JP2009106857A - 液体材料の滴下方法およびプログラム並びに装置 - Google Patents
液体材料の滴下方法およびプログラム並びに装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009106857A JP2009106857A JP2007281865A JP2007281865A JP2009106857A JP 2009106857 A JP2009106857 A JP 2009106857A JP 2007281865 A JP2007281865 A JP 2007281865A JP 2007281865 A JP2007281865 A JP 2007281865A JP 2009106857 A JP2009106857 A JP 2009106857A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dropping
- nozzle
- liquid material
- substrate
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 title claims abstract description 62
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 74
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 14
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 8
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 8
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001548 drop coating Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J13/00—Devices or arrangements of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, specially adapted for supporting or handling copy material in short lengths, e.g. sheets
- B41J13/0009—Devices or arrangements of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, specially adapted for supporting or handling copy material in short lengths, e.g. sheets control of the transport of the copy material
- B41J13/0027—Devices or arrangements of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, specially adapted for supporting or handling copy material in short lengths, e.g. sheets control of the transport of the copy material in the printing section of automatic paper handling systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
- B41J3/28—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for printing downwardly on flat surfaces, e.g. of books, drawings, boxes, envelopes, e.g. flat-bed ink-jet printers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1341—Filling or closing of cells
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1341—Filling or closing of cells
- G02F1/13415—Drop filling process
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【課題】ノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料の滴下を行う技術において、ノズルの移動速度を高速化し、生産性を向上することができる液体材料の滴下方法およびプログラム並びに装置の提供。
【解決手段】滴下点を有するワークを基板上に複数配列し、複数のワーク上を吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら吐出装置に吐出信号を送信して液体材料を滴下する方法であって、
直線経路毎に滴下点間の最短距離（Ｌ０）が異なる場合に、一の直線経路における滴下点間の最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づき走査経路毎にノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下方法および当該方法を実施するための装置。
【選択図】図１
【解決手段】滴下点を有するワークを基板上に複数配列し、複数のワーク上を吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら吐出装置に吐出信号を送信して液体材料を滴下する方法であって、
直線経路毎に滴下点間の最短距離（Ｌ０）が異なる場合に、一の直線経路における滴下点間の最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づき走査経路毎にノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下方法および当該方法を実施するための装置。
【選択図】図１
Description
本発明は、液体材料を滴下する方法およびプログラム並びに装置に関し、より詳細には、複数個の同じパネル（ワークと呼ぶこともある）が規則的に配列された一枚の基板に対し、基板の被滴下面に対向する面内で滴下装置を平行移動して、各パネル間に存在する非滴下対象領域を横切って基板の端から端までを途中で停止することなく滴下装置を直線経路で移動しながら滴下対象領域にのみ液体材料を滴下する方法およびプログラム並びに装置に関する。
従来、二枚の対向する基板を貼り合わせ、その間に液晶層を形成するパネル（セル）工程では、二枚の基板を貼り合わせた後に真空槽を用いて液晶を注入する方法（真空注入法）が用いられてきた。
しかし、大型のパネルでは注入時間だけで１日以上掛かってしまうこともあった。そこで、近年、パネルの大型化に伴う生産性の向上への要求などから、貼り合わせる前の一方の基板に液晶を滴下してから貼り合わせる方法（滴下注入法）が注目されている。この方法では、真空注入法において必要な注入口が不要であるので、注入口を塞ぐ封止工程を省くことができ、かつ注入時間を短縮することもできるので、生産性が格段に向上する。
しかし、大型のパネルでは注入時間だけで１日以上掛かってしまうこともあった。そこで、近年、パネルの大型化に伴う生産性の向上への要求などから、貼り合わせる前の一方の基板に液晶を滴下してから貼り合わせる方法（滴下注入法）が注目されている。この方法では、真空注入法において必要な注入口が不要であるので、注入口を塞ぐ封止工程を省くことができ、かつ注入時間を短縮することもできるので、生産性が格段に向上する。
一枚の基板に複数のパネルを配列される場合には、複数の吐出ヘッドでの滴下が行われる。一枚の基板に複数行、複数列のパネルが配列される場合には、制御上の観点などから、行（または列）と同じ数または約数となる数の滴下ヘッドを行（または列）と平行な一つの直線上に配設し、一列ごと（または一行ごと）に列方向（または行方向）に動作させて滴下を行うのが一般的である。
この滴下注入法は数十インチサイズの大型パネルだけでなく、数インチサイズの小型のパネルを製造する工程でも用いられるようになった。
液状物質滴下装置としては、例えば特許文献１に、液状物質供給手段と基板との相対的な位置を検出する手段と、検出した位置情報に基づき液状物質の吐出タイミングを制御する制御手段とを備え、制御手段による吐出タイミングの制御は、液状物質供給手段と基板とを相対的に移動させている期間中に行われること、また、滴下位置間隔に基づいて決定される液状物質供給手段と基板との相対的な移動速度と、吐出時間間隔とで、液状物質供給手段と基板とを相対的に移動させること、さらに、液状物質供給手段は、備蓄室を複数有するとともに液状物質の取出しと吐出とを並行して動作させる手段を備えることが開示されている。
液状物質滴下装置としては、例えば特許文献１に、液状物質供給手段と基板との相対的な位置を検出する手段と、検出した位置情報に基づき液状物質の吐出タイミングを制御する制御手段とを備え、制御手段による吐出タイミングの制御は、液状物質供給手段と基板とを相対的に移動させている期間中に行われること、また、滴下位置間隔に基づいて決定される液状物質供給手段と基板との相対的な移動速度と、吐出時間間隔とで、液状物質供給手段と基板とを相対的に移動させること、さらに、液状物質供給手段は、備蓄室を複数有するとともに液状物質の取出しと吐出とを並行して動作させる手段を備えることが開示されている。
特許文献１のようにノズルと基板を相対移動しながら滴下のための動作を行う場合、ノズルの移動速度は吐出サイクルタイム（１滴の吐出を行うのに要する時間）と滴下点間距離とにより制約されるという課題がある。例えば、吐出サイクルタイム（ｆ０）が０．２秒であり、最小滴下点間距離（Ｌ０）が１０ｍｍの場合には、ノズルの最大移動速度は、５０ｍｍ／秒（＝Ｌ０／ｆ０）となる。
つまり、滴下点間距離に長短がある滴下パターンの場合、ノズルの移動速度を最小滴下距離Ｌ０（滴下点間距離のうち最も短い距離）に基づいて算出すると、滴下点間距離が長い箇所での移動時間がネックとなり、生産性が低下するという課題があった。基板上でのノズルの移動速度を可変とすることもできなくはないが、液体材料の落下点を制御することは極めて困難であるため、基板上でのノズルの移動速度を一定に維持する必要があるからである。例えば、滴下点間距離Ｌ１が１０ｍｍであり、滴下点間距離Ｌ２が２０ｍｍである滴下パターンの場合、最小滴下距離は１０ｍｍとなるのでノズルを５０ｍｍ／秒で移動させる必要がある。このように、滴下点間距離Ｌ２がＬ１より一定程度以上大きい場合には、生産性への影響は大きかった。
つまり、滴下点間距離に長短がある滴下パターンの場合、ノズルの移動速度を最小滴下距離Ｌ０（滴下点間距離のうち最も短い距離）に基づいて算出すると、滴下点間距離が長い箇所での移動時間がネックとなり、生産性が低下するという課題があった。基板上でのノズルの移動速度を可変とすることもできなくはないが、液体材料の落下点を制御することは極めて困難であるため、基板上でのノズルの移動速度を一定に維持する必要があるからである。例えば、滴下点間距離Ｌ１が１０ｍｍであり、滴下点間距離Ｌ２が２０ｍｍである滴下パターンの場合、最小滴下距離は１０ｍｍとなるのでノズルを５０ｍｍ／秒で移動させる必要がある。このように、滴下点間距離Ｌ２がＬ１より一定程度以上大きい場合には、生産性への影響は大きかった。
特に、小型パネルのように一枚の基板に多数のパネルが配列される場合には、必然的に滴下数は多くなり、各滴下点間の間隔は狭くなるが、かかる場合には生産性の低下は顕著である。一枚の基板へ無駄なくパネルを配列する場合も、パネル間の距離は狭くなり、滴下点間隔が狭くなるので同様である。
上記課題を解決するために、本発明は、ノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料の滴下を行う技術において、ノズルの移動速度を高速化し、生産性を向上することができる液体材料の滴下方法およびプログラム並びに装置を提供することを目的とする。
第１の発明は、滴下点を有するワークを基板上に複数配列し、複数のワーク上を吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料を滴下する方法であって、直線経路毎に滴下点間の最短距離（Ｌ０）が異なる場合に、一の直線経路における滴下点間の最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づき直線経路毎にノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下方法である。
第２の発明は、第１の発明において、ワークが複数の滴下点を有する場合に、ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする。
第３の発明は、複数の滴下点を有するワークを基板上に複数配列し、複数のワーク上を吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料を滴下する方法であって、ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下方法である。
第４の発明は、第２または第３の発明において、ノズルが一行または一列の滴下点上を直線経路で移動するに際し、一のワークにおける一行または一列の滴下点の数と同じ回数だけ、ノズルが一行または一列を直線経路で移動するよう滴下順序を設定することを特徴とする。
第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明において、基板上を縦方向に直線経路で移動するのに要する時間と、基板上を横方向に直線経路で移動するのに要する時間とを算出し、それに基づき直線経路での移動方向を決定することを特徴とする。
第２の発明は、第１の発明において、ワークが複数の滴下点を有する場合に、ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする。
第３の発明は、複数の滴下点を有するワークを基板上に複数配列し、複数のワーク上を吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料を滴下する方法であって、ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下方法である。
第４の発明は、第２または第３の発明において、ノズルが一行または一列の滴下点上を直線経路で移動するに際し、一のワークにおける一行または一列の滴下点の数と同じ回数だけ、ノズルが一行または一列を直線経路で移動するよう滴下順序を設定することを特徴とする。
第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明において、基板上を縦方向に直線経路で移動するのに要する時間と、基板上を横方向に直線経路で移動するのに要する時間とを算出し、それに基づき直線経路での移動方向を決定することを特徴とする。
第６の発明は、第１ないし５のいずれかの発明に係る液体材料の滴下方法を液体材料の滴下装置に実施させるためのプログラムである。
第７の発明は、液体材料を吐出するノズルを備えた吐出装置と、基板を載置するテーブルと、吐出装置とテーブルを相対移動させる駆動手段と、これらの動作を制御する制御手段と、を備える液体材料の滴下装置であって、前記制御部は、基板上に複数配列された滴下点を有するワーク上を、吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料を滴下するに際し、直線経路毎に滴下点間の最短距離（Ｌ０）が異なる場合に、一の直線経路における滴下点間の最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づき直線経路毎にノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下装置である。
第８の発明は、第７の発明において、前記制御部は、ワークが複数の滴下点を有する場合に、ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする。
第９の発明は、液体材料を吐出するノズルを備えた吐出装置と、基板を載置するテーブルと、吐出装置とテーブルを相対移動させる駆動手段と、これらの動作を制御する制御手段と、を備える液体材料の滴下装置であって、前記制御部は、基板上に複数配列された複数の滴下点を有するワーク上を、吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料を滴下するに際し、ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下装置である。
第１０の発明は、第８または９の発明において、前記制御部は、ノズルが一行または一列の滴下点上を直線経路で移動するに際し、一のワークにおける一行または一列の滴下点の数と同じ回数だけ、ノズルが一行または一列を直線経路で移動するよう滴下順序を設定することを特徴とする。
第１１の発明は、第７ないし１０のいずれかの発明において、前記制御部は、基板上を縦方向に直線経路で移動するのに要する時間と、基板上を横方向に直線経路で移動するのに要する時間とを算出し、それに基づき直線経路での移動方向を決定することを特徴とする。
第１２の発明は、第７ないし１１のいずれかの発明において、前記吐出装置は、吐出口を備えるノズルと連通する計量部内面に密接摺動するプランジャーを所望量移動して液体材料を吐出することを特徴とする。
第８の発明は、第７の発明において、前記制御部は、ワークが複数の滴下点を有する場合に、ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする。
第９の発明は、液体材料を吐出するノズルを備えた吐出装置と、基板を載置するテーブルと、吐出装置とテーブルを相対移動させる駆動手段と、これらの動作を制御する制御手段と、を備える液体材料の滴下装置であって、前記制御部は、基板上に複数配列された複数の滴下点を有するワーク上を、吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料を滴下するに際し、ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下装置である。
第１０の発明は、第８または９の発明において、前記制御部は、ノズルが一行または一列の滴下点上を直線経路で移動するに際し、一のワークにおける一行または一列の滴下点の数と同じ回数だけ、ノズルが一行または一列を直線経路で移動するよう滴下順序を設定することを特徴とする。
第１１の発明は、第７ないし１０のいずれかの発明において、前記制御部は、基板上を縦方向に直線経路で移動するのに要する時間と、基板上を横方向に直線経路で移動するのに要する時間とを算出し、それに基づき直線経路での移動方向を決定することを特徴とする。
第１２の発明は、第７ないし１１のいずれかの発明において、前記吐出装置は、吐出口を備えるノズルと連通する計量部内面に密接摺動するプランジャーを所望量移動して液体材料を吐出することを特徴とする。
本発明によれば、ノズルの移動速度を増大させることで、滴下塗布における生産性を向上させることが可能である。
本発明を実施するための最良の形態を、図１に示すような３つのパターンが一列に並んだ例で説明する。
（滴下対象）
図１においては、滴下点１０３の位置をＰ１〜Ｐ１２で表している。
基板１０１には、複数のパネル１０２が配列されており、一つのパネルにつき縦横それぞれにＬ２の間隔をおいて四点の滴下点１０３が設けられている。各パネル１０２は、ピッチＬ３ずつ離れた場所に位置するよう配置されている。なお、縦方向に隣接する２枚のパネル１０２の滴下点１０３の最短滴下距離Ｌ０はＬ１（Ｌ１＜Ｌ２）である。
（滴下対象）
図１においては、滴下点１０３の位置をＰ１〜Ｐ１２で表している。
基板１０１には、複数のパネル１０２が配列されており、一つのパネルにつき縦横それぞれにＬ２の間隔をおいて四点の滴下点１０３が設けられている。各パネル１０２は、ピッチＬ３ずつ離れた場所に位置するよう配置されている。なお、縦方向に隣接する２枚のパネル１０２の滴下点１０３の最短滴下距離Ｌ０はＬ１（Ｌ１＜Ｌ２）である。
（滴下経路）
（ア）従来の方法によりパネル１０２Ａ〜１０２Ｃに滴下を行う場合、ノズルは図２の矢印のとおりの経路で移動される。図２中、実線は滴下動作、点線は移動のみの動作を表している。ここで、最小滴下距離Ｌ０はＬ２である。
図２に示す方法では、パネル１０２ごとに滴下動作を行っている。すなわち、初めに、一つ目のパネル１０２ＡをＰ１からＰ２、Ｐ１１、Ｐ１２へと滴下する。そして、パネル１０２Ａについて滴下を終えると、終了点Ｐ１２から二つ目のパネル１０２Ｂの開始点Ｐ３へ移動する。次に、二つ目のパネル１０２ＢをＰ３からＰ４、Ｐ９、Ｐ１０へと滴下する。パネル１０２Ｂについて滴下を終えると、終了点Ｐ１０から三つ目のパネル１０２Ｃの開始点Ｐ５へ移動する。最後に、三つ目のパネル１０２ＣをＰ５からＰ６、Ｐ７、Ｐ８へと滴下を行い、動作を終了する。
この方法では、一つのパネル上に設けられた４つの滴下点１０３の全てにおいて、ノズルの移動方向を変える必要があり、滴下点１０３ごとにノズルの移動が一瞬止まるため、ノズルの加速・減速による時間のロスも大きく、全体の滴下にかかる時間（タクトタイム）を短縮することは困難である。
（ア）従来の方法によりパネル１０２Ａ〜１０２Ｃに滴下を行う場合、ノズルは図２の矢印のとおりの経路で移動される。図２中、実線は滴下動作、点線は移動のみの動作を表している。ここで、最小滴下距離Ｌ０はＬ２である。
図２に示す方法では、パネル１０２ごとに滴下動作を行っている。すなわち、初めに、一つ目のパネル１０２ＡをＰ１からＰ２、Ｐ１１、Ｐ１２へと滴下する。そして、パネル１０２Ａについて滴下を終えると、終了点Ｐ１２から二つ目のパネル１０２Ｂの開始点Ｐ３へ移動する。次に、二つ目のパネル１０２ＢをＰ３からＰ４、Ｐ９、Ｐ１０へと滴下する。パネル１０２Ｂについて滴下を終えると、終了点Ｐ１０から三つ目のパネル１０２Ｃの開始点Ｐ５へ移動する。最後に、三つ目のパネル１０２ＣをＰ５からＰ６、Ｐ７、Ｐ８へと滴下を行い、動作を終了する。
この方法では、一つのパネル上に設けられた４つの滴下点１０３の全てにおいて、ノズルの移動方向を変える必要があり、滴下点１０３ごとにノズルの移動が一瞬止まるため、ノズルの加速・減速による時間のロスも大きく、全体の滴下にかかる時間（タクトタイム）を短縮することは困難である。
（イ）本発明の第一態様により、図２と同じ滴下点に対して滴下を行う場合の滴下経路は図３のとおりとなる。ここで、最小滴下距離Ｌ０はＬ１である。
本発明の第一態様では、パネル１０２Ａとパネル１０２Ｂとの間、或いは、パネル１０２Ｂとパネル１０２Ｃの間にある非滴下領域１０５を横切るように、基板１０１の端から端までを直線経路で移動させる。開始点のＰ１からＰ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６へとノズルを移動させながら滴下を行う。引き続き、Ｐ７から反対方向へＰ８、Ｐ９、Ｐ１０、Ｐ１１、Ｐ１２へとノズルを移動させながら滴下を行う。第一態様では、Ｐ１〜Ｐ６間およびＰ７〜Ｐ１２間でノズルの移動速度を一定にすることができ、しかもノズルの移動経路の全長も（ア）と比べ短いため、上記（ア）の方法に比べて全体の滴下にかかる時間（タクトタイム）を短縮することができる。
第一態様が特に有利な効果を奏するのは、列毎に（または行毎に）最小滴下距離Ｌ０が異なる場合である。例えば、第一列（図３のＰ１〜Ｐ６に対応）の最小滴下距離Ｌ０が１０ｍｍであり、第二列（図３のＰ７〜Ｐ１０に対応）の最小滴下距離Ｌ０が３０ｍｍである場合には、第二列におけるノズルの移動速度を第一列におけるノズルの移動速度の理論上３倍とすることができる。この際、列方向に直線経路で移動した場合における最小滴下距離Ｌ０の差と比べ、行方向に直線経路で移動した場合における最小滴下距離Ｌ０の差が大きい場合には、行方向に直線経路での移動を行うことで、ノズルの移動速度を上げるようにしてもよい。
本発明の第一態様では、パネル１０２Ａとパネル１０２Ｂとの間、或いは、パネル１０２Ｂとパネル１０２Ｃの間にある非滴下領域１０５を横切るように、基板１０１の端から端までを直線経路で移動させる。開始点のＰ１からＰ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６へとノズルを移動させながら滴下を行う。引き続き、Ｐ７から反対方向へＰ８、Ｐ９、Ｐ１０、Ｐ１１、Ｐ１２へとノズルを移動させながら滴下を行う。第一態様では、Ｐ１〜Ｐ６間およびＰ７〜Ｐ１２間でノズルの移動速度を一定にすることができ、しかもノズルの移動経路の全長も（ア）と比べ短いため、上記（ア）の方法に比べて全体の滴下にかかる時間（タクトタイム）を短縮することができる。
第一態様が特に有利な効果を奏するのは、列毎に（または行毎に）最小滴下距離Ｌ０が異なる場合である。例えば、第一列（図３のＰ１〜Ｐ６に対応）の最小滴下距離Ｌ０が１０ｍｍであり、第二列（図３のＰ７〜Ｐ１０に対応）の最小滴下距離Ｌ０が３０ｍｍである場合には、第二列におけるノズルの移動速度を第一列におけるノズルの移動速度の理論上３倍とすることができる。この際、列方向に直線経路で移動した場合における最小滴下距離Ｌ０の差と比べ、行方向に直線経路で移動した場合における最小滴下距離Ｌ０の差が大きい場合には、行方向に直線経路での移動を行うことで、ノズルの移動速度を上げるようにしてもよい。
（ウ）本発明の第二態様により、図２と同じ滴下点に対して滴下を行う場合の滴下経路は図４のとおりとなる。ここで、最小滴下距離Ｌ０はＬ３である。
上記（イ）の態様では、最小滴下距離Ｌ０が図１の距離Ｌ１であるため、ノズルの移動速度の高速化に限界があった。そこで、第二態様では、基板の端から端まで直線経路で移動させる一方向への移動の中で、一つのパネル１０２に一滴ずつの滴下を行うことで最小滴下距離Ｌ０を長くすることとした。すなわち、一回目の直線経路での移動でＰ１、Ｐ３、Ｐ５の順で滴下を行い、二回目の直線経路での移動でＰ６、Ｐ４、Ｐ２の順で滴下を行う。つまり、ノズルが基板上の縦方向を一往復することで縦方向に並ぶ滴下点（一列上の滴下点）の滴下が完了する。引き続き、ノズルを隣の列へ移動し、Ｐ１２、Ｐ１０、Ｐ８の順で滴下を行い、折り返してＰ７、Ｐ９、Ｐ１１の順で滴下を行う。
第二態様の効果を具体例で説明する。例えば、図１においてＬ１が１０ｍｍであり、Ｌ２が２０ｍｍであるとする。そうすると、ノズルの移動速度は理論上、３倍（＝Ｌ３／Ｌ１）とすることができる。一方、直線経路での移動回数は２倍となるため、折り返しに要する時間を考慮しなければ、時間短縮の効果は１．５倍になると言うことができる。
一の直線経路上において、各パネルに２つの滴下点がある滴下パターンにおいては、折り返し時間を考慮すると、Ｌ３／Ｌ０比が直線経路での移動回数の１．２倍以上である場合、好ましくは１．５倍以上である場合、更に好ましくは２．０倍以上である場合、に第二態様が有利な効果を奏すると言うことができる。
一の直線経路上において、各パネルに３以上の滴下点がある滴下パターンにおいても同様に考えることができる。一の直線経路上において滴下点数が１０以上あるときは、Ｌ３／Ｌ０比が直線経路での移動回数の１．６倍以上である場合、好ましくは２．４倍以上である場合、更に好ましくは３．２倍以上である場合、に第二態様が有利な効果を奏すると言うことができる。
上記（イ）の態様では、最小滴下距離Ｌ０が図１の距離Ｌ１であるため、ノズルの移動速度の高速化に限界があった。そこで、第二態様では、基板の端から端まで直線経路で移動させる一方向への移動の中で、一つのパネル１０２に一滴ずつの滴下を行うことで最小滴下距離Ｌ０を長くすることとした。すなわち、一回目の直線経路での移動でＰ１、Ｐ３、Ｐ５の順で滴下を行い、二回目の直線経路での移動でＰ６、Ｐ４、Ｐ２の順で滴下を行う。つまり、ノズルが基板上の縦方向を一往復することで縦方向に並ぶ滴下点（一列上の滴下点）の滴下が完了する。引き続き、ノズルを隣の列へ移動し、Ｐ１２、Ｐ１０、Ｐ８の順で滴下を行い、折り返してＰ７、Ｐ９、Ｐ１１の順で滴下を行う。
第二態様の効果を具体例で説明する。例えば、図１においてＬ１が１０ｍｍであり、Ｌ２が２０ｍｍであるとする。そうすると、ノズルの移動速度は理論上、３倍（＝Ｌ３／Ｌ１）とすることができる。一方、直線経路での移動回数は２倍となるため、折り返しに要する時間を考慮しなければ、時間短縮の効果は１．５倍になると言うことができる。
一の直線経路上において、各パネルに２つの滴下点がある滴下パターンにおいては、折り返し時間を考慮すると、Ｌ３／Ｌ０比が直線経路での移動回数の１．２倍以上である場合、好ましくは１．５倍以上である場合、更に好ましくは２．０倍以上である場合、に第二態様が有利な効果を奏すると言うことができる。
一の直線経路上において、各パネルに３以上の滴下点がある滴下パターンにおいても同様に考えることができる。一の直線経路上において滴下点数が１０以上あるときは、Ｌ３／Ｌ０比が直線経路での移動回数の１．６倍以上である場合、好ましくは２．４倍以上である場合、更に好ましくは３．２倍以上である場合、に第二態様が有利な効果を奏すると言うことができる。
以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明は何ら実施例により限定されるものではない。
（滴下装置）
図５は、本実施例に係る方法を実施するための滴下装置５０１の概略斜視図である。
本実施例の滴下装置５０１は、液体材料を滴下する複数の吐出装置６０１と、液体材料が滴下される基板１０１を載置するテーブル５０２と、吐出装置６０１が配設されテーブル５０２上をＸＹＺ方向へ相対移動させるＸＹＺ駆動手段５０３と、を備えている。本実施例では、吐出装置６０１を三つ設けているが、その取り付け数は、基板１０１の大きさやパネル１０２の数などにより変更することができ、例えば、二つ以下であってもよいし、四つ以上であってもよい。
図５は、本実施例に係る方法を実施するための滴下装置５０１の概略斜視図である。
本実施例の滴下装置５０１は、液体材料を滴下する複数の吐出装置６０１と、液体材料が滴下される基板１０１を載置するテーブル５０２と、吐出装置６０１が配設されテーブル５０２上をＸＹＺ方向へ相対移動させるＸＹＺ駆動手段５０３と、を備えている。本実施例では、吐出装置６０１を三つ設けているが、その取り付け数は、基板１０１の大きさやパネル１０２の数などにより変更することができ、例えば、二つ以下であってもよいし、四つ以上であってもよい。
本実施例の吐出装置６０１は、計量管内を密接して進退移動するプランジャーを高速に進出移動させて液材を吐出口より飛滴させるプランジャータイプの吐出装置である。
図６に示すように、吐出装置６０１は、管形状の計量部６０２と、計量部６０２に内接するプランジャー６０３と、吐出口６１１を備えるノズル６０４と、計量部６０２とノズル６０４とを連通・遮断する吐出バルブ６０５と、液体材料を貯留する貯留容器６０６と、貯留容器６０６と計量部６０２とを連通・遮断する液供給バルブ６０７と、ネジ軸６０８を駆動することでプランジャー６０３を駆動するモーター６０９と、を備える。
図６に示すように、吐出装置６０１は、管形状の計量部６０２と、計量部６０２に内接するプランジャー６０３と、吐出口６１１を備えるノズル６０４と、計量部６０２とノズル６０４とを連通・遮断する吐出バルブ６０５と、液体材料を貯留する貯留容器６０６と、貯留容器６０６と計量部６０２とを連通・遮断する液供給バルブ６０７と、ネジ軸６０８を駆動することでプランジャー６０３を駆動するモーター６０９と、を備える。
（吐出工程）
吐出装置６０１による吐出工程では、初めに液体材料の充填を行う。まず、液供給バルブ６０７と計量部６０２とが接続する孔６１０の近傍且つそれを越えない位置（図６では孔６１０より少し上方の位置）へプランジャー６０３を移動する。そして、液供給バルブ６０７を開き、貯留容器６０６と計量部６０２とを連通させ、プランジャー６０３を後退移動させる。すると貯留容器６０６内の液体材料は液供給バルブ６０７を通じて計量部６０２へ流入し、プランジャー６０３が最上端まで後退すると充填が終了する。
吐出装置６０１による吐出工程では、初めに液体材料の充填を行う。まず、液供給バルブ６０７と計量部６０２とが接続する孔６１０の近傍且つそれを越えない位置（図６では孔６１０より少し上方の位置）へプランジャー６０３を移動する。そして、液供給バルブ６０７を開き、貯留容器６０６と計量部６０２とを連通させ、プランジャー６０３を後退移動させる。すると貯留容器６０６内の液体材料は液供給バルブ６０７を通じて計量部６０２へ流入し、プランジャー６０３が最上端まで後退すると充填が終了する。
次に、充填した液体材料の吐出は、吐出バルブ６０５を開け、プランジャー６０３を所望とする吐出量に応じて進出移動させることで行う。プランジャー６０３の進出動作による吐出は、急速に加速した後に、モーター６０９を急激に停止させることにより、プランジャー６０３を急速に停止させることで行う。計量部６０２内の液体材料は、プランジャー６０３の急速移動および急速停止により与えられた慣性力によってノズル６０４先端より吐出される。プランジャー６０３が最下端まで移動した後には、吐出バルブ６０５を閉じ、液供給バルブ６０７を開け、プランジャー６０３を後退移動させて液体材料を充填する。
このように、貯留容器６０６から計量部６０２へ液体材料を充填し、計量部６０２内の液体材料をノズル６０４より吐出することを繰り返して滴下作業を行う。
計量部６０２内へは複数回にわたって吐出できる量の液体材料を充填することができるので、計量部６０２内に充填する液体材料の量を、例えば一つのパネル分としたり、或いは、一つの基板分とするなど用途に応じて決定する。
このように、貯留容器６０６から計量部６０２へ液体材料を充填し、計量部６０２内の液体材料をノズル６０４より吐出することを繰り返して滴下作業を行う。
計量部６０２内へは複数回にわたって吐出できる量の液体材料を充填することができるので、計量部６０２内に充填する液体材料の量を、例えば一つのパネル分としたり、或いは、一つの基板分とするなど用途に応じて決定する。
（滴下パターンの例）
図７および８に具体的数値を記した滴下パターンの一例を示す。図７は基板１０１の全体を示した図で、図８はその一部を拡大した図である。
図７に示す滴下パターンは、横７５０ｍｍ、縦６２０ｍｍの大きさの基板１０１に、１．５インチサイズのパネル１０２を縦２０行、横１７列配置している。一つのパネル１０２には縦横それぞれに１０ｍｍずつの間隔をあけて５点の滴下点１０３が設定されている。パネル１０２が配列される間隔は、縦方向へ約３１ｍｍ、横方向へ約４４ｍｍとなっている。
図７および８に具体的数値を記した滴下パターンの一例を示す。図７は基板１０１の全体を示した図で、図８はその一部を拡大した図である。
図７に示す滴下パターンは、横７５０ｍｍ、縦６２０ｍｍの大きさの基板１０１に、１．５インチサイズのパネル１０２を縦２０行、横１７列配置している。一つのパネル１０２には縦横それぞれに１０ｍｍずつの間隔をあけて５点の滴下点１０３が設定されている。パネル１０２が配列される間隔は、縦方向へ約３１ｍｍ、横方向へ約４４ｍｍとなっている。
《ノズルの移動速度》
一つの吐出装置６０１で一列のパネル１０２へ滴下動作する場合を考えると、図２〜図４で説明したそれぞれの方法（上記（ア）〜（ウ）の方法）において、滴下動作中のノズルの移動速度は次に示すとおりとなる。なお、吐出サイクルｆ０は、１回の吐出あたり０．２秒とする。
図２に例示される上記（ア）の方法では、最小滴下距離Ｌ０は１０ｍｍとなるので、最大速度は５０ｍｍ／ｓｅｃ（＝Ｌ０／ｆ０）となる。
図３に例示される上記（イ）の方法では、ｎ１列目およびｎ３列目は最小滴下距離Ｌ０が１０ｍｍとなるのでノズルの最大移動速度は５０ｍｍ／ｓｅｃとなり、ｎ２列目は最小滴下距離Ｌ０が３１ｍｍとなるのでノズルの滴下時移動速度は１５５ｍｍ／ｓｅｃとなる。
図４に例示される上記（ウ）の方法では、ｎ１〜ｎ３のすべての列で滴下点間隔が３１ｍｍとなるのでノズルの滴下時移動速度は１５５ｍｍ／ｓｅｃとなる。
なお、基板１０１上でのノズル６０４の移動速度を一定とするため、ノズル６０４は始点の少し手前から移動し、折り返し地点ではノズル６０４は基板１０１上からはみ出して折り返し行っている。
一つの吐出装置６０１で一列のパネル１０２へ滴下動作する場合を考えると、図２〜図４で説明したそれぞれの方法（上記（ア）〜（ウ）の方法）において、滴下動作中のノズルの移動速度は次に示すとおりとなる。なお、吐出サイクルｆ０は、１回の吐出あたり０．２秒とする。
図２に例示される上記（ア）の方法では、最小滴下距離Ｌ０は１０ｍｍとなるので、最大速度は５０ｍｍ／ｓｅｃ（＝Ｌ０／ｆ０）となる。
図３に例示される上記（イ）の方法では、ｎ１列目およびｎ３列目は最小滴下距離Ｌ０が１０ｍｍとなるのでノズルの最大移動速度は５０ｍｍ／ｓｅｃとなり、ｎ２列目は最小滴下距離Ｌ０が３１ｍｍとなるのでノズルの滴下時移動速度は１５５ｍｍ／ｓｅｃとなる。
図４に例示される上記（ウ）の方法では、ｎ１〜ｎ３のすべての列で滴下点間隔が３１ｍｍとなるのでノズルの滴下時移動速度は１５５ｍｍ／ｓｅｃとなる。
なお、基板１０１上でのノズル６０４の移動速度を一定とするため、ノズル６０４は始点の少し手前から移動し、折り返し地点ではノズル６０４は基板１０１上からはみ出して折り返し行っている。
《タクトタイム》
上記（ア）〜（ウ）の方法により２０パネルを塗布した場合において、上記速度から計算した滴下動作開始から終了までにかかる時間（タクトタイム）は次に示すとおりとなる。
上記（ア）の方法では、２０パネルのタクトタイムは３０．１秒である。
この方法においては、ａ１１→ａ１２→ａ２１→ａ３１→ａ３２→ａ１３の順に滴下が行われる。ａ１１〜ｃ１１間の各点の移動がそれぞれ約０．２秒とすると、１つのパネルでの塗布時間は約０．８秒となる。パネル間の移動にかかる時間は、例えば、ｃ１１とａ１３との距離が約３７ｍｍであることから約０．７４秒となる。よって、２０パネルのタクトタイムは、（０．２秒×２０）＋（０．７４秒×１９）＝３０．１秒となる。
上記（イ）の方法では、２０パネルのタクトタイムは２７．８秒となる。
この方法においては、ａ１１→ａ１２→ａ１３→ａ１４→・・・→ａ２２→ａ２１→ａ３１→ａ３２の順に滴下が行われる。ａ１列とａ３列の塗布に係るタクトタイムは、（１０［ｍｍ］×２０）＋２１［ｍｍ］×１０）／５０［ｍｍ／ｓｅｃ］×２列≒２４秒である。ａ２列の塗布にかかるタクトタイムは、（３１［ｍｍ］×１９）／１５５［ｍｍ／ｓｅｃ］≒３．８秒である。よって、２０パネルのタクトタイムは、２７．８＋３．８秒＝２７．８秒となる。なお、折り返し部分の移動に約０．６秒かかるとすると、２０パネルのタクトタイムは２７．８秒＋０．６秒×２＝２９秒となる。
上記（ウ）の方法では、２０パネルのタクトタイムは、１９．０秒となる。
この方法においては、ａ１１→ａ１３→ａ１５→・・・→ａ１４０→ａ→ｃ１３８→・・・→ａ１２→ａ２１→ａ２２→・・・→ａ２２０→ａ３３９→ａ３３７→・・・→ａ３３８→ａ３４０の順に滴下が行われる。一の直線経路での移動にかかるタクトタイムは、（３１［ｍｍ］×１９）／１５５［ｍｍ／ｓｅｃ］≒３．８秒である。ａ１列とａ３列は二の直線経路での移動、ａ２列は一の直線経路での移動であるので、直線経路での移動回数は五回となる。よって、合計のタクトタイムは３．８秒×５＝１９．０秒となる。なお、ａ１列、ａ３列での折り返し部分の移動に約０．４秒、ａ２列での折り返しに約０．６秒かかるとすると、２０パネルのタクトタイムは１９．０秒＋２．０秒＝２１．０秒となる。
以上の結果から、本実施例の滴下方法上記（イ）および（ウ）によれば、滴下方法（ア）と比べ、タクトタイムを短縮できることが確認できた。
なお、ノズル６０４による直線経路での移動を横方向に行ってもタクトタイムを短縮できることは言うまでもない。
上記（ア）〜（ウ）の方法により２０パネルを塗布した場合において、上記速度から計算した滴下動作開始から終了までにかかる時間（タクトタイム）は次に示すとおりとなる。
上記（ア）の方法では、２０パネルのタクトタイムは３０．１秒である。
この方法においては、ａ１１→ａ１２→ａ２１→ａ３１→ａ３２→ａ１３の順に滴下が行われる。ａ１１〜ｃ１１間の各点の移動がそれぞれ約０．２秒とすると、１つのパネルでの塗布時間は約０．８秒となる。パネル間の移動にかかる時間は、例えば、ｃ１１とａ１３との距離が約３７ｍｍであることから約０．７４秒となる。よって、２０パネルのタクトタイムは、（０．２秒×２０）＋（０．７４秒×１９）＝３０．１秒となる。
上記（イ）の方法では、２０パネルのタクトタイムは２７．８秒となる。
この方法においては、ａ１１→ａ１２→ａ１３→ａ１４→・・・→ａ２２→ａ２１→ａ３１→ａ３２の順に滴下が行われる。ａ１列とａ３列の塗布に係るタクトタイムは、（１０［ｍｍ］×２０）＋２１［ｍｍ］×１０）／５０［ｍｍ／ｓｅｃ］×２列≒２４秒である。ａ２列の塗布にかかるタクトタイムは、（３１［ｍｍ］×１９）／１５５［ｍｍ／ｓｅｃ］≒３．８秒である。よって、２０パネルのタクトタイムは、２７．８＋３．８秒＝２７．８秒となる。なお、折り返し部分の移動に約０．６秒かかるとすると、２０パネルのタクトタイムは２７．８秒＋０．６秒×２＝２９秒となる。
上記（ウ）の方法では、２０パネルのタクトタイムは、１９．０秒となる。
この方法においては、ａ１１→ａ１３→ａ１５→・・・→ａ１４０→ａ→ｃ１３８→・・・→ａ１２→ａ２１→ａ２２→・・・→ａ２２０→ａ３３９→ａ３３７→・・・→ａ３３８→ａ３４０の順に滴下が行われる。一の直線経路での移動にかかるタクトタイムは、（３１［ｍｍ］×１９）／１５５［ｍｍ／ｓｅｃ］≒３．８秒である。ａ１列とａ３列は二の直線経路での移動、ａ２列は一の直線経路での移動であるので、直線経路での移動回数は五回となる。よって、合計のタクトタイムは３．８秒×５＝１９．０秒となる。なお、ａ１列、ａ３列での折り返し部分の移動に約０．４秒、ａ２列での折り返しに約０．６秒かかるとすると、２０パネルのタクトタイムは１９．０秒＋２．０秒＝２１．０秒となる。
以上の結果から、本実施例の滴下方法上記（イ）および（ウ）によれば、滴下方法（ア）と比べ、タクトタイムを短縮できることが確認できた。
なお、ノズル６０４による直線経路での移動を横方向に行ってもタクトタイムを短縮できることは言うまでもない。
以上で説明した滴下方法は一つの例であって、これに限定されるものではない。例えば、所望とする液体材料の量によっては滴下点数が変わる場合もある。また、滴下点数やパネル内への液体材料の広がり具合などから滴下点の配置が変わる場合もある。当然のことながら、基板やパネルのサイズが変われば上述した数値も変わることになる。
本発明は、液体材料が吐出装置から離間した後にワークに接触するタイプの吐出方式に好適であり、例えば、弁座に弁体を衝突させて液体材料をノズル先端より飛翔吐出させるジェット式、連続噴射方式或いはデマンド方式のインクジェットタイプなどで実施可能である。
１０１ 基板
１０２ パネル
１０３ 滴下点
１０４ 滴下領域
１０５ 非滴下領域
５０１ 滴下装置
５０２ テーブル
５０３ ＸＹＺ駆動手段
６０１ 吐出装置
６０２ 計量部
６０３ プランジャー
６０４ ノズル
６０５ 吐出バルブ
６０６ 貯留容器
６０７ 液供給バルブ
６０８ ネジ軸
６０９ モーター
６１０ 孔
６１１ 吐出口
１０２ パネル
１０３ 滴下点
１０４ 滴下領域
１０５ 非滴下領域
５０１ 滴下装置
５０２ テーブル
５０３ ＸＹＺ駆動手段
６０１ 吐出装置
６０２ 計量部
６０３ プランジャー
６０４ ノズル
６０５ 吐出バルブ
６０６ 貯留容器
６０７ 液供給バルブ
６０８ ネジ軸
６０９ モーター
６１０ 孔
６１１ 吐出口
Claims (12)
- 滴下点を有するワークを基板上に複数配列し、複数のワーク上を吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料を滴下する方法であって、
直線経路毎に滴下点間の最短距離（Ｌ０）が異なる場合に、一の直線経路における滴下点間の最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づき直線経路毎にノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下方法。 - ワークが複数の滴下点を有する場合に、ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする請求項１記載の液体材料の滴下方法。
- 複数の滴下点を有するワークを基板上に複数配列し、複数のワーク上を吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料を滴下する方法であって、
ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下方法。 - ノズルが一行または一列の滴下点上を直線経路で移動するに際し、
一のワークにおける一行または一列の滴下点の数と同じ回数だけ、ノズルが一行または一列を直線経路で移動するよう滴下順序を設定することを特徴とする請求項２または３記載の液体材料の滴下方法。 - 基板上を縦方向に直線経路で移動するのに要する時間と、基板上を横方向に直線経路で移動するのに要する時間とを算出し、それに基づき直線経路での移動方向を決定することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかの一項に記載の液体材料の滴下方法。
- 請求項１ないし５のいずれかの液体材料の滴下方法を液体材料の滴下装置に実施させるためのプログラム。
- 液体材料を吐出するノズルを備えた吐出装置と、基板を載置するテーブルと、吐出装置とテーブルを相対移動させる駆動手段と、これらの動作を制御する制御手段と、を備える液体材料の滴下装置であって、
前記制御部は、基板上に複数配列された滴下点を有するワーク上を、吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料を滴下するに際し、
直線経路毎に滴下点間の最短距離（Ｌ０）が異なる場合に、一の直線経路における滴下点間の最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づき直線経路毎にノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下装置。 - 前記制御部は、ワークが複数の滴下点を有する場合に、ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする請求項７記載の液体材料の滴下装置。
- 液体材料を吐出するノズルを備えた吐出装置と、基板を載置するテーブルと、吐出装置とテーブルを相対移動させる駆動手段と、これらの動作を制御する制御手段と、を備える液体材料の滴下装置であって、
前記制御部は、基板上に複数配列された複数の滴下点を有するワーク上を、吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料を滴下するに際し、
ノズルの一の直線経路での移動において、一のワークに対して一の吐出をするよう滴下順序を設定し、その滴下順序における最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づきノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下装置。 - 前記制御部は、ノズルが一行または一列の滴下点上を直線経路で移動するに際し、一のワークにおける一行または一列の滴下点の数と同じ回数だけ、ノズルが一行または一列を直線経路で移動するよう滴下順序を設定することを特徴とする請求項８または９記載の液体材料の滴下装置。
- 前記制御部は、基板上を縦方向に直線経路で移動するのに要する時間と、基板上を横方向に直線経路で移動するのに要する時間とを算出し、それに基づき直線経路での移動方向を決定することを特徴とする請求項７ないし１０のいずれかの一項に記載の液体材料の滴下装置。
- 前記吐出装置は、吐出口を備えるノズルと連通する計量部内面に密接摺動するプランジャーを所望量移動して液体材料を吐出することを特徴とする請求項７ないし１１のいずれか一項に記載の液体材料の滴下装置。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007281865A JP5244366B2 (ja) | 2007-10-30 | 2007-10-30 | 液体材料の滴下方法およびプログラム並びに装置 |
| PCT/JP2008/003041 WO2009057268A1 (ja) | 2007-10-30 | 2008-10-27 | 液体材料の滴下方法およびプログラム並びに装置 |
| CN2008801190468A CN101883640A (zh) | 2007-10-30 | 2008-10-27 | 液体材料的滴下方法、程序以及装置 |
| CN201510300279.XA CN105005165B (zh) | 2007-10-30 | 2008-10-27 | 液体材料的滴下方法以及装置 |
| CN201410669271.6A CN104401137B (zh) | 2007-10-30 | 2008-10-27 | 液体材料的滴下方法以及装置 |
| KR1020107011475A KR101579200B1 (ko) | 2007-10-30 | 2008-10-27 | 액체 재료의 적하 방법 및 프로그램이 기억된 기억 매체 및 장치 |
| TW97141556A TWI473664B (zh) | 2007-10-30 | 2008-10-29 | Liquid material drop method and memory program memory media and device |
| HK15103937.3A HK1203456A1 (zh) | 2007-10-30 | 2011-01-20 | 液體材料的滴下方法以及裝置 |
| HK16101842.0A HK1213999A1 (zh) | 2007-10-30 | 2011-01-20 | 液體材料的滴下方法以及裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007281865A JP5244366B2 (ja) | 2007-10-30 | 2007-10-30 | 液体材料の滴下方法およびプログラム並びに装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009106857A true JP2009106857A (ja) | 2009-05-21 |
| JP2009106857A5 JP2009106857A5 (ja) | 2010-12-16 |
| JP5244366B2 JP5244366B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=40590675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007281865A Active JP5244366B2 (ja) | 2007-10-30 | 2007-10-30 | 液体材料の滴下方法およびプログラム並びに装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5244366B2 (ja) |
| KR (1) | KR101579200B1 (ja) |
| CN (3) | CN101883640A (ja) |
| HK (2) | HK1213999A1 (ja) |
| TW (1) | TWI473664B (ja) |
| WO (1) | WO2009057268A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101992171A (zh) * | 2009-08-19 | 2011-03-30 | 塔工程有限公司 | 液晶涂布机朝基板上限定的各面板区滴落液晶液滴的方法 |
| WO2011037139A1 (ja) * | 2009-09-25 | 2011-03-31 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 気泡混入防止機構および該機構を備える液体材料吐出装置並びに液体材料吐出方法 |
| CN102078848A (zh) * | 2009-12-01 | 2011-06-01 | 塔工程有限公司 | 用于控制涂胶机的方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6389379B2 (ja) * | 2014-06-06 | 2018-09-12 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液体材料滴下装置および方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004089783A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Shibaura Mechatronics Corp | 液状物質滴下装置及び方法 |
| JP2007017500A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Sharp Corp | 液晶滴下方法 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006314998A (ja) * | 1998-06-19 | 2006-11-24 | Toshiba Corp | 成膜方法 |
| JP2001133799A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Fujitsu Ltd | 液晶表示装置の製造方法 |
| JP2002110512A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-12 | Toshiba Corp | 成膜方法及び成膜装置 |
| CN100462818C (zh) * | 2002-03-08 | 2009-02-18 | 乐金显示有限公司 | 液晶显示器的制造方法 |
| JP4216034B2 (ja) * | 2002-10-07 | 2009-01-28 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 液状物質滴下装置および方法 |
| JP2004170386A (ja) * | 2002-10-28 | 2004-06-17 | Seiko Epson Corp | 検査装置及び検査方法、液滴吐出装置及び液滴吐出方法、デバイス及び電子機器 |
| JPWO2004074919A1 (ja) * | 2003-02-21 | 2006-06-01 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｎ．Ｖ． | セル製造方法及び斯かる方法により製造されるセル |
| JP4183577B2 (ja) * | 2003-07-25 | 2008-11-19 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液滴調整方法及び液滴吐出方法並びにその装置 |
| JP4221336B2 (ja) * | 2004-06-14 | 2009-02-12 | Ｎｅｃ液晶テクノロジー株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
| JP2006064545A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Mitsubishi Chemicals Corp | 流体吐出機構及び流体吐出方法並びに流体分注装置 |
| JP4935153B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2012-05-23 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出方法 |
| JP2007011164A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Nec Kagoshima Ltd | 液晶滴下貼り合せ法による液晶表示パネルの製造方法及び液晶滴下貼り合せ装置 |
| CN1962083B (zh) * | 2005-11-11 | 2010-06-23 | 精工爱普生株式会社 | 喷出方法 |
| MY151624A (en) * | 2005-11-30 | 2014-06-30 | Musashi Engineering Inc | Method for adjusting nozzle clearance of liquid application apparatus, and liquid application apparatus |
| CN100573278C (zh) * | 2005-12-28 | 2009-12-23 | 上海广电Nec液晶显示器有限公司 | 液晶滴注方法 |
| KR101222958B1 (ko) * | 2005-12-30 | 2013-01-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치용 액정 적하장치 |
| JP4589267B2 (ja) * | 2006-06-02 | 2010-12-01 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 液状物質滴下装置 |
| JP2009031390A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Seiko Epson Corp | 液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌ素子の製造方法 |
-
2007
- 2007-10-30 JP JP2007281865A patent/JP5244366B2/ja active Active
-
2008
- 2008-10-27 CN CN2008801190468A patent/CN101883640A/zh active Pending
- 2008-10-27 WO PCT/JP2008/003041 patent/WO2009057268A1/ja active Application Filing
- 2008-10-27 CN CN201510300279.XA patent/CN105005165B/zh active Active
- 2008-10-27 CN CN201410669271.6A patent/CN104401137B/zh active Active
- 2008-10-27 KR KR1020107011475A patent/KR101579200B1/ko active IP Right Grant
- 2008-10-29 TW TW97141556A patent/TWI473664B/zh active
-
2011
- 2011-01-20 HK HK16101842.0A patent/HK1213999A1/zh unknown
- 2011-01-20 HK HK15103937.3A patent/HK1203456A1/zh unknown
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004089783A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Shibaura Mechatronics Corp | 液状物質滴下装置及び方法 |
| JP2007017500A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Sharp Corp | 液晶滴下方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101992171A (zh) * | 2009-08-19 | 2011-03-30 | 塔工程有限公司 | 液晶涂布机朝基板上限定的各面板区滴落液晶液滴的方法 |
| WO2011037139A1 (ja) * | 2009-09-25 | 2011-03-31 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 気泡混入防止機構および該機構を備える液体材料吐出装置並びに液体材料吐出方法 |
| JP2011067756A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Musashi Eng Co Ltd | 気泡混入防止機構および該機構を備える液体材料吐出装置並びに液体材料吐出方法 |
| US8757449B2 (en) | 2009-09-25 | 2014-06-24 | Musashi Engineering, Inc. | Air bubble ingress prevention mechanism, liquid material discharge device provided with the same, and liquid material discharge method |
| CN102078848A (zh) * | 2009-12-01 | 2011-06-01 | 塔工程有限公司 | 用于控制涂胶机的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20100087729A (ko) | 2010-08-05 |
| CN104401137A (zh) | 2015-03-11 |
| HK1203456A1 (zh) | 2015-10-30 |
| TW200927303A (en) | 2009-07-01 |
| CN104401137B (zh) | 2016-04-20 |
| TWI473664B (zh) | 2015-02-21 |
| CN105005165A (zh) | 2015-10-28 |
| HK1213999A1 (zh) | 2016-07-15 |
| KR101579200B1 (ko) | 2016-01-04 |
| WO2009057268A1 (ja) | 2009-05-07 |
| JP5244366B2 (ja) | 2013-07-24 |
| CN105005165B (zh) | 2021-07-09 |
| CN101883640A (zh) | 2010-11-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10646889B2 (en) | Methods for continuously moving a fluid dispenser while dispensing amounts of a fluid material | |
| CN101678391B (zh) | 液体材料吐出方法以及装置 | |
| JP5244366B2 (ja) | 液体材料の滴下方法およびプログラム並びに装置 | |
| WO2015137271A1 (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
| TWI457181B (zh) | A discharge device for a liquid material, a coating apparatus and a coating method therefor | |
| JP4863999B2 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
| KR20110063552A (ko) | 도포 장치 및 도포 방법 | |
| JP5832779B2 (ja) | 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 | |
| JP2009039658A (ja) | 液状体の吐出制御方法、液滴吐出装置 | |
| KR101485986B1 (ko) | 플로우 코팅 장치 | |
| CN102039247A (zh) | 涂胶机及其控制方法 | |
| JP2010225436A (ja) | 塗布装置 | |
| TWI717320B (zh) | 塗佈裝置及使用該裝置之滴下方法 | |
| KR101565250B1 (ko) | 패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법 | |
| JP2006320808A (ja) | 液滴吐出装置、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置 | |
| JP2007033589A (ja) | 表示装置の製造方法および塗布装置 | |
| KR101345927B1 (ko) | 액상물질 디스펜스 장치 및 방법 | |
| WO2014069277A1 (ja) | ストライプ塗布方法およびストライプ塗布装置 | |
| KR100477372B1 (ko) | 액정 주입장치 | |
| KR20070074205A (ko) | 헤드 높이 실시간 제어식 디스펜싱 시스템 | |
| JP2013206863A (ja) | 塗布膜形成方法 | |
| JP2011104476A (ja) | 液滴吐出装置 | |
| JP2010019955A (ja) | パターン膜形成部材、パターン膜形成部材の製造方法、電気光学装置、電子機器 | |
| JP2010058035A (ja) | パターン膜形成部材の製造方法、パターン膜形成部材、電気光学装置、電子機器、液滴吐出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101028 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101028 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121026 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20121130 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121130 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130402 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130408 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160412 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5244366 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |