TWI743251B - 樹脂組成物、使用該組成物之熱硬化性薄膜、樹脂硬化物、層合板、印刷配線板及半導體裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題在於提供一種熱硬化性薄膜，及製作該熱硬化性薄膜所使用之樹脂組成物，該熱硬化性薄膜對於印刷配線板之配線中所含的金屬箔及聚醯亞胺等基板材料具有優異的接著強度，且於高頻區域之介電特性，具體而言於頻率1~100GHz之區域，顯示低介電常數(ε)及低介電正切(tanδ)。 　　本發明之解決手段係提供一種樹脂組成物，其係包含(A)環氧樹脂、(B)於頻率1~100GHz之區域，具有未達0.005的介電正切(tanδ)之樹脂，及(C)於雜環之1位上，存在具有碳原子數5以上的烷基之側鏈的咪唑化合物。

Description

樹脂組成物、使用該組成物之熱硬化性薄膜、樹脂硬化物、層合板、印刷配線板及半導體裝置
本發明係關於樹脂組成物，及使用該組成物之熱硬化性薄膜、樹脂硬化物、層合板、印刷配線板及半導體裝置。
近年，電器設備及電子設備之小型化、輕量化及高性能化不斷發展。伴隨此，對於此等設備中使用之印刷配線板，特別是多層印刷配線板，要求更進一步之高多層化、高密度化、薄型化、輕量化、高信賴性及成形加工性等。又，伴隨最近之印刷配線板之傳送信號的高速化要求，傳送信號之高頻化顯著進展。藉此，對於印刷配線板中使用之材料，要求可減低高頻區域具體而言於頻率1GHz以上區域之電氣信號損失。
對於作為多層印刷配線板中使用之層間接著劑，或作為印刷配線板之表面保護薄膜(即，覆蓋薄膜)使用之接著薄膜，要求其於高頻區域下顯示優異之介電特性(低介電常數(ε)及低介電正切(tanδ))。具體而言，要求於頻率1~10GHz之區域的介電常數為3.5以下，及頻率1~10 GHz之區域的介電正切(tanδ)為0.010以下。本揭示中，數值範圍之「~」意指於其前後記載的數值皆包含於此區域中。即，數值範圍「X~Y」意指X以上Y以下。滿足上述介電常數及介電正切之條件的接著薄膜例如於專利文獻1被提案。
然而，對於印刷配線板之基板中所含之聚醯亞胺要求更進一步提升接著強度。因此，專利文獻1記載之接著薄膜具有之接著強度亦有不充足之情況。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本專利特開2011-068713號公報
為了解決上述以往技術之問題點，本發明之目的在於提供以下之樹脂組成物，及使用該組成物之熱硬化性薄膜、樹脂硬化物、層合板、印刷配線板及半導體裝置。此熱硬化性薄膜硬化後，對於印刷配線板之配線所含的金屬箔及聚醯亞胺等基板材料，具有優異的接著強度。且，此熱硬化性薄膜，於高頻區域之介電特性，具體而言於頻率1~100GHz之區域，顯示低介電常數(ε)及低介電正切(tanδ)。上述樹脂組成物可用於該熱硬化性薄膜之製作。
為達成上述目的，本揭示之1態樣(第1態樣)係提供一種樹脂組成物，其特徵係包含(A)環氧樹脂，(B)於頻率1~100GHz之區域，具有未達0.005的介電正切(tanδ)之樹脂，及，(C)於雜環之1位上，存在具有碳原子數5以上的烷基之側鏈的咪唑化合物。
如第1態樣之樹脂組成物所含之前述(C)咪唑化合物，較佳為以下述式(I)表示之化合物。
Figure 106140037-A0305-02-0005-1
(式(I)中，R1、R2及R3各自獨立地為氫原子或碳原子數1~3之烷基，m為0或1，R4為碳原子數1~3之伸烷基或-CH2CH2COO-，R5為碳原子數5~10之烷基)。
第1態樣之樹脂組成物所含之前述(B)樹脂，較佳為由改性聚苯醚(改性PPE)樹脂、苯乙烯系熱可塑性彈性體及聚醯亞胺樹脂所成之群中選出的至少1種之樹脂。
又，本揭示之第2態樣係提供由上述樹脂組成物形成之熱硬化性薄膜。
又，本揭示之第3態樣係提供樹脂硬化物，其係經硬化之上述樹脂組成物或上述熱硬化性薄膜。
又，本揭示之第4態樣係提供層合板，其含有上述樹脂硬化物。
又，本揭示之第5態樣係提供印刷配線板，其含有上述樹脂硬化物。
又，本揭示之第6態樣係提供半導體裝置，其含有上述樹脂硬化物。
藉由上述第1態樣之樹脂組成物形成的熱硬化性薄膜，硬化後對於印刷配線板之配線所含的金屬箔及聚醯亞胺等基板材料具有優異的接著強度，且於高頻區域之介電特性，具體而言於頻率1~100GHz之區域，顯示低介電常數(ε)及低介電正切(tanδ)。
以下詳細說明本揭示之一實施形態。
本實施形態之樹脂組成物含有(A)環氧樹脂、(B)於頻率1~100GHz之區域，具有未達0.005之介電正切(tanδ)之樹脂，及(C)雜環之1位上，存在具有碳原子數5以上之烷基之側鏈的咪唑化合物。以下記載本實施形態之樹脂組成物的各成分。
(A)環氧樹脂 　　作為(A)成分之環氧樹脂之例，可舉例為雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、苯酚酚醛清漆型環氧樹脂、脂環族環氧樹脂、矽氧烷型環氧樹脂、聯苯型環氧樹脂、縮水甘油酯型環氧樹脂、縮水甘油胺型環氧樹脂、乙內醯脲型樹脂、含有萘骨架之環氧樹脂及含有蒽骨架之環氧樹脂。本實施形態之樹脂組成物，可單獨使用此處所舉例之化合物，亦可混合使用2種以上之化合物。 　　[0018] 此外，自提高介電特性之觀點，(A)成分之環氧樹脂，較佳包含聯苯型環氧樹脂、含有萘骨架之環氧樹脂、含有蒽骨架之環氧樹脂中之任一種。作為市售之聯苯型環氧樹脂之例可舉例為日本化藥股份有限公司製之NC-3000H，作為市售之含有萘骨架之環氧樹脂可舉例為DIC股份有限公司製之HP4032D，及作為市售之含有蒽骨架之環氧樹脂可舉例為三菱化學股份有限公司製之JERYX8800。 　　[0019] 自介電特性及提高對於銅箔的剝離強度之觀點，(A)成分之環氧樹脂較佳為萘型環氧樹脂。 　　[0020] 對於(A)成分與(B)成分合計100質量份，(A)成分之環氧樹脂的含有量較佳為2~30質量份，更佳為2~20質量份，又更佳為2~10質量份。若(A)成分過少，則由本實施形態之樹脂組成物形成的熱硬化性薄膜之接著性惡化。若(A)成分過多則由於(B)成分之量相對減少，故熱硬化性薄膜之高頻區域之介電特性惡化。 　　[0021] (B)成分之樹脂於頻率1~100GHz之區域具有未達0.005之介電正切(tanδ)。其有助於由本揭示之樹脂組成物形成之熱硬化性薄膜於高頻區域之優異介電特性，亦即於頻率1GHz以上之區域之低介電常數(ε)及低介電正切(tanδ)。 　　[0022] (B)成分之樹脂，較佳為選自由改性聚苯醚(改性PPE)樹脂、苯乙烯系熱可塑性彈性體及聚醯亞胺樹脂所成之群中之至少1種之樹脂。可僅使用此等樹脂中之任一種，亦可併用2種以上之樹脂。 　　[0023] 使用改性PPE樹脂作為(B)成分時，較佳為使用以下述一般式(1)表示之化合物。
Figure 02_image005
式(1)中，-(O-X-O)-係以下述一般式(2)或(3)表示。
Figure 02_image007
Figure 02_image009
[0024] 式(2)中，R1 、R2 、R3 、R7 及R8 為碳原子數6以下之烷基或苯基，可互為相同亦可相異。R4 、R5 、R6 為氫原子、碳原子數6以下之烷基或苯基，可互為相同亦可相異。 　　[0025] 式(3)中，R9 、R10 、R11 、R12 、R13 、R14 、R15 及R16 為氫原子、碳原子數6以下之烷基或苯基，且可互為相同亦可相異。-A-為碳原子數20以下之直鏈狀、分支狀或環狀之2價烴基。 　　[0026] 式(1)中，-(Y-O)-係以一般式(4)表示。於式(1)中，以式(4)表示之1種構造或2種以上之構造係無規排列。
Figure 02_image011
式(4)中，R17 及R18 為碳原子數6以下之烷基或苯基，且可互為相同亦可相異。R19 及R20 為氫原子、碳原子數6以下之烷基或苯基，且可互為相同亦可相異。 　　[0027] 式(1)中，a及b顯示為0~100之整數。其中，a與b中至少一者不為0。 　　[0028] 式(3)中作為-A-之例可舉例為亞甲基、亞乙基、1-甲基亞乙基、1,1-亞丙基、1,4-伸苯基雙(1-甲基亞乙基)、1,3-伸苯基雙(1-甲基亞乙基)、亞環己基、苯基亞甲基、萘基亞甲基及1-苯基亞乙基等之2價有機基。惟，此2價有機基並不限定於此等基。 　　[0029] 以式(1)表示之化合物中，較佳者係R1 、R2 、R3 、R7 、R8 、R17 及R18 為碳原子數3以下之烷基，且R4 、R5 、R6 、R9 、R10 、R11 、R12 、R13 、R14 、R15 、R16 、R19 及R20 為氫原子或碳原子數3以下之烷基。更佳者係以一般式(2)或一般式(3)表示之-(O-X-O)-為一般式(5)、一般式(6)或一般式(7)；較更佳者係以一般式(4)表示之-(Y-O)-為式(8)或式(9)。 　　[0030]
Figure 02_image013
Figure 02_image015
Figure 02_image017
[0031]
Figure 02_image019
Figure 02_image021
[0032] 以式(1)表示之化合物的製造方法並無特別限定。例如可藉由2官能苯酚化合物與1官能苯酚化合物經氧化偶合所得之2官能苯醚寡聚物之末端苯酚性羥基經乙烯基苄基醚化而製造。 　　[0033] 以式(1)表示之化合物的數平均分子量，藉由GPC法之以聚苯乙烯換算，較佳為500~3,000之範圍，更佳為1000~2500之範圍。若數平均分子量為500以上，本實施形態之樹脂組成物被製成塗膜狀時黏性較少。此外，若數平均分子量為3000以下，可抑制對溶劑之溶解性降低。 　　[0034] 作為(B)成分之苯乙烯系熱可塑性彈性體，係指含有苯乙烯、其同系物或其類似物之熱可塑性彈性體。作為(B)成分之苯乙烯系熱可塑性彈性體之例，可舉例為聚苯乙烯-聚(乙烯-乙烯/丙烯)嵌段-聚苯乙烯(SEEPS)、聚苯乙烯-聚(乙烯/丁烯)嵌段-聚苯乙烯(SEBS)、苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物(SBS)、苯乙烯-異戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物(SIS)及聚丁二烯(PB)。此處舉例之彈性體可單獨使用1種，亦可混合使用2種以上之彈性體。基於提高對於印刷配線板之配線所含之金屬箔及聚醯亞胺等之基板材料之介電特性之觀點，較佳為SEEPS。 　　[0035] 使用聚醯亞胺樹脂作為(B)成分時，較佳為使用溶劑可溶性聚醯亞胺樹脂。本實施形態中，溶劑可溶性意指於選自以下所示之溶劑中至少一種之溶劑中於23℃溶解20重量%以上。此溶劑為烴系溶劑之甲苯、二甲苯，酮系溶劑之丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環己酮、環戊酮，醚系溶劑之1,4-二噁烷、四氫呋喃、二甘醇二甲醚，二醇醚系溶劑之甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丁醚、二乙二醇甲基乙基醚，作為酯系溶劑為乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸乙酯、γ-丁內酯、苯甲醇、N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲醯胺及N,N-二甲基乙醯胺。 　　[0036] 本實施形態之溶劑可溶性聚醯亞胺，可藉由二胺與四羧酸成分於130℃以上之溫度反應，經亞醯胺化反應而獲得。溶劑可溶性聚醯亞胺，較佳為具有優異柔軟性、強韌性及耐熱性之聚醯亞胺樹脂。聚醯亞胺樹脂，可藉由四羧酸成分與二聚物二胺反應而獲得。產生此溶劑可溶性聚醯亞胺之反應中，二聚物二胺之一部分可被聚矽氧二胺取代。 　　[0037] 此處使用之四羧酸成分之例，可舉例為均苯四甲酸二酐、3,3’,4,4’-二苯甲酮四羧酸二酐、3,3’,4,4’-聯苯碸四羧酸二酐、1,4,5,8-萘四羧酸二酐、2,3,6,7-萘四羧酸二酐、3,3’,4,4’-聯苯醚四羧酸二酐、3,3’,4,4’-二甲基二苯基矽烷四羧酸二酐、3,3’,4,4’-四苯基矽烷四羧酸二酐、1,2,3,4-呋喃四羧酸二酐、4,4’-雙(3,4-二羧基苯氧基)二苯硫醚二酐、4,4’-雙(3,4-二羧基苯氧基)二苯碸二酐、4,4’-雙(3,4-二羧基苯氧基)二苯丙烷二酐、3,3’,4,4’-亞全氟異丙基二鄰苯二甲酸二酐、3,3’,4,4’-聯苯四羧酸二酐、雙(鄰苯二甲酸)苯基氧化膦二酐、對-伸苯基-雙(三苯基苯二甲酸)二酐、間-伸苯基-雙(三苯基苯二甲酸)二酐、雙(三苯基苯二甲酸)-4,4’-二苯醚二酐、雙(三苯基苯二甲酸)-4,4’-二苯基甲烷二酐及4,4’-(4,4’-亞異丙基二苯氧基)二鄰苯二甲酸二酐等。 　　[0038] 此外，二聚物二胺之例，可舉例為VERSAMINE 551(商品名，BASF Japan股份有限公司製；3,4-雙(1-胺基庚基)-6-己基-5-(1-辛烯基)環己烯)、VERSAMINE 552(商品名，Cognix Japan股份有限公司製；VERSAMINE 511之氫化物)、PRIAMINE 1075及PRIAMINE 1074(均為商品名，Croda Japan股份有限公司製)等。 　　[0039] 溶劑可溶性聚醯亞胺樹脂，係具有藉由四羧酸成分與二聚物二胺反應所生成之聚醯亞胺之分子構造。其分子構造末端存在有酸酐基或胺基。作為二聚物二胺之原料的二聚酸，係經由使碳原子數18之不飽和脂肪酸(油酸、亞油酸、亞麻酸等之混合物)二聚化而獲得。藉由二聚化反應，可獲得對應於其反應概率之量之混合物，其含有具直鏈、脂環或雙鍵之脂環或芳香環之反應生成物。藉由使此反應混合物直接胺化而獲得二聚物二胺。因此，藉由四羧酸與二聚物二胺聚合而得之溶劑可溶性聚醯亞胺樹脂，係上述反應混合物中所含之二聚酸之各分子不規則鍵結之結果所生成，具有複雜的分子構造。此複雜的分子構造無法明確特定。然而，可推測之分子構造的例，可舉例為下述化學構造式表示之分子構造。本實施形態所用之溶劑可溶性聚醯亞胺樹脂，認為係具有此等分子構造之聚醯亞胺樹脂之混合物(此等構造式只是舉例。本實施形態中使用之溶劑可溶性聚醯亞胺樹脂之分子構造並不限定於該等例)。
Figure 02_image023
上述之化學式中，n為整數。R10 、R20 、R30 及R40 為有機基。例如R10 及R20 為-(CH2 )n1 -(CH=CH)n2 -(CH2 )n3 -CH3 ，可互為相同亦可相異。R30 及R40 為-(CH2 )n1 -(CH=CH)n2 -(CH2 )n3 ，可互為相同亦可相異。n1及n3為0~18之整數。n2為0、1或2之整數。又，二聚物二胺成分中之碳原子數合計為36。 　　[0040] 對於(A)成分及(B)成分合計100質量份，(B)成分之樹脂含有量較佳為70~98質量份，更佳為80~98質量份，又更佳為90~98質量份。 　　若(B)成分之樹脂過少，則由本實施形態之樹脂組成物形成之熱硬化性薄膜難以獲得於所期望之高頻區域的介電特性。若(B)成分樹脂過多，則(A)成分的量相對減少。因此，由本實施形態之樹脂組成物形成之熱硬化性薄膜之接著性及硬化性惡化。 　　[0041] (C)成分之咪唑化合物之作用係根據作為(B)成分使用之樹脂而異。作為(B)成分使用之樹脂係如聚醯亞胺樹脂，在與(A)成分之環氧樹脂引起硬化反應之樹脂的情況下，(C)成分之咪唑化合物係作為其硬化觸媒發揮作用。另一方面，作為(B)成分使用之樹脂係如改性PPE樹脂或苯乙烯系熱可塑性彈性體，不與(A)成分之環氧樹脂反應之樹脂時，(C)成分之咪唑化合物係作為(A)成分之環氧樹脂本身的硬化觸媒發揮作用。 　　[0042] 咪唑化合物一直以來係作為環氧樹脂之硬化劑或硬化觸媒使用。本實施形態之樹脂組成物中，作為(C)成分係使用於雜環之1位上，存在具有碳原子數5以上之烷基之側鏈，且具有特定構造的咪唑化合物。藉此，由樹脂組成物形成之熱硬化性薄膜，對於印刷配線板之配線所含之金屬箔及聚醯亞胺等基板材料，具有優異的接著強度，且於高頻區域之介電特性，具體而言於頻率1~100 GHz之區域顯示低介電常數(ε)及低介電正切(tanδ)。其理由詳述如下。 　　[0043] 咪唑化合物作為環氧樹脂之硬化劑或硬化觸媒而作用時，其雜環之3位上的氮原子之非共用電子對有助於其硬化反應。另一方面，於雜環之1位上的如碳原子數5以上之烷基之長鏈烴鏈，有助於提高高頻區域之介電特性，意即於頻率1~100GHz之區域之低介電常數(ε)及低介電正切(tanδ)。雜環之1位上，存在具有碳原子數5以上之烷基的側鏈之咪唑化合物，作為環氧樹脂之硬化劑硬化觸媒作用時不損及反應性，可達成於頻率1~100GHz之區域的低介電常數(ε)及低介電正切(tanδ)。關於此方面，可由後述實施例的結果清楚得知。後述比較例3中使用之咪唑化合物具有長鏈烴鏈作為雜環側鏈。然而，側鏈存在於雜環之2位上。因此，由於立體障礙，作為環氧樹脂之硬化劑或硬化觸媒作用時，會損害其反應性。又，實施例中使用之咪唑化合物熱分解時，會產生2-乙基-4-甲基咪唑及2-乙基己基。然而，即使使用這些，由後述比較例3及5可知，作為環氧樹脂之硬化劑或硬化觸媒作用時反應性不充分。 　　[0044] (C)成分之咪唑化合物，只要於雜環之1位存在具有碳原子數5以上之烷基的側鏈，則無特別限制。例如，可使用以下述式(1)表示之咪唑化合物。
Figure 02_image025
式(1)中，R1 、R2 及R3 各自獨立地為氫原子或碳原子數1~3之烷基。m為0或1。R4 為碳原子數1~3之伸烷基或 -CH2 CH2 COO-。R5 為碳原子數5~10之烷基。 　　[0045] 作為(C)成分之咪唑化合物之較佳例可舉例為下述式(I1)~(I4)。可僅使用該等咪唑化合物之例中之1種，亦可併用2種以上之咪唑化合物。該等中，自於100 GHz的區域之低介電常數(ε)及低介電正切(tanδ)之觀點，下述式(I3)、(I4)較佳。自控制反應性之觀點，下述式(I4)更佳。
Figure 02_image027
Figure 02_image029
Figure 02_image031
Figure 02_image033
[0046] 對於(A)成分之環氧樹脂與(B)成分之樹脂之合計100質量份，(C)成分之咪唑化合物之含量較佳為0.1~5.0質量份，更佳為0.5~3.0質量份。若(C)成分含有量過少，則由本實施形態之樹脂組成物形成之熱硬化性薄膜之硬化性惡化，進而有使熱硬化性薄膜之接著性、強韌性及耐熱性下降之虞。另一方面，若(C)成分之含量過多，則由本實施形態之樹脂組成物形成之熱硬化性薄膜有保存壽命惡化之虞。此外，損及熱硬化性薄膜之硬化物本來物性之結果，而有該硬化物之接著性、強韌性及耐熱性下降之虞。 　　[0047] 本實施形態之樹脂組成物，可藉由將含有上述(A)~(C)成分及必要時添加之其他成分之原料溶解或分散等於有機溶劑中而獲得。對於其他成分並無特別限制。作為其他成分之例可舉例為二氧化矽填料等無機填料、阻燃劑、偶合劑、調平劑、分散劑及消泡劑。分散或溶解此等原料之裝置並未特別限定。作為具備加熱裝置之攪拌機，可使用溶解機、直立式攪拌機、擂潰機、三輥滾軋機、球磨機或珠磨機。此外，亦可適當地組合此等裝置使用。 　　[0048] 本實施形態之樹脂組成物具有下述表示之適宜特性。首先，本實施形態之樹脂組成物，其樹脂硬化物具有充分之接著強度。具體而言，樹脂硬化物之根據JISC6481測定之對於聚醯亞胺薄膜之剝離強度(180度剝離)較佳為6.5N/cm以上，更佳為7.0N/cm以上，又更佳為7.5N/cm以上。此外，樹脂硬化物之根據JISC6481測定之對於銅箔光澤面之剝離強度(180度剝離)較佳為6.5N/cm以上，更佳為7.0N/cm以上，較更佳為7.5N/cm以上。 　　[0049] 本實施形態之樹脂組成物之硬化物，於高頻區域，較佳具有優異之介電特性。具體而言，硬化物於頻率1~100GHz之區域之介電常數(ε)，較佳為3.5以下，更佳為3.0以下。此外，於頻率1~100GHz之區域之介電正切(tanδ)較佳為0.010以下，更佳為0.0095以下。 　　[0050] 本實施形態之熱硬化性薄膜係自上述樹脂組成物形成。具體而言，熱硬化性薄膜係藉由使塗佈於期望之支持體之至少一面上之樹脂組成物乾燥而獲得。作為支持體係對應於熱硬化性薄膜之製造方法適當地選擇具有期望形態的支持體。具體之支持體並無特別限定。可使用之支持體之例，可舉例為銅或鋁等之金屬箔、聚酯纖維或聚乙烯等之樹脂之載體薄膜。本實施形態之熱硬化性薄膜，以自支持體剝離之薄膜的形態提供時，較佳支持體係以聚矽氧化合物等之脫模劑脫模處理者。 　　[0051] 樹脂組成物塗佈於支持體之方法並無特別限定。自薄膜化及膜厚控制之觀點，較佳之方法為微凹版印刷法、狹縫模嘴法或刮刀法。藉由狹縫模嘴法，可獲得具有例如5~500μm厚度之薄膜。 　　[0052] 乾燥條件係根據樹脂組成物中使用之有機溶劑種類、其量及塗佈厚度等適當設定。例如，可於50~120℃、1~30分左右之條件進行乾燥。且，可於期望之時點將薄膜自支持體剝離。 　　[0053] 經上述程序獲得之薄膜，可於例如130℃以上250℃以下，較佳於150℃以上200℃以下之溫度，進行30~180分鐘之熱硬化。經上述程序獲得之薄膜作為電性或電子用途之接著薄膜或層間接著薄膜使用時，較佳為樹脂組成物以上述硬化條件硬化者。 　　[0054] 經上述程序獲得之薄膜厚度，較佳為5μm以上200μm以下。若薄膜厚度未達5μm，則有無法獲得絕緣性等之所要求之薄膜特性之虞。薄膜厚度更佳為15μm以上150μm以下，又更佳為20μm以上100μm以下。 　　[0055] 樹脂硬化物具有上述特性之本實施形態的熱硬化薄膜，適用於電性或電子用途之接著薄膜、層間接著薄膜及覆蓋薄膜。 　　[0056] 本實施形態之半導體裝置，其構成要素之層間接著係使用本揭示之樹脂組成物。具體而言，例如電子零件與基板之層間接著係使用本揭示之樹脂組成物。或者，含有電子零件之半導體裝置內，使用由本實施形態之樹脂組成物形成之熱硬化性薄膜。 [實施例] 　　[0057] 以下藉由實施例詳細說明本實施形態。然而，本實施形態並不限定於此等實施例。 　　[0058] (實施例1~11，比較例1~4) 　　按照下述表所示之摻合，於容器中量取特定量之各樹脂(A-1、A-2、A-3、B-1、B-2、B-3、B-4及B-5)及特定量之甲苯。其次，使用加熱攪拌機將樹脂與甲苯之混合物加熱溶解後，冷卻至室溫。接著，將特定量之咪唑化合物等(C-1、C’-1、C’-2、C’-3及C’-4)投入該混合物。然後，以自轉或公轉式的攪拌機(MAZERUSTAR(商品名)，倉敷紡績股份有限公司)將所得之(A)成分、(B)成分、及(C)成分或(C’)成分之混合物攪拌混合3分鐘，而調製樹脂組成物。然而，實施例11中，進一步將作為無機填料之熔融球狀二氧化矽填料(龍森股份有限公司製MP-15EF，平均粒徑1.5μm)添加於樹脂組成物中，然後使用珠磨機將二氧化矽填料分散於樹脂組成物中。藉由以甲苯調整如此獲得之樹脂組成物的黏度，而調製含有樹脂組成物之塗佈液。 　　[0059] 製備樹脂組成物時使用之成分如下。 (A)成分：環氧樹脂 　　(A-1)： 　　含有萘骨架之環氧樹脂，HP4032D(商品名)，DIC股份有限公司製，環氧當量136~148(A-2)； 　　含有蒽骨架之環氧樹脂，JERYX8800(商品名)，三菱化學股份有限公司製，環氧當量180(A-3)；及 　　含有聯苯骨架之環氧樹脂，NC-3000H(商品名)，日本化藥股份有限公司製，環氧當量288。 　　[0060] (B)成分：於頻率1~100GHz之區域，具有未達0.005之tanδ之樹脂 　　(B-1)：經下述程序合成之溶劑可溶性聚醯亞胺樹脂 　　將市售之芳香族四羧酸二酐(BTDT-UP(商品名)，Evonik Japan股份有限公司製)210.0g、環己酮1008.0g及甲基環己烷201.6g饋入具備攪拌機、分水器、溫度計及氮氣導入管之反應容器中。將反應容器中之溶液加熱至60℃。接著，將市售之二聚物二胺(PRIAMINE(商品名)1075，Croda Japan股份有限公司)341.7g滴入反應溶液中。然後於140℃進行10小時的醯亞胺化反應。然後，藉由進行溶劑之減壓餾除及甲苯置換，獲得溶劑可溶性聚醯亞胺樹脂(A-2)之溶液(不揮發分30.1%)。經GPC測定之數平均分子量(Mn)為15000。經後述程序測定之介電正切(tanδ)為0.0029。 　　(B-2)：藉由下述程序合成之溶劑可溶性聚醯亞胺樹脂 　　將市售之芳香族四羧酸二酐(BTDT-UP(商品名)，Evonik Japan股份有限公司製)190.0g、環己酮912.0g及甲基環己烷182.4g饋入與(B-1)相同之反應容器中。將反應容器中之溶液加熱至60℃。接著，將市售之二聚物二胺(PRIAMINE1075(商品名)，Croda Japan股份有限公司) 288.1g，及市售之聚矽氧二胺(KF-8010(商品名)，信越化學工業股份有限公司製)24.7g滴入反應溶液中。然後於140℃進行10小時的醯亞胺化反應。藉此獲得聚醯亞胺樹脂之溶液(不揮發分30.8%)。經GPC測定之數平均分子量(Mn)為14000。經後述程序測定之介電正切(tanδ)為0.0036。 　　(B-3)：藉由下述程序合成之溶劑可溶性聚醯亞胺樹脂 　　將市售之芳香族四羧酸二酐(BisDA1000(商品名)，SABIC Japan股份有限公司製)65.0g、環己酮266.5g及甲基環己烷44.4g饋入與(B-1)相同之反應容器中。將反應容器中之溶液加熱至60℃。接著，將市售之二聚物二胺(PRIAMINE(商品名)1075，Croda Japan股份有限公司)43.7g及1,3-雙胺基甲基環己烷5.4g滴入反應溶液中。然後於140℃進行10小時的醯亞胺化反應。藉此獲得溶劑可溶性聚醯亞胺樹脂(B-1)之溶液(不揮發分29.5%)。經GPC測定之數平均分子量(Mn)為15000。經後述程序測定之介電正切(tanδ)為0.0019。 　　(B-4)：以上述一般式(1)表示之改性PPE樹脂，OPE-2St(Mn=2200)，三菱氣體化學股份有限公司製 　　經與(B-1)相同之程序測定之介電正切(tanδ)為0.0040。 　　(B-5)：熱可塑性彈性體(SEEPS)，SEPTON4044(商品名)，KURARAY股份有限公司製 　　經與(B-1)相同之程序測定之介電正切(tanδ)為0.0008。 　　[0061] (C)成分：咪唑化合物 　　(C-1)：具有下述式表示之構造的咪唑化合物，EH-2021(商品名)，ADEKA股份有限公司製
Figure 02_image035
(C’-1)：1-苄基-2-苯基咪唑，1B2PZ(商品名)，四國化成工業股份有限公司製 　　(C’-2)：2-乙基-4-甲基咪唑，2E4MZ(商品名)，四國化成工業股份有限公司製 　　(C’-3)：1-氰乙基-2-十一烷基咪唑，C11ZCN(商品名)，四國化成工業股份有限公司製 　　(C’-4)：丙烯酸-2-乙基己酯，NACALAI TESQUE股份有限公司製 　　[0062] 使用依照上述程序調製成之塗佈液實施以下評價。 1. PI剝離強度 　　使用塗佈機於施加脫模劑之50μm厚之PET薄膜之基材表面，以使乾燥塗膜成為25±5μm膜厚之方式塗佈塗佈液。以塗佈液塗佈之基材以80℃×15分鐘乾燥。將基材自如此製備之未硬化薄膜剝離。之後，將未硬化薄膜夾於2片聚醯亞胺薄膜(UPILEX(註冊商標)12.5CA，宇部興產股份有限公司製)之間而獲得之層合薄膜，以真空壓合機加壓硬化(200℃×60分1MPa)。將所獲得之含有硬化薄膜之層合薄膜切成10mm寬而獲得試驗片。以萬能試驗機，經由將試驗片之2片聚醯亞胺薄膜各於互為相反方向，從硬化薄膜撕除，而測定硬化薄膜之剝離強度。算出5次測定所獲得之值的平均值，作為剝離強度之測定值。 2. 介電常數(ε)、介電正切(tanδ) 　　以1.獲得之未硬化薄膜於基材表面經200℃×60分鐘硬化後，將基材自硬化薄膜剝離。裁切成130×70mm之硬化薄膜之ε及tanδ係藉SPDR法於介電體共振頻率2GHz測定。結果表示於下述表中。 　　[0063]
Figure 02_image037
Figure 02_image039
Figure 02_image041
實施例1~11皆顯示7.0N/cm以上之PI剝離強度、3.0以下之介電常數(ε)及0.010以下之介電正切(tanδ)。此外，實施例2及3與實施例1，係(C)成分之咪唑化合物之摻合比例不同。實施例4及5與實施例1，係(A)成分之環氧樹脂種類不同。實施例6~9與實施例1，係(B)成分之樹脂種類不同。實施例10~11與實施例1，係(B)成分相對於(A)成分之摻合比例不同。其中，實施例11中進一步使用二氧化矽填料。比較例1中，替代(C)成分之咪唑化合物，而使用於雜環之1位上存在苄基之咪唑化合物。比較例2中，咪唑化合物之雜環之1位上不存在碳原子數5以上之烷基。比較例3中，替代(C)成分之咪唑化合物，而使用雜環2位上存在具有碳原子數為5以上之烷基之側鏈的咪唑化合物。比較例4中，摻合有相當於實施例中使用之咪唑化合物(C-1)的熱分解生成物之化合物。比較例1~4均顯示未達7.0N/cm之PI剝離強度及超過0.010之介電正切(tanδ)。 　　關於本揭示之實施形態之樹脂組成物可為以下第1~3之樹脂組成物。 　　上述第1之樹脂組成物含有(A)環氧樹脂、(B)於頻率1~100GHz之區域之介電正切(tanδ)未達0.005之樹脂，及(C)於雜環之1位存在具有C5以上之烷基之側鏈的咪唑化合物。 　　上述第2之樹脂組成物為前述(C)咪唑化合物係下述式(1)的上述第1之樹脂組成物。
Figure 02_image043
(式(1)中，R1 、R2 及R3 各自獨立地表示氫原子或碳原子數1~3之烷基，m為0或1，R4 表示碳原子數1~3之伸烷基或基：-CH2 CH2 COO-，R5 表示碳原子數5~10之烷基)。 　　上述第3之樹脂組成物為前述(B)樹脂係選自由改性聚苯醚(改性PPE)樹脂、苯乙烯系熱可塑性彈性體及聚醯亞胺樹脂所成之群中之至少1種的上述第1或第2之樹脂組成物。 　　本揭示之實施形態之熱硬化性薄膜可自上述第1~3之任一樹脂組成物形成。 　　本揭示之實施形態之樹脂硬化物可為上述第1~3之任一樹脂組成物或上述熱硬化性薄膜硬化後之樹脂硬化物。 　　本揭示之實施形態之層合板可為含有上述樹脂硬化物之層合板。 　　本揭示之實施形態之印刷配線板可為含有上述樹脂硬化物之印刷配線板。 　　本揭示之實施形態之半導體裝置可為含有上述樹脂硬化物之半導體裝置。
Figure 106140037-A0101-11-0002-1

Claims (7)

  1. 一種樹脂組成物，其特徵係包含(A)環氧樹脂，與(B)於頻率1~100GHz之區域，具有未達0.005的介電正切(tanδ)之樹脂，與(C)下述式(I)表示之咪唑化合物，相對於(A)成分與(B)成分合計100質量份，(A)成分之環氧樹脂的含量為2~30質量份，(B)成分之樹脂的含量為70~98質量份，(C)成分之咪唑化合物的含量為0.1~5.0質量份，
    Figure 106140037-A0305-02-0030-2
     (式(I)中，R1、R2及R3各自獨立地為氫原子或碳原子數1~3之烷基，m為0或1，R4為碳原子數1~3之伸烷基或-CH2CH2COO-，R5為碳原子數5~10之烷基)。
  2. 如請求項1之樹脂組成物，其中前述(B)樹脂係由改性聚苯醚(改性PPE)樹脂、苯乙烯系熱可塑性彈性體及聚醯亞胺樹脂所成之群中選出的至少1種。
  3. 一種熱硬化性薄膜，其特徵係由如請求項1或2之樹脂組成物所形成。
  4. 一種樹脂硬化物，其特徵係經硬化之如請求項1或2之樹脂組成物或如請求項3之熱硬化性薄膜。
  5. 一種層合板，其特徵係包含如請求項4之樹脂硬化物。
  6. 一種印刷配線板，其特徵係包含如請求項4之樹脂硬化物。
  7. 一種半導體裝置，其特徵係包含如請求項4之樹脂硬化物。
TW106140037A 2016-11-24 2017-11-20 樹脂組成物、使用該組成物之熱硬化性薄膜、樹脂硬化物、層合板、印刷配線板及半導體裝置 TWI743251B (zh)

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