KR101339746B1 - 페리클 프레임 내면으로의 점착제의 도포 방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 주위의 환경을 오염시키지 않고, 도포 품질 및 그 안정성에도 뛰어난 페리클 프레임 내면으로의 점착제 도포 방법을 제공한다.

[해결 수단] 1개의 내면이 실질적으로 수평 또한 상향으로 되도록 페리클 프레임을 유지하고, 용매에 의해 희석된 점착제를 토출구로부터 적하하면서 토출구를 이동함으로써 점착제를 도포한다. 점착제의 비산에 의한 작업 환경이나 페리클 프레임의 오염이 없고, 또한 미도포나 밀려나옴이 없어 외관적으로도 뛰어난 도막을 안정적으로 얻을 수 있다.

페리클 프레임, 점착제

Description

페리클 프레임 내면으로의 점착제의 도포 방법{METHOD OF COATING ADHESIVE ON THE INNER SURFACE OF PERICLE FRAME}

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판 혹은 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지막이로서 사용되는 리소그래피용 페리클의 제조 방법 중, 특히 페리클 프레임 내면으로의 점착제의 도포 방법에 관한 것이다.

LSI, 초LSI 등의 반도체 제조 혹은 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 혹은 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만, 이 때에 사용하는 포토마스크 또는 레티클(이하, 간단히 포토마스크라고 기술한다)에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 광을 흡수하거나 광을 굴절시켜 버리므로, 전사된 패턴이 변형되거나 엣지가 울퉁불퉁한 것으로 되는 것 외에 하지가 검게 더러워지거나 하는 등 치수, 품질, 외관 등이 손상된다는 문제가 있었다.

이 때문에, 이들 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만, 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵다.

그래서, 포토마스크 표면에 먼지막이로서 페리클을 점착한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 페리클 상에 부착되므로, 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 페리클 상의 이물은 전사에 관계없게 된다.

일반적으로, 페리클은 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 초산셀룰로오스 혹은 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 페리클막을 알루미늄, 스테인레스, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 페리클 프레임의 상단면에 점착 내지 접착한다.

또한, 페리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부덴 수지, 폴리초산비닐 수지, 아크릴 수지 등으로 이루어지는 점착층, 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성된다.

그리고, 페리클을 포토마스크에 점착한 상태에 있어서 페리클 내부에 둘러싸여진 공간과 외부의 기압차를 없애는 것을 목적으로 해서 페리클 프레임의 일부에 기압 조정용 작은 구멍을 형성하고, 작은 구멍을 통해서 이동하는 공기로부터의 이물 침입을 막기 위한 필터가 설치되는 일도 있다(특허문헌1).

또한, 페리클 프레임의 내면에는 얇은 점착제층이 형성되는 일이 있다. 이것은 페리클 내부 공간에 침입 혹은 발생한 이물을 점착제층에 포착하기 위해, 또한 페리클 프레임 표면으로부터 이물을 낙하시키지 않도록 해서 페리클 점착 후의 패턴 결함 발생을 방지하는 것을 목적으로 하고 있다.

이 점착층은 이물 포착이 목적이므로 두께가 필요없고, 코너부 내면에도 직선부와 같은 도포가 필요하므로 통상 스프레이법에 의해 형성된다(특허문헌2).

상기와 같이, 스프레이법에 의해 내면에 점착제 도포를 행한 경우, 스프레이 입자의 크기나 도포막 두께 등의 조건을 적절히 선택하면 도막이 품질적으로는 균 일하고 외관적으로도 양호한 것이 얻어지지만, 제조에 관해서는 여러 가지 문제점이 있다.

우선, 도포 목표의 페리클 프레임 내면 이외에 점착제가 부착되는 것은 품질적으로 바람직하지 않으므로, 이것을 방지하기 위해 불필요한 부분에는 스프레이 입자가 부착되지 않도록 마스킹을 행할 필요가 있다. 마스킹에는 마스킹 테이프와 같은 1회용의 것도 사용할 수 있지만, 이것은 양산에 부적합하므로 일반적으로는 도 3 중 부호 34에 나타내는 바와 같은 전용 마스킹 지그가 사용된다.

마스킹 지그는 비교적 용이하게 설계할 수 있고, 형상이 적절하면 안정된 도포 품질이 얻어지지만, 마스킹 지그에 부착되는 점착제는 쓸모없어 지는 것 외에 사용해감에 따라 접착제가 퇴적해가므로, 정기적으로 이것을 제거 청소해야 한다는 문제가 있다. 물론 마스킹 지그 이외의 장치 내부에 대해서도 비산된 점착제 스프레이 입자에 의해 오염되므로 시간의 경과와 함께 끈적끈적해져서 역시 정기적인 청소가 필요하게 된다. 특히 한변이 500㎜를 넘는 대형 페리클인 경우에는 장치도 대형이므로 이들 문제는 특히 현저해진다.

또한, 통상 점착제를 스프레이 분무하기 위해서는 저점도화할 필요가 있다. 이것은 일반적으로는 용제 희석에 의해 행하므로 용제의 종류에 따라서는 폭발의 위험이 생긴다.

한편, 이들 여러 문제에 대하여 스프레이법이 아니라 롤러형상의 것을 사용해서 도포하는 방법도 제안되어 왔다(특허문헌3). 그러나 이들 방법으로는 안정적으로 롤러부에 점착제를 공급하는 것이 어렵고, 페리클 프레임 내면으로부터 밀려 나와 버리거나, 반대로 미도포 부분이 생겨 버리거나 하는 일이 많았다. 또한 롤러 부품의 접촉 흔적이 프레임 표면에 생겨서 외관을 손상시키는 일도 많이 있고, 매우 실용성이 부족하며, 안정적으로 양산 공정에서 사용할 수 있는 것은 아니었다. 따라서 지금까지는 스프레이법 이외의 방법으로 양호한 도포 품질이 얻어지는 페리클 프레임 내면으로의 점착제의 양산에서 실용 가능한 도포 방법은 존재하지 않았다.

[특허문헌1] 일본 실용신안 공개 소63-39703호 공보

[특허문헌2] 일본 특허 공개 소64-48062호 공보

[특허문헌3] 일본 특허 3415683호 공보

이상으로부터, 본 발명의 목적은 주위의 환경을 오염시키지 않고, 도포 품질 및 그 안정성에도 뛰어난 페리클 프레임 내면으로의 점착제 도포 방법을 제공하는데 있다.

본 발명에 의한 페리클 프레임 내면으로의 점착제의 도포 방법은 페리클 프레임에 형성되어 있는 통기 구멍 내면에 용매에 의해 희석된 점착제를 도포한 후에, 페리클 프레임의 1개의 내면이 수평 또한 상향으로 되도록 페리클 프레임을 유지하고, 상기 점착제를 토출구로부터 적하하면서 토출구를 이동함으로써 점착제를 도포하는 것을 특징으로 한다(청구항 1). 페리클 프레임에 형성되어 있는 통기 구멍 내에 점착제를 도포한 후에, 페리클 프레임 내면에 대하여 상기 기재된 도포 방법을 행하는 것으로 하면, 통기 구멍 내면에 폐쇄를 발생시키지 않고 통기 구멍 및 페리클 프레임 내면에 점착제를 도포할 수 있다.

이 때, 도포 중인 점착제의 적하량은 토출구의 이동 속도 및 페리클 프레임 상에 있어서의 토출구의 위치에 따라 제어되는 것이 좋다(청구항 2).

삭제

그리고, 토출구의 선단의 외형 폭은 페리클 프레임 내면 폭의 50%이상으로 하는 것도 좋다(청구항 4).

또한, 도포 중의 토출구의 선단과 페리클 프레임의 표면의 거리는 0.2~2㎜의 범위이며, 또 토출구 선단과 페리클 프레임 표면의 간극이 점착제로 채워져 있는 것이 좋다(청구항 5).

<발명의 효과>

본 발명의 페리클 프레임 내면으로의 점착제의 도포 방법에 의하면, 점착제의 비산에 의한 작업 환경이나 페리클 프레임의 오염이 없고, 또한 미도포나 밀려나옴 없이 외관적으로도 뛰어난 도막을 안정적으로 얻을 수 있다.

이하, 본 발명의 페리클 프레임 내면으로의 점착제 도포 방법의 일실시형태를 첨부된 도면에 기초하여 설명한다.

도 1에 본 발명에 의한 페리클 프레임 내면으로의 점착제 도포 방법의 가장 기본적인 형태를 나타낸다. 페리클 프레임(11)은 프레임형상의 유지 지그(12)에 의해 지그 구멍부로 유지되고, 내면 1개가 수평해지도록 고정된다. 그리고 용매에 의해 희석된 점착제를 시린지(14) 등에 충전하고, 도포 니들(15) 선단의 토출구로부터 이것을 적하하면서 페리클 프레임(11)을 따라 이동시켜감으로써 도포를 행한다.

1변이 종료되면 점착제가 유동하지 않게 되는 정도까지 건조시키고, 그 후 유지 지그(12)와 함께 페리클 프레임(11)의 방향을 바꾸어, 이번에는 다른 변을 수평으로 해서 도포를 행한다. 이것을 반복해서 4변 전부에 대해서 도포를 행한다. 덧붙여서 말하면, 일반적인 4각형상 뿐만 아니라 8각형상의 프레임에 대해서도 마찬가지로 도포가 가능하다.

점착제의 토출 수단은 간편한 에어 가압 외에 플런저 펌프, 시린지 펌프, 튜브 펌프 등의 각종 펌프를 이용할 수 있고, 사용하는 점착제의 성상이나 생산 수량 등에 따라 적당하게 선택하면 좋다.

또한, 점착제의 점도(농도)는 도포 대상인 프레임의 크기, 건조 후의 막 두 께를 고려해서 적당하게 결정하는 것이 좋다. 내면 점착제의 경우는 후막화할 필요가 없으므로, 기본적으로는 도포시에 미도포가 발생하기 어렵도록 점도(농도)를 낮추는 방향으로 하는 편이 좋다. 그러나 점도를 지나치게 낮추면 도포는 하기 쉽지만, 프레임의 자중에 의한 하방향으로의 휘어짐에 의해 변의 중앙으로 점착제가 유동(편중)되거나, 건조까지의 시간이 길어져 생산성이 저하된다는 문제가 생기므로 이들 점에 대해서도 고려가 필요하다.

도포 니들(15)은 도포면과 직교하는 다른 내면에 간섭하지 않도록 도 1에 나타내는 바와 같이 경사 배치로 하는 것이 좋다. 이동 수단은 이동 속도나 도포 니들(15)의 위치를 세밀하게 제어할 수 있도록 로봇 등을 이용하는 것이 바람직하다. 또한 도포 중의 점착제의 적하량은 도포 니들(15)의 이동 속도 및 페리클 프레임(11) 상에 있어서의 도포 니들(15)의 위치에 따라 제어하는 것이 바람직하다. 즉, 코너부 부근에서는 수직으로 되어 있는 변에도 표면 장력에 의해 점착제가 밀려 올라가도록 많이 토출하고, 직선부에서는 미도포부나 밀려나옴이 발생하지 않도록 이동 속도와 토출량의 균형을 잡는 것이 좋다.

이 때, 페리클 프레임(11)에 통기 구멍이 형성되어 있을 경우에는 도포 조건에 따라서는 점착제가 막을 만들어버려 통기 구멍이 막혀버리는 일이 있다. 이것을 방지하기 위해서는 도포 니들을 이동시킬 때에 통기 구멍의 바로 위를 통과하지 않도록 하거나, 통기 구멍을 통과하는 부분에서 일시적으로 점착제의 토출을 정지하거나 하는 수단이 유효하다. 그러나 이들 방법으로는 통기 구멍의 폐쇄를 방지할 수는 있어도 통기 구멍 내면에 안정적으로 점착제 도포를 행하는 것은 어려우므로, 페리클 프레임 내면으로의 점착제 도포보다 전에 통기 구멍만큼은 최적 조건에서 점착제 도포를 끝내 두는 것이 가장 바람직하다.

또한, 도포 니들(15) 및 선단의 토출구(16)의 형상은 원 파이프형상이 간편하지만 도 2에 나타내는 바와 같은 형상으로 하는 것도 좋다. 여기서는 도포 니들(22)의 단면형상 및 토출구(24) 자체는 원형이지만, 그 선단에 점착제 용액의 확장 도포를 목적으로 한 바형상의 폭 확장 부재(23)를 부착하고 있다. 도 2의 예에서는 원기둥형상의 부재를 부착하고 있지만, 각기둥형상 등 다른 형상으로도 목적은 달성할 수 있고, 또한 토출구(24)의 형상도 원형이 아니라 타원형이나 슬릿형으로 해도 된다.

여기서, 폭 확장 부재(23)의 길이는 페리클 프레임 내면 폭(토출구 이동 방향과 직교 방향의 길이)에 대하여 50% 이상인 것이 좋다. 또한 도포 중의 도포 니들(22) 및 폭 확장 부재(23)의 선단과 페리클 프레임(21) 표면의 거리는 0.2~2㎜의 범위로 하고, 이들 간극이 모관 현상에 의해 점착제 용액으로 채워지도록 적당하게 조절하는 것이 바람직하다.

이러한 도포 니들을 이용한 경우에는 통상의 원형 니들에 비해 보다 적은 액량으로도 미도포 없이 도포할 수 있으므로 도포액의 절약, 풍건 시간의 단축에 추가로 외관의 향상을 기대할 수 있다.

<실시예>

이하, 본 발명의 실시예를 설명하지만 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

[실시예1]

도 1에 본 발명에 의한 실시예의 개략도를 나타낸다.

처음에 외부 치수 1146×1366㎜, 내부 치수 1122×1342㎜, 높이 6㎜, 코너부의 내부 치수 R2㎜, 외부 치수 R6㎜, 각 장변에 지름 1.5㎜의 통기 구멍 4개를 형성한 직사각형 알루미늄 합금제 페리클 프레임을 기계 가공에 의해 제작하고, 표면에 흑색 알루마이트 처리를 실시했다.

이 페리클 프레임을 클래스1의 클린룸에 반입하고, 중성 세제와 순수에 의해 잘 세정·건조시킨 후, 내면 점착제 도포의 평가를 행했다.

페리클 프레임(11)의 장변 외측에는 지그 구멍이 형성되어 있고, 알루미늄 합금제 유지 지그(12)에 설치된 핀(13)을 그곳에 삽입함으로써 지지했다. 그리고 페리클 프레임(11)의 내면이 수평해지도록 유지 지그(12)를 수직하게 세워서 에어 실린더를 이용한 고정 수단(도시생략)에 의해 고정했다.

내면 점착제의 도포 수단으로서 에어 가압식 디스펜서(이와시타 엔지니어링제, 도시생략)를 사용하고, 내면 점착제 용액으로서 PP제 시린지(14)에 톨루엔에 의해 5% 희석된 실리콘 점착제(신에쓰 가가꾸 고교 가부시키가이샤제, 상품명 : KR-3700)를 충전했다.

이 시린지(14)는 도포면 이외의 페리클 프레임 내면에 간섭하지 않도록 연직 방향에서 봤을 때 30°의 각도로 경사시킨 뒤, XYZ 직교 3축 로봇에 부착된 브래킷(도시생략)의 선단에 탑재했다. 또한 시린지(14)의 선단에는 SUS제 니들(내경 0.25㎜)을 부착했다.

도포 작업으로서 처음에 니들(15)을 통기 구멍 부근으로 이동시키고, 통기 구멍 내면에 점착제를 적당량 적하했다. 이 때 적하되는 액량은 외면으로부터의 스며나옴이 없고, 또한 통기 구멍에 막을 만들어 폐쇄시킬 일이 없는 양을 미리 조건 수단에 따라 구해 두었다.

이어서, 니들(15)을 페리클 프레임 코너부로 이동시키고, 변의 끝에서 끝까지 적당량을 도포하면서 4㎜/s의 일정 속도로 이동시켰다. 이 때, 니들(15)은 적하된 점착제 용액이 통기 구멍에 침입하지 않게 통기 구멍 위를 지나가지 않도록 이동시켰다. 그리고 코너부 부근에서는 코너의 R형상에 맞추어 상방으로 움직이고, R의 종단 부근까지 점착제 용액으로 덮이도록 도포를 행했다.

그리고, 이대로 도포된 점착제 용액이 유동하지 않을 정도로 건조될 때까지 약 3분 정치한 후, 유지 지그(12) 각각을 도포 장치로부터 분리하여 90도 회전시켜 다음은 단변이 수평으로 되도록 다시 세트하고, 같은 작업으로 페리클 프레임(11) 내면에 점착제를 도포했다.

이 작업을 반복해서 장변, 단변 전부에 점착제를 도포하고, 풍건에 의해 건조시켰다. 이 후 고주파 유도 가열 장치에 의해 페리클 프레임(11)만 120℃까지 더 가열하여 용매를 완전히 건조시킴과 아울러, 점착제를 완전히 경화시켰다.

작업 종료 후, 도포에 사용된 액량을 조사한 결과 약 35㏄였다. 또한 작업에 수반되는 도포 장치나 주위 환경의 오염도 일절 발생하지 않았다.

이렇게 해서 시험 제작된 테스트 샘플을 암실에 반송하여 광량 30만럭스의 할로겐 램프에 의해 내면 점착제 도포면의 외관 및 이물의 부착 상황을 관찰했다.

페리클 프레임 내면은 완전히 점착제로 덮여져 있어 내면 이외로의 점착제의 밀려나옴, 흘러늘어짐도 보이지 않았다. 통기 구멍은 육안으로 확인할 수 있는 범위에서는 외면측까지 점착제가 도포되어 있고, 또한 통기 구멍의 폐쇄도 보이지 않았다. 통기 구멍 부근, 코너부에서는 점착제가 겹쳐 도포된 것에 의한 얼룩(미묘한 요철, 표면의 물결)도 보여졌지만, 특별히 문제가 될 정도는 아니었다. 이물에 대해서는 문제가 되는 크기(지름 20㎛ 이상)의 것은 발견되지 않았다.

그리고, 도포된 점착제의 막 두께는 점착 테이프에 의해 일부를 벗겨내서 그 단차를 현미경 관찰한 결과, 약 40㎛로 추정되었다.

[실시예2]

니들(15)의 선단을 도 2에 나타내는 형상으로 바꾸고, 상기 실시예1과 완전히 같은 방법으로 내면 점착제 도포의 평가를 행했다. 니들(22) 및 토출구(24)의 내경은 마찬가지로 0.25㎜, 선단에 장착한 폭 확장 부재(23)는 지름 3㎜의 둥근 봉형상, 길이는 4㎜로 하고, 니들(22)에는 압입으로 부착했다.

시험 제작된 테스트 샘플을 관찰한 결과, 실시예1과 마찬가지로 페리클 프레임 내면은 완전히 점착제로 덮어져 있고, 내면 이외로의 점착제의 밀려나옴, 흘러늘어짐도 보이지 않았지만, 점착제 용액을 실시예1보다 얇게 도포할 수 있었으므로 표면의 광택이나 균일감이 증가되어 외관적으로는 실시예1보다 뛰어났다.

또한, 통기 구멍 부근이나 코너부에서의 얼룩(미묘한 요철, 표면의 물결)의 정도도 상당히 경감되어 있었다. 그리고 이물에 대해서는 문제가 되는 크기(지름 20㎛ 이상)의 것은 발견되지 않았다. 덧붙여서 말하면, 막 두께는 실시예1과 같은 방법에 의해 조사한 결과, 약 25㎛로 추정되었다.

[비교예]

도 3에 비교예로서 종래법의 스프레이법에 의해 페리클 프레임 내면으로의 점착제 도포를 행했을 때의 단면 개략도를 나타낸다.

상기 실시예와 같은 방법으로 페리클 프레임(31)을 준비하고, 같은 순서로 세정, 건조한 뒤 동일 유지 지그(32)에 부착했다. 또한 유지 지그(32)의 상면에 마스킹 지그(34)를 부착했다. 마스킹 지그(34)는 스테인레스의 얇은 판자와 알루미늄 합금제 프레임에 의해 구성되고, 페리클 프레임(31)의 끝면 및 유지 지그(32)의 4변 모두가 동시에 덮어지는 형상으로 했다.

이들 부재는 간단히 제작한 스탠드(도시생략)에 의해 바닥면으로부터 약 1200㎜의 높이로 수평 유지했다.

내면 점착제 용액으로서 도포액 탱크(36)에 톨루엔에 의해 2% 희석된 실리콘 점착제(신에쓰 가가꾸 고교 가부시키가이샤제, 상품명 : KR-3700)를 충전했다. 도포액 탱크(36)와 스프레이 노즐((주)이케우치제, 형식 : BIMJ) 사이는 PTFE제 튜브로 접속하고, 그 사이에는 도포량을 조절하기 위한 니들 밸브(도시생략)를 삽입했다. 스프레이 및 도포액 탱크(36) 가압의 가스원으로서는 폭발 방지를 위해 질소를 사용했다. 또 부호 37은 스프레이 분무를 나타낸다.

도포는 스프레이 노즐(35)에 부착된 길이가 긴 핸들(도시생략)을 사람의 손으로 지지하고, 약 50㎜/s의 속도가 되도록, 또한 페리클 프레임(31) 상에 사람의 손이 덮이지 않도록 주의깊게 스프레이 노즐(35)을 페리클 프레임(31)의 장축 또는 단축 방향으로 이동시키며, 5회 왕복을 반복하여 행했다. 그리고 같은 작업을 다른 3변에 대해서도 순차 행하여 도포 작업을 완료했다. 또 질소 분사에 의한 산소 결핍 사고를 방지하기 위해서 스프레이 분사 하류에는 대형 배기 덕트(도시생략)를 설치해서 배기를 행하여 질소가 주변에 체류하지 않도록 했다.

이렇게 해서 제작된 샘플을 상기 실시예와 같은 방법으로 외관 및 이물의 부착 상황을 관찰했다. 그 결과, 내면은 완전히 점착제로 덮어져 있었다. 페리클 프레임 끝면에는 약간의 점착제 미스트의 부착이 확인되었지만, 막 접착제 혹은 마스크 점착제에 의해 덮어져 버리므로 특별히 문제가 될 정도는 아니었다.

통기 구멍은, 내면측 입구 부근의 1~2㎜의 범위에는 점착제가 도포되어 있었지만, 그보다 외면측에서는 육안으로 확인할 수 있는 범위에서는 도포되어 있지 않았다. 그 외 특별히 외관적인 문제점은 없었지만, 지름 50㎛정도의 이물이 3개 부착되어 있었다.

덧붙여서 말하면, 작업 종료 후 도포에 사용된 액량을 측정한 결과 약 180㏄였다. 또한 마스킹 지그(34)의 상면의 일부에는 두께 0.1~0.2㎜정도의 얇은 점착제의 막이 생겨져 있었고, 또한 이들 시험 제작 시스템의 아래(바닥면)에 깔아둔 비닐 시트나 배기 팬의 덕트 내에도 점착제의 미스트 부착이 보여졌다.

본 발명은 점착제·용제 등의 과잉 낭비가 없고, 또한 페리클 프레임 내면으로의 점착제층 형성을 위한 작업 공간도 협소하기 때문에, 간편·고효율로 페리클 프레임 내면으로의 점착제층 형성이 가능해지며, 리소그래피 기술을 이용하는 산업 분야에 이바지하는 바가 크다.

도 1은 본 발명에 의한 페리클 프레임 내면으로의 점착제 도포 방법의 일실시형태를 나타내는 설명도이다.

도 2는 본 발명에 의한 점착제 토출구 선단의 형상의 일례를 나타내는 설명도이다.

도 3은 종래의 내면으로의 점착제 도포 방법(스프레이법)을 나타내는 단면 설명도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

11, 21, 31 : 페리클 프레임 12, 32 : 유지 지그

13, 33 : 핀 14 : 시린지

15, 22 : 도포 니들 16, 24 : 토출구

23 : 폭 확장 부재 34 : 마스킹 지그

35 : 스프레이 노즐 36 : 도포액 탱크

37 : 스프레이 분무

Claims (5)

1. 페리클 프레임에 형성되어 있는 통기 구멍 내면에 용매에 의해 희석된 점착제를 도포한 후에, 페리클 프레임의 1개의 내면이 수평 또한 상향으로 되도록 페리클 프레임을 유지하고, 상기 점착제를 토출구로부터 적하하면서 토출구를 이동함으로써 점착제를 도포하는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 내면으로의 점착제의 도포 방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 점착제의 적하량은 토출구의 이동 속도 및 페리클 프레임 상에 있어서의 토출구의 위치에 따라 제어되는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 내면으로의 점착제의 도포 방법.
3. 삭제
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 토출구의 선단의 외형 폭이 페리클 프레임 내면 폭의 50%이상인 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 내면으로의 점착제의 도포 방법.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 도포 중의 토출구의 선단과 페리클 프레임의 표면의 거리는 0.2~2㎜의 범위이며, 또한 토출구 선단과 페리클 프레임 표면의 간극이 점착제 용액으로 채워져 있는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 내면으로의 점착제의 도포 방법.

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