TWI300362B - Die-coating method and pellicle for photolithography manufactured by the same method - Google Patents

Description

1300362 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於模具式塗佈器之塗佈方法及利用此方法 造之微影用防護膠膜組件。 & 【先前技術】 在LSI或液晶面板等之製造，有利用微影對半導體晶圓 晶用原板製作圖案之製程，此時係使用防護膠膜組件來作 或初縮遮罩(reticle)的灰塵防護裝置。 ‘ 在使用防護膠膜組件之情況，因異物不直接附著於 j士而附著，防護膠膜組件上，只要在微影時將焦點對準光罩二 圖案上，防獅齡件上之異物就魏和職之轉印無 物擎t防Ϊ膠藤件在構造上，將峨維素衍生物或氟系聚人 ==由聚丁稀樹脂、聚賭酸乙軸 逐漸大型化’此一防護膠膜組件也隨之：有要 製膜z里ίϋ防護膠臈組件之防娜膜基於膜厚精度佳或 Ht;由:而常利用旋轉式塗佈方式以 膜材料，而======轉式塗佈方式會過度済耗 卿耕雜;彩 拉具式塗佈器之塗佈方法和旋轉式塗佈方式相比，因塗佈液 1300362 體 徵 之浪費量少，具有尤其能以低費用進行對大型平板之塗佈之特 模具行除去附著於 法形成巧、發生條紋、:均㈡在极具别蝴者液滴時因而無 ^前為止也有人想到各種模具前端之初步作 广，如圖8所示，係一種清潔方法(參照專 (: 液體正前，令具有橡膠彈性 、班)’在k佈k佈 形狀而且表面由且有^^成和口核之唇前端部密接之 模㈣口之清潔構件83和 體82。84係清潔構件驅動機構者°挪動而刮掉所附著之塗佈液 部接觸硬質ί膠f 藉著令模具本體之唇 之塗饰液體之方Ξ。板核後令板移動，到除在唇部所保持 刮除裝置機。 度之勤後令這些清潔構件或 因而由於和模具之摩擦，這4b刮除穿詈聲|、r ，法充分刮除等，而在模具前端:到磨耗，變 恶下進行塗佈時，隨著排屮涂 、+/、物。因此，若於此狀 面剝離，而分散地殘留在^ 5 ^些附著異物會自模具表 另外★右人=在塗佈所得到之塗膜面上。 業之方法。例如，接觸方式進行本模具初步作 端，進行初步作業d昭ϋ獻備排㈣後整理模具前 異物。 專敝獻3)。此_時可除去模具前端之 可期待得戦物少m鱗’因制除裝置等未直難觸模具， 6 !3〇0362 之作Ξΐΐ法之本來之目的在於整理模具前端，除去里物 體㈣小’為了元全消除異物，只m複的塗在滾輪^物 因此，在本方法，在所完成之塗膜有多少里物 ^其在因維修等接觸(污染)了模具前端之情況，異物就暫時繼^附 業 外，於長期使用中，有時會在排出狹縫之 ==變態:異r步作業操作難以將其除去= 未找模具式塗佈11之塗佈方法的現況是：尚 端施以:步作iiif?難^附著的情況下對模具前 而曰n L其、、、°果疋難安践獲得函極少異物之塗膜。 時，旋棘二理由，在製造尤其要求異物要少之防護膠膜 人塗佈方式乃為必要的’很難利用模具式塗佈哭。又，' 3 駭賴賴崎絲以域本得到。 ί寻利文獻1]特許3306838號公報 [專利文獻特開平1Μ47062號公報 [專利文獻3]特開2001-310147號公報 【發明内容】 登明欲解決之 哭之點’其課題在於藉著確立在模具式塗佈 =塗版塗膜之 造，低成本=異 1300362 磨:決課釋之方< 法，種模具式塗佈器之塗佈方 佈液體，使泡於或接觸在容器等所儲存之塗 獅魅㈣之耗後，向基板上翻塗舰體精塗 之升=度綱作，自模具前端除去液滴時 ，同時自模 又，對於液 义又^;主佈時令模具經常浸泡於或接觸塗佈液體 二别端連續或間歇的排出令通過過滤器之塗佈液體體 中之模具進行超音波清潔係較好之形離。 進行二==泡“於液中之模具利用彈性趙 此外，在進行申請專利範圍第丨項規定之模且 係 ^明之微影用防護谬膜組件，其特徵為在塗佈材料上使用 、#、，，素衍生物或氟系聚合物，依據在該申請專利範圍第丨〜6項★己 ，之模具式塗佈n'之塗佈方法在基板上成膜後，使離所 仔到之防護膠膜製作而成。 八剃離所 發明之效旲 若依據本發明，藉著以低速自塗佈液體中升高模具，令模具 表面之液緩慢的凝聚，利用表面張力拉下侧之塗佈液體面，結 可將模具前端設為無液滴之狀態。 又，不塗佈時，藉著令模具經常浸泡於或接觸塗佈液體，可 防止係異物之原因之一之塗佈液體在模具前端乾燥所產生之固能 物之發生。此外，在將模具浸泡於塗佈液體中之間，藉著自模^ 8 -1300362 則端排出令通過磁n之塗佈液體’也 膠或塗佈液體之濃度科勻，同日村簡塗^=產生旋 中之^進行超音波清潔利用彈性體進行^ 全除去模具前端之異物。 月* j積位的70 评ί ί=排Ϊ同時進行以往進行之對板狀或轉動之 /袞輪狀之物體上之預備排出，可更完全的除去显 利用這些塗佈方法，因可得到無異物、^ 良、j厚精度佳之塗膜，藉著將本方法應用;uu 以低費用得到大型之防護膠膜組件。 hi万隻膠膜月b 【實施方式】 定為ϊ實圖面說明本發明之實施形態，但是本發明未限 本-佈器之塗佈方法之概略說明圖》圖2係 二2 ^之之概略說明圖α圖3係表示本發明之別 气施形，概略說明_管構造圖)。圖4絲示本發明? 略說關(模具前端之清洗)。圖5係表示本發明之 ίίΐΐϊί"?概略說_。圖6係表示本發明之模具式塗佈 利用拉具式塗佈器之塗佈係，一般如圖i所示，藉 具11簾幕狀的排出塗佈液體，利用精密之驅ti 在平板(基板)12上定速移動，得到厚 圖1中之符號13係供給塗佈液體用之液體供认管線。、又 5據圖2說明本發明之一實施形態’如圖2⑷所示 Ϊ之ίΓίϊ浸泡於裝滿塗佈㈣23之模具乾燥防止盤22中” ί#5此時，至少在模具21要離開塗佈液體23時， 右使升4度、錢’如圖2(b)所示，模具21前端附近之液滴 1300362 干i Λ 止盤22中之液體拉，最後如圖2⑹所 Γ ϋ，未殘留液滴，令全部移至模具乾燥防止盤22。然 後’使用未附者液滴之模具21在平板(基板)上形成塗膜。 在其的’ 日丰㈣^ 9升^度在將液滴自模具21移動至模具乾燥防止盤22 ίί ί二1秒71；錢較好，但奸配合輕舰體之性 近液擇、i审:為了 ΐ紐整體之操作時間’至模具21前端接 /又更兩速升咼，只在液滴移轉時期設為低速較好。 能進行為之ϊ高係以在模具前端縱向變成和液面平行之狀 縱向相對^面稍 ，令模具 涂你ϋ換ί板(基板)等中斷塗佈操作時，藉著預先將模具浸泡於 i物ζ。…防止在模具部分塗舰體固化或在大部分附著.發生 佑^ 示^係本發明之別的實施形態，具有如圖3所示之塗 ::佈==缸模模具 二=槽ir麵燥防止盤32所預設之= 猎者將杈具31前端經常浸 if 具邮i產生凝縣發生濃衫料。此if 若進行如目佈正祕止翻塗佈液體， 適合。斤不之除去液滴之動作，可更防止異物產生，尤其 1300362 盤裝本Γ月之另外之實施形態’係在模具乾燥防止 i擦洗清餘合了棚械具賴防讀中之彈性 44，你ΪΪ!乾燥防止盤42之底面配置超音波振動板 3(Μ=ίί 中照射超音波。超音波例如可適合使用 對去除異物’因能以非接觸精密清潔模具41前端， 波之Ϊί照ΪΪΪ體ΪΪ的選擇本振動板44之配置或照射之超音 ίίΪΪ、Λΐί=時，照射超音波時因雜現象一㈣ ϊίΐ定頻率或強度，使得氣泡對塗佈無不良影響。 圖€ )所不之擦洗清潔方法之形態，在因乾燁箄|且41 ^ «45之材質或形;τ。在選擇彈 和模具接觸時之發塵也儘量少而ί 了;之形狀， 加工而且可無間隙的和模具前端周邊=狀兩要设計成易 是未轉動之滾輪，但 靠模具之縱向的移動的也可。又aW^不^(鞘)狀的緊 面設置突起也可。 不曰脫洛，在岣漂治具之表 所示郷態之叙，也可和圖3 示之上面所舉例表 之轉等後自模具令_排出塗佈“:自叫提議 燥，液體之情況’在除去液滴射=具前端报快乾 1300362 本實施形態在那種情況特別有效，在自塗佈液體5 Ιΐί行除去賴讀倾，㈣射之敍_之雜5ΪΪ預 馬上向基板55開始塗佈。當然:，此時預備排出之對象不 疋滾輪也可，係平板形的也可發揮一樣之效果。 在上述之這些模具式塗佈器之塗佈方法之模具之初步作、、主 漂化)未必要每次塗佈時進行。尤其，在量產線之利用，也有不ς 人塗佈除去液滴而持_的塗佈之情況。在此情況，可只在一 ^ 滴進行這些模具之初步作#(清潔化)後’依次對新的基^ 。^情況’也姉於以往至清賴具前端為止製造異物 «-，自弟一次之塗佈品得到無異物的。

使用圖6及圖7,說明應用上述之模具式塗佈器之 作微影用防護膠膜組件之實施形態。 忡万沄I 如應ϊΐί之模具式塗佈器之塗佈方法製作防護膠膜。 士圖6所不，在疋水位於平台64上之基板66上，利用 照平台上之塗佈基板之高度令模具自動昇降之控制機構^模且上 下驅動機構62支撐兩端，姻在塗佈方向受到 直& 動工作台機構63引導之模具61塗佈。 難-之直線移 65。端設置裝滿塗佈液體之模具乾燥防止盤 不，利用適當之機構使模具乾燥防止盤65上下動， 使侍可改泡模具61之前端。 郭 位較ί板66藉著在平台64上_真空_上未示)吸附保持等定 自基板上剝離照這樣所得到之塗膜後，如圖7所示 於防護膠敝雜7卜能崎成本_異物齡 ^ 獻72係防護膠膜，73係防護膠膜黏接劑層t 係遮罩黏接劑層。 在、液例上說明了賴軸崎，但是可應用於 在液Ba面钱PDP純齡妓_攝影元件等使狀彩色滤光 12 1300362 态等而要均一、寬度寬、無異物混入之塗膜.薄膜之廣泛之技術領 域0 '、 實施例 [實施例1] 以下說明本發明之實施例，但是本發明未限定為本實施例。 一在本實施例使狀模具式塗佈器，使用在圖6所示的併設圖3 所不之塗佈配管’還配置圖4⑻所私超音波振動板的。模具61 為，〒3〇4製、塗佈寬度796職、縫間隙〇.3mm，塗佈液體使用 Γϋ容ί :iCT~s〇lv(旭靖子(株)製、產品名稱)將I系聚合物： SAITOP(旭料公司製造之產品名稱)稀釋至9%的，成膜基板使 用平滑騎磨了雙面之_x92〇x8(t)mm之合成石英。此外，全部 之裝置設置於等級10之無塵室内。 般《在示之觀’在触塗佈正前紐泡域具乾燥防止 ϊίϋ 射4GkHz之超音波5分鐘後，在排出塗佈液體 樣ϋ里下々靜置。此時，將排出之塗佈液體之流量設 50cc/min ° _然後止對模具乾燥防止盤排出塗佈液體，如圖2⑻〜⑷ 所不，j 0.1mm/s之速度向上方緩緩的升高模具61。 織Ϊί 自^具61前端完全除去液滴時，馬上令模具61 移在基板66上之塗佈位置後，以塗佈速度1〇mm/s塗佈。 德电以18〇VX5分鐘之加熱乾燥去除膜材料之溶媒 Ϊ 4'G’之塗膜。然後，將該具有乾燥塗膜之基 斜橫向慎重的照射光量4G萬米燭光之聚光燈， 進灯目視檢查。結果，以目視確認完全無異物。 W 再黏接外料U在基板上所伽之乾燥塗臈之形狀相同 $ 5金製之黏接框(圖上未示)後，自基板觸塗膜，得到防 腰體45 然後，對機械加工成外尺寸75〇χ9〇4·5χ6·5〇、内尺寸乃4 13 1300362 X890.5mm、進行題防健處理之銘合金製框之 為防護膠膜黏接劑之石夕黏接劑(產品名稱KR12〇，信越而|學又^= 土)後所得到之該防護膠膜。然後，用裁株) 令完成防護膠膜組件。 门国<不要之膜’ 關於J所完成之防護賴組件，在無塵 燭光之滷素錢行目錄查。絲，;^ 734xS90,mm ^ ： tur敝件。又，敝翻色不均科觀上之缺= [比較例1] 圖具式塗佈器，在塗佈前應用如 步作業機構’替代浸泡模具之模具 , 5〇〇 體後首ΐ太ί 具81前端為目的，在排出約50cc之塗佈液 ^ Ϊ 初步作業機構刮除塗佈液體幻。 ^ ’馬上々模具61移至基板66上後塗佈。 述之例=所使用之基板、塗佈液體、塗佈條件等全部和上 後，燥。自本基板上除去膜材料之溶媒 的照ίί量帶入暗房内，自斜橫向慎重 上整個面贿難油躲目^檢查。結果，在基板 100x100mm約30〜50個。、拉仫取大的約200#m，又個數每 适係完全無法贿料輯膠歡用途的。 1業上之利用柯 依本發明之塗佈方法，因利用模具式塗佈器可簡單的進行模 1300362 1窗二作業）’異物也極少，形成無不均勻.條紋等之均-極女塗膜·薄膜’在需要形成塗膜· _之技術領域，受益 /、，對近年來大型化之防護膠膜組件之製造極有利。 【圖式簡單說明】 表示模具式塗佈器之塗佈方法之概略說明圖。 ^ 3 ίί)絲示本發明之—實施賴之概略說明圖。 圖）。糸表不本發明之別的實施形態之概略說明圖（配管構造 具前係表示本發明之另外之實施形 態之概略說明圖(模

Llff本發明之其他之實施雜之概略說明圖。 ΐίΐ 7 i IS本發明之模具式塗佈器之基本構造之概略說明圖。 lil 影用防護膠膜組件之構造之概略說明圖。 圖以在之模具如端初步作業方法之例子之概略說明 【主要元件符號說明】 U模具 基板 13液體供給管線 14塗膜 21模具 22模具乾燥防止盤 23塗佈液體 31模具 32模具乾燥防止盤 33塗佈液體 34紅泵 1300362 35過濾器 36塗佈液體槽 37三通閥 41模具 42模具乾燥防止盤 43塗佈液體 44超音波振動板 45彈性體 51模具 52模具乾燥防止盤 • 53塗佈液體 54滾輪 55基板 61模具 62模具上下驅動機構 63直線移動工作台機構 64平台 65模具乾燥防止盤 66基板 φ 71防護膠膜組件框 72防護膠膜 73防護膠膜黏接劑層 74遮罩黏接劑層 81模具 82附著於模具前端之塗佈液體 83清潔構件 84清潔構件驅動機構 16

Claims (1)

1300362 十、申請專利範圍： 1·一種模具式塗佈器之塗佈方法，豆牿徼. 浸泡於或接觸在容器等所儲存之塗佈液；:3以:S 緩的升高，利用塗佈液體之表面張力在模具方緩 態後，向基板上排出塗佈液體以進行塗佈/。、 y /之狀 ^如申請專利範圍第丨項之模具式塗佈器之塗佈方法，其 度之升高動作中，自模具前端除去液滴時之升高速 1中:.ίΓί專1或2項之模具式塗佈器之塗佈方法， 2、s r塗佈時令模具經常浸泡於或接觸塗佈液體中，同 守吏l過過絲之塗佈液體自模具前端連續或間歇的排出。 呈中^圍第1或2項之模具式塗佈器之塗佈方法， 八、^塗佈液體之浸泡中，對於液中之模具進行超音波清 i洗清i l佈液體之浸泡中，對於液中之模具利用彈性體進行 Ο 盆6·如申請專利範圍第1《2項之模具式塗佈器之塗佈方法， 體上進液:板或轉動之滾筒形的物 盡备Ι·^ί微影用防護膠膜組件，其特徵為使用纖維素衍生物或 iifi物作為塗佈材料’藉由中請專利範圍第1至6項中任l 塗佈器之塗佈方法在基板上成膜後，利用將該 關離所_之防娜難作喊。 十一、囷式： 17