CN106461989A - 液体材料滴下装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种液体材料滴下装置及方法，其在进行多点同时涂布时，能容易变更滴下点间的距离。本发明的滴下装置及使用该装置的方法中，该滴下装置具备计量液体材料的计量部(2)、往返移动于计量部(2)内的柱塞(3)、具备多个具有吐出口(5)的喷嘴(4)的喷嘴部(6)、向计量部(2)供给液体材料的供给流路(15)、以及对计量部(2)与喷嘴部(6)及计量部(2)与供给流路(15)的连通进行切换的切换阀，在上述喷嘴部(6)，以使一个喷嘴与邻接的喷嘴的间隔均相同的方式配置上述喷嘴(4)，并以使一个喷嘴与垂直线构成的角度θ均相同的方式倾斜配置上述喷嘴。

Description

液体材料滴下装置及方法
技术领域
本发明涉及液体材料滴下装置及方法，详细而言，涉及可进行能变更滴下点间的距离的多点同时涂布的液体材料滴下装置及方法。
背景技术
在液晶面板的制造步骤中，作为形成液晶层的方法之一，具有被称为滴下注入法(ODF)的方法。该方法为在贴合前将液晶材料定量滴下至进行贴合的2片基板的一者之后，在真空中进行贴合的方法。
液晶材料的朝基板71的滴下采用以下的方式进行，即、将多个液晶材料的小滴(液滴72)配置成矩阵状，以使液晶材料收纳于用于拦阻液晶材料而形成为矩形框状的密封材料73的框内(参照图7)。基本上通过一台滴下装置各一滴地滴下，但为了提高处理速度，也可同时滴下多个液滴。例如，作为利用一台装置同时进行多个滴吐出的吐出装置，具有如下的装置。
专利文献1公开一种喷注式分配器，其具有可连结于液体材料源的分配器主体，分配器主体具备流体通道、与流体通道连通的流体通道出口、及设于流体通道出口附近的阀座，且具有可选择性地接触于阀座而可活动地设于流体通道内的阀构件，且具有阀驱动装置，其能使阀构件动作地结合，选择性地使阀构件移动而可使阀构件接触或脱离阀座，且具有与通道出口相邻而结合于分配器主体的喷出喷嘴，喷出喷嘴具有喷嘴主体、及设于喷嘴主体且与流体通道出口连通的多个喷嘴出口，当阀构件与阀座接触时，对流体通道出口内的液体材料提供能充分使多个液滴自多个喷嘴出口同时且迅速地喷出的运动量。
专利文献2公开一种线型喷头，其特征在于具有多个喷头单元，喷头单元排列有多个朝纸张吐出墨水的喷嘴，且在该多个喷头单元形成一体化的线型喷头中，各喷头单元中的至少一部分的喷嘴具有相对于纸张的法线方向的倾斜，且该倾斜为朝向使自该喷嘴吐出的墨水降落于与邻接的喷头单元的边界附近的方向。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2007-167844号公报
专利文献2：日本专利特开2003-25565号公报
发明内容
发明所要解决的问题
现有技术中，在使用具有多个喷嘴的滴下装置进行多滴的同时涂布的情况下，为了变更滴下点间的距离或涂布图案形状，需要交换配置有喷嘴的喷嘴部本身，但对喷嘴部本身进行交换是困难的。另一方面，若不交换喷嘴部本身而进行滴下涂布，会有对质量产生很大的影响的情况。尤其是，在呈矩阵状地涂布液晶滴以使液晶材料收纳于用于拦阻液晶材料而形成为矩形框状的密封材料的框内的情况下，若滴下点间的距离或图案形状不能容易进行改变，当密封材料的框的大小有变化时，则无法适宜地保持密封材料与液晶滴的距离，在贴合时可能会有对液晶的扩散产生不均的问题。
如专利文献2，若采用使喷嘴本身的形状变形的结构，则在各喷嘴间吐出条件相异，恐有对于量及位置无法进行高精度的涂布的问题。
因此，本发明的目的在于提供一种液体材料滴下装置及方法，在进行多点同时涂布时，能容易变更滴下点间的距离。
解决问题的技术手段
涉及滴下装置的本发明，其特征在于：具备计量液体材料的计量部、往返移动于计量部内的柱塞、具备多个具有吐出口的喷嘴的喷嘴部、朝计量部供给液体材料的供给流路、以及对计量部与喷嘴部及计量部与供给流路的连通进行切换的切换阀，在上述喷嘴部，以使一个喷嘴与邻接的喷嘴的间隔均相同的方式配置上述喷嘴，并以使一个喷嘴与垂直线构成的角度θ均相同的方式倾斜配置上述喷嘴。
上述滴下装置中，其特征也可为：上述喷嘴包含n2(n为2以上的自然数)个的喷嘴，此外，其特征也可为：在上述喷嘴部，以使上述喷嘴的吐出口相对于上述喷嘴部的铅垂方向中心朝向外侧的方式，配置上述喷嘴，或者，在上述喷嘴部，以使上述喷嘴的吐出口相对于上述喷嘴部的铅垂方向中心朝向内侧的方式，配置上述喷嘴。
上述滴下装置中，其特征也可为：上述喷嘴部具备喷嘴块，该喷嘴块形成有一个流入流路、及连通流入流路与上述吐出口的分歧流路，在该喷嘴块安装上述喷嘴。
涉及涂布装置的本发明，其特征在于：具备：上述滴下装置；工件台，其载置有基板；XYZ驱动装置，其使上述滴下装置与工件台相对地移动；及控制部，其具有存储装置。
在上述涂布装置中，其特征也可为：具备多个上述滴下装置，一个滴下装置的喷嘴数、喷嘴的间隔或喷嘴的角度θ，与其他滴下装置的喷嘴的间隔或喷嘴的角度θ不同，或者，其特征也可为，具备多个上述滴下装置，全部的滴下装置的喷嘴数、喷嘴的间隔及喷嘴的角度θ相同。
涉及滴下方法的本发明，使用上述涂布装置的滴下方法，其特征在于：基于输入值调节上述工件台与上述滴下装置的垂直距离，由此对自上述喷嘴吐出的液滴的滴下点间距离(L1、L2)进行调节，在将上述工件台与上述滴下装置的垂直距离保持一定的状态下，一边使上述滴下装置与上述工件台在水平方向相对移动，一边将液体材料滴下至工件。
上述滴下方法中，其特征也可为：在上述控制部的存储装置存储有多个上述工件台及上述滴下装置的垂直距离与液滴的滴下点间距离(L1、L2)的相关关系模型，上述输入值为上述相关关系模型的选择值。
自其他的观点的滴下方法的本发明，为使用涂布装置的滴下方法，该涂布装置的特征在于：具备多个上述滴下装置，全部的滴下装置的喷嘴数、喷嘴的间隔及喷嘴的角度θ相同，该滴下方法的特征在于：利用上述多个滴下装置的所有滴下装置进行相同的滴下涂布，由此进行多重涂布。在此，其特征也可为：上述工件为液晶面板基板，上述液体材料为液晶。
发明效果
根据本发明，在进行多点同时涂布时，可容易变更滴下点间的距离。
附图说明
图1为第1实施方式的滴下装置的概略侧视图。
图2(a)为在第1实施方式的滴下装置中使用的喷嘴部的仰视图，(b)为沿A-A线所作的剖面图，及(c)为沿B-B线所作的剖面图。
图3为说明使用第1实施方式的滴下装置进行滴下时的滴下高度与滴下点间距离的关系的说明图。(a)为显示滴下高度Ha时的俯视图，(b)为显示滴下高度Hb时的俯视图，及(c)为显示滴下高度Hc时的俯视图。
图4为第1实施方式的涂布装置的概略立体图。
图5(a)为第2实施方式的喷嘴部的仰视图，(b)为沿C-C线所作的剖面图，及(c)为沿D-D线所作的剖面图。
图6(a)为第3实施方式的喷嘴部的仰视图，及(b)为沿E-E线所作的剖面图。
图7为说明于液晶面板的制造步骤中将液体滴下至基板时的状态的说明图。
具体实施方式
以下，对用以实施本发明的形态例进行说明。
《第1实施方式》
第1实施方式的滴下装置1具备自喷嘴部6的铅垂方向中心等间隔配置的4个喷嘴4，且通过调节喷嘴4与基板46的距离，可调节降落于基板46的4个滴下点的距离。该滴下装置1安装于具有XYZ驱动装置(52、53、54)的涂布装置51，其一边相对于载置有涂布对象物的工件台进行相对移动一边进行涂布作业。
以下，对滴下装置1及涂布装置51的结构及动作进行详细说明。
<滴下装置>
图1为显示第1实施方式的滴下装置1的概略侧视图。
第1实施方式的滴下装置1为柱塞式滴下装置，其具备：管状的计量部2；柱塞3，其内接于计量部2；喷嘴部6，其具有多个喷嘴4；切换阀7，其切换计量部2与喷嘴部6、及计量部2与供给流路15的连通；及侧视L字形的主体9，其内置有柱塞驱动装置。
计量部2在内部具有圆柱状的空间即计量孔，柱塞3能滑动自如地插入计量孔。
柱塞3为在端部具有大径部8的棒状构件，与大径部8相反侧的端部朝计量部2内插入。柱塞3通过柱塞驱动构件10把持大径部8的附近，且通过使柱塞驱动构件10移动的柱塞驱动装置而可朝符号11方向移动。通过使柱塞3密接滑动于计量部2的内壁，可朝计量部2内吸入液体19，或自计量部2推出液体19。
切换阀7具备与供给流路15连通的流路A12、与计量部2连通的流路B13、及与喷嘴部6连通的流路C14，且可选择性地对连通供给流路15与计量部2的第一位置、或连通计量部2与喷嘴部6的第二位置进行切换。其中，切换阀7既可作为旋转阀而构成，也可作为滑阀而构成。再者，优选地，流路B13及流路C14配置为与柱塞移动方向(符号11)为相同方向。这是为了在吐出时无浪费地向液体19传递柱塞3所产生的力。
供给流路15为与用以供给贮存于容器17的液体19的液体配管18连通的流路，且内设于延伸构件16。延伸构件16固设于主体9，以使供给流路15与流路A12气密性地连通。在供给流路15与液体配管18之间设置有气泡除去机构20。作为气泡除去机构20，例如，可使用具有连通于液体材料供给部侧的第1流路、连通于计量部侧的第2流路、及连通第1流路与第2流路且宽度较第1流路宽的主体，且第1流路的排出口配置于较第2流路的吸入口上方的位置的机构(参照申请人的专利第4898778号)。再者，也可不设置气泡除去机构20。
在贮存液体19的容器17连接有供给用以压送液体19的工作气体的工作气体供给配管23。
主体9安装于基座板25，在该基座板25的上部安装有固定容器17的容器支撑构件24。基座板25安装于用以与后述的XYZ驱动装置(52、53、54)或固定支架等连接的连接构件26。
<喷嘴部>
在图2，分别显示第1实施方式的滴下装置中使用的喷嘴部6的仰视图，暨沿A-A线所作的剖面图及沿B-B线所作的剖面图。
第1实施方式的喷嘴部6具备剖面为五边形的喷嘴块27、及配置于喷嘴块27的下表面即喷嘴连接面28的4个喷嘴4而构成。该喷嘴部6可装卸自如地装设于主体9的下表面。
以下为方便说明，称4个喷嘴4为喷嘴A～D(34～37)，称4个喷嘴的吐出口5为吐出口A～D(38～41)。
在喷嘴块27的内部形成有与滴下装置1的流路C14连通的流入流路29、及自流入流路29朝喷嘴A～D(34～37)分歧的分歧流路A～D(30～33)。
喷嘴块27的斜面即下表面被划分成4个区块，分别在一个区块内安装一个喷嘴4(符号34～37)。第1实施方式中，如图2所示，通过使4个相同大小的方形平面以下面的中心为顶点的配置，形成喷嘴连接面28。也即，自底面观察时，喷嘴块27为正方形。喷嘴块27的下表面的区块数，不限于例示的区块数，例如可设定2～16等任意的多个区块，但优选为，区块数的数量为n2(n为2以上的自然数)。优选为，喷嘴块27的下表面的区块数与喷嘴4的数量设定为相同。
安装于斜面的各喷嘴4，以自底面观察时构成为正方形的方式等间隔地配置。也即，喷嘴A34、喷嘴B35、喷嘴C36及喷嘴D37配置为矩阵状。无论选择哪个喷嘴4，一个喷嘴4与相邻的其他喷嘴4的间隔均相同。
此外，各喷嘴4具有一个吐出口，吐出口中心轴43以相对于喷嘴连接面28成为垂直的方式安装。第1实施方式中，喷嘴连接面28的各面相对于喷嘴块27的垂直轴42分别倾斜既定的角度，因此吐出口A～D(38～41)分别相对于喷嘴块27的铅垂方向中心朝向外侧。喷嘴连接面28的各面的倾斜角度为均等。也即，图2所示的θa、θb、θc、θd设为全部相同(θa＝θb＝θc＝θd)。换言的，一个喷嘴4与垂直线构成的角度θ(例如为5～60度)，无论选择哪一个喷嘴4均相同。
此外，吐出口A～D(38～41)配置为朝向喷嘴块27的各个角。也即，配置为使吐出口A～D(38～41)位于底面28的对角线上(参照图2(c))。由此，连结自吐出口A～D(38～41)吐出的4个液滴45而形成的四边形，成为与喷嘴块27的喷嘴A～D(34～37)的配置为相似形状的四边形。优选地，分歧流路A～D(30～33)形成为与喷嘴A～D(34～37)的各中心轴(吐出口中心轴43)同轴，以使液体19的吐出能圆滑地进行。
<吐出动作>
对以上说明的滴下装置1的吐出动作，概述如下。
(1)准备(初期填充工序)
首先，在不将柱塞3插入计量部2内的状态下，将液体19填充至计量部2的上端。然后将柱塞3插入计量部2内，且固定于柱塞驱动构件10。接着，通过切换阀7连通计量部2与喷嘴部6，使柱塞3自吐出口5朝喷嘴部6的方向(进入方向)移动至吐出液体19为止。
(2)吐出工序
通过切换阀7连通计量部2与喷嘴部6，且使柱塞3朝进入方向高速移动，由此自4个吐出口5飞射吐出相同量的液体19。
(3)吸引工序
通过切换阀7连通供给流路15与计量部2，使柱塞3朝与进入方向相反的方向(后退方向)移动，将液体19朝计量部2内吸引。
通过反复地进行上述(2)及(3)的步骤，而可进行连续定量吐出的涂布作业。再者，上述(2)及(3)的步骤，无论哪一者先开始都可以。
<滴下点间距离的调节>
图3为显示说明使用第1实施方式的滴下装置1进行滴下时的喷嘴部6的高度(H)与滴下点间距离(L)的关系的说明图。图3中，上侧的图显示自侧面观察时的图，下侧的图显示自上面观察基板46时的俯视图。再者，图3仅对喷嘴部6简略描述。
自喷嘴4的吐出口5排出的液滴45，由于喷嘴4倾斜既定的角度，因此一边描绘拋物线状的飞翔轨迹44，一边到达涂布面即基板46。由于离喷嘴部6的中心等间隔配置的4个喷嘴4呈放射状均等地倾斜，因此涂布于基板46的液滴45成为配置于正方形的角部的矩形图案。也即，如图3下侧所示，纵向的滴下点距离(L1)与横向的滴下点距离(L2)相同(L1＝L2)。
此外，由于喷嘴4倾斜既定的角度而描绘拋物线状的飞翔轨迹44，因此通过改变喷嘴部6(吐出口5)与基板46之间的距离(换言之，喷嘴部6的高度(H))，即可改变纵向及横向的滴下点间距离(L1、L2)。
在此，以描绘于中央的(b)为基准。(b)的情况中，在自基板46至吐出口5的距离为Hb时，纵向的滴下点距离为L1b，横向的滴下点距离为L2b。若如(a)那样降低喷嘴部6，由于液滴45在呈抛物线状扩展之前到达基板46，因此与(b)的情况比较，滴下点间距离变短(La<Lb)。
另一方面，若如(c)那样升高喷嘴部6，液滴45在呈抛物线状扩展之后到达基板46，因此与(b)的情况比较，滴下点间距离变长(Lc>Lb)。
如此，由于各喷嘴4倾斜既定的角度，因此只要改变喷嘴部6的高度(H)，即可改变纵向及横向的滴下点间距离(L1、L2)。
与喷嘴4的倾斜(θ)、喷嘴部6的高度(H)、以及纵向及横向的滴下点间距离(L1、L2)的关系，可根据预先的实验制作成表或曲线图，且预先存储于控制部(未图示)的存储装置。根据这种结构，可基于显示于显示设备(未图示)的表或曲线图，通过变更设定即可容易实现希望的纵向及横向的滴下点间距离(L1、L2)。根据发明者的实验，例如将喷嘴4倾斜10度时，若自高度15mm进行吐出，则滴下点间距离(L1、L2)各为7.5mm，若自高度10mm进行吐出，则滴下点间距离(L1、L2)各为6.5mm，若自高度20mm进行吐出，则滴下点间距离(L1、L2)各为8.5mm。
<涂布装置>
在图4显示具备第1实施方式的滴下装置1的涂布装置51的概略立体图。
实施方式的涂布装置51主要包括：Z轴驱动装置54，其可使滴下装置1朝上下方向(符号57)移动；X轴驱动装置52，其安装有Z轴驱动装置54，可朝左右方向(符号55)移动；Y轴驱动装置53，其可使设置有X轴驱动装置52的梁61朝前后方向(符号56)移动；工件台58，其载置基板46；架台63，其配置有上述各驱动装置(52、53、54)及工件台58；及未图示的控制部。该涂布装置51可实施以下的滴下方法：通过使控制部基于用户的输入值，对工件台58与滴下装置1的垂直距离进行调节，而调节自各喷嘴4吐出的液滴的滴下点间距离(L1、L2)，将工件台58与滴下装置1的垂直距离保持为一定后，一边使滴下装置1及工件台58在水平方向相对移动一边滴下液体材料。其中，滴下至工件上的滴下点，由m1列×m2行的行列所设定，且优选为，将m1及m2的任一者均设定为喷嘴数n的倍数(自然数)。
在X轴驱动装置52设置有夹隔其的X轴滑块59，可使Z轴驱动装置54及滴下装置1移动。并且，在Y轴驱动装置53的内侧分别设置有Y滑块60，在其上设置有X轴驱动装置52的梁61被支撑于梁支撑构件62上而移动。通过如上述那样构成XYZ驱动装置，可使滴下装置1相对于基板46相对地移动。本发明中优选为采用以下的机构作为XYZ驱动装置，即，通过调节垂直方向(Z方向)的吐出口位置，对滴下点间距离(L1、L2)进行调节，因而可高精度地进行Z方向的定位。作为此种XYZ驱动装置，可使用滚珠螺杆与马达的组合机构、使用线性马达的机构，利用皮带或炼条等传达动力的机构等。
再者，本实施方式中，将驱动装置作为所谓高架型而构成，但只要为能使滴下装置1与基板46(工件台58)相对移动，则可为任何的结构。例如，也可为在工件台58的下部设置X轴驱动装置52及Y轴驱动装置53而构成。
第1实施方式中，例示了设置4台滴下装置1的结构，但设置台数不限于这些，也可为1台，也可为2台、3台等的多台。
在设置多台的滴下装置1的结构中，具有设定为全部相同种类的滴下装置1的情况、及组合不同种类的滴下装置1的情况。在设置多台相同的滴下装置1的情况，可对应于在基板46内制作多个面板的所谓多重涂布。在组合不同种类的滴下装置1的情况(例如，在设置按每个滴下装置1改变喷嘴4的倾斜角度等的喷嘴部6的情况)，与一种类的滴下装置1比较，可更多种多样地调整滴下点间距离(L1、L2)。
根据以上说明的第1实施方式的涂布装置51，在进行数十个以上的多点同时涂布时，可容易变更滴下点间的距离(L1、L2)。尤其是在滴下注入法(ODF)中，涂布装置51通过适宜地保持用于拦阻液晶材料而形成为矩形框状的密封材料与液晶滴的距离，而可使液晶的扩散始终保持均匀。
《第2实施方式》
图5分别显示第2实施方式的滴下装置1中使用的喷嘴部6的仰视图、沿C-C线所作的剖面图及沿D-D线所作的剖面图。以下的说明中，对与第1实施方式相同的部分(喷嘴部6以外的部分)，省略说明，只对不同的部分进行说明。
第2实施方式的喷嘴部6以使4个喷嘴(34～37)的各吐出口(38～41)朝向内侧(喷嘴部6的中心侧)的方式配置各喷嘴，在此点上，与第1实施方式相异。
第2实施方式中，构成喷嘴连接面28的4个平面，以使喷嘴部6的中心在仰视时成为最里面部的方式，相对于喷嘴块27的垂直轴42倾斜既定的角度。也即，从底面观察时的喷嘴A～D(34～37)的吐出口A～D(38～41)成为分别朝向喷嘴块27的垂直轴42。
在喷嘴块27的内部形成有与滴下装置1的流路C14连通的流入流路29、及自流入流路29朝喷嘴A～D(34～37)分歧的分歧流路A～D(30～33)的点，与第1实施方式相同。然而，于分歧流路A～D(30～33)在途中被弯曲形成的点，与第1实施方式相异。也即，分歧流路A～D(30～33)在与流入流路29连通的上游部分朝自垂直轴42放射的方向形成有流路，且在与喷嘴A～D(34～37)连通的下游部分形成有与喷嘴A～D(34～37)的吐出口中心轴43同轴的流路，上游部分及下游部分经由弯曲部而连接。
第2实施方式中，也通过调节喷嘴与基板的距离，而可调节降落于基板的4个滴下点的距离(L1、L2)。由于第2实施方式将4个喷嘴(34～37)的各吐出口(38～41)朝向内侧，因此较第1实施方式适合于在狭窄的范围内调节滴下点间距离(L1、L2)的情况。
《第3实施方式》
图6分别显示于第3实施方式的滴下装置1中使用的喷嘴部6的仰视图、及沿E-E线所作的剖面图。以下的说明中，对与第1实施方式相同的部分(喷嘴部6以外的部分)，省略说明，只对不同的部分进行说明。
第3实施方式的喷嘴部6，在将平方数的喷嘴4配置成矩阵状的点与第1实施方式相同，但于喷嘴4的数量为9个的点与第1实施方式相异。第3实施方式的喷嘴部6中，将喷嘴块27的下表面即喷嘴连接面28划分成9个区块，分别在一个区块安装一个喷嘴4。构成喷嘴连接面28的9个区块，由相同大小的方形状平面构成，且配置为使下表面的中心为顶点。其中，中心的区块为水平配置。中心以外的8个区块，以使喷嘴4的吐出口5朝向外侧的方式，相对于喷嘴块27的垂直轴42倾斜既定的角度。该角度以使涂布的液滴45被配置于四边形的角或边的中点的方式，成为均等。
自底面观察时，喷嘴块27为正方形。中心以外的8个喷嘴4，被配置于绕喷嘴块27一周的仰视为小正方形的边的中央或顶点。在该正方形的对角线的交点配置有位于中心的喷嘴4。也即，水平方向邻接的各喷嘴4的距离相等。
第3实施方式中，通过9个喷嘴4构成喷嘴部6，但喷嘴4的数量不限于此，可由n2(n为2以上的自然数)个喷嘴构成喷嘴部6。也即，例如，通过将喷嘴4的数量设定为2以上的平方(即，4、9、16、25、36…)，可一边维持矩阵状的滴下图案，一边均匀地调整滴下点间距离(L1、L2)。
第3实施方式中，也通过调节喷嘴与基板的距离，而可调节降落至基板的9个滴下点的距离(L1、L2)。第3实施方式中，可同时进行9个的滴下，因而相较于第1实施方式，可提高生产性。
符号说明
1 滴下装置
2 计量部
3 柱塞
4 喷嘴
5 吐出口
6 喷嘴部
7 切换阀
8 大径部
9 主体
10 柱塞驱动构件
11 柱塞移动方向
12 流路A
13 流路B
14 流路C
15 供给流路
16 延伸构件
17 容器
18 液体配管
19 液体
20 气泡除去机构
21 液体的液流
22 气体的气流
23 工作气体供给配管
24 容器支撑构件
25 基座板
26 连接构件
27 喷嘴块
28 喷嘴连接面
29 流入流路
30 分歧流路A
31 分歧流路B
32 分歧流路C
33 分歧流路D
34 喷嘴A
35 喷嘴B
36 喷嘴C
37 喷嘴D
38 吐出口A
39 吐出口B
40 吐出口C
41 吐出口D
42 喷嘴块的垂直轴
43 吐出口中心轴
44 飞翔轨迹
45 液滴
46 基板(涂布面)
47 分歧流路
51 涂布装置
52 X轴驱动装置
53 Y轴驱动装置
54 Z轴驱动装置
55 X移动方向(左右方向)
56 Y移动方向(前后方向)
57 Z移动方向(上下方向)
58 工件台
59 X轴滑块
60 Y轴滑块
61 梁
62 梁支撑构件
63 架台
71 基板
72 液滴
73 密封材料

Claims (12)

1.一种滴下装置，其特征在于，
具备计量液体材料的计量部、往返移动于计量部内的柱塞、具备多个具有吐出口的喷嘴的喷嘴部、向计量部供给液体材料的供给流路、以及对计量部与喷嘴部及计量部与供给流路的连通进行切换的切换阀，
在所述喷嘴部，以使一个喷嘴与邻接的喷嘴的间隔均相同的方式配置所述喷嘴，并以使一个喷嘴与垂直线构成的角度θ均相同的方式倾斜配置所述喷嘴。
2.如权利要求1所述的滴下装置，其特征在于，
所述喷嘴由n2个的喷嘴构成，其中，n为2以上的自然数。
3.如权利要求2所述的滴下装置，其特征在于，
在所述喷嘴部，以使所述喷嘴的吐出口相对于所述喷嘴部的铅垂方向中心朝向外侧的方式，配置所述喷嘴。
4.如权利要求2所述的滴下装置，其特征在于，
在所述喷嘴部，以使所述喷嘴的吐出口相对于所述喷嘴部的铅垂方向中心朝向内侧的方式，配置所述喷嘴。
5.如权利要求1～4中任一项所述的滴下装置，其特征在于，
所述喷嘴部具备喷嘴块，该喷嘴块形成有一个流入流路、及连通流入流路与所述吐出口的分歧流路，在该喷嘴块安装所述喷嘴。
6.一种涂布装置，其特征在于，
具备：
权利要求1所述的滴下装置；
工件台，其载置有基板；
XYZ驱动装置，其使所述滴下装置与工件台相对地移动；及
控制部，其具有存储装置。
7.如权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，
具备多个所述滴下装置，一个滴下装置的喷嘴数、喷嘴的间隔或喷嘴的角度θ，与其他滴下装置的喷嘴的间隔或喷嘴的角度θ不同。
8.如权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，
具备多个所述滴下装置，全部的滴下装置的喷嘴数、喷嘴的间隔及喷嘴的角度θ相同。
9.一种滴下方法，其特征在于，
使用权利要求6～8项中任一项所述的涂布装置，
基于输入值调节所述工件台与所述滴下装置的垂直距离，由此对自所述喷嘴吐出的液滴的滴下点间距离(L1、L2)进行调节，在将所述工件台与所述滴下装置的垂直距离保持一定的状态下，一边使所述滴下装置与所述工件台在水平方向相对移动，一边将液体材料滴下至工件。
10.如权利要求9所述的滴下方法，其特征在于，
所述控制部的存储装置中存储有多个所述工件台及所述滴下装置的垂直距离与液滴的滴下点间距离(L1、L2)的相关关系模型，
所述输入值为所述相关关系模型的选择值。
11.一种滴下方法，其特征在于，
使用权利要求8所述的涂布装置，
利用所述多个滴下装置的所有滴下装置进行相同的滴下涂布，由此进行多重涂布。
12.如权利要求11所述的滴下方法，其特征在于，
所述工件为液晶面板基板，所述液体材料为液晶。
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