JP5469015B2 - 基板処理装置および基板搬送方法 - Google Patents
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Description
Opening Unified Pod)Fを載置し、ウエハWの搬入出するための搬入出ブロック1と、ウエハWに対してスクラブ洗浄処理を行うための処理ブロック2と、基板処理装置100の各構成部を制御するための制御部5とを有している。
なお、以下の説明において、フープF、受け渡しユニット(TRS)、スクラブ洗浄ユニット(SCR)、反転ユニット(RVS)の一つひとつをモジュールと呼ぶ。また、4つのフープFのモジュール番号は1−1〜1−4であるが、画面上、1−*と表示する。さらに、画面においては、受け渡しユニットを「TRS」、スクラブ洗浄ユニットを「SCR」、反転ユニットを「RVS」、搬入出用搬送機構10を「CRA」、主搬送機構30,40を「PRA」、受け渡し用搬送機構20を「MPRA」と表示している。また、搬入出用搬送機構10、主搬送機構30,40、受け渡し用搬送機構20のモジュール番号は、1−0、3−0、4−0、2−0、受け渡しユニット(TRS)211〜216,221〜224のモジュール番号は、2−11〜2−16,2−21〜2−24、スクラブ洗浄ユニット(SCR)31〜34,41〜44のモジュール番号は、3−1〜3−4,4−1〜4−4、反転ユニット(RVS)35,36,45,46のモジュール番号は、3−5,3−6,4−5,4−6と表示している。さらに、搬入側のフープ(カセット)Fを「Start−CS」または「開始ステージ」または「FUST]、搬出側のフープ(カセット)Fを「End−CS」または「終了ステージ」または「FUST」と表示している。
2枚目:TRS212→TRS221→上段部3b→TRS223→TRS216→CRA→容器
3枚目:TRS213→下段部3a→TRS215→CRA→容器
4枚目:TRS214→TRS222→上段部3b→TRS224→TRS216→CRA→容器
5枚目:TRS211→下段部3a→TRS215→CRA→容器
6枚目:TRS212→TRS221→上段部3b→TRS223→TRS216→CRA→容器
7枚目:TRS213→下段部3a→TRS215→CRA→容器
8枚目:TRS214→TRS222→上段部3b→TRS224→TRS216→CRA→容器
例えば、上記実施形態では、ウエハの表裏面洗浄を行う装置を例にとって示したが、本発明はこれに限らず、複数の処理ユニットと複数の受け渡しユニットとを有し、搬入出部の収納容器に収納されている被処理基板を複数のいずれかの受け渡しユニットを介して複数の処理ユニットのいずれかに搬送し、処理後の被処理基板をいずれかの受け渡しユニットを介して収納容器に収納する装置であれば、処理の内容は問わない。装置構成も上記実施形態に限らず、本発明を実施可能な種々の装置を採用可能である。
2;処理ブロック
3;洗浄処理部
4;受け渡し/反転部
5;制御部
10;搬入出用搬送機構
20;受け渡し用搬送機構
21;積層タワー
30,40;主搬送機構
31〜34、41〜44;スクラブ洗浄ユニット
35,36,45,46;反転ユニット
50;主制御部
51;演算部
52;操作部
53;記憶部
55;搬送フロー制御部
56;ユニット制御部
57;搬送レシピ作成部
58;選択部
100;基板処理装置
211〜216,221〜224;受け渡しユニット
Claims (14)
- 被処理基板を収納する収納容器が載置される載置台を有する搬入出部と、
被処理基板に対して所定の処理を行う複数の処理ユニットを有する処理部と、
前記搬入出部と前記処理部との間で、被処理基板の受け渡しを行う複数の受け渡しユニットと、
被処理基板搬入用の収納容器および被処理基板搬出用の収納容器の選択、ならびに使用する基板を処理する処理ユニットの選択を受け付ける選択部と、
前記選択部で選択が受け付けられた被処理基板搬入用の収納容器および被処理基板搬出用の収納容器ならびに処理ユニットに応じて、複数の受け渡しユニットから使用する受け渡しユニットを自動的に選択し、被処理基板の搬送ルートを自動的に生成して搬送レシピを作成する搬送レシピ作成部と
を具備することを特徴とする、基板処理装置。 - 前記搬送レシピ作成部は、前記選択部において選択された被処理基板搬入用の収納容器または被処理基板搬出用の収納容器および処理ユニットに応じて、予めパラメータとして持っている装置構成設定に基づいて、前記複数の受け渡しユニットから使用する受け渡しユニットを自動的に選択し、被処理基板の搬送ルートを自動的に生成することを特徴とする、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記パラメータは、前記複数の受け渡しユニットの各々につけられた使用優先順位であり、使用優先順位の早いものから選択されるようにしたことを特徴とする、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記パラメータは、前記複数の受け渡しユニットの各々につけられた使用優先順位であり、使用可能な状態で使用優先順位の早いものから選択されるようにしたことを特徴とする、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記搬送レシピ作成部は、処理時間をシミュレートすることによって、スループットが最適となる受け渡しユニットの自動選択および搬送ルートの自動生成を行う機能を有することを特徴とする、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記搬送レシピ作成部は、前記複数の受け渡しユニットを被処理基板の搬入用と搬出用に振り分ける機能を有することを特徴とする、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記処理部は、複数の処理ユニットと前記複数の受け渡しユニットとの間で被処理基板を受け渡す主搬送機構を有し、
さらに、前記処理部は第1の組および第2の組を有し、前記複数の受け渡しユニットは、前記第1の組に対応するものと、前記第2の組に対応するものに分かれていることを特徴とする、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 前記選択部が前記第1の組および前記第2の組のいずれか一方を選択した場合に、前記搬送レシピ作成部は、選択しなかった方に対応する受け渡しユニットを選択しないことを特徴とする、請求項7に記載の基板処理装置。
- 前記搬入出部は、さらに、前記収納容器と前記複数の受け渡しユニットの間で被処理基板の受け渡しを行う搬入出用搬送機構を有し、
前記複数の受け渡しユニットのうち前記搬入出用搬送機構がアクセス可能なものとアクセスできないものとの間で被処理基板を搬送する受け渡し用搬送機構をさらに具備し、
前記搬送レシピ作成部は、前記受け渡し用搬送機構が、前記複数の受け渡しユニットのうち前記搬入出用搬送機構がアクセス可能なものとアクセスできないものとの間で被処理基板を搬送するようにレシピを作成することを特徴とする、請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 被処理基板を収納する収納容器から被処理基板を搬出した後、被処理基板の受け渡しを行う複数の受け渡しユニットのいずれかを介して、被処理基板に対して所定の処理を行う複数の処理ユニットのいずれかに搬送して、被処理基板に所定の処理を行う基板処理装置における基板搬送方法であって、
収納容器および使用する処理ユニットを選択し、
選択された収納容器および処理ユニットに応じて、使用する受け渡しユニットを自動的に選択し、被処理基板の搬送ルートを自動的に生成して搬送レシピを作成し、
前記作成した搬送レシピに基づいて被処理基板の搬送を制御することを特徴とする、基板搬送方法。 - 前記搬送レシピは、前記複数の受け渡しユニットの各々に使用優先順位をつけて、使用優先順位の早いものから選択して作成されることを特徴とする、請求項10に記載の基板搬送方法。
- 前記搬送レシピは、前記複数の受け渡しユニットの各々に使用優先順位をつけて、使用可能な状態で使用優先順位の早いものから選択して作成されることを特徴とする、請求項10に記載の基板搬送方法。
- 前記搬送レシピは、処理時間をシミュレートすることによって、スループットが最適となる受け渡しユニットの自動選択および搬送ルートの自動生成を行って作成されることを特徴とする、請求項10から請求項12のいずれか1項に記載の基板搬送方法。
- 前記搬送レシピは、前記複数の受け渡しユニットを被処理基板の搬入用と搬出用に振り分けて作成されることを特徴とする、請求項10から請求項13のいずれか1項に記載の基板搬送方法。
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