KR100745861B1 - 재치대의 정전기 제거 기구 및 검사 장치 - Google Patents
재치대의 정전기 제거 기구 및 검사 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (12)
- 피처리체용의 재치대(11A)를 위한 정전기 제거 기구(20)에 있어서,접지된 배선(23)으로, 상기 배선은 제 1 단부[23(1)]와 제 2 단부[23(2)]를 갖고, 제 2 단부는 접지되는, 상기 배선과,상기 재치대와 상기 배선의 제 1 단부 사이에 배치된 기계적 스위치 기구(40)를 구비하며,상기 기계적 스위치 기구(40)는 상기 재치대의 측면에 마련된 스프링성을 갖는 정전기 제거 플레이트(24, 24A)인 탄력적 접촉 기구와, 상기 재치대와 물리적으로 온·오프되는 접촉 단자(21)를 포함하며,상기 재치대는 피처리체의 전기적 특성 검사를 실행하는 검사 장치에 이용되고, X-Y-θ방향으로 작동가능한정전기 제거 기구.
- 제 1 항에 있어서,상기 피처리체는 피검사체이고, 상기 배선은 제 1 단부와 제 2 단부 사이에 저항체[23(3)]를 구비하는정전기 제거 기구.
- 제 1 항에 있어서,상기 정전기 제거 기구에서 상기 기계적 스위치 기구는,상기 접촉 단자(21)를 구비하며, 상기 접촉 단자는 접촉 단자 본체[21(1)], 제 3 단부[21(2)] 및 제 4 단부[21(3)]를 갖고, 제 4 단부는 상기 배선의 제 1 단부와 전기적으로 접속되며, 제 3 단부는 상기 재치대와의 접촉 상태를 물리적으로 온·오프하며,여기에서, 제 3 단부가 재치대에 접촉된 상태에서는, 재치대는 접촉 단자의 제 3 단부, 접촉 단자 본체, 제 4 단부, 상기 배선의 제 1 단부, 저항체, 상기 배선의 제 2 단부를 거쳐 접지되는정전기 제거 기구.
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- 제 3 항에 있어서,상기 접촉자가 구비하는 상기 탄력적 접촉 기구는 포고핀(21)인정전기 제거 기구.
- 피처리체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사 장치에 있어서,제 1 항에 기재된 정전기 제거 기구를 구비한피처리체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 배선은 제 1 단부와 제 2 단부 사이에 저항체[23(3)]를 구비하는피처리체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 기계적 스위치 기구는,상기 접촉 단자(21)를 구비하며, 상기 접촉 단자는 접촉 단자 본체[21(1)], 제 3 단부[21(2)] 및 제 4 단부[21(3)]를 갖고, 제 4 단부는 상기 배선의 제 1 단부와 전기적으로 접속되며,제 3 단부는 상기 재치대와의 사이에서의 접촉 상태가 물리적으로 온·오프되며,여기에서, 제 3 단부가 재치대에 접촉된 상태에는, 재치대는 접촉 단자의 제 3 단부, 접촉 단자 본체, 제 4 단부, 상기 배선의 제 1 단부, 저항체, 상기 배선의 제 2 단부를 거쳐 접지되는피처리체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사 장치.
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- 제 9 항에 있어서,상기 접촉자가 구비하는 상기 탄력적 접촉 기구는 포고핀(21)인피처리체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사 장치.
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