移。在该情况下，衬套和中心插销能够彼此独立地在上下方向上位移。其结果是，有时在衬套与连接器绝缘体不紧贴而错开地进行接触的状态下，中心插销与连接器中心导体接触。衬套和中心插销能够彼此独立地在上下方向上位移，因此即便是使检查用探针装置下降，衬套也不紧贴于外部插销，衬套就相对于外部插销在上下方向上位移。其结果是，中心插销相对于连接器中心导体以在与上下方向正交的方向上错开的状态进行接触。在这种情况下，检查用探针装置的高频特性变差，并且检查用探针装置的检查精度变差。

为此，在检查用探针装置100中，衬套124固定于外部插销102，并从外部插销102的下端向下方突出。由此，衬套124相对于外部插销102在上下方向上不形成位移，从而中心插销1204相对于衬套124和外部插销102在上下方向上形成位移。由此，衬套接触部124a能够紧贴于连接器绝缘体306。其结果是，抑制中心插销1204相对于连接器中心导体302以在与上下方向正交的方向上错开的状态进行接触。由此，根据检查用探针装置100，抑制检查用探针装置100的高频特性变差，并且抑制检查用探针装置100的检查精度变差。

在检查用探针装置100中，在上下方向上观察时，衬套接触部124a的外缘的形状为圆。由此，即便是检查用探针装置100绕中心插销1204的中心轴线形成了旋转，也能够容易进行中心插销1204相对于连接器300的对位。

在检查用探针装置100中，与上下方向正交的截面D中的被衬套接触部124a的外缘包围的区域的面积随着截面D向下方移动而连续减少。由此，衬套接触部124a能够在连接器绝缘体306的表面上滑动。根据检查用探针装置100，能够容易进行中心插销1204相对于连接器300的对位。

在检查用探针装置100中，中心插销1204能够相对于衬套124在上下方向上位移。由此，在衬套接触部124a与连接器绝缘体306接触时，中心插销1204能够相对于衬套124向上方向位移。由此，衬套接触部124a能够紧贴于连接器绝缘体306，从而更高精度地进行中心插销1204相对于连接器300的对位。

在检查用探针装置100中，弹簧1208(弹性体)向下方推压中心插销1204。由此，中心插销1204被按压在连接器中心导体302上。其结果是，中心插销1204与连接器中心导体302更可靠地连接。

在检查用探针装置100中，中心插销1204的下端部是向下方突出的凸曲面。由此，中心插销1204与连接器中心导体302进行点接触。其结果是，中心插销1204与连接器中心导体302更可靠地连接。

在检查用探针装置100中，在上下方向上观察时，在中心插销1204与衬套124(绝缘部件)之间存在间隙。由此，中心插销1204能够相对于衬套124顺畅地上下移动。

(变形例)

以下参照附图对变形例的检查用单元10a和检查用探针装置100a进行说明。图11是检查用探针装置100a的外观立体图。图12～图15是连接器检查方法中的检查用探针装置100a和连接器300L、300R的剖视图。在图12～图15中简化示出了信号销120L、120R的构造。

如图11所示，检查用探针装置100a具有两个检查用探针装置100形成为一体的构造。由此，检查用探针装置100a能够进行连接器300L、300R的检查。如图11和图12所示，连接器300L、300R分别具有与连接器300相同的构造。

具体而言，如图12所示，检查用探针装置100a具备外部插销102a、信号销120L、120R和衬套124L、124R。此外，检查用探针装置100a还具备电缆适配器105L、105R、凸缘106、弹簧108、插座123L、123R和衬套124R、124R。然而，电缆适配器105L、105R、凸缘106、弹簧108、插座123L、123R和衬套124R、124R与电缆适配器105、凸缘106、弹簧108、插座123和衬套124相同，因此省略说明。

检查用探针装置100a的外部插销102a具有两个外部插销102左右排列的构造。外部插销102a包括外部插销左部102aL和外部插销右部102aR。在外部插销左部102aL设置有在上下方向上延伸的贯通孔H1L。在外部插销右部102aR设置有在上下方向上延伸的贯通孔H1R。

信号销120L和信号销120R在左右方向上排列。信号销120L位于信号销120R的左方。信号销120L在外部插销左部102aL的贯通孔H1L中在上下方向上延伸。信号销120L包括筒部1202L(未图示参照附图标记)、中心插销1204L和弹簧1208L(未图示参照附图标记)。信号销120R在外部插销右部102aR的贯通孔H1R中在上下方向上延伸。信号销120R包括筒部1202R(未图示参照附图标记)、中心插销1204R和弹簧1208R(未图示参照附图标记)。其中，在图12～图15中简化示出了信号销120L、120R的构造，因此省略筒部1202L、1202R、中心插销1204L、1204R和弹簧1208L、1208R的详细构造。另外，筒部1202L、1202R、中心插销1204L、1204R和弹簧1208L、1208R与筒部1202、中心插销1204和弹簧1208相同，因此省略说明。

衬套124L使中心插销1204L与外部插销102a绝缘。衬套124R使中心插销1204R与外部插销102a绝缘。其中，衬套124L、124R与衬套124相同，因此省略说明。

接下来，参照图12～图15对使用检查用探针装置100a检查连接器300L、300R的连接器检查方法进行说明。

首先，如图12所示，检查用探针装置100a被放置在连接器300L、300R的上方。然后，使检查用探针装置100a下降。由此，如图13所示，中心插销1204L的下端与连接器绝缘体306L的凹曲面SL接触。如图13所示，中心插销1204R的下端与连接器绝缘体306R的凹曲面SR接触。因此，若使检查用探针装置100a下降，则中心插销1204L被引导向连接器中心导体302L。同样，中心插销1204R被引导向连接器中心导体302R。其结果是，如图14所示，中心插销1204L与连接器中心导体302L接触。如图14所示，中心插销1204R与连接器中心导体302R接触。

若使检查用探针装置100a进一步下降，则弹簧1208L、1208R收缩。由此，使外部插销102a和衬套124L、124R下降。然后，衬套接触部124aL与连接器绝缘体306L接触。衬套接触部124aR与连接器绝缘体306R接触。连接器绝缘体306L具有仿照衬套接触部124aL的形状。连接器绝缘体306R具有仿照衬套接触部124aR的形状。因此，如图15所示，衬套接触部124aL紧贴于连接器绝缘体306L。同样，如图15所示，衬套接触部124aR紧贴于连接器绝缘体306R。此时，衬套接触部124aL在与上下方向正交的方向上从连接器绝缘体306L受力，由此进行中心插销1204L相对于连接器中心导体302L的在与上下方向正交的方向的对位。同样，衬套接触部124aR在与上下方向正交的方向上从连接器绝缘体306R受力，由此进行中心插销1204R相对于连接器中心导体302R的在与上下方向正交的方向的对位。通过以上的动作，与检查用探针装置100a连接的测定装置能够一边确保向连接器300L、300R连接的连接性能一边测定具有比较高的频率的高频信号。

根据检查用探针装置100a，能够起到与检查用探针装置100相同的作用效果。

(其他实施方式)

本发明的检查用连接器并不局限于上述实施方式的检查用探针装置100、100a，能够在其主旨的范围内进行变更。

此外，也可以将检查用探针装置100、100a的结构任意组合。

此外，在上下方向上观察时，上截面D1中的衬套接触部124a的外缘的形状也可以为圆以外的形状。圆以外的形状例如为正方形、长方形、椭圆、三角形等。

此外，与上下方向正交的截面D中的被衬套接触部124a的外缘包围的区域的面积也可以随着截面D向下方移动而阶段性地减少。

此外，中心插销1204也可以相对于衬套124在上下方向上无法位移。

此外，检查用探针装置100也可以不具备向下方推压中心插销1204的弹簧1208。

此外，中心插销1204的下端部也可以为向下方突出的凸曲面以外的形状。中心插销1204的下端部例如也可以为向下方突出的针形状。

此外，在上下方向上观察时，也可以在中心插销1204与衬套124之间不存在间隙。

此外，外壳104和凸缘106也可以不具有导电性。其中，若外壳104和凸缘106具有导电性，则能够将连接器300的接地部与供凸缘106进行固定的固定台的接地部共用。

此外，衬套接触部124a包括具有朝向下方而尖端渐细的形状的部分即可。因此，衬套接触部124a例如也可以为圆柱等尖端不渐细的形状与圆锥台等朝向下方而尖端渐细的形状的组合。在该情况下，衬套接触部124a具有圆锥台与圆柱的下端接合的构造。

附图标记说明：

10、10a…检查用单元；100、100a…检查用探针装置；102、102a…外部插销；102aL…外部插销左部；102aR…外部插销右部；104…外壳；105、105L、105R…电缆适配器；106…凸缘；108…弹簧；120、120L、120R…信号销；123、123L、123R…插座；124、124L、124R、126…衬套；124a、124aL、124aR…衬套接触部；124b…衬套非接触部；200…外部连接用连接器；202…同轴电缆；204…中心导体线；206…外部导体；208…绝缘体；210…被膜；300、300L、300R…连接器；302、302L、302R…连接器中心导体；304…连接器外部导体；306、306L、306R…连接器绝缘体；1204、1204L、1204R…中心插销；S、SL、SR…凹曲面。

Claims (9)

1.一种检查用探针装置，其与具备中心导体线、从四周包围所述中心导体线的外部导体、以及使所述中心导体线与所述外部导体绝缘的绝缘体的同轴电缆的端部连接，其中，

所述检查用探针装置具备：

中心插销，其与所述中心导体线电连接，并且在上下方向上延伸；

外部插销，其与所述外部导体电连接，并且在上下方向上观察时，从四周包围所述中心插销；和

绝缘部件，其使所述中心插销与所述外部插销绝缘，固定于所述外部插销，并从所述外部插销的下端向下方突出，并且，在上下方向上观察时，所述绝缘部件从四周包围所述中心插销，

所述中心插销比所述绝缘部件的下端向下方突出，

将所述绝缘部件中的比所述外部插销的下端的位置靠下方的部分定义为绝缘部件接触部，

所述绝缘部件接触部包括具有朝向下方而尖端渐细的形状的部分。

2.根据权利要求1所述的检查用探针装置，其中，

在上下方向上观察时，所述绝缘部件接触部的外缘的形状为圆。

3.根据权利要求1或2所述的检查用探针装置，其中，

与上下方向正交的截面中的被所述绝缘部件接触部的外缘包围的区域的面积随着所述截面向下方移动而连续减少。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的检查用探针装置，其中，

所述中心插销能够相对于所述绝缘部件在上下方向上位移。

5.根据权利要求4所述的检查用探针装置，其中，

所述检查用探针装置还具备向下方推压所述中心插销的弹性体。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的检查用探针装置，其中，

所述中心插销的下端部是向下方突出的凸曲面。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的检查用探针装置，其中，

在上下方向上观察时，在所述中心插销与所述绝缘部件之间存在间隙。

8.一种连接器检查方法，其使用检查用探针装置进行连接器的检查，

所述检查用探针装置与具备中心导体线、从四周包围所述中心导体线的外部导体、以及使所述中心导体线与所述外部导体绝缘的绝缘体的同轴电缆的端部连接，

所述检查用探针装置具备：

中心插销，其与所述中心导体线电连接，并且在上下方向上延伸；

外部插销，其与所述外部导体电连接，并且在上下方向上观察时，从四周包围所述中心插销；和

绝缘部件，其使所述中心插销与所述外部插销绝缘，固定于所述外部插销并从所述外部插销的下端向下方突出，并且，在上下方向上观察时，所述绝缘部件从四周包围所述中心插销，

所述中心插销比所述绝缘部件的下端向下方突出，

所述绝缘部件具有比所述外部插销的下端的位置靠下方的部分，作为绝缘部件接触部，

在连接器检查方法中，

所述连接器具备：

连接器中心导体，其供所述中心插销进行接触；

连接器外部导体，其供所述外部插销进行接触，并在上下方向上观察时，从四周包围所述连接器中心导体；和

连接器绝缘体，其使连接器中心导体与所述连接器外部导体绝缘，并且具有仿照所述绝缘部件接触部的形状的形状，

通过使所述检查用探针装置的所述中心插销与所述连接器外部导体接触，而进行所述中心插销相对于所述连接器中心导体的在与上下方向正交的方向的对位，

通过使所述检查用探针装置的所述绝缘部件接触部与所述连接器绝缘体接触，而进行所述中心插销相对于所述连接器中心导体的在与上下方向正交的方向的对位。

9.根据权利要求8所述的连接器检查方法，其中，

所述绝缘部件接触部包括具有朝向下方而尖端渐细的形状的部分。

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