TWI473664B - Liquid material drop method and memory program memory media and device - Google Patents
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Description
本發明係關於液體材料之滴下方法及程式暨裝置,更詳細為關於對規則排列的複數個相同面板(亦稱為工件)之一片基板,在和基板相對向的被滴下面之面內使滴下裝置平行地移動,橫越存在於各面板間的非滴下對象區域而自基板之一端至另一端途中不停止地一面使滴下裝置以直線路徑移動另一面則僅在滴下對象區域滴下液體材料,如此之方法及程式暨裝置。
以往,在貼合二片相對向的基板,而在其間形成液晶層之面板(cell)的步驟,係在貼合二片基板後使用真空槽注入液晶之方法(真空注入法)。
但是,對大型的面板則亦有僅其注入時間就要花費一天以上者。因此,近年來,隨著面板的大型化對提高生產性要求等,而已被注目一種在貼合前於一邊的基板上滴下液晶後再貼合之方法(滴下注入法)。此一方法由於不需要真空注入法所需之注入口,而可節省注入口堵塞之密封步驟且可縮短注入時間,因此,其可格外提高生產性。
在一片基板上排列複數個面板時,係以複數個吐出頭來實施滴下作業。在一片基板上排列複數列、複數行的面板時,從控制上的觀點等,一般係在和列(或行)的平行之一條直線上配設和列(或行)相同數量或大約數量的滴下頭,而在每一行(或每一列)之行方向(或列方向)使其動作而實施滴下作業。
此一滴下注入法除了數十英吋大小的大型面板外,也被使用於製造數英吋大小的小型面板之步驟。
液狀物質滴下裝置,例如有在專利文獻1所揭示之具備有:可檢測出液狀物質供給手段和基板的相對位置之手段;及,依照所檢測出之位置資訊而控制液狀物質的吐出時機之控制手段;而控制手段其吐出時機之控制,係在使液狀物質供給手段和基板作相對移動之期間中所實施;又,根據滴下位置間隔所決定的液狀物質供給手段和基板的相對移動速度、及,吐出時間間隔而使液狀物質供給手段和基板作相對移動;又,液狀物質供給手段具有複數個儲備室,同時,其具有液狀物質的取出與吐出並行動作之手段。
(專利文獻1)日本專利第3973209號公報
如專利文獻1當使噴嘴和基板一面相對移動而一面實施滴下動作時,噴嘴的移動速度有被吐出工作時間(cycle time)(實施1滴吐出所需要的時間)和滴下點間距離而受限制之問題。例如,吐出工作時間(fo)為0.2秒,最小滴下點間距離(Lo)為10mm時,噴嘴的最大移動速度為50mm/秒(=Lo/fo)。
亦即,滴下點間距離有長短的滴下圖案時,依據最小滴下距離Lo(滴下點間距離中最短的距離)算出噴嘴之移動速度時,則滴下點間距離在長的部位之移動時間變成障礙而有生產性降低之問題。雖然亦非不能使基板上之噴嘴的移動速度成為可變動者,但因要控制液體材料的落下點非常困難,因此,必需使基板上之噴嘴的移動速度維持一定的移動速度。例如,滴下點間距離L1為10mm,而滴下點間距離L2為20mm,如此之滴下圖案時,則由於最小滴下距離為10mm,因此,必需以50mm/秒移動噴嘴。如上述,滴下點間距離L2比L1大一定程度以上時,則其對生產性的影響很大。
特別是如小型面板般在一片基板上排列多數個面板時,則滴下數必然變多,而各滴下點間之間隔變狹窄,而在該情況下則其生產性之降低很明顯。如對一片基板不浪費空間地排列面板時,則面板間的距離也變狹窄,而因滴下點間隔變狹窄,因此,也有同樣的情形發生。
為了解決上述課題,本發明之目的為使噴嘴和基板以一定速度一面相對移動一面實施液體材料的滴下之技術中,提供一種可使噴嘴的移動速度高速化,且可提高生產性之液體材料之滴下方法及程式暨裝置。
第1發明,係在基板上排列複數個具有滴下點的工件,使
吐出裝置所具有的噴嘴以直線路徑複數次縱越或橫越在複數個工件上而使噴嘴和基板以一定速度一面相對移動並一面滴下液體材料之方法中,其特徵為,在各個直線路徑滴下點間的最短距離(Lo)不同時,於一個直線路徑中算出滴下點間之最短距離(Lo)、以及吐出裝置實施一次吐出所需要之時間(fo),並依照Lo/fo而在各個直線路徑設定噴嘴和基板的相對移動速度,如此的液體材料之滴下方法。
第2發明,使在第1發明中,在工件具有複數個滴下點時,於噴嘴之一個直線路徑之移動中,設定對一個工件實施一次吐出之滴下順序,而在其滴下順序中依照最短距離(Lo)而設定噴嘴和基板之相對移動速度,如此為其特徵。
第3發明,係在基板上排列複數個具有複數個滴下點之工件,使吐出裝置所具有的噴嘴以直線路徑複數次縱越或橫越在複數個工件上而使噴嘴和基板以一定速度一面相對移動一面滴下液體材料之方法中,其特徵為,在噴嘴之一個直線路徑之移動中,設定對一個工件實施一次吐出之滴下順序,在其滴下順序中算出最短距離(Lo)及吐出裝置實施一次吐出所需要之時間(fo),而依照Lo/fo設定噴嘴和基板的相對移動速度,如此的液體材料之滴下方法。
第4發明,係在第2或第3發明中,噴嘴在一列或一行的滴下點上以直線路徑之移動時,在一個工件中僅以和一列或一行的滴下點數相同的次數,設定噴嘴以直線路徑移動一列
或一行之滴下順序。
第5發明,係在第1至4項中任一項之發明中,算出在基板上之縱方向以直線路徑移動所需要之時間及在基板上之橫方向以直線路徑移動所需要之時間,而依照所算出之時間決定直線路徑之移動方向。
第6發明,係為在液體材料之滴下裝置實施第1至5發明中任一項發明的液體材料之滴下方法的程式。
第7發明係一種液體材料之滴下裝置,其具備有:具有可吐出液體材料之噴嘴的吐出裝置;及,載置基板之平台;及,可使吐出裝置和平台相對移動之驅動機構;及,可控制此等動作之控制部;而其特徵為,前述控制部,在具有複數個被排列在基板上的滴下點之工件上,以吐出裝置所具有的噴嘴在直線路徑複數次縱越或橫越而使噴嘴和基板以一定速度一面相對移動一面滴下液體材料時,在各個直線路徑滴下點間的最短距離(Lo)不同時,在一個直線路徑中算出滴下點間之最短距離(Lo)及吐出裝置一次吐出所需要之時間(fo),而依照Lo/fo在各個直線路徑設定噴嘴和基板的相對移動速度,如此為特徵之液體材料之滴下裝置。
第8發明,係在第7之發明中,前述控制部,當工件具有複數個滴下點時,在噴嘴之一個直線路徑之移動中,設定對一個工件實施一次吐出之滴下順序,而在其滴下順序中依照最短距離(Lo)設定噴嘴和基板之相對移動速度。
第9發明係一種液體材料之滴下裝置,其具備有:具有可吐出液體材料之噴嘴的吐出裝置;及,載置基板之平台;及,可使吐出裝置和平台相對移動之驅動機構;及,可控制此等動作之控制部;其特徵為,前述控制部,在具有複數個被排列於基板上的複數個滴下點的工件上,以吐出裝置所具有的噴嘴在直線路徑複數次縱越或橫越而使噴嘴和基板以一定速度一面相對移動一面滴下液體材料之時,使噴嘴在一個直線路徑之移動中,設定對一個工件實施一次吐出之滴下順序,而在其滴下順序中算出最短距離(Lo)及吐出裝置實施一次吐出所需要之時間(fo),並依照Lo/fo而設定噴嘴和基板之相對移動速度,如此為特徵之液體材料之滴下裝置。
第10發明,係第8或9項之發明中,前述控制部係,噴嘴在一列或一行的滴下點上以直線路徑移動時,在一個工件中僅和一列或一行的滴下點數相同的次數,設定噴嘴在一列或一行以直線路徑移動之滴下順序。
第11發明,係在第7至10項中任一項之發明中,前述控制部係,算出基板上在縱方向以直線路徑移動所需要之時間及基板上在橫方向以直線路徑移動所需要的時間,並依照所算出之時間決定直線路徑之移動方向,如此為其特徵。
第12發明,係在第7至11項中任一項之發明中,前述吐出裝置係以和具有吐出口之噴嘴連通的計量部內面密接滑動之柱塞按所希望量移動而吐出液體材料,如此為其特徵。
根據本發明,可使噴嘴之移動速度增大,且在滴下塗佈時可使生產性提高。
如圖1所示以一行排列3個圖案之例說明本發明之實施形態。
在圖1中,以P1~P12表示滴下點103之位置。
在基板101其被排列有複數片的面板102,而對每一片面板縱橫各別隔開L2之間隔設置四點的滴下點103。各面板102各以間距L3相隔的位置被配置。又,鄰接縱方向之2片面板102的滴下點103之最短滴下距離Lo為L1(L1<L2)。
(A)藉習知的方法在面板102A~102C上實施滴下時,噴嘴係在如圖2之箭頭的路徑移動。圖2中實線表示滴下動作,虛線則表示僅有移動的動作。此處,最小滴下距離Lo為L2。
圖2所示之方法,係在每片面板102實施滴下動作。亦即,首先在第1片面板102A從P1朝P2、P11、P12實施滴下。又,在面板102A滴下完成後,自終了點P12朝第2片面板102B之開始點P3移動。其次,在第2片面板102B從P3朝P4、P9、P10實施滴下。在面板102B滴下終了時,自終了點P10朝第3片面板102C之開始點P5移動。最後,在第3片面板102C從P5朝P6、P7、P8實施滴下,而完成動作。
在此一方法中,於被設在1片面板上之4個全部滴下點103,必需使噴嘴的移動方向變動,而由於在各個滴下點103噴嘴之移動瞬間停止,噴嘴的加速.減速之時間損失很大,因此,要使全體的滴下時間(工作時間)縮短甚為困難。
(B)根據本發明之第一態樣當以如圖2相同的滴下點而實施滴下時其滴下路徑為如圖3所示。此處,最小滴下距離Lo為L1。
在本發明之第一態樣中,係自基板101之一端至另一端以直線路徑移動,而橫越過面板102A和面板102B之間或面板102B和面板102C之間之非滴下區域105。從開始點之P1朝P2、P3、P4、P5、P6一面使噴嘴移動而一面實施滴下。接著從P7向相反方向朝P8、P9、P10、P11、P12使噴嘴一面移動而一面實施滴下。在第一態樣中,於P1~P6間及P7~P12間可使噴嘴之移動速度保持一定,且由於噴嘴的移動路徑之全長也比(A)為短,因此,其比(A)之方法可縮短全體之滴下所需要的時間(工作時間,tact time)。
第一態樣特別有利之效果,係在每行(或每列)最小滴下距離Lo為不同的情形。例如,第一行(對應於圖3之P1~P6)的最小滴下距離Lo為10mm,第2行(對應於圖3之P7~P10)的最小滴下距離Lo為30mm時,理論上可使第二行之噴嘴的移動速度構成為第一行之噴嘴的移動速度之3倍。此時,如和在行方向以直線路徑移動時的最小滴下距離Lo之差相比,而在列方向以直線路徑移動時的最小滴下距離Lo之差為較大時,則在列方向實施直線路徑之移動,以提高噴嘴之移動速度,如此亦可。
(C)根據本發明之第二態樣而對和圖2相同的滴下點實施滴下時之滴下路徑為如圖4所示。此處,最小滴下距離Lo為L3。
上述(B)之態樣中,由於最小滴下距離Lo為圖1之距離L1,因此,噴嘴移動速度之高速化有其界限。因而,在第二態樣中,自基板之一端至另一端以直線路徑移動之單向移動中,在一片面板102實施各一滴之滴下而使最小滴下距離Lo變長。亦即,在第1次之直線路徑的移動以P1、P3、P5的順序實施滴下,而在第2次之直線路徑的移動以P6、P4、P2之順序實施滴下。亦即,噴嘴在基板上的縱方向一來回時則完成排在縱方向的滴下點(一行上之滴下點)之滴下。接著使噴嘴移動至鄰行,以P12、P10、P8之順序滴下,再折回而以P7、P9、P11之順序實施滴下。
以下以具體例說明第二態樣之效果。例如,在圖1中L1為10mm,L2為20mm。則噴嘴之移動速度在理論上可成為3倍(=L3/L1)。另一方面,由於直線路徑之移動次數為2倍,因此,如不考慮折回所需的時間時,則可說時間縮短之效果為1.5倍。
在一個直線路徑上,如各面板具有2個滴下點之滴下圖案,而如考慮折回時間時,L3/Lo比在直線路徑之移動次數的1.2倍以上,最好係1.5倍以上,而更好是2.0倍以上時,則可說第二態樣可達到有利之效果。
在一個直線路徑上,如各面板具有3個以上的滴下點之滴下圖案亦可持同樣的看法。在一個直線路徑上滴下點數如有10個以上時,L3/Lo比在直線路徑之移動次數的1.6倍以上,最好為2.4倍以上,更好為3.2倍以上時,則可說第二態樣可達到有利之效果。
以下雖然藉實施例詳細說明本發明,但本發明並不受限於任一實施例。
圖5係為了實施本實施例的方法之滴下裝置501的概略斜視圖。
本實施例之滴下裝置501,其具備有:可滴下液體材料之複數個吐出裝置601;及,可載置被滴下液體材料的基板101之平台502;及,可使配設吐出裝置601之平台502上朝XYZ方向相對移動之XYZ驅動機構503。在本實施例中,雖然設有3個吐出裝置601,但其安裝數量可依照基板101的大小或面板102的數量而變更,例如,其可設置2個以下或4個以上均可。
本實施例之吐出裝置601,係使密接於計量管內而進退移動之柱塞高速地進出移動以自吐出口飛滴(噴滴)出液體材料之柱塞型的吐出裝置。
如圖6所示,吐出裝置601,其具備有:管形狀的計量部602;及,內接於計量部602之柱塞603;及,具有吐出口611之噴嘴604;及,連通.遮斷計量部602與噴嘴604之吐出閥605;及,貯留液體材料之貯留容器606;及,連通‧遮斷貯留容器606與計量部602之液體供給閥607;及,使螺桿軸608驅動而驅動柱塞603之馬達609。
自吐出裝置601之吐出步驟,係首先實施液體材料之填充。首先,使柱塞603朝向連接至液體供給閥607與計量部602之孔610的附近且不超越之位置(在圖6中為比孔610稍上方之位置)移動。然後,打開液體供給閥607,使貯留容器606和計量部602連通,再使柱塞603後退移動。於是貯留容器606內的液體材料通過液體供給閥607流入計量部602,而當柱塞603後退至最上端時即為填充終了。
其次,填充液體材料之吐出,係打開吐出閥605,而因應於柱塞603所希望之吐出量以實施進出移動。利用柱塞603之進出動作所作的吐出,係在急速加速後,使馬達609急遽地停止,再急速地使柱塞603停止以實施。計量部602內的液體材料,因柱塞603急速移動及急速停止所賦予之慣性力而自噴嘴604前端被吐出。柱塞603移動至最下端後,則關閉吐出閥605,打開液體供給閥607,使柱塞603後退移動以填充液體材料。
如上所述,自貯留容器606向計量部602填充液體材料,並使計量部602內的液體材料自噴嘴604吐出,如此反覆實施滴下作業。
由於向計量部602內其可填充複數次吐出量的液體材料,因此,填充至計量部602內的液體材料之量例如可因應於1片面板份或1片基板份等用途而作決定。
圖7及圖8表示記有具體數值之滴下圖案的一例。圖7表示基板101全體之圖,圖8係其一部份擴大之圖。
圖7表示之滴下圖案係在橫750mm、縱620mm大小之基板101,配置縱20列、橫17行的1.5吋大小之面板102。在1片面板102上縱橫各以隔有10mm間隔而設定5點滴下點103。面板102所排列之間隔係向縱方向大約31mm,向橫方向大約44mm。
如考慮以1個吐出裝置601對一行的面板102作滴下動作之情形時,在圖2~圖4所說明之各別方法(上述(A)~(C)之方法)中,滴下動作中的噴嘴之移動速度如下所示。又,吐出週期fo對每1次吐出係為0.2秒。
圖2例示之上述(A)的方法中,由於最小滴下距離Lo為10mm,因此,最大速度為50mm/sec(=Lo/fo)。
圖3例示之上述(B)的方法中,由於第n1行及第n3行之最小滴下距離Lo為10mm,因此,噴嘴之最大移動速度為50mm/sec,由於第n2行之最小滴下距離Lo為31mm,因此,噴嘴之滴下時移動速度為155mm/sec。
圖4例示之上述(C)的方法中,由於第n1~n3之全部行之滴下點間隔為31mm,因此,噴嘴之滴下時移動速度為155mm/sec。
又,由於基板101上之噴嘴604的移動速度為一定,因此,噴嘴604自起點之稍微前邊起移動,而在折回地點噴嘴604自基板101上超出而折回。
當藉由上述(A)~(C)之方法塗佈20片面板時,自上述速度所計算之滴下動作開始至終了為止所花的時間(工作時間)為如下所示。
上述(A)之方法中,20片面板的工作時間為30.1秒。
在此方法中,以a11→a12→a21→a31→a32→a13之順序實施滴下。a11→c11間之各點的移動各別為大約0.2秒時,則1片面板之塗佈時間大約為0.8秒。面板間之移動所花的時間,例如,c11和a13的距離大約為37mm時則為大約0.74秒。因此,20片面板之工作時間為(0.2秒×20)+(0.74秒×19)=30.1秒。
上述(B)之方法中,20片面板的工作時間為27.8秒。
在此方法中,以a11→a12→a13→a14→…→a22→a21→a31→a32之順序實施滴下。a1行和a3行之塗佈的工作時間係(10[mm]×20)+(21[mm]×10)/50[mm/Sec]×2行≒24秒。a2行之塗佈的工作時間係(31[mm]×19)/155[mm/sec]≒3.8秒。因此,20片面板之工作時間為24+3.8秒=27.8秒。又,折回部份之移動大約為0.6秒時,則20片面板之工作時間為27.8秒+0.6秒×2=29秒。
上述(C)之方法中,20片面板的工作時間為19.0秒。
在此方法中,以a11→a13→a15→…→a140→a→c138→…→a12→a21→a22→…→a220→a339→a337→…→a338→a340之順序實施滴下。在一個直線路徑之移動所花的工作時間係(31[mm]×19)/155[mm/sec]≒3.8秒。由於a1行和a3行在二個直線路徑移動,a2行在一個直線路徑移動,因此,在直線路徑之移動次數為5次。因此,合計的工作時間為3.8秒×5=19.0秒。又,在a1行、a3行之折回部份的移動大約為0.4秒,在a2行之折回大約為0.6秒時,則20片面板的工作時間為19.0秒+2.0秒=21.0秒。
由以上的結果可確認依照本實施例之滴下方法中上述(B)及(C),其比滴下方法(A)可縮短工作時間。
又,勿庸贅言,利用噴嘴604在直線路徑的移動使其在橫方向實施,如此亦可縮短工作時間。
以上說明之滴下方法僅為一例而已,但本發明並不受限於此例。例如,根據所希望之液體材料的量而改變滴下點數亦可。又,亦可根據滴下點數或對面板內液體材料所擴散之情形等而改變滴下點之配置的情況。又,當然如基板或面板的尺寸變更時,上述之數值亦會改變。
本發明可適用於液體材料自吐出裝置離開後接觸至工件之型式的吐出方式者,例如,其可實施於在閥座使液體材料自噴嘴前端飛出而衝突閥體之噴射式、連續噴射方式或依需要量(demand)方式之噴注型式等。
101...基板
102...面板
102A、102B、102C...面板
103...滴下點
104...滴下區域
105...非滴下區域
501...滴下裝置
502...平台
503...XYZ驅動機構
601...吐出裝置
602...計量部
603...柱塞
604...噴嘴
605...吐出閥
606...貯留容器
607...液體供給閥
608...螺桿軸
609...馬達
610...孔
611...吐出口
圖1表示本發明之滴下圖案例的說明圖。
圖2係說明以往的方法之滴下路徑圖。
圖3係說明本發明之第一態樣的滴下路徑圖。
圖4係說明本發明之第二態樣的滴下路徑圖。
圖5係實施本實施例的方法之滴下裝置的概略斜視圖。
圖6係實施本實施例的方法之吐出裝置的概略圖。
圖7表示實施本實施例的方法之滴下圖案的一例之說明圖。
圖8係圖7之一部份擴大圖。
101...基板
102A...面板
102B...面板
102C...面板
103...滴下點
104...滴下區域
105...非滴下區域
Claims (12)
- 一種液體材料之滴下方法,其為在基板上排列複數個具有滴下點的面板,而在複數個面板上以吐出裝置所具有之噴嘴在直線路徑複數次縱越或橫越之方式而使噴嘴和基板產生相對移動,且將在直線路徑上之噴嘴的移動速度設為一定並滴下液體材料之方法,其特徵為,在各個直線路徑當滴下點間的最短距離(Lo)不同時,在一個直線路徑中算出滴下點間之最短距離(Lo)及吐出裝置實施一次吐出所需要之時間(fo),而依照Lo/fo在各個直線路徑設定噴嘴和基板的相對移動速度。
- 如申請專利範圍第1項之液體材料之滴下方法,其中,當位在一個直線路徑上之複數個面板的任一者具有複數個滴下點時,噴嘴在一個直線路徑移動之中,對一個面板設定一次吐出之滴下順序,並在其滴下順序中依照最短距離(Lo)而設定噴嘴和基板之相對移動速度。
- 一種液體材料之滴下方法,其為在基板上排列複數個具有複數個滴下點之面板,而在複數個面板上以吐出裝置所具有之噴嘴在直線路徑複數次縱越或橫越之方式而使噴嘴和基板產生相對移動,且將在直線路徑上之噴嘴的移動速度設為一定並滴下液體材料之方法,其特徵為,在噴嘴之一個直線路徑移動中,以對於鄰接之滴下點不吐出之方式設定滴下順序,在其滴下順序中算出最短距離(Lo) 及吐出裝置實施一次吐出所需要之時間(fo),而依照Lo/fo設定噴嘴和基板的相對移動速度。
- 如申請專利範圍第2或3項之液體材料之滴下方法,其中,噴嘴在一列或一行的滴下點上以直線路徑移動時,在一個面板中僅以和一列或一行的滴下點數相同的次數,設定噴嘴以直線路徑在一列或一行移動之滴下順序。
- 如申請專利範圍第1或3項之液體材料之滴下方法,其中,算出在基板上之縱方向以直線路徑移動所需要之時間及在基板上之橫方向以直線路徑移動所需要之時間,而依照其以決定直線路徑之移動方向。
- 一種記憶媒體,係記憶有為了在液體材料之滴下裝置實施申請專利範圍第1或3項所記載之液體材料之滴下方法的程式。
- 一種液體材料之滴下裝置,其具備有:具有可吐出液體材料之噴嘴的吐出裝置;及,載置基板之平台;及,可使吐出裝置和平台相對移動之驅動機構;及,可控制此等動作之控制部;其特徵為,前述控制部在被排列於基板上之具有複數個滴下點之面板上,以吐出裝置所具有之噴嘴在直線路徑複數次縱越或橫越之方式而使噴嘴和基板產生相對移動,且將在直線路徑上之噴嘴的移動速度設為一定並滴下液體材料時, 當在各個直線路徑滴下點間的最短距離(Lo)不同時,在一個直線路徑中算出滴下點間之最短距離(Lo)及吐出裝置實施一次吐出所需要之時間(fo),並依照Lo/fo在各個直線路徑設定噴嘴和基板的相對移動速度。
- 如申請專利範圍第7項之液體材料之滴下裝置,其中,當位在一個直線路徑上之複數個面板的任一者具有複數個滴下點時,前述控制部在噴嘴之一個直線路徑之移動中,對一個面板設定一次吐出之滴下順序,在其滴下順序中依照最短距離(Lo)而設定噴嘴和基板之相對移動速度。
- 一種液體材料之滴下裝置,其具備有:設有可吐出液體材料之噴嘴的吐出裝置;及,載置基板之平台;及,可使吐出裝置和平台相對移動之驅動機構;及,可控制此等動作之控制部;其特徵為,前述控制部,在被複數個排列於基板上之具有複數個滴下點的面板上,以吐出裝置所具有之噴嘴在直線路徑複數次縱越或橫越之方式而使噴嘴和基板產生相對移動,且將在直線路徑上之噴嘴的移動速度設為一定並滴下液體材料時,在噴嘴在一個直線路徑之移動中,以對於鄰接之滴下點不吐出之方式設定滴下順序,在其滴下順序中算出最短距離(Lo)及吐出裝置實施一次吐出所需要之時間(fo),而依照Lo/fo以設定噴嘴和基板之相對移動速度。
- 如申請專利範圍第8或9項之液體材料之滴下裝置, 其中,前述控制部在噴嘴於一列或一行的滴下點上以直線路徑移動時,在一個面板中僅以和一列或一行的滴下點數相同的次數,設定噴嘴在一列或一行以直線路徑移動之滴下順序。
- 如申請專利範圍第7或9項之液體材料之滴下裝置,其中,前述控制部算出在基板上之縱方向以直線路徑移動所需要之時間及在基板上之橫方向以直線路徑移動所需要的時間,而依照所算出之時間以決定直線路徑之移動方向。
- 如申請專利範圍第7或9項之液體材料之滴下裝置,其中,前述吐出裝置係使和具有吐出口之噴嘴連通的計量部內面密接滑動之柱塞以所希望量移動而吐出液體材料。
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