CN104401137B - 液体材料的滴下方法以及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供在使喷嘴和基板以一定速度一边相对移动一边实施液体材料的滴下的技术中，可使喷嘴的移动速度高速化，并且可提高生产性的液体材料的滴下方法、程序以及装置。本发明的液体材料的滴下方法以及用于实施该方法的装置，在基板上排列多个具有滴下点的工件，在多个工件上以吐出装置所具有的喷嘴在直线路径多次纵越或横越的方式，使喷嘴和基板以一定速度一边相对移动一边将吐出信号发送至吐出装置而滴下液体材料，其特征在于，在各个直线路径当滴下点间的最短距离Lo不同时，算出在一个直线路径中滴下点间的最短距离Lo以及吐出装置实施一次吐出所需要的时间fo，并依照Lo/fo在各个直线路径设定喷嘴和基板的相对移动速度。

Description

液体材料的滴下方法以及装置
本申请是申请号为200880119046.8，申请日为2008年10月27日，发明名称为“液体材料的滴下方法以及装置”的中国专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及液体材料的滴下方法、程序以及装置，更详细地说，涉及如下方法、程序以及装置：对规则排列的多个相同面板(也称为工件)的一片基板，在与基板的被滴下面相对向的面内使滴下装置平行地移动，横越存在于各面板间的非滴下对象区域，从基板的一端至另一端途中不停止地一边使滴下装置以直线路径移动一边仅在滴下对象区域滴下液体材料。
背景技术
以往，在贴合二片相对向的基板，而在其间形成液晶层的面板(cell)的步骤中，使用在贴合二片基板后使用真空槽注入液晶的方法(真空注入法)。
但是，对大型的面板来说，也存在仅注入时间就要花费一天以上的情况。因此，近年来，随着面板的大型化对提高生产性的要求等，一种在贴合前在一边的基板上滴下液晶后再贴合的方法(滴下注入法)引起人们的注意。该方法由于不需要真空注入法所需的注入口，因此可节省注入口堵塞的密封步骤，并且可缩短注入时间，因此，格外提高生产性。
在一片基板上排列多个面板时，以多个吐出头来实施滴下作业。在一片基板上排列多行、多列的面板时，从控制上的观点等，一般在和行(或列)平行的一条直线上配设和行(或列)相同数量或大约数量的滴下头，而在每一列(或每一行)的列方向(或行方向)使其动作而实施滴下作业。
该滴下注入法除了数十英寸大小的大型面板外，也被使用于制造数英寸大小的小型面板的步骤。
作为液状物质滴下装置，例如有在专利文献1所揭示的液状物质滴下装置，其包括：可检测出液状物质供给部件和基板的相对位置的部件；以及依照所检测出的位置信息而控制液状物质的吐出时机的控制部件；利用控制部件对吐出时机的控制，在使液状物质供给部件和基板作相对移动的期间中实施；并且，以根据滴下位置间隔所决定的液状物质供给部件和基板的相对移动速度以及吐出时间间隔，使液状物质供给部件和基板作相对移动；并且，液状物质供给部件具有多个储备室，同时，其具有使液状物质的取出与吐出并行动作的部件。
专利文献1：日本专利第3973209号公报
发明内容
(发明要解决的问题)
如专利文献1，当使喷嘴和基板一边相对移动一边实施滴下动作时，存在喷嘴的移动速度受到吐出工作时间(cycletime)(实施1滴吐出所需要的时间)和滴下点间距离的限制的问题。例如，吐出工作时间(fo)为0.2秒，最小滴下点间距离(Lo)为10mm时，喷嘴的最大移动速度为50mm/秒(＝Lo/fo)。
即，在滴下点间距离有长短的滴下图案的情况下，当依据最小滴下距离Lo(滴下点间距离中最短的距离)算出喷嘴的移动速度时，则滴下点间距离在长的部位的移动时间变成障碍而有生产性降低的问题。虽然也不是不能使基板上的喷嘴的移动速度可变，但是因为控制液体材料的落下点非常困难，因此，必需使基板上的喷嘴的移动速度维持一定。例如，在滴下点间距离L1为10mm，而滴下点间距离L2为20mm的滴下图案的情况下，由于最小滴下距离为10mm，因此，必需以50mm/秒移动喷嘴。像这样，当滴下点间距离L2比L1大一定程度以上时，则其对生产性的影响很大。
特别是像小型面板那样在一片基板上排列多数个面板时，则滴下数必然变多，而各滴下点间的间隔变狭窄，在该情况下则其生产性的降低很明显。当对一片基板不浪费空间地排列面板时，则面板间的距离也变狭窄，由于滴下点间隔变狭窄，因此，也存在同样的问题。
为了解决上述问题，本发明的目的在于提供在使喷嘴和基板以一定速度一边相对移动一边实施液体材料的滴下的技术中，可使喷嘴的移动速度高速化，并且可提高生产性的液体材料的滴下方法、程序以及装置。
(解决技术问题的技术方案)
本发明第1方面的液体材料的滴下方法，在基板上排列多个具有滴下点的工件，在多个工件上以吐出装置所具有的喷嘴在直线路径多次纵越或横越的方式，使喷嘴和基板以一定速度一边相对移动一边滴下液体材料，所述液体材料的滴下方法的特征在于，在各个直线路径当滴下点间的最短距离(Lo)不同时，算出在一个直线路径中滴下点间的最短距离(Lo)以及吐出装置实施一次吐出所需要的时间(fo)，并依照Lo/fo在各个直线路径设定喷嘴和基板的相对移动速度。
本发明第2方面的液体材料的滴下方法的特征在于，在本发明第1方面中，在工件具有多个滴下点的情况下，在喷嘴的一个直线路径的移动中，对一个工件设定一次吐出的滴下顺序，并依照其滴下顺序中的最短距离(Lo)设定喷嘴和基板的相对移动速度。
本发明第3方面的液体材料的滴下方法，在基板上排列多个具有多个滴下点的工件，在多个工件上以吐出装置所具有的喷嘴在直线路径多次纵越或横越的方式，使喷嘴和基板以一定速度一边相对移动一边滴下液体材料，所述液体材料的滴下方法的特征在于，在喷嘴的一个直线路径的移动中，对一个工件设定一次吐出的滴下顺序，算出在其滴下顺序中的最短距离(Lo)以及吐出装置实施一次吐出所需要的时间(fo)，并依照Lo/fo设定喷嘴和基板的相对移动速度。
本发明第4方面的液体材料的滴下方法的特征在于，在本发明第2或第3方面中，当喷嘴在一行或一列的滴下点上以直线路径移动时，在一个工件中仅以和一行或一列的滴下点数相同的次数，设定喷嘴以直线路径在一行或一列移动的滴下顺序。
本发明第5方面的液体材料的滴下方法的特征在于，在本发明第1至4的任一方面中，算出在基板上的纵方向以直线路径移动所需要的时间以及在基板上的横方向以直线路径移动所需要的时间，并依照其来决定直线路径的移动方向。
本发明第6方面的程序，用于使液体材料的滴下装置实施本发明第1至5的任一方面的液体材料的滴下方法。
本发明第7方面的液体材料的滴下装置，具备有：具有可吐出液体材料的喷嘴的吐出装置；载置基板的平台；可使吐出装置和平台相对移动的驱动机构；以及可控制这些动作的控制部；所述液体材料的滴下装置的特征在于，当所述控制部在排列于基板上的具有滴下点的多个工件上，以吐出装置所具有的喷嘴在直线路径多次纵越或横越的方式使喷嘴和基板以一定速度一边相对移动一边滴下液体材料时，在各个直线路径当滴下点间的最短距离(Lo)不同时，算出在一个直线路径中滴下点间的最短距离(Lo)以及吐出装置实施一次吐出所需要的时间(fo)，并依照Lo/fo在各个直线路径设定喷嘴和基板的相对移动速度。
本发明第8方面的液体材料的滴下装置的特征在于，在本发明第7方面中，在工件具有多个滴下点的情况下，所述控制部在喷嘴的一个直线路径的移动中，对一个工件设定一次吐出的滴下顺序，并依照其滴下顺序中的最短距离(Lo)设定喷嘴和基板的相对移动速度。
本发明第9方面的液体材料的滴下装置，具备有：具有可吐出液体材料的喷嘴的吐出装置；载置基板的平台；可使吐出装置和平台相对移动的驱动机构；以及可控制这些动作的控制部；所述液体材料的滴下装置的特征在于，当所述控制部在排列于基板上的具有多个滴下点的多个工件上，以吐出装置所具有的喷嘴在直线路径多次纵越或横越的方式使喷嘴和基板以一定速度一边相对移动一边滴下液体材料时，在喷嘴的一个直线路径的移动中，对一个工件设定一次吐出的滴下顺序，算出在其滴下顺序中的最短距离(Lo)以及吐出装置实施一次吐出所需要的时间(fo)，并依照Lo/fo设定喷嘴和基板的相对移动速度。
本发明第10方面的液体材料的滴下装置的特征在于，在本发明第8或第9方面中，当喷嘴在一行或一列的滴下点上以直线路径移动时，所述控制部在一个工件中仅以和一行或一列的滴下点数相同的次数，设定喷嘴以直线路径在一行或一列移动的滴下顺序。
本发明第11方面的液体材料的滴下装置的特征在于，在本发明第7至10的任一方面中，所述控制部算出在基板上的纵方向以直线路径移动所需要的时间以及在基板上的横方向以直线路径移动所需要的时间，并依照其来决定直线路径的移动方向。
本发明第12方面的液体材料的滴下装置的特征在于，在本发明第7至11的任一方面中，所述吐出装置使与连通于具有吐出口的喷嘴的计量部内面密接滑动的柱塞，以所希望量移动而吐出液体材料。
(发明的效果)
根据本发明，能够使喷嘴的移动速度增大，并且能够使滴下涂布的生产性提高。
附图说明
图1表示本发明的滴下图案例的说明图。
图2是说明现有的方法的滴下路径图。
图3是说明本发明的第一方式的滴下路径图。
图4是说明本发明的第二方式的滴下路径图。
图5是实施本实施例的方法的滴下装置的概略斜视图。
图6是实施本实施例的方法的吐出装置的概略图。
图7表示实施本实施例的方法的滴下图案的一例的说明图。
图8是图7的一部分扩大图。
符号说明
101基板
102面板
103滴下点
104滴下区域
105非滴下区域
501滴下装置
502平台
503XYZ驱动机构
601吐出装置
602计量部
603柱塞
604喷嘴
605吐出阀
606储存容器
607液体供给阀
608螺杆轴
609马达
610孔
611吐出口。
具体实施方式
如图1所示，以一列排列3个图案的例说明用于实施本发明的优选实施方式。
(滴下对象)
在图1中，以P1～P12表示滴下点103的位置。
在基板101上排列有多片的面板102，对每一片面板纵横分别隔开L2的间隔设置四点的滴下点103。各面板102以相隔间距L3的方式配置。并且，邻接纵方向的2片面板102的滴下点103的最短滴下距离Lo为L1(L1＜L2)。
(滴下路径)
(A)利用现有的方法在面板102A～102C上实施滴下时，喷嘴在如图2的箭头的路径移动。图2中实线表示滴下动作，虚线则表示仅有移动的动作。此处，最小滴下距离Lo为L2。
在图2所示的方法中，在每片面板102上实施滴下动作。即，首先在第1片面板102A从P1朝P2、P11、P12实施滴下。并且，在面板102A滴下完成后，从终了点P12朝第2片面板102B的开始点P3移动。其次，在第2片面板102B从P3朝P4、P9、P10实施滴下。在面板102B滴下完成后，从终了点P10朝第3片面板102C的开始点P5移动。最后，在第3片面板102C从P5朝P6、P7、P8实施滴下，而完成动作。
在该方法中，在设在1片面板上的4个全部滴下点103，必需使喷嘴的移动方向变动，由于在各个滴下点103喷嘴的移动瞬间停止，喷嘴的加速/减速的时间损失很大，因此，要使全体的滴下所需要的时间(工作时间)缩短较困难。
(B)当利用本发明的第一方式，对与图2相同的滴下点实施滴下时，其滴下路径如图3所示。此处，最小滴下距离Lo为L1。
在本发明的第一方式中，从基板101的一端至另一端以直线路径移动，而横越过面板102A和面板102B之间或面板102B和面板102C之间的非滴下区域105。从开始点的P1朝P2、P3、P4、P5、P6一边使喷嘴移动一边实施滴下。接着，从P7向相反方向朝P8、P9、P10、P11、P12使喷嘴一边移动一边实施滴下。在第一方式中，在P1～P6间以及P7～P12间能够使喷嘴的移动速度保持一定，并且由于喷嘴的移动路径的全长也比(A)短，因此，与上述(A)的方法相比，能够缩短全体的滴下所需要的时间(工作时间，tacttime)。
第一方式特别有利的效果，是在每列(或每行)最小滴下距离Lo为不同的情形。例如，在第一列(对应于图3的P1～P6)的最小滴下距离Lo为10mm，并且第2列(对应于图3的P7～P10)的最小滴下距离Lo为30mm的情况下，理论上可使第二列的喷嘴的移动速度成为第一列的喷嘴的移动速度的3倍。此时，当与在列方向以直线路径移动时的最小滴下距离Lo的差相比，在行方向以直线路径移动时的最小滴下距离Lo的差为较大时，也可以通过在行方向实施直线路径的移动，来提高喷嘴的移动速度。
(C)当利用本发明的第二方式，对与图2相同的滴下点实施滴下时，其滴下路径如图4所示。此处，最小滴下距离Lo为L3。
在上述(B)的方式中，由于最小滴下距离Lo为图1的距离L1，因此，喷嘴移动速度的高速化有其界限。因而，在第二方式中，从基板的一端至另一端以直线路径移动的单向移动中，在一片面板102实施各一滴的滴下而使最小滴下距离Lo变长。即，在第1次的直线路径的移动以P1、P3、P5的顺序实施滴下，而在第2次的直线路径的移动以P6、P4、P2的顺序实施滴下。即，喷嘴在基板上的纵方向一个来回时则完成排在纵方向的滴下点(一列上的滴下点)的滴下。接着使喷嘴移动至邻列，以P12、P10、P8的顺序滴下，再折回而以P7、P9、P11的顺序实施滴下。
以下以具体例说明第二方式的效果。例如，在图1中L1为10mm，L2为20mm。则喷嘴的移动速度在理论上可成为3倍(＝L3/L1)。另一方面，由于直线路径的移动次数为2倍，因此，如果不考虑折回所需的时间，则可以说时间缩短的效果为1.5倍。
在一个直线路径上，当在各面板具有2个滴下点的滴下图案中考虑折回时间时，L3/Lo比在直线路径的移动次数的1.2倍以上，优选的是1.5倍以上，更优选地是2.0倍以上时，则可以说第二方式达到有利的效果。
在一个直线路径上，在各面板具有3个以上的滴下点的滴下图案中也可以持同样的看法。当在一个直线路径上滴下点数有10个以上时，L3/Lo比在直线路径的移动次数的1.6倍以上，优选的是2.4倍以上，更优选的是3.2倍以上时，则可以说第二方式达到有利的效果。
以下虽然利用实施例详细说明本发明，但本发明并不受限于任一实施例。
实施例
(滴下装置)
图5为用于实施本实施例的方法的滴下装置501的概略斜视图。
本实施例的滴下装置501具备有：可滴下液体材料的多个吐出装置601；可载置被滴下液体材料的基板101的平台502；以及配设有吐出装置601、并且使吐出装置601在平台502上朝XYZ方向相对移动的XYZ驱动机构503。在本实施例中，虽然设有3个吐出装置601，但其安装数量可以依照基板101的大小或面板102的数量而变更，例如，也可以设置2个以下或4个以上。
本实施例的吐出装置601，是使密接于计量管内而进退移动的柱塞高速地进出移动以使液体材料从吐出口飞滴出的柱塞型的吐出装置。
如图6所示，吐出装置601具备有：管形状的计量部602；内接于计量部602的柱塞603；具有吐出口611的喷嘴604；连通/遮断计量部602与喷嘴604的吐出阀605；储存液体材料的储存容器606；连通/遮断储存容器606与计量部602的液体供给阀607；以及通过驱动螺杆轴608而驱动柱塞603的马达609。
(吐出步骤)
在利用吐出装置601的吐出步骤中，首先实施液体材料的填充。首先，使柱塞603朝向连接至液体供给阀607与计量部602的孔610的附近且不超越的位置(在图6中为比孔610稍上方的位置)移动。然后，打开液体供给阀607，使储存容器606和计量部602连通，再使柱塞603后退移动。于是，储存容器606内的液体材料通过液体供给阀607流入计量部602，当柱塞603后退至最上端时，填充终了。
其次，填充液体材料的吐出，通过打开吐出阀605，并对应于所希望的吐出量而使柱塞603进出移动来实施。利用柱塞603的进出动作所作的吐出，通过在急速加速后，使马达609急遽地停止，再急速地使柱塞603停止来实施。计量部602内的液体材料，由于柱塞603的急速移动以及急速停止所赋予的惯性力而从喷嘴604前端被吐出。柱塞603移动至最下端后，关闭吐出阀605，打开液体供给阀607，使柱塞603后退移动以填充液体材料。
如上所述，从储存容器606向计量部602填充液体材料，并使计量部602内的液体材料从喷嘴604吐出，如此反复实施滴下作业。
由于向计量部602内可填充多次吐出量的液体材料，因此，填充至计量部602内的液体材料的量，例如可对应于1片面板份或1片基板份等用途而作决定。
(滴下图案的例)
图7以及图8表示记有具体数值的滴下图案的一例。图7表示基板101全体的图，图8是其一部分扩大的图。
图7表示的滴下图案，在横750mm、纵620mm大小的基板101上，配置纵20行、横17列的1.5英寸大小的面板102。在1片面板102上，纵横各以10mm间隔设定5点滴下点103。面板102所排列的间隔为，向纵方向大约31mm，向横方向大约44mm。
(喷嘴的移动速度)
当考虑以1个吐出装置601对一列的面板102作滴下动作的情形时，在图2～图4所说明的各个方法(上述(A)～(C)的方法)中，滴下动作中的喷嘴的移动速度如下所示。并且，吐出周期fo对每1次吐出为0.2秒。
图2中例示的上述(A)的方法中，由于最小滴下距离Lo为10mm，因此，最大速度为50mm/sec(＝Lo/fo)。
图3中例示的上述(B)的方法中，由于第n1列以及第n3列的最小滴下距离Lo为10mm，因此，喷嘴的最大移动速度为50mm/sec，由于第n2列的最小滴下距离Lo为31mm，因此，喷嘴的滴下时移动速度为155mm/sec。
图4中例示的上述(C)的方法中，由于第n1～n3的全部列的滴下点间隔为31mm，因此，喷嘴的滴下时移动速度为155mm/sec。
并且，由于基板101上的喷嘴604的移动速度为一定，因此，喷嘴604从起点的稍微前边起移动，而在折回地点喷嘴604从基板101上超出而折回。
(工作时间)
在通过上述(A)～(C)的方法涂布20片面板的情况下，从上述速度所计算的滴下动作开始至终了为止所花的时间(工作时间)如下所示。
在上述(A)的方法中，20片面板的工作时间为30.1秒。
在该方法中，以a11→a12→a21→a31→a32→a13的顺序实施滴下。当a11→c11间的各点的移动分别为大约0.2秒时，则1片面板的涂布时间大约为0.8秒。面板间的移动所花的时间，例如，由于c11和a13的距离大约为37mm，因此为大约0.74秒。因此，20片面板的工作时间为(0.2秒×20)+(0.74秒×19)＝30.1秒。
在上述(B)的方法中，20片面板的工作时间为27.8秒。
在该方法中，以a11→a12→a13→a14→…→a22→a21→a31→a32的顺序实施滴下。a1列和a3列的涂布的工作时间为(10〔mm〕×20)+(21〔mm〕×10)/50〔mm/sec〕×2列≒24秒。a2列的涂布的工作时间为(31〔mm〕×19)/155〔mm/sec〕≒3.8秒。因此，20片面板的工作时间为24+3.8秒＝27.8秒。并且，当折回部分的移动大约为0.6秒时，则20片面板的工作时间为27.8秒+0.6秒×2＝29秒。
在上述(C)的方法中，20片面板的工作时间为19.0秒。
在该方法中，以a11→a13→a15→…→a140→a→c138→…→a12→a21→a22→…→a220→a339→a337→…→a338→a340的顺序实施滴下。在一个直线路径的移动所花的工作时间为(31〔mm〕×19)/155〔mm/sec〕≒3.8秒。由于a1列和a3列在二个直线路径移动，a2列在一个直线路径移动，因此，在直线路径的移动次数为5次。因此，合计的工作时间为3.8秒×5＝19.0秒。并且，在a1列、a3列的折回部分的移动大约为0.4秒，在a2列的折回大约为0.6秒时，则20片面板的工作时间为19.0秒+2.0秒＝21.0秒。
由以上的结果可以确认，与滴下方法(A)相比，依照本实施例的滴下方法中的上述(B)以及(C)能够缩短工作时间。
并且，在横方向实施喷嘴604在直线路径的移动，也能够可缩短工作时间。
以上说明的滴下方法仅为一例而已，但本发明并不受限于此例。例如，也存在根据所希望的液体材料的量而改变滴下点数的情况。并且，也存在根据滴下点数或对面板内液体材料所扩散的情形等而改变滴下点的配置的情况。并且，当然当基板或面板的尺寸变更时，上述的数值也会改变。
(产业上的可利用性)
本发明可适用于液体材料从吐出装置离开后接触至工件的类型的吐出方式，例如，可实施于在阀座使液体材料从喷嘴前端飞出而碰撞阀体的喷射式、连续喷射方式或依需要量(demand)方式的喷注类型等。

Claims (13)

1.一种液体材料的滴下方法，在基板上排列多个具有多个滴下点的面板，在多个面板上通过一个吐出装置所具有的喷嘴在直线路径多次纵越或横越的滴下路径，使喷嘴和基板相对移动，并且使所述直线路径中的喷嘴的移动速度一定而滴下液体材料，所述液体材料的滴下方法的特征在于，
在所述滴下路径的一个直线路径的移动中，以在邻接的滴下点上不进行吐出的方式设定滴下顺序，算出在其滴下顺序中的最短距离Lo以及所述一个吐出装置实施一次吐出所需要的时间fo，并依照Lo/fo设定喷嘴和基板的相对移动速度。
2.根据权利要求1所述的液体材料的滴下方法，其特征在于，
在所述滴下路径中，当所述一个吐出装置的喷嘴在一行或一列的滴下点上以直线路径移动时，
在一个面板中仅以和一行或一列的滴下点数相同的次数，设定该喷嘴以直线路径在一行或一列移动的滴下顺序。
3.根据权利要求1所述的液体材料的滴下方法，其特征在于，依照所述Lo/fo对所述滴下路径的所有所述直线路径设定喷嘴和基板的相对移动速度。
4.根据权利要求1所述的液体材料的滴下方法，其特征在于，所述滴下路径包含有在一个直线路径上的多个面板都具有多个滴下点的直线路径。
5.根据权利要求4所述的液体材料的滴下方法，其特征在于，在所述一个直线路径的移动中，对一个面板设定一次吐出的滴下顺序。
6.根据权利要求1、2、3、4或5所述的液体材料的滴下方法，其特征在于，在所述滴下路径中，算出所述一个吐出装置在基板上的纵方向以直线路径移动所需要的时间以及在基板上的横方向以直线路径移动所需要的时间，并依照其来决定所述一个吐出装置的直线路径的移动方向。
7.一种液体材料的滴下装置，具备有：具有可吐出液体材料的喷嘴的吐出装置；载置基板的平台；可使吐出装置和平台相对移动的驱动机构；以及可控制这些动作的控制部；所述液体材料的滴下装置的特征在于，
当所述控制部在排列于基板上的具有多个滴下点的多个面板上，通过一个吐出装置所具有的喷嘴在直线路径多次纵越或横越的滴下路径，使喷嘴和基板相对移动，并且使所述直线路径中的喷嘴的移动速度一定而滴下液体材料时，
在所述滴下路径的一个直线路径的移动中，以在邻接的滴下点上不进行吐出的方式设定滴下顺序，算出在其滴下顺序中的最短距离Lo以及所述一个吐出装置实施一次吐出所需要的时间fo，并依照Lo/fo设定喷嘴和基板的相对移动速度。
8.根据权利要求7所述的液体材料的滴下装置，其特征在于，在所述滴下路径中，当所述一个吐出装置的喷嘴在一行或一列的滴下点上以直线路径移动时，所述控制部在一个面板中仅以和一行或一列的滴下点数相同的次数，设定该喷嘴以直线路径在一行或一列移动的滴下顺序。
9.根据权利要求7所述的液体材料的滴下装置，其特征在于，依照所述Lo/fo对所述滴下路径的所有所述直线路径设定喷嘴和基板的相对移动速度。
10.根据权利要求7所述的液体材料的滴下装置，其特征在于，所述滴下路径包含有在一个直线路径上的多个面板都具有多个滴下点的直线路径。
11.根据权利要求10所述的液体材料的滴下装置，其特征在于，在所述一个直线路径的移动中，所述控制部对一个面板设定一次吐出的滴下顺序。
12.根据权利要求7、8、9、10或11所述的液体材料的滴下装置，其特征在于，所述控制部算出所述一个吐出装置在基板上的纵方向以直线路径移动所需要的时间以及在基板上的横方向以直线路径移动所需要的时间，并依照其来决定所述一个吐出装置的直线路径的移动方向。
13.根据权利要求7、8、9、10或11所述的液体材料的滴下装置，其特征在于，所述一个吐出装置具备：喷嘴，具有吐出口；计量部，连通于喷嘴；柱塞，与计量部内面密接滑动；所述一个吐出装置使该柱塞以所希望量移动而吐出液体材料。
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