JP7243925B2

JP7243925B2 - 導体接続構造および該導体接続構造を備えるプローブ

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Publication number: JP7243925B2
Application number: JP2022536212A
Authority: JP
Inventors: 聖人荒木; 真一剱崎; 幸裕北市
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2020-07-16
Filing date: 2021-06-23
Publication date: 2023-03-22
Anticipated expiration: 2041-06-23
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Description

この発明は、導体接続構造および該導体接続構造を備えるプローブに関する。

例えば、特許文献１は、同軸ケーブルの先端に接続される検査用同軸コネクタを開示する。特許文献１の検査用同軸コネクタでは、同軸ケーブルの中心導体および外部導体が、それぞれ、同軸コネクタ用のソケットに電気的に接続されるとともに、同軸コネクタ用のソケットを介して検査用同軸コネクタに接続されている。

特開２０１４－１２３４８２号公報

特許文献１では、同軸ケーブルが同軸コネクタ用のソケットに電気的に接続されると記載されているものの、電気的接続がどのような構造であるかについて具体的に開示されていない。

ところで、導体を流れる信号が、マイクロ波やミリ波のような高周波の帯域になると、表皮効果により電流密度が導体表面に集中する。導体と、導体に対して隙間を有しながら導体を覆う導電性のカバー部材とを導電性の接続部材で接続する場合、接続部材の位置が適切ではないと、電流経路が戻り経路を有することによって電流経路が複雑になる。電流経路が複雑になると不要な共振が発生することによって、被測定物の電気特性を精度良く測定することが妨げられる。

したがって、この発明の解決すべき技術的課題は、被測定物の電気特性を精度良く測定する導体接続構造および該導体接続構造を備えるプローブを提供することである。

上記技術的課題を解決するために、この発明によれば、以下の導体接続構造が提供される。

すなわち、この発明に係る導体接続構造は、
中心導体、誘電体および外部導体が同軸に配置された同軸ケーブルが接続され、前記同軸ケーブルの前記中心導体に電気的に接続される測定ピンを有する、基端側から先端側に延在するプローブにおける導体接続構造であって、
前記外部導体に対して隙間を有しながら覆う導電性の外部カバー部材と、
前記外部導体を前記外部カバー部材に対して固定し且つ電気的に接続する導電性の外部接続部とを備え、
前記外部接続部における前記プローブの先端側の端である外部接続端は、前記外部導体における前記プローブの先端側の端である外部導体端に対して、面一に位置するか、または、前記プローブの先端側に位置することを特徴とする。

この発明によれば、電流経路が戻り経路を有さないことによって、不要な共振が抑制されるので、被測定物の電気特性を精度良く測定できる。

この発明の第１実施形態に係るプローブの斜視図である。図１に示したプローブの上面図である。図２に示したプローブのIII－III線に沿った断面図である。図１に示したプローブの分解斜視図である。図３に示したプローブの要部拡大断面図である。この発明の第２実施形態に係るプローブの要部拡大断面図である。この発明の第３実施形態に係るプローブの要部拡大断面図である。この発明の第４実施形態に係るプローブの要部拡大断面図である。この発明の第５実施形態に係るプローブの要部拡大断面図である。この発明の第６実施形態に係るプローブの要部拡大断面図である。この発明の第７実施形態に係るプローブの要部拡大断面図である。この発明の第８実施形態に係るプローブの要部拡大断面図である。この発明の第９実施形態に係るプローブの要部拡大断面図である。

以下、この発明に係る、導体接続構造７，８および該導体接続構造７，８を備えるプローブ１の実施形態について、図面を参照しながら説明する。

〔第１実施形態〕
図１～図５を参照しながら、第１実施形態に係るプローブ１を説明する。図１は、この発明の第１実施形態に係るプローブ１の斜視図である。図２は、図１に示したプローブ１の上面図である。図３は、図２に示したプローブ１のIII－III線に沿った断面図である。図４は、図１に示したプローブ１の分解斜視図である。図５は、図３に示したプローブ１の要部拡大断面図である。

図１～図４に示すように、プローブ１は、バレル１０と、測定ピン２０と、第１ブッシング３０と、第２ブッシング４０と、ソケット５０と、同軸ケーブル７０とを備える。プローブ１は、基端側Ａ（すなわち一端側Ａ）から先端側Ｂ（すなわち他端側Ｂ）に、プローブ１の延在方向（図２および図３ではＸ軸方向）に延在する。プローブ１は、例えば、コネクタ（被測定物）２のコネクタ端子（被測定端子）３に対して弾性的に当接することによって、コネクタ（被測定物）２の電気特性を測定する。

バレル１０は、Ｘ軸方向に延びる円筒形状を有するバレル本体１２と、バレル本体１２の内部に形成される第１収容部１４とを有する。バレル本体１２の先端側Ｂは、先端貫通孔１５によって開口しており、先端貫通孔１５には測定ピン２０の測定端部２２が挿通される。バレル本体１２の基端側は、先端貫通孔１５よりも大きく開口した基端開口を有しており、基端開口には同軸ケーブル７０が挿通される。バレル１０は、導電性材料、例えば金属材料であり、例えばリン青銅である。

バレル１０の内部には、第１収容部１４が形成される。第１収容部１４には、測定ピン２０、第１ブッシング３０、第２ブッシング４０、ソケット５０および同軸ケーブル７０が収容される。バレル１０は、後述する同軸ケーブル７０の外部導体７６に対して外部隙間１６を有しながら外部導体７６を覆うので、導電性の外部カバー部材として働く。バレル１０には、バレル本体１２の厚み方向に延在する外部貫通孔１８が形成されている。例えば、２つの外部貫通孔１８が、１８０度の角度で対向配置される。外部貫通孔１８の配置や個数は、これに限定されるものではない。外部貫通孔１８は、プローブ１の先端側Ｂにおいて、開口先端部１９を有する。

測定ピン２０は、バネが内蔵されていて伸縮可能な棒状(針状)の電極であり、コンタクトプローブ、スプリングピンまたはポゴピンとも呼ばれる。測定ピン２０は、その先端側Ｂに測定端部２２を有するとともに、その基端側に接続端部２４を有する。測定ピン２０は、導電性材料、例えば金属材料である。

第１ブッシング３０は、バレル１０の先端側Ｂに配設される。第１ブッシング３０は、円筒形状を有し、バレル１０の先端貫通孔１５に係止される。第１ブッシング３０は、電気絶縁性材料、例えば樹脂材料である。第１ブッシング３０の第１挿入孔には、測定ピン２０の測定端部２２が挿通される。第１ブッシング３０を介することにより、測定ピン２０は、電気的に絶縁された状態でバレル１０にセットされる。

第２ブッシング４０は、バレル１０の中央側に配設される。第２ブッシング４０は、バレル１０の第１収容部１４の中央部に形成された段差部によって係止される。第２ブッシング４０は、円筒形状を有する。第２ブッシング４０は、電気絶縁性材料、例えば樹脂材料である。第２ブッシング４０の第２挿入孔の小径孔には、測定ピン２０の接続端部２４が挿通される。第２ブッシング４０の第２挿入孔の大径孔には、ソケット５０が挿通される。測定ピン２０の接続端部２４がソケット５０に接触している。測定ピン２０は、第２ブッシング４０に支持された状態でソケット５０に電気的に接続される。

ソケット５０は、第２ブッシング４０の第２挿入孔の大径孔に配設される。ソケット５０は、有底円筒形状を有する。ソケット５０は、導電性材料、例えば金属材料であり、例えばリン青銅である。ソケット５０は、後述する同軸ケーブル７０の中心導体７２に対して中心隙間５６を有しながら中心導体７２を覆うので、導電性の中心カバー部材として働く。ソケット５０の内部には、第２収容部５４が形成されている。ソケット５０は、基端側Ａに、ソケット端５７を有する。ソケット端５７は、中心カバー端として働く。ソケット５０には、ソケット５０の厚み方向に延在する中心貫通孔５８が形成されている。例えば、２つの中心貫通孔５８が、１８０度の角度で対向配置される。中心貫通孔５８の配置や個数は、これに限定されるものではない。

同軸ケーブル７０は、導電性の中心導体７２と、中心導体７２を覆う誘電体７４と、誘電体７４を覆う外部導体７６と、外部導体７６を覆う電気絶縁性の外皮７８とを有する。中心導体７２の先端部は、誘電体７４から露出している。誘電体７４は、プローブ１の先端側Ｂにおいて、誘電端７５を有する。外部導体７６は、プローブ１の先端側Ｂにおいて、外部導体端７７を有する。誘電端７５を含む誘電体７４の先端部は、外部導体端７７から先端側Ｂに突出するとともに外部導体７６から露出している。外部導体端７７を含む外部導体７６の先端部は、外皮７８から露出している。外皮７８を含む同軸ケーブル７０が、バレル１０の第１収容部１４に挿入されると、誘電体７４の誘電端７５は、第２ブッシング４０の基端部によって係止される。外部導体端７７が、中心導体７２の先端側Ｂに対して、基端側Ａに離間している。これにより、中心導体７２および外部導体７６における短絡防止効果を高めることができる。

誘電体７４の誘電端７５のコーナー部は、第２ブッシング４０において基端側Ａの端部であってソケット挿入部４４を画定するテーパー形状を有する縁部に当接している。これにより、ハンダ６１の装填領域とハンダ６４の装填領域とを仕切ることができるので、ハンダ６１およびハンダ６４が接触して短絡することを防止できる。

同軸ケーブル７０が、バレル１０の第１収容部１４に挿入されるとき、外部導体７６の導体外周面とバレル本体１２のバレル内周面１３との間には、外部隙間１６が形成される。中心導体７２の先端部が、ソケット５０の第２収容部５４に挿入されて収容される。このとき、中心導体７２の中心導体外周面８２とソケット５０のソケット内周面との間には、中心隙間５６が形成される。

図５を参照しながら、第１実施形態に係るプローブ１の導体接続構造７，８を説明する。

図５に示すように、同軸ケーブル７０の中心導体７２に対して中心導体接続構造（導体接続構造）７が設けられているとともに、外部導体７６に対して外部導体接続構造（導体接続構造）８が設けられている。

まず、中心導体接続構造（導体接続構造）７を説明する。中心カバー部材として働くソケット５０は、中心導体７２の先端部をソケット挿入部４４に挿入するために、中心導体７２に対して中心隙間５６を有しながら中心導体７２を覆うように構成されている。ソケット５０に対して中心導体７２の先端部を固定し且つ電気的に接続するために、ハンダ６４が配設されている。これにより、ソケット５０に対する中心導体７２の先端部の固定および電気的な接続が容易である。ハンダ６４は、中心接続部として働くとともに中心接続部材として働く。ハンダ６４は、中心貫通孔５８から供給されて、中心隙間５６を埋める。これにより、中心隙間５６へのハンダ６４の供給が容易である。したがって、中心貫通孔５８は、ハンダ供給部として働く。中心貫通孔５８は、Ｚ軸方向から見て、例えば丸い貫通孔である。中心貫通孔５８が基端側Ａに、すなわち、ソケット端５７の側に配設されている。

中心貫通孔５８から供給されるハンダ６４は、中心隙間５６のうち、少なくとも、基端側Ａを埋める。中心隙間５６に配設されるハンダ６４は、基端側Ａに、中心接続端６５を有する。図５に示す中心導体接続構造７では、ハンダ６４の中心接続端６５は、ソケット５０のソケット端５７から基端側Ａに位置し、ソケット端５７と誘電端７５との間に位置する。中心接続端６５は、例えば、ソケット端５７に対して面一である。

中心導体７２を流れる信号が、マイクロ波やミリ波のような高周波の帯域になると、表皮効果により電流密度が中心導体７２の表面に集中する。図５に示す中心導体接続構造７では、ハンダ６４の中心接続端６５がソケット５０のソケット端５７に対して面一であるように構成されている。当該中心導体接続構造７によれば、中心導体７２からソケット５０への電流経路が、中心導体７２の中心導体外周面８２、ハンダ６４の中心接続端６５、ソケット５０のソケット端５７、および、ソケット５０のソケット外周面５１になる。したがって、上記の中心導体接続構造７では、電流経路が戻り経路を有さないので、不要な共振が抑制されて、被測定物２の電気特性を精度良く測定できる。

次に、外部導体接続構造（導体接続構造）８を説明する。外部カバー部材として働くバレル１０は、同軸ケーブル７０を第１収容部１４に挿入するために、外部導体７６に対して外部隙間１６を有しながら外部導体７６を覆うように構成されている。外部導体７６に対してバレル１０を固定し且つ電気的に接続するために、ハンダ６１が配設されている。これにより、バレル１０に対する外部導体７６の固定および電気的な接続が容易である。ハンダ６１は、外部接続部として働くとともに外部接続部材として働く。ハンダ６１は、外部貫通孔１８から供給されて、外部隙間１６を埋める。これにより、外部隙間１６へのハンダ６１の供給が容易である。したがって、外部貫通孔１８は、ハンダ供給部として働く。外部貫通孔１８は、Ｚ軸方向から見て、例えば丸い貫通孔である。外部貫通孔１８が、バレル本体１２において、先端側Ｂに配設されている。

外部貫通孔１８が、外部導体端７７の上に配設されているので、外部貫通孔１８から供給されるハンダ６１は、外部隙間１６のうち、少なくとも、先端側Ｂを埋める。外部隙間１６に配設されるハンダ６１は、先端側Ｂに、外部接続端６２を有する。図５に示す外部導体接続構造８では、ハンダ６１の外部接続端６２は、外部導体７６の外部導体端７７から先端側Ｂに位置し、外部導体端７７と誘電端７５との間に位置する。外部接続端６２は、例えば、外部導体端７７よりも先端側Ｂにずれている。外部導体端７７が、外部貫通孔１８において先端側Ｂに形成される開口先端部１９よりも基端側Ａに位置するとともに、外部貫通孔１８に対面する位置にある。これにより、外部導体端７７がハンダ６１で覆われて、外部接続端６２が、外部導体端７７よりも先端側Ｂにずれるので、戻り経路の形成を防止できる。

外部導体７６を流れる信号が、マイクロ波やミリ波のような高周波の帯域になると、表皮効果により電流密度が外部導体７６の表面に集中する。図５に示す外部導体接続構造８では、ハンダ６１の外部接続端６２が外部導体７６の外部導体端７７に対して先端側Ｂに位置するように構成されている。このような外部導体接続構造８によれば、外部導体７６からバレル１０への電流経路が、外部導体７６の外部導体内周面８６、ハンダ６１の外部接続端６２、バレル１０のバレル内周面１３になる。したがって、上記の外部導体接続構造８では、電流経路が戻り経路を有さないので、不要な共振が抑制されて、被測定物２の電気特性を精度良く測定できる。

したがって、上記構成によれば、電流経路が戻り経路を有さないことによって、不要な共振が抑制されるので、被測定物２の電気特性を精度良く測定できる。

〔第２実施形態〕
図６を参照しながら、第２実施形態に係るプローブ１の導体接続構造７，８を説明するが、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図６に示すプローブ１は、第１実施形態と同様の中心導体接続構造７を有するとともに、外部貫通孔１８から供給されるハンダ６１の外部接続端６２が、外部導体７６の外部導体端７７に対して面一である中心導体接続構造７を有する。

図６に示すように、外部貫通孔１８が、先端側Ｂに配設されている。詳細には、外部貫通孔１８は、その先端側Ｂの開口先端部１９が、外部導体７６の外部導体端７７に対して並ぶように配設されている。

外部貫通孔１８から供給されるハンダ６１は、外部隙間１６のうち、少なくとも、先端側Ｂを埋める。外部隙間１６に配設されるハンダ６１は、先端側Ｂに、外部接続端６２を有する。図６に示す外部導体接続構造８では、ハンダ６１の外部接続端６２は、外部導体７６の外部導体端７７から先端側Ｂに位置し、外部導体端７７と誘電端７５との間に位置する。外部接続端６２は、例えば、外部導体端７７に対して面一である。

上記の外部導体接続構造８によれば、外部導体７６からバレル１０への電流経路が、外部導体７６の外部導体内周面８６、外部導体７６の外部導体端７７、ハンダ６１の外部接続端６２、および、バレル１０のバレル内周面１３になる。したがって、上記の外部導体接続構造８では、電流経路が戻り経路を有さないので、不要な共振が抑制されて、被測定物２の電気特性を精度良く測定できる。

〔第３実施形態〕
図７を参照しながら、第３実施形態に係るプローブ１の導体接続構造７，８を説明するが、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図７に示すプローブ１は、第１実施形態と同様の外部導体接続構造８を有するとともに、中心切り欠き５９から供給されるハンダ６４の中心接続端６５がソケット端５７よりも基端側Ａにずれている中心導体接続構造７を有する。

図７に示すように、中心切り欠き５９がソケット端５７と並ぶように配設されている。ソケット５０に対して中心導体７２の先端部を固定し且つ電気的に接続するために、ハンダ６４が配設されている。ハンダ６４は、中心接続部として働くとともに中心接続部材として働く。中心切り欠き５９は、Ｚ軸方向から見て、例えば半円や楕円などの形状を有し、ソケット５０の厚み方向に延在する。中心切り欠き５９は、ハンダ供給部として働く。

中心切り欠き５９から供給されるハンダ６４は、中心隙間５６のうち、少なくとも、基端側Ａを埋める。これにより、ソケット５０に対する中心導体７２の先端部の固定および電気的な接続が容易である。中心隙間５６に配設されるハンダ６４は、基端側Ａに、中心接続端６５を有する。図７に示す中心導体接続構造７では、ハンダ６４の中心接続端６５は、ソケット５０のソケット端５７から基端側Ａに位置し、ソケット端５７と誘電端７５との間に位置する。中心接続端６５は、例えば、ソケット端５７よりも基端側Ａにずれている。

上記の中心導体接続構造７によれば、中心導体７２からソケット５０への電流経路が、中心導体７２の中心導体外周面８２、ハンダ６４の中心接続端６５、ソケット５０のソケット端５７、および、ソケット５０のソケット外周面５１になる。したがって、上記の中心導体接続構造７では、電流経路が戻り経路を有さないので、不要な共振が抑制されて、被測定物２の電気特性を精度良く測定できる。

〔第４実施形態〕
図８を参照しながら、第４実施形態に係るプローブ１の導体接続構造７，８を説明するが、上記第２実施形態との相違点を中心に説明する。

図８に示すプローブ１は、第２実施形態と同様の外部導体接続構造８を有するとともに、中心切り欠き５９から供給されるハンダ６４の中心接続端６５がソケット端５７に対して面一である中心導体接続構造７を有する。

図８に示すように、中心切り欠き５９がソケット端５７と並ぶように配設されている。中心切り欠き５９は、Ｚ軸方向から見て、例えば半円や楕円など形状を有し、ソケット５０の厚み方向に延在する。

中心切り欠き５９から供給されるハンダ６４は、中心隙間５６のうち、少なくとも、基端側Ａを埋める。中心隙間５６に配設されるハンダ６４は、基端側Ａに、中心接続端６５を有する。図８に示す中心導体接続構造７では、ハンダ６４の中心接続端６５は、ソケット５０のソケット端５７から基端側Ａに位置し、ソケット端５７と誘電端７５との間に位置する。中心接続端６５は、例えば、ソケット端５７に対して面一である。

〔第５実施形態〕
図９を参照しながら、第５実施形態に係るプローブ１の導体接続構造７，８を説明するが、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図９に示すプローブ１は、第１実施形態と同様の外部導体接続構造８を有するとともに、ハンダ６４が中心隙間５６を埋める中心導体接続構造７を有する。

図９に示すように、ソケット５０が中心貫通孔５８や中心切り欠き５９を有さずに、ハンダ６４が中心隙間５６を埋めるように配設されている。中心隙間５６に配設されるハンダ６４は、基端側Ａに、中心接続端６５を有する。図９に示す中心導体接続構造７では、ハンダ６４の中心接続端６５は、ソケット５０のソケット端５７から基端側Ａに位置し、ソケット端５７と誘電端７５との間に位置する。中心接続端６５は、例えば、ソケット端５７に対して面一である。なお、ハンダ６４の中心接続端６５は、ソケット５０のソケット端５７よりも基端側Ａにずれていてもよい。

〔第６実施形態〕
図１０を参照しながら、第６実施形態に係るプローブ１の導体接続構造７，８を説明するが、上記第２実施形態との相違点を中心に説明する。

図１０に示すプローブ１は、第２実施形態と同様の外部導体接続構造８を有するとともに、ハンダ６４が中心隙間５６を埋める中心導体接続構造７を有する。

図１０に示すように、ソケット５０が中心貫通孔５８や中心切り欠き５９を有さずに、ハンダ６４が中心隙間５６を埋めるように配設されている。中心隙間５６に配設されるハンダ６４は、基端側Ａに、中心接続端６５を有する。図１０に示す中心導体接続構造７では、ハンダ６４の中心接続端６５は、ソケット５０のソケット端５７から基端側Ａに位置し、ソケット端５７と誘電端７５との間に位置する。中心接続端６５は、例えば、ソケット端５７よりも基端側Ａにずれている。したがって、上記の中心導体接続構造７では、電流経路が戻り経路を有さないので、不要な共振が抑制されて、被測定物２の電気特性を精度良く測定できる。なお、ハンダ６４の中心接続端６５は、ソケット５０のソケット端５７に対して面一であってもよい。

〔第７実施形態〕
図１１を参照しながら、第７実施形態に係るプローブ１の導体接続構造７，８を説明するが、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１１に示すプローブ１は、第１実施形態と同様の中心導体接続構造７を有するとともに、同軸ケーブル７０の外部導体７６が、導電性の嵌め込み部材６７によって、バレル１０に対して固定され且つ電気的に接続される外部導体接続構造８を有する。

図１１に示すように、外部接続部として働くとともに外部接続部材として働く導電性の嵌め込み部材６７が、外部隙間１６に嵌め込まれている。外部隙間１６は、外部導体７６の外部導体内周面８６とバレル本体１２のバレル内周面１３との間に形成される。導電性の嵌め込み部材６７は、外部導体７６の外部導体端７７およびバレル１０のバレル内周面１３にそれぞれ当接するように配設されている。これにより、バレル１０に対する外部導体７６の固定および電気的な接続が容易である。嵌め込み部材６７は、導電性材料、例えば金属材料であり、例えばリン青銅である。

嵌め込み部材６７は、例えば、円環形状を有し、当接端面６８、当接周面６９、嵌め込み内周面８７および外部接続端８８を有する。当接端面６８は基端側Ａに形成され、外部接続端８８は先端側Ｂに形成される。嵌め込み部材６７は、同軸ケーブル７０の外部導体７６と第２ブッシング４０との間に嵌め込まれて、第１収容部１４に圧入される。これにより、当接端面６８が外部導体端７７に当接するとともに当接周面６９がバレル内周面１３に当接する。同軸ケーブル７０の外部導体７６が、導電性の嵌め込み部材６７によって、バレル１０に対して固定され且つ電気的に接続される。嵌め込み部材６７の外部接続端８８は、外部導体７６の外部導体端７７から先端側Ｂに位置し、外部導体端７７と誘電端７５との間に位置する。外部接続端８８は、例えば、外部導体端７７よりも先端側Ｂにずれている。

上記の外部導体接続構造８によれば、外部導体７６からバレル１０への電流経路が、外部導体７６の外部導体内周面８６、嵌め込み部材６７の嵌め込み内周面８７と外部接続端８８、および、バレル１０のバレル内周面１３になる。したがって、上記の外部導体接続構造８では、電流経路が戻り経路を有さないので、不要な共振が抑制されて、被測定物２の電気特性を精度良く測定できる。

なお、当接端面６８が、外部貫通孔１８において先端側Ｂに形成される開口先端部１９よりも基端側Ａに位置するとともに、外部貫通孔１８に対面する位置にある。これにより、外部貫通孔１８を通じて、嵌め込み部材６７の位置を視認できる。また、外部貫通孔１８からハンダ６１を供給して、外部導体７６および嵌め込み部材６７を電気的に接続することができる。これにより、電気的接続を補強できる。また、嵌め込み部材６７は、バレル１０と一体化された構成にすることもできる。

図１１に示すように、中心貫通孔５８が基端側Ａに配設されている。中心貫通孔５８から供給されるハンダ６４は、中心隙間５６のうち、少なくとも、基端側Ａを埋める。中心隙間５６に配設されるハンダ６４は、基端側Ａに、中心接続端６５を有する。図１１に示す中心導体接続構造７では、ハンダ６４の中心接続端６５は、ソケット５０のソケット端５７から基端側Ａに位置し、ソケット端５７と誘電端７５との間に位置する。中心接続端６５は、例えば、ソケット端５７に対して面一である。

〔第８実施形態〕
図１２を参照しながら、第８実施形態に係るプローブ１の導体接続構造７，８を説明するが、上記第７実施形態との相違点を中心に説明する。

図１２に示すプローブ１は、第７実施形態と同様の外部導体接続構造８を有するとともに、中心切り欠き５９から供給されるハンダ６４が中心隙間５６の基端側Ａを埋める中心導体接続構造７を有する。

図１２に示すように、中心切り欠き５９がソケット端５７と並ぶように配設されている。中心切り欠き５９は、Ｚ軸方向から見て、例えば半円や楕円などの形状を有し、ソケット５０の厚み方向に延在する。ソケット端５７は、誘電端７５に当接している。

〔第９実施形態〕
図１３を参照しながら、第９実施形態に係るプローブ１の導体接続構造７，８を説明するが、上記第７実施形態との相違点を中心に説明する。

図１３に示すプローブ１は、第７実施形態と同様の外部導体接続構造８を有するとともに、ハンダ６４が中心隙間５６を埋める中心導体接続構造７を有する。図１３に示す中心導体接続構造７では、ソケット５０が中心貫通孔５８や中心切り欠き５９を有さずに、ハンダ６４が中心隙間５６を埋めるように配設されている。

ソケット端５７は、誘電端７５に当接している。中心隙間５６に配設されるハンダ６４は、基端側Ａに、中心接続端６５を有する。図９に示す中心導体接続構造７では、ハンダ６４の中心接続端６５は、ソケット５０のソケット端５７から基端側Ａに位置し、ソケット端５７と誘電端７５との間に位置する。中心接続端６５は、例えば、ソケット端５７に対して面一である。

この発明の具体的な実施の形態について説明したが、この発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することができる。

上記の実施形態では、プローブ１が、中心導体接続構造７および外部導体接続構造８の両方を備えているが、中心導体接続構造７および外部導体接続構造８の少なくとも一方を備えることができる。

上記実施の形態は例示であり、上記実施の形態における中心導体接続構造７および外部導体接続構造８を適宜に組み合わせることができる。

上述した実施形態では、外部接続部６１，６７は、外部カバー部材１０とは別体の部材である。これにより、外部接続端６２，８８を高精度に位置決めできる。しかしながら、外部接続部は、外部カバー部材１０の一部分とすることができる。外部カバー部材１０は、外部接続部として、例えば、外部貫通孔１８に対応するところにおいて、外部導体７６に向けて突出して外部導体７６に圧接する外部突出部を有する。このような外部突出部は、カシメ加工によって形成される。これにより、外部突出部は、外部導体７６に対して接合されるとともに、外部導体７６に電気的に接続される。外部突出部は、例えば、Ｚ軸方向から見て、円形や矩形形状を有するとともに、断面が矩形形状を有する。外部突出部は、他端側（先端側）Ｂにおいて、外部接続端を有する。外部突出部の外部接続端は、外部導体端７７から他端側（先端側）Ｂに位置する。外部突出部の外部接続端は、上述した外部接続端６２，８８と同様に、外部導体端７７よりも他端側（先端側）Ｂにずれているか、または、外部導体端７７に対して面一である。

上述した実施形態では、中心接続部６４は、中心カバー部材５０とは別体の部材である。これにより、中心接続端６５を高精度に位置決めできる。しかしながら、中心接続部６４は、中心カバー部材５０の一部分とすることができる。中心カバー部材５０は、例えば、中心貫通孔５８または中心切り欠き５９に対応するところにおいて、中心導体７２に向けて突出して中心導体７２に圧接する中心突出部を有する。このような中心突出部は、カシメ加工によって形成される。これにより、中心突出部は、中心導体７２に対して接合されるとともに、中心導体７２に電気的に接続される。中心突出部は、例えば、Ｚ軸方向から見て、円形や矩形形状を有するとともに、断面が矩形形状を有する。中心突出部は、基端側Ａにおいて、中心接続端を有する。中心突出部の中心接続端は、中心カバー端５７から前記基端側Ａに位置する。中心突出部の中心接続端は、上述した中心接続端６５と同様に、中心カバー端５７よりも基端側Ａにずれているか、または、中心カバー端５７に対して面一である。

ハンダ供給部として働く中心貫通孔５８、中心切り欠き５９および外部貫通孔１８の形状は、例示であり、Ｚ軸方向から見て、例えば、正方形、長方形、台形、平行四辺形、長円形、卵形、半長円形、半卵形などの様々な形状を有することができる。

ハンダ６４が、中心貫通孔５８および中心切り欠き５９の中に存在してもよく、ハンダ６１が、外部貫通孔１８の中に存在してもよい。

上述した実施形態の同軸ケーブル７０では、中心導体７２の先端部が、誘電体７４から突出し、誘電体７４の先端部が、外部導体７６から突出し、外部導体７６の先端部が、外皮７８から突出している。これにより、中心導体７２および外部導体７６における短絡防止効果を高めることができる。しかしながら、誘電体７４の先端部および外部導体７６の先端部が面一であって、中心導体７２の先端部が、誘電体７４の先端部および外部導体７６の先端部から突出する、同軸ケーブル７０の構成にすることもできる。

この発明および実施形態をまとめると、次のようになる。

この発明の一態様に係る導体接続構造８は、
中心導体７２、誘電体７４および外部導体７６が同軸に配置された同軸ケーブル７０が接続され、前記同軸ケーブル７０の前記中心導体７２に電気的に接続される測定ピン２０を有する、基端側Ａから先端側Ｂに延在するプローブ１における導体接続構造８であって、
前記外部導体７６に対して隙間１６を有しながら覆う導電性の外部カバー部材１０と、
前記外部導体７６を前記外部カバー部材１０に対して固定し且つ電気的に接続する導電性の外部接続部６１，６７とを備え、
前記外部接続部６１，６７における前記プローブ１の先端側Ｂの端である外部接続端６２，８８は、前記外部導体７６における前記プローブ１の先端側Ｂの端である外部導体端７７に対して、面一に位置するか、または、前記プローブ１の先端側Ｂに位置することを特徴とする。

上記構成によれば、電流経路が戻り経路を有さないことによって、不要な共振が抑制されるので、被測定物２の電気特性を精度良く測定できる。なお、外部接続端６２，８８は、外部導体端７７から他端側（先端側）Ｂに位置するということは、外部接続端６２，８８は、外部導体端７７よりも他端側（先端側）Ｂにずれて位置するか、または、外部導体端７７に対して面一であることを意味している。

また、一実施形態の導体接続構造８では、
前記外部接続端６２，８８が、前記誘電体７４における前記プローブ１の先端側Ｂの端である誘電端７５と、前記外部導体端７７との間に位置する。

上記実施形態によれば、中心導体７２および外部導体７６における短絡防止効果を高めることができる。

また、一実施形態の導体接続構造８では、
前記外部カバー部材１０が、その厚み方向に延在する外部貫通孔１８を有し、
前記外部導体端７７が、前記外部貫通孔１８における前記プローブ１の先端側Ｂに形成される開口先端部１９よりも前記プローブ１の基端側Ａに位置するとともに、前記外部貫通孔１８に対面する位置にある。

上記実施形態によれば、外部貫通孔１８を通じて、外部導体端７７の位置確認が可能であり、外部導体７６および外部接続部６１，６７が電気的に接続されているか否かを確認できる。

また、一実施形態の導体接続構造８では、
前記外部接続部が、ハンダ６１であり、
前記外部貫通孔１８が、前記ハンダ６１を供給するハンダ供給部として働く。

上記実施形態によれば、固定および電気的な接続が容易である。

また、一実施形態の導体接続構造８では、
前記外部接続部６１が、前記隙間１６に嵌め込まれる嵌め込み部材６７である。

また、一実施形態の導体接続構造８では、
前記外部導体端７７が、前記中心導体７２における前記プローブ１の先端側Ｂに対して、前記プローブ１の基端側Ａに離間している。

また、一実施形態の導体接続構造８では、
前記プローブ１によって測定される被測定物２が、コネクタ２である。

上記実施形態によれば、コネクタ２の電気特性を精度良く測定できる。

この発明の別の局面に係るプローブ１は、
上述した導体接続構造８を備えることを特徴とする。

上記構成によれば、電流経路が戻り経路を有さないことによって、不要な共振が抑制されるので、被測定物２の電気特性を精度良く測定できる。

この発明の別の局面に係る導体接続構造７は、
中心導体７２、誘電体７４および外部導体７６が同軸に配置された同軸ケーブル７０が接続され、前記同軸ケーブル７０の前記中心導体７２に電気的に接続される測定ピン２０を有する、基端側Ａから先端側Ｂに延在するプローブ１における導体接続構造７であって、
前記中心導体７２に対して隙間５６を有しながら覆う導電性の中心カバー部材５０と、
前記中心導体７２を前記中心カバー部材５０に対して固定し且つ電気的に接続する導電性の中心接続部６４とを備え、
前記中心接続部６４における前記プローブ１の基端側Ａの端である中心接続端６５は、前記中心カバー部材５０における前記プローブ１の基端側Ａの端である中心カバー端５７に対して、面一に位置するか、または、前記プローブ１の基端側Ａに位置する。

上記構成によれば、電流経路が戻り経路を有さないことによって、不要な共振が抑制されるので、被測定物２の電気特性を精度良く測定できる。なお、中心接続端６５は、中心カバー端５７から基端側Ａに位置するということは、中心接続端６５は、中心カバー端５７よりも基端側Ａにずれているか、または、中心カバー端５７に対して面一であることを意味している。

また、一実施形態の導体接続構造７では、
前記中心接続端６５が、前記誘電体７４における前記プローブ１の先端側Ｂの端である誘電端７５と、前記中心カバー端５７との間に位置する。

また、一実施形態の導体接続構造７では、
前記中心カバー部材が、前記中心カバー部材５０の厚み方向に延在する中心貫通孔５８または中心切り欠き５９を有し、
前記中心貫通孔５８または前記中心切り欠き５９を通じて、前記中心接続部６４が供給される。

上記実施形態によれば、隙間５６への中心接続部６４の供給が容易である。

また、一実施形態の導体接続構造７では、
前記中心接続部６４が、ハンダ６４である。

また、一実施形態の導体接続構造７では、
前記外部導体７６における前記プローブ１の先端側Ｂの端である外部導体端７７が、前記中心導体７２における前記プローブ１の先端側Ｂに対して、前記プローブ１の基端側Ａに離間している。

また、一実施形態の導体接続構造７では、
前記プローブ１によって測定される被測定物２が、コネクタ２である。

この発明の別の局面に係るプローブ１は、
上述した導体接続構造７を備えることを特徴とする。

１：プローブ
２：コネクタ（被測定物）
３：コネクタ端子（被測定端子）
７：中心導体接続構造（導体接続構造）
８：外部導体接続構造（導体接続構造）
１０：バレル（外部カバー部材）
１２：バレル本体
１３：バレル内周面
１４：第１収容部
１５：先端貫通孔
１６：外部隙間（隙間）
１８：外部貫通孔（ハンダ供給部）
１９：開口先端部
２０：測定ピン
２２：測定端部
２４：接続端部
３０：第１ブッシング
４０：第２ブッシング
４４：ソケット挿入部
５０：ソケット（中心カバー部材）
５１：ソケット外周面
５４：第２収容部
５６：中心隙間（隙間）
５７：ソケット端（中心カバー端）
５８：中心貫通孔（ハンダ供給部）
５９：中心切り欠き（ハンダ供給部）
６１：ハンダ（外部接続部、外部接続部材）
６２：外部接続端
６４：ハンダ（中心接続部、中心接続部材）
６５：中心接続端
６７：嵌め込み部材（外部接続部、外部接続部材）
６８：当接端面
６９：当接周面
７０：同軸ケーブル
７２：中心導体
７３：中心導体端
７４：誘電体
７５：誘電端
７６：外部導体
７７：外部導体端
７８：外皮
８２：中心導体外周面
８６：外部導体内周面
８７：嵌め込み内周面
８８：外部接続端
Ａ：基端側（一端側）
Ｂ：先端側（他端側）

Claims

中心導体、誘電体および外部導体が同軸に配置された同軸ケーブルが接続され、前記同軸ケーブルの前記中心導体に電気的に接続される測定ピンを有する、基端側から先端側に延在するプローブにおける導体接続構造であって、
前記外部導体に対して隙間を有しながら覆う導電性の外部カバー部材と、
前記外部導体を前記外部カバー部材に対して固定し且つ電気的に接続する導電性の外部接続部とを備え、
前記外部接続部における前記プローブの先端側の端である外部接続端は、前記外部導体における前記プローブの先端側の端である外部導体端に対して、面一に位置するか、または、前記プローブの先端側に位置して、
前記外部カバー部材が、その厚み方向に延在する外部貫通孔を有し、
前記外部導体端が、前記外部貫通孔における前記プローブの先端側に形成される開口先端部よりも前記プローブの基端側に位置するとともに、前記外部貫通孔に対面する位置にある、導体接続構造。
前記外部接続端が、前記誘電体における前記プローブの先端側の端である誘電端と、前記外部導体端との間に位置する、請求項１に記載の導体接続構造。
前記外部接続部が、ハンダであり、
前記外部貫通孔が、前記ハンダを供給するハンダ供給部として働く、請求項１または請求項２に記載の導体接続構造。
前記外部接続部が、前記隙間に嵌め込まれる嵌め込み部材である、請求項１または請求項２に記載の導体接続構造。
前記外部導体端が、前記中心導体における前記プローブの先端側に対して、前記プローブの基端側に離間している、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の導体接続構造。
前記プローブによって測定される被測定物が、コネクタである、請求項１から請求項５いずれか１項に記載の導体接続構造。
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の前記導体接続構造を備える、プローブ。
中心導体、誘電体および外部導体が同軸に配置された同軸ケーブルが接続され、前記同軸ケーブルの前記中心導体に電気的に接続される測定ピンを有する、基端側から先端側に延在するプローブにおける導体接続構造であって、
前記中心導体に対して隙間を有しながら覆う導電性の中心カバー部材と、
前記中心導体を前記中心カバー部材に対して固定し且つ電気的に接続する導電性の中心接続部とを備え、
前記中心接続部における前記プローブの基端側の端である中心接続端は、前記中心カバー部材における前記プローブの基端側の端である中心カバー端に対して、面一に位置するか、または、前記プローブの基端側に位置して、
前記中心カバー部材が、その厚み方向に延在する中心貫通孔または中心切り欠きを有し、
前記中心貫通孔または前記中心切り欠きを通じて、前記中心接続部が供給される、導体接続構造。
前記中心接続端が、前記誘電体における前記プローブの先端側の端である誘電端と、前記中心カバー端との間に位置する、請求項８に記載の導体接続構造。
前記中心接続部が、ハンダである、請求項８または請求項９に記載の導体接続構造。
前記外部導体における前記プローブの先端側の端である外部導体端が、前記中心導体における前記プローブの先端側に対して、前記プローブの基端側に離間している、請求項８から請求項１０のいずれか１項に記載の導体接続構造。
前記プローブによって測定される被測定物が、コネクタである、請求項８から請求項１１のいずれか１項に記載の導体接続構造。
請求項８から請求項１２のいずれか１項に記載の前記導体接続構造を備える、プローブ。