JP4836640B2 - プローバ - Google Patents
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Description
以上のように構成された検査装置は、次のように動作する。
以上のように、本実施形態の検査装置によれば、次のような効果を奏する。
前記実施形態では、移動機構14を、テーパ部27と楔状摺動板28とで内側支持部13を上下させる構成にしたが、本発明の移動機構はこれに限定されるものではなく、種々の機構を用いることができる。例えば、図10及び図11に示すように、ネジを利用してもよい。この移動機構41は、周縁支持部42を支持した状態で円筒状又はリング状に形成されてその内周面にネジ溝43Aが設けられた昇降ネジ43と、内側支持部44の外周面に設けられて前記昇降ネジ43のネジ溝43Aに螺合するネジ山44Aと、前記昇降ネジ43及び内側支持部44を互いに相対的に回転させる回転手段45とを備えて構成されている。
Claims (7)
- 周縁部が肉厚に形成されると共に内側部が肉薄に形成された検査対象板をチャック上に載置して支持し、当該検査対象板に接触子を接触させて検査を行うプローバであって、
前記チャックが、前記検査対象板の周縁部に当接して当該検査対象板の周縁部を支持する周縁支持部と、当該周縁支持部に対して段差を設けて前記検査対象板の内側部に当接し当該検査対象板の内側部を支持する内側支持部とを備えて構成されたことを特徴とするプローバ。 - 請求項1に記載のプローバにおいて、
前記周縁支持部が円筒状に形成されると共に、前記内側支持部が前記周縁支持部内にスライド可能に収納されて、これら内側支持部と周縁支持部との間に段差を設けたことを特徴とするプローバ。 - 請求項2に記載のプローバにおいて、
前記内側支持部と周縁支持部との間に、これらを相対的にずらして任意の高さの段差を作る移動機構を備えたことを特徴とするプローバ。 - 請求項3に記載のプローバにおいて、
前記移動機構が、円筒状の前記周縁支持部内にスライド可能に収納された内側支持部の下側面に設けられたテーパ部と、楔状に形成されて前記テーパ部に食い込む量を調整することで前記内側支持部と周縁支持部との間の段差を調整する楔状摺動板とを備えて構成されたことを特徴とするプローバ。 - 請求項3に記載のプローバにおいて、
前記移動機構が、
前記周縁支持部を支持した状態で円筒状又はリング状に形成されてその内周面にネジ溝が設けられた昇降ネジと、
前記内側支持部の外周面に設けられて前記昇降ネジのネジ溝に螺合するネジ山と、
前記昇降ネジ及び内側支持部を互いに相対的に回転させる回転手段とを備えて構成されたことを特徴とするプローバ。 - 請求項5に記載のプローバにおいて、
前記昇降ネジが、前記周縁支持部に一体的に組み込まれたことを特徴とするプローバ。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のプローバにおいて、
前記チャックの周縁部に、前記検査対象板の周縁部を吸着する吸着溝を設けたことを特徴とするプローバ。
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