JP5309519B2 - 画像形成装置 - Google Patents
画像形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5309519B2 JP5309519B2 JP2007254062A JP2007254062A JP5309519B2 JP 5309519 B2 JP5309519 B2 JP 5309519B2 JP 2007254062 A JP2007254062 A JP 2007254062A JP 2007254062 A JP2007254062 A JP 2007254062A JP 5309519 B2 JP5309519 B2 JP 5309519B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- nozzle
- discharge
- amount
- nozzles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
例えば、図1に示すように、基板5上の予め形成したブラックマトリックス1を隔壁として利用し、その内部にインクジェットヘッド4からインク粒(以後ドロップレットと呼ぶ)3を吐出させて色材層2を得る。
尚、この図1において、インクジェットヘッド4もしくは基板(ブラックマトリックス1を含む基板)の走査方向は矢印Sで示す方向である。
図2は、ブラックマトリックス1と、各ノズルから吐出されるドロップレット3を表したもので、ここでは、説明を簡単にするために、1本のインクジェットヘッドから、複数のノズルとその各々のノズルから吐出される各ドロップレットとカラーフィルタの1画素(以下、セルと呼ぶ)との関係を示している。
この図2では、ノズル番号26〜30の5つのノズルから吐出される5つのドロップレット3で、1つのセルを塗工している。但し、ノズル番号25と31に対応するノズルは、ブラックマトリックス1と干渉する位置にあるため、これらノズルからインクが吐出されないように休止ノズルとしてある。
なお、実際にはノズルのピッチとブラックマトリックスのピッチとが一致して互いに重なるような位置関係にはならないことが多いが、ここでは、説明を簡単にするために、重なる形で示されている。
上記図2において、ドロップレット3の径(簡易的にドット径と考えても良い)が大きくなっていることがわかる。この現象について、図3を参照して説明する。
図3は、ドロップレット3,つまりノズル番号28に対応するノズルの吐出量が増えてしまう理由を説明するもので、ノズル番号25,26等の下に付したA,B,Cは吐出相を表し、この図3の例では、複数のノズルを3つの相に分割した場合を示している。
連続噴射法では、ドロップレットの着弾精度が概して悪く、かつドロップレットの粒度が大きく、更にインクに荷電性能を付与させたり、顔料などの色材使用に制限があるなどの観点から、カラーフィルタや有機エレクトロルミネッセンス等塗膜に対する純度や塗工量管理の厳しい用途には使用できない。
従って、画像形成させるときのみ、ノズルからドロップレット(インク粒)を吐出させるドロップオンデマンド方式(DOD方式)が用いられている。
ドロップオンデマンド方式でドロップレットを吐出させる場合、全ノズルを同時に吐出させる場合と、ノズルを2つ以上の相に分割して分割吐出させる場合がある。図3は3相分割式の場合を示している。
そして、図3では、ブラックマトリックス1と干渉するノズル番号25,31に対応する休止ノズルは共にA相で同相にある。この休止したノズルと同相のノズル、すなわちインクを吐出しているノズル番号28に対応するノズルもA相にあるため、他のB,C相のノズルと違って、休止ノズルの圧力干渉を受ける。この干渉はクロストーク等と呼ばれているもので、休止ノズルの影響が吐出ノズルに影響を及ぼし、結果として吐出液量が変わってしまう。
つまり、ノズル番号28のノズルはノズル番号25のノズルからすると、4番目で1番目(A相)と同相の隣接ノズルになり、また、ノズル番号31のノズルからも、同様に4番目で1番目(A相)と同相の隣接ノズルとなる。この場合、その影響を受けて吐出ドロップレット3Aが図3に示すように多くなっている。
図3では、吐出量として、通常のノズルでは6plを表しているが、ノズル番号28のノズルでは7.2plと増えていることがわかる。
この図4において、ノズル番号10〜45に対応する各ノズルはA,B,Cの3相に分割され、そして、この各ノズルのうち、休止ノズルには×印が付けられ、吐出ノズルは無印となっている。また、各ノズルの基準吐出量、吐出数(吐出回数)及びブラックマトリックス1の各開口部1A内における各ノズルによる塗工液量は図4に示すような値(例えば120pl)となる。
この図5において、ノズル番号10〜45に対応する各ノズルはA,B,Cの3相に分割され、そして、この各ノズルのうち、休止ノズルには×印が付けられ、吐出ノズルは無印となっている。また、各ノズルの基準吐出量、吐出数(吐出回数)及びブラックマトリックス1の各開口部1A内における各ノズルによる塗工液量は図4に示すような値(例えば120pl)となる。
また、図5から明らかように、ノズルピッチとブラックマトリックスピッチが一致しないことからクロストークの影響により、A,C相にある吐出ノズルの基準吐出量が他の相Cの吐出ノズルの基準吐出量より多くなり、各ノズルの吐出量にバラツキが生じ、カラーフィルタのブラックマトリックス1の開口部毎に、その塗工液量が異なってしまう。さらに、実際には各ノズルから吐出される吐出インク量にもバラツキがあり、その結果、クロストークの影響が同じであっても、開口部1A毎で実際の吐出量は異なってしまう。
このように異なる吐出量は、カラーフィルタでは透過色むらとなり、有機ELでは発光ムラとなり、画像に筋状のムラ不良を起こしてしまい、インクジェット塗工最大の問題となっていた。
前記相に分割されたインク吐出用ノズルのうち、前記隔壁と干渉するインク吐出用ノズルを休止し、かつ前記流路で連通された前記少なくとも2つの領域内に位置する複数のインク吐出用ノズルが稼働するように構成され、前記流路で連通された前記少なくとも2つの領域内に位置する複数のインク吐出用ノズルのうち、前記休止しているインク吐出用ノズルと同相のインク吐出用ノズルの基準吐出量が前記休止しているインク吐出用ノズルの圧力干渉を受けて増加する分の液量が減じられるように前記流路で連通された前記少なくとも2つの領域内に位置し前記稼働しているインク吐出用ノズルの吐出量を制御し、かつ前記流路で連通された前記少なくとも2つの領域内に吐出されるインク粒の総吐出液量が所定の液量に等しくなるように制御する制御手段を備えることを特徴とする。
また、本発明の画像形成装置によれば、インクジェットヘッドに、微少ドロップを1個以上の連続した吐出数で各ノズルからの吐出量を可変できるマルチドロップレット方式のインクジェットヘッドを使用しているので、吐出量誤差の最小化に際して、塗工量誤差を少なくすることができる。
図6は、本実施の形態1における画像形成装置の全体図である。
この図6において、画像形成装置は、矢印Y方向に移動可能な精密搬送ステージ10、この精密搬送ステージ10上に吸着板18を介して載置された基板11、第1ガントリー12上に矢印X1に移動可能に支持された第1ヘッドユニット14、第2ガントリー13上に矢印X2に移動可能に支持された第2ヘッドユニット15、精密搬送ステージ10の左右側方にそれぞれ位置して配設された第1ヘッドユニット用メンテナンスステーション16及び第2ヘッドユニット用メンテナンスステーション17、第1ヘッドユニット14及び第2ヘッドユニット15へのインク吐出用ノズルの吐出量を制御する制御手段19を備えて構成される。吸着板18は、基板11を吸着保持または解除開放するものである。
そして、この第1ガントリー12には約600mmの塗工エリアを持つ第1ヘッドユニット14が搭載され、第2ガントリー13には第1ヘッドユニット14と同様な第2ヘッドユニット15が搭載されており、ガラス基板11上の図示しない隔壁内に、第1ヘッドユニット14及び第2ヘッドユニット15のそれぞれのインク吐出用ノズルにて目標液量を塗工する。
また、基板11上において、隔壁で囲まれた画素領域に一定量の塗工が終了すると、インクジェットヘッドの表面に付着したミスト等を除去して清浄に保つために、メンテナンスステーション16は第1ヘッドユニット14がメンテナンスの対象となり、メンテナンスステーション17は第2ヘッドユニット15がメンテナンスの対象となる。
最初に図8を用いて説明する。図8は、図6に示した2つのヘッドユニット14,15を上部からみた図面であり、予め隔壁となるブラックマトリックスを表面に形成してあるガラス基板11に対し第1ヘッドユニット14と第2ヘッドユニット15の2ユニットにて塗工を行っているところを示したものである。
ここで、各ヘッドユニット14,15は走査幅500mmで3色分のインクジェットヘッド14a,15aがそれぞれ600dpiのノズル密度で配置してある。従って1つのユニットでは約42μmごとに各色のノズルが配置されていることになる。
また、各ノズルは6plを基準ドロップとして4ビットのマルチドロップ駆動を行っており、6〜90plの吐出液量を6pl刻みで変更できる。しかしながら、各ノズルのクロストーク等により実際の吐出量は異なることは前述した通りである。
この実施の形態では、1200dpiのタンデムモードにて約40インチのカラーフィルタ6面付け基板を片道塗工のみで、200mm/sec,3色同時にできることを確認された。
更にインクジェットヘッドは消耗品であり定期的に交換する必要もある。このような各種トラブルや保守の度に塗工装置を止めてしまっては安定生産が実現できない。従って、本実施の形態では、ヘッドユニット14,15のうち、どちらか1方のヘッドユニットが何らかの事情で使用できない場合であっても、片側のヘッドユニットのみで塗工できるシングルモードが備わっている。これを示したのが図7であり、この図7では、第1ヘッドユニット14のみで運転をしている状態である。但し、タンデムモードとの塗工条件が違うと塗工後のカラーフィルタ品質に違いができてしまうので、ここでは、600dpiで片側塗工したあと、1/1200dpiピッチに相当する21μmガントリー位置をずらしてもう片方を塗工する疑似1200dpi塗工を行っている。従って、片側での塗工では往復して1つの塗工スキャンが終了する。
但し、隔壁内に対する各インク吐出用ノズルはシングルモードとタンデムモードでは違うので各モード毎にレシピを作成し、かつ、後述するように流路で連通された隔壁内での吐出量を揃えるように誤差最小化計算を制御手段19(図6参照)で各ノズルの係数より実施し、別レシピとして管理している。
図9は、画像形成装置のカラーフィルタをインクジェット精密パターンコート方式で形成する場合を示すものである。この図9において、図示省略の基板上には、互いに直行する方向である行方向及び列方向に配列された画素毎に該画素を囲むようにして格子状の隔壁20が形成されている。この格子状の隔壁20において、行方向に配列された各行の隔壁20がカラーフィルタ用の赤、緑、青に対応するものである。
また、隔壁20で囲まれた領域20a内の基板上にインク粒を所定量吐出するインクジェットヘッド(図6のヘッドユニット14,15に相当)は前記画素の行方向(または列方向)に一定のピッチで配列され、かつ隔壁20で囲まれた複数の領域20aへのインク粒の吐出を可能とした複数のインク吐出用ノズルを有し、このインク吐出用ノズルからインク粒が吐出される前記複数の領域20aのうち、図9に示すように、互いに隣接する少なくとも2つの領域20a間を隔てる隔壁部分20bに、それら領域20a間を連通しインク吐出用ノズルから吐出されたインク粒がそれら領域20a間を流動できる流路21が形成されている。この流路21で連通された少なくとも2つの領域20a内に吐出されるインク粒の総吐出液量が所定の液量に等しくなるように少なくとも2つの領域20a内へインク粒を吐出するインク吐出用ノズルの吐出量を制御手段19で制御するように構成されている。
なお、インク吐出用ノズルの吐出量の減少に応じて設定された係数をテーブルで構成し、このテーブルを利用して、インク吐出用ノズルの吐出量の減少に応じた係数を自動的に選択し、この選択された係数に基づいて関数処理すればよい。
また、本実施の形態におけるインクジェットヘッドは、微少ドロップを1個以上の連続した吐出回数で各インク吐出用ノズルからの吐出量が可変できるマルチドロップレット方式のインクジェットヘッドであり、制御手段19は、各インク吐出用ノズルから吐出される吐出量の誤差が最小となるように各インク吐出用ノズルの吐出ドロップ数を変化させるようになっている。
また、図10において、ノズルピッチとブラックマトリックスピッチが一致しないことからクロストークの影響により、A,C相にある吐出ノズルの基準吐出量が他の相Cの吐出ノズルの基準吐出量より多くなり、各ノズルの吐出量にバラツキが生じ、カラーフィルタのブラックマトリックスに相当する隔壁20で囲まれた領域20aに、その塗工液量が異なってしまい、各ノズルから吐出される吐出インク量にもバラツキが生じる。その結果、従来手法では隔壁により、図10に示すように、塗工液量に130.4plと132plという1.2%の誤差が生じているが、本実施の形態では、各インク吐出用ノズルから吐出される吐出量の誤差が最小となるように、領域20a内へインク粒を吐出するインク吐出用ノズルの吐出量を制御手段19で自動的に制御すれば、図11に示すように、塗工液量に120.0plと120.0plという小数点以上第1位までの誤差、即ち塗工量バラツキが解消していることがわかる。
図11において、ノズル番号10〜45に対応する各ノズルはA,B,Cの3相に分割され、そして、この各ノズルのうち、休止ノズルには×印が付けられ、吐出ノズルは無印となっている。また、各ノズルの基準吐出量、吐出数(吐出回数)及び隔壁20で囲まれた領域20a内における各ノズルによる塗工液量は図11に示すような値(例えば120.0)となる。
また、上述した吐出液量誤差最小化を行うに際して、上記インクジェットヘッドの各ノズル毎に吐出減少毎の係数を付与し、各現象毎の係数を足す、掛ける等の関数処理によって、隔壁の設計が変わっても自動的に吐出液量の誤差を最小化することができる。
このため、圧力クロストークやノズル毎に持っている吐出量バラツキを係数にしたり、各部の温度による吐出量のバラツキやインクジェットヘッド内部の配線パターンや駆動回路が持つ電気抵抗による駆動電圧の電圧降下等による吐出量バラツキ等も係数化することにより、それらの係数を掛け合わす等の関数処理によって簡便に吐出量バラツキを抑えることができる。
更にインクジェットヘッドに、1回の吐出(1ショット)に対し、微少ドロップを1個以上の連続した吐出回数で各ノズルからの吐出量を可変できるマルチドロップレット方式のインクジェットヘッドを使用しているので、上記吐出量の誤差最小化を行うに際して、6plや3plといった基準微少ドロップのn倍と担当ノズルの組み合わせで実施することができるため、塗工量誤差を少なくすることができると同時に各種隔壁サイズと目標液量を素早く変更、調整することができる。
Claims (4)
- 基板と、互いに直交する方向である行方向及び列方向に配列された画素毎に該画素を囲むようにして前記基板上に形成された隔壁と、前記隔壁で囲まれた領域内の前記基板上にインク粒を所定量吐出するインクジェットヘッドとを備える画像形成装置であって、
前記インクジェットヘッドは前記画素の行方向または列方向に一定のピッチで配列され、かつ前記隔壁で囲まれた複数の領域へのインク粒の吐出を可能とした複数のインク吐出用ノズルを有し、
前記インク吐出用ノズルからインク粒が吐出される前記複数の領域のうち、互いに隣接する少なくとも2つの前記領域間を隔てる隔壁部分に、それら領域間を連通し前記インク吐出用ノズルから吐出されたインク粒がそれら領域間を流動できる流路が形成され、
前記複数のインク吐出用ノズルは、互いに隣り合うインク吐出用ノズルが同時にインク粒を吐出しないように、複数の相に分割されかつ前記相に分割された前記インク吐出用ノズル毎にインク粒を吐出するように構成され、
前記相に分割されたインク吐出用ノズルのうち、前記隔壁と干渉するインク吐出用ノズルを休止し、かつ前記流路で連通された前記少なくとも2つの領域内に位置する複数のインク吐出用ノズルが稼働するように構成され、
前記流路で連通された前記少なくとも2つの領域内に位置する複数のインク吐出用ノズルのうち、前記休止しているインク吐出用ノズルと同相のインク吐出用ノズルの基準吐出量が前記休止しているインク吐出用ノズルの圧力干渉を受けて増加する分の液量が減じられるように前記流路で連通された前記少なくとも2つの領域内に位置し前記稼働しているインク吐出用ノズルの吐出量を制御し、かつ前記流路で連通された前記少なくとも2つの領域内に吐出されるインク粒の総吐出液量が所定の液量に等しくなるように制御する制御手段を備える、
ことを特徴とする画像形成装置。 - 前記制御手段は、前記流路で連通された前記少なくとも2つの領域内に位置する各インク吐出用ノズル毎に該インク吐出用ノズルの吐出量の減少に応じて設定された係数に基づいて関数処理し、該関数処理された指令値に従って前記各インク吐出用ノズルから吐出される吐出量の誤差が最小となるように自動的に制御することを特徴とする特許請求項1記載の画像形成装置。
- 前記インクジェットヘッドは、微少ドロップを1個以上の連続した吐出回数で前記流路で連通された前記少なくとも2つの領域内に位置する各インク吐出用ノズルからの吐出量が可変できるマルチドロップレット方式のインクジェットヘッドであり、前記制御手段は、前記各インク吐出用ノズルから吐出される吐出量の誤差が最小となるように前記各インク吐出用ノズルの吐出ドロップ数を変化させることを特徴とする特許請求項2記載の画像形成装置。
- 前記流路は、前記隔壁の一部を切り欠くか、前記隔壁を形成する組成物の膜厚を薄くするか、前記隔壁を形成する撥インク剤を含む組成物の撥液性を下げるかの何れかで構成されることを特徴とする特許請求項1記載の画像形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007254062A JP5309519B2 (ja) | 2007-09-28 | 2007-09-28 | 画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007254062A JP5309519B2 (ja) | 2007-09-28 | 2007-09-28 | 画像形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009086155A JP2009086155A (ja) | 2009-04-23 |
JP5309519B2 true JP5309519B2 (ja) | 2013-10-09 |
Family
ID=40659688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007254062A Expired - Fee Related JP5309519B2 (ja) | 2007-09-28 | 2007-09-28 | 画像形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5309519B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8636716B2 (en) | 2003-03-27 | 2014-01-28 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Medical device |
US8784337B2 (en) | 2010-03-31 | 2014-07-22 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Catheter with an improved flexural rigidity profile |
US8795254B2 (en) | 2008-12-10 | 2014-08-05 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Medical devices with a slotted tubular member having improved stress distribution |
US9901706B2 (en) | 2014-04-11 | 2018-02-27 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Catheters and catheter shafts |
US11351048B2 (en) | 2015-11-16 | 2022-06-07 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Stent delivery systems with a reinforced deployment sheath |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4897070B2 (ja) * | 2009-06-08 | 2012-03-14 | パナソニック株式会社 | 機能膜製造方法 |
JP6155629B2 (ja) | 2012-12-21 | 2017-07-05 | セイコーエプソン株式会社 | ノズル吐出量の補正方法、機能液の吐出方法、有機el装置の製造方法 |
JP7211378B2 (ja) * | 2020-02-13 | 2023-01-24 | 東レ株式会社 | 波長変換基板、ディスプレイ、および波長変換基板の製造方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3940523B2 (ja) * | 1999-04-27 | 2007-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット方式カラーフィルタ用樹脂組成物、カラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法 |
JP2001183514A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Canon Inc | カラーフィルタとその製造方法、該カラーフィルタを用いた液晶素子 |
JP4149161B2 (ja) * | 2001-12-06 | 2008-09-10 | 大日本印刷株式会社 | パターン形成体の製造方法およびパターン製造装置 |
TW526340B (en) * | 2001-12-25 | 2003-04-01 | Ind Tech Res Inst | Method for manufacturing color filters by micro fluid |
JP4710258B2 (ja) * | 2004-06-16 | 2011-06-29 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの形成方法と形成装置 |
JP2006201423A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-08-03 | Seiko Epson Corp | 色要素付き基板、成膜方法、電気光学装置および電子機器 |
JP2007029830A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Toppan Printing Co Ltd | インクジェット塗工方法および装置 |
JP2007234232A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-13 | Hitachi Displays Ltd | 画像表示装置 |
JP2007272213A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-10-18 | Toppan Printing Co Ltd | パターン形成基板、カラーフィルタ、液晶表示装置及びカラーフィルタの製造方法 |
JP5298482B2 (ja) * | 2007-09-07 | 2013-09-25 | 凸版印刷株式会社 | パターン形成基板 |
-
2007
- 2007-09-28 JP JP2007254062A patent/JP5309519B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8636716B2 (en) | 2003-03-27 | 2014-01-28 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Medical device |
US9023011B2 (en) | 2003-03-27 | 2015-05-05 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Medical device |
US9592363B2 (en) | 2003-03-27 | 2017-03-14 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Medical device |
US10207077B2 (en) | 2003-03-27 | 2019-02-19 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Medical device |
US8795254B2 (en) | 2008-12-10 | 2014-08-05 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Medical devices with a slotted tubular member having improved stress distribution |
US8784337B2 (en) | 2010-03-31 | 2014-07-22 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Catheter with an improved flexural rigidity profile |
US9901706B2 (en) | 2014-04-11 | 2018-02-27 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Catheters and catheter shafts |
US11351048B2 (en) | 2015-11-16 | 2022-06-07 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Stent delivery systems with a reinforced deployment sheath |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009086155A (ja) | 2009-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5309519B2 (ja) | 画像形成装置 | |
JP4018120B2 (ja) | 液滴吐出描画装置 | |
US9931838B2 (en) | Method of controlling film thickness distribution and method of manufacturing display apparatus using the method | |
EP1949975A1 (en) | Ink jetting device and ink jetting method | |
JP5764996B2 (ja) | 印刷方法 | |
WO2007077597A1 (ja) | 液滴塗布装置 | |
WO2008032772A1 (fr) | Éjecteur d'encre et procédé de commande d'éjection | |
JP2010204189A (ja) | カラーフィルタの製造方法、表示装置の製造方法、および、塗布方法 | |
US10847723B2 (en) | Droplet discharge method, program, manufacturing method of organic el device, forming method of color filter | |
JP2007229958A (ja) | 液滴吐出装置およびその制御方法 | |
JP2009157035A (ja) | インクジェット吐出装置 | |
CN110385926B (zh) | 印刷方法、印刷装置、el和太阳能电池的制造方法 | |
JP2008249781A (ja) | パターン形成方法及び光学素子の製造方法 | |
JP3976769B2 (ja) | 液滴塗布装置 | |
JP2009175168A (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
KR102559882B1 (ko) | 액적 토출 방법 및 장치 | |
JP4363094B2 (ja) | 液滴吐出装置の液滴吐出方法および液滴吐出装置、並びにカラーフィルタ表示装置の製造方法、エレクトロルミネッサンス表示装置の製造方法、プラズマ表示装置の製造方法 | |
JP2017094235A (ja) | 液滴吐出方法および液滴吐出プログラム | |
JP2007029830A (ja) | インクジェット塗工方法および装置 | |
KR101759132B1 (ko) | 도포장치 및 도포방법 | |
JP2009198938A (ja) | 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法 | |
JP2009222989A (ja) | インクジェット塗布装置 | |
JP4710258B2 (ja) | カラーフィルタの形成方法と形成装置 | |
JP2010194465A (ja) | 液滴塗布方法及び装置 | |
JP2009109799A (ja) | 塗布装置及び塗布方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100826 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110818 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130319 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130604 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130617 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |