CN220963245U - 状态监控系统 - Google Patents

Abstract

本说明书实施提供一种状态监控系统，适于监测测量晶圆电阻的电阻测量系统的运行状态，其中，所述状态监控系统包括：参数检测单元，适于检测所述电阻测量系统的运行参数，并输出与所述运行参数相对应的运行参数信号；所述运行参数包括以下至少一种：运动参数、真空值参数、电参数和测量点位参数；数据处理单元，适于接收所述运行参数信号，并将所述运行参数信号所包含的运行参数与设定参数进行比较，确定所述电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果。采用上述技术方案，能够监测电阻测量系统的运行状态。

Description

状态监控系统

技术领域

本说明书实施例涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种状态监控系统。

背景技术

在半导体制造工艺中，随着半导体器件的元件密度和集成度的提高，一个晶圆上通常集成有大量的芯片。为了提高半导体器件的性能，需要对晶圆的电阻进行测量，以挑选出不满足电阻要求的晶圆。

目前通常采用具有测试探针的电阻测量系统测量晶圆的电阻，在使用该类测量系统时，测试探针保持静止，晶圆按照设定的角度和方向旋转，实现晶圆的直径扫描和轮廓扫描，从而得到晶圆的电阻，因此电阻测量系统的运行状态，直接决定了晶圆电阻的测量精度。

在此背景下，如何提供技术方案，以监测电阻测量系统的运行状态，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种状态监控系统，能够监测电阻测量系统的运行状态。

本说明书实施例提供一种状态监控系统，所述状态监控系统适于监测测量晶圆电阻的电阻测量系统的运行状态，其中，所述状态监控系统包括：

参数检测单元，适于检测所述电阻测量系统的运行参数，并输出与所述运行参数相对应的运行参数信号；所述运行参数包括以下至少一种：运动参数、真空值参数、电参数和测量点位参数；

数据处理单元，适于接收所述运行参数信号，并将所述运行参数信号所包含的运行参数与设定参数进行比较，确定所述电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果。

可选地，所述数据处理单元包括：

状态判定模块，适于接收与所述运行参数相对应的运行参数信号，将运行参数与所述设定参数进行比对，输出状态判定结果，所述状态判定结果包括状态正常结果和状态异常结果；

次数记录模块，适于记录并统计所述状态正常结果的次数以及所述状态异常结果的次数；

状态确认模块，适于基于所述状态正常结果的次数以及状态异常结果的次数，确定电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果。

可选地，所述状态判定模块，适于将运行参数与所述设定参数进行比对，输出状态判定结果，包括：

根据运行参数的类型，使用与所述运行参数的类型相对应的设定参数，将运行参数与所述设定参数进行比对，输出状态判定结果。

可选地，所述电阻测量系统包括传动单元、吸附单元、电阻测量单元和承载单元；

所述状态判定模块，适于根据运行参数的类型，使用与所述运行参数的类型相对应的设定参数，将运行参数与所述设定参数进行比对，输出状态判定结果，包括：

如果运行参数的类型为运动参数，且所述运动参数为所述传动单元的转速参数，在确定所述传动单元的转速参数处于设定的转速范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为运动参数，且所述运动参数为所述传动单元的运动方向，在确定所述传动单元的运动方向与设定方向相同时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为运动参数，且所述运动参数为所述传动单元的振动幅值，在确定所述传动单元的振动幅值处于设定的振动幅值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为真空值参数，且所述真空值参数为所述吸附单元提供的真空值，在确定所述真空值处于设定的真空值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为电参数，且所述电参数为所述传动单元的电压值，在确定所述传动单元的电压值处于设定的电压值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为电参数，且所述电参数为所述电阻测量单元测量的晶圆的测量电阻值，在确定所述晶圆的测量电阻值与所述晶圆的实际电阻值的差值处于预设电阻差值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为测量点位参数，且所述测量点位参数为测量点的个数，在确定所述测量点的个数与设定点数不一致时，输出一次状态异常结果，否则，输出一次状态正常结果；

如果运行参数的类型为测量点位参数，且所述测量点位参数为测量点的测量顺序，在确定所述测量点的测量顺序与设定测量顺序不一致时，输出一次状态异常结果，否则，输出一次状态正常结果。

可选地，所述运行参数还包括位姿参数；

参数检测单元包括：

第一图像采集单元，适于采集所述吸附单元与所述承载单元间的相对位姿，并输出相对位姿对应的第一位姿采集信号至所述状态判定模块；

和/或

第二图像采集单元，适于采集所述承载单元与所述电阻测量单元间的相对位姿，并输出相对位姿对应的第二位姿采集信号至所述状态判定模块；

所述状态判定模块，还适于：

如果接收到第一位姿采集信号，且确定所述吸附单元与所述电阻测量单元间的相对位姿与设定的第一位姿信息一致时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果接收到第二位姿采集信号，且确定所述承载单元与所述电阻测量单元间的相对位姿与设定的第二位姿信息一致时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果。

可选地，所述状态确认模块，适于基于所述状态正常结果的次数以及状态异常结果的次数，确定电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果，包括：

确定所述状态正常结果的次数和所述状态异常结果的次数的总次数；

确定所述状态异常结果次数与所述总次数的比值，并在确定所述比值大于预设比值时，输出状态异常的监测结果；否则，输出状态正常的监测结果。

可选地，所述状态确认模块，适于基于所述状态正常结果的次数以及状态异常结果的次数，确定电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果，包括：

对于任一类型的运行参数，根据运行参数类型的状态异常结果的次数与运行参数对应的权重，确定运行参数在状态异常结果对应的判定值；

根据各类型的运行参数在状态异常结果对应的判定值，确定电阻测量系统在状态异常结果对应的判定值；

如果电阻测量系统在状态异常结果对应的判定值大于预设判定值时，输出一次状态异常结果，否则输出一次状态正常结果。

可选地，所述状态确认模块，还适于基于各运行参数的优先级，在确定所述电阻测量系统在相应运行参数下发生异常时，输出对应的监测结果。

可选地，状态监控系统还包括：

配置单元，适于基于配置数据，配置所检测的运行参数的类型，以及配置所述设定参数的值。

可选地，状态监控系统还包括：

控制单元，适于在所述电阻测量系统处于异常运行状态时，输出电源控制信号，以断开所述电阻测量系统的供电。

采用本说明书实施例中的状态监控系统，参数检测单元可以检测电阻测量系统的运行参数，并输出与所述运行参数相对应的运行参数信号，由于所述运行参数可以包括：运动参数、真空值参数、电参数和测量点位参数中的至少一种，因此数据处理单元可以将所述运行参数信号所包含的运行参数与设定参数进行比较，进而根据比较结果，能够确定所述电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果，从而能够监测电阻测量系统的运行状态。

进一步地，数据处理单元可以包括：状态判定模块、次数记录模块和状态确认模块；通过所述状态判定模块能够接收与所述运行参数相对应的运行参数信号，并将运行参数与所述设定参数进行比对，输出状态判定结果，状态判定结果分为状态正常结果和状态异常结果；进而，所述异常次数记录单元可以记录并统计所述状态正常结果的次数以及所述状态异常结果的次数，所述状态确认模块可以基于所述状态正常结果的次数以及状态异常结果的次数，确定电阻测量系统的运行状态，输出运行状态对应的监测结果。通过对状态判定模块的状态判定结果进行统计计数，可以更加准确地反映电阻测量系统在运行参数下的运行状态，实现更为合理的运行状态监测，能够避免因为单次的偶然因素导致的运行状态异常致使出现运行状态误判的情况，提升状态监控系统的鲁棒性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1示出了本说明书实施例中一种状态监控系统的结构示意图；

图2示出了本说明书实施例中一种数据处理单元的结构示意图。

具体实施方式

如背景技术所述，在采用具有测试探针的电阻测量系统测量晶圆的电阻时，电阻测量系统的运行状态直接决定了晶圆电阻的测量精度，因此需要监测电阻测量系统的运行状态。

为解决上述技术问题，本说明书实施例提供了一种状态监控系统，能够检测电阻测量系统的运行参数，并根据所述运行参数，确定所述电阻测量系统的运行状态。具体而言，参数检测单元可以检测电阻测量系统的运行参数，并输出与所述运行参数相对应的运行参数信号，由于所述运行参数可以包括：运动参数、真空值参数、电参数和测量点位参数中的至少一种，因此数据处理单元可以将所述运行参数信号所包含的运行参数与设定参数进行比较，进而根据比较结果，能够确定所述电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果，从而能够监测电阻测量系统的运行状态。

为使本领域技术人员更好地理解和实施本说明书实施例，以下对本说明书实施例的构思、方案、原理及优点等结合附图，并通过具体应用示例进行详细描述。

首先，本说明书实施例提供了一种状态监控系统，所述状态监控系统可以监测测量晶圆电阻的电阻测量系统的运行状态。如图1所示，状态监控系统100可以包括参数检测单元110和数据处理单元120，其中：

所述参数检测单元110，适于检测所述电阻测量系统10A的运行参数，并输出与所述运行参数相对应的运行参数信号；所述运行参数包括以下至少一种：运动参数、真空值参数、电参数和测量点位参数；

所述数据处理单元120，适于接收所述运行参数信号，并将所述运行参数信号所包含的运行参数与设定参数进行比较，确定所述电阻测量系统10A的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果。

参照图1，参数检测单元110可以实时检测电阻测量系统10A的运行参数，并输出与所述运行参数相对应的运行参数信号。由于所述运行参数可以包括：运动参数、真空值参数、电参数和测量点位参数中的至少一种，因此当数据处理单元120接收到所述运行参数信号时，可以将所述运行参数信号所包含的运行参数与设定参数进行比较，例如，可以将运动参数与设定的运动参数比较；还例如，可以将真空值参数与设定的真空值比较，进而能够确定所述电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果，从而能够监测电阻测量系统的运行状态。

需要说明的是，上述实施例示出的运行参数的类型仅为示例说明，是用来说明可以根据运行参数确定电阻测量系统的运行状态，本说明书实施例对运行参数的类型不做限制。例如，在实际监测过程中，运行参数还可以包括位姿参数，所述位姿参数可以表征电阻测量系统相应单元的相对位姿状态。

为使本领域技术人员更好地理解和实施本实用新型实施例方案，以下对本说明书实施例中异常监控系统的具体实现方式给出一些具体示例。

在本说明书一些实施例中，参照图2所述的本说明书实施例中一种数据处理单元的结构示意图，如图2所示，数据处理单元120可以包括：状态判定模块121、次数记录模块122和状态确认模块123，其中：

所述状态判定模块121，适于接收与所述运行参数相对应的运行参数信号，将运行参数与所述设定参数进行比对，输出状态判定结果，所述状态判定结果可以包括状态正常结果和状态异常结果；

次数记录模块122，适于记录并统计所述状态正常结果的次数以及所述状态异常结果的次数；

状态确认模块123，适于基于所述状态正常结果的次数以及状态异常结果的次数，确定所述电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果。

作为一具体示例，状态判定模块121可以检测电阻测量系统的运行参数，并根据预先设置的设定参数，判定运行参数信号所包含的运行参数是否满足设定参数，并输出相应的状态判定结果至次数记录模块122，其中，所述状态判定结果可以包括状态正常结果和状态异常结果，进而次数记录模块122可以记录并统计所述状态正常结果的次数以及所述状态异常结果的次数，状态确认模块123可以基于所述状态正常结果的次数以及状态异常结果的次数，确定电阻测量系统的运行状态，输出与运行状态对应的监测结果。

在具体实施中，电阻测量系统可以包括多个相互配合的单元，考虑到不同单元输出的运行参数存在差异，状态判定模块可以采用与运行参数的类型对应的设定参数，对电阻测量系统的运行状态进行判定，并输出状态判定结果。

在本说明书一些实施例中，状态判定模块可以根据运行参数的类型，使用与所述运行参数的类型相对应的设定参数，判断所述电阻测量系统在运行参数对应的运行状态是否正常，并输出所述状态判定结果。

具体而言，设定参数可以包括多个异常判定参数，当接收到电阻测量系统输出的运行参数时，状态判定模块可以先判定运行参数的类型，并从预设的多个异常判定参数中选择与所述运行参数的类型相对应的异常判定参数，进而所述状态判定模块可以根据选择的异常判定参数，判定所述电阻测量系统的状态，并输出相应的状态判定结果。

通过采用与运行参数的类型相对应的设定参数，状态判定模块能够根据监测到的电阻测量系统输出的任意类型的运行参数，对电阻测量系统的运行状态进行判定，从而能够提高状态监控系统的普适性。

在本说明书一些实施例中，电阻测量系统可以包括传动单元、吸附单元、电阻测量单元和承载单元，进而状态监控系统可以监测到的电阻测量系统中的任一单元的运行状态，并根据相应单元输出的运行参数信号，输出相应的状态信号。

作为一具体示例，状态判定模块可以根据运行参数的类型，使用与运行参数的类型相对应的异常判定参数，判断所述电阻测量系统在运行参数对应的运行状态是否正常：

1)、如果运行参数的类型为运动参数，且所述运动参数为所述传动单元的转速参数，在确定所述传动单元的转速参数处于设定的转速范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果。

其中，可以通过转速传感器获取传动单元的转速参数。

2)、如果运行参数的类型为运动参数，且所述运动参数为所述传动单元的运动方向，在确定所述传动单元的运动方向与设定方向相同时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果。

具体而言，传动单元的运动方向直接决定了晶圆能否被正确的放置于承载单元，以及晶圆能够按照设定的方向旋转，因此当确定所述传动单元的运动方向与设定方向不相同时，则表明电阻测量系统处于运行异常状态。

其中，可以通过霍尔传感器获取传动单元的运动方向。

3)、如果运行参数的类型为运动参数，且所述运动参数为所述传动单元的振动幅值，在确定所述传动单元的振动幅值处于设定的振动幅值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果。

具体而言，若传动单元的振动幅值过大，将引起电阻测量系统的抖动，导致无法获取精确的电阻测量结果。

其中，可以通过振动传感器、加速度传感器和振动分析仪中的至少一种器件获取传动单元的振动幅值。

4)、如果运行参数的类型为真空值参数，且所述真空值参数为所述吸附单元提供的真空值，在确定所述真空值处于设定的真空值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果。

具体而言，电阻测量系统是通过真空吸附的方式将晶圆传送至承载单元，以及带动晶圆旋转，若吸附单元提供的真空值未处于设定的真空值范围内时，将无法实现电阻测量过程。

其中，可以通过真空计获取吸附单元的真空值。

5)、如果运行参数的类型为电参数，且所述电参数为所述传动单元的电压值，在确定所述传动单元的电压值处于设定的电压值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果。

具体而言，若传动单元的电压值过大，其运行过程中将产生大量的热，进而导致电阻测量系统内部温度升高，无法为电阻测量系统提供所需要的测量温度；若传动单元的电压值过小，可能无法带动传动单元运动，进而无法实现晶圆电阻测量过程。

其中，可以采用电能质量检测器获取传动单元的电压值。

6)、如果运行参数的类型为电参数，且所述电参数为所述电阻测量单元测量的晶圆的测量电阻值，在确定所述晶圆的测量电阻值与所述晶圆的实际电阻值间误差值处于预设电阻误差值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果。

具体而言，在对电阻测量系统的运行状态进行监测时，可以测量一个电阻值已知的晶圆，通过比较电阻测量单元测量的电阻值和晶圆的实际电阻值间的误差值，即可确定电阻测量单元的运行状态。

在具体实施中，根据实际应用场景，可以灵活设置预设电阻误差值范围。作为一可选示例，预设电阻误差值范围可以是-0.5％～0.5％。

可以理解的是，上述预设电阻误差值范围仅为示例说明，本说明书实施例对预设电阻误差值范围不做具体限制。

7)、如果运行参数的类型为测量点位参数，且所述测量点位参数为测量点的个数，在确定所述测量点的个数与设定点数不一致时，输出一次状态异常结果，否则，输出一次状态正常结果。

具体而言，本说明书实施例中的电阻测量系统是通过探针与晶圆表面的测量点位接触，获取晶圆的测量电阻。例如，对于具有四探针的电阻测量系统，采用将电流值输入至其中两个探针，通过获取另外两个探针的电压值，根据电压值和电流值确定晶圆的电阻。因此，若测量点的个数少于4个，则无法获取晶圆的电阻；若测量点的个数多于4个，则无法获取精确的晶圆电阻值。

8)、如果运行参数的类型为测量点位参数，且所述测量点位参数为测量点的测量顺序，在确定所述测量点的测量顺序与设定测量顺序不一致时，输出一次状态异常结果，否则，输出一次状态正常结果。

在具体实施中，根据传动单元在电阻测量系统中的分布位置，传动单元可以包括第一传动模块和第二传动模块，其中，所述第一传动模块用于将晶圆传输至承载单元，所述第二传动模块用于带动晶圆旋转。

对于不同的传动模块，可以设置具有相应参数值的设定参数，以分别判定第一传动模块和第二传动模块的运行状态。

例如，第一传动模块和第二传动模块可以具有不同的设定转速范围值；还例如，第一传动模块和第二传动模块可以具有不同的设定振动幅值等；在例如，第一传动模块和第二传动模块可以具有不同设定方向，具体的，第一传动模块的运行方向可以是指沿与承载单元所在平面相平行的方向，第二传动模块的运行方向可以是指沿与承载单元所在平面相垂直的的方向。

在具体实施中，根据吸附单元在电阻测量系统中的分布位置，吸附单元可以包括第一吸附模块和第二吸附模块，其中，所述第一吸附模块可以与第一传动模块相耦接，用于晶圆的装载和卸载，所述第二吸附模块用于将晶圆吸附在承载单元上，以带动晶圆旋转。

对于不同的吸附模块，可以设置具有相应参数值的设定参数，以分别判定第一吸附模块和第二吸附模块的运行状态。

例如，第一吸附模块对应的设定真空值范围可以小于第二吸附模块对应的设定真空值范围。

在具体测量过程中，是在传动单元和吸附单元能够将晶圆传送至承载单元，以及电阻测量单元能够接触到晶圆的基础上，完成晶圆电阻的测量过程。而在实际测量过程中，可能存在晶圆未放置于承载单元和/或电阻测量单元未接触到晶圆的情况。

基于此，本说明书实施例中的运行参数还可以包括位姿参数，所述位姿参数可以表征吸附单元(具体可以是指第一吸附模块)与承载单元的相对位姿状态或者承载单元与电阻测量单元间的相对位姿状态。

相应的，本说明书实施例中的参数检测单元还可以包括：第一图像采集单元和/或第二图像采集单元，其中：

所述第一图像采集单元，适于采集所述吸附单元与所述承载单元间的相对位姿，并输出相对位姿对应的第一位姿采集信号至所述状态判定模块。

所述第二图像采集单元，适于采集所述承载单元与所述电阻测量单元间的相对位姿，并输出相对位姿对应的第二位姿采集信号至所述状态判定模块。

在此情况下，本说明书实施例中的状态判定模块还可以根据运行参数的类型，使用与运行参数的类型相对应的设定参数，判断电阻测量系统在运行参数对应的运行状态是否正常：

9)、如果接收到第一位姿采集信号，且确定所述吸附单元与所述承载单元间的相对位姿与设定的第一位姿信息一致时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

10)、如果接收到第二位姿采集信号，且确定所述承载单元与所述电阻测量单元间的相对位姿与设定的第二位姿信息一致时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果。

11)、如果运行参数的类型为晶圆规格参数，且所述晶圆规格参数为所述晶圆的尺寸，在确定所述晶圆的尺寸不大于所述承载单元所能承载的晶圆的最大尺寸时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果。

具体而言，一种类型的承载单元一般承载一种尺寸的晶圆，例如，对于某种类型的承载单元，其可以承载8英寸的晶圆，在一些情况下，承载单元还可以承载6英寸。当确定晶圆的尺寸大于承载单元所能承载的晶圆的最大尺寸(例如，承载单元所能承载的晶圆的最大尺寸为8英寸，而晶圆的尺寸为12英寸)时，可以输出一次状态异常结果。

其中，可以通过对晶圆进行成像，以获取晶圆的尺寸。

由此，采用上述方案，根据运行参数的类型，使用与运行参数的类型相对应的异常判定参数，能够判定所述电阻测量系统在各运行参数下的运行状态，并输出状态正常结果或状态异常结果。

在具体实施中，当状态判定模块根据运行参数的类型和与运行参数的类型相对应的异常判定参数，确定相应的状态判定结果时，次数记录模块可以记录各状态判定结果的次数，并对状态判定结果的次数进行统计。

作为一具体示例，状态判定结果可以包括状态正常结果和状态异常结果，所述次数记录模块可以基于如下至少一种类型的统计方式对所述状态判定结果的次数进行统计：统计所述状态异常结果的累计次数；统计所述状态异常结果的连续次数。

其中，状态异常结果的累计次数可以是指在一个监测周期内，状态异常结果的非连续累计次数。

由此，通过统计电阻测量系统在相应运行参数下的多次状态判定结果，能够更加准确地反映电阻测量系统的当前实际运行状态，从而根据统计次数，状态确认模块可以判定电阻测量系统的真实运行状态。

作为一具体示例，状态确认模块可以确定所述状态正常结果的次数和所述状态异常结果的次数的总次数，然后确定所述状态异常结果次数与所述总次数的比值，并在确定所述比值大于预设比值时，输出状态异常监测结果；否则，输出状态正常监测结果。

例如，若在一次监测过程中，电阻测量系统各运行参数下的状态异常结果的次数为A，状态正常结果的次数为B，则状态异常结果次数与所述总次数的比值为A/(A+B)。若A/(A+B)大于预设比值，说明电阻测量系统的整体运行状态异常，输出状态异常监测结果；若A/(A+B)小于等于预设比值，说明电阻测量系统的整体运行状态正常，输出状态正常监测结果。

在具体实施中，一个运行参数一般对应一个状态判定结果，为了能更加准确地判定电阻测量系统的运行状态。在本说明书一些实施例中，可以同时检测电阻测量系统的多个运行参数或者在一定的时间段内，获取电阻测量系统的多个不同的运行参数，状态判定模块可以按照上述判定过程，根据运行参数的类型，依次判定电阻测量系统的状态判定结果，并由次数记录模块记录并统计所述状态正常结果的次数以及所述状态异常结果的次数，状态确认模块可以确定根据电阻测量系统的多个运行参数下的权重总值与预设权重值间的关系，输出相应的判定结果。

例如，对于任一类型的运行参数，根据运行参数类型的状态异常结果的次数与运行参数对应的权重，确定运行参数在状态异常结果对应的判定值，然后根据各类型的运行参数在状态异常结果对应的判定值，确定电阻测量系统在状态异常结果对应的判定值，如果电阻测量系统在状态异常结果对应的判定值大于预设判定值时，输出一次状态异常结果，否则输出一次状态正常结果。

其中，电阻测量系统在各运行参数下处于状态异常时的权重值可以根据监测单元的重要程度进行设定。例如，对于一些重要程度较高的监测单元(例如，电阻测量单元)，其处于状态异常下的权重值可以较大；对于一些重要程度较低的监控对象(例如，传动单元)，其处于状态异常下的权重值可以较小。

可以理解的是，本说明书实施例中的“较大”和“较小”等形容词仅是用来描述权重值的相对大小，其是用来说明书不同单元的运行状态异常时，对电阻测量系统整体运行状态的影响。

由此，采用上述结构的数据处理单元，能够在对单次运行参数进行状态判定的基础上，统计多个状态正常结果以及状态异常结果，从而得出最终的状态监测结果，能够避免因为单次的偶然因素导致的异常致使出现运行状态误判的情况，提升状态监控系统的鲁棒性。

并且对具有不同重要程度的监测单元，可以设置各监测单元的处于状态异常下的权重值，从而可以根据监控单元的特性进行个性化设置，能够更加准确地反映各监测单元的运行状态，实现更为合理的异常监控，可以提升状态监控系统的适应性、可扩展性和可靠性。

需要说明的是，对于电阻测量系统一些重要程度很高的单元，在统计到该单元对应的一次状态异常结果时，即可确认电阻测量系统处于异常运行状态。

具体而言，状态确认模块还适于基于各运行参数的优先级，在确定所述电阻测量系统在相应运行参数下发生异常时，输出对应的监测结果。

例如，传动单元发生异常(如电压值过高)，可能会引起撞片或其它较为严重的事故，将影响电阻测量系统的正常运行，故传动单元对应的运行参数具有较高的优先级，当确定传动单元发生异常时，即可输出状态异常结果；而电阻测量单元的测量点位异常(如测量点为顺序出现错位)时，电阻测量系统仍能够正常运行，故电阻测量单元的测量点位参数可以具有较低的优先级，当确定电阻测量单元发生异常时，即可输出一次状态异常结果。

在对电阻测量系统进行状态监控的过程中，状态监控系统除了输出最终的监测结果，还会生成大量的中间数据，这些中间数据和监测结果可以表征电阻测量系统的当前运行状态，因此可以记录这些数据，以便于操作人员对发生运行状态异常的监测单元进行追踪。

在实际监测过程中，可以根据状态监控系统监测到的运行状态，实时调整所检测的运行参数的类型。

例如，继续参照图1，所述异常监控系统100还可以包括：配置单元130，适于基于配置数据，配置所检测的运行参数的类型，以及配置所述设定参数的值。

具体而言，如图1所示，配置单元130可以分别与参数检测单元110和数据处理单元120相耦接，基于配置数据，可以对参数检测单元110进行功能配置，使得参数检测单元110检测电阻测量系统的运动参数、真空值参数、电参数和晶圆规格参数中的至少一种或者多种，以及配置数据处理单元120中得设定参数值，以适应不同的测量场景。

在具体实施中，配置单元130可以基于配置数据，配置所检测的电阻测量系统运行参数，以及配置判定运行参数的异常判定条件、对状态判定结果的统计方式，以及不同参数类型下各监测单元运行状态异常时的权重值等。

在本说明书一些实施例中，可以通过外部接口将所述配置数据和输入至配置单元130，也可以由配置单元130从其他存储单元或者被监控装置的主控系统中获取，本说明书实施例对此不做限制。

在具体实施中，为保证电阻测量系统运行的安全行，当确定电阻测量系统处于异常运行状态，需要断开电源与电阻测量系统间的连接。

作为一可选示例，本说明书实施例中的状态监控系统还可以包括：控制单元，适于在所述电阻测量系统处于异常运行状态时，输出电源控制信号，以断开所述电阻测量系统的供电。

在实际应用中，所述控制单元可以由一个处理器实现，也可以由多个处理器实现。其中，所述处理器可以通过中央处理器(Central Processing Unit，CPU)、现场可编程逻辑门阵列(Field Programmable Gate Array，FPGA)等处理芯片实现，也可以通过特定集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)或者是被配置成实施本说明书实施例的一个或多个集成电路实现。

虽然本说明书实施例披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (10)

1.一种状态监控系统，其特征在于，适于监测测量晶圆电阻的电阻测量系统的运行状态，所述电阻测量系统包括：传动单元、吸附单元、电阻测量单元和承载单元，其中，所述状态监控系统包括：

参数检测单元，适于检测所述电阻测量系统的运行参数，并输出与所述运行参数相对应的运行参数信号；所述参数检测单元包括如下至少一种：转速传感器，获取所述传动单元的转速参数；霍尔传感器，获取所述传动单元的运动方向；电能质量检测器，获取传动单元的电压值；振动传感器、加速度传感器和振动分析仪中的至少一种器件，获取所述传动单元的振动幅值；真空计，获取所述吸附单元的真空值；所述运行参数包括以下至少一种：运动参数、真空值参数、电参数和测量点位参数；

数据处理单元，适于接收所述运行参数信号，并将所述运行参数信号所包含的运行参数与设定参数进行比较，确定所述电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果。

2.根据权利要求1所述的状态监控系统，其特征在于，所述数据处理单元包括：

状态判定模块，适于接收与所述运行参数相对应的运行参数信号，将运行参数与所述设定参数进行比对，输出状态判定结果，所述状态判定结果包括状态正常结果和状态异常结果；

次数记录模块，适于记录并统计所述状态正常结果的次数以及所述状态异常结果的次数；

状态确认模块，适于基于所述状态正常结果的次数以及状态异常结果的次数，确定所述电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果。

3.根据权利要求2所述的状态监控系统，其特征在于，所述状态判定模块，适于将运行参数与所述设定参数进行比对，输出状态判定结果，包括：

根据运行参数的类型，使用与所述运行参数的类型相对应的设定参数，将运行参数与所述设定参数进行比对，输出状态判定结果。

4.根据权利要求3所述的状态监控系统，其特征在于

所述状态判定模块，适于根据运行参数的类型，使用与所述运行参数的类型相对应的设定参数，将运行参数与所述设定参数进行比对，输出状态判定结果，包括：

如果运行参数的类型为运动参数，且所述运动参数为所述传动单元的转速参数，在确定所述传动单元的转速参数处于设定的转速范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为运动参数，且所述运动参数为所述传动单元的运动方向，在确定所述传动单元的运动方向与设定方向相同时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为运动参数，且所述运动参数为所述传动单元的振动幅值，在确定所述传动单元的振动幅值处于设定的振动幅值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为真空值参数，且所述真空值参数为所述吸附单元提供的真空值，在确定所述真空值处于设定的真空值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为电参数，且所述电参数为所述传动单元的电压值，在确定所述传动单元的电压值处于设定的电压值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为电参数，且所述电参数为所述电阻测量单元测量的晶圆的测量电阻值，在确定所述晶圆的测量电阻值与所述晶圆的实际电阻值间的误差值处于预设电阻误差值范围内时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果运行参数的类型为测量点位参数，且所述测量点位参数为测量点的个数，在确定所述测量点的个数与设定点数不一致时，输出一次状态异常结果，否则，输出一次状态正常结果；

如果运行参数的类型为测量点位参数，且所述测量点位参数为测量点的测量顺序，在确定所述测量点的测量顺序与设定测量顺序不一致时，输出一次状态异常结果，否则，输出一次状态正常结果。

5.根据权利要求4所述的状态监控系统，其特征在于，所述运行参数还包括位姿参数；

所述参数检测单元还包括：

第一图像采集单元，适于采集所述吸附单元与所述承载单元间的相对位姿，并输出相对位姿对应的第一位姿采集信号至所述状态判定模块；

和/或

第二图像采集单元，适于采集所述承载单元与所述电阻测量单元间的相对位姿，并输出相对位姿对应的第二位姿采集信号至所述状态判定模块；

所述状态判定模块，还适于：

如果接收到第一位姿采集信号，且确定所述吸附单元与所述承载单元间的相对位姿与设定的第一位姿信息一致时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果；

和/或

如果接收到第二位姿采集信号，且确定所述承载单元与所述电阻测量单元间的相对位姿与设定的第二位姿信息一致时，输出一次状态正常结果，否则，输出一次状态异常结果。

6.根据权利要求2所述的状态监控系统，其特征在于，所述状态确认模块，适于基于所述状态正常结果的次数以及状态异常结果的次数，确定电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果，包括：

确定所述状态正常结果的次数和所述状态异常结果的次数的总次数；

确定所述状态异常结果次数与所述总次数的比值，并在确定所述比值大于预设比值时，输出状态异常的监测结果；否则，输出状态正常的监测结果。

7.根据权利要求2所述的状态监控系统，其特征在于，所述状态确认模块，适于基于所述状态正常结果的次数以及状态异常结果的次数，确定电阻测量系统的运行状态，输出与所述运行状态对应的监测结果，包括：

对于任一类型的运行参数，根据运行参数类型的状态异常结果的次数与运行参数对应的权重，确定运行参数在状态异常结果对应的判定值；

根据各类型的运行参数在状态异常结果对应的判定值，确定电阻测量系统在状态异常结果对应的判定值；

如果电阻测量系统在状态异常结果对应的判定值大于预设判定值时，输出一次状态异常结果，否则输出一次状态正常结果。

8.根据权利要求2所述的状态监控系统，其特征在于，所述状态确认模块，还适于基于各运行参数的优先级，在确定所述电阻测量系统在相应运行参数下发生异常时，输出对应的监测结果。

9.根据权利要求1至8任一项所述的状态监控系统，其特征在于，还包括：

配置单元，适于基于配置数据，配置所检测的运行参数的类型，以及配置所述设定参数的值。

10.根据权利要求1至8任一项所述的状态监控系统，其特征在于，还包括：

控制单元，适于在所述电阻测量系统处于异常运行状态时，输出电源控制信号，以断开所述电阻测量系统的供电。