JPH08292555A - ペリクルの製造方法 - Google Patents
ペリクルの製造方法Info
- Publication number
- JPH08292555A JPH08292555A JP9575895A JP9575895A JPH08292555A JP H08292555 A JPH08292555 A JP H08292555A JP 9575895 A JP9575895 A JP 9575895A JP 9575895 A JP9575895 A JP 9575895A JP H08292555 A JPH08292555 A JP H08292555A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- roller
- frame
- pellicle
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ペリクル製造時に使用するペリクルフレーム
内面への防塵性コーティング剤および／または粘着剤の
塗布を塗布ムラや塗り残しなく、均一に塗布する方法の
提供を目的とするものである。 【構成】 本発明によるペリクルの製造方法は、図１に
示したようにペリクルフレーム内面への防塵性コーティ
ング剤および／または粘着剤の塗布を、ローラーを組み
込んだ自動ＸＹＺステージまたはロボットを用いて行な
うことを特徴とするものである。
内面への防塵性コーティング剤および／または粘着剤の
塗布を塗布ムラや塗り残しなく、均一に塗布する方法の
提供を目的とするものである。 【構成】 本発明によるペリクルの製造方法は、図１に
示したようにペリクルフレーム内面への防塵性コーティ
ング剤および／または粘着剤の塗布を、ローラーを組み
込んだ自動ＸＹＺステージまたはロボットを用いて行な
うことを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はペリクルの製造方法、特
にはＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表
示板を製造する際のゴミよけとして使用される、実質的
に 500nm以下の光を用いる露光方式における帯電防止さ
れたペリクルの製造方法に関するものである。
にはＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表
示板を製造する際のゴミよけとして使用される、実質的
に 500nm以下の光を用いる露光方式における帯電防止さ
れたペリクルの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置ある
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版にゴミが付
着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げて
しまうため、転写したパターニングが変形したり、エッ
ジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液
晶表示板などの性能や製造歩留りの低下を来すという問
題があった。このため、これらの作業は通常クリーンル
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原板を常に清浄に保つことが難しいので、露光原板の表
面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリ
クルを貼着する方法が行なわれている。
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版にゴミが付
着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げて
しまうため、転写したパターニングが変形したり、エッ
ジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液
晶表示板などの性能や製造歩留りの低下を来すという問
題があった。このため、これらの作業は通常クリーンル
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原板を常に清浄に保つことが難しいので、露光原板の表
面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリ
クルを貼着する方法が行なわれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このペリクル
のフレームは一般に表面の硬度を得るためにアルマイト
処理のような硬質化処理が行なわれるために、処理の過
程で表面に微小な空隙や亀裂のできることは避けられ
ず、このような空隙や亀裂に付着した異物が、ペリクル
周囲の環境の変化、例えば振動、衝撃や気圧の変化によ
って、レチクル上やペリクル膜上に移動し付着すること
が問題とされている。
のフレームは一般に表面の硬度を得るためにアルマイト
処理のような硬質化処理が行なわれるために、処理の過
程で表面に微小な空隙や亀裂のできることは避けられ
ず、このような空隙や亀裂に付着した異物が、ペリクル
周囲の環境の変化、例えば振動、衝撃や気圧の変化によ
って、レチクル上やペリクル膜上に移動し付着すること
が問題とされている。
【０００４】そのため、このような問題を解決するに
は、従来ペリクルフレームの内面に粘着剤を塗布する
か、あるいは塗料をコーティングする方法が提案されて
おり（特公昭63-777号、特公昭64-48062号各公報参
照）、このような粘着剤のフレーム内面への塗布は従来
スプレー法やディッピング法によって行なわれている。
は、従来ペリクルフレームの内面に粘着剤を塗布する
か、あるいは塗料をコーティングする方法が提案されて
おり（特公昭63-777号、特公昭64-48062号各公報参
照）、このような粘着剤のフレーム内面への塗布は従来
スプレー法やディッピング法によって行なわれている。
【０００５】しかし、このような方法では粘着剤の過剰
塗布による塗布ムラによって外観が不良になるし、歩留
りの低下や塗り残しによりフレーム表面の露出が生じて
異物の発生することがあり、問題があった。また、これ
については粘着剤を治具により引き伸ばして塗布する方
法も提案されている（特開平 6-11828号公報参照）が、
これにも過剰の粘着剤の除去が必要とされるだけでな
く、塗布ムラによる外観の不良もあるという不利があっ
た。
塗布による塗布ムラによって外観が不良になるし、歩留
りの低下や塗り残しによりフレーム表面の露出が生じて
異物の発生することがあり、問題があった。また、これ
については粘着剤を治具により引き伸ばして塗布する方
法も提案されている（特開平 6-11828号公報参照）が、
これにも過剰の粘着剤の除去が必要とされるだけでな
く、塗布ムラによる外観の不良もあるという不利があっ
た。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、問題点を解決したペリクルの製造方法に関するもの
であり、これはペリクルフレーム内面への防塵用コーテ
ィング剤および／または粘着剤の塗布を、ローラーを組
み込んだ自動ステージまたはロボットを用いて行なうこ
とを特徴とするものである。
利、問題点を解決したペリクルの製造方法に関するもの
であり、これはペリクルフレーム内面への防塵用コーテ
ィング剤および／または粘着剤の塗布を、ローラーを組
み込んだ自動ステージまたはロボットを用いて行なうこ
とを特徴とするものである。
【０００７】すなわち、本発明者らはペリクルフレーム
内面への粘着剤の塗布をスプレー法やディッピング法に
より行なう前記したような不利を解決すべく種々検討し
た結果、これをローラーを組み込んだ自動ステージまた
はロボットを用いて行なうと、ペリクルフレーム内面へ
のコーティング剤および／または粘着剤の塗布状態が格
段に向上して均一な塗布表面が得られ、外観の歩留りが
高くなるし、表面の塗布ムラが無くなるので表面の異物
検査が極めて有利になるということを見出し、これによ
ればスプレー法などに見られる塗布ムラ（未塗布部の発
生）などが皆無になるし、塗布液量も少量にできるとい
うことを確認して本発明を完成させた。
内面への粘着剤の塗布をスプレー法やディッピング法に
より行なう前記したような不利を解決すべく種々検討し
た結果、これをローラーを組み込んだ自動ステージまた
はロボットを用いて行なうと、ペリクルフレーム内面へ
のコーティング剤および／または粘着剤の塗布状態が格
段に向上して均一な塗布表面が得られ、外観の歩留りが
高くなるし、表面の塗布ムラが無くなるので表面の異物
検査が極めて有利になるということを見出し、これによ
ればスプレー法などに見られる塗布ムラ（未塗布部の発
生）などが皆無になるし、塗布液量も少量にできるとい
うことを確認して本発明を完成させた。
【０００８】
【作用】本発明はペリクル製造工程における、フレーム
内壁への異物の発生防止のためのコーティング剤および
／または粘着剤の塗布方法に関するもので、これはペリ
クルフレーム内面への防塵用コーティング剤および／ま
たは粘着剤の塗布を、ローラーを組み込んだ自動ステー
ジ、例えば自動Ｘ−Ｙステージ、自動Ｘ−Ｙ−Ｚステー
ジ、またはロボットを用いて行なうものである。
内壁への異物の発生防止のためのコーティング剤および
／または粘着剤の塗布方法に関するもので、これはペリ
クルフレーム内面への防塵用コーティング剤および／ま
たは粘着剤の塗布を、ローラーを組み込んだ自動ステー
ジ、例えば自動Ｘ−Ｙステージ、自動Ｘ−Ｙ−Ｚステー
ジ、またはロボットを用いて行なうものである。
【０００９】本発明においてコーティング液および／ま
たは粘着剤が塗布されるペリクルフレームは、従来使用
されているものであればどのようなものであってもよ
く、したがってこれは長方形、正方形、円形、八角形な
どのどのような形状であってもよい。また、この材質は
アルミニウム合金、ステンレス、鉄、チタンなどのよう
な金属、ＡＢＳ、ポリカーボネート、ポリプロピレン、
ＰＦＡ、ポリテトラフルオロエチレン、塩化ビニルなど
の樹脂などのいずれであってもよい。
たは粘着剤が塗布されるペリクルフレームは、従来使用
されているものであればどのようなものであってもよ
く、したがってこれは長方形、正方形、円形、八角形な
どのどのような形状であってもよい。また、この材質は
アルミニウム合金、ステンレス、鉄、チタンなどのよう
な金属、ＡＢＳ、ポリカーボネート、ポリプロピレン、
ＰＦＡ、ポリテトラフルオロエチレン、塩化ビニルなど
の樹脂などのいずれであってもよい。
【００１０】また、本発明で使用されるコーティング剤
および／または粘着剤もその材質に特に制限はなく、こ
れらは塗布対象となるペリクルフレームの材質を侵すも
のでなければいづれであってもよい。このコーティング
剤としてはシリコーン系ポリマー、フッ素系ポリマーな
どのポリマーが例示され、粘着剤としてはアクリル系粘
着剤、シリコーン系粘着剤、フッ素系粘着剤などが例示
されるが、本発明の用途に使用されるコーティング剤、
粘着剤はこれらに限定されるものではない。
および／または粘着剤もその材質に特に制限はなく、こ
れらは塗布対象となるペリクルフレームの材質を侵すも
のでなければいづれであってもよい。このコーティング
剤としてはシリコーン系ポリマー、フッ素系ポリマーな
どのポリマーが例示され、粘着剤としてはアクリル系粘
着剤、シリコーン系粘着剤、フッ素系粘着剤などが例示
されるが、本発明の用途に使用されるコーティング剤、
粘着剤はこれらに限定されるものではない。
【００１１】このコーティング剤および／または粘着剤
のペリクルフレームに対する塗布はローラーを組み込ん
だ自動ステージ、例えば自動Ｘ−Ｙステージ、自動Ｘ−
Ｙ−Ｚステージ、またはロボットを用いて行なわれる。
このローラーについては特に制限はなく、これは塗布す
る材料によって溶解されたり、劣化しないものであれば
どのようなものであってもよいが、好ましくは形状を維
持する硬度を持ち、発塵の少ないものとすることでよ
く、したがってこれにはシリコーン樹脂（ゴム）、ポリ
ビニルアルコール、アルミニウム、ステンレスなどの金
属製のものが例示される。
のペリクルフレームに対する塗布はローラーを組み込ん
だ自動ステージ、例えば自動Ｘ−Ｙステージ、自動Ｘ−
Ｙ−Ｚステージ、またはロボットを用いて行なわれる。
このローラーについては特に制限はなく、これは塗布す
る材料によって溶解されたり、劣化しないものであれば
どのようなものであってもよいが、好ましくは形状を維
持する硬度を持ち、発塵の少ないものとすることでよ
く、したがってこれにはシリコーン樹脂（ゴム）、ポリ
ビニルアルコール、アルミニウム、ステンレスなどの金
属製のものが例示される。
【００１２】このローラーはそれ自体が回転して、コー
ティング剤および／または粘着剤を均一に塗布できるも
のであってもよいし、固定したままでバーコーターと同
様の原理でコーティング剤および／または粘着剤を均一
に塗布できるものであってもよいが、このものはローラ
ー自体がコーティング剤および／または粘着剤を含有し
ていて、この適当量をローラーの表面にブリードさせて
コーティング剤または粘着剤をフレーム内面に塗布する
こともよい。
ティング剤および／または粘着剤を均一に塗布できるも
のであってもよいし、固定したままでバーコーターと同
様の原理でコーティング剤および／または粘着剤を均一
に塗布できるものであってもよいが、このものはローラ
ー自体がコーティング剤および／または粘着剤を含有し
ていて、この適当量をローラーの表面にブリードさせて
コーティング剤または粘着剤をフレーム内面に塗布する
こともよい。
【００１３】このローラーを移動させてペリクルフレー
ム内面にコーティング剤および／または粘着剤を塗布す
るには、このローラーを機械的に移動させる方法が用い
られる。ローラーを機械的に移動させる方法としてはペ
リクルフレームをＸＹＺ（θ）ステージに載せ、固定し
たローラーによって塗布する方法、スカラーロボットに
取りつけて塗布する方法、ＳＡＭ（６軸マニピュレータ
ー）に取りつけて塗布する方法などがあるが、これはそ
のいずれの方法でもよい。
ム内面にコーティング剤および／または粘着剤を塗布す
るには、このローラーを機械的に移動させる方法が用い
られる。ローラーを機械的に移動させる方法としてはペ
リクルフレームをＸＹＺ（θ）ステージに載せ、固定し
たローラーによって塗布する方法、スカラーロボットに
取りつけて塗布する方法、ＳＡＭ（６軸マニピュレータ
ー）に取りつけて塗布する方法などがあるが、これはそ
のいずれの方法でもよい。
【００１４】本発明によるペリクルフレームに対するコ
ーティング剤および／または粘着剤の塗布装置は例えば
図１に示されているものを使用すればよい。これは図１
に示したように、ペリクルフレーム内面に固定具を用い
てＸＹＺステージを取りつけて固定し、このＸＹＺステ
ージの上にステージと垂直に例えばステンレス鋼をシャ
フトとするシリコーンゴム製の多孔質体からなるローラ
ーを取りつけ、このローラーの上部に設けたアームに取
りつけたチューブ式ディスペンサーから粘着剤溶液を供
給し、ローラー内部に粘着剤溶液が浸透したことを確認
したのち、動作プログラムを入力したステージコントロ
ーラーによりＸＹＺステージを作動させ、ペリクルフレ
ーム内壁に沿ってローラーを移動させて、粘着剤をペリ
クルフレーム内壁に塗布すればよい。
ーティング剤および／または粘着剤の塗布装置は例えば
図１に示されているものを使用すればよい。これは図１
に示したように、ペリクルフレーム内面に固定具を用い
てＸＹＺステージを取りつけて固定し、このＸＹＺステ
ージの上にステージと垂直に例えばステンレス鋼をシャ
フトとするシリコーンゴム製の多孔質体からなるローラ
ーを取りつけ、このローラーの上部に設けたアームに取
りつけたチューブ式ディスペンサーから粘着剤溶液を供
給し、ローラー内部に粘着剤溶液が浸透したことを確認
したのち、動作プログラムを入力したステージコントロ
ーラーによりＸＹＺステージを作動させ、ペリクルフレ
ーム内壁に沿ってローラーを移動させて、粘着剤をペリ
クルフレーム内壁に塗布すればよい。
【００１５】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例１ ペリクルフレームとしてアルミニウム合金製のフレーム
の表面に黒色アルマイト処理を施した、外径 120mm×98
mm、内径 116mm×94mm、高さ６mmのものを用意し、これ
をＸＹＺステージ上に固定器具を用いて取りつけて固定
した。
の表面に黒色アルマイト処理を施した、外径 120mm×98
mm、内径 116mm×94mm、高さ６mmのものを用意し、これ
をＸＹＺステージ上に固定器具を用いて取りつけて固定
した。
【００１６】ついで、ＸＹＺステージと独立に、ＸＹＺ
ステージ上にこれと垂直にステンレス鋼をシャフトとす
るシリコーンゴム製の多孔質体からなる外径３mmのロー
ルを取りつけ、このローラー上部にチューブ式ディスペ
ンサーから内径 0.5mmのチューブにより毎秒10マイクロ
リットルのトルエンで10重量％に希釈したシリコーン系
粘着剤を供給し、ローラー内部に粘着剤溶液が浸透した
ことを確認したのち、動作プログラムを入力したステー
ジコントローラーによりＸＹＺステージを作動させてペ
リクルフレーム内壁に沿ってローラーを移動させ、粘着
剤をペリクルフレーム内壁に塗布した。
ステージ上にこれと垂直にステンレス鋼をシャフトとす
るシリコーンゴム製の多孔質体からなる外径３mmのロー
ルを取りつけ、このローラー上部にチューブ式ディスペ
ンサーから内径 0.5mmのチューブにより毎秒10マイクロ
リットルのトルエンで10重量％に希釈したシリコーン系
粘着剤を供給し、ローラー内部に粘着剤溶液が浸透した
ことを確認したのち、動作プログラムを入力したステー
ジコントローラーによりＸＹＺステージを作動させてペ
リクルフレーム内壁に沿ってローラーを移動させ、粘着
剤をペリクルフレーム内壁に塗布した。
【００１７】塗布終了後、ペリクルフレームを取り外
し、10倍の実体顕微鏡を用いてフレーム内壁の粘着剤の
塗布ムラ、塗り残しを調べると共に、40万ルクスの集光
ランプによってフレーム内壁の付着異物を調べたとこ
ろ、フレーム内壁に塗布ムラ、塗り残しは認められず、
付着異物も認められなかった。
し、10倍の実体顕微鏡を用いてフレーム内壁の粘着剤の
塗布ムラ、塗り残しを調べると共に、40万ルクスの集光
ランプによってフレーム内壁の付着異物を調べたとこ
ろ、フレーム内壁に塗布ムラ、塗り残しは認められず、
付着異物も認められなかった。
【００１８】比較例１ 実施例１と同じフレームを用意し、この両端面と外側面
をマスキングテープによってマスキングし、また実施例
１と同じ粘着剤溶液を10リットルの容器中に用意した。
ついで、このフレームを直径１mmの細ピンによって支え
る治具によって固定し、これを粘着剤溶液中に１分間浸
漬したのち、溶液中から引上げて乾燥し、乾燥後マスキ
ングテープを剥離した。
をマスキングテープによってマスキングし、また実施例
１と同じ粘着剤溶液を10リットルの容器中に用意した。
ついで、このフレームを直径１mmの細ピンによって支え
る治具によって固定し、これを粘着剤溶液中に１分間浸
漬したのち、溶液中から引上げて乾燥し、乾燥後マスキ
ングテープを剥離した。
【００１９】つぎに、このフレームの内面を10倍の実体
顕微鏡で観察すると共に、40万ルクスの集光ランプによ
ってフレーム内壁の付着異物を調べたところ、フレーム
内壁に塗り残しや異物は認められなかったけれども、こ
のものにはフレームの一部に著しい塗布ムラが見られ、
外観も不良であった。
顕微鏡で観察すると共に、40万ルクスの集光ランプによ
ってフレーム内壁の付着異物を調べたところ、フレーム
内壁に塗り残しや異物は認められなかったけれども、こ
のものにはフレームの一部に著しい塗布ムラが見られ、
外観も不良であった。
【００２０】実施例２ 実施例１と同じフレームを用意し、これをＸＹＺステー
ジ上に固定器具を用いて取りつけて固定した。ついで、
ＸＹＺステージと独立に、ＸＹＺステージ上にこれと垂
直にステンレス鋼をシャフトとするポリビニルアルコー
ル製の多孔質体からなる外径３mmのローラーを取りつ
け、このローラー上部に実施例１と同様の方法で実施例
１で使用したものと同種のトルエンで10重量％に希釈し
たシリコーン系粘着剤溶液を毎秒10マイクロリットル供
給した。
ジ上に固定器具を用いて取りつけて固定した。ついで、
ＸＹＺステージと独立に、ＸＹＺステージ上にこれと垂
直にステンレス鋼をシャフトとするポリビニルアルコー
ル製の多孔質体からなる外径３mmのローラーを取りつ
け、このローラー上部に実施例１と同様の方法で実施例
１で使用したものと同種のトルエンで10重量％に希釈し
たシリコーン系粘着剤溶液を毎秒10マイクロリットル供
給した。
【００２１】つぎに、ローラー内部に粘着剤溶液が浸透
したのを確認したのち、実施例１と同様の方法でＸＹＺ
ステージを作動させ、粘着剤をペリクルフレーム内壁に
塗布し、塗布終了後、ペリクルフレームを取り外し、10
倍の実体顕微鏡でフレーム内壁の粘着剤の塗布ムラ、塗
り残しを調べると共に、40万ルクスの集光ランプを用い
てフレーム内壁の付着異物を調べたところ、フレーム内
壁には塗布ムラ、塗り残しは認められず、付着異物も認
められなかった。
したのを確認したのち、実施例１と同様の方法でＸＹＺ
ステージを作動させ、粘着剤をペリクルフレーム内壁に
塗布し、塗布終了後、ペリクルフレームを取り外し、10
倍の実体顕微鏡でフレーム内壁の粘着剤の塗布ムラ、塗
り残しを調べると共に、40万ルクスの集光ランプを用い
てフレーム内壁の付着異物を調べたところ、フレーム内
壁には塗布ムラ、塗り残しは認められず、付着異物も認
められなかった。
【００２２】比較例２ 実施例１と同じフレームを用意し、この両端面外側面を
マスキングテープによってマスキングし、これを固定治
具を用いて固定した。また、実施例１と同じ粘着剤溶液
を用意してステンレス容器内にセットし、スプレーノズ
ルにＳＡＭ（６軸マニピュレーター）を取りつけ、ステ
ンレス容器内の粘着剤溶液を窒素圧によりスプレーノズ
ルに圧送して、スプレーノズルより粘着剤溶液をペリク
ルフレーム内壁に噴射開始後、予めプログラミングをし
たプログラムによってＳＡＭを作動させてペリクルフレ
ーム内壁に粘着剤溶液を塗布した。
マスキングテープによってマスキングし、これを固定治
具を用いて固定した。また、実施例１と同じ粘着剤溶液
を用意してステンレス容器内にセットし、スプレーノズ
ルにＳＡＭ（６軸マニピュレーター）を取りつけ、ステ
ンレス容器内の粘着剤溶液を窒素圧によりスプレーノズ
ルに圧送して、スプレーノズルより粘着剤溶液をペリク
ルフレーム内壁に噴射開始後、予めプログラミングをし
たプログラムによってＳＡＭを作動させてペリクルフレ
ーム内壁に粘着剤溶液を塗布した。
【００２３】この粘着剤溶液塗布完了後、この塗膜を乾
燥してからマスキングテープを剥離し、フレーム内面を
10倍の実体顕微鏡で観察すると共に、40万ルクスの集光
ランプによってフレーム内壁の付着異物を調べたとこ
ろ、フレーム内壁に部分的な塗布ムラが認められると共
に、70〜 150μｍの付着物が５ヶ処で認められ、組成分
析の結果、このものは塗布した粘着剤と同質のもので、
スプレーノズル内部でゲル化した粘着物であると推定さ
れた。
燥してからマスキングテープを剥離し、フレーム内面を
10倍の実体顕微鏡で観察すると共に、40万ルクスの集光
ランプによってフレーム内壁の付着異物を調べたとこ
ろ、フレーム内壁に部分的な塗布ムラが認められると共
に、70〜 150μｍの付着物が５ヶ処で認められ、組成分
析の結果、このものは塗布した粘着剤と同質のもので、
スプレーノズル内部でゲル化した粘着物であると推定さ
れた。
【００２４】実施例３ 実施例１と同じフレームを用意し、これをＸＹＺステー
ジ上に固定器具を用いて取りつけて固定した。ついで、
ＸＹＺステージと独立に、ＸＹＺステージ上にこれと垂
直にステンレス鋼をシャフトとする、予めトルエンで10
重量％に希釈したシリコーン系粘着剤を含浸させた多孔
質シリコーンゴムよりなる外径３mmのロールを取りつけ
た。
ジ上に固定器具を用いて取りつけて固定した。ついで、
ＸＹＺステージと独立に、ＸＹＺステージ上にこれと垂
直にステンレス鋼をシャフトとする、予めトルエンで10
重量％に希釈したシリコーン系粘着剤を含浸させた多孔
質シリコーンゴムよりなる外径３mmのロールを取りつけ
た。
【００２５】つぎに、ペリクルフレーム内壁に沿ってロ
ーラーを移動させるように動作プログラフを入力したス
テージコントローラーによりＸＹＺステージを作動さ
せ、粘着剤をペリクルフレーム内壁に塗布し、塗布終了
後、ペリクルフレームを取り外し、10倍の実体顕微鏡を
用いてフレーム内壁の粘着剤の塗布ムラ、塗り残しを調
べると共に、40万ルクスの集光ランプを用いてフレーム
内壁の付着異物を調べたところ、フレーム内壁には塗布
ムラ、塗り残しは見られず、付着異物の存在も認められ
なかった。
ーラーを移動させるように動作プログラフを入力したス
テージコントローラーによりＸＹＺステージを作動さ
せ、粘着剤をペリクルフレーム内壁に塗布し、塗布終了
後、ペリクルフレームを取り外し、10倍の実体顕微鏡を
用いてフレーム内壁の粘着剤の塗布ムラ、塗り残しを調
べると共に、40万ルクスの集光ランプを用いてフレーム
内壁の付着異物を調べたところ、フレーム内壁には塗布
ムラ、塗り残しは見られず、付着異物の存在も認められ
なかった。
【００２６】
【発明の効果】本発明はペリクルの製造方法、特にはペ
リクルフレームの内面に防塵用コーティング剤および／
または粘着剤を塗布する方法に関するものであるが、こ
れによればコーティング剤および／または粘着剤の塗布
状態が格段に向上して塗布ムラや塗り残しのない均一な
塗布表面が得られ、外観の歩留りも高く、異物の存在も
ないペリクルフレームを得ることができ、塗布液量も小
量にできるという有利性が与えられる。
リクルフレームの内面に防塵用コーティング剤および／
または粘着剤を塗布する方法に関するものであるが、こ
れによればコーティング剤および／または粘着剤の塗布
状態が格段に向上して塗布ムラや塗り残しのない均一な
塗布表面が得られ、外観の歩留りも高く、異物の存在も
ないペリクルフレームを得ることができ、塗布液量も小
量にできるという有利性が与えられる。
【図１】本発明で使用されるコーティング剤および／ま
たは粘着剤塗布装置の縦断面図を例示したものである。
たは粘着剤塗布装置の縦断面図を例示したものである。
Claims (8)
- 【請求項１】 ペリクルフレーム内面への防塵用コーテ
ィング剤および／または粘着剤の塗布を、ローラーを組
み込んだ自動ステージまたはロボットを用いて行なうこ
とを特徴とするペリクルの製造方法。 - 【請求項２】 ローラーが粘着剤を含有しており、ロー
ラー表面に粘着剤がブリードされる請求項１に記載した
ペリクルの製造方法。 - 【請求項３】 ローラーが樹脂製のものである請求項１
に記載したペリクルの製造方法。 - 【請求項４】 ローラーがシリコーン樹脂からなるもの
である請求項１〜３のいずれかに記載したペリクルの製
造方法。 - 【請求項５】 ローラーがポリビニルアルコールからな
るものである請求項１〜３のいずれかに記載したペリク
ルの製造方法。 - 【請求項６】 ローラーが金属からなるものである請求
項１に記載したペリクルの製造方法。 - 【請求項７】 ローラーがステンレスからなるものであ
る請求項１、２または６のいずれかに記載したペリクル
の製造方法。 - 【請求項８】 ローラーがアルミニウム合金からなるも
のである請求項１、２または６のいずれかに記載したペ
リクルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9575895A JPH08292555A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | ペリクルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9575895A JPH08292555A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | ペリクルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08292555A true JPH08292555A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14146395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9575895A Pending JPH08292555A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | ペリクルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08292555A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0779551A3 (en) * | 1995-12-15 | 1998-04-29 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Frame-supported dustproof pellicle for photolithographic photomask |
| JP2006106580A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JP2010107986A (ja) * | 2008-11-03 | 2010-05-13 | Mst Technology Co Ltd | リソグラフィ用ペリクル |
-
1995
- 1995-04-21 JP JP9575895A patent/JPH08292555A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0779551A3 (en) * | 1995-12-15 | 1998-04-29 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Frame-supported dustproof pellicle for photolithographic photomask |
| US5834143A (en) * | 1995-12-15 | 1998-11-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Frame-supported dustproof pellicle for photolithographic photomask |
| JP2006106580A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JP4591028B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2010-12-01 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| JP2010107986A (ja) * | 2008-11-03 | 2010-05-13 | Mst Technology Co Ltd | リソグラフィ用ペリクル |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20130224322A1 (en) | Method For Cleaning Fine Pattern Surface Of Mold, And Imprinting Device Using Same | |
| JP3037745B2 (ja) | ペリクル構造体 | |
| KR100323502B1 (ko) | 액정표시패널의 제조방법 및 이것에 사용되는 세정장치 | |
| KR20070110768A (ko) | 페리클 및 페리클 박리 장치 | |
| JP4889510B2 (ja) | ペリクルフレーム内面への粘着剤の塗布方法 | |
| JPH0772617A (ja) | ペリクル | |
| JPH06301199A (ja) | ペリクル | |
| JPH08292555A (ja) | ペリクルの製造方法 | |
| JP3709016B2 (ja) | 光学薄膜の製造方法 | |
| JPH0968792A (ja) | フィルター付ペリクル | |
| JP2008176102A (ja) | ペリクルフレームへの膜接着剤の塗布方法 | |
| CN112445063A (zh) | 一种保护膜框架及其制备方法及保护膜组件 | |
| US10274416B2 (en) | Peel adhesion test specimens and method for their preparation | |
| JP5618888B2 (ja) | ペリクル及びペリクル膜の製造方法 | |
| EP3904959A1 (en) | Method for controlling flatness, method for forming coating film, apparatus for controlling flatness, and apparatus for forming coating film | |
| JP5314631B2 (ja) | ペリクルフレームの通気孔内壁に粘着剤を塗布する方法 | |
| JPH0667410A (ja) | ペリクル膜の製造方法 | |
| JP2857561B2 (ja) | ペリクル | |
| US5656342A (en) | End surface-protected frame-supported pellicle for photolithography | |
| JP3429898B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
| JP2938696B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
| JP3429897B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
| JP5432855B2 (ja) | ペリクルの製造方法および装置 | |
| JP2938692B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
| JPH11167196A (ja) | リソグラフィー用ペリクル |