CN221238325U - 一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，涉及晶圆检测技术领域，其包括底板、设于底板一端的底座、设于底板另一端的传感器固定板、设于底座上的电机、设于电机上的晶圆固定盘、设于晶圆固定盘上的晶圆、以及设于传感器固定板上并用于检测晶圆边缘数据的传感器。本实用新型用于半导体制造工艺设备晶圆边缘检测传感器的性能检测，尤其适用于测试不同型号光电传感器性能，并兼容多种尺寸的晶圆，可以离线测试晶圆边缘检测传感器性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种用于晶圆边缘检测传感器性能离线测试的装置。
背景技术
晶圆的定位与识别是晶圆搬运及整个IC制造过程中的重要环节，晶圆的定位与识别都需要预对准装置(Pre-Aligner)的参考。晶圆预对准的目的是计算晶圆的偏心并找到其缺口，进而补偿其偏心并将缺口转至一定方向，为下一步晶圆的识别和处理做好准备。而这些用来计算的数据需要由传感器来采集，传感器的类型和性能等级将影响数据的精度，并进一步影响计算出的晶圆偏心和缺口位置数据精度。市场上能采购到的传感器种类多样、性能不一。在预对准设备研发选型过程中需要对不同传感器的数据采集能力进行试验、分析。
实用新型内容
本实用新型的目的是：提供一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，可在传感器集成到整机之前进行数据采集用来分析传感器的性能。
为了达到上述目的，本实用新型的技术方案提供了一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，包括底板、设于所述底板一端的底座、设于所述底板另一端的传感器固定板、设于所述底座上的电机、设于所述电机上的晶圆固定盘、设于所述晶圆固定盘上的晶圆、以及设于所述传感器固定板上并用于检测所述晶圆边缘数据的传感器。
优选的，还包括数据采集板卡，所述数据采集板卡与所述传感器电连接，所述数据采集板卡另通过电机驱控装置与所述电机电连接；所述电机带动所述晶圆转动，所述传感器采集所述晶圆边缘的数据，所述数据采集板卡在所述电机驱动发送的驱动脉冲的控制下受控采集所述传感器采集到的数据。
优选的，还包括光学平台，所述光学平台上表面均布有多个螺纹孔，所述底板通过螺钉固定于所述光学平台上。
优选的，所述电机通过螺钉固定在所述底座上。
优选的，所述晶圆固定盘通过螺钉固定在所述电机的转动轴上，可随所述电机的转动轴转动。
优选的，所述晶圆固定盘直径为180mm，可兼容固定8寸或12寸所述晶圆。
优选的，所述传感器固定板通过螺钉固定在所述底板上，所述传感器固定板上的固定孔为腰孔。
优选的，所述底板上设有多组用于连接所述传感器固定板的固定孔位。
优选的，所述传感器分为10mm量程的线性CCD上传感器和下传感器。
优选的，所述上传感器与所述下传感器间距为10mm。
综上所述，本实用新型包括以下有益技术效果：
本实用新型用于半导体制造工艺设备晶圆边缘检测传感器的性能检测，尤其适用于测试不同型号光电传感器性能，并兼容多种尺寸的晶圆，可以离线测试晶圆边缘检测传感器性能。
附图说明
图1为本实用新型一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置的结构示意图；
图2为本实用新型一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置中驱动脉冲的受控数据采集示意图；
图3为本实用新型一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置中采集到的数据示意图。
附图标记：1、光学平台；2、底板；3、底座；4、电机；5、晶圆固定盘；6、传感器固定板；7、晶圆；8、上传感器；9、下传感器；10、第一线缆；11、电机驱控装置；12、工控机；13、第二线缆；14、第三线缆；15、第四线缆；16、数据采集板卡；17、第五线缆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型实施例公开一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，其原理为电机4带动晶圆7转动，传感器采集晶圆7边缘的数据，数据采集板卡16在电机4驱动发送的驱动脉冲的控制下受控采集传感器采集到的数据。
该装置的主要整体结构见图1，该装置包括光学平台1、底板2、底座3、电机4、晶圆固定盘5、传感器固定板6、晶圆7、电机驱控装置11、工控机12、数据采集板卡16等。
光学平台1上表面均匀分布着螺纹孔，用于固定底板2，底板2通过螺钉固定在光学平台1上，电机4的底座3通过螺钉固定在底板2一侧；电机4通过螺钉固定在电机4底座3上，该电机4用于带动晶圆固定盘5转动，进而带动通过固定在晶圆固定盘5上的晶圆7转动。
晶圆固定盘5通过螺钉固定在电机4的转动轴上，可随电机4的转动轴转动，该晶圆固定盘5直径设计为180mm，可以兼容固定8寸或12寸的晶圆7。
传感器固定板6通过螺钉固定在底板2上，该传感器固定板6用来固定传感器，传感器固定板6上的传感器固定孔设计为腰孔、可以根据需要调整传感器固定的位置。
底板2上可设有多组配合传感器固定板6使用的固定孔位，用来兼容8寸和12寸的晶圆7的测试。
本实用新型的实施方案(步骤)是：
1.将10mm量程的线性CCD上传感器8、下传感器9固定在传感器固定板6上，上传感器8、下传感器9间距设置为10mm；
2.将传感器固定板6固定在底板2对应于12寸晶圆7的固定点位上；
3.将12寸晶圆7放置在晶圆固定盘5上，使12寸晶圆7放置与晶圆固定盘5同心，误差在1mm以内；
4.使用工控机12控制电机4转动带动晶圆7转动，上传感器8、下传感器9采集传感器采集晶圆7边缘的数据，同时数据采集板卡16在电机驱控装置11发送的驱动脉冲的控制下受控采集传感器采集到的数据。驱动脉冲的受控数据采集示意如图2，采集到的数据如图3。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，其特征在于，包括底板(2)、设于所述底板(2)一端的底座(3)、设于所述底板(2)另一端的传感器固定板(6)、设于所述底座(3)上的电机(4)、设于所述电机(4)上的晶圆固定盘(5)、设于所述晶圆固定盘(5)上的晶圆(7)、以及设于所述传感器固定板(6)上并用于检测所述晶圆(7)边缘数据的传感器。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，其特征在于，还包括数据采集板卡(16)，所述数据采集板卡(16)与所述传感器电连接，所述数据采集板卡(16)另通过电机驱控装置(11)与所述电机(4)电连接；所述电机(4)带动所述晶圆(7)转动，所述传感器采集所述晶圆(7)边缘的数据，所述数据采集板卡(16)在所述电机(4)驱动发送的驱动脉冲的控制下受控采集所述传感器采集到的数据。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，其特征在于，还包括光学平台(1)，所述光学平台(1)上表面均布有多个螺纹孔，所述底板(2)通过螺钉固定于所述光学平台(1)上。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，其特征在于，所述电机(4)通过螺钉固定在所述底座(3)上。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，其特征在于，所述晶圆固定盘(5)通过螺钉固定在所述电机(4)的转动轴上，可随所述电机(4)的转动轴转动。
6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，其特征在于，所述晶圆固定盘(5)直径为180mm，可兼容固定8寸或12寸所述晶圆(7)。
7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，其特征在于，所述传感器固定板(6)通过螺钉固定在所述底板(2)上，所述传感器固定板(6)上的固定孔为腰孔。
8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，其特征在于，所述底板(2)上设有多组用于连接所述传感器固定板(6)的固定孔位。
9.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，其特征在于，所述传感器分为10mm量程的线性CCD上传感器(8)和下传感器(9)。
10.根据权利要求9所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，其特征在于，所述上传感器(8)与所述下传感器(9)间距为10mm。
Priority Applications (1)
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| CN202322896677.5U CN221238325U (zh) | 2023-10-26 | 2023-10-26 | 一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置 |
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| CN202322896677.5U Active CN221238325U (zh) | 2023-10-26 | 2023-10-26 | 一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置 |
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- 2023-10-26 CN CN202322896677.5U patent/CN221238325U/zh active Active
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