JP6389379B2 - 液体材料滴下装置および方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体材料滴下装置および方法に関し、詳細には、滴下点間の距離を変更可能な複数点同時塗布を行うことのできる液体材料滴下装置および方法に関する。

液晶パネルの製造工程において、液晶層を形成する方法の一つとして、滴下注入法（ＯＤＦ）と呼ばれる方法がある。この方法は、貼り合わせ前に、貼り合わせを行う２枚の基板の一方に、液晶材料を定量滴下した後、真空中で貼り合わせる方法である。
基板７１への液晶材料の滴下は、液晶材料をせき止めるために矩形枠状に形成されたシール材７３の枠内に収まるよう、液晶材料の小滴（液滴７２）を複数個マトリクス状に配置するよう行われる（図７参照）。一台の滴下装置により一滴ずつ滴下していくのが基本であるが、処理速度向上のため複数滴同時に滴下することも行われる。例えば、一台の装置で複数滴同時に吐出を行う吐出装置として次のような装置がある。

特許文献１には、液体材料源に連結可能なディスペンサ本体を有し、ディスペンサ本体は、流体チャネル、流体チャネルと連通した流体チャネル出口及び流体チャネル出口の近くに設けられた弁座を有し、弁座に選択的に接触可能に流体チャネル内に可動的に設けられた弁部材を有し、弁部材に作動的に結合されていて、弁部材を選択的に動かして弁座に接触させたり離脱させることができる弁駆動装置を有し、チャネル出口に隣接してディスペンサ本体に結合された噴出ノズルを有し、噴出ノズルは、ノズル本体と、ノズル本体に設けられていて、流体チャネル出口と連通した複数のノズル出口とを有し、弁部材は、弁座との接触時に、複数のノズル出口から複数の液滴を同時に迅速に噴出させるのに十分な運動量を流体チャネル出口内の液体材料に与える、ジェッティングディスペンサ、が開示される。

特許文献２には、用紙に向かってインクを吐出する複数のノズルが配列されたヘッドユニットを複数有し、この複数のヘッドユニットが一体化されたラインヘッドにおいて、各ヘッドユニットにおける少なくとも一部のノズルが、用紙の法線方向に対する傾きであって、そのノズルから吐出されるインクが隣り合うヘッドユニットとの境界寄りに着弾する向きの傾きを有することを特徴とするラインヘッド、が開示される。

特開２００７−１６７８４４号公報 特開２００３−２５５６５号公報

従来、複数のノズルを有する滴下装置を用いて複数滴の同時塗布を行う場合、滴下点間の距離や塗布パターン形状を変更するには、ノズルが配設されるノズル部そのものを交換する必要があるが、ノズル部そのものを交換することは困難であった。他方で、ノズル部そのものを交換しないで滴下塗布を行うと、品質に大きな影響を与える場合があった。特に、液晶材料をせき止めるために矩形枠状に形成されたシール材の枠内に収まるようマトリクス状に液晶滴を塗布する場合、滴下点間の距離やパターン形状が容易に変えられないと、シール材の枠の大きさが変わったとき、シール材と液晶滴との距離を適切に保つことができず、貼り合わせた際に、液晶の広がり方にムラができてしまうという問題があった。

特許文献２のように、ノズル自体の形状を変形させる構成を採用すると、各ノズル間で吐出条件が異なってしまい、量や位置に関して高精度の塗布ができないという問題がある。

そこで、本発明では、複数点同時塗布を行うにあたり、容易に滴下点間の距離が変更可能である液体材料滴下装置および方法を提供することを目的とする。

滴下装置に係る本発明は、液体材料を計量する計量部と、計量部内を往復移動するプランジャと、吐出口を有するノズルを複数備えるノズル部と、計量部に液体材料を供給する供給流路と、計量部とノズル部および計量部と供給流路の連通を切り換える切換弁とを備える滴下装置において、前記ノズル部に、マトリクス状に複数点同時塗布を行えるように、一のノズルと隣り合うノズルとの間隔がいずれも同一となるように前記ノズルを底面から見てマトリクス状に配置するとともに、前記マトリクス状の配置の中心以外に配置された複数のノズルをそれらの吐出口中心軸と前記マトリクス状の配置の中心を通る垂直軸とが構成する角度θがいずれも同一となるように、かつ、前記垂直軸に対し前記吐出口がいずれも外側または内側を向くように傾けて配置したことを特徴とする。
上記滴下装置において、前記各ノズルが、底面から見て矩形の枠内でマトリクス状に配置されることを特徴としてもよいし、これに加え、前記ノズルが、ｎ^２（ｎは２以上の自然数）個のノズルからなることを特徴としてもよい。さらに、前記ノズルが、偶数個のノズルにより構成され、前記各ノズルの全部が、底面から見て正方形の枠内で傾斜して配置されていることを特徴としてもよいし、あるいは、前記ノズルが、奇数個のノズルにより構成され、中心以外のノズルが、底面から見て正方形の枠内で傾斜して配置され、中心にある一のノズルが、底面から見て正方形の枠の対角線の交点に配置されていることを特徴としてもよい。
上記滴下装置において、前記ノズル部が、一の流入流路および流入流路と前記吐出口と連通する分岐流路が形成されたノズルブロックを備え、当該ノズルブロックに前記ノズルが装着されることを特徴としてもよい。

塗布装置に係る本発明は、上記滴下装置と、基板が載置されるワークテーブルと、前記滴下装置とワークテーブルとを相対的に移動させる相対駆動装置と、記憶装置を有する制御部とを備えることを特徴とする。
上記塗布装置において、前記滴下装置を複数備え、一の滴下装置のノズル数、ノズルの間隔またはノズルの角度θが、他の滴下装置のノズルの間隔またはノズルの角度θと異なることを特徴としてもよいし、前記滴下装置を複数備え、全ての滴下装置のノズル数、ノズルの間隔およびノズルの角度θが同一であることを特徴としてもよいし、あるいは、前記制御部が、入力値に基づき前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を調節することにより、前記ノズルから吐出された液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節し、前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を一定としたまま、前記滴下装置と前記ワークテーブルとを水平方向に相対移動させながら液体材料をワークに滴下することを特徴してもよい。加えて、前記制御部の記憶装置に、前記ワークテーブルおよび前記滴下装置の垂直距離と液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）との相関関係パターンが複数記憶されており、前記入力値が、前記相関関係パターンの選択値であることを特徴としてもよい。

滴下方法に係る本発明は、上記塗布装置を用いた滴下方法であって、入力値に基づき前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を調節することにより、前記ノズルから吐出された液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節し、前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を一定としたまま、前記滴下装置と前記ワークテーブルとを水平方向に相対移動させながら液体材料をワークに滴下することを特徴とする。
上記滴下方法において、前記制御部の記憶装置に、前記ワークテーブルおよび前記滴下装置の垂直距離と液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）との相関関係パターンが複数記憶されており、前記入力値が、前記相関関係パターンの選択値であることを特徴としてもよい。
別の観点からの滴下方法に係る本発明は、前記滴下装置を複数備え、全ての滴下装置のノズル数、ノズルの間隔およびノズルの角度θが同一であることを特徴とする塗布装置を用いた滴下方法であって、前記複数の滴下装置の全てで同一の滴下塗布を行うことにより、多面取りを行うことを特徴とする。ここで、前記ワークが、液体材料が滴下される矩形の枠を備えることを特徴としてもよいし、あるいは、前記ワークが液晶パネル基板であり、前記液体材料が液晶であることを特徴としてもよい。

本発明によれば、複数点同時塗布を行うにあたり、滴下点間の距離を容易に変更することが可能となる。

第１実施形態に係る滴下装置の概略側面図である。 （ａ）第１実施形態に係る滴下装置で用いるノズル部の底面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図および（ｃ）Ｂ−Ｂ断面図である。 第１実施形態に係る滴下装置を用いて滴下を行うときの滴下高さと滴下点間距離との関係を説明する説明図である。（ａ）は滴下高さＨａのとき、（ｂ）は滴下高さＨｂのとき、（ｃ）は滴下高さＨｃのときの平面図を示している。 第１実施形態に係る塗布装置の概略斜視図である。 （ａ）第２実施形態に係るノズル部の底面図、（ｂ）Ｃ−Ｃ断面図および（ｃ）Ｄ−Ｄ断面図である。 （ａ）第３実施形態に係るノズル部の底面図および（ｂ）Ｅ−Ｅ断面図である。 液晶パネルの製造工程において基板に液体を滴下したときの状態を説明する説明図である。

以下に、本発明を実施するための形態例を説明する。
《第１実施形態》
第１実施形態に係る滴下装置１は、ノズル部６の鉛直方向中心から等間隔に配置された四つのノズル４を備えており、ノズル４と基板４６との距離を調節することにより、基板４６に着弾する四つの滴下点の距離を調節することが可能である。この滴下装置１は、ＸＹＺ駆動装置（５２、５３、５４）を備える塗布装置５１に取り付けられ、塗布対象物が載置されたワークテーブルに対して相対移動しながら塗布作業を行う。
以下では、滴下装置１および塗布装置５１の構成および動作を詳細に説明する。

＜滴下装置＞
図１に、第１実施形態に係る滴下装置１の概略側面図を示す。
第１実施形態の滴下装置１は、管形状の計量部２と、計量部２に内接するプランジャ３と、ノズル４を複数有するノズル部６と、計量部２とノズル部６および計量部２と供給流路１５の連通を切り換える切換弁７と、プランジャ駆動装置を内蔵する側面視Ｌ字形の本体９とを備えるプランジャ式滴下装置である。
計量部２は、内部に円柱状の空間である計量孔を有しており、計量孔にはプランジャ３が摺動自在に挿入されている。
プランジャ３は、端部に太径部８を有する棒状部材であり、太径部８とは反対側の端部が計量部２内へ挿入される。プランジャ３は、太径部８のすぐ近くをプランジャ駆動部材１０により把持され、プランジャ駆動部材１０を移動させるプランジャ駆動装置により符号１１方向に移動可能となっている。プランジャ３が計量部２の内壁に密接摺動することで、計量部２内に液体１９を吸い込んだり、計量部２から液体１９を押し出したりすることができる。

切換弁７は、供給流路１５と連通する流路Ａ１２と、計量部２と連通する流路Ｂ１３と、ノズル部６と連通する流路Ｃ１４とを備え、供給流路１５と計量部２を連通する第一位置、または計量部２とノズル部６を連通する第二位置を選択的に切り換えることができる。ここで、切換弁７は回転バルブとして構成してもよいし、スライドバルブとして構成してもよい。なお、流路Ｂ１３と流路Ｃ１４とは、プランジャ移動方向（符号１１）と同じ方向となるように配置されることが好ましい。これは、吐出に際し、プランジャ３による力を無駄なく液体１９へと伝えるためである。

供給流路１５は、容器１７に貯留された液体１９を供給するための液体配管１８と連通する流路であり、延設部材１６に内設される。延設部材１６は、供給流路１５と流路Ａ１２が気密に連通するように本体９に固設されている。供給流路１５と液体配管１８との間には、気泡除去機構２０が設けられている。気泡除去機構２０としては、例えば、液材供給部側に連通する第１の流路と、計量部側に連通する第２の流路と、第１の流路と第２の流路とを連通する、第１の流路より幅広の本体とを有し第１の流路の排出口が第２の流路の吸入口よりも上方位置に配設される機構（出願人に係る特許第４８９８７７８号参照）を用いることができる。なお、気泡除去機構２０は設けなくともよい。
液体１９を貯留する容器１７には、液体１９を圧送するための作動気体を供給する作動気体供給配管２３が接続される。
本体９は、ベース板２５に取り付けられており、同じベース板２５の上部には、容器１７を固定する容器支持部材２４が取り付けられている。ベース板２５は、後述するＸＹＺ駆動装置（５２、５３、５４）や固定スタンド等と接続するための接続部材２６に取り付けられている。

＜ノズル部＞
図２に、第１実施形態に係る滴下装置で用いるノズル部６の底面図並びにＡ−Ａ断面図およびＢ−Ｂ断面図をそれぞれ表す。
第１実施形態のノズル部６は、断面が五角形であるノズルブロック２７と、ノズルブロック２７の下面であるノズル接続面２８に配設された四つのノズル４とを備えて構成される。このノズル部６は、本体９の下面に着脱自在に装着されている。
以下では説明の便宜上、四つのノズル４をノズルＡ〜Ｄ（３４〜３７）といい、四つのノズルの吐出口５を吐出口Ａ〜Ｄ（３８〜４１）と呼ぶものとする。
ノズルブロック２７内部には、滴下装置１の流路Ｃ１４と連通する流入流路２９と、流入流路２９からノズルＡ〜Ｄ（３４〜３７）へと分岐する分岐流路Ａ〜Ｄ（３０〜３３）が形成されている。
ノズルブロック２７の斜面である下面は、四つに区画され、１つの区画に１つのノズル４がそれぞれ取り付けられる（符号３４〜３７）。第１実施形態では、図２に示すように、四つの同じ大きさの方形状平面を下面の中心が頂点となるような配置とすることで、ノズル接続面２８を形成している。すなわち、ノズルブロック２７は、底面から見ると正方形である。ノズルブロック２７の下面の区画数は、例示の区画数に限定されず、例えば２〜１６など任意の複数区画を設定することが可能であるが、区画数の数はｎ^２（ｎは２以上の自然数）であることが好ましい。ノズルブロック２７の下面の区画数とノズル４の数は、同一とすることが好ましい。

斜面に取り付けられた各ノズル４は、底面から見て正方形を構成するように等間隔に配置されている。すなわち、ノズルＡ３４、ノズルＢ３５、ノズルＣ３６およびノズルＤ３７がマトリクス状に配置されている。一のノズル４と隣り合う他のノズル４との間隔は、いずれのノズル４を選択しても同一である。
また、各ノズル４は１つの吐出口を有しており、吐出口中心軸４３がノズル接続面２８に対して垂直になるよう取り付けられている。第１実施形態では、ノズル接続面２８の各面が、ノズルブロック２７の垂直軸４２に対してそれぞれ所定の角度傾いているので、吐出口Ａ〜Ｄ（３８〜４１）がそれぞれノズルブロック２７の鉛直方向中心に対して外側を向くこととなる。ノズル接続面２８の各面の傾きの角度は、均等である。すなわち、図２に示したθａ、θｂ、θｃ、θｄが全て同じ（θａ＝θｂ＝θｃ＝θｄ）になるようにする。別の言い方をすれば、一のノズル４と垂直線が構成する角度θ（例えば、５〜６０度）は、どのノズル４を選択しても同一となる。

また、吐出口Ａ〜Ｄ（３８〜４１）は、ノズルブロック２７の各角を向くように配置されている。すなわち、底面２８の対角線上に吐出口Ａ〜Ｄ（３８〜４１）が位置するように配置されている（図２（ｃ）参照）。従って、吐出口Ａ〜Ｄ（３８〜４１）から吐出される四つの液滴４５を結んで形成される四角形は、ノズルブロック２７のノズルＡ〜Ｄ（３４〜３７）の配置と相似形の四角形となる。分岐流路Ａ〜Ｄ（３０〜３３）は、液体１９の吐出が円滑に行われるよう、ノズルＡ〜Ｄ（３４〜３７）のそれぞれの中心軸（吐出口中心軸４３）と同軸になるよう形成することが好ましい。

＜吐出動作＞
以上に説明した滴下装置１における吐出動作の概要は、次のとおりである。
（１）準備（初期充填工程）
まず、プランジャ３を計量部２内へ挿入しない状態で、液体１９を計量部２の上端にまで充填する。ついで、プランジャ３を計量部２内へ挿入し、プランジャ駆動部材１０に固定する。ついで、切換弁７により計量部２とノズル部６とを連通し、吐出口５から液体１９が出るまでプランジャ３をノズル部６の方向（進出方向）へ移動させる。
（２）吐出工程
切換弁７により計量部２とノズル部６とを連通し、プランジャ３を進出方向へ高速に移動させることで四つの吐出口５から同じ量の液体１９を飛翔吐出する。
（３）吸引工程
切換弁７により供給流路１５と計量部２とを連通し、プランジャ３を進出方向とは逆の方向（後退方向）へ移動させ、液体１９を計量部２内へと吸引する。
上記（２）と（３）の工程を繰り返すことで、連続定量吐出による塗布作業を行うことができる。なお、上記（２）と（３）の工程は、どちらが先でもよい。

＜滴下点間距離の調節＞
図３に、第１実施形態に係る滴下装置１を用いて滴下を行うときのノズル部６の高さ（Ｈ）と滴下点間距離（Ｌ）との関係を説明する説明図を示す。図３中、上側の図は側面から見たとき、下側の図は基板４６を上面から見た時の平面図を示している。なお、図３では、ノズル部６のみを簡略化して描いている。
ノズル４の吐出口５から排出された液滴４５は、ノズル４が所定の角度傾いているために、放物線状の飛翔軌跡４４を描きながら、塗布面である基板４６に到達する。ノズル部６の中心から等間隔に配置された四つのノズル４が放射状に均等に傾いているので、基板４６に塗布された液滴４５は、正方形の角部に配置されたような矩形状のパターンとなる。すなわち、図３下側に示すように、縦方向の滴下点距離（Ｌ１）と横方向の滴下点距離（Ｌ２）とは同じになる（Ｌ１＝Ｌ２）。

また、ノズル４が所定の角度傾いていて放物線状の飛翔軌跡４４を描くために、ノズル部６（吐出口５）と基板４６との間の距離（言い換えると、ノズル部６の高さ（Ｈ））を変えることで、縦方向および横方向の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を変えることができる。
ここで、中央に描かれた（ｂ）の場合を基準とする。（ｂ）の場合、基板４６から吐出口５までの距離がＨｂのとき、縦方向の滴下点距離はＬ１ｂであり、横方向の滴下点距離はＬ２ｂである。（ａ）のようにノズル部６を低くすると、液滴４５は、放物線状に広がる前に基板４６に到達するので、（ｂ）の場合と比べ滴下点間距離は短くなる（Ｌａ＜Ｌｂ）。
一方、（ｃ）のようにノズル部６を高くすると、液滴４５は、放物線状に広がった後に基板４６に到達するので、（ｂ）の場合と比べ滴下点間距離は長くなる（Ｌｃ＞Ｌｂ）。
このように、各ノズル４が所定の角度傾いているために、ノズル部６の高さ（Ｈ）を変えるだけで、縦方向および横方向の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を変えることができる。

ノズル４の傾き（θ）、ノズル部６の高さ（Ｈ）並びに縦方向および横方向の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）との関係は、予めの実験により表やグラフとし、制御部（図示せず）の記憶装置に記憶しておくとよい。このようにすることで、表示装置（図示せず）に表示された表やグラフに基づき、所望の縦方向および横方向の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を設定変更で簡単に実現することが可能となる。発明者の実験によると、例えばノズル４を１０度傾けたとき、高さ１５ｍｍから吐出を行うと滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）は各７．５ｍｍとなり、高さ１０ｍｍから吐出を行うと滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）は各６．５ｍｍ、高さ２０ｍｍから吐出を行うと滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）は各８．５ｍｍとなった。

＜塗布装置＞
図４に、第１実施形態に係る滴下装置１を備える塗布装置５１の概略斜視図を示す。
実施形態の塗布装置５１は、滴下装置１を上下方向（符号５７）へ移動可能とするＺ軸駆動装置５４と、Ｚ軸駆動装置５４が取り付けられ、左右方向（符号５５）へ移動可能とするＸ軸駆動装置５２と、Ｘ軸駆動装置５２が設けられるビーム６１を前後方向（符号５６）へ移動可能とするＹ軸駆動装置５３と、基板４６を載置するワークテーブル５８と、上記各駆動装置（５２、５３、５４）とワークテーブル５８が配設される架台６３と、図示しない制御部とから主に構成される。この塗布装置５１は、制御部が、ユーザの入力値に基づきワークテーブル５８と滴下装置１との垂直距離を調節することにより、各ノズル４から吐出された液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節し、ワークテーブル５８と滴下装置１との垂直距離を一定としたまま、滴下装置１とワークテーブル５８とを水平方向に相対移動させながら液体材料を滴下する滴下方法を実施することが可能である。ここで、ワークに滴下する滴下点はｍ１行×ｍ２列の行列により設定され、好ましくはｍ１およびｍ２のいずれもがノズル数ｎの倍数（自然数）となるようにする。

Ｘ軸駆動装置５２には、これを挟むようにＸ軸スライダ５９が設けられており、Ｚ軸駆動装置５４および滴下装置１を移動させることができる。また、Ｙ軸駆動装置５３の内側には、それぞれＹスライダ６０が設けられており、その上をＸ軸駆動装置５２が設けられたビーム６１がビーム支持部材６２に支えられて移動する。ＸＹＺ駆動装置を上記のように構成することで、滴下装置１を基板４６に対して相対的に移動させることができる。本発明では、垂直方向（Ｚ方向）の吐出口位置を調節することにより、滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節するので、Ｚ方向の位置決めを高精度に行うことができる機構をＸＹＺ駆動装置に採用することが好ましい。このようなＸＹＺ駆動装置としては、ボールネジとモータとの組み合わせ機構、リニアモータを用いた機構、ベルトやチェーンなどで動力を伝える機構などを用いることができる。
なお、本実施形態では、駆動装置をいわゆるガントリ型として構成したが、滴下装置１と基板４６（ワークテーブル５８）とを相対的に移動させることができるものであれば、どのような構成でもよい。例えば、ワークテーブル５８の下部にＸ軸駆動装置５２およびＹ軸駆動装置５３を設けて構成してもよい。

第１実施形態では、滴下装置１を４台設ける構成を例示しているが、設置台数はこれに限定されず、１台であってもよいし２台、３台などの複数台であってもよい。
滴下装置１を複数台設ける構成においては、全て同一種類の滴下装置１とする場合と、異なる種類の滴下装置１を組み合わせる場合とがある。同一の滴下装置１を複数台設けた場合には、基板４６内に複数のパネルを製作する、いわゆる多面取りに対応可能となる。異なる種類の滴下装置１を組み合わせた場合（例えば、滴下装置１ごとにノズル４の傾斜角度などを変えたノズル部６を設けた場合）には、一種類の滴下装置１と比べ、滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）をより多様に調整することが可能となる。

以上に説明した第１実施形態の塗布装置５１によれば、数十個以上の多点同時塗布を行うにあたり、滴下点間の距離（Ｌ１、Ｌ２）を容易に変更することが可能となる。この塗布装置５１は、特に滴下注入法（ＯＤＦ）において、液晶材料をせき止めるために矩形枠状に形成されたシール材と液晶滴との距離を適切に保つことで、液晶の広がり方を常に均一とすることを可能とするものである。

《第２実施形態》
図５に、第２実施形態に係る滴下装置１で用いるノズル部６の底面図並びにＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図をそれぞれ表す。以下では、第１実施形態と同じ部分（ノズル部６以外の部分）は説明を省略し、異なる部分のみ説明する。
第２実施形態のノズル部６は、四つのノズル（３４〜３７）の各吐出口（３８〜４１）が内側（ノズル部６の中心側）に向くように各ノズルが配設される点で、第１実施形態と相異する。
第２実施形態では、ノズル接続面２８を構成する四つの平面が、ノズル部６の中心が底面視最奥部となるように、ノズルブロック２７の垂直軸４２に対して所定の角度傾いている。すなわち、底面から見たときのノズルＡ〜Ｄ（３４〜３７）の吐出口Ａ〜Ｄ（３８〜４１）のそれぞれが、ノズルブロック２７の垂直軸４２に向くようになっている。
ノズルブロック２７内部には、滴下装置１の流路Ｃ１４と連通する流入流路２９と、流入流路２９からノズルＡ〜Ｄ（３４〜３７）へと分岐する分岐流路Ａ〜Ｄ（３０〜３３）が形成される点は第１実施形態と同じである。しかし、分岐流路Ａ〜Ｄ（３０〜３３）が途中で折れ曲がるように形成される点で第１実施形態と相異する。すなわち、分岐流路Ａ〜Ｄ（３０〜３３）は、流入流路２９と連通する上流部分では垂直軸４２から放射する方向に流路が形成され、ノズルＡ〜Ｄ（３４〜３７）と連通する下流部分ではノズルＡ〜Ｄ（３４〜３７）の吐出口中心軸４３と同軸の流路が形成され、上流部分と下流部分が屈曲部を介して接続されている。

第２実施形態においても、ノズルと基板との距離を調節することにより、基板に着弾する四つの滴下点の距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節することが可能である。第２実施形態は、四つのノズル（３４〜３７）の各吐出口（３８〜４１）が内側に向いているので、第１実施形態よりも狭い範囲で滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節する場面に適している。

《第３実施形態》
図６に、第３実施形態に係る滴下装置１で用いるノズル部６の底面図およびＥ−Ｅ断面図をそれぞれ表す。以下では、第１実施形態と同じ部分（ノズル部６以外の部分）は説明を省略し、異なる部分のみ説明する。
第３実施形態のノズル部６は、平方数のノズル４がマトリクス状に配置されている点は第１実施形態と共通するが、ノズル４の数が九つである点で第１実施形態と相異する。第３実施形態のノズル部６は、ノズルブロック２７の下面であるノズル接続面２８が九つに区画されており、一つの区画に一つのノズル４がそれぞれ取り付けられる。ノズル接続面２８を構成する九つの区画は、同じ大きさの方形状平面からなり、下面の中心が頂点となるような配置されている。ここで、中心の区画は、水平に配置されている。中心以外の八つの区画は、ノズル４の吐出口５が外側を向くよう、ノズルブロック２７の垂直軸４２に対して所定の角度傾いている。この角度は、塗布される液滴４５が四角形の角や辺の中点に配置されるよう、均等になっている。

ノズルブロック２７は、底面から見ると正方形である。中心以外の八つのノズル４は、ノズルブロック２７より一回り小さい底面視正方形の辺の中央または頂点に配置されている。この正方形の対角線の交点に、中心にあるノズル４は配置されている。すなわち、水平方向に隣り合う各ノズル４の距離は等しくなっている。
第３実施形態では、九つのノズル４によりノズル部６を構成したが、ノズル４の数はこれに限定されず、ｎ^２（ｎは２以上の自然数）個のノズルによりノズル部６を構成することが可能である。すなわち、例えば、ノズル４の数を２以上の平方（すなわち、４、９、１６、２５、３６・・・）とすることで、マトリクス状の滴下パターンを維持しつつ、滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を均等に調整することが可能である。

第３実施形態においても、ノズルと基板との距離を調節することにより、基板に着弾する九つの滴下点の距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節することが可能である。第３実施形態では、九つの滴下を同時に行うことができるので、第１実施形態と比べ生産性を高めることが可能である。

１：滴下装置、２：計量部、３：プランジャ、４：ノズル、５：吐出口、６：ノズル部、７：切換弁、８：太径部、９：本体、１０：プランジャ駆動部材、１１：プランジャ移動方向、１２：流路Ａ、１３：流路Ｂ、１４：流路Ｃ、１５：供給流路、１６：延設部材、１７：容器、１８：液体配管、１９：液体、２０：気泡除去機構、２１：液体の流れ、２２：気体の流れ、２３：作動気体供給配管、２４：容器支持部材、２５：ベース板、２６：接続部材、２７：ノズルブロック、２８：ノズル接続面、２９：流入流路、３０：分岐流路Ａ、３１：分岐流路Ｂ、３２：分岐流路Ｃ、３３：分岐流路Ｄ、３４：ノズルＡ、３５：ノズルＢ、３６：ノズルＣ、３７：ノズルＤ、３８：吐出口Ａ、３９：吐出口Ｂ、４０：吐出口Ｃ、４１：吐出口Ｄ、４２：ノズルブロックの垂直軸、４３：吐出口中心軸、４４：飛翔軌跡、４５：液滴、４６：基板（塗布面）、４７：分岐流路、５１：塗布装置、５２：Ｘ軸駆動装置、５３：Ｙ軸駆動装置、５４：Ｚ軸駆動装置、５５：Ｘ移動方向（左右方向）、５６：Ｙ移動方向（前後方向）、５７：Ｚ移動方向（上下方向）、５８：ワークテーブル、５９：Ｘ軸スライダ、６０：Ｙ軸スライダ、６１：ビーム、６２：ビーム支持部材、６３：架台、７１：基板、７２：液滴、７３：シール材

Claims (16)

1. 液体材料を計量する計量部と、計量部内を往復移動するプランジャと、吐出口を有するノズルを複数備えるノズル部と、計量部に液体材料を供給する供給流路と、計量部とノズル部および計量部と供給流路の連通を切り換える切換弁とを備える滴下装置において、
   前記ノズル部に、マトリクス状に複数点同時塗布を行えるように、一のノズルと隣り合うノズルとの間隔がいずれも同一となるように前記ノズルを底面から見てマトリクス状に配置するとともに、前記マトリクス状の配置の中心以外に配置された複数のノズルをそれらの吐出口中心軸と前記マトリクス状の配置の中心を通る垂直軸とが構成する角度θがいずれも同一となるように、かつ、前記垂直軸に対し前記吐出口がいずれも外側または内側を向くように傾けて配置したことを特徴とする滴下装置。
2. 前記各ノズルが、底面から見て矩形の枠内でマトリクス状に配置されることを特徴とする請求項１に記載の滴下装置。
3. 前記ノズルが、ｎ^２（ｎは２以上の自然数）個のノズルからなることを特徴とする請求項２に記載の滴下装置。
4. 前記ノズルが、偶数個のノズルにより構成され、
   前記各ノズルの全部が、底面から見て正方形の枠内で傾斜して配置されていることを特徴とする請求項３に記載の滴下装置。
5. 前記ノズルが、奇数個のノズルにより構成され、
   中心以外のノズルが、底面から見て正方形の枠内で傾斜して配置され、
   中心にある一のノズルが、底面から見て正方形の枠の対角線の交点に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の滴下装置。
6. 前記ノズル部が、一の流入流路および流入流路と前記吐出口と連通する分岐流路が形成されたノズルブロックを備え、当該ノズルブロックに前記ノズルが装着されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の滴下装置。
7. 請求項１に記載の滴下装置と、基板が載置されるワークテーブルと、前記滴下装置とワークテーブルとを相対的に移動させる相対駆動装置と、記憶装置を有する制御部とを備える塗布装置。
8. 前記滴下装置を複数備え、一の滴下装置のノズル数、ノズルの間隔またはノズルの角度θが、他の滴下装置のノズルの間隔またはノズルの角度θと異なることを特徴とする請求項７に記載の塗布装置。
9. 前記滴下装置を複数備え、全ての滴下装置のノズル数、ノズルの間隔およびノズルの角度θが同一であることを特徴とする請求項７に記載の塗布装置。
10. 前記制御部が、入力値に基づき前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を調節することにより、前記ノズルから吐出された液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節し、前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を一定としたまま、前記滴下装置と前記ワークテーブルとを水平方向に相対移動させながら液体材料をワークに滴下することを特徴とする請求項７に記載の塗布装置。
11. 前記制御部の記憶装置に、前記ワークテーブルおよび前記滴下装置の垂直距離と液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）との相関関係パターンが複数記憶されており、
    前記入力値が、前記相関関係パターンの選択値であることを特徴とする請求項１０に記載の塗布装置。
12. 請求項１０に記載の塗布装置を用いた滴下方法であって、
    入力値に基づき前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を調節することにより、前記ノズルから吐出された液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節し、前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を一定としたまま、前記滴下装置と前記ワークテーブルとを水平方向に相対移動させながら液体材料をワークに滴下することを特徴とする滴下方法。
13. 前記制御部の記憶装置に、前記ワークテーブルおよび前記滴下装置の垂直距離と液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）との相関関係パターンが複数記憶されており、
    前記入力値が、前記相関関係パターンの選択値であることを特徴とする請求項１２に記載の滴下方法。
14. 請求項９に記載の塗布装置を用いた滴下方法であって、前記複数の滴下装置の全てで同一の滴下塗布を行うことにより、多面取りを行うことを特徴とする滴下方法。
15. 前記ワークが、液体材料が滴下される矩形の枠を備えることを特徴とする請求項１４に記載の滴下方法。
16. 前記ワークが液晶パネル基板であり、前記液体材料が液晶であることを特徴とする請求項１４に記載の滴下方法。