TWI485800B - 基板處理系統 - Google Patents

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Description

基板處理系統
本發明係有關與基板處理裝置之間搬送收納器之基板處理系統，此收納器收納半導體晶圓、液晶顯示器用基板、電漿顯示器用基板、有機EL用基板、FED(Field Emission Display；場發射顯示器)用基板、光顯示器用基板、磁碟用基板、磁光碟用基板、光罩用基板、太陽電池用基板(以下簡單稱為基板)。
過去，此種基板處理系統可被列舉出，具備有設有基板處理單元、收納器收容‧搬送單元及裝載口之基板處理裝置，藉由主機電腦之指示來搬送收納器之載具搬送系統，以及進行全體控制之主機電腦之系統。
基板處理單元對基板進行各種處理。收納器收容‧搬送單元與基板處理單元並列設置，既收容又搬送收容基板之FOUP(Front Opening Unified Pod；前端開啟統一收納器)。裝載口與收納器收容‧搬送單元並列設置，載置FOUP。載具搬送系統(AMHS：Automated Material Handling System)具備無人搬送車(AGV：Automatic Guided Vehicles)、頂棚移動式無人搬送車(OHT：Overhead Hoist Transfer)等移動機具，與裝載口之間，進行FOUP之接收傳送。主機電腦係於基板處理裝置、載具搬送系統間進行通信，進行與FOUP 之搬送相關之控制。
載具搬送系統對基板處理裝置進行搬送FOUP時需要時間。因此，在基板處理裝置具備有收納器收容‧搬送單元情況下，被要求於FOUP被搬入裝載口之後，儘快自裝載口將FOUP取入至收納器收容‧搬送單元，來清空裝載口用以於次一搬送。為符合此種要求，提議設置有可動緩衝區，作為裝載口附近之收納器之暫時退避處。例如，參考日本專利特表2008-508731號公報。
此裝置係在FOUP載置於裝載口時，藉可動緩衝區，使FOUP從裝載口暫時橫向滑移而退避，可將裝載口利用於次一搬送。
然而，於具有此種構造之習知例情況下，有如此問題。
亦即，習知裝置雖然具備使FOUP自裝載口暫時退避之機構，例如在載具搬送系統的二台OHT連續將FOUP搬入裝載口情況下，因搬入間隔短，而在一OHT搬入之FOUP自裝載口退避之前，另一OHT業正要搬入FOUP情況下，有無法將FOUP搬入裝載口，於藉由OHT之FOUP搬入而產生失敗之問題。當發生此種搬入失敗時，裝載口係馬上對載具搬送系統通知此OHT「不可搬入」。如此，OHT係通過此裝載口而繞載具搬送系統之巡迴軌道之後，再度嘗試搬入。又，對搬出，亦發生相同問題。由於OHT再度繞巡迴軌道需要花費時間，因此，有無法有效利用載具搬送系統之資源 的問題。
本發明係有鑑於此種情事而完成者，其目的在於提供可有效利用載具搬送系統之基板處理系統。
本發明為達成此種目的，採用如次構成。
本發明係一種基板處理系統，係處理基板者，其包含以下元件：基板處理裝置，係具有：基板處理單元，其對基板進行既定處理；裝載口，其具有載置用以收納基板之收納器之實體裝載口，在與上述基板處理單元之間接收傳送收納器；以及內部緩衝區，其介存於上述基板處理單元與上述裝載口之間，在與上述基板處理單元之間接收傳送基板，在與上述裝載口之間接收傳送收納器，同時，在接收傳送之際暫時收容收納器；載具搬送系統，係於上述裝載口間接收傳送收納器；以及主機電腦，係於其與上述基板處理裝置及上述載具搬送系統之間進行通信，根據上述基板處理裝置之狀況，指示上述藉由載具搬送系統進行收納器之搬送；上述基板處理裝置係具備對載具搬送系統控制部，係上述裝載口於一個收納器被使用中之情況下，在與該裝載口之間為接受其他收納器之載具搬送系統的移動機具到來時，直到在上述一個收納器之使用結束為止不通知不可接收。
根據本發明，基板處理裝置係具備對載具搬送系統控制部，係在為了將收納器搬入至裝載口而載具搬送系統之移動 機具移動到來之際，於裝載口被載置其他收納器且朝內部緩衝區接收傳送中等之狀態的情況下，即使載具搬送系統通知搬送開始，直至將收納器朝內部緩衝區搬送結束為止，仍對載具搬送系統保留搬入可否通知。因此，即使在有接續先前之移動機具，而次一移動機具搬送收納器情況下，後面的移動機具不會徒勞無功地環繞巡迴軌道。結果，可有效利用載具搬送系統於收納器之搬入。
又，本發明較佳係上述載具搬送系統於搬入之際，在上述裝載口載置有其他收納器的情況下，在自上述對載具搬送系統控制部獲得搬入許可之前，於其位置待機。
一般而言，載具搬送系統係在經被通知搬送開始之後，若經過預定時間時，離開其處而回到巡迴軌道。然而，可藉由在自對載具搬送系統控制部獲得搬入許可之前，於其位置待機，來消除環繞的徒勞無功。
又，較佳係上述基板處理裝置係進一步具備對主機電腦控制部，其在自上述主機電腦被指示將上述內部緩衝區之收納器搬出之際，於開始自上述內部緩衝區朝上述裝載口搬出上述收納器後，至上述收納器載置於上述裝載口為止期間內，對上述主機電腦報告可以搬出上述收納器。
對主機電腦控制部向主機電腦報告，可於基板處理裝置開始自內部緩衝區向裝載口搬出收納器後，至收納器實際載置於裝載口為止期間內，搬出收納器。因此，相較於報告可在 實際載置收納器於裝載口後搬出的情形，可提早載具搬送系統至開始移動之時間。結果，可有效利用載具搬送系統於收納器之搬出。
又，較佳係上述載具搬送系統係在上述移動機具為了搬出收納器而移動到來之際，於上述裝載口並未載置收納器之情況下，直至上述收納器載置於上述裝載口為止，在其位置待機。
一般而言，載具搬送系統將收納器搬出而到來之際，於裝載口並未載置收納器之情況下，載具搬送系統係回到巡迴軌道。然而，因為收納器被載置於裝載口之前而待機，因此可以消除環繞的徒勞無功。
又，本發明係一種基板處理系統，係處理基板者，其包含以下元件：基板處理裝置，係具有：基板處理單元，其對基板進行既定處理；裝載口，其具有載置用以收納基板之收納器之實體裝載口，在與上述基板處理單元之間接收傳送收納器；以及內部緩衝區，其介存於上述基板處理單元與上述裝載口之間，在與上述基板處理單元之間接收傳送基板，在與上述裝載口之間接收傳送收納器，同時，在接收傳送之際暫時收容收納器；載具搬送系統，係於上述裝載口間接收傳送收納器；以及主機電腦，係於其與上述基板處理裝置及上述載具搬送系統之間進行通信，根據上述基板處理裝置之狀況，指示藉由上述載具搬送系統進行收納器之搬送；上述基 板處理裝置係具備對主機電腦控制部，係在自上述主機電腦被指示將上述內部緩衝區之收納器搬出之際，可於開始自上述內部緩衝區朝上述裝載口搬出上述收納器後，至上述收納器載置於上述裝載口為止期間內，對上述主機電腦報告可以搬出上述收納器。
根據本發明，由於在自主機電腦被指示將內部緩衝區之收納器搬出之際，於收納器載置於裝載口為止期間內，對主機電腦報告可以搬出收納器，由於基板處理系統之移動機具可快速移動到達裝載口，因此，可於早期搬出收納器。
又於本發明中進一步具備虛擬裝載口控制裝置，係對上述實體裝載口分配虛擬裝載口，同時以上述虛擬裝載口當作為實際存在者，相對於該虛擬裝載口對上述載具搬送系統指示搬送動作。
藉此，可藉由複數移動機具同對一個實體裝載口搬送複數收納器，可效率佳地搬送多數收納器。
雖然為說明發明而圖示被認為目前較佳之若干形態，惟須知，本發明不限於圖示之構成及方案。
以下根據圖式詳細說明本發明之較佳實施例。
圖1係表示與實施例有關之基板處理系統之概要之俯視圖，圖2係表示與實施例有關之基板處理系統之概略構成之方塊圖。
此基板處理系統1係具備有連同FOUP 3搬入基板W，對基板W進行處理，連同FOUP 3搬出處理結束之基板W之功能。FOUP 3係為Front Opening Unified Pod(前端開啟統一收納器)之簡稱，在密閉於潔淨環境中之狀態下來收納基板W者。
基板處理系統1係例如具備有基板處理裝置5、載具搬送系統7以及主機電腦9。基板處理裝置5係一般為複數台，於圖1中，作為一例子表示著二台基板處理裝置5。
基板處理裝置5係具備有基板處理單元11、裝載口13及內部緩衝區15。基板處理單元11係對自FOUP 3取出之基板W進行既定處理。作為既定處理係例如有洗淨處理、蝕刻處理、光阻除去處理等。裝載口13係在基板處理裝置5與載具搬送系統7之間接收傳送FOUP 3者。在此例子中，裝載口13具備有二台實體裝載口LP 1、LP 2。內部緩衝區15係配置於基板處理單元11與裝載口13之間，在與裝載口13之間接收傳送FOUP 3，同時，在與基板處理單元11之間進行自FOUP 3經被取出之基板W之接收傳送。又，內部緩衝區15係具備有緩衝功能，該緩衝功能係在自裝載口13搬入FOUP 3而基板處理單元11無法接受基板W之狀態情況下，來暫時收容FOUP 3，又在裝載口13無法搬出FOUP 3之狀態情況下，來暫時收容FOUP 3。
且，上述FOUP 3則相當於本發明中的「收納器」。
載具搬送系統7係為與基板處理裝置5之間搬送FOUP 3，又在未圖示之FOUP 3之保管庫與基板處理裝置5之間搬送FOUP 3者。作為載具搬送系統7係例如舉例來說具備AGV(Automatic Guided Vehicles)、OHT(Overhead Hoist Transfer)等移動機具之AMHS(Automated Material Handling System)。在本實施例中，作為一個例子，採用了在二台基板處理裝置5之周邊，作為移動機具之OHT 17成環繞移動之構成。在此，作為一個例子，OHT 17為二台，分別當作為OHT 17A、17B。
主機電腦9係在上述基板處理裝置5與載具搬送系統7之間進行通信。主機電腦9係根據基板處理裝置5之狀況，來指示藉由載具搬送系統7之FOUP 3之搬送。在此所謂「搬送」係為表示著用於朝基板處理裝置5運入FOUP 3之搬送之「搬入」，以及用於從基板處理裝置5運出FOUP 3之搬送之「搬出」。
如於圖2中所示，上述基板處理裝置5係具備裝載口管理部19。裝載口管理部19係判斷二實體裝載口LP 1、LP 2之狀態，於載具搬送系統7與主機電腦9之間進行通信。又，亦也進行分配實體裝載口LP 1給搬入，而分配實體裝載口LP 2給搬出等之處理。
基板處理裝置5係具備有對主機電腦控制部21、內部緩衝區管理部23及對載具搬送系統控制部25。對主機電腦控 制部21係主要進行與主機電腦9間之通信。內部緩衝區管理部23係判斷在內部緩衝區15中之使用狀況等，判斷將FOUP 3收納於哪一架子，搬出哪一架子的FOUP 3較好等。對載具搬送系統控制部25係在與載具搬送系統7之間進行通信。
詳細說明於後，對載具搬送系統控制部25係根據各種條件，進行搬入控制。例如在搬入FOUP 3之情況下，於為了將FOUP 3搬入裝載口13而載具搬送系統7移動且來到之際，根據在裝載口管理部19中之裝載口13之管理狀況，即使判斷其他之FOUP 3經被載置於裝載口13之狀態，亦即，自裝載口13至內部緩衝區15之接收傳送尚未完成之狀態，將該其他之FOUP 3送至內部緩衝區15之搬送結束之前，以對載具搬送系統7不通知不許搬入之方式而加以保留。且，此時，例如在接著載具搬送系統7之OHT 17A之後OHT 17B為了搬入而移動且來到之情況下，只要是後面的OHT 17B不滿足特定條件的話，而自對載具搬送系統控制部25獲得搬入許可之前，則在其位置待機。
又，詳細說明於後，對主機電腦控制部21根據各種條件，進行有關搬出之控制。例如，在自主機電腦9指示內部緩衝區15之FOUP 3之搬出之際，根據裝載口管理部19之管理狀況，自內部緩衝區15將此FOUP 3搬送至裝載口13之任一者之實體裝載口LP 1、LP 2之任一者。在開始此搬送之 後，至FOUP 3載置於實體裝載口LP 1、LP 2之任一者為止期間內，亦即，在裝載口13供FOUP 3使用中，對主機電腦9報告可搬出FOUP 3。
且此時，於載具搬送系統7為了搬出FOUP 3而移動之際，在FOUP 3未載置於裝載口13之實體裝載口LP 1、LP 2之任一者情況下，亦即，自內部緩衝區15至裝載口13之轉送未完成之狀態時，因保留與載具搬送系統7間的授受許可的通知，而於其位置待機。
<搬入處理>
其次，參照圖3至圖11，對上述基板處理系統1進行之FOUP 3之「搬入」流程加以說明。
且，圖3係表示搬入處理時之順序之時序圖及流程圖。又，圖4至圖11係表示搬入處理時之過程之示意圖。圖4表示載具搬送系統之狀態，圖5表示開始向基板處理裝置搬送之通知，圖6表示向載具搬送系統之通知，圖7表示向裝載口之搬入，圖8其表示藉由次一載具搬送系統之搬送開始之通知，圖9表示搬入要求之保留，圖10表示搬入要求之通知，圖11表示向裝載口之搬入。
在以下說明中，如圖4所示，載具搬送系統7之OHT 17A保持FOUP 3a，OHT 17B保持FOUP 3b，依此順序移動至基板處理裝置5，成待搬入處理狀態。
載具搬送系統7對基板處理裝置5之對載具搬送系統控制 部25導通VALD信號(圖5)。此VALD信號係表示搬送開始信號。基板處理裝置5之對載具搬送系統控制部25係檢出VALD信號導通(步驟S 1)。於此例子中，二台OHT 17A、17B中先行之OHT 17A作為導通VALD信號者。
對載具搬送系統控制部25考慮裝載口管理部19之狀況，依條件，處理分岐(步驟S 2)。「條件1」係可搬入之情形。若可搬入，即導通L_REQ信號。此L_REQ信號意指許可搬入。另一方面，「條件2」係裝載口13使用中，又係此FOUP 3向內部緩衝區15搬送中的情形。亦即，嚴格說來，係裝載口13不可使用之狀態。「條件3」係條件1、2以外之狀況。例如係於裝載口13發生故障，不可使用等狀態。
在此，就最初之OHT 17A而言，由於裝載口13清空，因此，符合條件1。因此，如於圖6中所示，對載具搬送系統控制部25對載具搬送系統7導通OHT 17A之L_REQ信號(步驟S 3)。此L_REQ信號表示Load REQuest，其係搬入要求。經接受到搬入要求之載具搬送系統7之OHT 17A實行載置FOUP 3a至實體裝載口LP 1之移載(圖7)。然後，OHT 17A離開此場所，回到載具搬送系統7之巡迴軌道。
其次，OHT 17B移動到基板處理裝置5前，向對載具搬送系統控制部25導通表示搬送開始之VALD信號(圖8)。此時，係先前之FOUP 3a載置於實體裝載口LP 1之狀態。
內部緩衝區管理部23考慮內部緩衝區15之使用狀況，開 始移動FOUP 3a至內部緩衝區15之適當架子(圖9)。此時，對載具搬送系統控制部25接受VALD信號，雖然一般會作搬入要求，本發明卻保留對載具搬送系統7之搬入要求，亦不馬上作搬入不可的通知。此乃因為剛開始先前FOUP 3a之移動，裝載口13無法使用。具體而言，由於符合圖3中步驟S2之條件2，因此，自步驟S 2移至步驟S 4，謀求時間調整。詳細地說，對載具搬送系統控制部25等待自內部緩衝區管理部23之移動完成通知，對載具搬送系統7進行搬入要求(圖10)。接受到搬入要求之載具搬送系統7自OHT 17B將FOUP 3b移載至實體裝載口LP 1(圖10)。結束移載之OHT 17B回到巡迴軌道。
且在符合上述條件3之條件下，切斷HO_AVBLE信號(步驟S5)，中止搬入處理。由於藉此搬入中止，因此，載具搬送系統7係使移動至基板處理裝置5前，待機之OHT 17回到巡迴軌道。藉此，可避免OHT 17在基板處理裝置5前持續待機之不適當的狀態。
如此，基板處理裝置5具有對載具搬送系統控制部25，於載具搬送系統7為了將FOUP 3搬入裝載口13而移動之際，在載置其他FOUP 3a於裝載口13之狀態時，即使載具搬送系統7通知搬送開始，直至FOUP 3a搬送至內部緩衝區15結束為止，不對載具搬送系統7通知搬入可否，使之待機。因此，即使於接續先前之OHT 17A、OHT 17B搬送 FOUP 3b情況下，後面的OHT 17B不用無價值地回到巡迴軌道。結果，可有效利用載具搬送系統7於FOUP 3之搬入。
又由於載具搬送系統7係在搬入之際，載置其他FOUP 3於裝載口13情況下，直到自對載具搬送系統控制部25獲得搬入許可為止，於其位置待機，因此，不會徒勞無功地環繞巡迴軌道。因此，較佳係改變載具搬送系統7所具備之計時器的值。具體而言，可將計數要求搬入開始(VALD信號導通)後至變成搬入要求(L_REQ信號導通)為止之等待時間之計時器的值，例如從標準的2秒左右變成10秒左右。這是自裝載口13搬送FOUP 3至內部緩衝區15所需時間。且可考慮安全裕度而決定長一些，只要是實質搬送所需時間即可。
<搬出處理>
其次，參照圖12至圖20，對上述基板處理系統1進行之FOUP 3之「搬出」流程加以說明。
且，圖12係表示搬出處理時之順序之時序圖及流程圖。又，圖13至圖20係表示搬出處理時之過程之示意圖。圖13表示向基板處理裝置取出之指示，圖14表示開始取出，圖15表示對主機電腦之可搬出通知，圖16表示對載具搬送系統之搬出指示，圖17表示載具搬送系統之移動，圖18表示搬送開始通知，圖19表示搬出要求通知，圖20表示自裝載口搬出。
在以下說明中，對載具搬送系統7之OHT 17A搬出基板處理裝置5之FOUP 3之處理加以說明。且，OHT 17A環繞巡迴軌道。
主機電腦9係對基板處理裝置5指示FOUP 3之搬出(圖13)。接受此指示之基板處理裝置5考慮內部緩衝區管理部23之狀況，開始自內部緩衝區15之架子搬出指定之FOUP 3之處理(圖14，步驟S11)。
基板處理裝置5剛開始FOUP 3向裝載口13之移動，雖然向裝載口13之移動未完成，卻對主機電腦9通知搬出許可(RTU(Ready To Unload；準備搬出)信號導通)(圖15，步驟S12)。主機電腦9係接受此指示，對載具搬送系統7之OHT 17A指示搬出(圖16)。OHT 17A朝基板處理裝置5移動(圖17)，於移動完成時間點導通搬送開始(VALD信號)(圖18，步驟S13)。
對主機電腦控制部21係考慮裝載口管理部19之狀況，依條件，處理分歧。「條件1」係載置FOUP 3於裝載口13，可搬出FOUP 3之情形。「條件2」係自內部緩衝區15搬送FOUP 3中，對裝載口13之取出搬出未完成的情形。「條件3」係條件1、2以外之狀況。例如係於內部緩衝區15、裝載口13發生故障，不可使用等情形。
在此，於條件1情況下，接受搬送開始，對載具搬送系統7進行搬送要求(U_REQ(Unload REQuest)信號導通)(圖19， 步驟S15)。載具搬送系統7係對OHT 17A指示自裝載口13搬出FOUP 3。OHT 17A自裝載口13收取FOUP 3，開始搬送(圖20)。
又，於條件2情況下，進行時間調整(步驟S16)。於此期間，保留搬送要求。此後，進行搬送要求(步驟S15)。於條件3情況下，切斷HO_AVBAL信號(步驟S16)，中止搬出處理。
如此，於基板處理裝置5開始自內部緩衝區15將FOUP 3向裝載口13搬出之時間點，對主機電腦控制部21向主機電腦9報告可搬出FOUP 3。因此，相較於實際上載置FOUP 3於裝載口13後報告可搬出之情形，可提早自主機電腦9至載具搬送系統7開始移動為止之時間。結果，可有效利用載具搬送系統7於FOUP 3之搬出。
且，一般說來，於載具搬送系統7搬出FOUP 3之際，在收納器未載置於裝載口13情況下，載具搬送系統7使OHT 17回到巡迴軌道。然而，由於在本實施形態中，保留搬送要求、搬送不可等授受可否等通知至裝載口13與內部緩衝區15之接收傳送完成為止，待機至FOUP 3載置於裝載口13為止，因此，可消除環繞的徒勞無功。
且本發明在FOUP 3搬入基板處理裝置5中，複數移動機具，亦即OHT 17無多餘時間間隔地向基板處理裝置5連續搬送FOUP 3情況下有效。由於在此種基板處理裝置及載具 搬送系統之控制中，一般相對用於搬入之一台裝載口以一台OHT來進行搬入作業之方式來控制，因此，於此種控制下，如上述複數OHT 17無多餘時間間隔地向基板處理裝置5連續搬送FOUP 3的情形很罕見。因此，本發明在控制成複數台OHT對用於搬入之一台裝載口同時進行搬入情況下，發揮更大效果。以下對此種控制之實施例加以說明。在此，對與上述實施例相同或對應之部分標以相同符號。
圖21係表示有關實施例之基板處理系統之概要之俯視圖，圖22係表示有關實施例之基板處理系統之概略構造之方塊圖。
實施例之基板處理系統1具備連同FOUP 3搬入基板W，對基板W進行處理，連同FOUP 3搬出處理結束之基板W之功能。FOUP 3係Front Opening Unified Pod(前端開啟統一收納器)之簡稱，係密閉於潔淨環境中的狀態下收納基板W之收納器。
此基板處理系統1例如具備基板處理裝置5、載具搬送系統7以及主機電腦9。基板處理裝置5係一般為複數台。於圖21中舉一例子表示二台基板處理裝置5。
基板處理裝置5係具備基板處理單元11、裝載口13及內部緩衝區15。此基板處理單元11係對自FOUP 3取出之基板W進行既定處理。既定處理例如有洗淨處理、蝕刻處理、光阻除去處理等。裝載口13係於基板處理裝置5與載具搬 送系統7之間接收傳送FOUP 3者。於此例子中，裝載口13具備二台實體裝載口R-LP 1、R-LP 2。內部緩衝區15配置於基板處理單元11與裝載口13之間，在與裝載口13之間接收傳送FOUP 3，同時，於其與基板處理單元11之間進行自FOUP 3取出之基板W之接收傳送。又，內部緩衝區15具備在自裝載口13搬入FOUP 3，基板處理單元11未接受基板W之狀態時，暫時收容FOUP 3，在裝載口13無法搬出FOUP 3之狀態時，暫時收容FOUP 3之緩衝功能。
且，上述FOUP 3相當於本發明中的「收納器」。
載具搬送系統7係於基板處理裝置5與複數收納並保管FOUP 3之保管庫(未圖示)之間、或與其他基板處理裝置之間搬送FOUP 3。載具搬送系統7舉例來說例如具備AGV(Automatic Guided Vehicles)、OHT(Overhead Hoist Transfer)等之AMHS(Automated Material Handling System)。於本實施例中，舉一例子，採用在二台基板處理裝置5的周邊，作為複數台之OHT 17環繞移動之構造。
主機電腦9係在上述基板處理裝置5與載具搬送系統7之間進行通信。主機電腦9係根據基板處理裝置5之狀況，指示藉由載具搬送系統7之FOUP 3之搬送。在此，「搬送」表示用於向基板處理裝置5運入FOUP 3之搬送之「搬入」，以及用於從基板處理裝置5運出FOUP 3之搬送之「搬出」。
如於圖22中所示，基板處理裝置5具備有構成裝載口控 制裝置20之對主機電腦控制部21、裝載口管理部19、內部緩衝區管理部23及對載具搬送系統控制部25。構成此裝載口控制裝置20之此等對主機電腦控制部21、裝載口管理部19、內部緩衝區管理部23及對載具搬送系統控制部25係具有與一般基板處理裝置所含者相同之功能。亦即，於一般基板處理系統中，裝載口管理部19係與設於基板處理裝置5之裝載口13之實體裝載口R-LP 1、R-LP 2及內部緩衝區15相連接，與其等進行通信，認識其等之狀態，進行控制其動作等之管理。又，於一般基板處理系統中，對主機電腦控制部21與主機電腦9連接，參考裝載口管理部19所認識之實體裝載口R-LP 1、R-LP 2之狀態，對主機電腦9進行FOUP 3之搬入要求等之通信。又，於一般基板處理系統中，對載具搬送系統控制部25係與載具搬送系統7連接，參考裝載口管理部19所認識之實體裝載口R-LP 1、R-LP 2之狀態等，進行有關其與載具搬送系統7間之FOUP 3之搬入動作控制的通信(後述CS信號等)。內部緩衝區管理部23係考慮內部緩衝區15中之使用狀況等，判斷可收納FOUP 3於哪一架子，可搬出哪一架子之FOUP 3等。
而且，於本實施形態中，異於上述一般基板處理系統，在此對主機電腦控制部21與主機電腦9間，以及對載具搬送系統控制部25與載具搬送系統7間，夾插連接虛擬裝載口控制部19a。亦即，本實施形態之基板處理系統1係藉由後 來附加虛擬裝載口控制裝置19a於一般基板處理裝置與主機電腦9及載具搬送系統7間，夾插而構成者。在此，藉由後來附加且連接之虛擬裝載口控制裝置19亦包含於基板處理裝置5中。
虛擬裝載口控制裝置19a對二個實體裝載口R-LP 1、R-LP 2之每一者分配複數個虛擬裝載口。而且，使載具搬送系統7及主機電腦9將複數個虛擬裝載口當作複數個實體裝載口。換言之，虛擬裝載口控制裝置19a係以使載具搬送系統7及主機電腦9視為存在有較實在之二實體裝載口R-LP 1、R-LP 2更多實體裝載口之方式，進行信號處理及通信。
又，相對於基板處理裝置5之對主機電腦控制部21以及對載具搬送系統控制部25，針對當作較實在更多實體裝載口而作為之主機電腦9及載具搬送系統7之動作，分配其對應至實在之二實體裝載口R-LP 1、R-LP 2。具體而言，虛擬裝載口控制裝置19a係具備對主機控制部27、虛擬裝載口管理部29及對載具搬送系統控制部31。虛擬裝載口管理部29係具備轉換表記憶部33。轉換表記憶部33係預先記憶限定實體裝載口與虛擬裝載口之對應關係之「轉換表」。此轉換表係由作業員藉設定部35適當設定。
對主機控制部27係接受有關來自虛擬裝載口管理部19之實體裝載口R-LP 1、R-LP 2的通知，參考虛擬裝載口管理部29之資訊，轉換成有關分配給此實體裝載口之虛擬裝 載口之通知，發送給主機電腦9。
對載具搬送系統控制部31係接受有關來自載具搬送系統7之虛擬裝載口V-LP 1~V-LP 4之通知，參考虛擬裝載口管理部29之資訊，轉換成有關此虛擬裝載口分配之實體裝載口之通知，發送給對載具搬送系統控制部25，或者相反地，接受有關來自對載具搬送系統控制部25之實體裝載口R-LP 1、R-LP 2之通知，參考虛擬裝載口管理部29之資訊，轉換成有關此分配給此實體裝載口之虛擬裝載口之通知，發送給載具搬送系統7。
其次，參考圖23至圖34，對上述基板處理系統1進行之FOUP 3之「搬入」流程加以說明。
且，圖23係表示搬入處理時之順序之時序圖及流程圖。又，圖24至圖33係表示搬入處理時之過程之示意圖。圖24表示對主機電腦之通知，圖25表示主機電腦之搬送指示，圖26表示載具搬送系統之移動，圖27表示載具搬送系統之搬入開始，圖28表示裝載口之匹配，圖29表示虛擬裝載口之狀態變化之報告，圖30表示搬入接受，圖31表示載具搬送系統之移動，圖32表示FOUP朝內部緩衝區之移動，圖33表示搬入狀況之報告，圖34係表示搬入處理時各部間之信號等之交換之示意圖。
於以下說明中，如於圖24中所示，實體裝載口R-LP 1對應於二虛擬裝載口V-LP 1、2，實體裝載口R-LP 2對應於二 虛擬裝載口V-LP 3、4。此對應關係規定於上述轉換表記憶部33之轉換表中。又，在此，二虛擬裝載口V-LP 1、2被設定供搬入用，在以下說明中，為容易理解，只對虛擬裝載口V-LP 1、2加以說明。
1.基板處理裝置5係對主機電腦9通知是否二虛擬裝載口V-LP 1、2可搬入(圖24)。具體而言，虛擬裝載口控制裝置19a之對主機控制部27參考虛擬裝載口管理部29，通知主機電腦9稱為虛擬裝載口V-LP 1、2之裝載口為可搬入之狀態。
更詳細說明，首先，管理實體裝載口R-LP 1之裝載口管理部23辨識實體裝載口R-LP 1之狀態為「可搬入」。對此回應，對主機電腦控制部21參考裝載口管理部19之辨識，輸出「可搬入」之通知。此輸出若係習知之一般構成，為被直接發送至主機電腦9者。然而，於本發明中，對主機電腦控制部21輸出之「可搬入」通知被發送至虛擬裝載口控制部19a之對主機控制部27。對主機電腦控制部29係接受到此通知，參考內部之轉換表記憶部33所記憶之轉換表，辨識被通知「可搬入」之實體裝載口R-LP 1與虛擬裝載口V-LP 1、V-LP 2匹配之關係。然後，虛擬裝載口管理部29係取代通知「可搬入」之實體裝載口R-LP 1，通知對主機控制部27，虛擬裝載口V-LP 1、V-LP 2兩者被處理成「可搬入」。對主機控制部27根據此通知，通知主機電腦9，虛擬裝載 口V-LP 1、V-LP 2兩者「可搬入」。
2.經接受到上述通知之主機電腦9係對載具搬送系統7有關將應藉基板處理裝置5處理的2個FOUP 3對虛擬裝載口V-LP 1、2兩者進行分別搬入之指示(圖25)。
3.載具搬送系統7係自前一步驟之基板處理裝置或保管庫取出第1、第2 FOUP 3，保持第1 FOUP 3於第1 OHT 17，更保持第2 FOUP 3於第2 OHT 17，分別開始向已進行搬入指示之基板處理裝置5移動。在此，當作為第1 OHT 17、第2 OHT 17為同時搬入朝相同之基板處理裝置5者，第1 OHT 17處於最早到達基板處理裝置5之位置者，第2 OHT 17處於在此稍後到達基板處理裝置5之位置者。
4.當第1 OHT 17移動而到達基板處理裝置5時，載具搬送系統7係對基板處理裝置5通知，有關將第1FOUP 3搬入至虛擬裝載口V-LP 1(圖27)。具體而言，載具搬送系統7係導通CS_0信號，更導通表示搬送開始之VALID信號，發送信號至對載具搬送系統控制部31。CS信號係用於指定裝載口之載具‧載台信號，以SEMI規格E84來規定。
5.基板處理裝置5係參考自載具搬送系統7而接受之CS_0信號(表示虛擬裝載口V-LP 1)及轉換表，並匹配虛擬裝載口V-LP 1與對應之一實體裝載口R-LP 1(圖28)。具體而言，根據對載具搬送系統控制部31所經接受到之信號，虛擬裝載口管理部29進行匹配。
6-1.基板處理裝置5係將已經開始朝虛擬裝載口V-LP 1之搬入，作為有狀態變化對主機電腦9來報告(圖29)。具體而言，虛擬裝載口管理部29經由對主機控制部27向主機電腦9進行報告。
6-2.接受到報告之主機電腦9係辨識於虛擬裝載口V-LP 1中搬入已被開始(圖29)。
7.基板處理裝置5係，用於將第1 FOUP 3(載具搬送系統7朝虛擬裝載口V-LP 1搬送而來之第1 FOUP 3)接受於實體裝載口R-LP 1，對實體裝載口R-LP 1指示接受，同時，對載具搬送系統7進行搬入要求(圖30)。具體而言，虛擬裝載口管理部29經由對載具搬送系統控制部31，向對載具搬送系統控制部25通信指示朝實體裝載口R-LP 1之搬入。對載具搬送系統控制部25係接受此通信，對裝載口管理部19指示朝實體裝載口R-LP 1之搬入動作，同時，對載具搬送系統控制部31要求朝實體裝載口R-LP 1之「搬入開始」。且，相關之要求信號係，若為習知基板處理系統，被發送至載具搬送系統7，本發明則發送至虛擬裝載口管理部19之對載具搬送系統控制部31。
對載具搬送系統控制部31係可辨識來自對載具搬送系統控制部25之相關「搬入開始」之要求信號為在上述4自載具搬送系統7所接受到，且回應於朝虛擬裝載口V-LP 1之第1 FOUP 3之搬入通知者。然後，根據此辨識，對載具搬 送系統控制部31係以相關「搬入開始」之要求信號作為向虛擬裝載口V-LP 1之「搬入開始」要求，發送至載具搬送系統7。作為相關之要求信號，對載具搬送系統控制部31係對載具搬送系統7導通L_REQ信號。且，L_REQ係裝載請求，其表示搬入要求。
8.載具搬送系統7係，回應來自對載具搬送系統控制部31之「搬入開始」要求，從第1 OHT 17所保持之第1 FOUP 3朝虛擬裝載口V-LP 1來進行搬送之動作。在此，於載具搬送系統7，作為此時之搬送目的地之虛擬裝載口V-LP 1之位置資訊，被設定實體裝載口R-LP 1之現實位置，藉由載具搬送系統7之向虛擬裝載口V-LP 1之搬送係實際上被當作向實體裝載口R-LP 1之搬送來實行(圖31)。
9.基板處理裝置5係將經被搬入實體裝載口R-LP 1之第1 FOUP 3搬送至內部緩衝區15之適當位置(圖32)。
10.基板處理裝置5於上述搬入過程中，向實體裝載口R-LP 1之第1 FOUP 3搬入結束，作為虛擬裝載口V-LP 1之搬入結束對主機電腦9來報告(圖33)。具體而言，裝載口管理部19辨識實體裝載口R-LP 1之狀況，經由對主機電腦控制部21、對主機控制部27，向主機電腦9報告。
此時，對主機電腦控制部21係自裝載口管理部19向實體裝載口R-LP 1之「搬入結束」向對主機控制部27來報告。對主機控制部27係可辨識來自主機電腦控制部21之相關 「搬入結束」報告為在上述6自虛擬裝載口管理部29所接受，且回應於朝虛擬裝載口V-LP 1之第1 FOUP 3之搬入開始通知者。然後，根據相關之辨識，對主機控制部27係以相關「搬入結束」之報告作為向虛擬裝載口V-LP 1之「搬入結束」報告，發送至主機電腦9。
又由於當上述9之搬入實體裝載口R-LP 1之第1 FOUP 3被搬送至內部緩衝區15時，實體裝載口R-LP 1成可再度接受FOUP 3之狀態，因此，如同上述1，裝載口管理部19辨識實體裝載口R-LP 1為「可搬入」。對此回應，對主機電腦控制部21參考裝載口管理部19之辨識，將「可搬入」之通知發送至虛擬裝載口管理部19a之對主機控制部27。對主機控制部27係接受此通知，如同上述「搬入結束」報告，辨識虛擬裝載口V-LP 1成為「可搬入」，將此通知主機電腦9。相關「可搬入」之通知係根據向內部緩衝區15之FOUP 3之搬送時序，在上述「搬入結束」報告後不久，或晚一些。且由於虛擬裝載口V-LP 2為「可搬入」已在上述1被通知，對其回應之第2 OHT 17業已開始第2 FOUP 3之搬送，因此，在此不進行有關虛擬裝載口V-LP 2之新通知。
11.當第2 OHT 17略遲於第1 OHT 17到達基板處理裝置5時，如同上述4，載具搬送系統7係通知基板處理裝置5向虛擬裝載口V-LP 2搬入第2 FOUP 3。具體而言，載具搬送系統7係導通CS_1(表示虛擬裝載口V-LP 2)，更導通表示 搬送開始之VALID信號，並發送信號至對載具搬送系統控制部31。以下，如同上述，作為向虛擬裝載口V-LP 2之搬入，進行向實體裝載口R-LP 1之搬入。
且，於萬一在上述2之時間點，待為基板處理裝置5所處理之FOUP 3只是一個第1 FOUP 3情況下，雖然主機電腦9進行向虛擬裝載口V-LP 1之搬送指示，卻不馬上進行向虛擬裝載口V-LP 2之搬送指示，而是等待處理之第2 FOUP 3準備好。
根據此種實施形態，對一個實體裝載口R-LP 1分配給兩個虛擬裝載口V-LP 1、V-LP 2，以此二虛擬裝載口V-LP 1、V-LP 2兩者為「可搬入」，同時分別對其作動二台OHT 17，進行搬送動作，相較於僅以一台OHT 17對一個實體裝載口R-LP 1進行搬送動作之情形，可增大單位時間可搬送之FOUP 3個數，換言之，可縮短每一FOUP 3之搬送所需時間。
又由圖34亦可知，虛擬裝載口控制裝置19a係對基板處理裝置5固有之對主機電腦控制部21及對載具搬送系統控制部25僅處理有關實體裝載口R-LP 1之信號，對主機電腦9及載具搬送系統7僅處理有關虛擬裝載口V-LP 1、V-LP 2之信號。亦即，虛擬裝載口控制裝置19a係在基板處理裝置5與主機電腦9及載具搬送系統7之間進行實體裝載口R-LP 1與虛擬裝載口V-LP 1、V-LP 2之匹配及信號交換。因此， 習知之基板處理裝置5與主機電腦9及載具搬送系統7之硬體、軟體之構成不作任何變更，只要夾插虛擬裝載口控制裝置19a於其間，即可容易實施本發明之控制，又，只要卸下虛擬裝載口控制裝置19a，亦可容易恢復習知基板處理系統之構成。
且，虛擬裝載口V-LP 2係匹配相同實體裝載口R-LP 1之另一虛擬裝載口。於上述搬入過程中，載具搬送系統7之OHT 17為了搬送一個FOUP 3，自開始向基板處理裝置5移動之時間點，至此FOUP 3實際載置於匹配一個虛擬裝載口V-LP 1之實體裝載口R-LP 1為止，當可向屬於另一個虛擬裝載口之虛擬裝載口V-LP 2搬入時，虛擬裝載口控制裝置19a係向主機電腦9報告。又於自對應一個虛擬裝載口V-LP 1之實體裝載口R-LP 1向內部緩衝區15搬送FOUP 3開始時間點，向主機電腦9報告，可向異於虛擬裝載口V-LP 1之另一虛擬裝載口V-LP 2搬入，該虛擬裝載口V-LP 2匹配對應於虛擬裝載口V-LP 1之實體裝載口R-LP 1。
因此，主機電腦9係於上述期間，對載具搬送系統7導通表示虛擬裝載口V-LP 2之CS_1信號，可進行相同之向實體裝載口R-LP 1之搬入指示。因此，即使在搬入時為習知被佔有之期間內，主機電腦9仍可進行搬入指示。因此，可進行有效率的搬入處理。
且，於上述說明中，向虛擬裝載口V-LP 1搬送之前一(第 1)FOUP 3之搬送結束，被取入至內部緩衝區15，此後，向分配給同一實體裝載口R-LP 1之虛擬裝載口V-LP 2搬入次一(第2)FOUP 3。因此，向同一實體裝載口R-LP 1之搬入不會發生問題。然而，假設在較前一(第1)FOUP 3被取入至內部緩衝區15而結束更早之時間點，次一(第2)FOUP 3到達同一實體裝載口R-LP 1情況下，即符合上述實施形態中圖3之步驟S1中的條件2。此時，如同上述實施形態，對載具搬送系統控制部25係保留而不對載具搬送系統7通知不可搬入。此保留狀態係持續至前一(第1)FOUP 3被取入至內部緩衝區15結束為止。然後，當前一(第1)FOUP 3被取入至內部緩衝區15而結束，內部緩衝區管理部23發出FOUP 3移動結束通知時，對載具搬送系統控制部25係經由對載具搬送系統控制部31，向載具搬送系統7進行次一(第2)FOUP 3之搬入要求。如此，即在短時間內快速接續第1FOUP 3，實行第2 FOUP 3向實體裝載口R-LP 1之搬送。
而且，即使如此保留次一(第2)FOUP 3之搬入開始，仍因相較於如習知基板處理系統，FOUP 3被取入至內部緩衝區15，實體裝載口R-LP 1能接受次一搬入之後，才進行次一(第2)FOUP 3之搬送指示，因為本發明早就開始次一(第2)FOUP 3之搬送，所以即使發生此種待機，仍可進行較習知更有效率的搬送。
本發明不限於上述實施形態，可如下述變形實施。
(1)上述實施例於搬出處理中，在基板處理裝置5開始將FOUP 3自內部緩衝區15向裝載口13搬出之時間點，報告可搬出。然而，亦可在基板處理裝置5開始將FOUP 3自內部緩衝區15向裝載口13搬出之後，至FOUP 3實際上載置於裝載口13為止之期間內，報告可搬出。於此期間的任一時間點，載具搬送系統開始移動之時間均可較習知技術更早。
(2)於上述實施例中，雖然例示載具搬送系統7具備OHT 17之情形，卻亦採用AGV(Automatic Guided Vehicle)來替代。
本發明在不悖離其思想或本質下可用其他具體形式來實施，因此，應參考後附申請專利範圍，而非以上說明來表示出本發明範圍。
1‧‧‧基板處理系統
3、3a、3b‧‧‧FOUP
5‧‧‧基板處理裝置
7‧‧‧載具搬送系統
9‧‧‧主機電腦
11‧‧‧基板處理單元
13‧‧‧裝載口
15‧‧‧內部緩衝區
17、17A、17B‧‧‧OHT
19‧‧‧裝載口管理部
19a‧‧‧虛擬裝載口管理部、虛擬裝載口控制裝置
20‧‧‧裝載口控制裝置
21‧‧‧對主機電腦控制部
23‧‧‧內部緩衝區管理部
25‧‧‧對載具搬送系統控制部
27‧‧‧對主機控制部
29‧‧‧虛擬裝載口管理部
31‧‧‧對載具搬送系統控制部
33‧‧‧轉換表記憶部
35‧‧‧設定部
R-LP 1、R-LP 2‧‧‧實體裝載口
V-LP 1~V-LP 4‧‧‧虛擬裝載口
W‧‧‧基板
圖1係表示與實施例有關之基板處理系統之概要之俯視圖。
圖2係表示與實施例有關之基板處理系統之概略構成之方塊圖。
圖3係表示搬入處理時之順序之時序圖及流程圖。
圖4係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示載具搬送系統之狀態。
圖5係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示開始向基 板處理裝置搬送之通知。
圖6係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示向載具搬送系統之通知。
圖7係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示向裝載口之搬入。
圖8係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示次一載具搬送系統所作之搬送開始之通知。
圖9係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示搬入要求之保留。
圖10係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示搬入要求之通知。
圖11係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示向裝載口之搬入。
圖12係表示在搬出處理時之順序之時序圖及流程圖。
圖13係表示搬出處理時之過程之示意圖，其表示向基板處理裝置取出之指示。
圖14係表示搬出處理時之過程之示意圖，其表示開始取出。
圖15係表示搬出處理時之過程之示意圖，其表示對主機電腦之可搬出通知。
圖16係表示搬出處理時之過程之示意圖，其表示對載具搬送系統之搬出指示。
圖17係表示搬出處理時之過程之示意圖，其表示載具搬送系統之移動。
圖18係表示搬出處理時之過程之示意圖，其表示搬送開始通知。
圖19係表示搬出處理時之過程之示意圖，其表示搬出要求通知。
圖20係表示搬出處理時之過程之示意圖，其表示自裝載口搬出。
圖21係表示與實施例有關之基板處理系統之概要之俯視圖。
圖22係表示與實施例有關之基板處理系統之概略構成之方塊圖。
圖23係表示在搬入處理時之順序之時序圖。
圖24係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示對主機電腦之通知。
圖25係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示主機電腦之搬送指示。
圖26係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示載具搬送系統之移動。
圖27係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示載具搬送系統之搬入開始。
圖28係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示裝載口 之匹配。
圖29係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示虛擬裝載口之狀態變化之報告。
圖30係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示搬入接受。
圖31係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示載具搬送系統之移動。
圖32係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示FOUP朝內部緩衝區之移動。
圖33係表示搬入處理時之過程之示意圖，其表示搬入狀況之報告。
圖34係表示搬入處理時各部間之信號等之交換之示意圖。

Claims (17)

  1. 一種基板處理系統，係處理基板者，其包含以下元件：基板處理裝置，係具有：基板處理單元，其對基板進行既定處理；裝載口，其具有載置用以收納基板之收納器之實體裝載口，在與上述基板處理單元之間接收傳送收納器；以及內部緩衝區，其介存於上述基板處理單元與上述裝載口之間，在與上述基板處理單元之間接收傳送基板，在與上述裝載口之間接收傳送收納器，同時，在接收傳送之際暫時收容收納器；載具搬送系統，係於其與上述裝載口之間接收傳送收納器；以及主機電腦，係於其與上述基板處理裝置及上述載具搬送系統之間進行通信，根據上述基板處理裝置之狀況，指示藉由上述載具搬送系統進行收納器之搬送；上述基板處理裝置係具備對載具搬送系統控制部，係在上述裝載口因一個收納器而使用中之情況下，在與該裝載口之間用於授受其他收納器之載具搬送系統的移動機具到來時，直到藉由上述一個收納器所造成之該裝載口的使用結束為止，不通知不可接收，藉此使上述移動機具待機。
  2. 如申請專利範圍第1項之基板處理系統，其中，上述載具搬送系統係於搬入之際，在上述裝載口載置有其他收納器的情況下，在自上述對載具搬送系統控制部獲得搬 入許可之前，於其位置待機。
  3. 如申請專利範圍第1項之基板處理系統，其中，上述基板處理裝置係進一步具備對主機電腦控制部，其在自上述主機電腦被指示將上述內部緩衝區之收納器搬出之際，於開始自上述內部緩衝區朝上述裝載口搬出上述收納器後，至上述收納器載置於上述裝載口為止期間內，對上述主機電腦報告可以搬出上述收納器。
  4. 如申請專利範圍第1項之基板處理系統，進一步包含虛擬裝載口控制裝置，係對上述實體裝載口分配虛擬裝載口，同時以上述虛擬裝載口當作為實際存在者，相對於該虛擬裝載口對上述載具搬送系統指示搬送動作。
  5. 如申請專利範圍第2項之基板處理系統，其中，上述基板處理裝置係進一步具備對主機電腦控制部，其在自上述主機電腦被指示將上述內部緩衝區之收納器搬出之際，於開始自上述內部緩衝區朝上述裝載口搬出上述收納器後，至上述收納器載置於上述裝載口為止期間內，對上述主機電腦報告可以搬出上述收納器。
  6. 如申請專利範圍第2項之基板處理系統，進一步包含虛擬裝載口控制裝置，係對上述實體裝載口分配虛擬裝載口，同時以上述虛擬裝載口當作為實際存在者，相對於該虛擬裝載口對上述載具搬送系統指示搬送動作。
  7. 如申請專利範圍第3項之基板處理系統，其中， 上述載具搬送系統係在上述移動機具為了搬出收納器而移動到來之際，於上述裝載口並未載置收納器之情況下，直至上述收納器載置於上述裝載口為止，在其位置待機。
  8. 如申請專利範圍第3項之基板處理系統，進一步包含虛擬裝載口控制裝置，係對上述實體裝載口分配虛擬裝載口，同時以上述虛擬裝載口當作為實際存在者，相對於該虛擬裝載口對上述載具搬送系統指示搬送動作。
  9. 如申請專利範圍第3項之基板處理系統，其中，上述對主機電腦控制部係在開始將上述收納器自上述內部緩衝區朝上述裝載口搬出之時間點，對上述主機電腦報告上述收納器可搬出。
  10. 如申請專利範圍第5項之基板處理系統，其中，上述載具搬送系統係在上述移動機具為了搬出收納器而移動到來之際，於上述裝載口並未載置收納器之情況下，直至上述收納器載置於上述裝載口為止，在其位置待機。
  11. 如申請專利範圍第5項之基板處理系統，進一步包含虛擬裝載口控制裝置，係對上述實體裝載口分配虛擬裝載口，同時以上述虛擬裝載口當作為實際存在者，相對於該虛擬裝載口對上述載具搬送系統指示搬送動作。
  12. 如申請專利範圍第5項之基板處理系統，其中，上述對主機電腦控制部係在開始將上述收納器自上述內部緩衝區朝上述裝載口搬出之時間點，對上述主機電腦報告 上述收納器可搬出。
  13. 如申請專利範圍第7項之基板處理系統，進一步包含虛擬裝載口控制裝置，係對上述實體裝載口分配虛擬裝載口，同時以上述虛擬裝載口當作為實際存在者，相對於該虛擬裝載口對上述載具搬送系統指示搬送動作。
  14. 如申請專利範圍第10項之基板處理系統，進一步包含虛擬裝載口控制裝置，係對上述實體裝載口分配虛擬裝載口，同時以上述虛擬裝載口當作為實際存在者，相對於該虛擬裝載口對上述載具搬送系統指示搬送動作。
  15. 一種基板處理系統，係處理基板者，其包含以下元件：基板處理裝置，係具有：基板處理單元，其對基板進行既定處理；裝載口，其具有載置用以收納基板之收納器之實體裝載口，在與上述基板處理單元之間接收傳送收納器；以及內部緩衝區，其介存於上述基板處理單元與上述裝載口之間，在與上述基板處理單元之間接收傳送基板，在與上述裝載口之間接收傳送收納器，同時，在接收傳送之際暫時收容收納器；載具搬送系統，係於上述裝載口間接收傳送收納器；以及主機電腦，係於其與上述基板處理裝置及上述載具搬送系統之間進行通信，根據上述基板處理裝置之狀況，指示藉由上述載具搬送系統進行收納器之搬送；上述基板處理裝置係具備對主機電腦控制部，係在自上述 主機電腦被指示將上述內部緩衝區之收納器搬出之際，可於開始自上述內部緩衝區朝上述裝載口搬出上述收納器後，至上述收納器載置於上述裝載口為止期間內，對上述主機電腦報告可以搬出上述收納器，藉此使上述移動機具移動至上述裝載口。
  16. 如申請專利範圍第15項之基板處理系統，進一步包含虛擬裝載口控制裝置，係對上述實體裝載口分配虛擬裝載口，同時以上述虛擬裝載口當作為實際存在者，相對於該虛擬裝載口對上述載具搬送系統指示搬送動作。
  17. 如申請專利範圍第15項之基板處理系統，其中，上述對主機電腦控制部係在開始將上述收納器自上述內部緩衝區朝上述裝載口搬出之時間點，對上述主機電腦報告上述收納器可搬出。
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