JP4589267B2

JP4589267B2 - 液状物質滴下装置

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Publication number: JP4589267B2
Application number: JP2006155392A
Authority: JP
Inventors: 眞一荻本
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2006-06-02
Filing date: 2006-06-02
Publication date: 2010-12-01
Anticipated expiration: 2022-08-29
Also published as: JP2006305570A

Description

本発明は液晶等の液状物質滴下装置に関する。

例えば、液晶を間に介在させた状態で２枚のガラス基板を貼り合わせる基板貼合わせ工程においては、貼り合わせの前段階で、一方のガラス基板の上に液晶滴下装置を用いて必要量の液晶を滴下することが行なわれる。

そして、従来の液晶滴下装置は、液状物質である液晶を蓄える容器と、この容器に連通され、ニードル弁により流路を開閉制御されるノズルと、容器内を加圧する加圧装置とを有してなり、ニードル弁を開くことで容器内の液晶をノズル先端より吐出させ基板に滴下するものである（例えば、特許文献１参照）。
特開平８−１０６１０１号公報

従来の液晶滴下装置では、１滴の液晶の滴下動作に要する時間が長く、生産性の向上のためには、液晶滴下装置の使用台数を増設する必要があり、生産コストの増大を招いている。

本発明の課題は、液状物質の滴下動作の高速化を図り、生産性を向上させることにある。

請求項１記載の発明は、
液状物質を基板上に滴下する液状物質滴下装置において、
前記液状物質を蓄える容器と、
固定部、回転駆動される回転軸に設けられ前記固定部とは液密に摺接する回転部、プランジャ、このプランジャの往復動手段とを有する液状物質供給手段であって、前記固定部には前記回転軸の軸芯を中心とする同一半径上に取出しポートと吐出ポートを有し前記取出しポートと前記容器とは接続され、前記回転部は、前記回転軸の回転に伴う回転により前記取出しポートと吐出ポートに順次対向する備蓄室を有し、前記プランジャは前記備蓄室内を往復動可能とされ、前記往復動手段は前記プランジャを、前記回転部の回転に伴い前記備蓄室が前記取出しポートを通過するとき下限から上限まで移動させて滴下量に応じた量の前記液状物質を当該備蓄室に取り出し蓄え、前記備蓄室が前記吐出ポートを通過するとき上限から下限まで移動させて当該備蓄室に蓄えた前記液状物質を前記吐出ポートを介して吐出してなる液状物質供給手段と、
この液状物質供給手段と前記基板とを相対的に移動させる移動手段とを備え、
前記液状物質供給手段の前記往復動手段は、前記回転部の回転に伴って前記備蓄室の回転方向後方側の端部が前記取出しポートを通過する時に前記プランジャの移動を停止させることを特徴とする。

請求項２記載の発明は、
液状物質を基板上に滴下する液状物質滴下装置において、
前記液状物質を蓄える容器と、
固定部、回転駆動される回転軸に設けられ前記固定部とは液密に摺接する回転部、プランジャ、このプランジャの往復動手段とを有する液状物質供給手段であって、前記固定部には前記回転軸の軸芯を中心とする同一半径上に取出しポートと吐出ポートを有し前記取出しポートと前記容器とは接続され、前記回転部は、前記回転軸の回転に伴う回転により前記取出しポートと吐出ポートに順次対向する備蓄室を有し、前記プランジャは前記備蓄室内を往復動可能とされ、前記往復動手段は前記プランジャを、前記回転部の回転に伴い前記備蓄室が前記取出しポートを通過するとき下限から上限まで移動させて滴下量に応じた量の前記液状物質を当該備蓄室に取り出し蓄え、前記備蓄室が前記吐出ポートを通過するとき上限から下限まで移動させて当該備蓄室に蓄えた前記液状物質を前記吐出ポートを介して吐出してなる液状物質供給手段と、
この液状物質供給手段と前記基板とを相対的に移動させる移動手段とを備え、
前記液状物質供給手段の前記往復動手段は、前記回転部の回転に伴って前記備蓄室の進行方向後方側の端部が前記吐出ポートを通過する時に前記プランジャを下降限に移動せしめ、前記備蓄室内の液状物質が前記吐出ポートを通って吐出されるように構成したことを特徴とする。

請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において更に、前記回転部には前記備蓄室を複数有し、各備蓄室に対応して前記プランジャが設けられてなることを特徴とする。

請求項４記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の発明において更に、前記液状物質供給手段と前記基板との相対的な位置を検出する手段と、検出した相対的な位置と前記基板に対する前記液状物質の滴下位置情報とに基づいて前記回転軸の回転駆動を制御することで、前記液状物質供給手段による前記液状物質の吐出タイミングを制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。

請求項５記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の発明において更に、前記基板に対して滴下する前記液状物質の滴下位置間隔に基づいて決定された、前記液状物質供給手段と前記基板との相対的な移動速度と、前記液状物質の吐出時間間隔で、前記移動手段および前記回転軸を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。

請求項６記載の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の発明において更に、前記往復動手段を制御することにより前記液状物質の吐出量を制御する制御手段を備えたことを特徴とする。

請求項１、２記載の発明によれば下記ａ、ｂの作用がある。

ａ．１回あたりの滴下量に応じた量の液状物質を予め取出して蓄えておき、吐出の際にはこの蓄えた液状物質を吐出させるようにしたので、液状物質を迅速に滴下することができ、液状物質の滴下動作の高速化が図れ、生産性を向上させることができる。

ｂ．上述のａにより、液状物質供給手段と基板とを相対的に移動させている期間中であっても、基板上に安定して液状物質を滴下することができることから、生産性をより向上させることができる。

請求項３記載の発明によれば下記ｃ、ｄの作用がある。

ｃ．液状物質の取出しと吐出とを並行して行なうことにより、液状物質を迅速に滴下することができ、液状物質の滴下動作の高速化が図れ、生産性を向上させることができる。

ｄ．上述のｃにより、液状物質供給手段と基板とを相対的に移動させている期間中であっても、基板上に安定して液状物質を滴下することができることから、生産性をより向上させることができる。

請求項４記載の発明によれば下記ｅの作用がある。

ｅ．液状物質供給手段と基板との相対位置関係と基板に対する液状物質の滴下位置情報とに基づいて液状物質の吐出タイミングを制御するので、基板上の滴下点数を変更したときにも容易にそれに対応でき、基板の貼合わせ工程で均一な液状物質の広がりを得るための最適な滴下パターンを容易に得ることができる。

請求項５記載の発明によれば下記ｆの作用がある。

ｆ．基板に対して滴下する液状物質の滴下位置間隔に基づいて決定された、液状物質供給手段と基板との相対的な移動速度と、液状物質の吐出時間間隔で、移動手段および液状物質供給手段を操作させるので、基板上の滴下位置間隔を変更したときにも、それらの滴下位置間隔で容易に液状物質を滴下することができ、基板の貼合わせ工程で均一な液状物質の広がりを得るための最適な滴下パターンを容易に得ることができる。

請求項６記載の発明によれば下記ｇの作用がある。

ｇ．液状物質の吐出量を制御することにより、１回あたりの滴下量を適宜値に変更できるから、基板上の滴下点数を多くすることと相まって、基板の貼合わせ工程で均一な液状物質の広がりを得るためのより最適な滴下パターンを容易に得ることができる。

本発明によれば、液状物質の滴下動作の高速化が図れ、生産性を向上させることができる。

図１は液状物質滴下装置と基板貼合わせ装置を示す模式図、図２は基板上の滴下パターンを示す模式図、図３は液状物質供給装置を示す模式図、図４は液状物質供給装置の変形例を示す模式図である。

図１において、１は下基板、２は上基板、１０は下基板１への液状物質滴下装置、１００は下基板１と上基板２の基板貼合わせ装置を示す。

液状物質滴下装置１０は、下基板１を搭載する基板搬送ステージ１１と、下基板１上に定めた滴下位置に一定量の液晶等の液状物質（Ｌ）を滴下して供給する液状物質供給装置２０とを有する。

基板搬送ステージ１１は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部、θ軸駆動部を備えた移動装置１２を有し、下基板１をＸ方向とＹ方向のそれぞれに移動するとともに、θ方向に回転することができる。移動装置１２の各駆動部はサーボモータにより構成できる。

液晶物質供給装置２０は、容器４０と移動装置５０を付帯的に備える。容器４０は、液状物質を蓄える。

移動装置５０は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部、Ｚ軸駆動部を備え、液状物質供給装置２０をＸ方向とＹ方向とＺ方向のそれぞれに移動する。移動装置５０の各駆動部はサーボモータにより構成できる。移動装置１２及び／又は移動装置５０は、基板搬送ステージ１１上の下基板１に対し、液状物質供給装置２０を相対的に移動させる。

液状物質供給装置２０は、容器４０から滴下量に応じた量の液状物質を取出す手段を構成する取出しポート２１と、取出した液状物質を一時的に蓄える手段を構成する備蓄室２２と、取出して蓄えられた液状物質を吐出する手段を構成する吐出ポート２３とを有する。

具体的には、液状物質供給装置２０は、図３に示す如く、固定部２４と、サーボモータ２５により駆動される回転軸２６に設けられた回転部２７とを有し、固定部２４には、回転軸２６の軸芯を中心とする同一半径上でかつ回転軸２６を挟んだ対向位置に１つずつ取出しポート２１と吐出ポート２３を備え、回転部２７には、２個の備蓄室２２を、１つの備蓄室２２が取出しポート２１に対向するとき、他方の備蓄室２２が吐出ポート２３と対向する位置に備える。回転部２７は固定部２４に液密に摺接し、回転部２７の回転により２個の備蓄室２２は取出しポート２１と吐出ポート２３を順に通過する。

液状物質供給装置２０は、回転部２７に相対するカム２８を回転軸２６の周囲に固定配置し、回転部２７とカム２８の間で回転軸２６に固定した回転板２９に設けた複数のガイド孔に備蓄室２２と同数のプランジャ３０を上下動自在に保持し、プランジャ３０の下端部を備蓄室２２に嵌合して該備蓄室２２の内部で往復動可能にし、プランジャ３０の上端部（カムフォロワ３０Ａ）をばね３１によりカム２８のカム面に衝合させている。ばね３１は、プランジャ３０の中間部に設けたフランジ３０Ｂと回転板２９の間に介装される。

ここで、図３（Ｂ）を用いて、カム２８の形状について詳細に説明する。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）における矢視Ａでのカム展開図である。

図において、カム２８は、回転部２７の備蓄室２２が固定部２４の取出しポート２１上を通過するとき、プランジャ３０が、備蓄室２２における進行方向（矢印Ｒ方向）先頭側の端部が取出しポート２１の左側端部上を通過するタイミングで上昇を開始し、備蓄室２２における進行方向後方側の端部が取出しポート２１の右側端部上を通過するタイミングで上限に達して停止するようにカム面の形状が設定される。また、プランジャ３０の上限位置は、プランジャ３０が上限に位置した状態での備蓄室２２内が、１回の滴下に必要とされる滴下量と同量の液状物質を収容可能な容積となるように、カム２８により規定される。

一方、吐出ポート２３側については、取出しポート２１側と反対で、プランジャ３０が、備蓄室２２における進行方向先頭側の端部が吐出ポート２３における回転部２７の回転方向手前側端部上を通過するタイミングで下降を開始し、備蓄室２２における進行方向後方側の端部が吐出ポート２３における回転部２７の回転方向前側端部上を通過するタイミングで下降限に達して停止するようにカム２８のカム面の形状が設定される。そしてプランジャ３０が下降限に達した段階において、備蓄室２２内の液状物質すべてが吐出ポート２３を通って吐出されて下基板１上に滴下される。

なお、図３（Ａ）においては、便宜上、あたかも備蓄室２２が取出しポート２１の真上に位置したときにこの備蓄室２２内のプランジャ３０が下限位置に位置し、備蓄室２２が吐出ポート２３の真上に位置したときにこの備蓄室２２内のプランジャ３０が上限位置に位置するかの如く示したが、図３（Ｂ）に示すように、備蓄室２２が取出しポート２１、或いは吐出ポート２３の真上（備蓄室２２が取出しポート２１、或いは吐出ポート２３に完全に重なる位置）にあるときは備蓄室２２内のプランジャ３０は上限位置と下限位置の間に位置することとなる。

液状物質供給装置２０は、サーボモータ２５による回転部２７の回転によって以下の如くにポンプ作用を営む。

（ａ）取出し作用
回転部２７の備蓄室２２が固定部２４の取出しポート２１を通過するとき、プランジャ３０が備蓄室２２の内部を下限から上限まで移動し（図３（Ｂ））、容器４０の液状物質を取出しポート２１経由で備蓄室２２に吸込んで取出す。すなわち、本実施の形態においては、取出しポート２１とプランジャ３０とカム２８が液状物質を取出す手段として機能する。

（ｂ）吐出作用
回転部２７の備蓄室２２が固定部２４の吐出ポート２３を通過するとき、プランジャ３０が備蓄室２２の内部を上限から下限まで移動し、備蓄室２２に蓄えた液状物質を吐出ポート２３経由で吐出し、１滴の液状物質として下基板１上に滴下する。すなわち、本実施の形態においては、吐出ポート２３とプランジャ３０とカム２８が液状物質を吐出する手段として機能する。

液状物質供給装置２０は、２個の備蓄室２２を備えているから、各備蓄室２２の相互間で、容器４０から滴下量に応じた液状物質を取出しポート２１経由で備蓄室２２に取出す工程と、一時的に蓄えられた液状物質を備蓄室２２から吐出ポート２３経由で吐出する工程とを並行して行なう。

液状物質滴下装置１０は、液状物質供給装置２０と基板搬送ステージ１１上の下基板１との相対的な位置を検出する検出装置（不図示）と、検出装置の検出結果に基づいて液状物質供給装置２０を起動するとともに移動装置１２を制御する制御装置（不図示）を備える。ここで検出装置は、例えば、移動装置１２の各駆動部を構成するサーボモータに設けられたエンコーダおよび移動装置５０の各駆動部を構成するサーボモータに設けられたエンコーダが用いられ、これらのエンコーダからの出力値に基づいて、基板搬送ステージ１１の位置情報、および液状物質供給装置２０の位置情報を得て、これらの位置情報から液状物質供給装置２０の吐出ポート２３と下基板１との相対的な位置を検出する。

今、下基板１への液状物質の滴下パターン（３Ａ、３Ｂ・・・は滴下位置、３Ａは滴下開始位置、３Ｚは滴下終了位置、４はシール材）が図２に示す如くに下基板１の辺に沿って縦横に等間隔のパターンであり、このようなパターンで液状物質を滴下するときの下基板１に対する液状物質供給装置２０の吐出ポート２３の移動経路（滴下経路）が、たとえば矢印で示すように左右の端部で交互にＵ字状に折り返す経路をなすとする。このような場合、制御装置は、液晶物質供給装置２０の吐出ポート２３が基板搬送ステージ１１上の下基板１に対し相対移動する各直線状経路の両端滴下位置を除く中間滴下位置では検出装置の検出結果（液状物質供給装置２０と下基板１との相対位置関係）に基づいて、液状物質供給装置２０と下基板１との相対移動を停止させずに吐出ポート２３から各滴下位置への吐出を行ない、各直線状経路の両端滴下位置では検出装置の検出結果（液状物質供給装置２０と下基板１との相対位置関係）に基づいて、液状物質供給装置２０と下基板１との相対移動を停止させて吐出ポート２３から各滴下位置への吐出を行なう。

即ち、制御装置は、基板搬送ステージ１１の位置情報を移動装置１２の各駆動部を構成するサーボモータのエンコーダの出力値から読取るとともに、液状物質供給装置２０の吐出ポート２３のＸ、Ｙ方向での位置情報をＸ軸駆動部、Ｙ軸駆動部を構成するサーボモータのエンコーダの出力値から読取り、たとえば、予め教示された下基板１上の各滴下位置３Ａ、３Ｂ・・・３Ｚの位置情報に基づいて、所定の滴下位置が吐出ポート２３を通過するタイミングで、液状物質供給装置２０に吐出指令を出力する機能を備える。液状物質供給装置２０は、制御装置の制御下において吐出回数と吐出タイミングをサーボモータ２５により制御し、１回の吐出動作において、先に述べた取出し作用にて備蓄室２２内に蓄えられた液状物質すべてを吐出ポート２３から吐出させる。このとき、備蓄室２２内の容積は１回の滴下に必要とされる滴下量と同量となっていることから、備蓄室２２内の液状物質をすべて吐出させれば必要とする滴下量が得られる。つまり、液状物質を吐出させる段階での液量調整を不要とすることから、高速で安定した滴下を行なうことができる。これにより、基板搬送ステージ１１を停止させずに、基板搬送ステージ１１の位置座標に基づいて滴下位置到達毎に必要量の液状物質の吐出を行なうことができ、滴下工程に要する時間を大幅に短縮することができる。

基板貼合わせ装置１００は、真空チャンバ１０１の内部に下基板ステージ１０２と上基板ステージ１０３を設け、下基板ステージ１０２に下移動装置１０４、上基板ステージ１０３に上移動装置１０５を備える。下移動装置１０４は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部、θ軸駆動部を備え、下基板ステージ１０２に保持した下基板１をＸ方向とＹ方向のそれぞれに移動するとともに、θ方向に回転する。上移動装置１０５は、Ｚ軸駆動部を備え、上基板ステージ１０３に保持した上基板２をＺ方向に移動する。液状物質供給装置２０により液状物質を滴下された下基板１と、上基板２とが真空チャンバ１０１の内部で貼合わされる。

液状物質滴下装置１０と基板貼合わせ装置１００は以下の如くに動作する。

（１）移動装置５０により、液状物質供給装置２０の吐出ポート２３が滴下開始位置へ移動する。

（２）閉ループ状にシール材４が塗布された下基板１を基板搬送ステージ１１に搭載する。下基板１の位置決めマークを認識し、基板搬送ステージ１１上での下基板１の位置ずれ状態を検出する。

（３）上述の（２）で検出した下基板１の位置ずれ状態を加味して移動装置１２を移動させ、下基板１上の滴下開始位置３Ａ（図２）が、前述（１）で滴下開始位置に位置付けられた吐出ポート２３の直下となるように下基板１を位置決めする。

（４）移動装置１２により基板搬送ステージ１１上の下基板１を液状物質供給装置２０の吐出ポート２３に対する前述の滴下経路に沿って相対移動させ、液状物質を吐出ポート２３から下基板１上の各滴下位置に前述の如くに滴下する。制御装置は、移動装置１２、５０の各駆動部を構成するサーボモータのエンコーダ信号により、滴下位置を検出する。

（５）基板貼合わせ装置１００の上基板ステージ１０３に上基板２を供給する。

（６）前述（４）により滴下終了した下基板１を基板貼合わせ装置１００の下基板ステージ１０２に供給する。

（７）真空チャンバ１０１を真空状態にし、下基板１と上基板２を真空中で位置合わせし、下基板１と上基板２を重ね合わせて貼合わせる。真空チャンバ１０１の大気開放後、シール材４の仮硬化のためのＵＶ（紫外線）照射を行なう。このＵＶ照射装置は、たとえば基板搬送ステージ１１に内蔵されている。

（８）貼合わされた基板１、２を排出する。

尚、上述の（１）と（３）はそれらの先後の順序を入れ替えても良い。即ち、上述（１）の液状物質供給装置２０の滴下開始位置への移動を下基板１の供給前に行なうことにより、液状物質供給装置２０の移動装置５０を構成する駆動軸の動作時に発生するゴミの下基板１への落下を防止するものであるが、駆動軸のゴミ対策が行なわれている場合には、下基板１の供給後に、液状物質供給装置２０の移動動作を行なっても良い。

上述（２）で閉ループ状にシール材４が塗布された下基板１を供給しているが、シール材が塗布されていない下基板１に対して液状物質の滴下を行ない、基板貼合わせ装置１００で、液状物質を滴下された下基板１とシール材４が塗布された上基板２を貼合わせても良い。

液状物質滴下装置１０は、上述した液状物質供給装置２０を１台だけを備えるものに限らず、複数台の液状物質供給装置２０を備え、滴下位置毎に、使用する液状物質供給装置２０を切り換えても良い。また、複数台の液状物質供給装置２０を同時に使用しても良い。そして複数台の液状物質供給装置を備える場合においては、例えば各装置の備蓄室２２の容積を異ならせ、液状物質供給装置２０毎に液状物質の１回あたりの滴下量を異ならせるようにしてもよく、こうすることで、図２に示したシール材４で囲まれた領域内を複数の領域に分割し、分割した領域毎に異なる滴下量の液状物質を滴下するといったことを容易に実施することができる。そして、下基板１におけるシール材４に近接する周囲の領域の滴下量を、中央の領域に比べて少量に設定することで、上下の基板１、２を貼合わせるときに生じ易い、液状物質がシール材４を乗り越えてはみ出す現象を防止することができる。

さらには、複数台の液状物質供給装置２０を設ける場合においては、各液状物質供給装置２０を個別にＸ、Ｙ方向に移動可能に構成しておくと、各液状物質供給装置による滴下位置同士の間隔を容易に調整することができ好ましい。

本実施の形態によれば、以下の作用がある。

ａ．備蓄室２２に１回あたりの滴下量と同量の液状物質を予め取出して蓄えておき、吐出の際には備蓄室２２に蓄えた液状物質をすべて吐出させるだけで、必要量の液状物質の滴下を行なうことができるので、必要とする滴下量の滴下動作を迅速に行なうことができる。これにより、液状物質の滴下動作の高速化が図れ、生産性を向上させることができる。

ｂ．上述のａにより、液状物質の滴下の度に液状物質供給装置２０と下基板１とを相対的に停止させることなく、液状物質供給装置２０と下基板１とを相対的に移動させている期間中であっても下基板１上の滴下位置に安定して液状物質を滴下することができ、生産性をより向上させることができる。

ｃ．上述のａにより、滴下量の制御が容易となり、滴下量のばらつきに起因して生じる液状物質の広がりムラを防止することができ、しかも上下の基板１、２間に液状物質を適正量で封入することができるので、製品品質を向上させることができる。

ｄ．液状物質の取出し工程と吐出工程とを並行して処理することにより、液状物質の滴下動作を高速化でき、これによっても生産性を向上させることができる。

ｅ．下基板１上の滴下位置情報と、液状物質供給装置２０と下基板１との相対位置関係とに基づいて液状物質の吐出タイミングを制御することにより、下基板１上での滴下点数や滴下位置が変更されたときには、それらの滴下位置情報を変更するだけで容易に対応することができる。従って、下基板１の貼合わせ工程で均一な液状物質の広がりを得るための最適な滴下パターンを容易に得ることができる。

ｆ．備蓄室２２は、回転部２７の回転に伴って周回移動するので、振動等が発生し難く、取出しポート２１と吐出ポート２３との間を円滑かつ高速度で移動することが可能となり、液状物質の滴下動作を安定して行なうことができる。

ｇ．液状物質を備蓄室２２に一旦取り込み、取り込んだ分の液状物質を吐出させるようにしたことから、液状物質の粘度の変動に左右されることなく備蓄室２２の容積分の液状物質を滴下させることができる。

尚、液状物質滴下装置１０にあっては、液状物質供給装置２０と下基板１との相対位置関係に基づいて液状物質を吐出させるかわりに、下基板１上の滴下位置（３Ａ、３Ｂ・・・３Ｚ）の配置間隔、つまり滴下位置間隔に基づいて、液状物質供給装置２０と下基板１との相対的な移動速度と、液状物質の吐出時間間隔を決定し、その決定された相対移動速度で液状物質供給装置２０と下基板１とを相対移動させ、決定された吐出時間間隔で液状物質供給装置２０から液状物質を吐出させるようにしても良い。

具体例としては、次のとおりである。例えば、液状物質供給装置２０と下基板１との相対的な移動速度を一定とした場合、液状物質の滴下位置間隔を大きくしたければ液状物質の吐出時間間隔を大きくなるように設定し、液状物質の滴下位置間隔を小さくしたければ液状物質の吐出時間間隔を小さくなるように設定する。また、液状物質の吐出時間間隔を一定とした場合、液状物質の滴下位置間隔を大きくしたければ液状物質滴下装置２０と下基板１との相対的な移動速度が早くなるように設定し、液状物質の滴下位置間隔を小さくしたければ、液状物質供給装置２０と下基板１との相対的な移動速度が遅くなるように設定する。もちろん、液状物質供給装置２０と下基板１との相対的な移動速度と液状物質の吐出時間間隔の双方を調整して、所望する滴下位置間隔を得るようにしても良い。このような、滴下位置間隔、液状物質供給装置２０と下基板１との相対的な移動速度および吐出時間間隔の関係は、滴下位置間隔＝液状物質供給装置２０と下基板１との相対移動速度×吐出時間間隔の関係から容易に決定することが可能である。

そして上述によれば、滴下作業を開始する時点での液状物質供給装置２０と下基板１との相対位置関係を決定した後は、液状物質供給装置２０と下基板１との相対位置関係を検出しなくとも、設定された相対移動速度と吐出時間間隔で液状物質滴下装置１０を制御するだけで、下基板１上へ所望する滴下位置間隔で液状物質を滴下することができ、基板の貼合わせ工程で液状物質の均一な広がりを得るための最適な滴下パターンを容易に得ることができる。

また、上記の実施の形態においては、プランジャ３０の上下動をカム２８で行なうようにしたが、プランジャ毎にシリンダ装置を備えるように構成し、このシリンダ装置により各プランジャの上下動を行なうように構成するようにしても良いものである。

図４の液状物質供給装置２０は、プランジャ３０の上下ストロークの上限位置を規制し、液状物質の１回あたりの吐出量を制御する制御手段を構成するプランジャ上限ストッパ３５を備えるものである。ストッパ３５は、制御装置により駆動されるサーボモータ３６の送りねじに螺合して適宜位置に昇降制御せしめられる昇降ブロック３７に設けた上下のローラ３８、３８により挟持され、回転軸２６の軸方向に沿う所望の上限規制位置に設定替え可能とされながら、回転軸２６のまわりを回転部２７とともに回転可能とされ、各プランジャ３０のカムフォロア３０Ａが挿通し得る孔３９にストッパ部３９Ａを備え、プランジャ３０のフランジ３０Ｂをストッパ部３９Ａに衝合させることによりプランジャ３０の上限位置を規制し、当該プランジャ３０に対応する備蓄室２２への液状物質の取出し量、ひいては備蓄室２２からの吐出量を変更可能とする。

このようにプランジャ上限ストッパ３５の上下位置を調整し、備蓄室２２の液状物質の取り込み可能な容積（量）を変化させることにより、液状物質の１回あたりの滴下量を即座に適宜値に変更できるから、基板上の滴下点数を多くすることと相まって、下基板１の貼合わせ工程で均一な液状物質の広がりを得るためのより最適な滴下パターンを容易に得ることができる。

また、図２に示したシール材４で囲まれた領域内において、分割した領域毎に異なる滴下量で液状物質を滴下させることも可能となり、滴下パターンの自由度をさらに広げることが可能となる。

なお、図４では、プランジャ上限ストッパ３５を昇降制御することでプランジャ３０の上限位置を調整して備蓄室２２内に備蓄可能な液状物質の量を調整するように構成したが、プランジャ上限ストッパ３５は昇降方向には固定配置とするとともに、カム２８を昇降制御可能に設け、このカム２８を適宜位置に位置付けることで、プランジャ３０の下限位置を調整し、備蓄室２２内から吐出させる液状物質の量を変更するようにしても良い。

このように構成した場合、液状物質の取出し作用においては、吐出させる液状物質の量に拘わりなく、固定配置されたプランジャ上限ストッパ３５にて規制された上限位置に基づいて常に一定量の液状物質が備蓄室２２内に取り込まれるものの、吐出作用においては、備蓄室２２内に蓄えられた液状物質のうち、カム２８の設定位置に基づく下限位置まで下降されるプランジャ３０の上限位置からの下降量分の液状物質が吐出されることとなる。このように構成することによっても、液状物質の滴下量を変更することができ、下基板１の貼り合わせ工程で均一な液状物質の広がりを得るための最適な滴下パターンを容易に得ることができる。なおこの場合、備蓄室２２に蓄える液状物質の量は、吐出が予定されている液状物質の最大量に設定しておくと良い。

以上、本発明の実施の形態を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、液状物質供給装置と基板の相対移動は、基板の移動装置によるものに限らず、液状物質供給装置の移動装置によるものでも良いし、両方の移動装置を併せ用いるものでも良い。また、液状物質供給装置は、プランジャ型ポンプによるものに限らず、他のポンプによるものでも良い。

また、滴下位置１箇所あたりの液状物質の滴下回数は１回に限らず複数回行なっても良い。これは、上述した実施の形態によれば、液状物質供給装置２０の吐出ポート２３が下基板１上の１つの滴下位置を通過する期間中に、備蓄室２２が吐出ポート２３上を設定回数通過するようにサーボモータ２５の駆動を制御することで実施できる。

また、移動装置１２および移動装置５０がともにＸ軸駆動部、Ｙ軸駆動部を有する例で説明したが、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部は少なくとも双方の移動装置１２、５０合わせて１つずつ有していれば、下基板１に対する液状物質の滴下動作は可能である。

さらにまた、備蓄室２２は、２つに限らず、それ以上であっても構わない。

図１は液状物質滴下装置と基板貼合わせ装置を示す模式図である。図２は基板上の滴下パターンを示す模式図である。図３は液状物質供給装置を示す模式図である。図４は液状物質供給装置の変形例を示す模式図である。

符号の説明

１下基板（基板）
３Ａ、３Ｂ、３Ｚ滴下位置
１０液状物質滴下装置
１１基板搬送ステージ
１２移動装置

Claims

液状物質を基板上に滴下する液状物質滴下装置において、
前記液状物質を蓄える容器と、
固定部、回転駆動される回転軸に設けられ前記固定部とは液密に摺接する回転部、プランジャ、このプランジャの往復動手段とを有する液状物質供給手段であって、前記固定部には前記回転軸の軸芯を中心とする同一半径上に取出しポートと吐出ポートを有し前記取出しポートと前記容器とは接続され、前記回転部は、前記回転軸の回転に伴う回転により前記取出しポートと吐出ポートに順次対向する備蓄室を有し、前記プランジャは前記備蓄室内を往復動可能とされ、前記往復動手段は前記プランジャを、前記回転部の回転に伴い前記備蓄室が前記取出しポートを通過するとき下限から上限まで移動させて滴下量に応じた量の前記液状物質を当該備蓄室に取り出し蓄え、前記備蓄室が前記吐出ポートを通過するとき上限から下限まで移動させて当該備蓄室に蓄えた前記液状物質を前記吐出ポートを介して吐出してなる液状物質供給手段と、
この液状物質供給手段と前記基板とを相対的に移動させる移動手段とを備え、
前記液状物質供給手段の前記往復動手段は、前記回転部の回転に伴って前記備蓄室の回転方向後方側の端部が前記取出しポートを通過する時に前記プランジャの移動を停止させることを特徴とする液状物質滴下装置。
液状物質を基板上に滴下する液状物質滴下装置において、
前記液状物質を蓄える容器と、
固定部、回転駆動される回転軸に設けられ前記固定部とは液密に摺接する回転部、プランジャ、このプランジャの往復動手段とを有する液状物質供給手段であって、前記固定部には前記回転軸の軸芯を中心とする同一半径上に取出しポートと吐出ポートを有し前記取出しポートと前記容器とは接続され、前記回転部は、前記回転軸の回転に伴う回転により前記取出しポートと吐出ポートに順次対向する備蓄室を有し、前記プランジャは前記備蓄室内を往復動可能とされ、前記往復動手段は前記プランジャを、前記回転部の回転に伴い前記備蓄室が前記取出しポートを通過するとき下限から上限まで移動させて滴下量に応じた量の前記液状物質を当該備蓄室に取り出し蓄え、前記備蓄室が前記吐出ポートを通過するとき上限から下限まで移動させて当該備蓄室に蓄えた前記液状物質を前記吐出ポートを介して吐出してなる液状物質供給手段と、
この液状物質供給手段と前記基板とを相対的に移動させる移動手段とを備え、
前記液状物質供給手段の前記往復動手段は、前記回転部の回転に伴って前記備蓄室の進行方向後方側の端部が前記吐出ポートを通過する時に前記プランジャを下降限に移動せしめ、前記備蓄室内の液状物質が前記吐出ポートを通って吐出されるように構成したことを特徴とする液状物質滴下装置。
前記回転部には前記備蓄室を複数有し、各備蓄室に対応して前記プランジャが設けられてなることを特徴とする請求項１または２記載の液状物質滴下装置。
前記液状物質供給手段と前記基板との相対的な位置を検出する手段と、
検出した相対的な位置と前記基板に対する前記液状物質の滴下位置情報とに基づいて前記回転軸の回転駆動を制御することで、前記液状物質供給手段による前記液状物質の吐出タイミングを制御する制御手段とを備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液状物質滴下装置。
前記基板に対して滴下する前記液状物質の滴下位置間隔に基づいて決定された、前記液状物質供給手段と前記基板との相対的な移動速度と、前記液状物質の吐出時間間隔で、前記移動手段および前記回転軸を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液状物質滴下装置。
前記往復動手段を制御することにより前記液状物質の吐出量を制御する制御手段を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の液状物質滴下装置。