EP1407462B1 - Verfahren zur herstellung von nanokristallinen magnetkernen sowie vorrichtung zur durchführung des verfahrens - Google Patents
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- EP1407462B1 EP1407462B1 EP02745429.7A EP02745429A EP1407462B1 EP 1407462 B1 EP1407462 B1 EP 1407462B1 EP 02745429 A EP02745429 A EP 02745429A EP 1407462 B1 EP1407462 B1 EP 1407462B1
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- C21D2281/00—Making use of special physico-chemical means
Definitions
- the invention relates to a method for the production of nanocrystalline magnetic cores and to devices for carrying out such a method.
- Nanocrystalline soft magnetic iron-base alloys have been known for a long time and have been described, for example, in US Pat EP 0 271 657 B1 described.
- the magnetically soft iron-based alloys described therein generally have a composition with the formula: (Fe 1 -a M a ) 100-xyz- ⁇ Cu x Si y B z M ' ⁇ in which M is cobalt and / or nickel, M 'is at least one of the elements niobium, tungsten, tantalum, zirconium, hafnium, titanium and molybdenum, the indices a, x, y, z and ⁇ are each the condition 0 ⁇ a 0.5; 0.1 ⁇ x ⁇ 3.0; 0 ⁇ y ⁇ 30.0; 0 ⁇ z ⁇ 25.0; 5 ⁇ y + z ⁇ 30.0 and 0.1 ⁇ ⁇ ⁇ 30.
- the soft magnetic iron-base alloy may also have a composition having the general formula (Fe 1 -a M a ) 100-xyz- ⁇ - ⁇ - ⁇ Cu x Si y B z M ' ⁇ M " ⁇ X ⁇
- M is cobalt and / or nickel
- M ' is at least one of niobium, tungsten, tantalum, zirconium, hafnium, titanium and molybdenum
- X is at least one of the elements carbon, germanium, phosphorus, gallium, antimony, indium, beryllium and arsenic and where a, x, y, z, ⁇ , ⁇ and ⁇ respectively satisfy the condition 0 ⁇ a ⁇ 0.5, 0.1 ⁇
- the nanocrystalline alloys in question can, for example, be produced inexpensively by means of the so-called rapid solidification technology (for example by melt-spinning or planar-flow-casting).
- rapid solidification technology for example by melt-spinning or planar-flow-casting.
- an alloy melt is first provided in which subsequently by rapid quenching from the melt state, an initially amorphous alloy is produced.
- the cooling rates required for the above-mentioned alloying systems amount to about 10 6 K / sec. This is achieved with the aid of the melt spin method, in which the melt is injected through a narrow nozzle onto a rapidly rotating cooling roll and thereby solidified into a thin strip.
- This method allows the continuous production of thin strips and films in a single operation directly from the melt at a rate of 10 to 50 m / sec., With tape thicknesses of 20 to 50 ⁇ m and bandwidths to about a few cm are possible.
- the initially amorphous strip produced by means of this rapid solidification technology is then wound into geometrically widely variable magnetic cores, which can be oval, rectangular or round.
- the central step in achieving good soft magnetic properties is the "nanocrystallization" of the previously amorphous alloy ribbons. From a soft magnetic point of view, these alloy strips still have poor properties since they have a relatively high magnetostriction
- an ultrafine microstructure is created, ie an alloy structure is formed in which at least 50% of the alloy structure is occupied by cubic body-centered FeSi crystallites. These crystallites are embedded in an amorphous residual phase of metals and metalloids.
- the amorphous strips are first wound on special winding machines with as little stress as possible to form ring band cores.
- the amorphous tape is first wound into a round core ring core and - if necessary - brought by means of suitable shaping tools in a shape deviating from the round shape.
- suitable winding bodies it is also possible to achieve forms that deviate from the round shape directly when winding the amorphous ribbons into toroidal cores.
- the stress-free wound toroidal cores in so-called retort furnaces subjected to a crystallization heat treatment which serves to achieve the nanocrystalline microstructure.
- the toroidal cores are stacked and retracted in such an oven.
- weak magnetic stray fields such as B. the magnetic earth field, a position dependence of the magnet values in the magnetic core stack is induced. While high permeability values with an intrinsically caused high remanence ratio of more than 60% are present at the stack edges, for example, the magnet values in the middle of the stack are characterized by more or less pronounced flat hysteresis loops with low permeability and remanence values.
- FIG. 1a shows the scattering of the permeability at a frequency of 50 heart as a function of the current core number within an annealing stack.
- FIG. 1b shows the dependence of the remanence ratio B r / B m as a function of the current core number within an annealing stack.
- the distribution curve for the magnet values of a Glühfertigungs loses wide and steady. The distribution curve drops monotonically to high values. The exact specific course depends on the alloy, the magnetic core geometry and of course the stack height.
- T a 450 ° C to 620 ° C
- the necessary hold times can be between a few minutes and about 12 hours.
- the present invention is based on the discovery that in the FIGS. 1a and 1b shown magnetostatically induced parabolic formations in the stack annealing of toroidal cores in retort furnaces are magnetostatic nature and are due to the location dependence of the demagnetization factor of a cylinder. Furthermore, it has been found that the exothermic heat of the crystallization process, which increases with the core weight, can only be dissipated incompletely to the surroundings of the glow stack and can therefore lead to a marked deterioration of the permeability values. It is noted that nanocrystallization is, of course, an exothermic physical process. This phenomenon has already been in the JP 03 146 615 A2 described.
- the US 5,914,088 discloses a device for heat treating amorphous metallic cores in the pass.
- the DE 35 42 257 A1 discloses a continuous furnace for annealing ferromagnetic layers, comprising a magnet for generating a magnetic field and a heating coil for generating a temperature gradient. This continuous furnace is used to magnetize ferromagnetic layers and to reduce anisotropic field strength.
- the US 2,960,744 discloses a tunnel kiln for producing ferrites of ceramic materials, wherein the tunnel kiln may be divided into different zones having different temperatures and different atmospheres.
- this object is achieved by a method for the production of toroidal cores of the type mentioned, in which the finished wound amorphous toroidal cores are heat treated unstacked in the flow to nanocrystalline toroidal cores.
- FIGS. 1a and 1b shown "parabolic effect" and thus a limitation of the scattering on alloy-specific, geometric and / or thermal causes.
- the heat treatment of the unstacked amorphous toroidal cores is performed on heat sinks, which have a high heat capacity and a high thermal conductivity, which also already from the JP 03 146 615 A2 is known.
- a metal or a metallic alloy may be considered as the material for the heat sinks.
- the metals copper, silver and thermally conductive steel have proved to be particularly suitable.
- thermoforming amorphous toroidal cores are introduced into a mold bed of ceramic powder or metal powder, preferably copper powder.
- Ceramic materials both for a solid ceramic plate or for a ceramic powder bed, in particular magnesium oxide, aluminum oxide and aluminum nitride have been found to be particularly suitable.
- the heat treatment for crystallization is carried out in a temperature range of about 450 ° C to about 620 ° C, wherein the heat treatment passes through a temperature window of 450 ° C to 500 ° C and thereby with a heating rate of 0.1 K / min to approx 20 cycles per minute.
- the invention is preferably carried out with an oven, the oven having a furnace housing having at least one annealing zone and a heating source, means for charging the annealing zone with unstacked amorphous magnetic cores, means for conveying the unstacked amorphous magnetic cores through the annealing zone and means for removal the unstacked heat-treated nanocrystalline magnetic cores from the annealing zone.
- the annealing zone of such a furnace is subjected to a protective gas.
- the furnace housing in the form of a tower furnace, in which the annealing zone extends vertically.
- the means for conveying the unstacked amorphous magnetic cores through the vertically extending annealing zone are preferably a vertically extending conveyor belt.
- the vertically extending conveyor belt in this case has perpendicular to the conveyor belt stationary supports made of a material with high heat capacity, ie either from the metals described above or the ceramics described above, which have a high heat capacity and high thermal conductivity exhibit.
- the toroidal cores rest on the supports.
- the vertically extending annealing zone is preferably divided into several separate heating zones, which are provided with separate heating controls.
- this has the shape of a tower furnace, in which the annealing zone extends horizontally.
- the horizontally extending annealing zone is again divided into several separate heating zones, which are provided with separate heating controls.
- As a means for conveying the unstacked amorphous toroidal cores through the horizontally extending annealing zone at least one, but preferably a plurality, of support plates rotating about the turret axis is provided.
- the support plates in turn consist entirely or partially of a material with high heat capacity and high thermal conductivity, on which rest the magnetic cores.
- metallic plates come into consideration, which consist of the metals mentioned above, d. H. So copper, silver or thermally conductive steel exist.
- this has a furnace housing which has the shape of a horizontal continuous furnace, in which the annealing zone in turn extends horizontally.
- This embodiment is particularly preferred because such a furnace is relatively easy to manufacture.
- a conveyor belt is provided, wherein the conveyor belt is in turn provided with pads consisting of a material with high heat capacity and high thermal conductivity, on which rest the toroidal cores.
- pads consisting of a material with high heat capacity and high thermal conductivity, on which rest the toroidal cores.
- the horizontally extending annealing zone is divided into several separate heating zones, which are provided with separate heating controls.
- the transverse magnetic field treatment required for the generation of flat hysteresis loops can also be generated directly and simultaneously in the pass.
- at least a portion of the enclosed by the furnace housing flow channel between the two pole pieces of a magnetic yoke, so that the continuous magnetic cores are acted upon in the axial direction with a homogeneous magnetic field, thereby forming in them a uniaxial anisotropy transverse to the direction of the wound tape.
- the field strength of the yoke must be so high that the magnetic cores are at least partially saturated during the heat treatment in the axial direction.
- the hysteresis loops become all the flatter and more linear, the greater the proportion of the length of the furnace channel over which the yoke is laid.
- the separate heating zones have a first heating zone, a crystallization zone, a second heating zone and a maturing zone.
- annealing processes are needed, which allows the formation and maturation of an ultrafine nanocrystalline structure under as field-free and thermally exact conditions.
- the annealing is usually carried out in so-called retort furnaces, in which the magnetic cores are retracted stacked.
- the key disadvantage of this method is that weak by stray fields such.
- the distribution curve for the magnetic characteristics of a production lot is wide, continuous and decreases monotonically to high values.
- the exact course depends on the respectively used soft magnetic alloy, the magnetic core geometry and the stack height.
- the batch annealing in retort furnaces has the further disadvantage that with increasing magnetic core weight, the exothermic heat of the crystallization process can only be released incompletely to the environment. The result is overheating of the stacked magnetic cores, which can lead to lower permeabilities and to high coercivities. To circumvent these problems must be in the field of onset of crystallization, d. H. So from about 450 ° C to be heated very slowly, which is uneconomical. Typical heating rates are there at 0.1 to 0.2 K / min, which alone the passage through the range up to 490 ° C can be up to 7 hours.
- FIG. 2 shows the influence of the magnetic core weight on the magnet values ( ⁇ 10 ⁇ ⁇ max ) when the magnetic cores are heat-treated directly without a heat sink.
- FIG. 4 shows the influence of the thickness of the heat sinks on the maximum permeability of toroidal cores of different geometries or magnetic core masses. While after the FIG. 4 With magnetic cores with a low core weight and / or a small magnetic core height, a 4 mm thick copper heat sink already leads to good magnetic characteristics, heavier or higher magnetic cores require thicker heat sinks with a higher heat capacity. It has proved to be an empirical rule of thumb that the plate thickness should be d ⁇ 0.4 x the core height h.
- FIG. 6 shows the faces of two ring cores of dimensions 50 x 40 x 25 mm 3 after a continuous annealing without heat sink (left core) and on a 10 mm thick copper heat sink (right core).
- the right core virtually no further faults occurred on the front side.
- FIG. 7 schematically shows a first embodiment of the present invention, a so-called tower furnace.
- the tower furnace in this case has a furnace housing in which the annealing zone is vertical.
- the unstacked amorphous magnetic cores be promoted by a vertically extending annealing zone by a vertically extending conveyor belt.
- the vertically extending conveyor belt has perpendicular to the conveyor belt surface standing heat sinks made of a material with high heat capacity, preferably copper on.
- the toroidal cores lie with their faces on the pads.
- the vertically extending annealing zone is divided into several separate heaters, which are provided with separate heating controls.
- FIG. 8 another embodiment of the present invention is illustrated.
- the shape of the furnace is that of a tower furnace, in which the annealing zone, however, is horizontal.
- the horizontally extending annealing zone is again divided into several separate heating zones, which are provided with separate heating controls.
- As a means for transporting the unstacked amorphous toroidal cores through the horizontally extending annealing zone is again one, but preferably a plurality of rotating around the tower kiln axis bearing plates provided, which serve as heat sinks.
- the support plates in turn are wholly or partly made of a material with high heat capacity and high thermal conductivity, on which rest the magnetic cores with their faces.
- FIG. 3 shows a third particularly preferred alternative embodiment of the present invention, in which the furnace housing has the shape of a horizontal continuous furnace.
- the annealing zone again runs horizontally. This embodiment is particularly preferred because, unlike the two ovens mentioned above, such an oven can be manufactured with less effort.
- the annular band cores are conveyed through the horizontally extending annealing zone via a conveyor belt, wherein the conveyor belt is preferably again provided with pads that serve as heat sinks. Again, copper plates are particularly preferred here. In an alternative embodiment of the transport plates are taken as heat sinks, which slide on rollers through the oven housing.
- the horizontally extending annealing zone is again divided into several separate heating zones, which are provided with separate heating controls.
- the required for generating a flat hysteresis loop magnetic cross-field treatment can be carried out directly in the run.
- the device required for this is in the FIG. 10 shown.
- at least a part of the passage channel of the furnace between the pole pieces of a yoke is guided so that the continuous magnetic cores are acted upon in the axial direction with a homogeneous magnetic field, thereby forming in them a uniaxial anisotropy transverse to the direction of the wound strip.
- the field strength of the yoke must be so high that the magnetic cores are at least partially saturated during the heat treatment in the axial direction.
- the hysteresis loops become all the flatter and more linear, the greater the proportion of the length of the furnace channel over which the yoke is laid.
- a large-scale production path can be tread by first crystallizing all the resulting magnetic cores in the passage. Depending on whether the required hysteresis should be round, flat or rectangular, these magnetic cores are then either immediately end-processed, d. H. taken in housing, remixed in a longitudinal magnetic field on a rectangular Hystereschleife or in a magnetic transverse field on a flat hysteresis loop and only then finished.
- the cores can be produced much faster and in a much more economical manner.
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Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von nanokristallinen Magnetkernen sowie Vorrichtungen zur Durchführung eines solchen Verfahrens.
- Nanokristalline weichmagnetische Eisen-Basis-Legierungen sind seit langer Zeit bekannt und wurden beispielsweise in der
EP 0 271 657 B1 beschrieben. Die dort beschriebenen weichmagnetischen Eisen-Basis-Legierungen weisen generell eine Zusammensetzung mit der Formel:
(Fe1-a Ma)100-x-y-z-α CuxSiyBzM'α
auf, wobei M Kobalt und/oder Nickel ist, M' mindestens eines der Elemente Niob, Wolfram, Tantal, Zirkonium, Hafnium, Titan und Molybdän ist, die Indizes a, x, y, z und α jeweils die Bedingung 0 ≤ a ≤ 0,5; 0,1 ≤ x ≤ 3,0; 0 ≤ y ≤ 30,0; 0 ≤ z ≤ 25,0; 5 ≤ y+z ≤ 30,0 und 0,1 ≤ α ≤ 30 erfüllen. - Des Weiteren können die weichmagnetischen Eisen-Basis-Legierung auch eine Zusammensetzung mit der generellen Formel
(Fe1-a Ma)100-x-y-z-α-β-γ CuxSiyBzM'αM"βXγ
aufweisen, wobei M Kobalt und/oder Nickel ist, M' mindestens eines der Elemente Niob, Wolfram, Tantal, Zirkonium, Hafnium, Titan und Molybdän ist, M" mindestens eines der Elemente Vanadium, Chrom, Mangan, Aluminium, ein Element der Platingruppe, Skandium, Yttrium, eine Selten Erde, Gold, Zink, Zinn und/oder Rhenium und X mindestens eines der Elemente Kohlenstoff, Germanium, Phosphor, Gallium, Antimon, Indium, Beryllium und Arsen ist und wobei a, x, y, z, α, β und γ jeweils die Bedingung 0 ≤ a ≤ 0,5, 0,1 ≤ x ≤ 3,0, 0 ≤ y ≤ 30,0, 0 ≤ z ≤ 25,0, 5 ≤ y + z ≤ 30,0, 0,1 ≤ α ≤ 30,0, β ≤ 10,0 und γ ≤ 10,0 erfüllen. - In beiden Legierungssystemen sind mindestens 50% der Legierungsstruktur von feinkristallinen Teilchen mit einer mittleren Teilchengröße von 100 nm oder weniger eingenommen. Diese weichmagnetischen nanokristallinen Legierungen werden in zunehmendem Umfang als Magnetkerne in Induktivitäten für verschiedenste elektrotechnische Anwendungen eingesetzt. Beispielsweise sind Summenstromwandler für wechselstromsensitive und auch pulsstromsensitive Fehlerstromschutzschalter, Drosseln und Transformatoren für geschaltete Netzteile, stromkompensierte Drosseln, Glättungsdrosseln oder Transduktoren aus Bandkernen, die aus Bändern aus den oben beschriebenen nanokristallinen Bändern hergestellt worden sind, bekannt. Dies -geht beispielsweise aus der
EP 0 299 498 B1 hervor. Des Weiteren ist der Einsatz solcher Ringbandkerne auch für Filtersätze.in der Telekommunikation bekannt, beispielsweise als Schnittstellenübertrager bei ISDN- oder auch DSL-Anwendungen. - Die in Rede stehenden nanokristallinen Legierungen können beispielsweise kostengünstig mittels der sogenannten Rascherstarrungstechnologie (beispielsweise mittels melt-spinning oder planar-flow-casting) hergestellt werden. Dabei wird zuerst eine Legierungsschmelze bereitgestellt, bei der anschließend durch rasches Abschrecken aus dem Schmelzzustand eine zunächst amorphe Legierung hergestellt wird. Die für die oben in Rede stehenden Legierungssysteme erforderlichen Abkühlgeschwindigkeiten betragen dabei etwa 106 K/sec. Dies wird mit Hilfe des Schmelzspin-Verfahrens erreicht, bei welchem die Schmelze durch eine enge Düse auf eine schnell rotierende Kühlwalze gespritzt wird und dabei zu einem dünnen Band erstarrt. Dieses Verfahren ermöglicht die kontinuierliche Herstellung von dünnen Bändern und Folien in einem einzigen Arbeitsgang direkt aus der Schmelze mit einer Geschwindigkeit von 10 bis 50 m/sec., wobei Banddicken von 20 bis 50 µm und Bandbreiten bis ca. einigen cm möglich sind.
- Das mittels dieser Rascherstarrungstechnologie hergestellte zunächst amorphe Band wird dann zu geometrisch weiträumig variierbaren Magnetkernen gewickelt, wobei diese oval, rechteckig oder rund sein können. Der zentrale Schritt zum erreichen guter weichmagnetischer Eigenschaften ist die "Nanokristallisation" der bis dahin noch amorphen Legierungsbänder. Diese Legierungsbänder weisen aus weichmagnetischer Sicht noch schlechte Eigenschaften auf, da sie eine relativ hohe Magnetostriktion |λS| von ca. 25 x 10-6 aufweisen. Bei der Durchführung einer auf die Legierung abgestimmten Kristallisationswärmebehandlung entsteht dann ein ultrafeines Gefüge, d. h. es entsteht eine Legierungsstruktur, bei der mindestens 50% der Legierungsstruktur von kubisch raumzentrierten FeSi-Kristalliten eingenommen wird. Diese Kristallite sind in einer amorphen Restphase aus Metallen und Metalloiden eingebettet. Die festkörperphysikalischen Hintergründe für die Entstehung der feinkristallinen Struktur und die daher eingehende drastische Verbesserung der weichmagnetischen Eigenschaften ist beispielsweise in G. Herzer, IEEE Transactions on Magnetics, 25 (1989), Seiten 3327 ff. beschrieben. Danach entstehen gute weichmagnetische Eigenschaften wie eine hohe Permeabilität oder kleine Hystereseverluste durch Ausmittelung der Kristallanisotropie Ku des zufallsorientierten nanokristallinen "Gefüges".
- Nachdem aus der
EP 0 271 657 B1 bzw. der 0 299 498 B1 bekannten Stand der Technik werden die amorphen Bänder zunächst auf speziellen Wickelmaschinen möglichst spannungsfrei zu Ringbandkernen gewickelt. Dazu wird das amorphe Band zunächst zu einem runden Ringbandkern gewickelt und - falls erforderlich - mittels geeigneter Formgebungswerkzeuge in eine von der runden Form abweichenden Form gebracht. Durch die Verwendung geeigneter Wickelkörper lassen sich jedoch auch direkt beim Wickeln der amorphen Bänder zu Ringbandkernen Formen erreichen, die von der runden Form abweichen. - Danach werden nach dem Stand der Technik die spannungsfrei gewickelten Ringbandkerne in sogenannten Retortenöfen einer Kristallisationswärmebehandlung unterworfen, die zur Erzielung des nanokristallinen Gefüges dient. Hierbei werden die Ringbandkerne übereinander gestapelt und in einem solchen Ofen eingefahren. Es hat sich gezeigt, daß ein entscheidender Nachteil dieses Verfahrens darin liegt, daß durch schwache magnetische Streufelder, wie z. B. dem magnetischen Erdfeld eine Positionsabhängigkeit der Magnetwerte im Magnetkernstapel induziert wird. Während an den Stapelrändern beispielsweise hohe Permeabilitätswerte mit einem intrinsisch bedingten hohen Remanenzverhältnis von mehr als 60% vorliegen, sind die Magnetwerte im Bereich der Stapelmitte durch mehr oder weniger ausgeprägte flache Hystereseschleifen mit niedrigen Werten bezüglich der Permeabilität und Remanenz gekennzeichnet.
- Dies ist beispielsweise in der
Figur 1 dargestellt.Figur 1a zeigt dabei die Streuung der Permeabilität bei einer Frequenz von 50 Herz in Abhängigkeit der laufenden Kernnummer innerhalb eines Glühstapels. DieFigur 1b zeigt die Abhängigkeit des Remanenzverhältnisses Br/Bm in Abhängigkeit der laufenden Kernnummer innerhalb eines Glühstapels. Wie denFiguren 1a und 1b zu entnehmen ist, verläuft die Verteilungskurve für die Magnetwerte eines Glühfertigungsloses breit und stetig. Die Verteilungskurve fällt zu hohen Werten hin monoton ab. Der genaue spezifische Verlauf hängt dabei von der Legierung, der Magnetkerngeometrie und natürlich der Stapelhöhe ab. - Bei den in Rede stehenden nanokristallinen Legierungssystemen erfolgt die Einstellung des nanokristallinen Gefüges typischerweise bei Temperaturen von Ta = 450°C bis 620°C, wobei die notwendigen Haltezeiten zwischen wenigen Minuten und ca. 12 Stunden liegen können. Insbesondere geht aus der
US 5,911,840 hervor, daß bei nanokristallinen Magnetkernen mit einer runden B-H-Schleife eine Maximalpermeabilität von µ max = 760.000 dann erreicht wird, wenn ein stationäres Temperaturplateau mit einer Dauer von 0,1 bis 10 Stunden unterhalb der für die Kristallisation erforderlichen Temperatur von 250°C bis 480°C zur Relaxation des Magnetkernes verwendet wird. Dies erhöht die Dauer der Wärmebehandlung und reduziert damit die Wirtschaftlichkeit. - Der vorliegenden Erfindung liegt die Entdeckung zugrunde, daß die in den
Figuren 1a und 1b gezeigten magnetostatisch bedingten Parabelbildungen bei der Stapelglühung von Ringbandkernen in Retortenöfen magnetostatischer Natur sind und auf die Ortsabhängigkeit des Entmagnetisierungsfaktors eines Zylinders zurückzuführen sind. Weiterhin wurde -festgestellt, daß die mit dem Kerngewicht zunehmende exotherme Wärme des Kristallisationsprozesses nur unvollständig an die Umgebung des Glühstapels abgegeben werden kann und deshalb zu einer deutlichen Verschlechterung der Permeabilitätswerte führen kann. Es wird angemerkt, daß die Nanokristallisation selbstverständlich ein exothermer physikalischer Vorgang ist. Dieses Phänomen wurde bereits in derJP 03 146 615 A2 US 5,911,840 , im Bereich der einsetzenden Nanokristallisation, d. h. also ab ca. 450°C, in unwirtschaftlicher Weise sehr langsam aufgeheizt hat. Typische Aufheizraten lagen dabei zwischen 0,1 und 0,2 K/min., wodurch alleine das Durchfahren des Bereiches bis zur Temperatur von 490°C bis zu 7 Stunden betragen konnte. Diese Verfahrensweise war sehr unwirtschaftlich. - Die
US 5,914,088 offenbart eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung amorpher metallischer Kerne im Durchlauf. - Die
DE 35 42 257 A1 offenbart einen Durchlaufofen zum Tempern ferromagnetischer Schichten, der einen Magnet zur Erzeugung eines Magnetfelds und eine Heizspule zur Erzeugung eines Temperaturgradienten aufweist. Dieser Durchlaufofen wird zur Magnetisierung ferromagnetischer Schichten und zur Reduzierung der Anisoptropiefeldstärke benutzt. - Die
US 2,960,744 offenbart einen Tunnelofen zur Herstellung von Ferriten keramischen Materialien, wobei der Tunnelofen in verschiedenen Zonen mit unterschiedlichen Temperaturen und unterschiedlichen Atmosphären geteilt werden kann. - Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher ein neues Verfahren zur Herstellung von Ringbandkernen bereitzustellen, bei denen das eingangs erwähnte Problem der parabelartigen Streuung und sonstiger insbesondere exothermiebedingter Verschlechterungen von Magnetkennwerten vermieden werden kann, und das besonders wirtschaftlich arbeitet.
- Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch ein Verfahren zur Herstellung von Ringbandkernen der eingangs genannten Art gelöst, bei dem die fertig gewickelten amorphen Ringbandkerne ungestapelt im Durchlauf zu nanokristallinen Ringbandkernen wärmebehandelt werden.
- Durch die Vereinzelung der Ringbandkerne wird eine identische magnetostatische Bedingung für jeden einzelnen Ringbandkern herbeigeführt. Die Folge dieser für jeden einzelnen Ringbandkern identischen magnetostatischen Kristallisationsbedingung ergibt die Beseitigung des in den
Figuren 1a und 1b gezeigten "Parabeleffektes" und damit eine Beschränkung der Streuungen auf legierungsspezifische, geometrische und/oder thermische Ursachen. Die Wärmebehandlung der ungestapelten amorphen Ringbandkerne wird auf Wärmesenken durchgeführt, die eine hohe Wärmekapazität und eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweisen, was ebenfalls schon aus derJP 03 146 615 A2 - Es ist jedoch auch möglich die Wärmebehandlung auf einer Wärmesenke aus Keramik durchzuführen. Des Weiteren ist auch eine Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung denkbar, bei dem die Wärme zu behandelnden amorphen Ringbandkerne in ein Formbett aus Keramikpulver oder Metallpulver, vorzugsweise Kupferpulver eingebracht sind.
- Als Keramikmaterialien, sowohl für eine massive Keramikplatte bzw. für ein Keramikpulverbett, haben sich insbesondere Magnesiumoxid, Aluminiumoxid und Aluminiumnitrid als besonders geeignet erwiesen.
- Die Wärmebehandlung zur Kristallisation wird in einem Temperaturintervall von ca. 450°C bis ca. 620°C vorgenommen, wobei die Wärmebehandlung ein Temperaturfenster von 450°C bis 500°C durchläuft und dabei mit einer Aufheizrate von 0,1 K/min bis ca. 20 K/min durchlaufen wird.
- Die Erfindung wird vorzugsweise mit einem Ofen durchgeführt, wobei der Ofen ein Ofengehäuse, das zumindest eine Glühzone und eine Heizquelle aufweist, Mittel zur Beschickung der Glühzone mit ungestapelten amorphen Magnetkernen aufweist, Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch die Glühzone aufweist und Mittel zur Entnahme der ungestapelten wärmebehandelten nanokristallinen Magnetkerne aus der Glühzone aufweist.
- Vorzugsweise wird die Glühzone eines solchen Ofens mit einem Schutzgas beaufschlagt.
- In einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist dabei das Ofengehäuse die Gestalt eines Turmofens auf, bei dem die Glühzone vertikal verläuft. Die Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch die vertikal verlaufende Glühzone sind dabei vorzugsweise ein vertikal verlaufendes Förderband.
- Das vertikal verlaufende Förderband weist dabei senkrecht zur Förderbandfläche stehende Auflagen aus einem Material mit hoher Wärmekapazität, d. h. also entweder aus den eingangs beschriebenen Metallen oder den eingangs beschriebenen Keramiken auf, die eine hohe Wärmekapazität und hohe Wärmeleitfähigkeit aufweisen. Die Ringbandkerne liegen dabei auf den Auflagen auf.
- Die vertikal verlaufende Glühzone ist dabei vorzugsweise in mehrere separate Heizzonen unterteilt, die mit separaten Heizregelungen versehen sind.
- In einer alternativen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ofens weist dieser die Gestalt eines Turmofens auf, bei dem die Glühzone horizontal verläuft. Dabei ist die horizontal verlaufende Glühzone wiederum in mehrere separate Heizzonen unterteilt, die mit separaten Heizregelungen versehen sind. Als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Ringbandkerne durch die horizontal verlaufende Glühzone ist dann zumindest eine, vorzugsweise aber mehrere, sich um die Turmofenachse drehende Auflageplatten vorgesehen.
- Die Auflageplatten wiederum bestehen ganz oder teilweise aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit, auf den die Magnetkerne aufliegen. Hierbei kommen insbesondere metallische Platten in Betracht, die aus den eingangs erwähnten Metallen, d. h. also Kupfer, Silber oder wärmeleitfähiger Stahl, bestehen.
- In einer dritten alternativen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ofens weist dieser ein Ofengehäuse auf, das die Gestalt eines horizontalen Durchlaufofens aufweist, bei dem die Glühzone wiederum horizontal verläuft. Diese Ausführungsform ist besonders bevorzugt, weil ein solcher Ofen relativ einfach herzustellen ist.
- Dabei sind als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Ringbandkerne durch die horizontal verlaufende Glühzone ein Förderband vorgesehen, wobei das Förderband wiederum mit Auflagen versehen ist, die aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit bestehen, auf denen die Ringbandkerne aufliegen. Hierbei kommen wiederum die eingangs diskutierten metallischen und/oder keramischen Materialien in Betracht.
- Typischerweise ist auch hier wiederum die horizontal verlaufende Glühzone in mehrere separate Heizzonen unterteilt, die mit separaten Heizregelungen versehen sind.
- In einer Weiterentwicklung der vorliegenden Erfindung läßt sich die zur Erzeugung von flachen Hystereseschleifen erforderlicher magnetische Querfeldbehandlung ebenfalls direkt und gleichzeitig im Durchlauf erzeugen. Dazu wird zumindest ein Teil des vom Ofengehäuse umschlossenen Durchlaufkanals zwischen den beiden Polschuhen eines magnetischen Jochs geführt, so daß die durchlaufenden Magnetkerne in axialer Richtung mit einem homogenen Magnetfeld beaufschlagt werden, wodurch sich in ihnen eine uniaxiale Anisotropie quer zur Richtung des gewickelten Bandes ausbildet. Die Feldstärke des Joches muß dabei so hoch sein, daß die Magnetkerne während der Wärmebehandlung in axialer Richtung zumindest teilweise aufgesättigt sind.
- Die Hystereseschleifen werden dabei umso flacher und linearer, je größer der Anteil der Länge des Ofenkanals ist, über den das Joch gelegt ist.
- Bei allen drei alternativen Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Ofens weisen die separaten Heizzonen eine erste Aufheizzone, eine Kristallisationszone, eine zweite Aufheizzone und eine Reifungszone auf.
- Die Erfindung ist im folgenden anhand der Zeichnung beispielsweise veranschaulicht. Dabei zeigen:
- Figur 2
- den Einfluß des Ringbandkerngewichts auf die Permeabilität (50 Hz) von ohne Wärmesenke durchlaufgeglühten Ringbandkernen,
- Figur 3
- den Einfluß von verschieden dicken Wärmesenken auf das exothermische Kristallisationsverhalten von durchlaufgeglühten Ringbandkernen,
- Figur 4
- den Einfluß von verschiedenen Dicken von Wärmesenken auf die Maximalpermeabilität von durchlaufgeglühten Ringbandkernen unterschiedlicher Geometrie und unterschiedlicher Ringbandkernmasse,
- Figur 5
- den Einfluß des Ringbandkerngewichts auf die Permeabilität (50 Hz) nach einer Durchlaufglühung auf einer 10 mm dicken Kupfer-Wärmesenke,
- Figur 6
- die Stirnflächen von zwei Vergleichsringbandkernen nach einer Durchlaufglühung ohne Wärmesenke und mit Wärmesenke,
- Figur.7
- schematisch im Querschnitt einen erfindungsgemäßen Turmofen mit vertikal laufendem Förderband,
- Figur 8
- einen erfindungsgemäßen mehrstöckigen Karusellofen,
- Figur 9
- einen erfindungsgemäßen Durchlaufofen mit horizontal verlaufendem Förderband und
- Figur 10
- eine Querfelderzeugung mittels eines Jochs über dem Ofenkanal.
- Insbesondere zur Herstellung von sogenannten runden Hystereseschleifen werden Glühverfahren benötigt, die die Entstehung und Reifung von einem ultrafeinen nanokristallinen Gefüge unter möglichst feldfreien und thermisch exakten Bedingungen erlaubt. Wie eingangs erwähnt, wird nach dem Stand der Technik normalerweise die Glühung in sogenannten Retortenöfen ausgeführt, in denen die Magnetkerne übereinander gestapelt eingefahren werden.
- Der entscheidende Nachteil dieses Verfahrens ist, daß durch schwache Streufelder wie z. B. dem magnetischen Feld der Erde oder ähnlichen Streufeldern eine Positionsabhängigkeit der magnetischen Kennwerte im Magnetkernstapel induziert wird. Dies kann man als Antenneneffekt bezeichnen. Während an den Stapelrändern tatsächlich runde Hystereseschleifen mit einer hohen Permeabilität und einem intrinsisch bedingten hohen Remanenzverhältnis von mehr als 60% vorliegen, liegen in der Stapelmitte jedoch mehr oder weniger ausgeprägte flache Hystereseschleifen mit niedrigeren Permeabilitäten und Remanenzverhältnissen vor. Dies wurde eingangs in den
Figuren 1a und 1b gezeigt. - Entsprechend verläuft die Verteilungskurve für die magnetischen Kennwerte eines Fertigungsloses breit, stetig und fällt zu hohen Werten hin monoton ab. Wie eingangs erwähnt hängt der genaue Verlauf von der jeweils verwendeten weichmagnetischen.Legierung, der Magnetkerngeometrie und der Stapelhöhe ab.
- Neben der magnetostatisch bedingten Parabelbildung besitzt die Stapelglühung in Retortenöfen den weiteren Nachteil, daß mit zunehmendem Magnetkerngewicht die exotherme Wärme des Kristallisationsprozesses nur unvollständig an die Umgebung abgegeben werden kann. Die Folge ist eine Überhitzung der gestapelten Magnetkerne, die zu niedrigeren Permeabilitäten und zu hohen Koerzitivfeldstärken führen kann. Zur Umgehung dieser Probleme muß im Bereich der einsetzenden Kristallisation, d. h. also ab ca. 450°C sehr langsam aufgeheizt werden, was unwirtschaftlich ist. Typische Aufheizraten liegen dort bei 0,1 bis 0,2 K/min, wodurch alleine das Durchfahren des Bereiches bis 490°C bis zu 7 Stunden betragen kann.
- Die einzige wirtschaftlich realisierbare großtechnische Alternative zur Stapelglühung im Retortenofen liegt in einer Glühung gemäß der vorliegenden Erfindung im Durchlauf. Durch die Vereinzelung der Magnetkerne durch das Durchlaufverfahren werden identische magnetostatische Bedingungen für jeden einzelnen Magnetkern geschaffen. Die Folge ist die Beseitigung der oben beschriebenen Parabeleffekte, die die Streuungen auf legierungspezifische, kerntechnologische und thermische Ursachen.
- Während die beiden ersten Faktoren gut kontrollierbar sind, kann die für Durchlaufglühungen typische schnelle Aufheizrate selbst bei vereinzelten Magnetkernen zu einer exothermen Wärmeentwicklung führen, die gemäß der
Figur 2 eine mit dem Kerngewicht zunehmende Schädigung der Magneteigenschaften verursacht. DieFigur 2 zeigt den Einfluß des Magnetkerngewichts auf die Magnetwerte (µ 10 ≈ µ max) wenn die Magnetkerne ohne eine Wärmesenke direkt im Durchlauf wärmebehandelt werden. - Da eine verzögerte Aufheizung zu einer unwirtschaftlichen Vervielfachung der Länge der Durchlaufstrecke führen würde, kann dieses Problem durch die Einführung wärmeabsorbierender Unterlagen (Wärmesenken) aus gut wärmeleitenden Metallen oder durch metallische oder keramische Pulverbetten gelöst werden. Als besonders geeignet haben sich Kupferplatten bewiesen, da diese eine hohe spezifische Wärmekapazität und eine sehr gute Wärmeleitfähigkeit besitzen. Dadurch kann den Magnetkernen die exotherm erzeugte Kristallisationswärme stirnseitig entzogen werden. Darüber hinaus reduzieren derartige Wärmesenken die Aufheizrate, wodurch die exotherme Übertemperatur weiter eingeschränkt werden kann. Dies wird durch die
Figur 3 veranschaulicht. DieFigur 3 zeigt den Einfluß unterschiedlich dicker Kupfer-Wärmesenken auf das Exothermieverhalten in Ringbandkernen, die Abmessung von ungefähr 21 x 11,5 x 25 mm aufwiesen. - Da die Rate des Temperaturausgleichs von der Temperaturdifferenz zwischen Magnetkern und Wärmesenke abhängt, ist deren Wärmekapazität über die Dicke an die Masse und Höhe des Magnetkerns anzupassen.
- Die
Figur 4 zeigt den Einfluß der Dicke der Wärmesenken auf die Maximalpermeabilität von Ringbandkernen unterschiedlicher Geometrien bzw. Magnetkernmassen. Während nach derFigur 4 bei Magnetkernen mit kleinem Kerngewicht und/oder kleiner Magnetkernhöhe bereits eine 4 mm dicke Kupfer-Wärmesenke zu guten magnetischen Kennwerten führt, benötigen schwerere bzw. höhere Magnetkerne dickere Wärmesenken mit einer höheren Wärmekapazität. Es hat sich dabei als empirische Faustregel ergeben, daß die Plattendicke d ≥ 0,4 x der Kernhöhe h sein sollte. - Wie aus der
Figur 5 hervorgeht, lassen sich unter Berücksichtigung dieser Regel über einen weiten Gewichtsbereich hinweg hervorragende magnetische Kennwerte (µ max (50 Hz) > 500.000; µ 1 > 100.000) erzielen. - Das Absenken der magnetischen Eigenschaften bei Durchlaufglühungen ohne Wärmesenken ist meist mit lamellenförmigen Verwerfungen und Knicken der Bandlagen verbunden, was aus der
Figur 6 hervorgeht. DieFigur 6 zeigt die Stirnflächen von zwei Ringbandkernen der Abmessungen 50 x 40 x 25 mm3 nach einer Durchlaufglühung ohne Wärmesenke (linker Kern) und auf einer 10 mm starken Kupfer-Wärmesenke (rechter Kern). Bei rechten Kern traten an der Stirnseite praktisch keine Verwerfungen mehr auf. Beim linken Magnetkern hingegen liegt die Maximalpermeabilität bei µ max = 127.000, wo hingegen sie beim rechten Magnetkern ungefähr 620.000 betrug. - Es hat sich gezeigt, daß nur dann, wenn mehr als ca. 85% der Stirnflächen eines Kerns verwerfungsfrei sind, auch gute magnetische Kennwerte erreicht werden können.
- Die
Figur 7 zeigt schematisch eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, einen sogenannten Turmofen. Der Turmofen weist dabei ein Ofengehäuse auf, bei dem die Glühzone vertikal verläuft. Die ungestapelten amorphen Magnetkerne werden dabei durch eine vertikal verlaufende Glühzone durch ein vertikal verlaufendes Förderband gefördert. - Das vertikal verlaufende Förderband weist dabei senkrecht zur Förderbandfläche stehende Wärmesenken aus einem Material mit hoher Wärmekapazität, vorzugsweise Kupfer, auf. Die Ringbandkerne liegen dabei mit ihren Stirnflächen auf den Auflagen auf. Die vertikal verlaufende Glühzone ist dabei in mehrere separate Heizungen unterteilt, die mit separaten Heizregelungen versehen sind.
- In der
Figur 8 ist eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht. Auch hier ist wiederum die Gestalt des Ofens die eines Turmofens, bei dem die Glühzone jedoch horizontal verläuft. Dabei ist die horizontal verlaufende Glühzone wiederum in mehrere separate Heizzonen unterteilt, die mit separaten Heizregelungen versehen sind. Als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Ringbandkerne durch die horizontal verlaufende Glühzone ist wiederum eine, vorzugsweise aber mehrere sich um die Turmofenachse drehende Auflagenplatten vorgesehen, die als Wärmesenken dienen. - Die Auflageplatten wiederum bestehen ganz oder teilweise aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit, auf dem die Magnetkerne mit ihren Stirnflächen aufliegen.
- Die
Figur 9 schließlich zeigt eine dritte besonders bevorzugte alternative Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei der das Ofengehäuse die Gestalt eines horizontalen Durchlaufofens aufweist. Dabei verläuft die Glühzone wiederum horizontal. Diese Ausführungsform ist besonders bevorzugt, weil ein solcher Ofen im Gegensatz zu den beiden oben genannten Öfen mit weniger Aufwand herzustellen ist. - Dabei werden die Ringbandkerne durch die horizontal verlaufende Glühzone über ein Förderband gefördert, wobei das Förderband vorzugsweise wiederum mit Auflagen versehen ist, die als Wärmesenken dienen. Besonders bevorzugt sind hier wiederum Kupferplatten. In einer alternativen Ausgestaltung des Transportes werden Platten als Wärmesenken genommen, die auf Rollen durch das Ofengehäuse gleiten.
- Wie aus der
Figur 9 hervorgeht, ist die horizontal verlaufende Glühzone wiederum in mehrere separate Heizzonen unterteilt, die mit separaten Heizregelungen versehen sind. - Bei einer speziellen Ausführungsform des in
Figur 9 gezeigten Durchlaufofens läßt sich die zur Erzeugung einer flachen Hystereseschleife erforderliche magnetische Querfeldbehandlung direkt im Durchlauf durchführen. Die dazu erforderliche Vorrichtung ist in derFigur 10 gezeigt. Hierzu wird zumindest ein Teil des Durchlaufkanals des Ofens zwischen den Polschuhen eines Jochs geführt, so daß die durchlaufenden Magnetkerne in axialer Richtung mit einem homogenen Magnetfeld beaufschlagt werden, wodurch sich in ihnen eine uniaxiale Anisotropie quer zur Richtung des gewickelten Bandes ausbildet. Die Feldstärke des Joches muß dabei so hoch sein, daß die Magnetkerne während der Wärmebehandlung in axialer Richtung zumindest teilweise aufgesättigt sind. - Die Hystereseschleifen werden dabei umso flacher und linearer, je größer der Anteil der Länge des Ofenkanals ist, über den das Joch gelegt ist.
- Mit dieser Maßnahme wurden folgende Ergebnisse erzeilt:
- Bei einer Feldstärke von 0,3 T, die zwischen den Polschuhen des Joches, das entlang der gesamten Heizstrecke wirksam war, wurden Magnetkerne mit den Abmessungen 21mm x 11,5mm x 25 mm mit der Zusammensetzung FebalCu1,0Si15,62B6,85Nb2,98 erzeugt, die Permeabilitätswerte von ca.µ = 23.000 (f= 50 Hz) aufwiesen. Das Remanenzverhältnis wurde infolge der axialen Feldeinwirkung auf 5,6% reduziert.
- Bei Belegung von nur der halben Heizstrecke blieb die uniaxiale Anisotropie schwächer und die Hystereseschleife wurde weniger flach.
- Bei der Temperung ohne magnetisches Joch lag das Remanenzverhältnis im Vergleich dazu um oder oberhalb von 50% und der Permeabilitätsverlauf in Abhängigkeit von der Feldstärke entsprach dem von runden Hystereseschleifen.
- Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und den Vorrichtungen lassen sich ein großtechnischer Fertigungsweg beschreiten, indem zunächst alle anfallenden Magnetkerne im Durchlauf kristallisiert werden. Je nach dem ob die geforderten Hystereschleifen nun rund, flach oder rechteckig sein sollen, werden diese Magnetkerne anschließend entweder sofort endverarbeitet, d. h. in Gehäuse gefaßt, in einem magnetischen Längsfeld auf eine rechteckige Hystereschleife oder in einem magnetischen Querfeld auf eine flache Hystereseschleife umgetempert und erst dann Endverarbeitet.
- Im Gegensatz zu den herkömmlichen Verfahren lassen sich die Kerne wesentlich schneller und in einer wesentlich wirtschaftlicheren Art und Weise herstellen.
Claims (22)
- Verfahren zur Herstellung von Magnetkernen bestehend aus einer weichmagnetischen Eisen-Basis-Legierung, wobei mindestens 50% der Legierungsstruktur von feinkristallinen Teilchen mit einer mittleren Teilchengröße von 100 nm oder weniger eingenommen wird, mit folgenden Schritten : a) Bereitstellen einer Legierungsschmelze ; b) Herstellung eines amorphen Legierungsbandes aus der Legierungsschmelze mittels Rascherstarrungstechnologie ; c) Wickeln des amorphen Bandes zu amorphen Magnetkernen ; d) Wärmebehandlung der ungestapelten amorphen Magnetkerne im Durchlauf zu nanokristallinen Magnetkernen, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmebehandlung der ungestapelten amorphen Magnetkerne auf Wärmesenken, die eine hohe Wärmekapazität und eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweisen, erfolgt.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Material für die Wärmesenken ein Metall oder eine metallische Legierung oder ein Metallpulver vorgesehen ist.
- Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass als Metall oder als Metallpulver Kupfer, Silber oder ein wärmeleitfähiger Stahl vorgesehen ist.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Material für die Wärmesenken eine Keramik vorgesehen ist.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Material für die Wärmesenken einen keramisches Pulver vorgesehen ist.
- Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass als Keramik oder keramisches Pulver Magnesiumoxid, Aluminiumoxid oder Aluminiumnitrid vorgesehen ist.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmebehandlung in einem Temperaturintervall von ca. 450 C bis ca. 620 C vorgenommen wird.
- Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Wärmebehandlung ein Temperaturfenster von 450 C bis 500 C durchlaufen wird.
- Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Temperaturfenster mit einer Aufheizrate von 0,1 K/Min bis ca. 20 K/Min durchlaufen wird.
- Ofen zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 9 mit A) einem Ofengehäuse, das zumindest eine Glühzone und eine Heizquelle aufweist ; B) Mitteln zur Beschickung der Glühzone mit ungestapelten amorphen Magnetkernen ; C) Mitteln zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch die Glühzone und D) Mitteln zur Entnahme der ungestapelten wärmebehandelten nanokristallinen Magnetkerne aus der Glühzone, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Beförderung der Magnetkerne Wärmesenken, die eine hohe Wärmekapazität und eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweisen, zur Wärmebehandlung der ungestapelten amorphen Magnetkerne aufweisen.
- Ofen nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass ferner vorgesehen sind E) Mittel zur Beaufschlagung der Glühzone mit einem Schutz gas.
- Ofen nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Ofengehäuse die Gestalt eines Turmofens aufweist, bei dem die Glühzone vertikal verläuft.
- Ofen nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch die vertikal verlaufende Glühzone ein vertikal verlaufendes Förderband vorgesehen ist.
- Ofen nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das vertikal verlaufende Förderband mit senkrecht zur Förderbandfläche stehenden Auflagen aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit versehen ist, auf denen die Magnetkerne aufliegen.
- Ofen nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch die vertikal verlaufende Glühzone auf Rollen gelagerte Auflagen sind.
- Ofen nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflagen aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit bestehen, auf denen die Magnetkerne aufliegen.
- Ofen nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die vertikal verlaufende Glühzone in mehrere separate Heizzonen unterteilt ist, die mit separaten Heizregelungen versehen sind.
- Ofen nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Ofengehäuse die Gestalt eines horizontalen Durchlaufofens aufweist, bei dem die Glühzone horizontal verläuft.
- Ofen nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass als Mittel zur Beförderung der ungestapelten amorphen Magnetkerne durch die horizontal verlaufende Glühzone ein Förderband vorgesehen ist.
- Ofen nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass das Förderband mit Auflagen versehen ist, die aus einem Material mit hoher Wärmekapazität und hoher Wärmeleitfähigkeit bestehen, auf denen die Magnetkerne aufliegen.
- Ofen nach Anspruch 13 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass die separaten Heizzonen eine erste Aufheizzone, eine Kristallisationszone, eine zweite Aufheizzone und eine Reifungszone umfassen.
- Ofen nach einem der Ansprüche 10 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass zur Einstellung der uniaxialen Anisotropie die Polschuhe eines magnetischen Joches zumindest teilweise über den vom Ofengehäuse umfassten Durchlaufkanal gelegt sind.
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