JP2013206863A - 塗布膜形成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のノズルによってパネル領域に形成される塗布膜の形状の均一性を高めることの可能な塗布膜形成方法を提供する。
【解決手段】塗布膜形成方法は、切れ目なく液柱状のインクを吐出する３つのノズルを１つのノズル列とし、基板に対してノズル列を、第１方向に動かす第１塗布工程と、基板に対してノズル列を、第１方向とは反対方向である第２方向に動かす第２塗布工程と、第１塗布工程と第２塗布工程との間で、基板に対してノズル列を、第１方向と第２方向とに直交する方向である走査方向に動かす走査工程とを含み、第１塗布工程と走査工程と第２塗布工程と走査工程とが繰り返される。塗布膜形成方法は、基板のうちでパネル領域Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃでは、第１塗布工程のみが行われる。
【選択図】図５

Description

本開示の技術は、基板に向けて切れ目なく液柱状のインクを吐出することで塗布膜を形成する塗布膜形成方法に関する。

近年、有機ＥＬ素子における発光層等の機能層を液体から形成する装置としてインクジェット装置が知られている。インクジェット装置は、インクを微小な液滴として吐出するノズルを備えて、機能層の形成材料が含まれる液滴を機能層が形成される部位に吐出する。しかしながら、インクジェット装置では、微小な液滴が間欠的に吐出されるため、微細な液膜を形成することが可能であるとはいえども、インクの乾燥によるノズルの目詰まりが不可避な問題となっている。そこで、液柱状のインクを吐出するノズルを備えて、該ノズルを備えたノズルヘッドと基板とを相対的に往復動させながらインクを塗布することにより、基板上に塗布膜を形成する塗布膜形成装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００２−７５６４０号公報

ところで、上述の塗布膜形成装置では、１つのノズルヘッドに搭載される複数のノズルが複数の画素列に同時にインクを吐出し、これによって塗布膜の形成時間の短縮が図られている。しかしながら、１つのノズルヘッドに複数のノズルが搭載されるとなると、ノズルヘッドの往動と復動との繰り返しによって塗布膜が形成される以上、複数のノズルの各々の下方における塗布状態が、往動ごと、あるいは、復動ごとに相互に異なってしまう。すなわち、復動時における複数のノズルには、往動時に塗布されたインクに近いノズルと往動時に塗布されたインクから遠いノズルとが含まれる。そして、塗布されたインクに近いノズルの雰囲気では相対的に多くの溶媒が漂い、塗布されたインクから遠いノズルの雰囲気では、そこに漂う溶媒が少なくなる。このため、溶媒の多い雰囲気にてインクの乾燥が遅くなり、溶媒の少ない雰囲気にてインクの乾燥が速くなる結果、パネル領域内では、塗布膜の形状にばらつきが生じてしまう。なお、上述した塗布膜の形状のばらつきは、インクに含まれる溶媒以外の成分が基板上で蒸発する場合であっても概ね共通するものである。

本開示の技術は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数のノズルによってパネル領域に形成される塗布膜の形状の均一性を高めることの可能な塗布膜形成方法を提供することにある。

以下、上記目的を達成するための手段及びその作用効果について説明する。
本開示の技術の一態様は、基板に向けインクを切れ目なく吐出する２以上のノズルが配列されたノズル列を用い、前記ノズルの配列方向とは異なる方向が第１方向と設定され、前記第１方向とは反対の方向が第２方向と設定され、前記第１方向と交差する方向が主走査方向と設定され、前記基板のうちでパネルとなる部分がパネル領域と設定される場合に、前記基板に対し前記ノズル列を相対的に前記第１方向に動かす第１塗布工程と、前記基板に対し前記ノズル列を相対的に前記第２方向に動かす第２塗布工程と、前記基板と前記ノズル列とを相対的に前記主走査方向に動かす主走査工程とを含み、前記第１塗布工程と前記第２塗布工程とが交互に繰り返され、且つ、前記第１塗布工程と前記第２塗布工程との間に前記主走査工程が行われる塗布膜形成方法であって、前記第１塗布工程では、前記パネル領域にのみインクが吐出され、前記第２塗布工程及び前記主走査工程では、前記パネル領域以外にインクが吐出されることをその要旨としている。

同方法によれば、パネル領域に対しては、基板とノズル列とを相対的に第１方向に動かす第１塗布工程のみが行われて、第１塗布工程によるインクの塗布と第２塗布工程によるインクの塗布とが混ざることがない。そして、パネル領域に塗布されたインクでは、第２塗布工程が他の領域で行われている間に乾燥が進み、パネル領域の雰囲気で蒸発成分が拡散することになる。結果として、第１塗布工程によるインクの塗布と第２塗布工程によるインクの塗布とがパネル領域で繰り返される場合に比べて、パネル領域の雰囲気における蒸発成分の均一化を図ることができる。よって、パネル領域に塗布されたインクの乾燥に対して、蒸発成分の分布による影響が抑えられ、複数のノズルによってパネル領域に形成される塗布膜の形状の均一性を高めることができる。

本開示の技術の他の態様は、前記パネル領域を第１パネル領域とし、前記基板には、前記第１パネル領域とは異なる第２パネル領域が形成され、前記第１パネル領域と前記第２パネル領域とが前記主走査方向に並べられ、前記第２塗布工程では、前記第２パネル領域にのみインクが吐出されることをその要旨としている。

同方法によれば、第１パネル領域と第２パネル領域とが主走査方向に並べられ、第１パネル領域に対しては第１塗布工程の塗布のみが行われ、第２パネル領域に対しては第２塗布工程の塗布のみが行われる。このため、第１パネル領域には第１塗布工程のみによるインクが塗布され、第２パネル領域には第２塗布工程のみによるインクが塗布される。すなわち、第１副走査方法への上記移動による塗布と、第２方向への上記移動による塗布とが、相互に異なるパネル領域に割り当てられている。それゆえに、第１方向への上記移動と第２方向への上記移動との双方が塗布に利用され、且つ、複数のノズルによってパネル領域に形成される塗布膜の形状の均一性を高めることができる。

本開示の技術の他の態様は、前記基板は、２以上の前記第１パネル領域からなる第１パネル列と、２以上の前記第２パネル領域からなる第２パネル列とを備え、前記第１パネル列と前記第２パネル列とが隣接し、前記主走査工程では、前記第１塗布工程が行われた後に前記第２パネル列の上に前記ノズル列が配置され、前記第２塗布工程が行われた後に前記第１パネル列の上に前記ノズル列が配置されることをその要旨としている。

同方法によれば、第１パネル列と第２パネル列とが隣接し、主走査工程では、第１塗布工程が行われた後に第２パネル列の上にノズル列が配置され、第２塗布工程が行われた後に第１パネル列の上にノズル列が配置される。このため、第１塗布工程で第１パネル列を塗布したノズル列は、主走査工程において第１パネル列から第２パネル列に移動する。そして、第２塗布工程で第２パネル列を塗布したノズル列は、主走査工程において第２パネル列から第１パネル列に移動する。よって、第１パネル列における各第１パネル領域内と、第２パネル列における各第２パネル領域内とにおいて、複数のノズルによって形成される塗布膜の形状の均一性を高めることができる。

本開示の技術の他の態様は、前記配列方向は、前記第１方向と前記第２方向と前記主走査方向とに交差する方向であることをその要旨としている。
ノズルの配列方向が第１方向と第２方向と主走査方向とに交差する方向である場合には、第１方向において各ノズルの位置が相互に異なり、また、第２方向において各ノズルの位置が相互に異なる。こうした場合には、第１塗布工程内におけるインクの乾燥状態がノズル毎に異なるから、パネル領域の雰囲気における蒸発成分の量もノズルの経路毎に異なってしまう。また、第２塗布工程内でも同様に、蒸発成分の量がノズルの経路毎に異なってしまう。

例えば、第１塗布工程では、ノズル列にて配列方向の両端に配置された２つのノズルのうち、一方のノズルで塗布されたインクは最も速く乾燥を開始し、他方のノズルで塗布されたインクは最も遅く乾燥を開始する。他方で、第２塗布工程では、上記一方のノズルで塗布されたインクは最も遅く乾燥を開始し、上記他方のノズルで塗布されたインクは最も速く乾燥を開始する。なお、ノズルの配列方向と第１方向とが直交する場合であれば、こうした蒸発成分の量のばらつきは生じ難い。

そして、第１塗布工程と第２塗布工程とが１つのパネル領域に対して交互に行われると、第１塗布工程にて上記他方のノズルで塗布されるインクと、第２塗布工程にて上記一方のノズルで塗布されるインクとが隣り合うことになる。すなわち、第１塗布工程にて最も遅く乾燥を開始するインクのラインと、第２塗布工程にて最も遅く乾燥を開始するインクのラインとが隣り合うことになる。また、第１塗布工程にて最も速く乾燥を開始するインクのラインと、第２塗布工程にて最も速く乾燥を開始するインクのラインとが隣り合うことになる。結果として、ノズルの配列方向が第１方向と直交する場合と比べて、１つのパネル領域での塗布膜の形状のばらつきが一層に大きくなることとなる。

この点、上述の方法によれば、第１塗布工程と第２塗布工程との組み合わせに起因する上述のような塗布膜の形状のばらつきが抑えられるため、複数のノズルによってパネル領域に形成される塗布膜の形状の均一性を高められる効果が顕著になる。

本開示の技術によれば、複数のノズルによってパネル領域内に形成される塗布膜の形状の均一性を高めることができる。

本開示の一実施形態における塗布膜形成装置の概略構成を示す斜視図。 同塗布膜形成装置の概略構成を機能的に示すブロック図。 同塗布膜形成装置におけるノズルヘッドのノズル配置を示す下面図。 同塗布膜形成装置の基板に対するノズルヘッドの移動を示す図。 同塗布膜形成装置のノズルヘッドの経路を示し、（ａ）は主走査の１度目の往路を示し、（ｂ）は主走査の２度目の往路を示した図。 同塗布膜形成装置のノズルヘッドの経路を示し、（ａ）は主走査の１度目の復路を示し、（ｂ）は主走査の２度目の復路を示した図。

以下、本開示の塗布膜形成方法を具体化した一実施形態を図１〜図６に従って説明する。本実施形態では、有機ＥＬ素子の発光層となる塗布膜を塗布膜形成装置によって形成する。有機ＥＬ素子は、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）の各色の発光層のうち、同じ色の発光層を一列に並べた構成を有している。

図１に示されるように、塗布膜形成装置１０は、液柱状のインクを吐出することで塗布膜を形成する。本実施形態では、特定色を発光する有機発光材料を低分子溶媒に溶解又は分散させたインクを用いる。

塗布膜形成装置１０は、主走査方向に延びる２つのステージガイド１１ａ，１１ｂが主走査方向と直交する方向である副走査方向に併設されている。これらステージガイド１１ａ，１１ｂには、基板１３の載置されるステージ１２が、ステージガイド１１ａ，１１ｂに沿って主走査方向に往復動可能に搭載されている。

基板１３は、例えば、ガラス基板等の透光性の基板であって、複数のパネルが切り出されるマザー基板である。基板１３の上面には、パネルとなる領域である複数のパネル領域Ｐａ〜Ｐｆを有している。パネル領域Ｐａ〜Ｐｆの各々には、副走査方向に延びる赤色用画素列と、副走査方向に延びる緑色用画素列と、副走査方向に延びる青色用画素列とが、この順に繰り返して主走査方向に形成されている。赤色用画素列とは、複数の赤色用画素が主走査方向に並べられる領域である。緑色用画素列とは、緑色用画素が主走査方向に並べられる領域である。青色用画素列とは、青色用画素が主走査方向に並べられる領域である。

図２に示されるように、基板１３上において、副走査方向に並ぶ３つのパネル領域からなる１列分のパネル領域が主走査方向に２つ並べられて、合計６つのパネル領域Ｐａ〜Ｐｆが配置されている。２列のパネル領域のうち、主走査方向の一方側の列であるパネル領域Ｐａ〜Ｐｃを第１パネル列Ｐ１とする。また、２列のパネル領域のうち、副走査方向の他方側の列であるパネル領域Ｐｄ〜Ｐｆを第２パネル列Ｐ２とする。そして、パネル領域Ｐｃ，Ｐｆの各々の角部には、位置検出のためのアライメントマークＡＭが設けられている。なお、パネル領域Ｐａ〜Ｐｃが第１パネル領域に相当し、パネル領域Ｐｄ〜Ｐｆが第２パネル領域に相当する。

ステージ１２は、ステージモータＭｓの駆動力によって、ステージガイド１１ａ，１１ｂに沿ってステージガイド１１ａ，１１ｂの両端部の間を往動及び復動する。ステージ１２が移動する位置のうち、ステージガイド１１ａ，１１ｂの一端側に設定される塗布準備位置は、インクの塗布前の基板１３をステージ１２に載置する等、インクを塗布するための準備が行われる位置である。ステージ１２が移動する位置のうち、ステージガイド１１ａ，１１ｂの長手方向の両端の中間に設定される塗布開始位置は、パネル領域Ｐａ〜Ｐｆへのインクの塗布が開始される位置である。ステージ１２が移動する位置のうち、ステージガイド１１ａ，１１ｂの他端側に設定される塗布完了位置は、インクの塗布が終了した基板１３が回収される等の後処理が行われる位置である。

上記塗布準備位置と塗布開始位置との間の領域の上方には、基板１３におけるパネル領域Ｐｃ，Ｐｆの位置を検出する位置検出部１５が配設されている。位置検出部１５は、例えばＣＣＤカメラ等から構成されて、位置検出部１５の下方を通過するアライメントマークＡＭをパネル領域Ｐｃ，Ｐｆの位置として検出する。

上記塗布開始位置の上方には、ノズル部１６が配設されている。ノズル部１６は、副走査方向に延びる副走査ガイド１７と、副走査ガイド１７に沿って移動するノズルヘッド１９とから構成される。ノズルヘッド１９は、副走査モータＭａの駆動力によって副走査ガイド１７に沿って副走査方向に往動及び復動する。

図３に示されるように、ノズルヘッド１９の下面には、ノズルＮが露出している。ノズルヘッド１９には、色毎に３つのノズルＮからなるノズル列Ｎｒ，Ｎｇ，Ｎｂが設けられている。赤色ノズル列Ｎｒは、第１赤色ノズルＮｒ１と、第２赤色ノズルＮｒ２と、第３赤色ノズルＮｒ３とからなる。緑色ノズル列Ｎｇは、第１緑色ノズルＮｇ１と、第２緑色ノズルＮｇ２と、第３緑色ノズルＮｇ３とからなる。青色ノズル列Ｎｂは、第１青色ノズルＮｂ１と、第２青色ノズルＮｂ２と、第３青色ノズルＮｂ３とからなる。これら各色のノズル列Ｎｒ，Ｎｇ，ＮｂのノズルＮは、主走査方向における同色画素同士のピッチよりもノズル本体が大きいため、主走査方向へ直線状に並ぶことができず、副走査方向へずらして斜めに並んで配置されている。すなわち、ノズル列の方向であるノズル列方向は、主走査方向と副走査方向とに交差する方向である。インクはノズルＮの吐出口から下方に向かって液柱状に切れ目なく吐出される。なお、切れ目がない状態とは、ノズルＮの吐出口と基板１３との間の全体にわたり柱状のインクが連なる状態が、インクの塗布の過程に含まれる状態である。

図１及び図２に示されるように、各色のノズルＮには、加圧タンク２０から互いに異なる色のインクが供給される。加圧タンク２０では、タンク内に窒素等のガスが送り込まれることにより、タンク内のインクが供給口から圧送される。加圧タンク２０の供給口には、脱気タンク２１が接続されている。脱気タンク２１では、インクがタンクに一旦溜められて、タンク底部からインクが流出される。これにより、タンク内に溜められたインク中の気体が液面上に排出されて、インクの脱気が行われる。その結果、ノズルＮに供給されるインクに気泡が含まれることが抑えられるため、ノズルＮから吐出されるインクの性状の安定性を高めることができる。

脱気タンク２１には、流路を流れるインクの流量を計測する流量計２２が接続されている。流量計２２には、流路を流れるインクの流量を制御する流量制御弁２３が接続されている。流量計２２にノズルヘッド１９が接続されている。すなわち、加圧タンク２０からノズルヘッド１９へ供給されるインクの流量は、流量制御弁２３の開閉によって制御されるとともに流量計２２にて計測される。流量制御弁２３の開度は、流量計２２の計測値に応じて、該流量計２２の計測値が所定の値となるように制御される。

次に、本実施形態の塗布膜形成装置の電気的な構成について、図２を参照して説明する。塗布膜形成装置１０は、中央処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリ（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリ（ＲＡＭ）を有する制御装置３０を備えている。

図２に示されるように、制御装置３０は、塗布を行うための塗布プログラムや塗布条件を記憶する記憶部３１を備えている。制御装置３０は、ノズルＮに供給されるインクの流量を制御する流量制御部３２と、ステージ１２及びノズル部１６の動作を制御する駆動制御部３３とを備えている。

制御装置３０には、各種のボタンやタッチパネル等から構成される操作部４０が接続されている。操作部４０は、基板１３に関する情報である基板情報や塗布条件に関する情報である塗布情報を制御装置３０に出力する。

基板情報は、基板１３におけるパネル領域Ｐａ〜Ｐｆの配置、画素列の幅や数、各ノズルヘッド１９の塗布前の位置である初期位置等である。塗布情報は、ステージ１２の走査量や走査速度、ノズルヘッド１９の走査量や走査速度に関する情報、ノズルヘッド１９から吐出されるインクの流量に関する情報等である。

流量制御部３２には、目標値と流量計２２から入力される計測値とに基づいて、計測値が目標値となるように流量制御弁２３の開度を算出し、算出された開度に応じた開度信号を生成してその開度信号を流量制御弁２３へ出力する。流量制御弁２３は、開度信号に応じた開度で弁体を駆動して、ノズルヘッド１９のノズルＮに供給されるインクの流量を制御する。

駆動制御部３３には、位置検出部１５が接続されている。位置検出部１５は、アライメントマークＡＭを検出したか否かを示す検出情報を駆動制御部３３に出力する。
駆動制御部３３は、入力された基板情報と塗布情報とに基づいて、主走査におけるステージ１２の移動量と、副走査におけるノズル部１６の移動量とを算出する。駆動制御部３３は、算出した移動量に基づく駆動電流を生成し、その駆動電流をステージモータＭｓに出力する。ステージモータＭｓは、駆動制御部３３から入力される駆動電流によって駆動されてステージ１２の主走査を行う。

駆動制御部３３は、算出したノズルヘッド１９の副走査における移動量に基づく駆動電流を生成し、その駆動電流を副走査モータＭａに出力する。副走査モータＭａは、駆動制御部３３から入力される駆動電流によって駆動されて、ノズルヘッド１９を副走査方向に移動させて副走査を行う。

駆動制御部３３は、塗布プログラムに従って、副走査モータＭａの駆動を実行する。また、駆動制御部３３は、ステージモータＭｓと副走査モータＭａとに交互に制御信号を出力し、主走査と副走査とを交互に実行する。

塗布膜形成装置１０は、ステージ１２が塗布準備位置から塗布開始位置まで往動されると、ノズルヘッド１９が副走査ガイド１７に沿って副走査方向に移動して、ノズルヘッド１９が初期位置に移動する。

ノズルヘッド１９が副走査ガイド１７に沿って副走査方向へ動かされて初期位置に配置されると、パネル領域Ｐａ〜Ｐｆへのインクの塗布が開始される。そして、ステージ１２が塗布開始位置から塗布完了位置に向けて主走査方向へ所定量動かされる主走査と、ノズルヘッド１９が副走査方向へ動かされる副走査とが交互に繰り返されて、パネル領域Ｐａ〜Ｐｆへのインクの塗布が行われる。

次に、上記の塗布膜形成装置１０の動作を図４〜図６を参照して説明する。
図４に示されるように、塗布膜形成装置１０は、双方向である副走査方向のうち左から右への第１方向においてインクを塗布する第１塗布工程と、副走査方向における右から左への第２方向においてインクを塗布する第２塗布工程とでは、インクを塗布するパネル列が互いに異なる。すなわち、塗布膜形成装置１０は、副走査の往路（第１方向）において第１パネル列Ｐ１（Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ）にインクを塗布し、主走査において第１パネル列Ｐ１と異なる第２パネル列Ｐ２（Ｐｄ，Ｐｅ，Ｐｆ）上に移動し、副走査の復路（第２方向）において第２パネル列Ｐ２にインクを塗布する。なお、パネル列Ｐ１，Ｐ２同士を往動及び復動する工程を主走査工程とする。

塗布膜形成装置１０は、パネル領域Ｐａ〜Ｐｆへのインクの塗布が終了すると、ステージ１２を塗布完了位置まで移動する。そして、塗布膜形成装置１０は、塗布完了位置にて上述の後処理を行い、後処理が終わると、ステージ１２を塗布完了位置から塗布準備位置まで復動して一連の塗布膜の形成工程を繰り返す。

図５及び図６に示されるように、各パネル領域Ｐａ〜Ｐｆには、互いに異なる３色の画素列１４が主走査方向に順番に繰り返されている。互いに異なる３色の画素列１４は同一の幅を有しており、副走査方向に並ぶパネル領域Ｐａ〜Ｐｆでは、同色の画素列１４が副走査方向に一直線上に並んでいる。ここでは、赤色ノズル列Ｎｒによる赤色の塗布膜の形成について説明する。緑色ノズル列Ｎｇによる緑色の塗布膜の形成については、緑色ノズル列Ｎｇと緑色の画素列１４とに変更すれば同様であるので説明を割愛する。青色ノズル列Ｎｂによる青色の塗布膜の形成については、青色ノズル列Ｎｂと青色の画素列１４とに変更すれば同様であるので説明を割愛する。

図５（ａ）に示されるように、まず、塗布膜形成装置１０は、赤色ノズル列Ｎｒが第１方向へ副走査されることによって第１パネル列Ｐ１（Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ）の３列の赤色の画素列１４にインクを塗布する。すなわち、第１赤色ノズルＮｒ１が主走査方向における１つ目の赤色の画素列１４にインクを塗布し、第２赤色ノズルＮｒ２が主走査方向における２つ目の赤色の画素列１４にインクを塗布し、第３赤色ノズルＮｒ３が主走査方向における３つ目の赤色の画素列１４にインクを塗布する。

赤色ノズル列Ｎｒは、副走査方向に対して斜めに配置されているので、第２赤色ノズルＮｒ２が第１赤色ノズルＮｒ１よりも副走査の右手方向に進んだ位置に位置し、第３赤色ノズルＮｒ３が第２赤色ノズルＮｒ２よりも副走査の右手方向に更に進んだ位置に位置する。

ここで、塗布されたインクは、インクに含まれる溶媒等の成分が蒸発することで乾燥して、塗布膜となる。この蒸発した成分は、パネル領域Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ上にある程度の時間漂う。このため、図５（ａ）に破線で示したように、塗布膜形成装置１０は、前回塗布したインクから蒸発した成分が漂った状態で、前回塗布した画素列１４の次の画素列１４、すなわち４，５，６つ目の赤色の画素列１４に、赤色ノズル列Ｎｒを第２方向へ副走査することでインクを塗布すると、漂った成分が塗布したインクに影響を与えて、塗布膜の形状に影響を与えるおそれがある。特に、複数のノズルＮが斜めに配置されたノズルヘッド１９を搭載した塗布膜形成装置１０では、１度のインクの塗布によってノズルＮ同士で主走査方向に位置が異なるのでパネル領域上の雰囲気に差がある。よって、漂った蒸発成分による塗布したインクへの影響が大きいおそれがある。

例えば、第１塗布工程では、ノズル列にて配列方向の両端に配置された２つのノズルＮｒ１，Ｎｒ３のうち、第３赤色ノズルＮｒ３で塗布されたインクは最も速く乾燥を開始し、第１赤色ノズルＮｒ１で塗布されたインクは最も遅く乾燥を開始する。他方で、第２塗布工程では、第３赤色ノズルＮｒ３で塗布されたインクは最も遅く乾燥を開始し、第１赤色ノズルＮｒ１で塗布されたインクは最も速く乾燥を開始する。なお、ノズルの配列方向と第１方向とが直交する場合であれば、こうした蒸発成分の量のばらつきは生じ難い。

そして、第１塗布工程と第２塗布工程とが１つのパネル領域に対して交互に行われるとなると、第１塗布工程にて第３赤色ノズルＮｒ３で塗布されるインクと、第２塗布工程にて第１赤色ノズルＮｒ１で塗布されるインクとが隣り合うことになる。すなわち、第１塗布工程にて最も速く乾燥を開始するインクのラインと、第２塗布工程にて最も速く乾燥を開始するインクのラインとが隣り合うことになる。また、第１塗布工程にて最も遅く乾燥を開始するインクのラインと、第２塗布工程にて最も遅く乾燥を開始するインクのラインとが隣り合うことになる。結果として、ノズルの配列方向が第１方向と直交する場合と比べて、１つのパネル領域での塗布膜の形状のばらつきが一層に大きくなることとなる。

そこで、図５（ｂ）に示されるように、塗布膜形成装置１０は、前回塗布した画素列１４の次の画素列１４、すなわち４，５，６つ目の赤色の画素列１４に、赤色ノズル列Ｎｒを第１方向へ再び副走査することでインクを塗布する。よって、第１方向に沿って塗布されたインクでは、第２塗布工程が他の領域で行われている間に乾燥が進み、パネル領域の雰囲気で蒸発成分が拡散することなる。結果として、第１塗布工程によるインクの塗布と第２塗布工程によるインクの塗布とが１つのパネル領域で繰り返される場合に比べて、パネル領域の雰囲気における蒸発成分の均一化を図ることができる。

また、図６（ａ）に示されるように、塗布膜形成装置１０は、第１方向へ副走査された後に、赤色ノズル列Ｎｒが第２方向へ副走査されることによって第２パネル列Ｐ２（Ｐｄ，Ｐｅ，Ｐｆ）の３列の赤色の画素列１４にインクを塗布する。すなわち、第１赤色ノズルＮｒ１が主走査方向における１つ目の赤色の画素列１４にインクを塗布し、第２赤色ノズルＮｒ２が主走査方向における２つ目の赤色の画素列１４にインクを塗布し、第３赤色ノズルＮｒ３が主走査方向における３つ目の赤色の画素列１４にインクを塗布する。

ここで、上記と同様に、塗布されたインクに含まれる溶媒等が蒸発して、パネル領域Ｐｄ，Ｐｅ，Ｐｆ上にある程度の時間漂う。このため、図６（ａ）に破線で示したように、塗布膜形成装置１０は、前回塗布したインクから蒸発した溶媒等が漂った状態で、前回塗布した画素列１４の次の画素列１４、すなわち４，５，６つ目の赤色の画素列１４に、赤色ノズル列Ｎｒを第２方向へ副走査することでインクを塗布すると、漂った成分が塗布したインクに影響を与えて、塗布膜の形状に影響を与えるおそれがある。

そこで、図６（ｂ）に示されるように、塗布膜形成装置１０は、前回塗布した画素列１４の次の画素列１４、すなわち４，５，６つ目の赤色の画素列１４に、赤色ノズル列Ｎｒを第２方向へ副走査することでインクを塗布する。よって、第１塗布工程にて説明したように、第２方向に沿って塗布されたインクでは、第１塗布工程が他のパネル領域でおこなわれている間に乾燥が進み、パネル領域の雰囲気で蒸発成分が拡散することになる。結果として、第１塗布工程と同様に、パネル領域の雰囲気における蒸発成分の均一化を図ることができる。

すなわち、塗布膜形成装置１０は、第１方向へ副走査することで第１パネル列Ｐ１の３行の画素列１４にインクを塗布し、続いて第１パネル列Ｐ１から第２パネル列Ｐ２へ主走査する。そして、塗布膜形成装置１０は、第２方向へ副走査することで第２パネル列Ｐ２の３行の画素列１４にインクを塗布し、続いて第２パネル列Ｐ２から第１パネル列Ｐ１へ主走査する。塗布膜形成装置１０は、上記を繰り返すことで、両パネル列Ｐ１，Ｐ２の画素列１４にインクを塗布する。

これにより、第１パネル列Ｐ１に対してはノズルヘッド１９の第１方向への副走査によってのみインクが塗布され、第２パネル列Ｐ２に対してはノズルヘッド１９の第２方向への副走査によってのみインクが塗布される。したがって、同一パネル領域には同じ方向の副走査によってインクが塗布されるので、前回塗布したインクから蒸発した成分がパネル領域の雰囲気で均一化した状態で今回のインクを塗布することとなる。よって、蒸発成分の分布による塗布膜の形状への影響を抑えることができ、パネル領域に形成される塗布膜の形状の均一性を高めることが可能となる。

以上、説明した実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）パネル領域Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃでは第１方向に動かす第１塗布工程のみが行われるので、パネル領域Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃに対して第１方向と第２方向との両方向に動かすことによるインクの塗布がない。このため、第１方向にインクを塗布した後に、第２方向にノズルが移動する期間、塗布したインクを乾燥させることができ、塗布時におけるパネル領域Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃの雰囲気に漂う蒸発成分の均一化を図ることができる。よって、蒸発成分の分布による塗布膜の形状への影響を抑えることができ、パネル領域Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃに形成される塗布膜の形状の均一性を高めることができる。

（２）主走査方向に第１パネル列Ｐ１と第２パネル列Ｐ２とが並べられ、第１パネル列Ｐ１に対して第１塗布工程のみが行われ、第２パネル列Ｐ２に対して第２塗布工程のみが行われる。このため、第１パネル列Ｐ１には第１方向に動く往動時にのみインクが塗布され、第２パネル列Ｐ２には第２方向に動く復動時にのみインクが塗布される。往復時にそれぞれパネル領域が割り当てられているので、往動と復動との双方が塗布に利用され、且つ、パネル領域での塗布膜の形状の均一性を高めることが可能になる。

（３）第１パネル列Ｐ１と第２パネル列Ｐ２とが隣接し、主走査工程では、第１塗布工程が行われた後に第２パネル列Ｐ２の上にノズル列Ｎｒ，Ｎｇ，Ｎｂが配置され、第２塗布工程が行われた後に第１パネル列Ｐ１の上にノズル列Ｎｒ，Ｎｇ，Ｎｂが配置される。このため、第１塗布工程で第１パネル列Ｐ１を塗布したノズル列Ｎｒ，Ｎｇ，Ｎｂは、主走査工程において第１パネル列Ｐ１から第２パネル列Ｐ２に移動する。そして、第２塗布工程で第２パネル列Ｐ２を塗布したノズル列Ｎｒ，Ｎｇ，Ｎｂは、主走査工程において第２パネル列Ｐ２から第１パネル列Ｐ１に移動する。よって、ノズル列Ｎｒ，Ｎｇ，Ｎｂは第１パネル列Ｐ１と第２パネル列Ｐ２とにおいて、塗布膜の形状の均一性を高めることが可能となる。

（４）ノズルの配列方向が第１方向と第２方向と主走査方向と交差する方向である。このため、第１方向及び第２方向へのノズルの位置が主走査方向において異なり、１度の塗布においてもノズルＮ毎にインクの乾燥状態が異なることで、パネル領域Ｐａ〜Ｐｆの雰囲気における蒸発した成分の量が異なる。よって、第１工程では第１パネル列Ｐ１（パネル領域Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ）にインクを塗布し、第２工程では第２パネル列Ｐ２（パネル領域Ｐｄ，Ｐｅ，Ｐｆ）にインクを塗布することで、パネル領域Ｐａ〜Ｐｆ内の塗布膜の形状の均一性を高めることができる。

なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することができる。
・上記実施形態では、副走査方向に３つのパネル領域を並べたパネル列を主走査方向に２つ並べたが、副走査方向に並ぶパネル領域の数量と、主走査方向に並ぶパネル列の数量は任意に変更可能である。

・上記実施形態では、ノズルヘッド１９に各色３つのノズルＮを搭載したが、各色２つのノズルＮを搭載してもよく、各色４つ以上のノズルＮを搭載してもよい。
・上記実施形態では、ノズルヘッド１９に搭載された主走査方向に並んだノズルＮを副走査方向へ斜めに配置したが、ノズルＮを副走査方向と直交する方向に並べてノズルヘッド１９に配置してもよい。

・上記実施形態では、第１パネル列Ｐ１に対して第１塗布工程を行い、第２パネル列Ｐ２に対して第２塗布工程を行ったが、各パネル領域Ｐに対して第１塗布工程又は第２塗布工程のいずれかのみが行われれば、各パネル領域Ｐに対して任意に選択してもよい。

・上記構成において、脱気タンク２１は、流量計２２とノズルヘッド１９との間に設けてもよい。また、ノズルヘッド１９から吐出されるインクに含まれる気泡がインクの性状に影響を与えない程度であれば、脱気タンク２１を設けなくてもよい。

・上記構成において、ステージ１２を固定し、ノズルヘッド１９による主走査と副走査とによってインクの塗布が行われるようにしてもよい。
・上記実施形態では、主走査方向と副走査方向を直交させたが、主走査方向と副走査方向のなす角を０°以外であれば任意に設定してもよい。

・第２塗布工程が基板１３の外側で行われて、基板１３における全てのパネル領域に対し第１塗布工程が行われてもよい。
・主走査方向に沿って第１パネル列、第２パネル列、…、第ｎパネル列（ｎは３以上の整数）が並ぶ場合には、奇数番目のパネル列に対し第１塗布工程が行われ、偶数番目のパネル列に対し第２塗布工程が行われてもよい。あるいは、第１パネル列から第ｍパネル列（ｍは２以上ｎ未満の整数）に対し第１塗布工程が行われ、第ｍ＋１パネル列から第ｎパネル列に対し第２塗布工程が行われてもよい。要するに、第１塗布工程では、特定のパネル領域にのみインクが吐出され、第２塗布工程及び主走査工程では、特定のパネル領域以外にインクが吐出される方法であればよい。

・主走査方向に沿って第１パネル列、第２パネル列、…、第ｎパネル列（ｎは３以上の整数）が並ぶ場合には、第１パネル列から第ｎパネル列に向けて、第１塗布工程と第２塗布工程とが順に繰り返されてもよい。あるいは、第１パネル列と第２パネル列との間でまず第１塗布工程と第２塗布工程とが繰り返され、第１パネル列と第２パネル列とに対する塗布が終了した後に、第３パネル列と第４パネル列との間で第１塗布工程と第２塗布工程とが繰り返される方法であってもよい。

・第１塗布工程では、ノズルヘッド１９に対し基板１３を第１方向に動かしてもよく、あるいは、ノズルヘッド１９を第１方向に動かし、且つ、基板１３を第２方向に動かしてもよく、さらには、ノズルヘッド１９を第２方向に動かし、且つ、基板１３を第１方向に動かしてもよい。要するに、第１塗布工程では、基板１３に対しノズル列が相対的に第１方向に動けばよい。

・第２塗布工程では、ノズルヘッド１９に対し基板１３を第２方向に動かしてもよく、あるいは、ノズルヘッド１９を第１方向に動かし、且つ、基板１３を第２方向に動かしてもよく、さらには、ノズルヘッド１９を第２方向に動かし、且つ、基板１３を第１方向に動かしてもよい。要するに、第２塗布工程では、基板に対しノズル列が相対的に第２方向に動けばよい。

・主走査工程では、基板１３に対しノズルヘッド１９が主走査方向に動いてもよく、あるいは、双方向である主走査方向の一方に基板１３が動き、他方にノズルヘッド１９が動いてもよい。要するに、主走査工程は、基板１３とノズル列とを相対的に主走査方向に動かす工程であればよい。

・上記実施形態では、塗布膜として有機ＥＬ素子の発光層を形成したが、これに代えて、正孔輸送層等の有機ＥＬ素子における他の機能層を形成してもよい。

１０…塗布膜形成装置、１１ａ，１１ｂ…ステージガイド、１２…ステージ、１３…基板、１４…画素列、１５…位置検出部、１６…ノズル部、１７…副走査ガイド、１９…ノズルヘッド、２０…加圧タンク、２１…脱気タンク、２２…流量計、２３…流量制御弁、３０…制御装置、３１…記憶部、３２…流量制御部、３３…駆動制御部、４０…操作部、Ｍａ…副走査モータ、Ｍｓ…ステージモータ、Ｎ…ノズル、Ｎｂ…青色ノズル列、Ｎｂ１…第１青色ノズル、Ｎｂ２…第２青色ノズル、Ｎｂ３…第３青色ノズル、Ｎｇ…緑色ノズル列、Ｎｇ１…第１緑色ノズル、Ｎｇ２…第２緑色ノズル、Ｎｇ３…第３緑色ノズル、Ｎｒ…赤色ノズル列、Ｎｒ１…第１赤色ノズル、Ｎｒ２…第２赤色ノズル、Ｎｒ３…第３赤色ノズル、Ｐ１…第１パネル列、Ｐ２…第２パネル列、Ｐａ…第１パネル領域、Ｐｂ…第２パネル領域、Ｐｃ…第３パネル領域、Ｐｄ…第４パネル領域、Ｐｅ…第５パネル領域、Ｐｆ…第６パネル領域。

Claims (4)

1. 基板に向けインクを切れ目なく吐出する２以上のノズルが配列されたノズル列を用い、
   前記ノズルの配列方向とは異なる方向が第１方向と設定され、
   前記第１方向とは反対の方向が第２方向と設定され、
   前記第１方向と交差する方向が主走査方向と設定され、
   前記基板のうちでパネルとなる部分がパネル領域と設定される場合に、
   前記基板に対し前記ノズル列を相対的に前記第１方向に動かす第１塗布工程と、
   前記基板に対し前記ノズル列を相対的に前記第２方向に動かす第２塗布工程と、
   前記基板と前記ノズル列とを相対的に前記主走査方向に動かす主走査工程とを含み、
   前記第１塗布工程と前記第２塗布工程とが交互に繰り返され、且つ、前記第１塗布工程と前記第２塗布工程との間に前記主走査工程が行われる塗布膜形成方法であって、
   前記第１塗布工程では、前記パネル領域にのみインクが吐出され、
   前記第２塗布工程及び前記主走査工程では、前記パネル領域以外にインクが吐出される
   ことを特徴とする塗布膜形成方法。
2. 前記パネル領域を第１パネル領域とし、
   前記基板には、前記第１パネル領域とは異なる第２パネル領域が形成され、
   前記第１パネル領域と前記第２パネル領域とが前記主走査方向に並べられ、
   前記第２塗布工程では、前記第２パネル領域にのみインクが吐出される
   ことを特徴とする請求項１に記載の塗布膜形成方法。
3. 前記基板は、２以上の前記第１パネル領域からなる第１パネル列と、２以上の前記第２パネル領域からなる第２パネル列とを備え、前記第１パネル列と前記第２パネル列とが隣接し、
   前記主走査工程では、
   前記第１塗布工程が行われた後に前記第２パネル列の上に前記ノズル列が配置され、
   前記第２塗布工程が行われた後に前記第１パネル列の上に前記ノズル列が配置される
   ことを特徴とする請求項２に記載の塗布膜形成方法。
4. 前記配列方向は、
   前記第１方向と前記第２方向と前記主走査方向とに交差する方向である
   ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の塗布膜形成方法。

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