KR20130033319A - 기판 처리 시스템 - Google Patents

기판 처리 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20130033319A
KR20130033319A KR1020120106192A KR20120106192A KR20130033319A KR 20130033319 A KR20130033319 A KR 20130033319A KR 1020120106192 A KR1020120106192 A KR 1020120106192A KR 20120106192 A KR20120106192 A KR 20120106192A KR 20130033319 A KR20130033319 A KR 20130033319A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
load port
substrate processing
transport system
processing apparatus
carrier transport
Prior art date
Application number
KR1020120106192A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101409590B1 (ko
Inventor
히데키 시바타
Original Assignee
다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 filed Critical 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Publication of KR20130033319A publication Critical patent/KR20130033319A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101409590B1 publication Critical patent/KR101409590B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67745—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber characterized by movements or sequence of movements of transfer devices
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41815—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the cooperation between machine tools, manipulators and conveyor or other workpiece supply system, workcell
    • G05B19/41825—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the cooperation between machine tools, manipulators and conveyor or other workpiece supply system, workcell machine tools and manipulators only, machining centre
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41815—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the cooperation between machine tools, manipulators and conveyor or other workpiece supply system, workcell
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/4189—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the transport system
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31002—Computer controlled agv conveys workpieces between buffer and cell
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31216—Handshake between machine and agv; readiness to load, unload workpiece
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/32—Operator till task planning
    • G05B2219/32265—Waiting, queue time, buffer
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

기판을 처리하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 시스템은 이하의 요소를 포함한다. 기판에 대하여 소정의 처리를 행하는 기판 처리 유닛과, 기판을 수납하기 위한 수납기가 재치되는 물리 로드 포트를 구비하고, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 수납기를 주고받는 로드 포트와, 상기 기판 처리 유닛과 상기 로드 포트와의 사이에 개재하고, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 기판을 주고받으며, 상기 로드 포트와의 사이에서 수납기를 주고받는 것과 함께, 주고받기 시에 일시적으로 수납기를 수용하는 내부 버퍼를 구비한 기판 처리 장치, 수납기를 상기 로드 포트와의 사이에서 주고받는 캐리어 반송 시스템, 상기 기판 처리 장치 및 상기 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 통신을 행하고, 상기 기판 처리 장치의 상황에 따라 상기 캐리어 반송 시스템에 의한 수납기의 반송을 지시하는 호스트 컴퓨터를 구비하고, 상기 기판 처리 장치는, 상기 로드 포트가 하나의 수납기에 의해 사용중인 경우에, 해당 로드 포트와의 사이에서 다른 수납기를 주고받기 위해 캐리어 반송 시스템의 이동기가 도래했을 때, 받음불가인 것을 상기 하나의 수납기의 사용이 종료할 때까지 통지하지 않는 대캐리어 반송 시스템 제어부를 구비하고 있다.

Description

기판 처리 시스템{SUBSTRATE TREATING SYSTEM}
본 발명은, 반도체 웨이퍼, 액정 디스플레이용 기판, 플라스마 디스플레이용 기판, 유기 EL용 기판, FED(Field Emission Display)용 기판, 광디스플레이용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크(photomask)용 기판, 태양전지용 기판(이하, 단지 '기판'이라고 칭한다)을 수납한 수납기를 기판 처리 장치와의 사이에서 반송하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
종래, 이런 종류의 기판 처리 시스템으로서, 기판 처리 유닛과, 수납기 수용·반송 유닛과, 로드 포트를 구비한 기판 처리 장치와, 호스트 컴퓨터의 지시에 의해 수납기를 반송하는 캐리어 반송 시스템과, 전체의 제어를 행하는 호스트 컴퓨터를 구비한 것을 들 수 있다.
기판 처리 유닛은, 기판에 대하여 각종 처리를 행한다. 수납기 수용·반송 유닛은, 기판 처리 유닛에 병설(竝設)되고, 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 수용하거나, 반송하거나 한다. 로드 포트는, 수납기 수용·반송 유닛에 병설되고, FOUP를 재치한다. 캐리어 반송 시스템(AMHS: Automated Material Handling System)은, 무인 반송차(AGV: Automatic Guided Vehicles)나, 천정 주행식 무인 반송차(OHT: Overhead Hoist Transfer) 등의 이동기를 구비하고 있고, 로드 포트와의 사이에서 FOUP의 주고받기를 행한다. 호스트 컴퓨터는, 기판 처리 장치나 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 통신을 행하고, FOUP의 반송에 관한 제어를 행한다.
캐리어 반송 시스템이 FOUP를 기판 처리 장치에 대하여 반송하려면, 시간을 필요로 한다. 따라서, 기판 처리 장치가 수납기 수용·반송유닛을 구비하고 있는 경우에는, 로드 포트에 FOUP가 반입된 후, 로드 포트로부터 수납기 수용·반송유닛에 대하여 FOUP를 가능한 한 빨리 걷어들이도록 하고, 다음의 반송을 위해서 로드 포트를 비우도록 하는 것이 요구된다. 이러한 요망(要望)을 만족하기 위해서, 로드 포트 부근에서의 수납기의 일시적인 대피 장소로서, 가동 버퍼를 설치하고 있는 것이 제안되어 있다. 예를 들면, 일본 특표 2008－508731호 공보를 참조.
이 장치는, 로드 포트에 FOUP가 재치되면, 가동 버퍼에 의해 로드 포트로부터 횡방향으로 FOUP를 일시적으로 슬라이드 이동시켜 대피시키고, 로드 포트를 다음의 반송에 이용하는 것이 가능하다.
그렇지만, 이러한 구성을 가지는 종래 예의 경우에는, 다음과 같은 문제가 있다.
즉, 종래의 장치는, FOUP를 로드 포트로부터 일시적으로 대피시키는 기구를 구비하고 있지만, 예를 들면, 캐리어 반송 시스템의 2대의 OHT가 연속하여 같은 로드 포트에 FOUP를 반입하도록 한 경우에는, 반입 간격이 짧기 때문에, 한쪽의 OHT가 반입한 FOUP가 로드 포트로부터 대피하는 것보다도 빨리, 다른 쪽의 OHT가 FOUP를 반입하려고 했을 경우에는, 로드 포트에 FOUP를 반입하는 것이 가능하지 않고, OHT에 의한 FOUP의 반입에 실패하는 일이 있다고 하는 문제가 있다. 이러한 반입의 실패가 생기면, 로드 포트는 캐리어 반송 시스템에 대하여 즉시 그 OHT가 「반입 불가」라고 통지한다. 그러면, OHT는, 그 로드 포트를 통과하여 캐리어 반송 시스템의 주회궤도(周回軌道)를 회전한 후, 다시 반입을 시도하게 된다. 또한, 반출에 대해서도, 같은 문제가 생기는 일이 있다. 따라서, OHT가 다시 주회궤도를 회전하려면, 시간을 필요로 하게 되므로, 캐리어 반송 시스템의 자원(資源)을 유효하게 이용할 수 없다는 문제가 있다.
본 발명은, 이러한 문제를 해결하기 위한 것이며, 캐리어 반송 시스템을 유효하게 이용할 수 있는 기판 처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 채용한다.
본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 시스템은 기판에 대하여 소정의 처리를 행하는 기판 처리 유닛과, 기판을 수납하기 위한 수납기가 재치되는 물리 로드 포트를 구비하고, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 수납기를 주고받는 로드 포트와, 상기 기판 처리 유닛과 상기 로드 포트의 사이에 개재(介在)하고, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 기판을 주고받으며, 상기 로드 포트와의 사이에서 수납기를 주고받는 것과 함께, 주고받기 시에 일시적으로 수납기를 수용하는 내부 버퍼를 구비한 기판 처리 장치； 수납기를 상기 로드 포트와의 사이에서 주고받는 캐리어 반송 시스템； 상기 기판 처리 장치 및 상기 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 통신을 행하고, 상기 기판 처리 장치의 상황에 따라 상기 캐리어 반송 시스템에 의한 수납기의 반송을 지시하는 호스트 컴퓨터를 구비하며, 상기 기판 처리 장치는, 상기 로드 포트가 하나의 수납기에 의해 사용중인 경우에, 해당 로드 포트와의 사이에서 다른 수납기를 주고받기 위해 캐리어 반송 시스템의 이동기가 도래(到來)했을 때, 받음(拜受)불가인 것을 상기 하나의 수납기의 사용이 종료할 때까지 통지하지 않는 대(對)캐리어 반송 시스템 제어부를 구비하고 있다.
본 발명에 의하면, 기판 처리 장치는, 수납기를 로드 포트에 반입하기 위해서 캐리어 반송 시스템의 이동기가 이동해 왔을 때에, 로드 포트에 다른 수납기가 재치되어 내부 버퍼로의 주고받기 중인 등의 상태인 경우에는, 캐리어 반송 시스템이 반송 개시를 통지하여도, 수납기를 내부 버퍼에 반송 종료할 때까지 캐리어 반송 시스템에 대하여 반입 가부(可否)의 통지를 보류하는 대캐리어 반송 시스템 제어부를 구비하고 있다. 따라서, 앞(前)의 이동기에 이어서 다음의 이동기가 수납기를 반송하는 경우여도, 뒤(後)의 이동기가 불필요하게 주회궤도를 회전하는 일이 없다. 그 결과, 수납기의 반입에 관해서 캐리어 반송 시스템을 효과적으로 이용할 수 있다.
또한, 본 발명은, 상기 캐리어 반송 시스템은, 반입 시에, 상기 로드 포트에 다른 수납기가 재치되어 있는 경우에는, 상기 대캐리어 반송 시스템 제어부로부터 반입의 허가를 얻을 때까지, 그 위치에서 대기하는 것이 바람직하다.
일반적으로는, 캐리어 반송 시스템은, 반송 개시를 통지한 후, 미리 결정된 시간을 경과하면, 그 자리에서 떠나서 주회궤도로 돌아온다. 그러나, 대캐리어 반송 시스템 제어부로부터 반입의 허가가 얻어질 때까지, 그 위치에서 대기하는 것에 의해, 주회(周回)의 낭비를 없앨 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 장치는, 상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 내부 버퍼의 수납기의 반출을 지시받았을 때에, 상기 수납기를 상기 내부 버퍼로부터 상기 로드 포트로의 반출을 개시한 후, 상기 수납기가 상기 로드 포트에 재치될 때까지의 사이에, 상기 호스트 컴퓨터에 대하여 상기 수납기가 반출 가능한 것을 보고하는 대호스트 컴퓨터 제어부를 더 구비하고 있는 것이 바람직하다.
기판 처리 장치가 수납기를 내부 버퍼로부터 로드 포트로의 반출을 개시하고 나서, 수납기가 실제로 로드 포트에 재치될 때까지의 사이에, 대호스트 컴퓨터 제어부가 호스트 컴퓨터에 수납기가 반출 가능한 것을 보고한다. 따라서, 실제로 수납기가 로드 포트에 재치되고 나서 반출 가능한 것을 보고(報告)하는 경우와 비교하여, 캐리어 반송 시스템이 이동을 개시할 때까지의 시간을 앞당길 수 있다. 그 결과, 수납기의 반출에 관해서, 캐리어 반송 시스템을 효과적으로 이용할 수 있다.
또한, 상기 캐리어 반송 시스템은, 상기 이동기가 수납기를 반출하기 위해서 이동해 왔을 때에, 상기 로드 포트에 대하여 수납기가 재치되어 있지 않은 경우에는, 상기 수납기가 상기 로드 포트에 재치될 때까지, 그 위치에서 대기하는 것이 바람직하다.
일반적으로는, 캐리어 반송 시스템이 수납기를 반출하러 왔을 때에, 로드 포트에 수납기가 재치되어 있지 않은 경우에는, 캐리어 반송 시스템은 주회궤도로 돌아온다. 그러나, 수납기가 로드 포트에 재치될 때까지 대기하므로, 주회(周回)의 낭비를 없앨 수 있다.
또한, 본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 시스템은 기판에 대하여 소정의 처리를 행하는 기판 처리 유닛과, 기판을 수납하기 위한 수납기가 재치되는 물리 로드 포트를 구비하고, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 수납기를 주고받는 로드 포트와, 상기 기판 처리 유닛과 상기 로드 포트와의 사이에 개재(介在)하고, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 기판을 주고받으며, 상기 로드 포트와의 사이에서 수납기를 주고받는 것과 함께, 주고받기 시에 일시적으로 수납기를 수용하는 내부 버퍼를 구비한 기판 처리 장치； 수납기를 상기 로드 포트와의 사이에서 주고받는 캐리어 반송 시스템； 상기 기판 처리 장치 및 상기 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 통신을 행하고, 상기 기판 처리 장치의 상황에 따라 상기 캐리어 반송 시스템에 의한 수납기의 반송을 지시하는 호스트 컴퓨터를 구비하고, 상기 기판 처리 장치는, 상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 내부 버퍼의 수납기의 반출을 지시받았을 때에, 상기 수납기의 상기 내부 버퍼로부터 상기 로드 포트로의 반출을 개시한 후, 상기 수납기가 상기 로드 포트에 재치될 때까지의 사이에, 상기 호스트 컴퓨터에 대하여 상기 수납기가 반출 가능한 것을 보고하는 대호스트 컴퓨터 제어부를 구비하고 있다.
본 발명에 의하면, 호스트 컴퓨터로부터 내부 버퍼의 수납기의 반출을 지시받았을 때에, 수납기가 로드 포트에 재치될 때까지의 사이에, 호스트 컴퓨터에 대하여 수납기가 반출 가능한 것을 보고하므로, 기판 처리 시스템의 이동기가 신속하게 로드 포트로 이동하여 도착할 수 있으므로, 수납기를 조기에 반출할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 물리 로드 포트에 대하여 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재(實在)하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대하여 상기 캐리어 반송 시스템에 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어장치를 더 구비한다.
이것에 의해, 1개의 물리 로드 포트에 대하여 동시에 복수의 이동기에 의해서 복수의 수납기를 동시에 반송할 수 있고, 다수의 수납기를 효율적으로 반송할 수 있다.
본 발명에 의하면, 기판 처리 장치는, 수납기를 로드 포트에 반입하기 위해서 캐리어 반송 시스템의 이동기가 이동해 왔을 때에, 로드 포트에 다른 수납기가 재치되어 내부 버퍼로의 주고받기 중인 등의 상태인 경우에는, 캐리어 반송 시스템이 반송 개시를 통지하여도, 수납기를 내부 버퍼에 반송 종료할 때까지 캐리어 반송 시스템에 대하여 반입 가부(可否)의 통지를 보류하는 대캐리어 반송 시스템 제어부를 구비하고 있다. 따라서, 앞(前)의 이동기에 이어서 다음의 이동기가 수납기를 반송하는 경우에도, 뒤(後)의 이동기가 불필요하게 주회궤도를 회전하는 일이 없다. 그 결과, 수납기의 반입에 관해서 캐리어 반송 시스템을 효과적으로 이용할 수 있다.
도 1은, 실시예에 관한 기판 처리 시스템의 개요를 나타내는 평면도.
도 2는, 실시예에 관한 기판 처리 시스템의 개략 구성을 나타내는 블럭도.
도 3은, 반입 처리시에 있어서의 시퀀스를 나타낸 타임 차트 및 플로차트(flow chart)이다.
도 4는, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 캐리어 반송 시스템의 상태를 나타낸다.
도 5는, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 기판 처리 장치에의 반송 개시의 통지를 나타낸다.
도 6은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 캐리어 반송 시스템에의 통지를 나타낸다.
도 7은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 로드 포트로의 반입을 나타낸다.
도 8은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 다음의 캐리어 반송 시스템에 의한 반송 개시의 통지를 나타낸다.
도 9는, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 반입 요구의 보류를 나타낸다.
도 10은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 반입 요구의 통지를 나타낸다.
도 11은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 로드 포트로의 반입을 나타낸다.
도 12는, 반출 처리시에 있어서의 시퀀스를 나타낸 타임 차트 및 플로차트(flow chart)이다.
도 13은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 기판 처리 장치에의 반출 지시를 나타낸다.
도 14는, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 반출의 개시를 나타낸다.
도 15는, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 호스트 컴퓨터에의 반출 가능의 통지를 나타낸다.
도 16은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 캐리어 반송 시스템에 대한 반출의 지시를 나타낸다.
도 17은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타낸다.
도 18은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 반송 개시의 통지를 나타낸다.
도 19는, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 반출 요구의 통지를 나타낸다.
도 20은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 로드 포트로부터의 반출을 나타낸다.
도 21은, 실시예에 관한 기판 처리 시스템의 개요를 나타내는 평면도이다.
도 22는, 실시예에 관한 기판 처리 시스템의 개략 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 23은, 반입 처리시에 있어서의 시퀀스를 나타낸 타임 차트이다.
도 24는, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 호스트 컴퓨터로의 통지를 나타낸다.
도 25는, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 호스트 컴퓨터의 반송 지시를 나타낸다.
도 26은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타낸다.
도 27은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 캐리어 반송 시스템에 의한 반입 개시를 나타낸다.
도 28은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 로드 포트의 대응짓기(matching)를 나타낸다.
도 29는, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 가상 로드 포트의 상태 변화의 보고를 나타낸다.
도 30은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 반입 접수를 나타낸다.
도 31은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타낸다.
도 32는, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, FOUP의 내부 버퍼로의 이동을 나타낸다.
도 33은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 반입 상황의 보고를 나타낸다.
도 34는, 반입 처리시에 있어서의 각 부 사이의 신호 등의 교환을 나타내는 모식도이다.
여기서, 발명을 설명하기 위해 현재 적합하다고 생각되는 몇 개의 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 대로의 구성 및 방책(方策)으로 한정되는 것은 아닌 것을 이해해야 한다.
이하, 본 발명의 적합한 실시예를 도면에 근거하여 상세하게 설명한다.
도 1은, 실시예에 관한 기판 처리 시스템의 개요를 나타내는 평면도이며, 도 2는, 실시예에 관한 기판 처리 시스템의 개략 구성을 나타내는 블럭도이다.
이 기판 처리 시스템(1)은, 기판(W)을 FOUP(3)마다 반입하고 기판(W)에 대하여 처리를 행하고, 처리를 끝낸 기판(W)을 FOUP(3)마다 반출하는 기능을 구비하고 있다. FOUP(3)는, Front Opening Unified Pod의 약칭이며, 청정(淸淨)한 환경에 밀폐된 상태로 기판(W)을 수납하는 것이다.
기판 처리 시스템(1)은, 예를 들면, 기판 처리 장치(5)와, 캐리어 반송 시스템(7)과, 호스트 컴퓨터(9)를 구비하고 있다. 기판 처리 장치(5)는, 복수대(複數台)인 것이 일반적이며, 도 1에서는, 일례로서 2대의 기판 처리 장치(5)를 나타내고 있다.
기판 처리 장치(5)는, 기판 처리 유닛(11)과, 로드 포트(13)와, 내부 버퍼(15)를 구비하고 있다. 기판 처리 유닛(11)은, FOUP(3)로부터 꺼내진 기판(W)에 대하여 소정의 처리를 행한다. 소정의 처리로서는, 예를 들면, 세정 처리, 에칭 처리, 포토레지스트(photoresist) 제거 처리 등이 있다. 로드 포트(13)는, 기판 처리 장치(5)와 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에서 FOUP(3)를 주고받는 것이다. 이 예에서는, 로드 포트(13)가 2대의 물리 로드 포트(LP1, LP2)를 구비하고 있다. 내부 버퍼(15)는, 기판 처리 유닛(11)과 로드 포트(13)의 사이에 배치되고, 로드 포트(13)와의 사이에서 FOUP(3)를 주고받는 것과 함께, 기판 처리 유닛(11)과의 사이에서 FOUP(3)로부터 꺼내진 기판(W)의 주고받기를 행한다.
또한, 내부 버퍼(15)는, 로드 포트(13)로부터 FOUP(3)가 반입되고, 기판 처리 유닛(11)이 기판(W)을 받아 들일 수 없는 상태의 경우에, 일시적으로 FOUP(3)를 수용하거나, 로드 포트(13)가 FOUP(3)를 반출할 수 없는 상태의 경우에, 일시적으로 FOUP(3)를 수용하거나 하는, 버퍼링의 기능을 구비하고 있다.
또한, 상기의 FOUP(3)가 본 발명에 있어서의 「수납기」에 상당한다.
캐리어 반송 시스템(7)은, 기판 처리 장치(5)와의 사이에서 FOUP(3)를 반송하거나, 도시하지 않는 FOUP(3)의 보관고(保管庫)와 기판 처리 장치(5)의 사이에서 FOUP(3)를 반송하거나 하는 것이다. 캐리어 반송 시스템(7)으로서는, 예를 들면, AGV(Automatic Guided Vehicle), OHT(Overhead Hoist Transfer) 등의 이동기를 구비하는 AMHS(Automated Material Handling Systems)를 들 수 있다. 이 실시예에서는, 일례로서, 2대의 기판 처리 장치(5)의 주변에서, 이동기로서의 OHT(17)가 주회(周回) 이동하는 구성을 채용하고 있다. 여기에서는, 일례로서, OHT(17)가 2대 있고, 각각 OHT(17A, 17B)로 한다.
호스트 컴퓨터(9)는, 상술한 기판 처리 장치(5)와 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에서 통신을 행한다. 호스트 컴퓨터(9)는, 기판 처리 장치(5)의 상황에 따라 캐리어 반송 시스템(7)에 의한 FOUP(3)의 반송을 지시한다. 여기서 말하는 「반송」이란, 기판 처리 장치(5)로의 FOUP(3)를 옮겨 넣기 위한 반송인「반입」과, 기판 처리 장치(5)로부터 FOUP(3)를 꺼내기 위한 반송인「반출」을 나타내고 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 상술한 기판 처리 장치(5)는, 로드 포트 관리부(19)를 구비하고 있다. 로드 포트 관리부(19)는, 두 개의 물리 로드 포트(LP1, LP2) 상태를 판단하고, 캐리어 반송 시스템(7)과 호스트 컴퓨터(9)의 사이에서 통신을 행한다. 또한, 물리 로드 포트(LP1)를 반입으로 할당하고, 물리 로드 포트(LP2)를 반출로 할당하는 등의 처리도 행한다.
기판 처리 장치(5)는, 대호스트 컴퓨터 제어부(21)와, 내부 버퍼 관리부(23)와, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)를 구비하고 있다. 대호스트 컴퓨터 제어부(21)는, 주로 호스트 컴퓨터(9)와의 사이에서의 통신을 행한다. 내부 버퍼 관리부(23)는, 내부 버퍼(15)에서의 사용 상황 등을 판단하고, 어느 선반에 FOUP(3)를 수납하면 좋은가 또는, 어느 선반의 FOUP(3)를 반출하면 좋은가 등을 판단한다. 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 캐리어 반송 시스템(7)과의 사이에서 통신을 행한다.
자세한 것은 후술하겠지만, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 각종 조건에 따라 반입의 제어를 행한다. 예를 들면, FOUP(3)를 반입하는 경우에, FOUP(3)를 로드 포트(13)에 반입하기 위해서 캐리어 반송 시스템(7)이 이동해 왔을 때에, 로드 포트 관리부(19)에서의 로드 포트(13)의 관리 상황에 근거하고, 로드 포트(13)에 다른 FOUP(3)가 재치된 상태, 즉 로드 포트(13)로부터 내부 버퍼(15)에의 주고받기가 완료되어 있지 않는 상태라고 판단했을 경우여도, 해당 다른 FOUP(3)를 내부 버퍼(15)로 반송을 끝마칠 때까지는, 캐리어 반송 시스템(7)에 대하여 반입 불가를 통지하지 않게 보류한다. 또한, 이때, 예를 들면, 캐리어 반송 시스템(7)의 OHT(17A)에 이어서 OHT(17B)가 반입을 위해서 이동해 왔을 경우에는, 뒤의 OHT(17B)는, 특정 조건을 만족하지 않는 한, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)로부터 반입의 허가를 얻을 때까지, 그 위치에서 대기한다.
또한, 자세한 것은 후술하겠지만, 대호스트 컴퓨터 제어부(21)는, 각종 조건에 따라 반출에 관한 제어를 행한다. 예를 들면, 호스트 컴퓨터(9)로부터 내부 버퍼(15)의 FOUP(3)의 반출을 지시받았을 때에, 로드 포트 관리부(19)의 관리 상황에 근거하여, 그 FOUP(3)를 내부 버퍼(15)로부터 로드 포트(13) 중 어느 하나의 물리 로드 포트(LP1, LP2)로 반송한다. 그 반송을 개시한 후, 그 FOUP(3)가 물리 로드 포트(LP1, LP2)의 어느 한 쪽에 재치될 때까지의 사이, 즉, 로드 포트(13)가 FOUP(3)에 의해서 사용 중에, 호스트 컴퓨터(9)에 대하여 FOUP(3)가 반출 가능한 것을 보고(報告)한다.
또한, 이 때, 캐리어 반송 시스템(7)은, FOUP(3)를 반출하기 위해서 이동해 왔을 때에, 로드 포트(13)의 물리 로드 포트(LP1, LP2)의 어느 것에도 FOUP(3)가 재치되어 있지 않은 경우, 즉, 수납 버퍼(15)로부터 로드 포트(13)로의 주고받기가 완료되어 있지 않은 상태일 때에는, 캐리어 반송 시스템(7)과의 주고받기 가부(可否)의 통지가 보류되므로, 그 위치에서 대기한다.
＜반입 처리＞
다음으로, 도 3 ~ 도 11을 참조하여, 상술한 기판 처리 시스템(1)에 의한 FOUP(3)의 「반입」의 흐름에 대해 설명한다.
또한, 도 3은, 반입 처리시에 있어서의 시퀀스를 나타낸 타임 차트 및 플로차트(flow chart)이다. 또한, 도 4 ~ 도 11은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 도 4는, 캐리어 반송 시스템의 상태를 나타내고, 도 5는, 기판 처리 장치에의 반송 개시의 통지를 나타내며, 도 6은, 캐리어 반송 시스템에의 통지를 나타내고, 도 7은, 로드 포트로의 반입을 나타내며, 도 8은, 다음의 캐리어 반송 시스템에 의한 반송 개시의 통지를 나타내고, 도 9는, 반입 요구의 보류를 나타내며, 도 10은, 반입 요구의 통지를 나타내고, 도 11은, 로드 포트로의 반입을 나타낸다.
이하의 설명에 있어서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 캐리어 반송 시스템(7)의 OHT(17A)가 FOUP(3a)를 유지하고, OHT(17B)가 FOUP(3b)를 유지하며, 그 순번으로 기판 처리 장치(5)로 이동해 오고, 반입 처리를 기다리고 있는 상태인 것으로 한다.
캐리어 반송 시스템(7)은, 기판 처리 장치(5)의 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)에 대하여, VALD 신호를 ON 한다(도 5). 이 VALD 신호는, 반송 개시를 나타내는 신호이다. 기판 처리 장치(5)의 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, VALD 신호가 ON인 것을 검출한다(스텝 S1). 이 예에서는, 2대의 OHT(17A, 17B) 가운데, 선행하는 OHT(17A)가 VALD 신호를 ON으로 하고 있는 것으로 한다.
대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 로드 포트 관리부(19)에 의한 상황을 고려하고, 조건에 따라 처리를 분기(分岐) 한다(스텝 S2). 「조건 1」은, 반입이 가능한 경우이다. 반입이 가능하면, L＿REQ 신호를 ON으로 한다. 이 L＿REQ 신호는, 반입을 허가하는 것을 의미한다. 한편, 「조건 2」는, 로드 포트(13)가 사용중이거나, 그 FOUP(3)가 내부 버퍼(15)에 반송 중에 있는 경우이다. 즉, 엄밀하게는, 로드 포트(13)가 사용 가능하지 않은 상태이다. 「조건 3」은, 조건 1, 2 이외의 상황이다. 예를 들면, 로드 포트(13)에 고장이 생기고, 사용 불가능한 상태인 등의 경우이다.
여기에서는, 최초의 OHT(17A)에 대해서는, 로드 포트(13)가 비어있으므로, 조건 1을 만족한다. 따라서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 캐리어 반송 시스템(7)에 대하여 OHT(17A)의 L＿REQ 신호를 ON한다(스텝 S3). 이 L＿REQ 신호는, Load REQuest를 나타내고, 반입 요구의 것이다. 반입 요구를 받은 캐리어 반송 시스템(7)의 OHT(17A)는, FOUP(3a)를 물리 로드 포트(LP1)에 재치하는 이재(移載 : 옮겨 실음)를 실행한다(도 7). 그리고, OHT(17A)는, 그 장소를 떠나서, 캐리어 반송 시스템(7)의 주회궤도(周回軌道)로 돌아온다.
다음으로, OHT(17B)는, 기판 처리 장치(5)의 앞으로 이동하고, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)에 대하여, 반송 개시를 나타내는 VALD 신호를 ON으로 한다(도 8). 이 때, 물리 로드 포트(LP1)에는, 앞의 FOUP(3a)가 재치된 상태이다.
내부 버퍼 관리부(23)는, 내부 버퍼(15)의 사용 상황을 고려하여, 내부 버퍼(15)의 적당한 선반으로 FOUP(3a)를 이동하기 시작한다(도 9). 이 때, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, VALD 신호를 받고, 일반적으로는 반입 요구를 하는 것이지만, 본 발명은 캐리어 반송 시스템(7)에 대한 반입 요구를 보류해 놓고, 또한, 반입 불가의 통지도 즉시로는 행하지 않는다. 이것은, 앞의 FOUP(3a)의 이동이 개시되었던 즈음에, 로드 포트(13)가 사용가능하지 않기 때문이다. 구체적으로는, 도 3에 있어서의 스텝 S2에서의 조건 2를 만족하므로, 스텝 S2로부터 스텝 S4로 이행하여, 시간 조정을 도모한다. 상세하게는, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 내부 버퍼 관리부(23)로부터의 이동 완료 통지를 기다리고, 반입 요구를 캐리어 반송 시스템(7)에 대하여 행한다(도 10). 반입 요구를 받은 캐리어 반송 시스템(7)은, OHT(17B)로부터 FOUP(3b)를 물리 로드 포트(LP1)로 이재시킨다(도 10). 이재를 끝낸 OHT(17B)는, 주회궤도에 돌아온다.
또한 상술한 조건 3을 만족한 경우에는, HO＿AVBLE 신호를 OFF로 하고(스텝 S5), 반입 처리를 중지한다. 이것에 의해, 반입이 중지되므로, 캐리어 반송 시스템(7)은, 기판 처리 장치(5)의 앞으로 이동하여 대기하고 있는 OHT(17)를 주회궤도로 되돌린다. 이것에 의해, OHT(17)가 기판 처리 장치(5)의 앞에서 계속 대기하는 문제를 회피할 수 있다.
이와 같이, 기판 처리 장치(5)는, FOUP(3)를 로드 포트(13)에 반입하기 위해서 캐리어 반송 시스템(7)이 이동해 왔을 때에, 로드 포트(13)에 다른 FOUP(3a)가 재치된 상태인 경우에는, 캐리어 반송 시스템(7)이 반송 개시를 통지해도, FOUP(3a)를 내부 버퍼(15)에 반송 종료될 때까지 캐리어 반송 시스템(7)에 대하여 반입 가부를 통지하지 않고, 대기시키는 대(對)캐리어 반송 시스템 제어부(25)를 구비하고 있다. 따라서, 앞의 OHT(17A)에 이어서 OHT(17B)가 FOUP(3b)를 반송하는 경우에도, 뒤의 OHT(17B)가 불필요하게 주회궤도를 도는 일이 없다. 그 결과, FOUP(3)의 반입에 관해서 캐리어 반송 시스템(7)을 효과적으로 이용할 수 있다.
또한, 캐리어 반송 시스템(7)은, 반입 시에, 로드 포트(13)에 다른 FOUP(3)가 재치되어 있는 경우에는, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)로부터 반입의 허가를 얻을 때까지, 그 위치에서 대기하므로, 쓸데없이 주회궤도를 도는 일이 없다. 이를 위해서는, 캐리어 반송 시스템(7)이 구비한 타이머의 값을 바꾸는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 반입 개시(VALD 신호가 ON)를 요구하고 나서, 반입 요구(L＿REQ 신호가 ON)로 될 때까지의 대기 시간을 계시(計時)하는 타이머의 값을, 예를 들면, 표준적인 2초 정도로부터 10초 정도로 바꾸면 좋다. 이것은, 로드 포트(13)로부터 내부 버퍼(15)에 FOUP(3)의 반송에 필요로 하는 시간이다. 또한, 안전을 위한 마진을 고려하여 약간 길게 결정해도, 실질적으로 반송에 필요로 하는 시간이면 좋다.
＜반출 처리＞
다음으로, 도 12 ~ 도 20을 참조하여, 상술한 기판 처리 시스템(1)에 의한 FOUP(3)의 「반출」의 흐름에 대해 설명한다.
또한, 도 12는, 반출 처리시에 있어서의 시퀀스를 나타낸 타임 차트 및 플로차트(flow chart)이다. 또한, 도 13 ~ 도 20은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 도 13은, 기판 처리 장치에의 반출 지시를 나타내고, 도 14는, 반출 개시를 나타내며, 도 15는, 호스트 컴퓨터에의 반출 가능의 통지를 나타내고, 도 16은, 캐리어 반송 시스템에 대한 반출의 지시를 나타내며, 도 17은, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타내고, 도 18은, 반송 개시의 통지를 나타내며, 도 19는, 반출 요구의 통지를 나타내고, 도 20은, 로드 포트로부터의 반출을 나타낸다.
이하의 설명에서는, 캐리어 반송 시스템(7)의 OHT(17A)가 기판 처리 장치(5)의 FOUP(3)를 반출하는 처리에 대해 설명한다. 또한 OHT(17A)는, 주회궤도를 돌고 있는 것으로 한다.
호스트 컴퓨터(9)는, 기판 처리 장치(5)에 대하여 FOUP(3)의 반출을 지시한다(도 13). 이것을 받은 기판 처리 장치(5)는, 내부 버퍼 관리부(23)의 상황을 고려하여, 내부 버퍼(15)의 선반으로부터, 지정된 FOUP(3)를 반출하는 처리를 개시한다(도 14, 스텝 S11).
기판 처리 장치(5)는, 로드 포트(13)로의 FOUP(3)의 이동을 시작한 즈음으로, 로드 포트(13)로의 이동을 완료하고 있지 않지만, 반출 허가(RTU(Ready To Unload) 신호를 ON)를 호스트 컴퓨터(9)로 통지한다(도 15, 스텝 S12). 호스트 컴퓨터(9)는, 이것을 받아서, 캐리어 반송 시스템(7)의 OHT(17A)에 대하여, 반출을 지시한다(도 16). OHT(17A)는, 기판 처리 장치(5)로 이동하고(도 17), 이동을 완료한 시점에서 반입 개시(VALD 신호)를 ON으로 한다(도 18, 스텝 S13).
대호스트 컴퓨터 제어부(21)는, 로드 포트 관리부(19)의 상황을 고려하여, 조건에 따라 처리를 분기한다. 「조건 1」은, 로드 포트(13)에 FOUP(3)가 재치되어 있고, FOUP(3)의 반출이 가능한 경우이다. 「조건 2」는, 내부 버퍼(15)로부터 FOUP(3)가 반송 중이며, 로드 포트(13)로의 반출이 완료하고 있지 않은 경우이다. 「조건 3」은, 조건 1, 2 이외의 경우이다. 예를 들면, 내부 버퍼(15)나 로드 포트(13)에 장해가 생기고, 사용 불가능이 되었을 경우 등이다.
여기서, 조건 1인 경우에는, 반입 개시를 받고, 캐리어 반송 시스템(7)에 대하여 반송 요구(U＿REQ(Unload REQuest) 신호를 ON)를 행한다(도 19, 스텝 S15). 캐리어 반송 시스템(7)은, OHT(17A)에 대하여, 로드 포트(13)로부터 FOUP(3)를 반출하도록 지시한다. OHT(17A)는, 로드 포트(13)로부터 FOUP(3)를 받아 반송을 개시한다(도 20).
또한, 조건 2인 경우에는, 시간 조정을 행하고(스텝 S16), 그 사이, 반송 요구를 보류한다. 그 후에, 반송 요구를 행한다(스텝 S15). 조건 3인 경우에는, HO＿AVBAL 신호를 OFF로 하여(스텝 S16), 반출 처리를 중지한다.
이와 같이, 기판 처리 장치(5)가 FOUP(3)를 내부 버퍼(15)로부터 로드 포트(13)로의 반출을 개시한 시점에서, 대호스트 컴퓨터 제어부(21)가 호스트 컴퓨터(9)에 FOUP(3)가 반출 가능한 것을 보고한다. 따라서, 실제로 FOUP(3)가 로드 포트(13)에 재치되고 나서 반출 가능한 것을 보고하는 경우와 비교하여, 호스트 컴퓨터(9)로부터 캐리어 반송 시스템(7)이 이동을 개시할 때까지의 시간을 앞당길 수 있다. 그 결과, FOUP(3)의 반출에 관해서, 캐리어 반송 시스템(7)을 효과적으로 이용할 수 있다.
또한, 일반적으로는, 캐리어 반송 시스템(7)이 FOUP(3)를 반출하러 왔을 때에, 로드 포트(13)에 수납기가 재치되어 있지 않은 경우에는, 캐리어 반송 시스템(7)은 OHT(17)를 주회궤도에 되돌린다. 그러나, 본 실시 형태에서는, 반송 요구, 반송 불가 등의 주고받기 가부의 통지를, 로드 포트(13)와 내부 버퍼(15)의 주고받기 완료까지 보류하고, FOUP(3)가 로드 포트(13)에 재치될 때까지 대기하므로, 주회의 낭비를 없앨 수 있다.
또한, 본 발명은, 기판 처리 장치(5)로의 FOUP(3)의 반입에 있어서는, 복수의 이동기 즉, OHT(17)가 시간을 너무 벌리지 않고 연속하여 기판 처리 장치(5)로 FOUP(3)를 반송해 오는 경우에 유효하다. 그런데, 이런 종류의 기판 처리 장치와 캐리어 반송 시스템의 제어에 있어서는, 반입에 이용하는 로드 포트 1대에 대해서 1대의 OHT가 반입 작업을 행하도록 제어하는 것이 일반적이므로, 그러한 제어에서는, 상기와 같이 복수의 OHT(17)가 시간을 너무 벌리지 않고 연속하여 기판 처리 장치(5)로 FOUP(3)를 반송해 오는 경우는 드물다. 따라서, 본 발명은, 반입에 이용하는 로드 포트 1대에 대하여 복수대의 OHT가 동시에 반입을 행하도록 제어하는 경우에, 보다 효과를 발휘한다. 이하에, 그러한 제어의 실시예에 대해 설명한다. 여기에서, 상술한 실시예와 동일 혹은 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여한다.
도 21은, 실시예에 관한 기판 처리 시스템의 개요를 나타내는 평면도이며, 도 22는, 실시예에 관한 기판 처리 시스템의 개략 구성을 나타내는 블럭도이다.
실시예에 관한 기판 처리 시스템(1)은, 기판(W)을 FOUP(3)마다 반입하고 기판(W)에 대하여 처리를 행하며, 처리를 끝낸 기판(W)을 FOUP(3)마다 반출하는 기능을 구비하고 있다. FOUP(3)는, Front Opening Unified Pod의 약칭이며, 청정한 환경에 밀폐된 상태로 기판(W)을 수납하는 것이다.
이 기판 처리 시스템(1)은, 기판 처리 장치(5)와, 캐리어 반송 시스템(7)과, 호스트 컴퓨터(9)를 구비하고 있다. 기판 처리 장치(5)는, 복수대인 것이 일반적이며, 도 21에서는, 일례로서 2대의 기판 처리 장치(5)를 나타내고 있다.
기판 처리 장치(5)는, 기판 처리 유닛(11)과, 로드 포트(13)와, 내부 버퍼(15)를 구비하고 있다. 이 기판 처리 유닛(11)은, FOUP(3)로부터 꺼낸 기판(W)에 대하여 소정의 처리를 행한다. 소정의 처리로서는, 예를 들면, 세정 처리, 에칭 처리, 포토레지스트(photoresist) 제거 처리 등이 있다. 로드 포트(13)는, 기판 처리 장치(5)와 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에서 FOUP(3)를 주고받기 위한 것이다. 이 예에서는, 로드 포트(13)가 2대의 물리 로드 포트(R－LP1, R－LP2)를 구비하고 있다. 내부 버퍼(15)는, 기판 처리 유닛(11)과 로드 포트(13)와의 사이에 배치되고, 로드 포트(13)와의 사이에서 FOUP(3)를 주고받는 것과 함께, 기판 처리 유닛(11)과의 사이에서 FOUP(3)로부터 꺼낸 기판(W)의 주고받기를 행한다. 또한, 내부 버퍼(15)는, 로드 포트(13)로부터 FOUP(3)가 반입되고, 기판 처리 유닛(11)이 기판(W)을 받아 들일 수 없는 상태의 경우에는, 일시적으로 FOUP(3)를 수용하거나, 로드 포트(13)가 FOUP(3)를 반출할 수 없는 상태의 경우에는, 일시적으로 FOUP(3)를 수용하거나 하는, 버퍼링으로서의 기능을 구비하고 있다.
또한, 상기의 FOUP(3)가 본 발명에 있어서의 「수납기」에 상당한다.
캐리어 반송 시스템(7)은, 기판 처리 장치(5)와, FOUP(3)를 복수 수납하여 보관하는 보관고(도시하지 않음)의 사이, 혹은 다른 기판 처리 장치와의 사이에서 FOUP(3)를 반송하거나 하는 것이다. 캐리어 반송 시스템(7)으로서는, 예를 들면, AGV(Automatic Guided Vehicle), OHT(Overhead Hoist Transport)등의 AMHS(Automated Material Handling Systems)를 들 수 있다. 이 실시예에서는, 일례로서, 2대의 기판 처리 장치(5)의 주변에서, 복수대의 OHT(17)가 주회 이동하는 구성을 채용하고 있다.
호스트 컴퓨터(9)는, 상술한 기판 처리 장치(5)와 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에서 통신을 행한다. 호스트 컴퓨터(9)는, 기판 처리 장치(5)의 상황에 따라 캐리어 반송 시스템(7)에 의한 FOUP(3)의 반송을 지시한다. 여기서 말하는 「반송」이란, 기판 처리 장치(5)로의 FOUP(3)를 옮겨 넣기 위한 반송인 「반입」과, 기판 처리 장치(5)로부터 FOUP(3)를 꺼내기 위한 반송인 「반출」을 나타내고 있다.
도 22에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(5)는, 로드 포트 제어장치(20)를 구성하는 대(對)호스트 제어부(21)와, 로드 포트 관리부(19)와, 내부 버퍼 관리부(23)와, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)를 구비하고 있다. 이 로드 포트 제어장치(20)를 구성하는, 이들 대호스트 제어부(21), 로드 포트 관리부(19)와, 내부 버퍼 관리부(23), 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 일반적인 기판 처리 장치에 포함되는 것과 같은 기능을 가진다. 즉, 일반적인 기판 처리 시스템에서는, 로드 포트 관리부(19)는, 기판 처리 장치(5)에 설치되는 로드 포트(13)의 물리 로드 포트(R－LP1, R－LP2) 및 내부 버퍼(15)와 접속되어, 그것들과 통신하고, 그것들의 상태를 인식하여, 그 동작을 제어하는 등의 관리를 행한다. 또한, 일반적인 기판 처리 시스템에서는, 대호스트 제어부(21)는, 호스트 컴퓨터(9)와 접속되어, 로드 포트 관리부(19)가 인식하는 물리 로드 포트(R－LP1, R－LP2)의 상태를 참조하고, 호스트 컴퓨터(9)에 대하여 FOUP(3)의 반입 요구 등의 통신을 행한다. 또한, 일반적인 기판 처리 시스템에서는, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 캐리어 반송 시스템(7)과 접속되어, 로드 포트 관리부(19)가 인식하는 물리 로드 포트(R－LP1, R－LP2)의 상태 등을 참조하고, 캐리어 반송 시스템(7)과의 사이의 FOUP(3)의 반입 동작 제어에 관계되는 통신(후술 하는 CS신호 등)을 행한다. 내부 버퍼 관리부(23)는, 내부 버퍼(15)에서의 사용 상황 등을 고려하고, 어느 선반에 FOUP(3)를 수납하면 좋은가, 어느 선반의 FOUP(3)를 반출하면 좋은가 등을 판단한다.
그리고, 본 실시 형태에 있어서, 전술한 일반적인 기판 처리 시스템과는 다르게, 이들 대호스트 제어부(21)와 호스트 컴퓨터(9)의 사이, 및 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)와 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에, 가상 로드 포트 제어부(19a)가 개삽(介揷 : 끼워서 삽입) 접속된다. 즉, 본 실시 형태의 기판 처리 시스템(1)은, 일반적인 기판 처리 장치와 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에, 가상 로드 포트 제어장치(19a)를 추가적으로 개삽시켜 구성한 것이다. 여기에서는 추가적으로 접속한 가상 로드 포트 제어장치(19)도 기판 처리 장치(5)에 포함되는 것으로 한다.
가상 로드 포트 제어장치(19a)는, 두 개의 물리 로드 포트(R－LP1, R－LP2)의 각각 대해서, 복수 개의 가상 로드 포트를 할당한다. 그리고, 캐리어 반송 시스템(7)과, 호스트 컴퓨터(9)에 대하여 복수 개의 가상 로드 포트를 복수 개의 물리 로드 포트로서 취급하게 한다. 바꿔말하면, 가상 로드 포트 제어장치(19a)는, 캐리어 반송 시스템(7)과, 호스트 컴퓨터(9)에 대하여, 실재하는 두 개의 물리 로드 포트(R－LP1, R－LP2)보다 많은 물리 로드 포트가 존재하는 것 같이 보이도록 신호 처리 및 통신을 행한다.
또한, 기판 처리 장치(5)의 대호스트 제어부(21)와, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)에 대해서는, 실재하는 것보다도 많은 물리 로드 포트가 있는 것 같이 행동하는 호스트 컴퓨터(5) 및 캐리어 반송 시스템(7)의 동작에 대하여, 그 대응을, 실재하는 두 개의 물리 로드 포트(R－LP1, R－LP2)에 할당한다. 구체적으로는, 가상 로드 포트 제어장치(19a)는, 대호스트 제어부(27)와, 가상 로드 포트 관리부(29)와, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)을 구비하고 있다. 가상 로드 포트 관리부(29)는, 변환 테이블 기억부(33)를 구비하고 있다. 변환 테이블 기억부(33)는, 물리 로드 포트와 가상 로드 포트와의 대응 관계를 규정한 「변환 테이블」을 미리 기억한다. 이 변환 테이블은, 설정부(35)를 통한 오퍼레이터에 의해 적당하게 설정된다.
대호스트 제어부(27)는, 로드 포트 관리부(19)로부터의 물리 로드 포트(R－LP1, R－LP2)에 관한 통지를 받고, 가상 로드 포트 관리부(29)의 정보를 참조해서 그런 물리 로드 포트에 할당되고 있는 가상 로드 포트에 관한 통지로 변환하여, 호스트 컴퓨터(9)로 송신한다.
대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는, 캐리어 반송 시스템(7)으로부터의 가상 로드 포트(V－LP1~V－LP4)에 관한 통지를 받고, 가상 로드 포트 관리부(29)의 정보를 참조해서 그런 가상 로드 포트가 할당되고 있는 물리 로드 포트에 관한 통지로 변환하여, 대캐리어 반송 시스템(25)에 송신하고, 또는 반대로 대캐리어 반송 시스템(25)으로부터의 물리 로드 포트(R－LP1, R－LP2)에 관한 통지를 받고, 가상 로드 포트 관리부(29)의 정보를 참조해서 그런 물리 로드 포트에 할당되고 있는 가상 로드 포트에 관한 통지로 변환하여, 캐리어 반송 시스템(7)에 송신한다.
다음으로, 도 23 ~ 도 34를 참조하여, 상술한 기판 처리 시스템(1)에 의한 FOUP(3)의 「반입」의 흐름에 대해 설명한다.
또한, 도 23은, 반입 처리시에 있어서의 시퀀스를 나타낸 타임 차트이다. 또한, 도 24 ~ 도 33은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도로서, 도 24는, 호스트 컴퓨터로의 통지를 나타내는 것이며, 도 25는, 호스트 컴퓨터의 반송 지시를 나타내는 것이고, 도 26은, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타내는 것이며, 도 27은, 캐리어 반송 시스템에 의한 반입 개시를 나타내는 것이고, 도 28은, 로드 포트의 대응짓기(matching)를 나타내는 것이며, 도 29는, 가상 로드 포트의 상태 변화의 보고를 나타내는 것이고, 도 30은, 반입 접수를 나타내는 것이며, 도 31은, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타내는 것이고, 도 32는, FOUP의 내부 버퍼로의 이동을 나타내는 것이며, 도 33은, 반입 상황의 보고를 나타내는 것이고, 도 34는, 반입 처리시에 있어서의 각 부 사이의 신호 등의 교환을 나타내는 모식도이다.
이하의 설명에 있어서는, 도 24에 나타내는 바와 같이, 물리 로드 포트(R－LP1)가 두 개의 가상 로드 포트(V－LP1, 2)에 대응 짓고, 물리 로드 포트(R－LP2)가 두 개의 가상 로드 포트(V－LP3, 4)에 대응 짓고 있는 것으로 한다. 이 대응 관계는, 상술한 변환 테이블 기억부(33)의 변환 테이블에 규정되고 있다. 또한, 여기에서는, 두 개의 가상 로드 포트(V－LP1, 2)가 반입용으로 설정되어 있는 것으로 하고, 이하의 설명에서는, 이해를 용이하게 하기 위해서 가상 로드 포트(V－LP1, 2)에 대해서만 설명한다.
1. 기판 처리 장치(5)는, 호스트 컴퓨터(9)에 대하여, 두 개의 가상 로드 포트(V－LP1, 2)의 반입 가능 여부에 대해서 통지한다(도 24). 구체적으로는, 가상 로드 포트 제어장치(19a)의 대호스트 제어부(27)가 가상 로드 포트 관리부(29)를 참조하여, 가상 로드 포트(V－LP1, 2)라고 하는 로드 포트가 반입 가능한 것을 호스트 컴퓨터(9)에 통지한다.
더 상세하게 설명하면, 우선, 물리 로드 포트(R－LP1)를 관리하는 로드 포트 관리부(23)가, 물리 로드 포트(R－LP1)의 상태를 「반입 가능」이라고 인식한다. 이것에 따라 대호스트 제어부(21)가 로드 포트 관리부(19)의 인식을 참조하여, 「반입 가능」의 통지를 출력한다. 이 출력은, 종래의 일반적인 구성이라면, 호스트 컴퓨터(9)에 직접 송신되고 있던 것이다. 그러나, 본 발명에서는, 대호스트 제어부(21)가 출력한 「반입 가능」의 통지는, 가상 로드 포트 제어부(19a)의 대호스트 제어부(27)에 송신된다. 대호스트 제어부(29)는, 이 통지를 받고, 내부의 변환 테이블 기억부(33)가 기억하고 있는 변환 테이블을 참조하고, 「반입 가능」으로 통지된 물리 로드 포트(R－LP1)가 가상 로드 포트(V－LP1, V－LP2)와 대응 짓고 있는 것을 인식한다. 그리고, 가상 로드 포트 관리부(29)는, 「반입 가능」으로 통지된 물리 로드 포트(R－LP1)를 대신하여, 가상 로드 포트(V－LP1, V－LP2)의 양쪽 모두가 「반입 가능」이라고 취급하도록, 대호스트 제어부(27)에 통지한다. 대호스트 제어부(27)는, 그런 통지에 근거하여, 가상 로드 포트(V－LP1, V－LP2)의 양쪽 모두가 「반입 가능」이라고, 호스트 컴퓨터(9)에 통지한다.
2. 상기의 통지를 받은 호스트 컴퓨터(9)는, 캐리어 반송 시스템(7)에 대하여, 기판 처리 장치(5)에서 처리해야 할 2개의 FOUP(3)에 대하여, 가상 로드 포트(V－LP1, 2)의 양쪽 모두에 각각 반입의 지시를 행한다(도 25).
3. 캐리어 반송 시스템(7)은, 앞 공정의 기판 처리 장치 혹은 보관고로부터 제1, 제2 FOUP(3)를 꺼내서, 제1 FOUP(3)를 제1 OHT(17)가 유지하고, 또한 제2 FOUP(3)를 제2 OHT(17)가 유지하며, 각각 반입 지시를 행한 기판 처리 장치(5)를 향해 이동을 개시한다. 여기에서는, 제1 OHT(17), 제2 OHT(17) 모두 같은 기판 처리 장치(5)에 반입하는 것으로 하며, 제1 OHT(17)가 기판 처리 장치(5)에 대하여 가장 빨리 도달하는 위치에 있고, 제2 OHT(17)가 그것보다 늦게 기판 처리 장치(5)에 도착하는 위치에 있는 것으로 한다.
4. 제1 OHT(17)가 이동하여 기판 처리 장치(5)에 도달하면, 캐리어 반송 시스템(7)은, 가상 로드 포트(V－LP1)에 제1 FOUP(3)를 반입하는 것을 기판 처리 장치(5)에 대하여 통지한다(도 27). 구체적으로, 캐리어 반송 시스템(7)은, CS＿0 신호를 ON으로 하고, 또한 반송 개시를 나타내는 VALID 신호를 ON으로 하여, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)로 송신한다. 또한 CS신호는, 로드 포트의 지정을 위해서 이용되는 캐리어·스테이지 신호(carrier stage signal)이며, SEMI 규격 E84로 규정되고 있다.
5. 기판 처리 장치(5)는, 캐리어 반송 시스템(7)으로부터 받은 CS＿0 신호(가상 로드 포트(V－LP1)를 나타낸다)와 변환 테이블을 참조하여, 가상 로드 포트(V－LP1)를 대응하는 하나의 물리 로드 포트(R－LP1)에 대응 짓는다(도 28). 구체적으로는, 대캐리어 반송 시스템(31)이 받은 신호에 근거하여 가상 로드 포트 관리부(29)가 대응짓기(matching)를 행한다.
6－1. 기판 처리 장치(5)는, 가상 로드 포트(V－LP1)로의 반입이 개시된 것을, 호스트 컴퓨터(9)에 상태 변화가 있었다고 해서 보고한다(도 29). 구체적으로는, 가상 로드 포트 관리부(29)가 대호스트 제어부(27)을 통하여, 호스트 컴퓨터(9)에 보고를 행한다.
6－2. 보고를 받은 호스트 컴퓨터(9)는, 가상 로드 포트(V－LP1)에 있어서 반입이 개시된 것을 인식한다(도 29).
7. 기판 처리 장치(5)는, 캐리어 반송 시스템(7)이 가상 로드 포트(V－LP1)를 향해서 반송해 온 제1 FOUP(3)를 물리 로드 포트(R－LP1)에 받아들이기 위해서, 물리 로드 포트(R－LP1)에 대하여 받아들임을 지시하는 것과 함께, 캐리어 반송 시스템(7)에 대하여 반입 요구를 행한다(도 30). 구체적으로는, 가상 로드 포트 관리부(29)가 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)를 통하여, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)에 대하여 물리 로드 포트(R－LP1)로의 반입을 통신 지시한다. 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 이러한 통신을 받고 로드 포트 관리부(19)에 대하여 물리 로드 포트(R－LP1)로의 반입 동작을 지시하는 것과 함께, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)에 대하여 물리 로드 포트(R－LP1)로의 「반입 개시」를 요구한다. 또한 이러한 요구 신호는, 종래의 기판 처리 시스템이라면, 캐리어 반송 시스템(7)에 송신된 것이지만, 본 발명에서는, 가상 로드 포트 제어부(19)의 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)로 송신된다.
대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)로부터의 이러한 「반입 개시」의 요구 신호가, 상기 4에서 캐리어 반송 시스템(7)으로부터 받은, 가상 로드 포트(V－LP1)로의 제1 FOUP(3)의 반입 통지에 따른 것인 것을 인식할 수 있다. 그리고, 이러한 인식에 근거하여, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는, 이러한 「반입 개시」의 요구 신호를, 가상 로드 포트(V－LP1)로의 「반입 개시」요구라고 하여, 캐리어 반송 시스템(7)에 송신한다. 이러한 요구 신호로서, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는, 캐리어 반송 시스템(7)에 대하여 L＿REQ 신호를 ON 한다. 또한, L＿REQ는, 로드·리퀘스트(load request)이며, 반입의 요구를 나타내고 있다.
8. 캐리어 반송 시스템(7)은, 제1 OHT(17)가 유지하고 있는 제1 FOUP(3)를, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)로부터의 「반입 개시」요구에 따라 가상 로드 포트(V－LP1)를 향해서 반송하는 동작을 행한다. 여기서, 캐리어 반송 시스템(7)에는, 이 때의 반송처인 가상 로드 포트(V－LP1)의 위치 정보로서, 물리 로드 포트(R－LP1)의 현실(現實)의 위치가 설정되어 있고, 캐리어 반송 시스템(7)에 의한 가상 로드 포트(V－LP1)로의 반송은, 실제로는, 물리 로드 포트(R－LP1)로의 반송으로서 실행되게 된다(도 31).
9. 기판 처리 장치(5)는, 물리 로드 포트(R－LP1)에 반입된 제1 FOUP(3)를 내부 버퍼(15)의 적당한 위치로 반송한다(도 32).
10. 기판 처리 장치(5)는, 상술한 반입 과정에 있어서, 물리 로드 포트(R－LP1)로의 제1 FOUP(3)의 반입 완료를, 가상 로드 포트(V－LP1)의 반입 완료로서 호스트 컴퓨터(9)에 대하여 보고한다(도 33). 구체적으로는, 로드 포트 관리부(19)가 물리 로드 포트(R－LP1)의 상황을 인식하고, 대호스트 제어부(21), 대호스트 제어부(27)을 통하여, 호스트 컴퓨터(9)에 보고한다.
　이 때, 대호스트 제어부(21)는, 로드 포트 관리부(19)로부터의 물리 로드 포트(R－LP1)로의 「반입 완료」보고를 대호스트 제어부(27)에 보고한다. 대호스트 제어부(27)은, 대호스트 제어부(21)로부터의 이러한 「반입 완료」 보고가, 상기 6에서 가상 로드 포트 관리부(29)로부터 받은, 가상 로드 포트(V－LP1)로의 제1 FOUP(3)의 반입 개시 통지에 따른 것인 것을 인식할 수 있다. 그리고, 이러한 인식에 근거하여, 대호스트 제어부(27)는, 이런 「반입 완료」의 보고를, 가상 로드 포트(V－LP1)로의 「반입 완료」 보고라고 하여, 호스트 컴퓨터(9)에 송신한다.
또한, 상기 9에 의한 물리 로드 포트(R－LP1)에 반입된 제1 FOUP(3)가 내부 버퍼(15)로 반송되면, 물리 로드 포트(R－LP1)가 다시 FOUP(3)를 받아들이기 가능한 상태가 되므로, 상기 1과 같이, 로드 포트 관리부(19)가, 물리 로드 포트(R－LP1)의 상태를 「반입 가능」으로 인식한다. 이것에 따라 대호스트 제어부(21)가 로드 포트 관리부(19)의 인식을 참조하여, 「반입 가능」의 통지를 가상 로드 포트 제어부(19a)의 대호스트 제어부(27)에 송신한다. 대호스트 제어부(27)는 이것을 받아, 상기 「반입 완료」 보고와 같이, 가상 로드 포트(V－LP1)가 「반입 가능」으로 되었다고 인식하고, 이것을 호스트 컴퓨터(9)에 통지한다. 이러한 「반입 가능」통지는, 내부 버퍼(15)로의 FOUP(3)의 반송 타이밍에 따라서, 상기의 「반입 완료」 보고의 직후이든가 또는 약간 늦게 되게 된다. 또한 가상 로드 포트(V－LP2)가 「반입 가능」인 것은 이미 상기 1에서 통지되고, 그것에 대응하는 제2 OHT(17)가 이미 제2 FOUP(3)의 반송을 개시하고 있으므로, 여기에서는 가상 로드 포트(V－LP2)에 관한 새로운 통지는 행해지지 않는다.
11. 제1 OHT(17)보다 조금 늦게 제2 OHT(17)가 기판 처리 장치(5)에 도착하면, 상기 4와 같이, 캐리어 반송 시스템(7)은 가상 로드 포트(V－LP2)에 제2 FOUP(3)를 반입하는 것을 기판 처리 장치(5)에 대하여 통지한다. 구체적으로, 캐리어 반송 시스템(7)은, CS＿1(가상 로드 포트(V－LP2)를 나타낸다)을 ON으로 하고, 또한 반송 개시를 나타내는 VALID 신호를 ON으로 하여, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)에 송신한다. 이하, 상기와 같이, 가상 로드 포트(V－LP2)로의 반입으로서, 물리 로드 포트(R－LP1)로의 반입이 행해진다.
또한, 만약 상기 2의 시점에서, 기판 처리 장치(5)에서 처리해야 할 FOUP(3)가 제1 FOUP(3)의 하나 밖에 없는 경우에는, 호스트 컴퓨터(9)는 가상 로드 포트(V－LP1)로의 반송 지시는 행하지만, 가상 로드 포트(V－LP2)로의 반송의 지시는 즉시 행하지 않고, 처리해야 할 제2 FOUP(3)의 준비가 가능한 것을 기다리게 된다.
이러한 실시 형태에 의하면, 1개의 물리 로드 포트(V－LP1)에 대하여 2개의 가상 로드 포트(V－LP1, V－LP2)를 할당하고, 그 2개의 가상 로드 포트(V－LP1, V－LP2)의 양쪽 모두가 「반입 가능」이라고 하고, 각각 대하여 동시에 2대의 OHT(17)를 움직여 반송 동작을 행할 수 있고, 1개의 물리 로드 포트(R－LP1)에 대하여 1대의 OHT(17)만으로 반송 동작을 하고 있었을 경우에 비해 단위 시간 정도로 반송 가능한 FOUP(3)의 개수를 증대시킬 수 있다. 바꿔말하면, 1개의 FOUP(3) 정도의 반송에 요구되는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 도 34로부터도 분명한 바와 같이, 가상 로드 포트 제어장치(19a)는, 기판 처리 장치(5)가 원래 구비하고 있는 대호스트 제어부(21) 및 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)에 대해서는 물리 로드 포트(R－LP1)에 관한 신호만을 취급하고, 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)에 대해서는 가상 로드 포트(V－LP1, V－LP2)에 관한 신호만을 취급한다. 즉, 가상 로드 포트 제어장치(19a)는, 기판 처리 장치(5)와 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)과의 사이에 있으며, 물리 로드 포트(R－LP1)와 가상 로드 포트(V－LP1, V－LP2)의 대응짓기(matching)와 신호의 변환을 행하고 있다. 따라서, 종래의 기판 처리 장치(5)와 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)의 하드웨어, 소프트웨어의 구성은 어떤 변경하는 일 없이, 그것들 사이에 가상 로드 포트 제어장치(19a)를 개삽(介揷 : 끼워서 삽입)하는 것만으로, 본 발명에 의한 제어를 용이하게 실시할 수 있고, 또한 가상 로드 포트 제어장치(19a)를 떼어내는 것만으로, 용이하게 종래의 기판 처리 시스템의 구성으로 되돌릴 수도 있다.
또한, 가상 로드 포트(V－LP2)는, 같은 물리 로드 포트(R－LP1)에 대응 지어진 다른 가상 로드 포트이다. 상술한 반입 과정에 있어서, 캐리어 반송 시스템(7)의 OHT(17)가 하나의 FOUP(3)를 반송하기 위해서, 기판 처리 장치(5)로 이동을 개시한 시점으로부터, 그 FOUP(3)가 하나의 가상 로드 포트(V－LP1)에 대응하는 물리 로드 포트(R－LP1)에 실제로 재치될 때까지는, 또 하나의 가상 로드 포트인 가상 로드 포트(V－LP2)로의 반입이 가능하다고, 가상 로드 포트 제어장치(19a)는, 호스트 컴퓨터(9)에 보고한다. 또한, 하나의 가상 로드 포트(V－LP1)에 대응하는 물리 로드 포트(R－LP1)로부터 내부 버퍼(15)로 FOUP(3)가 반송되기 시작한 시점에서, 가상 로드 포트(V－LP1)에 대응하는 물리 로드 포트(R－LP1)에 대응 지어져 있는, 가상 로드 포트(V－LP1)와는 다른 가상 로드 포트(V－LP2)로의 반입이 가능하다고 호스트 컴퓨터(9)에 보고한다.
따라서, 호스트 컴퓨터(9)는, 상기의 기간에 있어서, 캐리어 반송 시스템(7)에 대하여, 가상 로드 포트(V－LP2)를 나타내는 CS＿1 신호를 ON으로 하고, 같은 물리 로드 포트(R－LP1)로의 반입 지시를 행할 수 있다. 따라서, 반입 시에 종래에는 점유 되고 있던 기간에 있어서도, 호스트 컴퓨터(9)가 반입의 지시를 행할 수 있다. 따라서, 효율적인 반입 처리를 행할 수 있다.
또한, 상기의 설명에서는, 가상 로드 포트(V－LP1)에 반송된 앞의(제1) FOUP(3)의 반송이 완료하고, 내부 버퍼(15)로 받아들여지고, 그 후, 동일한 물리 로드 포트(R－LP1)에 할당되어 있는 가상 로드 포트(V－LP2)로 다음의(제2) FOUP(3)가 반입된다. 따라서, 동일한 물리 로드 포트(R－LP1)로의 반입에서 문제가 생길 것은 없다. 그러나, 만일 앞의(제1) FOUP(3)의 내부 버퍼(15)로의 받아들임이 완료되는 것보다도 빠른 타이밍으로, 다음의(제2) FOUP(3)가 동일한 물리 로드 포트(R－LP1)에 도착했을 경우에는, 상술한 실시 형태에서의 도 3의 스텝 S1에 있어서의 조건 2를 만족하게 된다. 이 때, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 상술한 실시 형태와 같이, 캐리어 반송 시스템(7)에 대하여 반입 불가를 통지하지 않고 보류해 둔다. 이 보류 상태는, 앞의(제1) FOUP(3)의 내부 버퍼(15)로의 받아들임이 완료할 때까지 계속된다. 그리고, 앞의(제1) FOUP(3)의 내부 버퍼(15)로의 받아들임이 완료되고, 내부 버퍼 관리부(23)가 FOUP(3)의 이동 완료 통지를 발신하면, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)을 통하여 캐리어 반송 시스템(7)에 대하여 다음의(제2) FOUP(3)의 반입 요구를 행한다. 이와 같이 하여 제1 FOUP(3)에 이어서 제2 FOUP(3)의 물리 로드 포트(R－LP1)로의 반송이 단시간에 신속하게 실행된다.
그리고, 이와 같이 다음 되는(제2) FOUP(3)의 반입 개시를 보류했다고 해도, 종래의 기판 처리 시스템과 같이 내부 버퍼(15)에 FOUP(3)가 받아들여지고, 물리 로드 포트(R－LP1)가 다음의 반입을 받게 되도록 되고 나서, 다음의 (제2) FOUP(3)의 반송 지시를 행하는 것과 비교하면, 본 발명에서는 일찍 다음이 되는(제2) FOUP(3)의 반송을 개시하고 있으므로, 이러한 대기가 생겨도 종래보다 효율적인 반송을 행할 수 있다.
본 발명은, 상기 실시 형태로 한정되는 것은 아니며, 아래와 같이 변형 실시할 수 있다.
(1) 상술한 실시예에서는, 반출 처리에 있어서, 기판 처리 장치(5)가 FOUP(3)를 내부 버퍼(15)로부터 로드 포트(13)로의 반출을 개시한 시점에서, 반출 가능한 것을 보고했다. 그렇지만, 기판 처리 장치(5)가 FOUP(3)를 내부 버퍼(15)로부터 로드 포트(13)로의 반출을 개시하고 나서, FOUP(3)가 실제로 로드 포트(13)에 재치될 때까지의 사이에, 반출 가능한 것을 보고하도록 해도 좋다. 이 사이의 시점 어느 타이밍이어도, 종래 기술보다 캐리어 반송 시스템이 이동을 개시할 때까지의 시간을 앞당길 수 있다.
(2) 상술한 실시예에서는, 캐리어 반송 시스템(7)이 OHT(17)를 구비한 경우를 예시했지만, 이것에 대신하여 AGV(Automatic Guided Vehicle)를 채용해도 좋다.
본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 벗어나지 않고 다른 구체적인 형태로 행할 수 있으며, 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것은 이상의 설명이 아니고, 청구범위를 참조해야 한다.

Claims (11)

  1. 기판을 처리하는 기판 처리 시스템으로서,
    기판에 대하여 소정의 처리를 행하는 기판 처리 유닛과, 기판을 수납하기 위한 수납기가 재치되는 물리 로드 포트를 구비하고, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 수납기를 주고받는 로드 포트와, 상기 기판 처리 유닛과 상기 로드 포트와의 사이에 개재하고, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 기판을 주고받으며, 상기 로드 포트와의 사이에서 수납기를 주고받는 것과 함께, 주고받기 시에 일시적으로 수납기를 수용하는 내부 버퍼를 구비한 기판 처리 장치；
    수납기를 상기 로드 포트와의 사이에서 주고받는 캐리어 반송 시스템；
    상기 기판 처리 장치 및 상기 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 통신을 행하고, 상기 기판 처리 장치의 상황에 따라 상기 캐리어 반송 시스템에 의한 수납기의 반송을 지시하는 호스트 컴퓨터를 구비하고,
    상기 기판 처리 장치는, 상기 로드 포트가 하나의 수납기에 의해 사용중인 경우에, 해당 로드 포트와의 사이에서 다른 수납기를 주고받기 위해 캐리어 반송 시스템의 이동기가 도래(到來)했을 때, 받음(拜受)불가인 것을 상기 하나의 수납기의 사용이 종료할 때까지 통지하지 않는 대(對)캐리어 반송 시스템 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐리어 반송 시스템은, 반입 시에, 상기 로드 포트에 다른 수납기가 재치되고 있는 경우에는, 상기 대캐리어 반송 시스템 제어부로부터 반입의 허가를 얻을 때까지, 그 위치에서 대기하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는, 상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 내부 버퍼의 수납기의 반출을 지시받았을 때에, 상기 수납기를 상기 내부 버퍼로부터 상기 로드 포트로의 반출을 개시한 후, 상기 수납기가 상기 로드 포트에 재치될 때까지의 사이에, 상기 호스트 컴퓨터에 대하여 상기 수납기가 반출 가능한 것을 보고(報告)하는 대(對)호스트 컴퓨터 제어부를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 캐리어 반송 시스템은, 상기 이동기가 수납기를 반출하기 위해서 이동해 왔을 때에, 상기 로드 포트에 대하여 수납기가 재치되어 있지 않은 경우에는, 상기 수납기가 상기 로드 포트에 재치될 때까지, 그 위치에서 대기하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  5. 기판을 처리하는 기판 처리 시스템으로서,
    기판에 대하여 소정의 처리를 행하는 기판 처리 유닛과, 기판을 수납하기 위한 수납기가 재치되는 물리 로드 포트를 구비하고, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 수납기를 주고받는 로드 포트와, 상기 기판 처리 유닛과 상기 로드 포트와의 사이에 개재하고, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 기판을 주고받으며, 상기 로드 포트와의 사이에서 수납기를 주고받는 것과 함께, 주고받기 시에 일시적으로 수납기를 수용하는 내부 버퍼를 구비한 기판 처리 장치；
    수납기를 상기 로드 포트와의 사이에서 주고받는 캐리어 반송 시스템；
    상기 기판 처리 장치 및 상기 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 통신을 행하고, 상기 기판 처리 장치의 상황에 따라 상기 캐리어 반송 시스템에 의한 수납기의 반송을 지시하는 호스트 컴퓨터를 구비하고,
    상기 기판 처리 장치는, 상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 내부 버퍼의 수납기의 반출을 지시받았을 때에, 상기 수납기의 상기 내부 버퍼로부터 상기 로드 포트로의 반출을 개시한 후, 상기 수납기가 상기 로드 포트에 재치될 때까지의 사이에, 상기 호스트 컴퓨터에 대하여 상기 수납기가 반출 가능한 것을 보고(報告)하는 대(對)호스트 컴퓨터 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 물리 로드 포트에 대하여 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재(實在)하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대하여 상기 캐리어 반송 시스템에 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 물리 로드 포트에 대하여 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재(實在)하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대하여 상기 캐리어 반송 시스템에 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 물리 로드 포트에 대하여 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재(實在)하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대하여 상기 캐리어 반송 시스템에 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 물리 로드 포트에 대하여 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재(實在)하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대하여 상기 캐리어 반송 시스템에 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  10. 제 3 항에 있어서,
    상기 대호스트 컴퓨터 제어부는, 상기 수납기를 상기 내부 버퍼로부터 상기 로드 포트로의 반출을 개시한 시점에서, 상기 호스트 컴퓨터에 대하여 상기 수납기가 반출 가능한 것을 보고하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  11. 제 5 항에 있어서,
    상기 대호스트 컴퓨터 제어부는, 상기 수납기를 상기 내부 버퍼로부터 상기 로드 포트로의 반출을 개시한 시점에서, 상기 호스트 컴퓨터에 대하여 상기 수납기가 반출 가능한 것을 보고하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
KR1020120106192A 2011-09-26 2012-09-25 기판 처리 시스템 KR101409590B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2011-208499 2011-09-26
JP2011208499A JP5946617B2 (ja) 2011-09-26 2011-09-26 基板処理システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130033319A true KR20130033319A (ko) 2013-04-03
KR101409590B1 KR101409590B1 (ko) 2014-07-03

Family

ID=47912124

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120106192A KR101409590B1 (ko) 2011-09-26 2012-09-25 기판 처리 시스템

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9176496B2 (ko)
JP (1) JP5946617B2 (ko)
KR (1) KR101409590B1 (ko)
CN (1) CN103010705B (ko)
TW (1) TWI485800B (ko)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8881297B2 (en) * 2012-09-06 2014-11-04 Brooks Automation, Inc. Access arbitration module and system for semiconductor fabrication equipment and methods for using and operating the same
KR101469194B1 (ko) * 2013-07-12 2014-12-09 피에스케이 주식회사 반도체 설비의 자가 진단 장치 및 방법
TWI549217B (zh) * 2014-01-10 2016-09-11 華亞科技股份有限公司 載具重組系統以及載具重組方法
CN103832830A (zh) * 2014-03-11 2014-06-04 四川虹视显示技术有限公司 小世代平板车间转运系统
JP6432458B2 (ja) * 2015-07-07 2018-12-05 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体
US10446427B2 (en) * 2015-12-08 2019-10-15 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system and conveyance method
JP6949511B2 (ja) * 2017-03-02 2021-10-13 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理システムおよび基板処理装置
CN108962804B (zh) * 2017-05-19 2021-08-10 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 一种不间断式进片回片装置及控制方法
CN109324578B (zh) * 2018-09-21 2021-01-22 京东方科技集团股份有限公司 一种物流管控方法及计算机可读介质
CN114518724B (zh) * 2022-01-28 2023-04-28 弥费科技(上海)股份有限公司 一种适用于amhs系统的通讯装置及通讯方式

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000148243A (ja) 1998-11-17 2000-05-26 Murata Mach Ltd 搬送台車システム
US6435330B1 (en) 1998-12-18 2002-08-20 Asyai Technologies, Inc. In/out load port transfer mechanism
JP2001296922A (ja) * 2000-04-12 2001-10-26 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP2002246432A (ja) 2001-02-13 2002-08-30 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
JP2004281474A (ja) 2003-03-12 2004-10-07 Seiko Epson Corp 製造対象物の受け渡し装置および製造対象物の受け渡し装置を有する搬送システム
TWI290875B (en) 2004-02-28 2007-12-11 Applied Materials Inc Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility
US7578650B2 (en) 2004-07-29 2009-08-25 Kla-Tencor Technologies Corporation Quick swap load port
WO2006046580A1 (ja) 2004-10-25 2006-05-04 Tokyo Electron Limited 搬送システム、基板処理装置、及び搬送方法
US7604449B1 (en) 2005-06-27 2009-10-20 Kla-Tencor Technologies Corporation Equipment front end module
DE102007035839B4 (de) 2007-07-31 2017-06-22 Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg Verfahren und System zum lokalen Aufbewahren von Substratbehältern in einem Deckentransportsystem zum Verbessern der Aufnahme/Abgabe-Kapazitäten von Prozessanlagen
DE102007035836B4 (de) * 2007-07-31 2017-01-26 Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg Zweidimensionale Transferstation, die als Schnittstelle zwischen einer Prozessanlage und einem Transportsystem dient, und Verfahren zum Betreiben der Station
JP2009071120A (ja) * 2007-09-14 2009-04-02 Elpida Memory Inc 搬送方法および搬送システム
JP2009135275A (ja) 2007-11-30 2009-06-18 Panasonic Corp 搬送システム及びその制御方法
JP5217416B2 (ja) * 2007-12-25 2013-06-19 村田機械株式会社 保管庫及び入出庫方法
US8356968B2 (en) 2008-02-12 2013-01-22 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for an efficient handshake between material handling and material processing devices for safe material transfer
JP4984330B2 (ja) * 2008-04-23 2012-07-25 村田機械株式会社 搬送車システム
KR20100024220A (ko) 2008-08-25 2010-03-05 세메스 주식회사 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법
KR100989851B1 (ko) 2008-08-28 2010-10-29 세메스 주식회사 이송부재의 속도 조절 방법, 이를 이용한 기판 이송 방법 및 기판 처리 장치
JP5187274B2 (ja) 2009-05-28 2013-04-24 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体
JP5469015B2 (ja) 2009-09-30 2014-04-09 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置および基板搬送方法

Also Published As

Publication number Publication date
US9176496B2 (en) 2015-11-03
KR101409590B1 (ko) 2014-07-03
JP5946617B2 (ja) 2016-07-06
CN103010705A (zh) 2013-04-03
TW201330159A (zh) 2013-07-16
CN103010705B (zh) 2016-01-06
US20130079914A1 (en) 2013-03-28
TWI485800B (zh) 2015-05-21
JP2013069956A (ja) 2013-04-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101409590B1 (ko) 기판 처리 시스템
KR101423377B1 (ko) 제어 장치, 기판 처리 방법, 기판 처리 시스템, 기판 처리 시스템의 운용 방법, 로드 포트 제어 장치 및 그것을 구비한 기판 처리 시스템
KR101535317B1 (ko) 기판 처리 시스템 및 기판 처리 방법
US7720557B2 (en) Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US8024065B2 (en) Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility
US6351686B1 (en) Semiconductor device manufacturing apparatus and control method thereof
US20180358252A1 (en) Conveyance system and conveyance method
CN105575853B (zh) 基板处理系统和基板处理装置的时效方法
TW200805552A (en) Wafer foundry and carrier transportation management system and method thereof
KR20070095098A (ko) 반도체 기판의 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법
KR20100129211A (ko) 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체
KR20180020902A (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
WO2006081519A2 (en) Methods and apparatus for operation of substrate carrier handlers
JPH11163087A (ja) 基板処理装置及び搬送スケジューリング方法
US8335581B2 (en) Flexible job preparation and control
JP2004119462A (ja) 基板の処理システム
JPH10133706A (ja) ロボット搬送方法
JP2004192411A (ja) キャリア搬送制御方法
KR100603591B1 (ko) 웨이퍼 카세트의 장비간 반송방법
JPS58191446A (ja) 半導体基板搬送装置
JPH01273330A (ja) ウエハ自動搬送システムにおける搬送制御方法
JPH11297785A (ja) バッチ式ｉｃ製造処理装置への搬送制御方法
JPS61174722A (ja) 半導体ウエハの洗浄装置
KR20000074368A (ko) 웨이퍼 카세트의 자동 반송시스템 및 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170522

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180517

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190515

Year of fee payment: 6