WO2003007316A2 - Verfahren zur herstellung von nanokristallinen magnetkernen sowie vorrichtung zur durchführung des verfahrens - Google Patents

Verfahren zur herstellung von nanokristallinen magnetkernen sowie vorrichtung zur durchführung des verfahrens Download PDF

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WO2003007316A2
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high thermal
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Jörg PETZOLD
Volker Kleespies
Hans-Rainier Hilzinger
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Vaccumschmelze Gmbh & Co. Kg
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Definitions

  • the invention relates to a method for producing nanocrystalline magnetic cores and devices for carrying out such a method.
  • Nanocrystalline soft magnetic iron-based alloys have been known for a long time and have been described, for example, in EP 0 271 657 B1.
  • the soft magnetic iron-based alloys described there generally have a composition with the formula:
  • M is cobalt and / or nickel
  • the indices a, x, y, z and ⁇ each have the condition 0 ⁇ a ⁇ 0.5; 0.1 ⁇ x ⁇ 3.0; 0 ⁇ y ⁇ 30.0; 0 ⁇ z ⁇ 25.0; 5 ⁇ y + z ⁇ 30.0 and 0.1 ⁇ ⁇ 30.
  • the soft magnetic iron-based alloy can also have a composition with the general formula
  • M is cobalt and / or nickel
  • M v is at least one of the elements niobium, tungsten, tantalum, zirconium, hafnium, titanium and molybdenum
  • M vx is at least one of the elements vanadium, chromium, manganese, aluminum, an element of the platinum group , Scandium, yttrium, a rare earth, gold, zinc, tin and / or rhenium
  • X is at least one of the elements carbon, germanium, phosphorus, gallium, antimony, indium, beryllium and arsenic and where a, x, y, z, ⁇ , ß and ⁇ each the condition 0 ⁇ a ⁇ 0.5, 0.1 ⁇ x ⁇ 3.0, 0 ⁇ y ⁇ 30.0, 0 ⁇ z ⁇ 25.0, 5 ⁇ y + z ⁇ 30.0, 0.1 ⁇ ⁇ 30.0, ⁇ ⁇ 10.0 and ⁇ ⁇
  • the nanocrystalline alloys in question can be produced inexpensively, for example, using what is known as rapid solidification technology (for example using melt spinning or planar flow casting).
  • An alloy melt is first provided, in which an initially amorphous alloy is then produced by rapid quenching from the melt state.
  • the cooling rates required for the alloy systems in question are about 10 6 K / sec. This is achieved with the help of the melt spin process, in which the melt is sprayed through a narrow nozzle onto a rapidly rotating chill roll and solidifies into a thin band.
  • This process enables the continuous production of thin tapes and foils in a single operation directly from the melt at a speed of 10 to 50 m / sec, whereby tape thicknesses of 20 to 50 ⁇ m and tape widths of up to a few cm are possible.
  • the initially amorphous tape produced using this rapid solidification technology is then wound into magnetically variable magnetic cores, which can be oval, rectangular or round.
  • the central step in achieving good soft magnetic properties is the "nanocrystallization" of the alloy strips, which were still amorphous until then. From a soft magnetic point of view, these alloy strips still have poor properties because they have a relatively high magnetostriction
  • a crystallization heat treatment tailored to the alloy is carried out, an ultrafine structure is created, ie an alloy structure is formed in which at least 50% of the alloy structure is occupied by body-centered FeSi crystallites. This Crystallites are embedded in an amorphous residual phase made of metals and metalloids.
  • the amorphous strips are first wound on ring winding cores with as little tension as possible on special winding machines.
  • the amorphous band is first wound into a round ring band core and - if necessary - brought into a shape deviating from the round shape by means of suitable shaping tools.
  • suitable winding bodies shapes that deviate from the round shape can also be achieved directly when winding the amorphous tapes into toroidal tape cores.
  • the tension-free wound ring band cores are subjected to crystallization heat treatment in so-called retort furnaces, which is used to achieve the nanocrystalline structure.
  • the toroidal cores are stacked one above the other and inserted in such an oven. It has been shown that a decisive disadvantage of this method is that weak magnetic stray fields, such as. B. the magnetic earth field is induced a position dependence of the magnetic values in the magnetic core stack.
  • the magnetic values in the area of the stack center are characterized by more or less pronounced flat hysteresis loops with low values with regard to permeability and remanence.
  • FIG. 1 a shows the scatter of the permeability at a frequency of 50 hearts as a function of the running core number within a glow stack.
  • FIG. 1b shows the dependence of the remanence ratio B r / B m as a function of the sequential core number within a glow stack.
  • the distribution curve for the magnetic values of a production line for annealing products is wide and continuous. The distribution curve drops monotonically towards high values. The exact specific course depends on the alloy, the magnetic core geometry and of course the stack height.
  • T a 450 ° C. to 620 ° C.
  • the present invention is based on the discovery that the magnetostatic parabolas shown in FIGS. 1 a and 1 b in the stack annealing of toroidal cores in retort furnaces are magnetostatic in nature and are due to the location-dependent demagnetization factor of a cylinder. Furthermore, it has been found that the exothermic heat of the crystallization process, which increases with the core weight, can only be released incompletely to the surroundings of the glow stack and can therefore lead to a significant deterioration in the permeability values. It is noted that nanocrystallization is of course an exothermic physical process. This phenomenon has already been described in JP 03 146 615 A2.
  • the object of the present invention is therefore to provide a new method for producing toroidal tape cores, in which the aforementioned problem of parabolic scattering and other, in particular exothermic, deteriorations in magnetic characteristics can be avoided, and which works particularly economically.
  • this object is achieved by a process for the production of toroidal tape cores of the type mentioned at the outset, in which the completely wound amorphous toroidal tape cores are heat-treated in a continuous manner to form nanocrystalline toroidal tape cores.
  • the heat treatment of the unstacked amorphous toroidal cores is preferably carried out on heat sinks which have a high heat capacity and a high thermal conductivity, which is also already known from JP 03 146 615 A2.
  • a metal or a metallic alloy is particularly suitable as the material for the heat sinks.
  • the metals copper, silver and heat-conductive steel in particular have proven to be particularly suitable.
  • the amorphous toroidal cores to be treated are introduced into a mold bed made of ceramic powder or metal powder, preferably copper powder.
  • Ceramic powder or metal powder preferably copper powder.
  • Magnesium oxide, aluminum oxide and aluminum nitride have proven to be particularly suitable as ceramic materials, both for a solid ceramic plate or for a ceramic powder bed.
  • the heat treatment for crystallization is carried out in a temperature interval of approx. 450 ° C to approx. 620 ° C, whereby the heat treatment runs through a temperature window of 450 ° C to 500 ° C and thereby with a heating rate of 0.1 K / min to approx 20 K / min is run through.
  • the invention is preferably carried out with a furnace, the furnace having a furnace housing which has at least one annealing zone and a heating source, means for supplying the annealing zone with unstacked amorphous magnetic cores, means for conveying the unstacked amorphous magnetic cores through the annealing zone and means for Removal of the unstacked heat-treated nanocrystalline magnetic cores from the annealing zone.
  • a protective gas is preferably applied to the annealing zone of such a furnace.
  • the furnace housing has the shape of a tower furnace in which the annealing zone runs vertically.
  • the means for conveying the unstacked amorphous magnetic cores through the vertically running annealing zone are preferably a vertically running conveyor belt.
  • the vertically running conveyor belt has supports perpendicular to the conveyor belt surface made of a material with a high heat capacity, ie either from the metals described above or the ceramics described at the outset, which have a high heat capacity and high thermal conductivity. ability.
  • the toroidal cores lie on the supports.
  • the vertically extending annealing zone is preferably divided into several separate heating zones, which are provided with separate heating controls.
  • the furnace has the shape of a tower furnace in which the annealing zone runs horizontally.
  • the horizontally running annealing zone is in turn divided into several separate heating zones, which are provided with separate heating controls.
  • At least one, but preferably a plurality of support plates rotating about the tower furnace axis is then provided as the means for conveying the unstacked amorphous toroidal cores through the horizontally extending annealing zone.
  • the support plates in turn consist entirely or partially of a material with high thermal capacity and high thermal conductivity on which the magnetic cores rest.
  • metallic plates that come from the metals mentioned at the outset, ie. H. i.e. copper, silver or heat-conductive steel.
  • the furnace has a furnace housing which has the shape of a horizontal continuous furnace, in which the annealing zone in turn runs horizontally.
  • This embodiment is particularly preferred because such an oven is relatively easy to manufacture.
  • a conveyor belt is provided as a means of conveying the unstacked amorphous toroidal cores through the horizontally extending annealing zone, the conveyor belt preferably being provided with supports which consist of a material with high thermal capacity and high thermal conductivity, on which the toroidal cores rest.
  • supports consist of a material with high thermal capacity and high thermal conductivity, on which the toroidal cores rest.
  • the horizontally running annealing zone is again divided into several separate heating zones, which are provided with separate heating controls.
  • the magnetic cross-field treatment required for the production of flat hysteresis loops can also be generated directly and simultaneously in one pass.
  • at least a part of the flow channel enclosed by the furnace housing is guided between the two pole pieces of a magnetic yoke, so that the magnetic cores passing through are subjected to a homogeneous magnetic field in the axial direction, thereby forming a uniaxial anisotropy transverse to the direction of the wound band.
  • the field strength of the yoke must be so high that the magnetic cores are at least partially saturated in the axial direction during the heat treatment.
  • the hysteresis loops become flatter and linear, the greater the proportion of the length of the furnace channel over which the yoke is placed.
  • the separate heating zones have a first heating zone, a crystallization zone, a second heating zone and a maturing zone.
  • FIG. 2 shows the influence of the toroidal core weight on the permeability (50 Hz) of toroidal cores continuously annealed without a heat sink
  • FIG. 3 shows the influence of heat sinks of different thicknesses on the exothermic crystallization behavior of continuously annealed toroidal cores.
  • FIG. 4 shows the influence of different thicknesses of heat sinks on the maximum permeability of continuously annealed toroidal cores of different geometry and different toroidal core mass
  • FIG. 5 shows the influence of the toroidal core weight on the permeability (50 Hz) after continuous annealing on a 10 mm thick copper heat sink
  • FIG. 7 schematically, in cross section, a tower furnace according to the invention with a vertically running conveyor belt
  • FIG. 8 shows a multi-storey carousel oven according to the invention
  • Annealing processes are required in particular for the production of so-called round hysteresis loops, which allow the formation and maturation of an ultrafine nanocrystalline structure under field-free and thermally exact conditions as possible.
  • the annealing is normally carried out in so-called retort furnaces, in which the magnetic cores are inserted stacked one above the other.
  • the decisive disadvantage of this method is that weak stray fields such. B. the magnetic field of the earth or similar stray fields, a position dependence of the magnetic parameters in the magnetic core stack is induced. This can be called the antenna effect.
  • the distribution curve for the magnetic characteristics of a production batch runs broadly, steadily and drops monotonically towards high values.
  • the exact course depends on the soft magnetic alloy used, the magnetic core geometry and the stack height.
  • FIG. 2 shows the influence of the magnetic core weight on the magnetic values ( ⁇ io ⁇ Mmax) if the magnetic cores are heat-treated directly in the pass without a heat sink.
  • FIG. 3 shows the influence of differently thick copper heat sinks on the exothermic behavior in toroidal tape cores, which had dimensions of approximately 21 x 11.5 x 25 mm.
  • FIG. 4 shows the influence of the thickness of the heat sinks on the maximum permeability of toroidal cores of different geometries or magnetic core masses. While, according to FIG. 4, a 4 mm thick copper heat sink already leads to good magnetic characteristics for magnetic cores with a small core weight and / or a small magnetic core height, heavier or higher magnetic cores require thicker heat sinks with a higher heat capacity. It has emerged as an empirical rule of thumb that the plate thickness should be d> 0.4 x the core height h.
  • FIG. 6 shows the end faces of two toroidal cores measuring 50 x 40 x 25 mm 3 after continuous annealing without a heat sink (left core) and on a 10 mm thick copper heat sink (right core). With the right nucleus there were practically no faults on the front side.
  • FIG. 7 schematically shows a first embodiment of the present invention, a so-called tower furnace.
  • the tower furnace has a furnace housing in which the annealing zone runs vertically.
  • the unstacked amorphous magnetic cores are conveyed through a vertically running annealing zone by a vertically running conveyor belt.
  • the vertical conveyor belt has heat sinks made of a material with a high heat capacity, preferably copper, which are perpendicular to the conveyor belt surface.
  • the ring band cores lie with their end faces on the supports.
  • the vertical annealing zone is divided into several separate heaters, which are provided with separate heating controls.
  • FIG. Another embodiment of the present invention is illustrated in FIG. Again, the shape of the furnace is that of a tower furnace, but the annealing zone is horizontal.
  • the horizontally running annealing zone is in turn divided into several separate heating zones, which are provided with separate heating controls.
  • As means for conveying the unstacked amorphous toroidal cores through the horizontally extending annealing zone one, but preferably several, support plates rotating around the tower furnace axis are provided, which serve as heat sinks.
  • the support plates in turn consist entirely or partially of a material with high thermal capacity and high thermal conductivity, on which the magnetic cores rest with their end faces.
  • FIG. 9 shows a third particularly preferred alternative embodiment of the present invention, in which the furnace housing has the shape of a horizontal continuous furnace.
  • the annealing zone again runs horizontally.
  • This embodiment is particularly preferred because, in contrast to the two ovens mentioned above, such an oven can be produced with less effort.
  • the ring belt cores are conveyed through the horizontally extending annealing zone on a conveyor belt, the conveyor belt preferably being provided with supports which serve as heat sinks.
  • copper plates are particularly preferred.
  • the transport plates are taken as heat sinks that slide through the furnace housing on rollers.
  • the horizontally running annealing zone is in turn subdivided into several separate heating zones which are provided with separate heating controls.
  • the magnetic transverse field treatment required to produce a flat hysteresis loop can be carried out directly in the continuous process.
  • the device required for this is shown in FIG.
  • at least part of the passage of the furnace is guided between the pole pieces of a yoke, so that the magnetic cores which pass through are subjected to a homogeneous magnetic field in the axial direction, as a result of which a uniaxial anisotropy transverse to the direction of the wound strip is formed.
  • the field strength of the yoke must be so high that the magnetic cores are at least partially saturated in the axial direction during the heat treatment.
  • the hysteresis loops become flatter and linear, the greater the proportion of the length of the furnace channel over which the yoke is placed.
  • the permeability curve as a function of the field strength corresponded to that of round hysteresis loops.
  • a large-scale production route can be followed by first crystallizing all of the magnetic cores that occur in one pass. Depending on whether the required hysteresis loops should now be round, flat or rectangular, these magnetic cores are then either immediately finished, i. H. encased in a housing, annealed in a longitudinal magnetic field on a rectangular hysteresis loop or in a magnetic transverse field on a flat hysteresis loop and only then finished.
  • the cores can be manufactured much faster and in a much more economical way.

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Abstract

Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung vorgeschlagen, mit dem ein Fertigungsweg beschritten werden kann, in dem zunächst alle anfallenden Magnetkerne im Durchlauf kristallisiert werden. Je nach dem ob die geforderten Hystereschleifen nun rund, flach oder rechteckig sein sollen, werden diese Magnetkerne anschliessend entweder sofort endverarbeitet, d.h. in Gehäuse gefasst, in einem magnetischen Längsfeld auf eine rechteckige Hystereschleife oder in einem magnetischen Querfeld auf eine flache Hystereschleife umgetempert und erst dann Endverarbeitet.

Description

Beschreibung
Verfahren zur Herstellung von nanokristallinen Magnetkernen sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von nanokristallinen Magnetkernen sowie Vorrichtungen zur Durchführung eines solchen Verfahrens .
Nanokristalline weichmagnetische Eisen-Basis-Legierungen sind seit langer Zeit bekannt und wurden beispielsweise in der EP 0 271 657 Bl beschrieben. Die dort beschriebenen weichmagnetischen Eisen-Basis-Legierungen weisen generell eine Zusammensetzung mit der Formel:
(Feχ-a a)100_x_y_z_α CuxSiyBzM'α
auf, wobei M Kobalt und/oder Nickel ist, M> mindestens eines der Elemente Niob, Wolfram, Tantal, Zirkonium, Hafnium, Titan und Molybdän ist, die Indizes a, x, y, z und α jeweils die Bedingung 0 < a < 0,5; 0 , 1 < x < 3 , 0 ; 0 < y < 30,0; 0 < z < 25,0; 5 < y+z < 30,0 und 0,1 < α < 30 erfüllen.
Des Weiteren können die weichmagnetischen Eisen-Basis- Legierung auch eine Zusammensetzung mit der generellen Formel
(Fei-a Ma)100_x_y_z_α_ß_γ CuxSiyBzM» αM"ßXγ
aufweisen, wobei M Kobalt und/oder Nickel ist, Mv mindestens eines der Elemente Niob, Wolfram, Tantal, Zirkonium, Hafnium, Titan und Molybdän ist, Mv x mindestens eines der Elemente Vanadium, Chrom, Mangan, Aluminium, ein Element der Platingruppe, Skandium, Yttrium, eine Selten Erde, Gold, Zink, Zinn und/oder Rhenium und X mindestens eines der Elemente Kohlen- stoff, Germanium, Phosphor, Gallium, Antimon, Indium, Beryllium und Arsen ist und wobei a, x, y, z, α, ß und γ jeweils die Bedingung 0 ≤ a < 0,5, 0,1 < x < 3,0, 0 < y < 30,0, 0 < z < 25,0, 5 < y + z < 30,0, 0,1 < α < 30,0, ß < 10,0 und γ < 10,0 erfüllen.
In beiden Legierungssystemen sind mindestens 50% der Legie- rungsstruktur von feinkristallinen Teilchen mit einer mittleren Teilchengröße von 100 nm oder weniger eingenommen. Diese weichmagnetischen nanokristallinen Legierungen werden in zunehmendem Umfang als Magnetkerne in Induktivitäten für verschiedenste elektrotechnische Anwendungen eingesetzt. Bei- spielsweise sind Summenstromwandler für wechselstromsensitive und auch pulsstromsensitive Fehlerstromschutzschalter, Drosseln und Transformatoren für geschaltete Netzteile, stromkompensierte Drosseln, Glättungsdrosseln oder Transduktoren aus Bandkernen, die aus Bändern aus den oben beschriebenen na- nokristallinen Bändern hergestellt worden sind, bekannt. Dies -geht beispielsweise aus der EP 0 299 498 Bl hervor. Des Weiteren ist der Einsatz solcher Ringbandkerne auch für Filtersätze, in der Telekommunikation bekannt, beispielsweise als Schnittstellenübertrager bei ISDN- oder auch DSL-Anwendungen.
Die in Rede stehenden nanokristallinen Legierungen können beispielsweise kostengünstig mittels der sogenannten Rascher- starrungstechnologie (beispielsweise mittels melt-spinning oder planar-flow-casting) hergestellt werden. Dabei wird zu- erst eine Legierungsschmelze bereitgestellt, bei der anschließend durch rasches Abschrecken aus dem Schmelzzustand eine zunächst amorphe Legierung hergestellt wird. Die für die oben in Rede stehenden Legierungssysteme erforderlichen Abkühlgeschwindigkeiten betragen dabei etwa 106 K/sec. Dies wird mit Hilfe des Schmelzspin-Verfahrens erreicht, bei welchem die Schmelze durch eine enge Düse auf eine schnell rotierende Kühlwalze gespritzt wird und dabei zu einem dünnen Band erstarrt. Dieses Verfahren ermöglicht die kontinuierliche Herstellung von dünnen Bändern und Folien in einem einzi- gen Arbeitsgang direkt aus der Schmelze mit einer Geschwindigkeit von 10 bis 50 m/sec, wobei Banddicken von 20 bis 50 μm und Bandbreiten bis ca. einigen cm möglich sind. Das mittels dieser Rascherstarrungstechnologie hergestellte zunächst amorphe Band wird dann zu geometrisch weiträumig variierbaren Magnetkernen gewickelt, wobei diese oval, recht- eckig oder rund sein können. Der zentrale Schritt zum erreichen guter weichmagnetischer Eigenschaften ist die "Na- nokristallisation" der bis dahin noch amorphen Legierungsbänder. Diese Legierungsbänder weisen aus weichmagnetischer Sicht noch schlechte Eigenschaften auf, da sie eine relativ hohe Magnetostriktion |λg| von ca. 25 x 10"6 aufweisen. Bei der Durchführung einer auf die Legierung abgestimmten Kristallisationswärmebehandlung entsteht dann ein ultrafeines Gefüge, d. h. es entsteht eine Legierungsstruktur, bei der mindestens 50% der Legierungsstruktur von kubisch raumzentrier- ten FeSi-Kristalliten eingenommen wird. Diese Kristallite sind in einer amorphen Restphase aus Metallen und Metalloiden eingebettet. Die festkörperphysikalischen Hintergründe für die Entstehung der feinkristallinen Struktur und die daher eingehende drastische Verbesserung der weichmagnetischen Ei- genschaften ist beispielsweise in G. Herzer, IEEE Transacti- ons on Magnetics, 25 (1989), Seiten 3327 ff. beschrieben. Danach entstehen gute weichmagnetische Eigenschaften wie eine hohe Permeabilität oder kleine Hystereseverluste durch Ausmittelung der Kristallanisotropie Ku des zufallsorientierten nanokristallinen "Gefüges" .
Nachdem aus der EP 0 271 657 Bl bzw. der 0 299 498 Bl bekannten Stand der Technik werden die amorphen Bänder zunächst auf speziellen Wickelmaschinen möglichst spannungsfrei zu Ring- bandkernen gewickelt. Dazu wird das amorphe Band zunächst zu einem runden Ringbandkern gewickelt und - falls erforderlich - mittels geeigneter Formgebungswerkzeuge in eine von der runden Form abweichenden Form gebracht . Durch die Verwendung geeigneter Wickelkörper lassen sich jedoch auch direkt beim Wickeln der amorphen Bänder zu Ringbandkernen Formen erreichen, die von der runden Form abweichen. Danach werden nach dem Stand der Technik die spannungsfrei gewickelten Ringbandkerne in sogenannten Retortenöfen einer Kristallisationswärmebehandlung unterworfen, die zur Erzielung des nanokristallinen Gefüges dient. Hierbei werden die Ringbandkerne übereinander gestapelt und in einem solchen O- fen eingefahren. Es hat sich gezeigt, daß ein entscheidender Nachteil dieses Verfahrens darin liegt, daß durch schwache magnetische Streufelder, wie z. B. dem magnetischen Erdfeld eine Positionsabhängigkeit der Magnetwerte im Magnetkernsta- pel induziert wird. Während an den Stapelrändern beispielsweise hohe Permeabilitätswerte mit einem intrinsisch bedingten hohen Remanenzverhältnis von mehr als 60% vorliegen, sind die Magnetwerte im Bereich der Stapelmitte durch mehr oder weniger ausgeprägte flache Hystereseschleifen mit niedrigen Werten bezüglich der Permeabilität und Remanenz gekennzeichnet .
Dies ist beispielsweise in der Figur 1 dargestellt. Figur la zeigt dabei die Streuung der Permeabilität bei einer Frequenz von 50 Herz in Abhängigkeit der laufenden Kernnummer innerhalb eines Glühstapels. Die Figur lb zeigt die Abhängigkeit des Remanenzverhältnisses Br/Bm in Abhängigkeit der laufenden Kernnummer innerhalb eines Glühstapels . Wie den Figuren la und lb zu entnehmen ist, verläuft die Verteilungskurve für die Magnetwerte eines Glühfertigungsloses breit und stetig. Die Verteilungskurve fällt zu hohen Werten hin monoton ab. Der genaue spezifische Verlauf hängt dabei von der Legierung, der Magnetkerngeometrie und natürlich der Stapelhöhe ab.
Bei den in Rede stehenden nanokristallinen Legierungssystemen erfolgt die Einstellung des nanokristallinen Gefüges typischerweise bei Temperaturen von Ta = 450°C bis 620°C, wobei die notwendigen Haltezeiten zwischen wenigen Minuten und ca. 12 Stunden liegen können. Insbesondere geht aus der US 5,911,840 hervor, daß bei nanokristallinen Magnetkernen mit einer runden B-H-Schleife eine Maximalpermeabilität von μmax = 760.000 dann erreicht wird, wenn ein stationäres Tempera- turplateau mit einer Dauer von 0,1 bis 10 Stunden unterhalb der für die Kristallisation erforderlichen Temperatur von 250°C bis 480°C zur Relaxation des Magnetkernes verwendet wird. Dies erhöht die Dauer der Wärmebehandlung und reduziert damit die Wirtschaftlichkeit.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Entdeckung zugrunde, daß die in den Figuren la und lb gezeigten magnetostatisch bedingten Parabelbildungen bei der Stapelglühung von Ringband- kernen in Retortenöfen magnetostatischer Natur sind und auf die Ortsabhängigkeit des Entmagnetisierungsfaktors eines Zylinders zurückzuführen sind. Weiterhin wurde -festgestellt, daß die mit dem Kerngewicht zunehmende exotherme Wärme des Kristallisationsprozesses nur unvollständig an die Umgebung des Glühstapels abgegeben werden kann und deshalb zu einer deutlichen Verschlechterung der Permeabilitätswerte führen kann. Es wird angemerkt, daß die Nanokristallisation selbstverständlich ein exothermer physikalischer Vorgang ist. Dieses Phänomen wurde bereits in der JP 03 146 615 A2 beschrie- ben. Die Folge dieser unzureichenden Abfuhr der Kristallisationswärme ist eine lokale Überhitzung der Ringbandkerne innerhalb des Stapels, die zu niedrigeren Permeabilitäten und zu höheren Remanenzen führen kann. Demnach sind die Permeabilitäten und die Remanenzen von Kernen im Zentrum des Glühsta- pels niedriger als die Permeabilitäten und Remanenzen von Ringbandkernen an den äußeren Enden des Glühstapels. Bisher hat man dieses Problem, soweit man es überhaupt erkannt hat, damit umschifft, daß man beispielsweise eben wie in der US 5,911,840, im Bereich der einsetzenden Nanokristallisation, d. h. also ab ca. 450°C, in unwirtschaftlicher Weise sehr langsam aufgeheizt hat. Typische Aufheizraten lagen dabei zwischen 0,1 und 0,2 K/min. , wodurch alleine das Durchfahren des Bereiches bis zur Temperatur von 490°C bis zu 7 Stunden betragen konnte. Diese Verfahrensweise war sehr unwirtschaft- lieh. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher ein neues Verfahren zur Herstellung von Ringbandkernen bereitzustellen, bei denen das eingangs erwähnte Problem der parabelartigen Streuung und sonstiger insbesondere exothermiebedingter Ver- schlechterungen von Magnetkennwerten vermieden werden kann, und das besonders wirtschaftlich arbeitet .
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch ein Verfahren zur Herstellung von Ringbandkernen der eingangs genannten Art ge- löst, bei dem die fertig gewickelten amorphen Ringbandkerne ungestapelt im Durchlauf zu nanokristallinen Ringbandkernen wärmebehandelt werden.
Durch die Vereinzelung der Ringbandkerne wird eine identische magnetostatische Bedingung für jeden einzelnen Ringbandkern herbeigeführt. Die Folge dieser für jeden einzelnen Ringbandkern identischen magnetostatischen Kristallisationsbedingung ergibt die Beseitigung des in den Figuren la und lb gezeigten "Parabeleffektes" und damit eine Beschränkung der Streuungen auf legierungsspezifische, geometrische und/oder thermische Ursachen.
Vorzugsweise wird die Wärmebehandlung der ungestapelten amorphen Ringbandkerne auf Wärmesenken durchgeführt, die eine ho- he Wärmekapazität und eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweisen, was ebenfalls schon aus der JP 03 146 615 A2 bekannt ist. Dabei kommen als Material für die Wärmesenken insbesondere ein Metall oder eine metallische Legierung in Betracht. Insbesondere die Metalle Kupfer, Silber sowie wärmeleitfähiger Stahl haben sich als besonders geeignet erwiesen.
Es ist jedoch auch möglich die Wärmebehandlung auf einer Wärmesenke aus Keramik durchzuführen. Des Weiteren ist auch eine Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung denkbar, bei dem die Wärme zu behandelnden amorphen Ringbandkerne in ein Formbett aus Keramikpulver oder Metallpulver, vorzugsweise Kupferpulver eingebracht sind. Als Keramikmaterialien, sowohl für eine massive Keramikplatte bzw. für ein Keramikpulverbett, haben sich insbesondere Magnesiumoxid, Aluminiumoxid und Aluminiumnitrid als besonders geeignet erwiesen.
Die Wärmebehandlung zur Kristallisation wird in einem Temperaturintervall von ca. 450°C bis ca. 620°C vorgenommen, wobei die Wärmebehandlung ein Temperaturfenster von 450°C bis 500°C durchläuft und dabei mit einer Aufheizrate von 0,1 K/min bis ca. 20 K/min durchlaufen wird.
Die Erfindung wird vorzugsweise mit einem Ofen durchgeführt, wobei der Ofen ein Ofengehäuse, das zumindest eine Glühzone und eine Heizquelle aufweist, Mittel zur Beschickung der Glühzone mit ungestapelten amorphen Magnetkernen aufweist, Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch.die Glühzone aufweist und Mittel zur Entnahme der ungestapelten wärmebehandelten nanokristallinen Magnetkerne aus der Glühzone aufweist.
Vorzugsweise wird die Glühzone eines solchen Ofens mit einem Schutzgas beaufschlagt.
In einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist dabei das Ofengehäuse die Gestalt eines Turmofens auf, bei dem die Glühzone vertikal verläuft. Die Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch die vertikal verlaufende Glühzone sind dabei vorzugsweise ein verti- kal verlaufendes Förderband.
Das vertikal verlaufende Förderband weist dabei senkrecht zur Förderbandfläche stehende Auflagen aus einem Material mit hoher Wärmekapazität, d. h. also entweder aus den eingangs be- schriebenen Metallen oder den eingangs beschriebenen Keramiken auf, die eine hohe Wärmekapazität und hohe Wärmeleitfä- higkeit aufweisen. Die Ringbandkerne liegen dabei auf den Auflagen auf .
Die vertikal verlaufende Glühzone ist dabei vorzugsweise in mehrere separate Heizzonen unterteilt, die mit separaten Heizregelungen versehen sind.
In einer alternativen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ofens weist dieser die Gestalt eines Turmofens auf, bei dem die Glühzone horizontal verläuft. Dabei ist die horizontal verlaufende Glühzone wiederum in mehrere separate Heizzonen unterteilt, die mit separaten Heizregelungen versehen sind. Als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Ringbandkerne durch die horizontal verlaufende Glühzone ist dann zumindest eine, vorzugsweise aber mehrere, sich um die Turmofenachse drehende Auflageplatten vorgesehen.
Die Auflageplatten wiederum bestehen ganz oder teilweise aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleit- fähigkeit, auf den die Magnetkerne aufliegen. Hierbei kommen insbesondere metallische Platten in Betracht, die aus den eingangs erwähnten Metallen, d. h. also Kupfer, Silber oder wärmeleitfähiger Stahl, bestehen.
In einer dritten alternativen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ofens weist dieser ein Ofengehäuse auf, das die Gestalt eines horizontalen Durchlaufofens aufweist, bei dem die Glühzone wiederum horizontal verläuft. Diese Ausführungsform ist besonders bevorzugt, weil ein solcher Ofen relativ ein- fach herzustellen ist.
Dabei sind als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Ringbandkerne durch die horizontal verlaufende Glühzone ein Förderband vorgesehen, wobei das Förderband vorzugsweise wiederum mit Auflagen versehen ist, die aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit bestehen, auf denen die Ringbandkerne aufliegen. Hierbei kommen wiederum die eingangs diskutierten metallischen und/oder keramischen Materialien in Betracht.
Typischerweise ist auch hier wiederum die horizontal verlau- fende Glühzone in mehrere separate Heizzonen unterteilt, die mit separaten Heizregelungen versehen sind.
In einer Weiterentwicklung der vorliegenden Erfindung läßt sich die zur Erzeugung von flachen Hystereseschleifen erfor- derlicher magnetische Querfeldbehandlung ebenfalls direkt und gleichzeitig im Durchlauf erzeugen. Dazu wird zumindest ein Teil des vom Ofengehäuse umschlossenen Durchlaufkanals zwischen den beiden Polschuhen eines magnetischen Jochs geführt, so daß die durchlaufenden Magnetkerne in axialer Richtung mit einem homogenen Magnetfeld beaufschlagt werden, wodurch sich in ihnen eine uniaxiale Anisotropie quer zur Richtung des gewickelten Bandes ausbildet. Die Feldstärke des Joches muß dabei so hoch sein, daß die Magnetkerne während der Wärmebehandlung in axialer Richtung zumindest teilweise aufgesättigt sind.
Die Hystereseschleifen werden dabei umso flacher und linearer, je größer der Anteil der Länge des Ofenkanals ist, über den das Joch gelegt ist.
Bei allen drei alternativen Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Ofens weisen die separaten Heizzonen eine erste Aufheizzone, eine Kristallisationszone, eine zweite Aufheizzone und eine Reifungszone auf.
Die Erfindung ist im folgenden anhand der Zeichnung beispielsweise veranschaulicht. Dabei zeigen:
Figur 2 den Einfluß des Ringbandkerngewichts auf die Permea- bilität (50 Hz) von ohne Wärmesenke durchlaufgeglühten Ringbandkernen, Figur 3 den Einfluß von verschieden dicken Wärmesenken auf das exothermische Kristallisationsverhalten von durchlaufgeglühten Ringbandkernen,
Figur 4 den Einfluß von verschiedenen Dicken von Wärmesenken auf die Maximalpermeabilität von durchlaufgeglühten Ringbandkernen unterschiedlicher Geometrie und unterschiedlicher Ringbandkernmasse,
Figur 5 den Einfluß des Ringbandkerngewichts auf die Permeabilität (50 Hz) nach einer Durchlaufglühung auf einer 10 mm dicken Kupfer-Wärmesenke,
Figur 6 die Stirnflächen von zwei Vergleichsringbandkernen nach einer Durchlaufglühung ohne Wärmesenke und mit
Wärmesenke,
Figur.7 schematisch im Querschnitt einen erfindungsgemäßen Turmofen mit vertikal laufendem Förderband,
Figur 8 einen erfindungsgemäßen mehrstöckigen Karusellofen,
Figur 9 einen erfindungsgemäßen Durchlaufofen mit horizontal verlaufendem Förderband und
Figur 10 eine Querfeiderzeugung mittels eines Jochs über dem Ofenkanal .
Insbesondere zur Herstellung von sogenannten runden Hystere- seschleifen werden Glühverfahren benötigt, die die Entstehung und Reifung von einem ultrafeinen nanokristallinen Gefüge unter möglichst feldfreien und thermisch exakten Bedingungen erlaubt. Wie eingangs erwähnt, wird nach dem Stand der Technik normalerweise die Glühung in sogenannten Retortenöfen ausgeführt, in denen die Magnetkerne übereinander gestapelt eingefahren werden. Der entscheidende Nachteil dieses Verfahrens ist, daß durch schwache Streufelder wie z. B. dem magnetischen Feld der Erde oder ähnlichen Streufeldern eine Positionsabhängigkeit der magnetischen Kennwerte im Magnetkernstapel induziert wird. Dies kann man als Antenneneffekt bezeichnen. Während an den Stapelrändern tatsächlich runde Hystereseschleifen mit einer hohen Permeabilität und einem intrinsisch bedingten hohen Remanenzverhältnis von mehr als 60% vorliegen, liegen in der Stapelmitte jedoch mehr oder weniger ausgeprägte flache Hystereseschleifen mit niedrigeren Permeabilitäten und Remanenzverhältnissen vor. Dies wurde eingangs in den Figuren la und lb gezeigt .
Entsprechend verläuft die Verteilungskurve für die magneti- sehen Kennwerte eines Fertigungsloses breit, stetig und fällt zu hohen Werten hin monoton ab. Wie eingangs erwähnt hängt der genaue Verlauf von der jeweils verwendeten weichmagnetischen Legierung, der Magnetkerngeometrie und der Stapelhöhe ab.
Neben der magnetostatisch bedingten Parabelbildung besitzt die Stapelglühung in Retortenöfen den weiteren Nachteil, daß mit zunehmendem Magnetkerngewicht die exotherme Wärme des Kristallisationsprozesses nur unvollständig an die Umgebung abgegeben werden kann. Die Folge ist eine Überhitzung der gestapelten Magnetkerne, die zu niedrigeren Permeabilitäten und zu hohen Koerzitivfeidstärken führen kann. Zur Umgehung dieser Probleme muß im Bereich der einsetzenden Kristallisation, d. h. also ab ca. 450°C sehr langsam aufgeheizt werden, was unwirtschaftlich ist. Typische Aufheizraten liegen dort bei 0,1 bis 0,2 K/min, wodurch alleine das Durchfahren des Bereiches bis 490°C bis zu 7 Stunden betragen kann.
Die einzige wirtschaftlich realisierbare großtechnische Al- ternative zur Stapelglühung im Retortenofen liegt in einer Glühung gemäß der vorliegenden Erfindung im Durchlauf. Durch die Vereinzelung der Magnetkerne durch das Durchlaufverfahren werden identische magnetostatische Bedingungen für jeden einzelnen Magnetkern geschaffen. Die Folge ist die Beseitigung der oben beschriebenen Parabeleffekte, die die Streuungen auf legierungspezifische, kerntechnologische und thermische Ursa- chen.
Während die beiden ersten Faktoren gut kontrollierbar sind, kann die für Durchlaufglühungen typische schnelle Aufheizrate selbst bei vereinzelten Magnetkernen zu einer exothermen Wär- meentwicklung führen, die gemäß der Figur 2 eine mit dem Kerngewicht zunehmende Schädigung der Magneteigenschaften verursacht. Die Figur 2 zeigt den Einfluß des Magnetkerngewichts auf die Magnetwerte (μio ~ Mmax) wenn die Magnetkerne ohne eine Wärmesenke direkt im Durchlauf wärmebehandelt wer- den.
Da eine verzögerte Aufheizung zu einer unwirtschaftlichen Vervielfachung der Länge der Durchlaufstrecke führen würde, kann dieses Problem durch die Einführung wärmeabsorbierender Unterlagen (Wärmesenken) aus gut wärmeleitenden Metallen oder durch metallische oder keramische Pulverbetten gelöst werden. Als besonders geeignet haben sich Kupferplatten bewiesen, da diese eine hohe spezifische Wärmekapazität und eine sehr gute Wärmeleitfähigkeit besitzen. Dadurch kann den Magnetkernen die exotherm erzeugte Kristallisationswärme stirnseitig entzogen werden. Darüber hinaus reduzieren derartige Wärmesenken die Aufheizrate, wodurch die exotherme Übertemperatur weiter eingeschränkt werden kann. Dies wird durch die Figur 3 veranschaulicht. Die Figur 3 zeigt den Einfluß unterschiedlich di- cker Kupfer-Wärmesenken auf das Exothermieverhalten in Ringbandkernen, die Abmessung von ungefähr 21 x 11,5 x 25 mm aufwiesen.
Da die Rate des Temperaturausgleichs von der Temperaturdiffe- renz zwischen Magnetkern und Wärmesenke abhängt, ist deren Wärmekapazität über die Dicke an die Masse und Höhe des Magnetkerns anzupassen. Die Figur 4 zeigt den Einfluß der Dicke der Wärmesenken auf die Maximalpermeabilität von Ringbandkernen unterschiedlicher Geometrien bzw. Magnetkernmassen. Während nach der Figur 4 bei Magnetkernen mit kleinem Kerngewicht und/oder kleiner Magnetkernhöhe bereits eine 4 mm dicke Kupfer-Wärmesenke zu guten magnetischen Kennwerten führt, benötigen schwerere bzw. höhere Magnetkerne dickere Wärmesenken mit einer höheren Wärmekapazität. Es hat sich dabei als empirische Faustregel er- geben, daß die Plattendicke d > 0,4 x der Kernhöhe h sein sollte.
Wie aus der Figur 5 hervorgeht, lassen sich unter Berücksichtigung dieser Regel über einen weiten Gewichtsbereich hinweg hervorragende magnetische Kennwerte (μ ax (50 Hz) > 500.000; μi > 100.000) erzielen.
Das Absenken der magnetischen Eigenschaften bei Durchlaufglü- hungen ohne Wärmesenken ist meist mit lamellenförmigen Ver- werfungen und Knicken der Bandlagen verbunden, was aus der Figur 6 hervorgeht. Die Figur 6 zeigt die Stirnflächen von zwei Ringbandkernen der Abmessungen 50 x 40 x 25 mm3 nach einer Durchlaufglühung ohne Wärmesenke (linker Kern) und auf einer 10 mm starken Kupfer-Wärmesenke (rechter Kern) . Bei rechten Kern traten an der Stirnseite praktisch keine Verwerfungen mehr auf. Beim linken Magnetkern hingegen liegt die Maximalpermeabilität bei μmax = 127.000, wo hingegen sie beim rechten Magnetkern ungefähr 620.000 betrug.
Es hat sich gezeigt, daß nur dann, wenn mehr als ca. 85% der Stirnflächen eines Kerns verwerfungsfrei sind, auch gute magnetische Kennwerte erreicht werden können.
Die Figur 7 zeigt schematisch eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, einen sogenannten Turmofen. Der Turmofen weist dabei ein Ofengehäuse auf, bei dem die Glühzone vertikal verläuft . Die ungestapelten amorphen Magnetkerne werden dabei durch eine vertikal verlaufende Glühzone durch ein vertikal verlaufendes Förderband gefördert.
Das vertikal verlaufende Förderband weist dabei senkrecht zur Förderbandfläche stehende Wärmesenken aus einem Material mit hoher Wärmekapazität, vorzugsweise Kupfer, auf. Die Ringbandkerne liegen dabei mit ihren Stirnflächen auf den Auflagen auf. Die vertikal verlaufende Glühzone ist dabei in mehrere separate Heizungen unterteilt, die mit separaten Heizregelun- gen versehen sind.
In der Figur 8 ist eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht. Auch hier ist wiederum die Gestalt des Ofens die eines Turmofens, bei dem die Glühzone jedoch horizontal verläuft. Dabei ist die horizontal verlaufende Glühzone wiederum in mehrere separate Heizzonen unterteilt, die mit separaten Heizregelungen versehen sind. Als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Ringbandkerne durch die horizontal verlaufende Glühzone ist wiederum eine, vorzugsweise aber mehrere sich um die Turmofenachse drehende Auflagenplatten vorgesehen, die als Wärmesenken dienen.
Die Auflageplatten wiederum bestehen ganz oder teilweise aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit, auf dem die Magnetkerne mit ihren Stirnflächen aufliegen.
Die Figur 9 schließlich zeigt eine dritte besonders bevorzug- te alternative Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei der das Ofengehäuse die Gestalt eines horizontalen Durchlaufofens aufweist. Dabei verläuft die Glühzone wiederum horizontal. Diese Ausführungsform ist besonders bevorzugt, weil ein solcher Ofen im Gegensatz zu den beiden oben genannten Öfen mit weniger Aufwand herzustellen ist. Dabei werden die Ringbandkerne durch die horizontal verlaufende Glühzone über ein Förderband gefördert, wobei das Förderband vorzugsweise wiederum mit Auflagen versehen ist, die als Wärmesenken dienen. Besonders bevorzugt sind hier wieder- um Kupferplatten. In einer alternativen Ausgestaltung des Transportes werden Platten als Wärmesenken genommen, die auf Rollen durch das Ofengehäuse gleiten.
Wie aus der Figur 9 hervorgeht, ist die horizontal verlaufen- de Glühzone wiederum in mehrere separate Heizzonen unterteilt, die mit separaten Heizregelungen versehen sind.
Bei einer speziellen Ausführungsform des in Figur 9 gezeigten Durchlaufofens läßt sich die zur Erzeugung einer flachen Hystereseschleife erforderliche magnetische Querfeldbehandlung direkt im Durchlauf durchführen. Die dazu erforderliche Vorrichtung ist in der Figur 10 gezeigt. Hierzu wird zumindest ein Teil des Durchlaufkanals des Ofens zwischen den Polschuhen eines Jochs geführt, so daß die durchlaufenden Mag- netkerne in axialer Richtung mit einem homogenen Magnetfeld beaufschlagt werden, wodurch sich in ihnen eine uniaxiale A- nisotropie quer zur Richtung des gewickelten Bandes ausbildet. Die Feldstärke des Joches muß dabei so hoch sein, daß die Magnetkerne während der Wärmebehandlung in axialer Rich- tung zumindest teilweise aufgesättigt sind.
Die Hystereseschleifen werden dabei umso flacher und linearer, je größer der Anteil der Länge des Ofenkanals ist, über den das Joch gelegt ist.
Mit dieser Maßnahme wurden folgende Ergebnisse erzeilt
Bei einer Feldstärke von 0,3 T, die zwischen den Polschuhen des Joches, das entlang der gesamten Heizstrecke wirksam war, wurden Magnetkerne mit den Abmessungen 21mm x 11,5mm x 25 mm mit der Zusammensetzung Fet)aιCu1 osi15, 62 B 6 , 85 Nb 2, 98 erzeugt, die Permeabilitätswerte von ca.μ = 23.000 (f= 50 Hz) aufwiesen. Das Remanenzverhältnis wurde infolge der axialen Feldeinwirkung auf 5,6% reduziert.
Bei Belegung von nur der halben Heizstrecke blieb die uniaxiale Anisotropie schwächer und die Hystereseschleife wurde weniger flach.
Bei der Temperung ohne magnetisches Joch lag das Remanenzver- hältnis im Vergleich dazu um oder oberhalb von 50% und der
Permeabilitätsverlauf in Abhängigkeit von der Feldstärke entsprach dem von runden Hystereseschleifen.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und den Vorrichtungen lassen sich ein großtechnischer Fertigungsweg beschreiten, indem zunächst alle anfallenden Magnetkerne im Durchlauf kristallisiert werden. Je nach dem ob die geforderten Hyste- reschleifen nun rund, flach oder rechteckig sein sollen, werden diese Magnetkerne anschließend entweder sofort endverar- beitet, d. h. in Gehäuse gefaßt, in einem magnetischen Längs- feld auf eine rechteckige Hystereschleife oder in einem magnetischen Querfeld auf eine flache Hystereseschleife umgetempert und erst dann Endverarbeitet.
Im Gegensatz zu den herkömmlichen Verfahren lassen sich die Kerne wesentlich schneller und in einer wesentlich wirtschaftlicheren Art und Weise herstellen.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung von Magnetkernen bestehend aus einer weichmagnetischen Eisen-Basis-Legierung, wobei mindes- tens 50% der Legierungsstruktur von feinkristallinen Teilchen mit einer mittleren Teilchengröße von 100 nm oder weniger eingenommen wird, mit folgenden Schritten: a) Bereitstellen einer Legierungsschmelze; b) Herstellung eines amorphen Legierungsbandes aus der Legie- rungsschmelze mittels Rascherstarrungstechnologie; c) Wickeln des amorphen Bandes zu amorphen Magnetkernen; d) Wärmebehandlung der ungestapelten amorphen Magnetkerne im Durchlauf zu nanokristallinen Magnetkernen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmebehandlung der ungestapelten amorphen Magnetkerne auf Wärmesenken, die eine hohe Wärmekapazität und eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweisen, erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 2 , dadurch gekennzeichnet, daß als Material für die Wärmesenken ein Metall oder eine metallische Legierung oder ein Metallpulver vorgesehen ist.
4. Verfahren nach Anspruch 3 , dadurch gekennzeichnet, daß als Metall oder als Metallpulver Kupfer, Silber oder ein wärmeleitfähiger Stahl vorgesehen ist.
5. Verfahren nach Anspruch 2 , dadurch gekennzeichnet, daß als Material für die Wärmesenken eine Keramik vorgesehen ist.
6. Verfahren nach Anspruch 2 , dadurch gekennzeichnet, daß als Material für die Wärmesenken einen keramisches Pulver vorgesehen ist.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß als Keramik oder keramisches Pulver Magnesiumoxid, Aluminiumoxid oder Aluminiumnitrid vorgesehen ist.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmebehandlung in einem Temperaturintervall von ca. 450°C bis ca. 620°C vorgenommen wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8 , dadurch gekennzeichnet , daß bei der Wärmebehandlung ein Temperaturfenster von 450°C bis 500°C durchlaufen wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Temperaturfenster mit einer Aufheizrate von 0,1 K/Min bis ca. 20 K/Min durchlaufen wird.
11. Ofen zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 10 mit A) einem Ofengehäuse, das zumindest eine Glühzone und eine
Heizquelle aufweist; B) Mitteln zur Beschickung der Glühzone mit ungestapelten a- morphen Magnetkernen;
C) Mitteln zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch die Glühzone und
D) Mitteln zur Entnahme der ungestapelten wärmebehandelten nanokristallinen Magnetkerne aus der Glühzone.
12. Ofen nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß ferner vorgesehen sind
E) Mittel zur Beaufschlagung der Glühzone mit einem Schutz- gas .
13. Ofen nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet , daß das Ofengehäuse die Gestalt eines Turmofens aufweist, bei dem die Glühzone vertikal verläuft.
14. Ofen nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet , daß als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch die vertikal verlaufende Glühzone ein vertikal verlaufendes Förderband vorgesehen ist.
15. Ofen nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet , daß das vertikal verlaufende Förderband mit senkrecht zur Förderbandfläche stehenden Auflagen aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit versehen ist, auf denen die Magnetkerne aufliegen.
16. Ofen nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch die vertikal verlaufende Glühzone auf Rollen gelagerte Auflagen sind.
17. Ofen nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Auflagen aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit bestehen, auf denen die Magnet- kerne aufliegen.
18. Ofen nach einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch geke nzeichnet, daß die vertikal verlaufende Glühzone in mehrere separate Heizzonen unterteilt ist, die mit separaten Heizregelungen versehen sind.
19. Ofen nach Anspruch 11 oder 12, dadurch geke nzeichnet, daß das Ofengehäuse die Gestalt eines Turmofens aufweist, bei dem die Glühzone horizontal verläuft.
20 . Ofen nach Anspruch 19 , d a d u r c h g e k e n z e i c h n e t , daß die horizontal verlaufende Glühzone in mehrere separate Heizzonen unterteilt ist, die mit separaten Heizregelungen versehen sind.
21. Ofen nach einem der Ansprüche 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen
Magnetkerne durch die horizontal verlaufende Glühzone zumindest eine sich um die Turmofenachse drehende Auflageplatte vorgesehen ist.
22. Ofen nach Anspruch 19, dadurch ge ennzeichnet, daß die Auflageplatte ganz oder teilweise aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit besteht, auf denen die Magnetkerne aufliegen.
23. Ofen nach einem der Ansprüche 18 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere sich um die Turmofenachse drehende übereinander gestapelte Auflageplatten vorgesehen sind.
24. Ofen nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Ofengehäuse die Gestalt eines horizontalen Durchlauf- ofens aufweist, bei dem die Glühzone horizontal verläuft.
25. Ofen nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet , daß als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch die horizontal verlaufende Glühzone ein Förderband vorgesehen ist.
26. Ofen nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet , daß das Förderband mit Auflagen versehen ist, die aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit bestehen, auf denen die Magnetkerne aufliegen.
27. Ofen nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet , daß als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen
Magnetkerne durch die vertikal verlaufende Glühzone auf Rollen gelagerte Auflagen sind.
28. Ofen nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Auflagen aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit bestehen, auf denen die Magnetkerne aufliegen.
29. Ofen nach einem der Ansprüche 22 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß die horizontal verlaufende Glühzone in mehrere separate
Heizzonen unterteilt ist, die mit separaten Heizregelungen versehen sind.
30. Ofen nach Anspruch 14, 18 oder 24, dadurch gekennzeichnet, daß die separaten Heizzonen eine erste Aufheizzone, eine Kristallisationszone, eine zweite Aufheizzone und eine Rei- fungszone umfassen.
31. Ofen nach einem der Ansprüche 11 bis 30, dadurch gekennzeichnet, daß zur Einstellung der uniaxialen Anisotropie die Polschuhe eines magnetischen Joches zumindest teilweise über den vom Ofengehäuse umfassten Durchlaufkanal gelegt sind.
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