KR101456048B1 - 테스트 콘택터 모듈의 자동화된 유지를 수행하기 위한 장치 - Google Patents
테스트 콘택터 모듈의 자동화된 유지를 수행하기 위한 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
도 2는 복수의 콘택터 유지 스탠드들을 포함하는 본 발명의 한 실시예에 따른 로터리 터릿 디스크의 사시도.
도 3은 콘택터 유지 스탠드에 장착 가능한 부품 홀더의 사시도.
도 4a 내지 도 4d는 각각의 유지 스탠드들을 구성하도록 부품 홀더들에 의해 홀딩될 수 있는 다양한 부품들의 사시도.
도 5는 로터리 터릿 디스크의 원주 상에 배열된 청소 헤드에 인접하여 위치된 테스트 콘택터 모듈의 평면도.
도 6은 콘택터 유지 스탠드 상에 장착된 진단 헤드의 단면도.
도 7은 콘택터 유지 스탠드 상에 장착된 그라인딩 헤드의 단면도.
도 8은 콘택터 유지 스탠드 상에 장착된 청소 헤드의 단면도.
도 9는 콘택터 유지 스탠드 상에 장착된 골든 유닛(golden unit)의 단면도.
14 : 절연 소켓 16 : 콘택터 유지 스탠드
18 : 부품 홀더 20 : 록킹 캡
22 : 진단 헤드 24 : 그라인딩 헤드
26 ; 청소 헤드 28 : 골든 유닛
30 : 테스트 콘택터 모듈 32 : 접촉 프로브
34, 40, 46, 50 : 하우징 36 : 저항기
38, 44, 52 : 패키지 홀더 48 : 프로브 카드 청소 시트
54 : LED 기준 유닛
Claims (20)
- 전자 디바이스들을 테스트하기 위한 테스트 콘택터의 전기 접점들의 전도성을 유지하기 위한 장치로서,
각각의 전자 디바이스를 홀딩하도록 동작하는 복수의 테스트 스탠드들을 갖는 로터리 터릿 디스크로서, 상기 전자 디바이스들은 테스트 동안 전기 접점들에 접촉되도록 상기 로터리 터릿 디스크에 의해 상기 테스트 콘택터의 위치로 회전 가능한, 상기 로터리 터릿 디스크; 및
상기 로터리 터릿 디스크 상에서 인접한 테스트 스탠드들 사이에 위치되고, 제1 유지 부품 및 제2 유지 부품을 포함한 복수의 콘택터 유지 스탠드를 포함하며;
상기 제1 유지 부품은 상기 테스트 콘택터의 상기 전기 접점들의 전도성을 확인하도록 구성되고, 상기 제2 유지 부품은 상기 제1 유지 부품에 의한 확인이 상기 테스트 콘택터의 전기 접점들에서 오염물의 증가를 지시하면 상기 테스트 콘택터의 전기 접점들을 청소하도록 구성되어 있는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치. - 제 1 항에 있어서, 상기 콘택터 유지 스탠드들은 상기 로터리 터릿 디스크의 주변을 따라서 위치되는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 1 항에 있어서, 각각의 콘택터 유지 스탠드는 그 인접한 테스트 스탠드들로부터 등거리에 위치되는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 복수의 콘택터 유지 스탠드들은 동일한 간격으로 서로로부터 분리되는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 로터리 터릿 디스크는 그 위에 위치된 4개의 콘택터 유지 스탠드들을 포함하며, 상기 콘택터 유지 스탠드들은 서로로부터 90°의 각도만큼 분리되는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 제1 유지 부품은 진단 헤드이고, 상기 제2 유지 부품은 그라인딩 헤드 및 청소 헤드로 이루어진 그룹으로부터 선택된 유지 부품을 포함하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 1 항에 있어서, 각각의 상기 콘택터 유지 스탠드는 각자의 유지 부품이 장착되는 부품 홀더, 및 상기 콘택터 유지 스탠드 상으로 상기 부품 홀더를 해제 가능하게 록킹하기 위한 록킹 캡을 추가로 포함하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제1 유지 부품은 상기 테스트 콘택터의 전기 접점들의 전기 저항을 측정하도록 동작하는 진단 헤드를 포함하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 8 항에 있어서, 상기 진단 헤드는 사용 시에 상기 전기 접점들과의 전기 통신을 위하여 위치되는 공지된 값을 갖는 저항을 포함하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제2 유지 부품은 상기 전기 접점들 상의 오염물을 제거하도록 동작하는 그라인딩 헤드를 포함하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 그라인딩 헤드는 거칠고 경질의 표면들을 구비한 강재 블록을 포함하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 11 항에 있어서, 상기 강재 블록의 표면들은 전착된(electroplated) 다이아몬드로 만들어지는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 로터리 터릿 디스크는 상기 그라인딩 헤드에 대항하여 상기 전기 접점들을 그라인딩하기 위해 진동하도록 동작하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제2 유지 부품은 예리한 가장자리들을 구비한 전기 접점들을 청소하기 위한 청소 헤드를 포함하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 14 항에 있어서, 상기 청소 헤드는 사용 시에 상기 전기 접점들 상의 오염물을 제거하기 위해 상기 전기 접점들이 관통될 수 있게 구성되도록 배열되는 프로브 카드 청소 시트들을 포함하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 15 항에 있어서, 상기 청소 시트들은 하우징의 마주하는 수직 측부들에 접착되는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 전기 접점들의 저항을 측정하기 위한 골든 유닛 전자 디바이스를 갖는 부품 유지 스탠드를 추가로 포함하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 제 17 항에 있어서, 상기 골든 유닛은 공지된 전기 및 광학 특성들을 구비한 기준 전자 디바이스를 포함하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 장치.
- 테스트 기계로서,
전자 디바이스들을 테스트하기 위하여 전기 접점들을 갖는 테스트 콘택터;
각각의 전자 디바이스를 홀딩하도록 동작하는 복수의 테스트 스탠드들을 갖는 로터리 터릿 디스크로서, 상기 전자 디바이스들은 테스트 동안 상기 전기 접점들에 접촉되도록 상기 로터리 터릿 디스크에 의해 상기 테스트 콘택터의 위치로 회전 가능한, 상기 로터리 터릿 디스크; 및
상기 로터리 터릿 디스크 상에서 인접한 테스트 스탠드들 사이에 위치되고, 제1 유지 부품 및 제2 유지 부품을 포함한 복수의 콘택터 유지 스탠드를 포함하며;
상기 제1 유지 부품은 상기 테스트 콘택터의 상기 전기 접점들의 전도성을 확인하도록 구성되고, 상기 제2 유지 부품은 상기 제1 유지 부품에 의한 확인이 상기 테스트 콘택터의 전기 접점들에서 오염물의 증가를 지시하면 상기 테스트 콘택터의 전기 접점들을 청소하도록 구성되어 있는, 테스트 기계. - 전자 디바이스들을 테스트하기 위한 테스트 콘택터의 전기 접점들의 전도성을 유지하는 방법으로서,
상기 전자 디바이스들이 테스트를 위한 상기 전기 접점들에 접촉될 로터리 터릿 디스크에 의해 상기 테스트 콘택터의 위치로 회전 가능하도록, 상기 로터리 터릿 디스크 상에 위치된 복수의 테스트 스탠드들 상에서 각각의 전자 디바이스들을 홀딩하는 단계;
상기 로터리 터릿 디스크 상의 인접한 테스트 스탠드들 사이에 위치된 복수의 콘택터 유지 스탠드를 상기 테스트 콘택터의 위치로 회전시키는 단계로서, 상기 복수의 콘택터 유지 스탠드는 제1 유지 부품 및 제2 유지 부품을 포함하는, 상기 회전시키는 단계;
상기 제1 유지 부품을 이용하여 상기 테스트 콘택터의 상기 전기 접점들의 전도성을 확인하는 단계; 및
상기 제1 유지 부품에 의한 확인이 상기 테스트 콘택터의 전기 접점들에서 오염물의 증가를 지시하면 상기 제2 유지 부품을 이용하여 상기 테스트 콘택터의 상기 전기 접점들을 청소하는 단계를 포함하는, 테스트 콘택터 전기 접점들의 전도성 유지 방법.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/370,713 US8933720B2 (en) | 2012-02-10 | 2012-02-10 | Apparatus for conducting automated maintenance of a test contactor module |
US13/370,713 | 2012-02-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130092497A KR20130092497A (ko) | 2013-08-20 |
KR101456048B1 true KR101456048B1 (ko) | 2014-11-04 |
Family
ID=48925493
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020130014386A Active KR101456048B1 (ko) | 2012-02-10 | 2013-02-08 | 테스트 콘택터 모듈의 자동화된 유지를 수행하기 위한 장치 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8933720B2 (ko) |
KR (1) | KR101456048B1 (ko) |
CN (1) | CN103245849B (ko) |
MY (1) | MY183353A (ko) |
TW (1) | TWI510795B (ko) |
Families Citing this family (2)
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2012
- 2012-02-10 US US13/370,713 patent/US8933720B2/en active Active
-
2013
- 2013-02-07 TW TW102104699A patent/TWI510795B/zh active
- 2013-02-07 MY MYPI2013000420A patent/MY183353A/en unknown
- 2013-02-08 KR KR1020130014386A patent/KR101456048B1/ko active Active
- 2013-02-16 CN CN201310050960.4A patent/CN103245849B/zh active Active
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Publication number | Publication date |
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US8933720B2 (en) | 2015-01-13 |
TWI510795B (zh) | 2015-12-01 |
KR20130092497A (ko) | 2013-08-20 |
MY183353A (en) | 2021-02-18 |
CN103245849B (zh) | 2015-10-28 |
CN103245849A (zh) | 2013-08-14 |
US20130207684A1 (en) | 2013-08-15 |
TW201341821A (zh) | 2013-10-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20130208 |
|
A201 | Request for examination | ||
PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20130319 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 20130208 Comment text: Patent Application |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20140226 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20140926 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20141023 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20141024 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170920 Year of fee payment: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20170920 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20211018 Start annual number: 8 End annual number: 8 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20230918 Start annual number: 10 End annual number: 10 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |