TWI564661B - 光敏樹脂組成物、使用其形成之圖案以及包含其之顯示面板 - Google Patents
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Description
本發明係關於一種光敏樹脂組成物、使用其形成之圖案以及包含該圖案之顯示面板。本發明請求於2012年5月25日提交韓國智慧財產局之韓國專利申請號第10-2012-0056398號之權益,所揭露內容係全部透過參照併入於此。
近年來,觸控螢幕已取得行動顯示裝置市場之顯著佔有率。觸控螢幕係透過以人手或使用一用於輸入之物件直接觸碰螢幕而操作,無須使用輸入裝置,如鍵盤或滑鼠。據此,易於執行大多數於螢幕上之操作,包括網際網路存取、移動影像、及多點觸控,因此觸控螢幕係為最便利的使用者介面之一。
用以實現觸控螢幕之方法的例子包括電阻覆蓋法、電容覆蓋法、超音波法、光學法、紅外線法等。基於電阻覆蓋法之觸控螢幕具有低耐久性及透光度之問題,且其實際上無法實現多點觸控。
解決關於電阻覆蓋法問題之方法係為電容覆蓋法。電容覆蓋法係為透過感應人體產生之微電流而操作該觸控螢幕之方法。基於電容覆蓋法之觸控螢幕使用固定電流,從而具有優異的觸控靈敏性,且尤其能夠實現多點觸控功能。再者,其優點在於,因其使用玻璃作為一覆蓋層,而具有良好的耐久性及90%以上的透光度,並且賦予高雅的感覺。然而,其缺點在於:輸入方式有所限制且生產成本高。
於習知用於製造一整合觸控螢幕面板(integrated touch screen panel)的方法中,透過網版印刷法使用墨水形成邊框層(bezel layer),從而其厚度大多為6μm以上,且平均為106μm。
然而,當提供一感測層於具有該厚度的邊框層時,因邊框層及該基板間的高度差而發生短路,使得其難以驅動感測器。
基於這樣的理由,目前亟需一種能夠替代習知用以形成邊框之墨水之材料,且該邊框為薄型、漸進錐度、並具有足夠的遮光性質。特別是,由於觸控感測器之電阻於用以形成其之高溫製程中係降低,該觸控螢幕面板需呈現高電阻,故具有克服觸控螢幕面板因邊框材料而性質劣化問題的需求。
此外,為了防止用以於邊框層上形成金屬線路之蝕刻製程及剝離製程中發生的分離現象(peeling phenomenon),發展一具有優異化學阻抗之邊框材料有其需
求。
先前技術文件
專利文件
專利文件1:韓國專利早期公開號第10-2008-0107846號。
本發明之主要目的在於提供一光敏樹脂組成物,其能夠於一顯示面板中形成一邊框圖案時,提供一薄、漸進錐度(gradually tapered)、且呈現足夠遮光能力及優異化學阻抗及/或熱阻之圖案。
本發明提供一光敏樹脂組成物,包括:一鹼可溶黏著劑;一可交聯化合物;一光聚合起始劑;一溶劑;一著色劑;以及一環氧黏著促進劑。
本發明亦提供一使用該光敏樹脂組成物形成之圖案。
本發明亦提供一用以製造一圖案之方法,該方
法包括以下步驟:塗佈上述該光敏樹脂組成物於一基材;以及曝光及顯影該塗佈之光敏樹脂組成物。
本發明亦提供一包含上述圖案之顯示面板。
依據本發明一實施例之光敏樹脂組成物係具有優異的絕緣性及遮光性,且於蝕刻製程及剝離製程中呈
現優異的化學抗性。因此,該光敏樹脂組成物可形成一具有漸進錐度的薄型邊框圖案層,於一顯示面板中,從而使其可能防止發生於金屬線路之短路,以及將高溫製程中的電阻降低現象最小化。
圖1顯示從一金屬分離之影像。具體而言,圖1(a)顯示來自比較例2步驟4之影像;圖1(b)顯示來自實施例1步驟5之影像;圖1(c)顯示來自實施例2步驟6之影像;圖1(d)顯示比較例12步驟2之影像;以及圖1(e)顯示實施例3步驟6之影像。
以下,將詳細描述本發明。
除非另有定義,使用於此之技術及科學術語具有與一般本領域通常知識人員理解相同之意義。
為了降低電容覆蓋法之生產成本問題,本案發明人發展一用於製造整合觸控螢幕面板之方法,其中,減少氧化銦錫(ITO)感測層之數量,或者一觸控感測器係直接接觸最外層之強化玻璃。在此情況下,可獲得改善觸控螢幕面板透光度及降低生產成本之功效。這樣的整合觸控面板係透過於覆蓋玻璃上塗佈一遮蔽邊框層、並於其上形成一觸控感測層所製造。
再者,本發明的發明人進行了廣泛的嘗試來解決上述問題,是以,發展一適合於觸控螢幕面板中形成圖
案之組成物,從而完成本發明。
本發明一實施例提供一光敏樹脂組成物,包括:一鹼可溶黏著劑;一可交聯化合物;一光聚合起始劑;一溶劑;一著色劑;以及一環氧黏著促進劑。
由於本發明之光敏樹脂組成物含有環氧黏著促進劑,其於一蝕刻製程及一剝離製程中具有提高的化學阻抗性。因此,其能透過防止分離現象發生,確保對金屬線路的黏著性。
本發明亦提供一光敏樹脂組成物,包括:一鹼可溶黏著劑;一可交聯化合物;一光聚合起始劑;一溶劑;一著色劑;一環氧黏著促進劑;以及一環氧黏著劑。
本發明之光敏樹脂組成物包含該環氧黏著劑以及該環氧黏著促進劑,從而相較於含有環氧黏著促進劑而不含環氧黏著劑之該組成物,於一蝕刻製程及一剝離製程中係具有提高的化學阻抗性。再者,由於防止分裂現象發生,對金屬線路層係具有提高的黏著性。
於本發明一實施例中,該環氧黏著劑特別選自由雙酚型環氧樹脂(bisphenol type epoxy resin)、酚醛型環氧樹脂(novolac type epoxy resin)、縮水甘油酯型環氧樹脂(glycidyl ester type epoxy resin)、縮水甘油胺環氧樹脂(glycidyl amine type epoxy resin)、直鏈型脂肪族環氧樹脂(linear aliphatic epoxy resin)、脂環式環氧樹脂(alicyclic epoxy resin)、及聯苯型環氧樹脂(biphenyl type epoxy resin)所組成之群組。
於本發明一實施例中,該環氧黏著劑具有5,000g/eq以下之環氧當量。
該環氧黏著劑可具有1至5,000g/eq之環氧當量。
該環氧黏著劑可具有200至400g/eq之環氧當量。
當該環氧當量為200g/eq以上時,該組成物之穩定性沒有問題,且當該環氧當量為400g/eq以下時,該組成物之黏著性沒有問題。
於此使用的術語「環氧當量(epoxide equivalent weight,EEW)」意指對應一個環氧反應基的分子量,其係為一透過將環氧樹脂之重量平均分子量除以每個分子的反應基數而獲得之值。
於本發明中,該重量平均分子量係為一使用凝膠滲透層析法(gel permeation chromatography,GPC)測得之值。
於本發明一實施例中,基於100重量份之全部黏著劑,該環氧黏著劑之含量為10至50重量份。
當基於100重量份全部黏著劑,該環氧黏著劑之含量為10重量份以上時,該組成物將因化學阻抗性的增加而對金屬具有優異的黏著性;並且當該環氧黏著劑之含量為50重量份以下時,其可能防止該組成物儲存穩定性的降低。
基於100重量份之全部黏著劑,該環氧黏著劑
之含量可為15至30重量份。
相較於該環氧黏著劑之含量為10重量份以上之情況,當基於100重量份全部黏著劑之該環氧黏著劑之含量為15重量份以上時,該組成物將因化學阻抗性的增加而對金屬具有優異的的黏著性;並且相較於該環氧黏著劑之含量為50重量份以下之情況,當該環氧黏著劑之含量為30重量份以下時,其可能防止該組成物儲存穩定性的降低。
於此使用的術語「全部黏著劑」係指該鹼可溶黏著劑及該環氧黏著劑之組合。
當基於100重量份之光敏樹脂組成物,該環氧黏著劑含量為1至10重量份。
當基於100重量份之光敏樹脂組成物,該環氧黏著劑含量為1重量份以上時,該組成物之黏著性沒有問題;且當基於100重量份之光敏樹脂組成物,該環氧黏著劑含量為10重量份以下時,該組成物之穩定性沒有問題,從而該組成物不會膠凝化。
於本發明一實施例中,該環氧黏著促進劑為一丙烯醯氧矽烷耦合劑(acryloyl silane coupling agent)或烷基三甲氧矽烷(alkyl trimethoxysilane)。
該丙烯醯氧矽烷耦合劑可為一種以上選自由甲基丙烯醯氧丙基三甲氧矽烷(methacryloyloxy propyltrimethoxysilane)、甲基丙烯醯氧丙基二甲氧矽烷(methacryloyloxy propyldimethoxysilane)、甲基丙烯醯氧丙基
三乙氧矽烷(methacryloyloxy propyltriethoxysilane)及甲基丙烯醯氧丙基二乙氧矽烷(methacryloyloxy propyldiethoxysilane)所組成之群組。
該烷基三甲氧矽烷可為一種以上選自由辛基三甲氧矽烷(octyl trimethoxysilane)、十二烷基三甲氧矽烷(dodecyl trimethoxysilane)及十八烷基三甲氧矽烷(octadecyl trimethoxysilane)所組成之群組。
於本發明一實施例中,該環氧黏著促進劑為半矽氧烷(silsesquioxane)。
於此使用的術語「黏著促進劑」係指一提高基材與光敏樹脂組成物間之黏著性之材料。
該黏著促進劑包括一具有矽醇基(silanol)之化合物。該矽醇基提供以保持該組成物對該基材之黏著性,並且對應矽醇基之一烷基及其類似基團提供額外功效。
於此使用的術語「環氧黏著促進劑」意指一包含於黏著促進劑中的含矽醇基化合物,其具有對應矽醇基之環氧基。
該環氧黏著促進劑提供以增加相較於使用一般黏著促進劑之膜硬化程度,造成在膜的化學阻抗性增加。於化學阻抗性測試後,此特性顯示透過矽醇基維持黏著性之功效。
於本發明一實施例中,基於100重量份之光敏樹脂組成物,該環氧黏著促進劑之含量為0.01至1重量份。
當該環氧黏著促進劑之含量為0.01重量份以
上時,將引發其添加功效;並且當該環氧黏著促進劑含量為1重量份以下時,將更提升其添加功效。
於本發明一實施例中,該鹼可溶黏著劑包括一個以上酚酞型黏著劑及丙烯酸黏著劑。
當使用於本發明之鹼可溶黏著劑為一酚酞型黏著劑及丙烯酸黏著劑之混合物時,該酚酞型黏著劑及該丙烯酸黏著劑可以1至99:99至1的比例混合。
該酚酞型黏著劑及該丙烯酸黏著劑可以50:50重量比混合。
當該酚酞型黏著劑或該丙烯酸黏著劑包含於該光敏樹脂組成物中,其在對基材之黏著性上呈現優異效果。
於本發明中,該酚酞型黏著劑為一樹脂,其具有一由兩個環狀結構鍵結至一四價碳原子之框架(framework)結構。
於本發明一實施例中,該酚酞型黏著劑包括一如下式1所示之重複單元:
將更進一步描述式1中的取代基。
式1之Rx可為一透過五員環羧酸酐或二異氰酸酯之反應形成之結構,但並不僅限於此。
五員環羧酸酐的例子包括,但並不限於:琥珀酸酐(succinic anhydride)、甲基琥珀酸酐(methylsuccinic anhydride)、2,2-二甲基琥珀酸酐(2,2-dimethylsuccinic anhydride)、異丁烯基琥珀酸酐(isobutenylsuccinic anhydride)、1,2-環己烷二碳酸酐(1,2-cyclohexanedicarbonic anhydride)、六氫-4-甲基酞酸酐(hexahydro-4-methylphthalic anhydride)、衣康酸酐(itaconic anhydride)、四氫鄰苯二甲酸酐(tetrahydrophthalic anhydride)、5-降冰片烯-2,3-二羧酸酐(5-norbornene-2,3-dicarbonic anhydride)、甲基-5-降冰片烯-2,3-二羧酸酐(methyl-5-norbornene-2,3-dicarbonic anhydride)、1,2,3,4-環丁烷四羧酸二酐(1,2,3,4-cyclobutanetetracarbonic dianhydride)、馬來酸酐(maleic anhydride)、檸康酸酐(citraconic anhydride)、2,3-二甲基馬來酸酐(2,3,-dimethylmaleic anhydride)、1-環戊烯-1,2-二羧酸酐(1-cyclopentene-1,2-dicarbonic dianhydride)、3,4,5,6-四氫鄰苯二甲酸酐(3,4,5,6-tetrahydrophthalic anhydride)、鄰苯二甲酸酐(phthalic anhydride)、雙鄰苯二甲酸酐(bisphthalic anhydride)、4-甲基鄰苯二甲酸酐(4-methylphthalic anhydride)、3,6-二氯鄰苯二甲酸酐(3,6-dichlorophthalic anhydride)、3-氫鄰苯二甲酸酐(3-hydrophthalic anhydride)、1,2,4-苯三羧酸酐(1,2,4-benzenetricarbonic anhydride)、4-硝基鄰苯二甲酸酐(4-nitrophthalic anhydride)及二甘醇-1,2-雙偏苯三酸酐
(diethyleneglycol-1,2-bistrimellitic anhydride)。
二異氰酸酯的例子包括,但並不限於:三亞甲基二異氰酸酯(trimethylene diisocyanate)、四亞甲基二異氰酸酯(tetramethylene diisocyanate)、六亞甲基二異氰酸酯(hexamethylene diisocyanate)、五亞甲基二異氰酸酯(pentamethylene diisocyanate)、1,2-亞丙基二異氰酸酯(1,2-propylene diisocyanate)、2,3-亞丁基二異氰酸酯(2,3-butylene diisocyanate)、1,3-亞丁基二異氰酸酯(1,3-butylene diisocyanate)、十二亞甲基二異氰酸酯(dodecamethylene diisocyanate)、2,4,4-三甲基六亞甲基二異氰酸酯(2,4,4-trimethyl hexamethylene diisocyanate)、w,w’-二異氰酸酯-1,3-二甲基苯(w,w′-diisocyanate-1,3-dimethylbenzene)、w,w’-二異氰酸酯-1,4-二甲基苯(w,w′-diisocyanate-1,4-dimethylbenzene)、w,w’-二異氰酸酯-1,3-二乙基苯(w,w′-diisocyanate-1,3-diethylbenzene)、w,w’-二異氰酸酯-1,4-二乙基苯(1,4-tetramethylxylene diisocyanate)、1,3-四亞甲基二異氰酸酯(1,3-tetramethylxylene diisocyanate)、異佛爾酮二異氰酸酯(isophorone diisocyanate)、1,3-環戊烷二異氰酸酯(1,3-cyclopentane diisocyanate)、1,3-環己烷二異氰酸酯(1,3-cyclohexane diisocyanate)、1,4-環己烷二異氰酸酯(1,4-cyclohexane diisocyanate)、甲基-2,4-環己烷二異氰酸酯(methyl-2,4-cyclohexane diisocyanate)、甲基-2,6-環己烷二異氰酸酯(methyl-2,6-cyclohexane diisocyanate)、4,4’-亞甲基
雙異氰酸酯甲基環己烷(4,4′-methylene bisisocyanate methylcyclohexane)、2,5-異氰酸酯甲基二環[2,2,2]戊烷(2,5-isocyanatemethyl bicyclo[2,2,2]heptane)及2,6-異氰酸酯甲基二環[2,2,2]戊烷(2,6-isocyanatemethyl bicyclo[2,2,1]heptane)。
式1之Ry可選自由氫、丙烯醯基、及甲基丙烯醯基所組成之群組,但並不僅限於此。
式1之R1至R3可各自獨立選自由氫、鹵基、經取代或未經取代之C1至C5烷基、經取代或未經取代之C1至C5烷氧基、及經取代或未經取代之C2至C5烯基所組成之群組。
式1之R4至R7可各自獨立選自由經取代或未經取代之C1至C5伸烷基、經取代或未經取代之之C1至C5伸烷氧基(alkoxylene)、及經取代或未經取代之C2至C5伸烯基。
該鹵基可為氟、氯、溴或碘。
該烷基可為直鏈或支鏈,經取代或未經取代,且其碳原子數並不特別限制,但可為1至5。該烷基的具體例子包括,但不限於:甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、叔丁基及其類似基團。
該伸烷基可為直鏈或支鏈,經取代或未經取代,且其碳原子數並不特別限制,但可為1至5。該伸烷基的具體例子包括,但不限於:伸甲基、伸乙基、伸丙基、異伸丙基、伸丁基、叔伸丁基及其類似基團。
該烷氧基可為直鏈或支鏈,經取代或未經取代,且其碳原子數並不特別限制,但可為1至5。該烷氧基的具體例子包括,但不限於:甲氧基、乙氧基、異丙氧基及其類似基團。
該伸烷氧基可為直鏈或支鏈,經取代或未經取代,且其碳原子數並不特別限制,但可為1至5。該伸烷氧基的具體例子包括,但不限於:伸甲氧基、伸乙氧基、伸異丙氧基及其類似基團。
該烯基可為直鏈或支鏈,經取代或未經取代,且其碳原子數並不特別限制,但可為1至5。該烯基的具體例子包括,但不限於:乙烯基、丙烯基、丁烯基、戊烯基及其類似基團。
該伸烯基可為直鏈或支鏈,經取代或未經取代,且其碳原子數並不特別限制,但可為1至5。該伸烯基的具體例子包括,但不限於:伸乙烯基、伸丙烯基、伸丁烯基、伸戊烯基及其類似基團。
每一取代基可為鹵基,經取代或未經取代之C1至C5烷基、經取代或未經取代之C1至C5烷氧基、及經取代或未經取代之C2至C5烯基。
式1中,l係為1至4之整數;m係為1至8之整數;以及n係為式1所示之重複單元數。
於本發明一實施例中,該酚酞型黏著劑具有10至200 KOH mg/g之酸價。
當該酚酞型黏著劑之酸價為10 KOH mg/g以上
時,該組成物於鹼性顯影溶液中將具有良好的溶解度,據此減少該組成物的顯影時間,並且不殘留於一基材上;並且當該酚酞型黏著劑之酸價為200 KOH mg/g以下時,可防止圖案脫附並可確保圖案的直線性。
該酚酞型黏著劑之酸價可為30至150 KOH mg/g。
當該酚酞型黏著劑之酸價為30 KOH mg/g以上時,顯影不會失敗;並且當該酚酞型黏著劑之酸價為150 KOH mg/g以下時,可確保圖案的顯影並無圖案損失。
於本發明一實施例中,該酚酞型黏著劑具有1,000至30,000之重量平均分子量。
當該酚酞型黏著劑之重量平均分子量為1,000以上時,該黏著劑將具有良好的黏著功能,且該圖案可抵抗物理性外力,從而不損失,並可滿足基礎物理性質,如耐熱性及化學抗性。當該酚酞型黏著劑之重量平均分子量為30,000以下時,該組成物於鹼性顯影溶液中將具有良好的顯影性,且其將具有良好的流動性,據此可控制塗佈厚度且可確保塗佈厚度之均勻性。
該酚酞型黏著劑之重量平均分子量可為1,500至10,000。
當該酚酞型黏著劑之重量平均分子量為1,500以上時,可充分形成一膜;並且當該酚酞型黏著劑之重量平均分子量為10,000以下時,可充分形成一膜而無圖案損失,並且可確保化學抗性。
於本發明一實施例中,該丙烯酸黏著劑為一由影響膜機械強度的單體、及影響鹼溶解度的單體所組成。
該丙烯酸黏著劑可提供以減少圖案錐角。
於此使用的用語「圖案錐角」係指圖案梯形的該底側與相鄰側之間的角度。
該丙烯酸黏著劑可為由影響膜機械強度的單體、及影響鹼溶解度的單體所組成,且額外也可提供以減少圖案錐角。
用於控制膜機械強度及錐角的單體可為一種以上選自由:不飽和羧酸酯(unsaturated carboxylic esters),如苄基(甲基)丙烯酸酯(benzyl(meth)acrylate)、甲基(甲基)丙烯酸酯(methyl(meth)acrylate)、乙基(甲基)丙烯酸酯(ethyl(meth)acrylate)、丁基(甲基)丙烯酸酯(butyl(meth)acrylate)、二甲基胺基乙基(甲基)dimethylaminoethyl(meth)acrylate)、異丁基(甲基)丙烯酸酯(isobutyl(meth)acrylate)、叔丁基(甲基)丙烯酸酯(t-butyl(meth)acrylate)、環己基(甲基)丙烯酸酯(cyclohexyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸異冰片酯(isobonyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸乙基己基酯(ethylhexyl(meth)acrylate)、2-苯氧基乙基(甲基)丙烯酸酯(2-phenoxyethyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸四氫糠基酯(tetrahydrofurfuryl(meth)acrylate)、羥乙基(甲基)丙烯酸酯(hydroxyethyl(meth)acrylate)、2-羥丙基(甲基)丙烯酸酯(2-hydroxypropyl(meth)acrylate)、2-羥基-3-氯丙基(甲基)丙烯
酸酯(2-hydroxy-3-chloropropyl(meth)acrylate)、4-羥基(甲基)丙烯酸酯(4-hydroxybutyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸甘油酯(glycerol(meth)acrylate)、2-甲氧基丁基(甲基)丙烯酸酯(2-methoxyethyl(meth)acrylate)、3-甲氧基丁基(甲基)丙烯酸酯(3-methoxybutyl(meth)acrylate)、乙氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯(ethoxydiethyleneglycol(meth)acrylate)、甲氧基三乙二醇(甲基)丙烯酸酯(methoxytriethyleneglycol(meth)acrylate)、甲氧基三丙二醇(甲基)丙烯酸酯(methoxytripropyleneglycol(meth)acrylate)、聚(乙二醇)甲基醚(甲基)丙烯酸酯(poly(ethyleneglycol)methylether(meth)acrylate)、苯氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯(phenoxydiethyleneglycol(meth)acrylate)、對壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯(p-nonylphenoxypolyethyleneglycol(meth)acrylate)、對壬基苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯(p-nonylphenoxypolypropyleneglycol(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯(glycidyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸二環戊酯(dicyclopentanyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯(dicyclopentenyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸二環戊烯氧乙基酯(dicyclopentenyloxyethyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸異冰片酯(isobonyl(meth)acrylate)、金剛烷基(甲基)丙烯酸酯(adamentyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸十八烷酯(stearyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸己酯(hexyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸庚酯
(heptyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸辛酯(octyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸壬酯(nonyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸癸酯(decyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸月桂酯(lauryl(meth)acrylate)、甲基α-羥基甲基丙烯酸酯(methyl α-hydroxymethyl acrylate)、乙基α-羥基甲基丙烯酸酯(ethyl α-hydroxymethyl acrylate)、丙基α-羥基甲基丙烯酸酯(propyl α-hydroxymethyl acrylate)及丁基α-羥基甲基丙烯酸酯(butyl α-hydroxymethyl acrylate);芳族乙烯(aromatic vinyls),例如苯乙烯(styrene)、α-甲基苯乙烯(α-methylstyrene)、(o,m,p)-乙烯基甲苯((o,m,p)-vinyltoluene)、(o,m,p)-甲氧苯乙烯((o,m,p)-methoxystyrene)及(o,m,p)-氯苯乙烯((o,m,p)-chlorostyrene);不飽和醚,例如乙烯基甲醚(vinyl methyl ether)、乙烯基乙醚(vinyl ethyl ether)及烯丙基縮水甘油醚(allyl glycidyl ether);不飽和醯亞胺,例如N-苯基馬來醯亞胺(N-phenyl maleimide)、N-(4-氯苯基)馬來醯亞胺(N-(4-chlorophenyl)maleimide)、N-(4-羥基苯基)馬來醯亞胺(N-(4-hydroxyphenyl)maleimide)、N-環己基馬來醯亞胺(N-cyclohexyl maleimide);以及馬來酸酐(maleic anhydrides),例如馬來酸酐(maleic anhydride)和甲基馬來酸酐(methylmaleic anhydride)所組成之群組。使用兩種以上選自上述單體是有效的。具體而言,該丙烯酸黏著劑可包括1-30莫耳當量之具有6至18個碳原子之經取代單體,但不以此為限。
影響鹼溶解度之單體較佳可為一種以上選自
由(甲基)丙烯酸((meth)acrylic acid)、巴豆酸(crotonic acid)、衣康酸(itaconic acid)、馬來酸(maleic acid)、富馬酸(fumaric acid)、單甲基馬來酸(monomethyl maleic acid)、5-冰片烯-2-羧酸(5-nobonen-2-carboxylic acid)、單-2-((甲基)丙烯醯氧基)乙基鄰苯二甲酸酯(mono-2-((meth)acryloyloxy)ethyl phthalate)、單-2-((甲基)丙烯醯氧基)乙基琥珀酸酯(mono-2-((meth)acryloyloxy)ethyl succinate)及ω-羧基聚己內酯單(甲基)丙烯酸酯(ω-carboxypolycaprolactone mono(metha)acrylate)所組成之群組,但不以此為限。
於本發明一實施例中,該丙烯酸黏著劑具有10至200 KOH mg/g之酸價。
當該丙烯酸黏著劑之酸價為10 KOH mg/g以上時,該組成物於鹼性顯影溶液中將具有良好的溶解度,據此減少該組成物的顯影時間,並且不殘留於一基材上;並且當該丙烯酸黏著劑之酸價為200 KOH mg/g以下時,可防止圖案脫附,可確保圖案的直線性,並且該圖案錐角將不超過90°。
該丙烯酸黏著劑可具有30至150 KOH mg/g之酸價。
當該丙烯酸黏著劑之酸價為30 KOH mg/g以上時,顯影不會失敗;並且當該丙烯酸黏著劑之酸價為150 KOH mg/g以下時,可確保圖案的顯影而無圖案損失。
於本發明一實施例中,該丙烯酸黏著劑具有1,000至50,000之重量平均分子量。
當該丙烯酸黏著劑之重量平均分子量為1,000以上時,該黏著劑將具有良好的黏著功能,且該圖案可抵抗物理性外力,從而不損失,並可滿足基礎物理性質,如耐熱性及化學抗性。當該丙烯酸黏著劑之重量平均分子量為50,000以下時,該組成物於鹼性顯影溶液中將具有良好的顯影性,且其將具有良好的流動性,據此可控制塗佈厚度且可確保塗佈厚度之均勻性。
該丙烯酸黏著劑之重量平均分子量可為2,000至30,000。
當該丙烯酸黏著劑之重量平均分子量為2,000以上時,可充分形成一膜;並且當該丙烯酸黏著劑之重量平均分子量為30,000以下時,可充分形成一膜而無圖案損失,並且可確保化學抗性。
於本發明一實施例中,基於100重量份之光敏樹脂組成物,該鹼可溶黏著劑之含量為1至20重量份。
當該鹼可溶黏著劑含量為1重量份以上時,所形成圖案之黏著性不會減少,且以鹼性水溶液圖案化是可能的;並且當該鹼可溶黏著劑含量為20重量份以下時,所形成圖案之強度及靈敏性不會降低,且於顯影過程中不會損失該圖案。
基於100重量份之光敏樹脂組成物,該鹼可溶黏著劑含量可為1至10重量份。
當該鹼可溶黏著劑含量為10重量份以下時,可確保圖案的顯影而無圖案損失。
於本發明一實施例中,該可交聯化合物為一具有乙烯性不飽和雙鍵之多官能基單體。
該可交聯化合物可為一種以上之具有100℃以上沸點、且於分子中含有一種以上額外可聚合不飽和官能基之化合物,以及含有己內酯導入其中之多官能基單體。
該具有100℃以上沸點、且於分子中含有一種以上額外可聚合不飽和官能基之化合物,可為一種以上選自由:單官能基單體,例如聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯(polyethyleneglycol mono(meth)acrylate)、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯(polypropyleneglycol mono(meth)acrylate)、和(甲基)丙烯酸苯氧基乙基酯(phenoxyethyl(meth)acrylate);以及多官能基單體,例如(甲基)丙烯酸聚乙二醇酯(polyethyleneglycol(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸聚丙二醇酯(polypropyleneglycol(meth)acrylate)、三羥甲基乙烷三丙烯酸酯(trimethylolethane triacrylate)、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯(trimethylolpropane triacrylate)、(甲基)丙烯酸新戊二醇酯(neopentylglycol(meth)acrylate)、季戊四醇四丙烯酸酯(pentaerythritol tetraacrylate)、季戊四醇三丙烯酸酯(pentaerythritol triacrylate)、二季戊四醇五丙烯酸酯(dipentaerythritol pentaacrylate)和二季戊四醇六丙烯酸酯(dipentaerythritol hexaacrylate)所組成之群組,但不以此為限。
該含有己內酯導入其中之多官能基單體可為一種以上選自由:導入二季戊四醇之化合物(compounds
introduced into dipentaerythritol),例如KAYARAD DPCA-20、KAYARAD DPCA-30、KAYARAD DPCA-60及KAYARAD DPCA-120;導入丙烯酸四氫糠酯之化合物(compounds introduced into tetrahydrofurfuryl acrylate),例如KAYARAD TC-110S;導入新戊二醇羥基之化合物(compounds introduced into neopentyl glycol hydroxypivalate),例如KAYARAD HX-220及KAYARAD HK-620;環氧醚(epoxy ester)200PA、環氧醚(epoxy ester)3002M、環氧醚(epoxy ester)3002A及環氧醚(epoxy ester)3000M(Kyoeisha化學股份有限公司製造);以及氨基甲酸酯丙烯酸酯(urethane acrylates),例如UA306H、UA306T、UA306I、UA510H、UF8001、U-324A、U15HA和U-4HA(Kyoeisha化學股份有限公司製造),但並不僅限於此。
於本發明一實施例中,基於100重量份之光敏樹脂組成物,該可交聯化合物之含量為1至10重量份。
當該可交聯化合物含量為1重量份以上時,其具有防止任何塗佈膜之光敏性或強度劣化的功效;當該可交聯化合物含量為10重量份以下時,其具有防止光敏層黏著性過度增加的效果,從而得到充分的膜強度,並防止圖案在顯影過程中損失。
於本發明一實施例中,該光聚合起始劑可為一種以上選自由苯乙酮系化合物(acetophenone-based compound)、二咪唑系化合物(biimidazole-based compound)、三嗪系化合物(triazine-based compound)、及肟系化合物
(oxime-based compound)所組成之群組。
苯乙酮系化合物可為一種以上選自由:2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮(2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one)、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙-1-酮(1-(4-isopropylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one)、4-(2-羥基乙氧基)-苯基-(2-羥基-2-丙基)酮(4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl-(2-hydroxy-2-propyl)ketone)、1-羥基環己基苯基酮(1-hydroxycyclohexylphenylketone)、苯偶姻甲醚(benzoin methyl ether)、苯偶姻乙醚(benzoin ethyl ether)、苯偶姻異丁醚(benzoin isobutyl ether)、苯偶姻丁醚(benzoin butyl ether)、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮(2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone)、2-甲基-(4-甲硫基)苯基-2-嗎啉代-1-丙-1-酮(2-methyl-(4-methylthio)phenyl-2-morpholino-1-propan-1-one)、2-芐基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁-1-酮(2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butan-1-one)、2-(4-溴-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁-1-酮(2-(4-bromo-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butan-1-one)、及2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮(2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-propan-1-one)所組成之群組,但不僅限於此。
該二咪唑系化合物可為一種以上選自由:2,2-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基聯咪唑
(2,2-bis(2-chlorophenyl)-4,4′,5,5′-tetraphenyl biimidazole)、2,2'-雙(鄰氯苯基)-4,4',5,5'-四(3,4,5-三甲氧基苯基)-1,2'-聯咪唑(2,2'-bis(o-chlorophenyl)-4,4',5,5'-tetrakis(3,4,5-trimethoxyphenyl)-1,2'-biimidazole)、2,2'-雙(2,3-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基聯咪唑(2,2'-bis(2,3-dichlorophenyl)-4,4',5,5'-tetraphenyl biimidazole)、2,2'-雙(鄰-氯苯基)-4,4,5,5'-四苯基-1,2'-聯咪唑(2,2'-bis(o-chlorophenyl)-4,4,5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole)所組成之群組,但不僅限於此。
該三嗪系化合物可為一種以上選自由:3-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}丙酸(3-{4-[2,4-bis(trichloromethyl)-s-triazine-6-yl]phenylthio}propionic acid)、1,1,1,3,3,3-六氟異丙基-3-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}丙酸乙酯(1,1,1,3,3,3-hexafluoroisopropyl-3-{4-[2,4-bis(trichloromethyl)-s-triazine-6-yl]phenylthio}propionate)、乙基-2-{4-[2,4-雙(三氯甲基-s-三嗪-6-基]苯硫基}乙酸甲酯(ethyl-2-{4-[2,4-bis(trichloromethyl)-s-triazine-6-yl]phenylthio}acetate)、2-環氧乙基-2-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}乙酸甲酯(2-epoxyethyl-2-{4-[2,4-bis(trichloromethyl)-s-triazine-6-yl]phenylthio}acetate)、環己基-2-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}乙酸甲酯(cyclohexyl-2-{4-[2,4-bis(trichloromethyl)-s-triazine-6-yl]phenylthio}acetate)、芐基-2-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}乙酸甲酯(benzyl-2-{4
-[2,4-bis(trichloromethyl)-s-triazine-6-yl]phenylthio}acetate)、3-{氯-4-[2,4-雙(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}丙酸(3-{chloro-4-[2,4-bis(trichloromethyl)-s-triazine-6-yl]phenylthio}propionic acid)、3-{4-[2,4-雙(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}丙醯胺(3-{4-[2,4-bis(trichloromethyl)-s-triazine-6-yl]phenylthio}propionamide)、2,4-雙(三氯甲基)-6-對甲氧基苯乙烯基-S-三嗪(2,4-bis(trichloromethyl)-6-p-methoxystyryl-s-triazine)、2,4-雙(三氯甲基)-6-(1-對-二甲基氨基苯基)-1,3-丁二烯基-s-三嗪(2,4-bis(trichloromethyl)-6-(1-p-dimethylaminophenyl)-1,3,-butadienyl-s-triazine)、及2-三氯甲基-4-氨基-6-對甲氧基苯乙烯基-s-三嗪(2-trichloromethyl-4-amino-6-p-methoxystyryl-s-triazine)所組成之群組,但不僅限於此。
該肟系化合物可為一種以上選自由:1,2-辛二酮-1-(4-苯硫基)苯基-2-(鄰-苯甲酰基肟)(1,2-octadione-1-(4-phenylthio)phenyl-2-(o-benzoyloxime),Ciba-Geigy公司製造之CGI)、乙酮-1-(9-乙基)-6-(2-甲基苯甲醯基-3-基)-1-(鄰-乙醯基肟)(ethanone-1-(9-ethyl)-6-(2-methylbenzoyl-3-yl)-1-(o-acetyloxime),Ciba-Geigy公司製造之CGI 242)、及Adeka有限公司製造之N-1919所組成之群組,但不僅限於此。
於本發明一實施例中,基於100重量份之光敏樹脂組成物,該光聚合起始劑之含量為0.1至10重量份。
當該光聚合起始劑含量為0.1重量份以上時,
將引發其添加功效;當含量為10重量份以下時,將更提升其添加功效。
該光聚合起始劑於一曝光負型光阻及在曝光下形成自由基之製程下作為一起始劑,並透過自由基之連鎖反應形成一光阻膜。
於本發明一實施例中,基於100重量份之黏著劑及具有乙烯性不飽和雙鍵之多官能基單體之總和,於該光敏樹脂組成物中,該光聚合起始劑之含量為1至300重量份。
該用於本發明之光聚合起始劑可為一個或兩個以上選自由苯乙酮系化合物、二咪唑系化合物、三嗪系化合物、及肟系化合物所組成之混合物。
在顯影能力、圖案性質及曝光波長的組合的考量下,可選擇該光聚合起始劑,並且該肟系起始劑即便使用在長波長範圍光線中,仍具有良好的起始效率。
該苯乙酮系化合物之含量可為1至300重量份,且較佳為1至200重量份。
該二咪唑系化合物之含量可為1至300重量份,且較佳為1至100重量份。
該三嗪系化合物之含量可為1至300重量份,且較佳為1至100重量份。
該肟系化合物之含量可為1至300重量份,且較佳為1至50重量份。
於本發明一實施例中,該光聚合起始劑可包含:
一用以促進自由基產生之光交聯敏化劑,或一用以加速硬化之硬化加速劑作為輔助成分。
該光聚合起始劑可包含:該光交聯敏化劑及該硬化加速劑兩者作為輔助成分。
基於100重量份光聚合起始劑,該光交聯敏化劑或硬化加速劑之含量可為0.01至10重量份。
當該光聚合起始劑為0.01重量份以上時,將引發其之添加功效;當含量為10重量份以下時,將進一步提升其之添加功效。
於此使用之術語「光交聯敏化劑」係指一材料之功能為接收能量並轉移三重態能量至其他分子。
舉例而言,在相對長波長(365nm,I-Line)中呈現良好吸收力之材料可接收能量,並轉移能量至一與波長為315nm之光線反應之起始劑。
該光交聯敏化劑可為一種以上選自由:苯甲酮系化合物(benzophenone-based compounds),例如苯甲酮(benzophenone)、4,4-雙(二甲基氨基)二苯甲酮(4,4-bis(dimethylamino)benzophenone)、4,4-雙(二乙基氨基)二苯甲酮(4,4-bis(diethylamino)benzophenone)、2,4,6-三甲基氨基二苯甲酮,甲基鄰苯甲酰(2,4,6-trimethylaminobenzophenoue,methyl-o-benzoyl benzoate)、3,3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮(3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone)、及3,3,4,4-四(叔丁基過氧化羰基)二苯甲酮
(3,3,4,4-tetra(t-butylperoxycarbonyl)benzophenone);芴系化合物(fluorenone-based compounds),例如-9芴(9-fluorenone)、2-氯-9-芴(2-chloro-9-fluorenone)、及2-甲基-9-芴(2-methyl-9-fluorenone);硫雜蒽酮系化合物(thioxanthone-based compounds),例如硫雜蒽酮(thioxanthone)、2,4-二乙基硫雜蒽酮(2,4-diethyl thioxanthone)、2-氯硫雜蒽酮(2-chloro thioxanthone)、1-氯-4-丙氧基硫雜蒽酮(1-chloro-4-propyloxy thioxanthone)、異丙基硫雜蒽酮(isopropylthioxanthone)、及二異丙基硫雜蒽酮(diisopropylthioxanthone);氧雜蒽酮系化合物(xanthone-based compounds),例如氧雜蒽酮(xanthone)及2-甲基氧雜蒽酮(2-methylxanthone);蒽醌系化合物(anthraquinone-based compounds),例如蒽醌(anthraquinone)、2-甲基蒽醌(2-methyl anthraquinone)、2-乙基蒽醌(2-ethyl anthraquinone)、叔丁基蒽醌(t-butyl anthraquinone)、及2,6-二氯-9,10-蒽醌(2,6-dichloro-9,10-anthraquinone);吖啶系化合物(acridine-based compounds),例如9-苯基吖啶(9-phenylacridine)、1,7-雙(9-吖啶基)庚烷(1,7-bis(9-acridinyl)heptane)、1,5-雙(9-吖啶基戊烷)(1,5-bis(9-acridinylpentane))、及1,3-雙(9-吖啶基)丙烷(1,3-bis(9-acridinyl)propane);二羰基化合物(dicarbonyl compounds),例如芐(benzyl)、1,7,7-三甲基-二環[2,2,1]庚烷-2,3-二酮(1,7,7-trimethyl-bicyclo[2,2,1]heptane-2,3-dion)、及9,10-菲醌(9,10-phenanthrenequinone);氧化膦系化合物
(phosphine oxide-based compounds),例如2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基氧化膦(2,4,6-trimethylbenzoyl diphenylphosphine oxide)及雙(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2,4,4-三甲基戊基氧化膦(bis(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide);苯甲酸系化合物(benzoate-based compounds),例如甲基-4-(二甲基氨基)苯甲酸甲酯(methyl-4-(dimethylamino)benzoate)、乙基-4-(二甲基氨基)苯甲酸甲酯(ethyl-4-(dimethylamino)benzoate)、及2-正丁氧基-4-(二甲基氨基)苯甲酸甲酯(2-n-butoxyethyl-4-(dimethylamino)benzoate);氨基酸增效劑(amino synergists),例如2,5-雙(4-二乙氨基亞芐基)環戊酮(2,5-bis(4-diethylaminobenzal)cyclopentanone)、2,6-雙(4-二乙基氨基)環己酮(2,6-bis(4-diethylaminobenzal)cyclohexanone)、及2,6-雙(4-二乙基氨基)-4-甲基-2-環戊酮(2,6-bis(4-diethylaminobenzal)-4-methyl-cyclopentanone);香豆素系化合物(coumarin-based compounds),例如3,3-羰基乙烯基-7-(二乙基氨基)香豆素(3,3-carbonylvinyl-7-(diethylamino)coumarin)、3-(2-苯並噻唑基)-7-(二乙基氨基)香豆素(3-(2-benzothiazolyl)-7-(diethylamino)coumarin)、3-苯甲醯基-7-(二乙基氨基)香豆素(3-benzoyl-7-(diethylamino)coumarin)、3-苯甲醯基-7-甲氧基香豆素(3-benzoyl-7-methoxy-coumarin)、及10,10-羰基雙
[1,1,7,7-四甲基-2,3,6,7-四氫-1H,5H,11H,C1]-苯並吡喃[6,7,8-ij]-喹嗪-11-酮(10,10-carbonylbis[1,1,7,7-tetramethyl-2,3,6,7-tetrahydro-1H,5H,11H-C1]-benzopyrano[6,7,8-ij]-quinolizin-11-one);查爾酮化合物(chalcone compound),例如4-二乙基氨基查耳酮(4-diethylamino chalcone)及4-疊氮亞芐基苯乙酮(4-azidbenzalacetophenone);2-亞甲基苯甲醯(2-benzoylmethylene)、及3-甲基-β-萘並噻唑啉(3-methyl-b-naphthothiazoline)所組成之群組,但不僅限於此。
該硬化加速劑可為一種以上選自由:2-巰基苯並咪唑(2-mercaptobenzoimidazole)、2-巰基苯並噻唑(2-mercaptobenzothiazol)、2-巰基苯並噁唑(2-mercaptobenzooxazole)、2,5-二巰基-1,3,4-噻二唑(2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole)、2-巰基-4,6-二甲基氨基吡啶(2-mercapto-4,6-dimethylaminopyridine)、季戊四醇-四(3-巰基丙酸酯)(pentaerythritol-tetrakis(3-mercaptopropionate))、季戊四醇三(3-巰基丙酸酯)(pentaerythritol-tris(3-mercaptopropionate))、季戊四醇-四(2-巰基乙酸酯)(pentaerythritol-tetrakis(2-mercaptoacetate))、季戊四醇酯-三(2-巰基乙酸酯)(pentaerythritol-tris(2-mercaptoacetate))、三羥甲基丙烷-三(2-巰基乙酸酯)(trimethylolpropane-tris(2-mercaptoacetate))、及三羥甲基丙烷-三(3-巰基丙酸酯)
(trimethylolpropane-tris(3-mercaptopropionate))所組成之群組,但不僅限於此。
於本發明一實施例中,在考量溶解度、顏料分散性、塗佈性及類似性質下,可選擇該溶劑。
該溶劑可為一種以上、或兩種以上之混合物係選自由:甲基-3-甲氧基丙酸(methyl-3-methoxy propionate,144℃)、乙二醇甲醚(ethyleneglycol methylether,125℃)、乙二醇乙醚(ethyleneglycol ethylether,135℃)、乙二醇二乙醚(ethyleneglycol diethylether,121℃)、二丁醚(dibutylether,140℃)、丙酮酸乙酯(ethyl pyruvate,144℃)、丙二醇甲基醚(propyleneglycol methylether,121℃)、丙二醇甲基醚乙酸酯(propyleneglycol methylether acetate,146℃)、乙酸正丁酯(n-butyl acetate,125℃)、乙酸異丁酯(isobutyl acetate,116℃)、乙酸戊酯(amyl acetate,149℃)、乙酸異戊酯(isoamyl acetate,143℃)、丙酸丁酯(butyl propionate,146℃)、丙酸異戊酯(isoamyl propionate,156℃)、丁酸乙酯(ethyl butyrate,120℃)、丁酸丙酯(propyl butyrate,143℃)、甲基-3-甲氧基異丁酯(methyl-3-methoxyisobutyrate,148℃)、乙醇酸甲酯(methyl glycolate,150℃)、乳酸甲酯(methyl lactate,145℃)、乳酸乙酯(ethyl lactate,154℃)、甲基-2-羥基異丁酸酯(methyl-2-hydroxyisobutyrate,137℃)、乙基乙氧基醋酸酯(ethylethoxy acetate,156℃)、2-甲氧基乙基醋酸酯酸酯(2-methoxyethyl acetate,145℃)、乙二醇甲醚醋酸酯(ethyleneglycol methylether acetate,145℃)、2-乙氧基乙
基醋酸酯(2-ethoxyethylacetate,156℃)、二丁醚(dibutylether,140℃)、環戊酮(cyclopentanone,131℃)、環己酮(cyclohexanone,155℃)、2-己酮(2-hexanone,127℃)、3-己酮(3-hexanone,123℃)、5-甲基-2-己酮(5-methyl-2-hexanone,145℃)、2-庚酮(2-heptanone,150℃)、3-庚酮(3-heptanone,148℃)、4-庚酮(4-heptanone,145℃)、2-甲基-3-庚酮(2-methyl-3-heptanone,159℃)、1-甲氧基-2-丙醇(1-methoxy-2-propanol,118℃)、乙基-2-羥基-丙酸酯(ethyl-2-hydroxy-propionate,154℃)、乙基-3-甲氧基丙酸酯(ethyl-3-methoxypropionate,158℃)、2-甲氧基乙基醚(2-methoxyethylether,162℃)、3-甲氧基丁基醋酸酯(3-methoxybutylacetate,170℃)、2-乙氧基乙基醚(2-ethoxyethyl ether,185℃)、2-丁氧基乙醇(2-butoxyethanol,171℃)、3-乙氧基丙醇(3-ethoxy-propanol,161℃)、二乙二醇十二烷基醚(diethylene glycol dodecylether,169℃)、一縮二丙二醇甲基醚(dipropylene glycol methylether,188℃)、2,6-二甲基-4-庚酮(2,6-dimethyl-4-hepatanone,169℃)、2-辛酮(2-octanone,173℃)、3-辛酮(3-octanone,168℃)、3-壬酮(3-nonanone,188℃)、5-壬酮(5-nonanone,187℃)、4-羥基-4-甲基-2-戊酮(4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone,166℃)、2-甲基環己酮(2-methylcyclohexanone,163℃)、3-甲基環己酮(3-methylcyclohexanone,170℃)、4-甲基環己酮(4-methylcyclohexanone,170℃)、2,6-二甲基環己酮(2,6-dimethylcyclohexanone,175℃)、2,2,6-三甲基環己酮
(2,2,6-trimethylcyclohexanone,179℃)、環庚酮(cycloheptanone,179℃)、乙酸己酯(hexyl acetate,169℃)、丁酸戊酯(amyl butyrate,185℃)、乳酸異丙酯(isopropyl lactate,167℃)、乳酸丁酯(butyl lactate,186℃)、乙基-3-羥基丁酸酯(ethyl-3-hydroxybutyrate,170℃)、乙基-3-乙氧基丁酸酯(ethyl-3-ethoxybutyrate,170℃)、乙基-3-羥基丙酸酯(ethyl-3-hydroxybutyrate,180℃)、丙基-2-羥基丙酸甲酯(propyl-2-hydroxypropionate,169℃)、丙二醇二乙酸酯(propyleneglycol diacetate,186℃)、丙二醇丁醚(propyleneglycol butylether,170℃)、丙二醇甲醚丙酸酯(propyleneglycol methylether propionate,160℃)、二甘醇二甲醚(diethyleneglycol dimethyl ether,162℃)、二甘醇二甲基醚乙酸酯(diethyleneglycol dimethyl ether acetate,165℃)、二丙二醇甲醚(dipropyleneglycol methylether,188℃)、二丙二醇二甲醚(dipropyleneglycol dimethylether,171℃)、乙二醇丁醚(ethyleneglycol butylether,171℃)、二甘醇甲乙醚(diethyleneglycol methylethylether,176℃)、二甘醇甲基異丙基醚(diethyleneglycol methylisopropylether,179℃)、二甘醇二乙醚(diethyleneglycol diethylether,189℃)、丁酸丁酯(butyl butyrate,165℃)、乙基-3-乙氧基丙酸酯(ethyl-3-ethoxypropionate,170℃)、二甘醇甘醇單甲醚(diethyleneglycol monomethylether,194℃)、4-乙基環己酮(4-ethylcyclohexanone,193℃)、2-丁氧基乙基醋酸酯(2-butoxyethyl acetate,192℃)、二甘醇單乙醚
(diethyleneglycol monoethylether,202℃)、丁內酯(butyrolactone,204℃)、丁酸己酯(hexyl butyrate,205℃)、二甘醇甲基醚乙酸酯(diethyleneglycol methylether acetate,209℃)、二甘醇丁基甲基醚(diethyleneglycol butyl methyl ether,212℃)、三丙甘醇二甲醚(tripropylglycol dimethyl ether,215℃)、三甘醇二甲醚(triethyleneglycol dimethylether,216℃)、二甘醇乙醚乙酸酯(diethyleneglycol ethylether acetate,217℃)、二甘醇丁醚乙酸酯(diethyleneglycol butylether acetate,245℃)、3-環氧基-1,2-丙二醇(3-epoxy-1,2-propanediol,222℃)、乙基-4-乙醯丁酸酯(ethyl-4-acetylbutyrate,222℃)、二乙二醇單丁醚(diethyleneglycol monobutylether,231℃)、三丙二醇甲基醚(tripropylglycol methyl ether,242℃)、二甘醇(diethyleneglycol,245℃)、2-(2-丁氧基乙氧基)乙酸乙酯(2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate,245℃)、鄰苯二酚(catechol,245℃)、三乙二醇甲醚(triethyleneglycol methylether,249℃)、二甘醇二丁醚(diethyleneglycol dibutylether,256℃)、三乙二醇乙醚(triethyleneglycol ethylether,256℃)、二甘醇單庚醚(diethyleneglycol monoheptylether,260℃)、三甘醇丁基甲基醚(triethyleneglycol butyl methy ether,261℃)、三乙二醇丁基醚(triethyleneglycol butylether,271℃)、三丙甘醇(tripropylglycol,273℃)及四乙二醇二甲醚(tetraethyleneglycol dimethylether,276℃),括號中的是所用溶劑的沸點溫度。
當該溶劑僅以具有低沸點的材料組成時,該膜可於塗佈後在一真空腔乾燥製程(VCD)中快速乾燥,此可能引起VCD缺陷。在旋式組成物的情況中,清洗邊珠去除器的效果可能會減少;在非旋式(spinless-type)組成物中,在塗佈機中的溶液可能會乾燥,其可造成突出狀況。為防止這些現象,使用於本發明之溶劑可為兩種以上之上述溶劑之混合物。
著色劑可直接添加於該光敏樹脂組成物中,或者含有著色劑之組成物也可直接添加至該光敏樹脂組成物中。
該著色劑組成物可含有著色劑和至少一種黏著劑、溶劑以及分散劑。
於本發明一實施例中,用於本發明之該著色劑可僅為一黑色顏料、或一黑色顏料及一彩色顏料之混合物。
該黑色顏料可為具有1011Ω.cm以上表面電阻之碳黑,其透過處理碳黑以使其具有高電阻而獲得,或者可為一碳黑與有機黑色顏料之混合物。當該有機黑色顏料添加至該黑色顏料時,其將提高平均光學密度並校正該平均光學密度在每單位波長下統一,從而該組成物將具有高度遮光性質。
該碳黑可為一種或兩種以上之混合物係選自由下列材料:Donghae Carbon有限公司製造之Cisto 5HIISAF-HS、Cisto KH、Cisto 3HHAF-HS、Cisto NH、Cisto 3M、
Cisto 300HAF-LS、Cisto 116HMMAF-HS、Cisto 116MAF、Cisto FMFEF-HS、Cisto SOFEF、Cisto VGPF、Cisto SVHSRF-HS、及Cisto SSRF;Tokushiki有限公司製造之BK_8132;Mitsubishi Chemical有限公司製造之Diagram black II、Diagram black N339、Diagram black SH、Diagram black H、Diagram LH、Diagram HA、Diagram SF、Diagram N550M、Diagram M、Diagram E、Diagram G、Diagram R、Diagram N760M、Diagram LR、#2700、#2600、#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#900、MCF88、#52、#50、#47、#45、#45L、#25、#CF9、#95、#3030、#3050、MA7、MA77、MA8、MA11、MA100、MA40、OIL7B、OIL9B、OIL11B、OIL30B、及OIL31B;Degussa有限公司製造之PRINTEX-U、PRINTEX-V、PRINTEX-140U、PRINTEX-140V、PRINTEX-95、PRINTEX-85、PRINTEX-75、PRINTEX-55、PRINTEX-45、PRINTEX-300、PRINTEX-35、PRINTEX-25、PRINTEX-200、PRINTEX-40、PRINTEX-30、PRINTEX-3、PRINTEX-A、SPECIAL BLACK-550、SPECIAL BLACK-350、SPECIAL BLACK-250、SPECIAL BLACK-100、及LAMP BLACK-101;以及Columbia Carbon有限公司製造之RAVEN-1100ULTRA、RAVEN-1080ULTRA、RAVEN-1060ULTRA、RAVEN-1040、RAVEN-1035、RAVEN-1020、RAVEN-1000、RAVEN-890H、RAVEN-890、RAVEN-880ULTRA、RAVEN-860ULTRA、RAVEN-850、RAVEN-820、RAVEN-790ULTRA、RAVEN-780ULTRA、RAVEN-760ULTRA、RAVEN-520、RAVEN-500、RAVEN-460、
RAVEN-450、RAVEN-430ULTRA、RAVEN-420、RAVEN-410、RAVEN-2500ULTRA、RAVEN-2000、RAVEN-1500、RAVEN-1255、RAVEN-1250、RAVEN-1200、RAVEN-1190ULTRA、及RAVEN-1170。
該有機黑色顏料可具有1011Ω.cm以上之表面電阻。
本發明亦提供一種用於觸控邊框之光敏樹脂組成物,其包括該具有1011Ω.cm以上表面電阻之有機黑色顏料。
該具有1011Ω.cm以上表面電阻之有機黑色顏料可為內醯胺黑(lactam black)、苯胺黑(aniline black)或苝黑(perylene black)。
於本發明一實施例中,基於100重量份之光敏樹脂組成物,該著色劑含量為2至12重量份。
當該著色劑含量為2重量份以上,由於膜之光學密度不會降低,所形成的膜將具有足夠的遮光性質;當該著色劑含量為12重量份以下時,該組成物將具有優異的顯影性質,且將不會殘留。
可與該黑色顏料使用於一混合物中的彩色顏料例子包括carmine 6B(C.I.12490)、酞菁綠(phthalocyanine green,C.I.74260)、酞菁藍(phthalocyanine blue,C.I.74160)、苝黑(perylene black,BASF K0084.K0086)、花菁黑(cyanine black)、linol yellow(C.I.21090)、linol yellow GRO(C.I.21090)、benzidine yellow 4T-564D、victoria pure blue(C.I.42595)、
C.I.PIGMENT RED 97、122、149、168、177、180、192及215、C.I.PIGMENT GREEN 7及36、C.I.PIGMENT 15:1、15:4、15:6、22、60及64、C.I.PIGMENT yellow 83及139、C.I.PIGMENT VIOLET 23及其類似物,以及白色顏料、螢光顏料及其類似物。
於本發明一實施例中,該光敏樹脂組成物可更包括一種以上第一添加劑,其選自由界面活性劑、分散劑、抗氧化劑、UV吸收劑、熱聚合抑制劑、及流平劑。該些添加劑可為本領域習知之任何材料。
該界面活性劑的例子包括,但不限於:DIC有限公司製造之MCF 350SF、F-475、F-488及F-552。
以該分散劑處理該顏料表面,而該分散劑添加至該顏料內或外。
用於本發明之分散劑可為聚合物、非離子、陰離子或陽離子型分散劑。該分散劑之非限定例子包括聚亞烷基二醇(polyalkyleneglycol)及其酯類、聚氧化烯多元醇(polyoxyalkylene polyhydric alcohol)、酯烯化氧加成物(ester alkylene oxide adducts)、醇烯化氧加成物(alcohol alkylene oxide adducts)、磺酸酯(sulfonic ester)、磺酸鹽(sulfonate)、羧酸酯(carboxylic ester)、羧酸鹽(carboxylate)、烷基醯胺的烯化氧加成物(alkylamide alkylene oxide adducts)、烷基醯胺(alkylamine)及其類似物。上述這些,可使用兩種以上的混合物,但本發明之範圍並不僅限於此。
該抗氧化劑之非限定例子包括2,2-硫代雙(4-
甲基-6-叔丁基苯酚)(2,2-thiobis(4-methyl-6-t-butylphenol))、2,6-g-叔丁基苯酚(2,6-g,t-butylphenol)及其類似物。
該UV吸收劑的非限定例子包括2-(3-叔丁基5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯-苯並三唑(2-(3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl)-5-chloro-benzotriazole)、烷氧基二苯甲酮(alkoxy benzophenone)及其類似物。
該熱聚合抑制劑的非限定例子包括2-巰基咪唑(2-mercaptoimidazole)、對甲氧基苯酚(p-methoxyphenol)、二-叔-丁基-對-甲酚(di-t-butyl-p-cresol)、聯苯三酚(pyrogarol)、叔丁基兒茶酚(t-butylcatechol)、苯醌(benzoquinone)、4,4-硫代雙(3-甲基-6-叔丁基苯酚)(4,4-thiobis(3-methyl-6-t-butylphenol))、2,2-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)(2,2-methylenebis(4-methyl-6-t-butylphenol))、2-巰基咪唑(2-mercaptoimidazole)及其兩種以上之混合物。
此外,該光敏樹脂組成物可更包括一種以上第二添加劑,其選自由碳黑分散劑(carbon black dispersion)、具有功能性之樹脂黏著劑、單體、輻射敏化劑、及其他添加劑所組成之群組。
於本發明一實施例中,基於100重量份之該組成物,該添加劑含量為0重量份以上,但不超過5重量份。
本發明也提供一種使用該光敏樹脂組成物形成之圖案。
該圖案可為一邊框圖案,較佳為一形成於顯示
器面板中之邊框圖案,且更佳為一形成於觸控面板中的邊框圖案。
於本發明一實施例中,該圖案具有0.3μm至5μm之層厚度。
當該圖案具有0.3μm至5μm之層厚度,可防止金屬線路之短路。
該圖案可具有0.8μm至3μm之層厚度。
當該圖案之層厚度為0.8μm以上時,不會降低遮光性質;當其為3μm以下,可確保遮光性質。
鑒於遮光性質,該圖案之層厚度可為1.5μm至2.0μm。
於本發明一實施例中,使用本發明光敏樹脂組成物形成之圖案在可見光波長範圍(380至780nm)具有3.0以上之光學密度。
使用本發明光敏樹脂組成物形成之圖案在可見光波長範圍(380至780nm)可具有3.5以上之光學密度。
使用本發明光敏樹脂組成物形成之圖案在可見光波長範圍(380至780nm)可具有4.0以上之光學密度。
於本發明一實施例中,該圖案係透過包含以下步驟之方法形成:塗佈該光敏樹脂組成物於一基材;以及曝光及顯影該塗佈之光敏樹脂組成物。
本發明亦提供一種製造該圖案之方法。
於本發明一實施例中,製造該圖案之方法包含以下步驟:塗佈該光敏樹脂組成物於一基材;以及曝光及
顯影該塗佈之光敏樹脂組成物。
該基板可以玻璃、塑膠或金屬材料所製,但不以此為限。
塗佈該光敏樹脂組成物之步驟可透過使用噴灑法、輥塗法、旋塗法、棒塗法或狹縫塗佈法進行。
於塗佈該光敏樹脂組成物之步驟後,可透過預烤移除溶劑,從而形成一膜。該預烤可在70至150℃的溫度範圍下進行0.5至30分鐘。
在預烤之後,使用例如具有所需圖案之光罩曝光所塗佈之光敏樹脂層,然後以一適當的顯影溶液將所曝光之光敏樹脂層顯影,從而製造一邊框層。
該曝光樹脂層之顯影可透過使用浸置法、沖洗法、噴灑法、漿法或其類似方式進行。顯影時間可為約30至180秒。
用於本發明之該顯影溶液的例子包括:無機鹼之水溶液,例如氫氧化鈉、氫氧化鉀、矽酸鈉、偏矽酸鈉(sodium methsilicate)或氨;一級胺水溶液,例如乙胺或N-丙胺;二級胺水溶液,例如二乙胺或二-n-丙胺;三級胺水溶液,例如三甲胺、甲基二乙基胺、或二甲基乙基胺;三級醇胺水溶液,例如二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、或三乙醇胺;三級環胺水溶液,例如吡咯、哌啶、N-甲基哌啶、N-甲基吡咯烷酮、1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一碳烯或1,5-二氮雜雙環[4.3.0]-5-壬烯;芳香三級胺水溶液,例如吡啶、骨溜胺、二甲基吡啶或喹啉;以及四級銨鹽水溶液,例如
四甲基氫氧化銨或氫氧化四乙基銨。
於顯影之後,以流水清洗該層約30至90秒並以空氣或氮氣乾燥,從而形成一圖案。該圖案可使用加熱裝置(如加熱板或烘箱)進行後烘烤,從而獲得一邊框層。
本發明亦提供一顯示面板。
於本發明一實施例中,該顯示面板包括上述圖案。
該顯示面板具體可為一包含上述邊框圖案之顯示面板,且更具體為一包含該邊框圖案之觸控面板。
以下,將參照實施例、比較例及實驗例更詳細描述本發明。應當瞭解的是,所呈現之該些實施例、比較例、及實驗例僅為說明目的,且不應意圖以限制本發明之範疇。
實施例1
10重量份之碳分散劑(由20重量份之碳分散於100重量份之BK_8132所組成,為Tokyshiki有限公司所製造)係與1重量份之作為鹼可溶丙烯酸黏著劑1之甲基丙烯酸芐酯(benzylmethacrylate)/N-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide)/苯乙烯(styrene)/甲基丙烯酸縮水甘油酯(glycidyl methacrylate)/甲基丙烯酸(methacrylic acid)(莫耳比:38/7/7/21/27;重量平均分子量Mw=9000;酸價:105 KOH mg/g;固含量:基於100重量份之聚合物黏著劑,為30重量份)、3重量份之作為丙烯酸黏著劑2之甲基丙烯酸芐酯(benzylmethacrylate)/N-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide)/
苯乙烯(styrene)/甲基丙烯酸月桂酯(laurylmethacrylate)/甲基丙烯酸(methacrylic acid)(莫耳比:40/7/8/14/31;重量平均分子量Mw=19000;酸價:124 KOH mg/g;固含量:基於100重量份之聚合物黏著劑,為30重量份)、1.8重量份之作為多官能基單體之二季戊四醇六丙烯酸酯(dipentaerythritol hexaacrylate)、1.5重量份之作為光聚合起始劑之N-1919(Adeka有限公司製造)、0.1重量份之作為環氧黏著促進劑之SQ506(環氧當量:350g/eq;Arakawa有限公司製造)、0.1重量份之作為流平劑之F-475(DIC有限公司製造)、以及作為溶劑之26.5重量份丙二醇單甲基醚乙酸酯(propyleneglycol monomethylether acetate)與56重量份3-甲氧基丁基乙酸酯(3-methoxybutyl acetate)混合。
接著,攪拌該混合物5小時以獲得一光敏樹脂組成物。
所獲得之光敏樹脂組成物係旋塗於一金屬基板上(ITO基板),然後在約100℃下預烤2分鐘以形成一具有厚度約1.44μm之膜。接著,冷卻該基板上之膜至室溫,並在一高壓汞燈下使用一光罩以約100mJ/cm2之能量進行曝光。曝光後之基板係於0.04% KOH水溶液中在25℃下以噴灑法顯影,並以純水清洗、乾燥,再於對流烘箱中在230℃後烘烤20分鐘。
上述所獲得之膜為一乾淨的膜,其在任何製造過程中沒有呈現出表面缺陷。此外,該膜具有1.31μm之厚度及5.0之光學密度(OD),係指可確保一具有良好直線性之
邊框層。
實施例2
10重量份之碳分散劑(由20重量份之碳分散於100重量份之BK_8132所組成,為Tokyshiki有限公司所製造)係與1重量份之作為鹼可溶丙烯酸黏著劑1之甲基丙烯酸芐酯(benzylmethacrylate)/N-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide)/苯乙烯(styrene)/甲基丙烯酸縮水甘油酯(glycidyl methacrylate)/甲基丙烯酸(methacrylic acid)(莫耳比:38/7/7/21/27;重量平均分子量Mw=9000;酸價:105 KOH mg/g;固含量:基於100重量份之聚合物黏著劑,為30重量份)、2重量份之作為丙烯酸黏著劑2之甲基丙烯酸芐酯(benzylmethacrylate)/N-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide)/苯乙烯(styrene)/甲基丙烯酸月桂酯(laurylmethacrylate)/甲基丙烯酸(methacrylic acid)(莫耳比:40/7/8/14/31;重量平均分子量Mw=19000;酸價:124 KOH mg/g;固含量:基於100重量份之聚合物黏著劑,為30重量份)、1重量份之作為甲酚酚醛清漆型環氧樹脂之EOCN-70(Nippon Kayaku;環氧當量:198g/eq)、1.8重量份之作為多官能基單體之二季戊四醇六丙烯酸酯(dipentaerythritol hexaacrylate)、1.5重量份之作為光聚合起始劑之N-1919(Adeka有限公司製造)、0.1重量份之作為環氧黏著促進劑之SQ506(環氧當量:350g/eq;Arakawa有限公司製造)、0.1重量份之作為流平劑之F-475(DIC有限公司製造)、以及作為溶劑之26.5重量份丙二醇單甲基醚乙酸酯(propyleneglycol monomethylether
acetate)與56重量份之3-甲氧基丁基乙酸酯(3-methoxybutyl acetate)混合。
接著,攪拌該混合物5小時以獲得一光敏樹脂組成物。
所獲得之光敏樹脂組成物係旋塗於一金屬基板上(ITO基板),然後在約100℃下預烤2分鐘以形成一具有厚度約1.44μm之膜。接著,冷卻該基板上之膜至室溫,並在一高壓汞燈下使用一光罩以約100mJ/cm2之能量曝光。曝光後之基板係於0.04% KOH水溶液中在25℃下以噴灑法顯影,並以純水清洗、乾燥,再於對流烘箱中在230℃後烘烤20分鐘。
上述所獲得之膜為一乾淨的膜,其在任何製造過程中沒有呈現出表面缺陷。此外,該膜具有1.31μm之厚度及5.0之光學密度(OD),係指可確保一具有良好直線性之邊框層。
實施例3
10重量份之碳分散劑(由20重量份之碳分散於100重量份之BK_8132所組成,為Tokyshiki有限公司所製造)係與1重量份之作為鹼可溶丙烯酸黏著劑1之甲基丙烯酸芐酯(benzylmethacrylate)/N-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide)/苯乙烯(styrene)/甲基丙烯酸縮水甘油酯(glycidyl methacrylate)/甲基丙烯酸(methacrylic acid)(莫耳比:38/7/7/21/27;重量平均分子量Mw=9000;酸價:105 KOH mg/g;固含量:基於100重量份之聚合物黏著劑,為30重
量份)、2重量份之作為丙烯酸黏著劑2之甲基丙烯酸芐酯(benzylmethacrylate)/N-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide)/苯乙烯(styrene)/甲基丙烯酸月桂酯(laurylmethacrylate)/甲基丙烯酸(methacrylic acid)(莫耳比:40/7/8/14/31;重量平均分子量Mw=19000;酸價:124 KOH mg/g;固含量:基於100重量份之聚合物黏著劑,為30重量份)、1重量份之作為甲酚酚醛清漆型環氧樹脂之EOCN-70(Nippon Kayaku;環氧當量:198g/eq)、1.8重量份之作為多官能基單體之二季戊四醇六丙烯酸酯(dipentaerythritol hexaacrylate)、1.5重量份之作為光聚合起始劑之N-1919(Adeka有限公司製造)、0.1重量份之作為環氧黏著促進劑之SQ502(環氧當量:250g/eq;Arakawa有限公司製造)、0.1重量份之作為流平劑之F-475(DIC有限公司製造)、以及作為溶劑之26.5重量份丙二醇單甲基醚乙酸酯(propyleneglycol monomethylether acetate)與56重量份之3-甲氧基丁基乙酸酯(3-methoxybutyl acetate)混合。
接著,攪拌該混合物5小時以獲得一光敏樹脂組成物。
所獲得之光敏樹脂組成物係旋塗於一金屬基板上(ITO基板),然後在約100℃下預烤2分鐘以形成一具有厚度約1.44μm之膜。接著,冷卻該基板上之膜至室溫,並在一高壓汞燈下使用一光罩以約100mJ/cm2之能量曝光。曝光後之基板係於0.04% KOH水溶液中在25℃下以噴灑法顯影,並以純水清洗、乾燥,再於對流烘箱中在230℃
後烘烤20分鐘。
上述所獲得之膜為一乾淨的膜,其在任何製造過程中沒有呈現出表面缺陷。此外,該膜具有1.31μm之厚度及5.0之光學密度(OD),係指可確保一具有良好直線性之邊框層。
比較例1
10重量份之碳分散劑(由20重量份之碳分散於100重量份之BK_8132所組成,為Tokyshiki有限公司所製造)係與1重量份之作為鹼可溶丙烯酸黏著劑1之甲基丙烯酸芐酯(benzylmethacrylate)/N-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide)/苯乙烯(styrene)/甲基丙烯酸縮水甘油酯(glycidyl methacrylate)/甲基丙烯酸(methacrylic acid)(莫耳比:38/7/7/21/27;重量平均分子量Mw=9000;酸價:105 KOH mg/g;固含量:基於100重量份之聚合物黏著劑,為30重量份)、3重量份之作為丙烯酸黏著劑2之甲基丙烯酸芐酯(benzylmethacrylate)/N-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide)/苯乙烯(styrene)/甲基丙烯酸月桂酯(laurylmethacrylate)/甲基丙烯酸(methacrylic acid)(莫耳比:40/7/8/14/31;重量平均分子量Mw=19000;酸價:124 KOH mg/g;固含量:基於100重量份之聚合物黏著劑,為30重量份)、1.8重量份之作為多官能基單體之二季戊四醇六丙烯酸酯(dipentaerythritol hexaacrylate)、1.5重量份之作為光聚合起始劑之N-1919(Adeka有限公司製造)、5重量份之作為環氧黏著促進劑之3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷
(3-methacryloxypropyltrimethoxysilane)、0.1重量份之作為流平劑之F-475(DIC有限公司製造)、以及作為溶劑之26.5重量份丙二醇單甲基醚乙酸酯(propyleneglycol monomethylether acetate)與56重量份3-甲氧基丁基乙酸酯(3-methoxybutyl acetate)混合。
接著,攪拌該混合物5小時以獲得一光敏樹脂組成物。
所獲得之光敏樹脂組成物係旋塗於一金屬基板上(ITO基板),然後在約100℃下預烤2分鐘以形成一具有厚度約1.44μm之膜。接著,冷卻該基板上之膜至室溫,並在一高壓汞燈下使用一光罩以約100mJ/cm2之能量曝光。曝光後之基板係於0.04% KOH水溶液中在25℃下以噴灑法顯影,並以純水清洗、乾燥,再於對流烘箱中在230℃後烘烤20分鐘。
上述所獲得之膜為具有1.31μm厚度之邊框層。
比較例2
10重量份之碳分散劑(由20重量份之碳分散於100重量份之BK_8132所組成,為Tokyshiki有限公司所製造)係與1重量份之作為鹼可溶丙烯酸黏著劑1之甲基丙烯酸芐酯(benzylmethacrylate)/N-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide)/苯乙烯(styrene)/甲基丙烯酸縮水甘油酯(glycidyl methacrylate)/甲基丙烯酸(methacrylic acid)(莫耳比:38/7/7/21/27;重量平均分子量Mw=9000;酸價:105 KOH
mg/g;固含量:基於100重量份之聚合物黏著劑,為30重量份)、3重量份之作為丙烯酸黏著劑2之甲基丙烯酸芐酯(benzylmethacrylate)/N-苯基馬來醯亞胺(N-phenyimaleimide)/苯乙烯(styrene)/甲基丙烯酸月桂酯(laurylmethacrylate)/甲基丙烯酸(methacrylic acid)(莫耳比:40/7/8/14/31;重量平均分子量Mw=19000;酸價:124 KOH mg/g;固含量:基於100重量份之聚合物黏著劑,為30重量份)、1.8重量份之作為甲酚酚醛清漆型環氧樹脂之EOCN-70(Nippon Kayaku;環氧當量:198g/eq)、1.5重量份作為多官能基單體之二季戊四醇六丙烯酸酯(dipentaerythritol hexaacrylate)、1.5重量份之作為光聚合起始劑之N-1919(Adeka有限公司製造)、5重量份之作為環氧黏著促進劑之3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷(3-methacryloxypropyltrimethoxysilane)、0.1重量份之作為流平劑之F-475(DIC有限公司製造)、以及作為溶劑之26.5重量份丙二醇單甲基醚乙酸酯(propyleneglycol monomethylether acetate)與56重量份之3-甲氧基丁基乙酸酯(3-methoxybutyl acetate)混合。
接著,攪拌該混合物5小時以獲得一光敏樹脂組成物。
所獲得之光敏樹脂組成物係旋塗於一金屬基板上(ITO基板),然後在約100℃下預烤2分鐘以形成一具有厚度約1.44μm之膜。接著,冷卻該基板上之膜至室溫,並在一高壓汞燈下使用一光罩以約100mJ/cm2之能量曝光。曝光後之基板係於0.04% KOH水溶液中在25℃下以噴灑
法顯影,並以純水清洗、乾燥,再於對流烘箱中在230℃後烘烤20分鐘。
上述所獲得之膜為一乾淨的膜,其在任何製造過程中沒有呈現出表面缺陷。此外,該膜為具有1.31μm之厚度之邊框層。
實驗例:化學抗性及對金屬黏著性之評估
由實施例1至3及比較例1所各自獲得之具有邊框層形成於其上之基板係依序浸於一蝕刻劑及剝離劑中,其係用於行程一金屬圖案;之後,測量該邊框層之黏著性以評估該邊框層是否從該金屬基板(ITO基板)上剝離。評估結果係顯示於下表1。
O:良好無圖案剝落
X:發生圖案剝落
可從上述表1結果可見,依據本發明用於黑色光阻之光敏樹脂組成物具有對蝕刻劑及剝離劑之化學抗性,因此具有對金屬之優異黏著性而不剝落。此外,該光敏樹脂組成物之特徵在於其包括環氧黏著劑及環氧黏著促進劑之一或兩者。
再者,其可看到,相較於不含有環氧黏著劑及環氧黏著促進劑之比較例1組成物、或僅含有環氧黏著劑但不包含環氧黏著促進劑之比較例2組成物,包含該環氧黏著促進劑之實施例1及2組成物具有提高的化學抗性。
尤其,相較於不含環氧黏著劑或環氧黏著促進劑之比較例1組成物、或僅含有環氧黏著劑但不包含環氧黏著促進劑之比較例2組成物,含有環氧黏著劑及環氧黏著促進劑兩者之實施例2組成物具有顯著改善的化學抗性。此外,相較於僅含有環氧黏著劑而不含環氧黏著促進劑之實施例1組成物,實施例2組成物具有改善的化學抗性。
在金屬圖案形成過程中,在化學抗性上的改善使其可能提高該組成物於蝕刻製程及剝離製程後,對金屬圖案及基板之黏著性。此外,不含有環氧黏著劑及環氧黏著促進劑之比較例1組成物,其呈現之化學抗性及黏著性係顯著低於實施例1、2及3組成物。
本說明書中,並不限定於上述實施態樣,任何本領域技術人員的人將理解,不脫離本說明書的範疇的情況下,各種應用程序和修改都是可能的。
雖然已參照特定功能的詳細描述在本說明書中,這將是本領域技術人員顯而易見的,該描述僅僅是一個較佳實施例,並不限制本發明的範圍。因此,本發明的主要範圍將由所附申請專利範圍及其等同物而定義。
Claims (21)
- 一種光敏樹脂組成物,包括:一鹼可溶黏著劑,包括一個以上酚酞型黏著劑及丙烯酸黏著劑;一可交聯化合物,其為一具有乙烯性不飽和雙鍵之多官能基單體;一光聚合起始劑,其為一種以上選自由苯乙酮系化合物、二咪唑系化合物、三嗪系化合物、及肟系化合物所組成之群組;一溶劑;一著色劑;以及一環氧黏著促進劑;其中,該光敏樹脂組成物更包括一環氧黏著劑,且該環氧黏著促進劑係為半矽氧烷,以及其中,該環氧黏著劑具有198至400g/eq之環氧當量。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中,該環氧黏著劑係選自由雙酚型環氧樹脂、酚醛型環氧樹脂、縮水甘油酯型環氧樹脂、縮水甘油胺型環氧樹脂、直鏈型脂肪族環氧樹脂、脂環式環氧樹脂、及聯苯型環氧樹脂所組成之群組。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中,基於100重量份之該些黏著劑,該環氧黏著劑之含量係為10至50重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中,基 於100重量份之該光敏樹脂組成物,該環氧黏著劑之含量係為1至10重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中,基於100重量份之該光敏樹脂組成物,該環氧黏著促進劑之含量係為0.01至1重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中,基於100重量份之該光敏樹脂組成物,該鹼可溶黏著劑之含量係為1至20重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中,基於100重量份之該光敏樹脂組成物,該可交聯化合物之含量係為1至10重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中,基於100重量份之該光敏樹脂組成物,該光聚合起始劑之含量係為0.1至10重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中,基於100重量份之該光敏樹脂組成物,該溶劑之含量係為40至90重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中,基於100重量份之該光敏樹脂組成物,該著色劑之含量係為2至12重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中,該丙烯酸黏著劑具有10至200KOH mg/g之酸價,以及1,000至 50,000之重量平均分子量。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,更包括一光交聯敏化劑或一硬化加速劑。
- 如申請專利範圍第12項所述之光敏樹脂組成物,其中,基於100重量份之該光聚合起始劑,該光交聯敏化劑或該硬化加速劑之含量係為0.1至10重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中,該著色劑包括碳黑或一黑色顏料,該黑色顏料係為碳黑及一有機黑色顏料之一混合物。
- 如申請專利範圍第14項所述之光敏樹脂組成物,其中,該碳黑具有1011Ω.cm以上之表面電阻。
- 一種圖案,其係以如申請專利範圍第1至15項中任一項所述之光敏樹脂組成物所形成。
- 如申請專利範圍第16項所述之圖案,其中,該圖案係為一邊框圖案。
- 如申請專利範圍第16項所述之圖案,其中,該圖案具有0.3μm至5μm之層厚度(layer thickness)及3以上之光學密度(OD)。
- 一種用於製造一圖案之方法,該方法係包括以下步驟:塗佈如申請專利範圍第1至15項中任一項所述之光敏樹脂組成物於一基材;以及曝光及顯影該塗佈之光敏樹脂組成物。
- 一種顯示面板,其包括如申請專利範圍第16項所述之該 圖案。
- 如申請專利範圍第20項所述之顯示面板,其中,該顯示面板係為一觸控面板。
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