JP2002043194A - ワーク検査装置 - Google Patents
ワーク検査装置Info
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- JP2002043194A JP2002043194A JP2000220997A JP2000220997A JP2002043194A JP 2002043194 A JP2002043194 A JP 2002043194A JP 2000220997 A JP2000220997 A JP 2000220997A JP 2000220997 A JP2000220997 A JP 2000220997A JP 2002043194 A JP2002043194 A JP 2002043194A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定電極部の接触抵抗を増大させることな
く、検査精度の維持向上を図ることができるワーク検査
装置を提供する。 【解決手段】 ワーク検査装置１０はベース２０と、ベ
ース２０上に水平方向に配置され外周に複数のワーク収
納溝１２を有する回転自在のターンテーブル１１とを備
えている。ベース２０に、ワーク収納溝１２内のワーク
Ｗに当接して電気特性を検査する測定電極部１３が設け
られている。ターンテーブル１１のワーク収納溝１２
は、各々外方へ開口している。ターンテーブル１１の少
なくとも１つのワーク収納溝１２内に、測定電極部１３
を研磨する研磨部材１４が装着されている。
く、検査精度の維持向上を図ることができるワーク検査
装置を提供する。 【解決手段】 ワーク検査装置１０はベース２０と、ベ
ース２０上に水平方向に配置され外周に複数のワーク収
納溝１２を有する回転自在のターンテーブル１１とを備
えている。ベース２０に、ワーク収納溝１２内のワーク
Ｗに当接して電気特性を検査する測定電極部１３が設け
られている。ターンテーブル１１のワーク収納溝１２
は、各々外方へ開口している。ターンテーブル１１の少
なくとも１つのワーク収納溝１２内に、測定電極部１３
を研磨する研磨部材１４が装着されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は抵抗器、コンデンサ
その他のチップ型電子部品等のワークの製造工程におい
て電気特性を検査するために用いられるワーク検査装置
に係り、とりわけ正確に検査することができるワーク検
査装置に関する。
その他のチップ型電子部品等のワークの製造工程におい
て電気特性を検査するために用いられるワーク検査装置
に係り、とりわけ正確に検査することができるワーク検
査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワーク検査装置として、外周にワ
ーク収納溝を有する円盤状のターンテーブルと、ターン
テーブルのワーク収納溝内に収納されたワークに対して
当接して所定の電気的検査を行う測定電極部とを備えた
ものが知られている。
ーク収納溝を有する円盤状のターンテーブルと、ターン
テーブルのワーク収納溝内に収納されたワークに対して
当接して所定の電気的検査を行う測定電極部とを備えた
ものが知られている。
【０００３】そしてターンテーブルのワーク収納溝内に
収納されたワークに対して測定電極部が当接し、ワーク
の電気特性が検査される。
収納されたワークに対して測定電極部が当接し、ワーク
の電気特性が検査される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一般にワークの表面に
ははんだ等表面処理が施されているが、測定電極部をワ
ークに当接させて電気特性を検査する際、この測定電極
部にワーク表面のはんだ等酸化された不導体が付着する
ことがある。このように、測定電極部に付着されたはん
だ等酸化された不導体は、検査回数が増えるにつれて次
第に蓄積されていく。このため、測定電極部の接触抵抗
が増大して検査精度が低下するという問題が生じてい
る。
ははんだ等表面処理が施されているが、測定電極部をワ
ークに当接させて電気特性を検査する際、この測定電極
部にワーク表面のはんだ等酸化された不導体が付着する
ことがある。このように、測定電極部に付着されたはん
だ等酸化された不導体は、検査回数が増えるにつれて次
第に蓄積されていく。このため、測定電極部の接触抵抗
が増大して検査精度が低下するという問題が生じてい
る。
【０００５】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、測定電極部の接触抵抗を増大させることな
く検査精度の維持を図ることができるワーク検査装置を
提供することを目的とする。
ものであり、測定電極部の接触抵抗を増大させることな
く検査精度の維持を図ることができるワーク検査装置を
提供することを目的とする。
【０００６】
【発明を解決するための手段】本発明は、ベースと、ベ
ース上に水平方向に配置され、外周に所定間隔をおいて
ワークを収納する複数のワーク収納溝が設けられた回転
自在ターンテーブルと、ベースに設けられ、ターンテー
ブルのワーク収納溝内のワークに対して当接してワーク
に対して所定の電気特性検査を行う測定電極部とを備
え、ターンテーブルのワーク収納溝は外方へ開口して、
この開口からワークの搬入及び搬出を行い、ターンテー
ブルの少なくとも１つのワーク収納溝内に、測定電極部
を研磨する研磨部材を装着したことを特徴とするワーク
検査装置である。
ース上に水平方向に配置され、外周に所定間隔をおいて
ワークを収納する複数のワーク収納溝が設けられた回転
自在ターンテーブルと、ベースに設けられ、ターンテー
ブルのワーク収納溝内のワークに対して当接してワーク
に対して所定の電気特性検査を行う測定電極部とを備
え、ターンテーブルのワーク収納溝は外方へ開口して、
この開口からワークの搬入及び搬出を行い、ターンテー
ブルの少なくとも１つのワーク収納溝内に、測定電極部
を研磨する研磨部材を装着したことを特徴とするワーク
検査装置である。
【０００７】本発明によれば、外方へ開口するワーク収
納溝内へワークが搬入される。ターンテーブルが回転
し、ワーク収納溝内のワークに対して、測定電極部が当
接して所定の検査が行われる。所定数のワークに対する
電気特性検査が終了した後、研磨部材に対して測定電極
部が当接して測定電極部の表面が研磨される。
納溝内へワークが搬入される。ターンテーブルが回転
し、ワーク収納溝内のワークに対して、測定電極部が当
接して所定の検査が行われる。所定数のワークに対する
電気特性検査が終了した後、研磨部材に対して測定電極
部が当接して測定電極部の表面が研磨される。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１および図２は、本発明
によるワーク検査装置の一実施の形態を示す図である。
施の形態について説明する。図１および図２は、本発明
によるワーク検査装置の一実施の形態を示す図である。
【０００９】図１および図２に示すように、ワーク検査
装置１０はベース２０と、ベース２０上に回転軸１５を
中心として水平方向に回転自在に設けられたターンテー
ブル１１とを備え、ターンテーブル１１の外周には所定
間隔をおいてワークＷを収納する複数のワーク収納溝１
２が形成されている。
装置１０はベース２０と、ベース２０上に回転軸１５を
中心として水平方向に回転自在に設けられたターンテー
ブル１１とを備え、ターンテーブル１１の外周には所定
間隔をおいてワークＷを収納する複数のワーク収納溝１
２が形成されている。
【００１０】またターンテーブル１１には、ワークＷを
供給する直線フィーダ１８が、ワーク分離装置１７を介
して接続され、さらにターンテーブル１１にはワーク分
離装置１７の反対側においてワークＷを排出するワーク
排出装置１９が接続されている。
供給する直線フィーダ１８が、ワーク分離装置１７を介
して接続され、さらにターンテーブル１１にはワーク分
離装置１７の反対側においてワークＷを排出するワーク
排出装置１９が接続されている。
【００１１】ターンテーブル１１のワーク収納溝１２
は、各々外方へ開口し、ワーク分離装置１７から供給さ
れるワークＷを収納するとともに、ワーク排出装置１９
へワークＷを排出するようになっている。
は、各々外方へ開口し、ワーク分離装置１７から供給さ
れるワークＷを収納するとともに、ワーク排出装置１９
へワークＷを排出するようになっている。
【００１２】またベース２０には、ターンテーブル１１
のワーク収納溝１２内のワークＷに当接するとともに、
ワークＷに対して所定の電気特性検査を行う測定電極部
１３が設置されている。この測定電極部１３は、上下方
向へ移動可能な一対の電極１３ａ，１３ｂからなってお
り、一対の電極１３ａ，１３ｂはベース２０内に配置さ
れた上昇機構２３により上下方向へ移動する。またター
ンテーブル１１の一つのワーク収納溝１２内には研磨部
材１４が装着されている。
のワーク収納溝１２内のワークＷに当接するとともに、
ワークＷに対して所定の電気特性検査を行う測定電極部
１３が設置されている。この測定電極部１３は、上下方
向へ移動可能な一対の電極１３ａ，１３ｂからなってお
り、一対の電極１３ａ，１３ｂはベース２０内に配置さ
れた上昇機構２３により上下方向へ移動する。またター
ンテーブル１１の一つのワーク収納溝１２内には研磨部
材１４が装着されている。
【００１３】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００１４】まず直線フィーダ１８により連続的に供給
されたワークＷは、ワーク分離装置１７において一つ一
つ分離されて、ターンテーブル１１のワーク収納溝１２
内に収納される。
されたワークＷは、ワーク分離装置１７において一つ一
つ分離されて、ターンテーブル１１のワーク収納溝１２
内に収納される。
【００１５】ワーク収納溝１２内にワークＷが収納され
ると、ベース２０上に水平方向に配置されたターンテー
ブル１１がワーク収納溝１２間の１ピッチだけ回転す
る。ワーク収納溝１２内のワークＷが測定電極部１３ま
でくると、ターンテーブル１１が停止し、一対の電極１
３ａ，１３ｂが上昇機構２３により上昇してワークＷに
当接し、所定の電気的特性が検査される。その後上昇機
構２３により一対の電極１３ａ，１３ｂが降下し、ター
ンテーブル１１が回転する。
ると、ベース２０上に水平方向に配置されたターンテー
ブル１１がワーク収納溝１２間の１ピッチだけ回転す
る。ワーク収納溝１２内のワークＷが測定電極部１３ま
でくると、ターンテーブル１１が停止し、一対の電極１
３ａ，１３ｂが上昇機構２３により上昇してワークＷに
当接し、所定の電気的特性が検査される。その後上昇機
構２３により一対の電極１３ａ，１３ｂが降下し、ター
ンテーブル１１が回転する。
【００１６】このように電気的特性が検査されたワーク
Ｗは、ターンテーブル１１の回転とともに移送され、ワ
ーク排出装置１９から外方へ排出される。
Ｗは、ターンテーブル１１の回転とともに移送され、ワ
ーク排出装置１９から外方へ排出される。
【００１７】ところで、ワークＷの表面にははんだ等表
面処理が施されており、測定電極部１３によりワークＷ
の検査を行っていくと、測定電極部１３の一対の電極１
３ａ，１３ｂの表面にはんだ等酸化された不導体が付着
する。
面処理が施されており、測定電極部１３によりワークＷ
の検査を行っていくと、測定電極部１３の一対の電極１
３ａ，１３ｂの表面にはんだ等酸化された不導体が付着
する。
【００１８】このため、測定電極部１３により所定数の
ワークＷの検査を行った後、測定電極部１３の一対の電
極１３ａ，１３ｂを研磨部材１４により研磨する。
ワークＷの検査を行った後、測定電極部１３の一対の電
極１３ａ，１３ｂを研磨部材１４により研磨する。
【００１９】すなわち、通常は一対の電極１３ａ，１３
ｂへ研磨部材１４が接近しても、一対の電極１３ａ，１
３ｂは上昇することなく研磨部材１４と当接しない。そ
の後、所定数のワークＷの検査が終了した場合、研磨部
材１４が一対の電極１３ａ，１３ｂ上方へ接近すると、
ターンテーブル１１が停止し、同時に一対の電極１３
ａ，１３ｂが上昇して研磨部材１４に当接する。次にタ
ーンテーブル１１が微量だけ回転し、研磨部材１４によ
り一対の電極１３ａ，１３ｂの表面が研磨され、電極１
３ａ，１３ｂ表面のはんだ等酸化された不導体が除去さ
れる。
ｂへ研磨部材１４が接近しても、一対の電極１３ａ，１
３ｂは上昇することなく研磨部材１４と当接しない。そ
の後、所定数のワークＷの検査が終了した場合、研磨部
材１４が一対の電極１３ａ，１３ｂ上方へ接近すると、
ターンテーブル１１が停止し、同時に一対の電極１３
ａ，１３ｂが上昇して研磨部材１４に当接する。次にタ
ーンテーブル１１が微量だけ回転し、研磨部材１４によ
り一対の電極１３ａ，１３ｂの表面が研磨され、電極１
３ａ，１３ｂ表面のはんだ等酸化された不導体が除去さ
れる。
【００２０】以上のように本実施の形態によれば、所定
数のワークＷの電気的検査が終了した後、一対の電極１
３ａ，１３ｂの表面を研磨部材１４により研磨するの
で、一対の電極１３ａ，１３ｂの接触抵抗の増大を防止
することができる。このため検査精度の維持向上を図る
ことができる。
数のワークＷの電気的検査が終了した後、一対の電極１
３ａ，１３ｂの表面を研磨部材１４により研磨するの
で、一対の電極１３ａ，１３ｂの接触抵抗の増大を防止
することができる。このため検査精度の維持向上を図る
ことができる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、測定電極
部がワークに当接して所定数のワークに対して電気特性
検査が行われる。その後、研磨部材に対して測定電極部
が当接して測定電極部の表面が研磨される。このため測
定電極部の接触抵抗を増大させることなく、検査精度の
維持向上を図ることができる。
部がワークに当接して所定数のワークに対して電気特性
検査が行われる。その後、研磨部材に対して測定電極部
が当接して測定電極部の表面が研磨される。このため測
定電極部の接触抵抗を増大させることなく、検査精度の
維持向上を図ることができる。
【図１】本発明によるワーク検査装置の一実施の形態を
示す平面図。
示す平面図。
【図２】図１のII−II線方向断面図。
１０ ワーク検査装置 １１ ターンテーブル １２ ワーク収納溝 １３ 測定電極部 １３ａ，１３ｂ 電極 １４ 研磨部材 １８ 直線フィーダ １９ 排出装置
Claims (4)
- 【請求項１】ベースと、 ベース上に水平方向に配置され、外周に所定間隔をおい
てワークを収納する複数のワーク収納溝が設けられた回
転自在のターンテーブルと、 ベースに設けられ、ターンテーブルのワーク収納溝内の
ワークに対して当接してワークに対して所定の電気特性
検査を行う測定電極部とを備え、 ターンテーブルのワーク収納溝は外方へ開口して、この
開口からワークの搬入及び搬出を行い、 ターンテーブルの少なくとも１つのワーク収納溝内に、
測定電極部を研磨する研磨部材を装着したことを特徴と
するワーク検査装置。 - 【請求項２】測定電極部は一対の電極からなることを特
徴とする請求項１記載のワーク検査装置。 - 【請求項３】一対の電極は、ワーク収納溝内のワークに
対して下方から当接することを特徴とする請求項２記載
のワーク検査装置。 - 【請求項４】一対の電極は、ベースに設けられた上昇機
構により上昇可能となっていることを特徴とする請求項
３記載のワーク検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000220997A JP2002043194A (ja) | 2000-07-21 | 2000-07-21 | ワーク検査装置 |
| TW090117558A TW534992B (en) | 2000-07-21 | 2001-07-18 | Operating method of work-inspecting device |
| US09/908,800 US6621261B2 (en) | 2000-07-21 | 2001-07-20 | Work inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000220997A JP2002043194A (ja) | 2000-07-21 | 2000-07-21 | ワーク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002043194A true JP2002043194A (ja) | 2002-02-08 |
Family
ID=18715501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000220997A Pending JP2002043194A (ja) | 2000-07-21 | 2000-07-21 | ワーク検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6621261B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002043194A (ja) |
| TW (1) | TW534992B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101995526A (zh) * | 2009-08-07 | 2011-03-30 | 慧萌高新科技有限公司 | 电子部件特性检查分类装置 |
| KR101112193B1 (ko) | 2010-11-09 | 2012-02-27 | 박양수 | 회전형 엘이디 검사 장치 |
| JP2014153364A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 電子部品検査装置 |
| KR101456048B1 (ko) * | 2012-02-10 | 2014-11-04 | 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디 | 테스트 콘택터 모듈의 자동화된 유지를 수행하기 위한 장치 |
| CN113009320A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-06-22 | 深圳市容微精密电子有限公司 | 一种可用于高频测试的光学芯片检测座 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7183758B2 (en) * | 2003-12-12 | 2007-02-27 | International Business Machines Corporation | Automatic exchange of degraders in accelerated testing of computer chips |
| US8598888B2 (en) | 2010-05-04 | 2013-12-03 | Electro Scientific Industries, Inc. | System and method for improved testing of electronic devices |
| CN116935565B (zh) * | 2023-09-15 | 2023-12-12 | 武汉森源蓝天环境科技工程有限公司 | 一种烟气自动报警装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2741683A (en) * | 1953-05-19 | 1956-04-10 | Robert W Persons | Drum-carried terminal wiper |
| US3628144A (en) * | 1969-01-15 | 1971-12-14 | Ibm | Electrical contact cleaning device |
| JP3144672B2 (ja) | 1997-01-22 | 2001-03-12 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置及びプローブ針の研磨方法 |
| JP2000040717A (ja) | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Seiko Epson Corp | Ｔａｂテープおよびｔａｂテープの電気的特性測定試験方法 |
| JP3061619B1 (ja) | 1999-05-31 | 2000-07-10 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | プロ―ブの接触抵抗測定方法 |
| JP4210002B2 (ja) | 1999-07-01 | 2009-01-14 | ジェネシス・テクノロジー株式会社 | コンタクトプローブ及びコンタクトピンの研磨方法 |
-
2000
- 2000-07-21 JP JP2000220997A patent/JP2002043194A/ja active Pending
-
2001
- 2001-07-18 TW TW090117558A patent/TW534992B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-07-20 US US09/908,800 patent/US6621261B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101995526A (zh) * | 2009-08-07 | 2011-03-30 | 慧萌高新科技有限公司 | 电子部件特性检查分类装置 |
| KR101112193B1 (ko) | 2010-11-09 | 2012-02-27 | 박양수 | 회전형 엘이디 검사 장치 |
| KR101456048B1 (ko) * | 2012-02-10 | 2014-11-04 | 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디 | 테스트 콘택터 모듈의 자동화된 유지를 수행하기 위한 장치 |
| JP2014153364A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 電子部品検査装置 |
| CN113009320A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-06-22 | 深圳市容微精密电子有限公司 | 一种可用于高频测试的光学芯片检测座 |
| CN113009320B (zh) * | 2021-03-01 | 2024-03-29 | 深圳市容微精密电子有限公司 | 一种可用于高频测试的光学芯片检测座 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW534992B (en) | 2003-06-01 |
| US6621261B2 (en) | 2003-09-16 |
| US20020030479A1 (en) | 2002-03-14 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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