TWI289642B

TWI289642B - Pipe joint

Info

Publication number: TWI289642B
Application number: TW092106122A
Authority: TW
Inventors: Kazuhiko Sugiyama; Keiko Hada; Eiji Ideta; Nobukazu Ikeda; Naofumi Yasumoto
Original assignee: Fujikin Kk
Priority date: 2002-03-20
Filing date: 2003-03-20
Publication date: 2007-11-11
Also published as: TW200306395A; CN100390455C; KR20040093162A; EP1486715A1; KR100981082B1; US20050179259A1; JP2004053006A; DE60319352D1; CA2479708A1; CN1643289A; US7497482B2; IL164121A0; EP1486715B1; IL164121A; EP1486715A4; JP3538737B2; WO2003078884A1; AU2003221426A1; DE60319352T2

Description

1289642 玫、發明說明 (發明ιΜ明應敘萌:發明所屬之技術領域、先前技術、內容、實施方式及圖式簡單說明) 發明所屬之技術領域本發明係關於一種管接頭，尤其是關於使合成樹脂製之接頭元件等以螺紋裝置連結用之管接頭。先前技術例如在半導體製造用的流體控制裝置中，經常使用一種管接頭，其具有一對管狀接頭構件、以及介於兩接頭元件之相接端面的環狀墊片、以及連結兩接頭元件之螺紋裝置。此種管接頭中，管狀接頭元件及墊片一般係以例如 SUS316L等不銹鋼之金屬所製成者。上述先前技術之不銹鋼製管接頭內於半導體製造過程中有種種流體流動，流體之中含有氟化氫銨（NH4HF2)等金屬腐蝕性高之藥劑，因而有改進的需要。因此，雖然也曾考慮以PFA等之合成樹脂取代不銹鋼等之金屬而形成管接頭之各元件者，但是與金屬製者比較，合成樹脂所製成之形狀經久變化（應力緩和、冷流動等）很大，相接部分的構件之間所產生的面壓會慢慢地降低，因而有產生流體洩露之虞。本發明之目的在提供一種管接頭，其與流體接觸的部分係以合成樹脂所製成，同時即使經過一段時間之後也可維持防止流體洩露之性能。發明內容第1發明的管接頭係具備有第1及第2合成樹脂製管狀接頭構件、以及介於兩接頭構件之相接部分的合成樹脂墊 1289642 片、以及連結兩接頭構件之螺紋裝置之管接頭，其特徵爲，第1管狀接頭構件之相接端面上設置有環狀的凹部，使得墊片在整個被嵌入之狀態會留有開口部，同時第2管狀接頭構件之相接端面上設置有環狀的凸部，凸部係嵌合到整個墊片所嵌入之凹部的開口部上，在管接頭之適當地鎖緊狀態下，第1管狀接頭構件之凹部內面與第2管狀接頭構件之凸部外面介由墊片而大致全面密接。同時，在比第1 管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向內側的部分，大致全面地密接，而在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側的部分，與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向外側的部分，也大致全面地密接。第2發明的管接頭係具備有第1及第2合成樹脂製管狀接頭構件、以及連結兩接頭構件之螺紋裝置的管接頭，其特徵爲，第1管狀接頭構件之相接端面上設置有環狀的凹部，同時第2管狀接頭構件之相接端面上設置有環狀的凸部，在管接頭之適當鎖緊狀態中，第2管狀接頭構件之凸部係嵌合到第1管狀接頭構件之凹部內，而使凹部內面與凸部外面大致全面地密接，同時在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向內側的部分大致全面地密接，而在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側的部分，與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向外側的部分也大致全面地密接。 1289642 根據第2發明的管接頭中，第2管狀接頭構件之凸部係由：與第2接頭構件一體成型的一體部，及與該一體部爲另外成型之別體部所構成，在管接頭之適當鎖緊狀態中，亦可做成使第2管狀接頭構件之凸部的一體部與第2管狀接頭構件之凸部的別體部密接。第3發明的管接頭係具備有第1及第2合成樹脂製管狀接頭構件、及以及介於兩接頭構件之相接部分的合成樹脂墊片、以及連結兩接頭構件之螺紋裝置之管接頭，其特徵爲，各接頭構件之相接端面上分別設置有環狀的凹部，其可在各接頭構件相接之時用來形成容納墊片用的墊片容納部，在管接頭之適當鎖緊狀態中，第1管狀接頭構件之凹部內面之大致整個面密接在墊片上，同一凹部所露出的墊片之面與第2管狀接頭構件之凹部內面的大致全面地密接。同時，在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向內側的部分，大致全面地密接，而在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側的部分與比第2管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側的部分，也大致全面地密接。根據上述第1〜3發明的管接頭，其與流體接觸的部分係爲合成樹脂所製成，同時所製成的管接頭即使經過一段時間之後也可維持防止流體洩露之性能。第2發明的管接頭更有零件點數可以減少之優點，第3發明的管接頭具有在管接頭分解時墊片很容易卸除的優點。第3發明的管接頭中，在比第1管狀接頭構件之相接端 -10- 1289642 面的凹部更靠近徑方向內側的部分，在軸方向上比更靠近徑方向外側的部分更突出，在比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向內側的部分，在軸方向上亦比更靠近徑方向外側的部分更突出，並且在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分與凹部的底面爲同一面，徑方向外側的部分從凹部之底面朝軸方向突出，在比第2管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分係比凹部之底面更朝軸方向突出，徑方向外側的部分係比凹部之底面更朝軸方向凹入，而且更進一步地，在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分從凹部的底面更進一步地凹入，徑方向外側的部分係從凹部之底面朝軸方向突出，在比第2管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分係比凹部之底面更朝軸方向突出，徑方向外側的部分係比凹部之底面更朝軸方向凹入。上述各發明之管接頭在以手將管接頭鎖緊的狀態下，在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側之部分與在比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部或凹部更靠近徑方向內側之部分之間，存在有第1間隙；在比第 1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側之部分與在比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部或凹部更靠近徑方向外側之部分之間，存在有比第1間隙更大的第2 間隙之時較佳。因而，在適當的鎖緊狀態下，存在有面壓爲大的部分、面壓爲中的部分及面壓爲小的部分，雖然使用期間之前半段在面壓大的部分之中其壓力會降低，但是 1289642 在此期間之中，因爲可以抑制面壓爲中的部分之壓力降低之故，可以長久保持預定程度以上之流體洩露防止性能。第1間隙較佳爲在0.1公厘以上0.4公厘以下，更佳爲〇·15公厘以上0.3公厘以下。第2間隙較佳爲在0.2公厘以上0.6公厘以下，更佳爲0.25公厘以上0.5公厘以下。並且第1間隙與第2間隙之差較佳爲在0.05公厘以上0.3公厘以下，更佳爲0.1公厘以上0.2公厘以下。上述各發明之管接頭中，各接頭構件之相接端部上設置有凸緣部，螺紋裝置是由前件端面與任何一方之接頭構件的凸緣部抵接之環狀公螺紋構件，及從另一方接頭側嵌件入、且頂壁抵接在同一接頭構件的凸緣部上、且與公螺紋構件螺合之蓋頭螺帽（cap nut)所形成。公螺紋構件與蓋頭螺帽並不與流動的流體接觸，亦可爲金屬製，當然亦可爲合成樹脂製。蓋頭螺帽對公螺紋構件鎖緊之時，接頭構件的凸緣部朝向軸方向內被推壓，因而使兩接頭構件形成流體密合地結合。並且，上述各發明之管接頭中，公螺紋構件與接頭構件的凸緣部之間，以及蓋頭螺帽之頂壁與接頭構件的凸緣部之間的至少一方介入有彈推構件，其可使一方之接頭構件朝向另一方之接頭構件彈推，並且蓋頭螺帽之內徑與兩接頭構件之凸緣部外徑之間形成有環狀間隙，此間隙中容納有環狀隔離材，蓋頭螺帽之頂壁與隔離材之間的至少一方介入有彈推構件，其可使一方之接頭構件朝向另一方之接頭構件彈推。如此構成之下，即使合成樹脂製之接頭構件及墊片產生經常之變化（應力緩和、冷流動等）時，因爲一 -12- 1289642 方之接頭構件朝向另一方之接頭構件而經常彈推之故，可保持對流體洩露防止性能影響很大的面壓，因此更確實地確保流體洩露防止性能。而且更進一步地，較佳爲在蓋頭螺帽之頂壁與接頭構件的凸緣部之間介入有推力環。如此構成之下，將蓋頭螺帽轉動而鎖緊之時，推力環在接觸蓋頭螺帽及接頭構件的狀態下對其等變成滑動，因而防止蓋頭螺帽及接頭構件之一起轉動。此情況時，推力環之外徑做成比蓋頭螺帽之內徑大，蓋頭螺帽內周上形成有收容推力環之外周緣部用之環狀凹處。推力環之厚度最好做成與墊片相等或者比較小，爲了應力之緩和的觀點儘可能地做成薄較佳。雖然構成各接頭構件用的合成樹脂方面，例如舉例有 PFA之氟素樹脂、而構成墊片用的合成樹脂方面舉例有 PTFE之氟素樹脂，但是亦可使用除此以外的FEP、PCTFE、 ETFE等之氟素樹脂，並且亦可使用其他之合成樹脂，當然也可以使用與接頭構件及墊片同樣的材料。並且，構成推力環用的合成樹脂方面，例如雖然爲使用與墊片同樣的材料，但是亦可使用滑動摩擦係數比較小（易滑動）的合成樹脂。實施方式本發明之實施形態將參照以下之圖式而說明。第1圖及第2(a)、（b)圖係顯示第1之發明的管接頭的實施形態之縱剖面圖。如第1圖所示，管接頭（1)係由：合成 1289642 樹脂製之第1管狀接頭構件（2)及合成樹脂製之第2管狀接頭構件（3)、以及介於兩接頭構件（2)(3)之相接部分、剖面爲方形的環狀合成樹脂製墊片（4)、以及嵌入第2接頭構件（3) 之環狀公螺紋構件（5);以及與從第1管狀接頭構件（2)嵌入之公螺紋構件（5)螺合之蓋頭螺帽（6)，所構成。各接頭構件（2) (3)具有互爲相等且橫亙整個長度之一定內徑，其係由：相接部之近方的厚璧部（2a)(3a);及相接部之遠方的薄璧部（2b) (3b);及設置在厚璧部（2a) (3 a)之相接端部之凸緣部（2c)(3c)，所構成。第1管狀接頭構件（2)之相接部端面的徑方向中間部上，設置有剖面爲方形的環狀凹部（7)。第2管狀接頭構件（3) 之相接部端面的徑方向中間部上，則設置有剖面爲方形的環狀凸部（8)。公螺紋構件（5)及蓋頭螺帽（6)爲金屬製，公螺紋構件（5) 之相接部與相反側的端部上設置有六角柱狀的凸緣部 (5a)，蓋頭螺帽（6)之相接部與相反側的端部上設置有開孔圓板狀之頂壁（6a)。公螺紋構件（5)之內徑大致與第2管狀接頭構件（3)之厚璧部（3a)的外徑相等，蓋頭螺帽（6)之頂壁 (6a)的內徑大致與第1管狀接頭構件（2)之厚璧部（2a)的外徑相等。對公螺紋構件（5)將蓋頭螺帽（6)鎖緊之時，公螺紋構件（5)可將第2管狀接頭構件（3)之凸緣部（3c)朝向軸方向內推壓，蓋頭螺帽（6)可將第1管狀接頭構件（2)之凸緣部（2c) 朝向軸方向內推壓，因而兩接頭構件（2)(3)介由墊片（4)而密接。第1管狀接頭構件（2)之凹部（7)、第2管狀接頭構件（3) -14- 1289642 之凸部（8)以及墊片（4)之內徑大致相等，並且第1管狀接頭構件（2)之凹部（7)、第2管狀接頭構件（3)之凸部（8)以及墊片（4)之外徑也大致相等。凹部（7)之凹入量比凸部（8)之突出量做成更大，墊片（4)之厚度比凹部（7)之凹入量做成更小。然後，凹部（7)之凹入量比凸部（8)之突出量與墊片（4)之厚度之和做成更小若干。第2(a)圖係顯示以手將蓋頭螺帽（6)鎖緊在公螺紋構件（5) 的狀態；第2 (b)圖係顯示從該狀態更進一步地使用扳手等而適當地鎖緊之狀態之圖。如第2(a)圖所示，管接頭（1)之以手鎖緊的狀態中，整個墊片（4)嵌入第1管狀接頭構件（2)之凹部（7)內，第2管狀接頭構件（3)之凸部（8)將此墊片（4)推壓到凹部（7)之底面上。然後，比第1管狀接頭構件（2)之相接端面的凹部（7)更靠近徑方向內側之部分（2d)，與比第2管狀接頭構件（3)之相接端面的凸部（8)更靠近徑方向內側之部分（3d)之間存在有第 1間隙（G1)，比第1管狀接頭構件（2)之相接端面的凹部（7) 更靠近徑方向外側之部分（2e)，與比第2管狀接頭構件（3) 之相接端面的凸部（8)更靠近徑方向外側之部分（3e)之間存在有比第1間隙（G1)更大的第2間隙（G2)。舉一個例子說明其具體尺寸，第1管狀接頭構件（2)之凹部（7)之徑方向內側部分（2d)與徑方向外側部分（2e)爲同一面，凹部（7)之凹入量爲1.5公厘，第2管狀接頭構件（3)之凸部（8)的徑方向內側部分（3d)比徑方向外側部分（3e)在軸方向更突出0.2公厘，凸部（8)之突出量以徑方向內側部分（3d)做基準之時爲 0.8公厘，墊片（4)之厚度爲1公厘、第！間隙（<31)爲〇·3公 1289642 厘，第2間隙（G 2)爲Ο . 5公厘。如第2(b)圖所示，在管接頭（1)之適當鎖緊狀態中，墊片 (4)及第2管狀接頭構件（3)之整個凸部（8)嵌入第1管狀接頭構件（2)之凹部（7)內，第1管狀接頭構件（2)之凹部（7)內面與第2管狀接頭構件（3)之凸部（8)外面介由墊片（4)而大致全面地密接，同時比第1管狀接頭構件（2)之相接端面的凹部（7)更靠近徑方向內側的部分（2d)，與比第2管狀接頭構件（3)之相接端面的凸部（8)更靠近徑方向內側的部分（3d)大致全面地密接，而比第1管狀接頭構件（2)之相接端面的凹部（7)更靠近徑方向外側的部分（2e)，與比第2管狀接頭構件（3)之相接端面的凸部（8)更靠近徑方向外側的部分（3e)也大致全面地密接。第3圖及第4圖係顯示第2發明的管接頭的實施形態。如第3圖所示，管接頭（11)係由：合成樹脂製之第1管狀接頭構件（12)及合成樹脂製之第2管狀接頭構件（13);以及嵌入第2管狀接頭構件（13)的環狀公螺紋構件（5);以及與從第1管狀接頭構件（2)嵌入之公螺紋構件（5)螺合之蓋頭螺帽 (6)所構成。兩接頭構件（12) (13)具有互爲相等且橫亙整個長度之一定內徑，其係由相接部之近方的厚璧部（12a)(l 3a);及相接部之遠方的薄璧部（12b)(13b);及設置在厚璧部（12a)(13a) 之相接端部之凸緣部（12c)(13c)所構成。第1管狀接頭構件（12)之相接部端面的徑方向中間部上設置有剖面爲方形的凹部（17)。第2管狀接頭構件（13)之相接部端面的徑方向中間部上則設置有剖面爲方形的凸部 -16- 1289642 (18)。公螺紋構件（5)及蓋頭螺帽（6)爲金屬製，公螺紋構件（5) 之相接部與相反側的端部上設置有六角柱狀的凸緣部 (5a) ’蓋頭螺帽（6)之相接部與相反側的端部上設置有開孔圓板狀之頂壁（6a)。公螺紋構件（5)之內徑大致與第2管狀接頭構件（13)之厚璧部（13a)的外徑相等，蓋頭螺帽（6)之頂壁（6a)的內徑大致與第1管狀接頭構件（1 2)之厚璧部（12a) 的外徑相等。對公螺紋構件（5)將蓋頭螺帽（6)鎖緊之時，公螺紋構件（5)可將第2管狀接頭構件（13)之凸緣部（13〇朝向軸方向內推壓，蓋頭螺帽（6)可將第1管狀接頭構件（12)之凸緣部（12c)朝向軸方向內推壓，因而兩接頭構件（12)(13) 介由凹部（17)與凸部（18)嵌合的狀態而密接。第1管狀接頭構件（12)之凹部（17)及第2管狀接頭構件（13) 之凸部（18)之外徑做成大致相等。凹部（17)之凹入量比凸部 (18)之突出量做成更小若干。第4圖係顯示以手將蓋頭螺帽（6)鎖緊到公螺紋構件（5)的狀態。如圖所示，在管接頭（11)之手鎖緊的狀態中，第2 管狀接頭構件（13)之凸部（18)嵌入第1管狀接頭構件（12)之凹部（17)內，凸部（18)前端面推壓凹部（17)之底面。然後，比第1管狀接頭構件（12)之相接端面的凹部（17)更靠近徑方向內側之部分（1 2d)，與比第2管狀接頭構件（13)之相接端面的凸部（18)更靠近徑方向內側之部分（13d)之間存在有第 1間隙（G1)，比第1管狀接頭構件（12)之相接端面的凹部（17) 更靠近徑方向外側之部分（12e)，與比第2管狀接頭構件（13) 之相接端面的凸部（18)更靠近徑方向外側之部分U3e)之間 1289642 存在有比第1間隙（G1)更大的第2間隙（G2)。舉一個例子說明其具體尺寸，第1管狀接頭構件（12)之凹部（17)之徑方向內側部分（1 2d)與徑方向外側部分（12e)爲同一面，凹部（17) 之凹入量爲1.5公厘，第2管狀接頭構件（13)之凸部（18)的徑方向內側部分（13d)比徑方向外側部分（13e)在軸方向更突出0.2公厘。以徑方向內側部分（13d)做基準之時，凸部 (18)之突出量爲1.8公厘，第1間隙（G1)爲0.3公厘；第2 間隙（G2)爲0.5公厘。從第4圖之狀態更進一步地鎖緊到適當的鎖緊狀態之時，第2管狀接頭構件（13)之整個凸部（18)嵌入第1管狀接頭構件（12)之凹部（17)內，第1管狀接頭構件（12)之凹部（17) 內面與第2管狀接頭構件（13)之凸部（18)外面大致全面地密接，同時比第1管狀接頭構件（12)之相接端面的凹部（17) 更靠近徑方向內側的部分（1 2d)，與比第2管狀接頭構件（13) 之相接端面的凸部（18)更靠近徑方向內側的部分（13d)大致全面地密接，而比第1管狀接頭構件（12)之相接端面的凹部 (18)更靠近徑方向外側的部分（12e)，與比第2管狀接頭構件（13)之相接端面的凸部（18)更靠近徑方向外側的部分 (1 3 e)也大致全面地密接。第5圖係顯示第3之發明的管接頭的第1實施形態。如第5圖所示，管接頭（21)係由：合成樹脂製之第1管狀接頭構件（22)及合成樹脂製之第2管狀接頭構件（23);以及介於兩接頭構件（22)(23)之相接部分；剖面爲方形的環狀合成樹脂製墊片（24);以及嵌入第2接頭構件（23)之環狀公螺紋構件（5);以及與從第1管狀接頭構件（22)嵌入之公螺紋構件 1289642 (5)螺合的蓋頭螺帽（6)所構成。 . 各接頭構件（22) (23)具有互爲相等且橫亙整個長度之一定內徑，其係由；相接部之近方的厚璧部（22a)(23a);及相接部之遠方的薄璧部（圖示省略）；及設置在厚璧部（22a)(23a) 之相接端部之凸緣部（22c)(23c)所構成。第1管狀接頭構件（22)之相接部端面的徑方向中間部上設置有剖面爲方形的環狀凹部（27)。第2管狀接頭構件（23) 之相接部端面的徑方向中間部上也設置有剖面爲方形的環狀凹部（28)。比第1管狀接頭構件（22)之相接端面的凹部（27) φ 更靠近徑方向內側之部分（22d)，係比徑方向外側之部分 (22e)在軸方向上更突出少許，比第2管狀接頭構件（23)之相接端面的凹部（2 8)更靠近徑方向內側之部分（23d)，係比徑方向外側之部分（23 e)在軸方向上更突出少許。兩凹部 (27)(2 8)可形成接頭構件（22)(23)在相接之時容納墊片（24) 用之墊片容納部（26)。公螺紋構件（5)及蓋頭螺帽（6)爲金屬製，公螺紋構件（5) 之相接部與相反側的端部上設置有六角柱狀的凸緣部 φ (5a)，蓋頭螺帽（6)之相接部與相反側的端部上設置有開孔圓板狀之頂壁（6a)。公螺紋構件（5)之內徑大致與第2管狀接頭構件（23)之厚璧部（23a)的外徑相等，蓋頭螺帽（6)之頂壁（6a)的內徑大致與第1管狀接頭構件（22)之厚璧部（22a) 的外徑相等。對公螺紋構件（5)將蓋頭螺帽（6)鎖緊之時，公螺紋構件（5)可將第2管狀接頭構件（23)之凸緣部（23c)朝向軸方向內推壓，蓋頭螺帽（6)可將第1管狀接頭構件（22)之凸緣部（22c)朝向軸方向內推壓，因而兩接頭構件（22)(23) -19- 1289642 介由墊片（24)而密接。第1管狀接頭構件（22)之凹部（27)，第2管狀接頭構件（23) 之凹部（28)，以及墊片（24)之內徑，大致相等。並且，第1 管狀接頭構件（22)之凹部（27);第2管狀接頭構件（23)之凹部（2 8);以及墊片（24)之外徑，也大致相等。以兩凹部（27)(28) 之接頭構件（22) (23)的徑方向內側之部分（22d)(23d)做爲基準之凹入量，做成比墊片（24)之厚度更小若干。第5圖係顯示以手將蓋頭螺帽（6)鎖緊到公螺紋構件（5)的狀態，此管接頭（21)之手鎖緊的狀態中，墊片（24)約一半嵌入到第1管狀接頭構件（22)之凹部（27)內，墊片（24)之剩餘約一半則嵌入到第2管狀接頭構件（23)之凹部（2 8)內，第1 管狀接頭構件（22)之凹部（27)底面及第2管狀接頭構件（23) 之凹部（28)底面壓迫此墊片（24)。然後，在比第1管狀接頭構件（22)之相接端面的凹部（27)更靠近徑方向內側之部分 (22d)，與比第2管狀接頭構件（23)之相接端面的凹部（28) 更靠近徑方向內側之部分（23d)之間存在有第1間隙（G1); 比第1管狀接頭構件（22)之相接端面的凹部（27)更靠近徑方向外側之部分（22e)，與比第2管狀接頭構件（23)之相接端面的凹部（2 8)更靠近徑方向外側之部分（23e)之間存在有比第1間隙（G1)更大的第2間隙（G2)。舉一個例子說明其具體尺寸，各接頭構件（22)(23)之凹部（27)(28)之徑方向內側部分（22d) (2 3d)比徑方向外側部分（22e) (23 e)在軸方向上更突出0.1公厘，凹部（27) (28)之凹入量以徑方向內側部分 (22d) (2 3d)做爲基準爲1.15公厘，墊片（4)之厚度爲2公厘，第1間隙（G1)爲0.3公厘，第2間隙（G2)爲0.5公厘。 1289642 從第5圖之狀態更進一步地鎖緊時，首先’比第1管狀接頭構件（22)之相接端面的凹部（27)更靠近徑方向內側的部分（22d)，與比第2管狀接頭構件（23)之相接端面的凹部 (28)更靠近徑方向內側的部分（23d)大致全面地密接’更進一步地鎖緊而使管接頭（21)到達適當的鎖緊狀態時’整個墊片（24)嵌入到第1管狀接頭構件（22)之凹部（27)及第2管狀接頭構件（23)之凹部（28)所形成的墊片容納部（26)內’而使第1管狀接頭構件（22)之凹部（27)內面大致全面密接在墊片（24)上，從第1管狀接頭構件（22)之凹部（27)露出之墊片 (24)之面密接在第2管狀接頭構件（23)之凹部（28)內面之大致全面上。同時，比第1管狀接頭構件（22)之相接端面的凹部（27)更靠近徑方向外側的部分（22e)，與比第2管狀接頭構件（23)之相接端面的凹部（28)更靠近徑方向外側的部分 (23e)也大致全面地密接。第6圖係顯示第3之發明的管接頭的第2實施形態。如第6圖所示，管接頭（31)係由：合成樹脂製之第1管狀接頭構件（3 2)及合成樹脂製之第2管狀接頭構件（33);以及介於兩接頭構件（3 2)(3 3 )之相接部分且剖面爲方形的環狀合成樹脂製墊片（34);以及嵌入第2接頭構件（3 3)之環狀公螺紋構件（5);以及與從第1管狀接頭構件（3 2)嵌入之公螺紋構件（5)螺合的蓋頭螺帽（6)，所構成。各接頭構件（3 2) (3 3)具有互爲相等且橫亙整個長度之一定內徑，其係由相接部之近方的厚璧部（32a)(33a);及相接部之遠方的薄璧部（圖示省略）、及設置在厚璧部（3 2a)(3 3 a) 之相接端部之凸緣部（32c)(33c)所構成。 -21- 1289642 第1管狀接頭構件（3 2)之相接部端面的徑方向中間部上設置有剖面爲方形的環狀凹部（37)。第2管狀接頭構件（33) 之相接部端面的徑方向中間部上也設置有剖面爲方形的環狀凹部（38)。比第1管狀接頭構件（3 2)之相接端面的凹部（37) 更靠近徑方向內側之部分（32d)係與凹部（3 7)之底面爲同一面，徑方向外側之部分（32e)在軸方向上比凹部（3 7)之底面更突出，徑方向外側之部分（33 e)在軸方向上比凹部（3 8)之底面更凹入。兩凹部（37)(3 8)、第1管狀接頭構件（3 2)之徑方向外側之部分（3 2e)，及第2管狀接頭構件（33)之徑方向內側之部分（3 3d)可形成接頭構件（3 2)(3 3)，在相接之時容納墊片（24)用之墊片容納部（36)。公螺紋構件（5)及蓋頭螺帽（6)爲金屬製，公螺紋構件（5) 之相接部與相反側的端部上設置有六角柱狀的凸緣部 (5a)，蓋頭螺帽（6)之相接部與相反側的端部上設置有開孔圓板狀之頂壁（6a)。公螺紋構件（5)之內徑大致與第2管狀接頭構件（33)之厚璧部（33a)的外徑相等’蓋頭螺帽（6)之頂壁（6a)的內徑大致與第1管狀接頭構件（32)之厚璧部（32a) 的外徑相等。（5)將蓋頭螺帽（6)對公螺紋構件鎖緊之時，公螺紋構件（5)可將第2管狀接頭構件（3 3)之凸緣部（3 3c)朝向軸方向內推壓，蓋頭螺帽（6)可將第1管狀接頭構件（32)之凸緣部（32c)朝向軸方向內推壓，因而兩接頭構件（32)(3 3) 介由墊片（34)而密接。第1管狀接頭構件（32)之凹部（37)，第2管狀接頭構件（33) 之凹部（38)，以及墊片（34)之內徑大致相等。並且第1管狀接頭構件（32)之凹部（37)，第2管狀接頭構件（33)之凹部 1289642 (3 8)，以及墊片（3 4)之外徑也大致相等。第1管狀接頭構件 (3 2)之凹部（37)之凹入量做成比墊片（3 4)之厚度大若干。第 2管狀接頭構件（3 3)之凹部（3 8)之凹入量做成比墊片（34)之厚度小若干。第6圖係顯示以手將蓋頭螺帽（6)鎖緊到公螺紋構件（5)的狀態。在此管接頭（31)之手鎖緊的狀態中，整個墊片（34) 嵌入到墊片容納部（3 6)內，第1管狀接頭構件（3 2)之凹部（37) 底面及第2管狀接頭構件（3 3)之凹部（3 8)底面壓迫此墊片 (3 4)。然後，比第1管狀接頭構件（3 2)之相接端面的凹部（37) 更靠近徑方向內側之部分（3 2d)，與比第2管狀接頭構件（33) 之相接端面的凹部（3 8)更靠近徑方向內側之部分（3 3d)之間，存在有第1間隙（G1)。比第1管狀接頭構件（32)之相接端面的凹部（37)更靠近徑方向外側之部分（32e)，與比第2 管狀接頭構件（3 3)之相接端面的凹部（3 8)更靠近徑方向外側之部分（3 3e)之間，存在有比第1間隙（G1)更大的第2間隙（G2)。舉一個例子說明其具體尺寸，第1管狀接頭構件 (32)之徑方向外側部分（32e)的突出量，以凹部（3 7)之底面做基準時爲1. 5公厘，第2接頭構件（3 3 )之徑方向內側部分 (33d)的突出量，以凹部（38)之底面做基準時爲0.7公厘，第 2接頭構件（3 3)之徑方向外側部分（33e)的凹入量以凹部（38) 之底面做基準時爲1公厘，墊片（4)之厚度爲1公厘，第1 間隙（G1)爲0.3公厘，第2間隙（G2)爲0·5公厘。從第6圖之狀態更進一步地鎖緊時，首先，比第1管狀接頭構件（3 2)之相接端面的凹部（37)更靠近徑方向內側的部分（32d)，與比第2管狀接頭構件（3 3)之相接端面的凹部 -23- 1289642 (3 8)更靠近徑方向內側的部分（33d)，大致全面地密接。更進一步地鎖緊而使管接頭（3 1)到達適當的鎖緊狀態時，利用兩凹部（37)(3 8)、第1管狀接頭構件（32)之徑方向外側的部分（3 2e);及第2管狀接頭構件（3 3)之徑方向內側的部分 (3 3 d)，而使整個墊片（3 4)嵌入到墊片容納凹部（3 6)內，墊片容納凹部（3 6)內面與墊片（34)之外面大致全面地密接，比第 1管狀接頭構件（3 2)之相接端面的凹部（37)更靠近徑方向外側的部分（32e)，與比第2管狀接頭構件（3 3)之相接端面的凹部（3 8)更靠近徑方向外側的部分（33 e)，也大致全面地密接。第7圖係顯示第3發明的管接頭的第3實施形態。如第7 圖所示，管接頭（41)係由：合成樹脂製之第1管狀接頭構件 (42)及合成樹脂製之第2管狀接頭構件（43);以及介於兩接頭構件（42) (43)之相接部分且剖面爲方形的環狀合成樹脂製墊片（44);以及嵌入第2接頭構件（43)之環狀公螺紋構件 (5);以及與從第1管狀接頭構件（42)嵌入之公螺紋構件（5) 螺合的蓋頭螺帽（6)，所構成。各接頭構件（42)、（43)具有互爲相等且橫亙整個長度之一定內徑，其係由相接部之近方的厚璧部（42a)、（43a);及相接部之遠方的薄璧部（圖示省略）；及設置在厚璧部（42a)、 (43a)之相接端部之凸緣部（42c)、（43c)，所構成。第1管狀接頭構件（42)之相接部端面的徑方向中間部上設置有剖面爲方形的環狀凹部（47)。第2管狀接頭構件（43) 之相接部端面的徑方向中間部上也設置有剖面爲方形的環狀凹部（48)。比第1管狀接頭構件（42)之相接端面的凹部（47) 1289642 更靠近徑方向內側之部分（42d)係比凹部（47)之底面更凹入’徑方向外側之部分（4 2 e)在軸方向上比凹部（4 7)之底面更突出。比第2管狀接頭構件（43)之相接端面的凹部（48) 更靠近徑方向內側之部分（43d)，在軸方向上係比凹部（48) 之底面更突出，徑方向外側之部分（43 e)在軸方向上比凹部 (48)之底面更凹入。兩凹部（47)、（48);第1管狀接頭構件（42)之徑方向外側之部分（4 2 e);及第2管狀接頭構件（4 3 )之徑方向內側之部分（43d)，可形成接頭構件（42)、（43)在相接之時容納墊片（44) 用之墊片容納部（46)。公螺紋構件（5)及蓋頭螺帽（6)爲金屬製，公螺紋構件（5) 之相接部與相反側的端部上設置有六角柱狀的凸緣部 (5a)，蓋頭螺帽（6)之相接部與相反側的端部上設置有開孔圓板狀之頂壁（6a)。公螺紋構件（5)之內徑大致與第2管狀接頭構件（43)之厚璧部（43a)的外徑相等，蓋頭螺帽（6)之頂壁（6a)的內徑大致與第1管狀接頭構件（42)之厚璧部（42a) 的外徑相等。對公螺紋構件（5)將蓋頭螺帽（6)鎖緊之時，公螺紋構件（5)可將第2管狀接頭構件（43)之凸緣部（43c)朝向軸方向內推壓，蓋頭螺帽（6)可將第1管狀接頭構件（42)之凸緣部（42c)朝向軸方向內推壓，因而兩接頭構件（42)(43) 介由墊片（44)而密接。第1管狀接頭構件（42)之凹部（47)、第2管狀接頭構件（43) 之凹部（48)、以及墊片（44)之內徑大致相等，並且第1管狀接頭構件（42)之凹部（47)、第2管狀接頭構件（43)之凹部（48) 以及墊片（44)之外徑也大致相等。第1管狀接頭構件（42) -25- 1289642 之凹部（47)之凹入量做成比墊片（44)之厚度大若干，第2管 · 狀接頭構件（43)之凹部（48)之凹入量做成比墊片（44)之厚度大若干。第7圖係顯示以手將蓋頭螺帽（6)鎖緊到公螺紋構件（5)的狀態，此管接頭（41)之手鎖緊的狀態中，整個墊片（44)嵌入到墊片容納部（46)內，第1管狀接頭構件（42)之凹部（47)底面及第2管狀接頭構件（43)之凹部（48)底面壓迫此墊片 (44)。然後，比第1管狀接頭構件（42)之相接端面的凹部（47) 更靠近徑方向內側之部分（42d)，與比第2管狀接頭構件（43) φ 之相接端面的凹部（48)更靠近徑方向內側之部分（43d)之間，存在有第1間隙（G1)，比第1管狀接頭構件（42)之相接端面的凹部（47)更靠近徑方向外側之部分（42e)，與比第2 管狀接頭構件（4 3)之相接端面的凹部（48)更靠近徑方向外側之部分（43e)之間，存在有比第1間隙（G1)更大的第2間 ^ 隙（G2)。舉一個例子說明其具體尺寸，第1管狀接頭構件 (42)之徑方向外側部分（42e)的突出量，以凹部（47)之底面做基準時爲1 .5公厘，第1接頭構件（42)之徑方向內側部分 φ (42d)的凹入量，以凹部（47)之底面做基準時爲0.8公厘’第 2接頭構件（43)之徑方向內側部分（43d)的突出量’以凹部 (48)之底面做基準時爲1.5公厘，第2接頭構件（43)之徑方向外側部分（43 e)的凹入量，以凹部（4 8)之底面做基準時爲 1.0公厘，墊片（44)之厚度爲1公厘、第1間隙（G1)爲0.3 公厘、第2間隙（G2)爲0.5公厘。從第7圖之狀態更進一步地鎖緊時，首先，比第1管狀接頭構件（42)之相接端面的凹部（47)更靠近徑方向內側的 -26- 1289642 部分（4 2d)，與比第2管狀接頭構件（43)之相接端面的凹部 (48)更靠近徑方向內側的部分（43d)大致全面地密接；更進一步地鎖緊而使管接頭（4 1)到達適當的鎖緊狀態時，利用兩凹部（47)(48)、第1管狀接頭構件（42)之徑方向外側的部分（42e)及第2管狀接頭構件（43)之徑方向內側的部分 (43d)，使整個墊片（44)嵌入到墊片容納凹部（46)內，墊片容納凹部（46)內面與墊片（44)之外面大致全面地密接，比第1 管狀接頭構件（42)之相接端面的凹部（47)更靠近徑方向外側的部分（42e)，與比第2管狀接頭構件（43)之相接端面的凹部（3 8)更靠近徑方向外側的部分（3 3e)也大致全面地密接。第8圖係顯示第1發明的另一管接頭的實施形態。如第8 圖所示，管接頭（51)係由：合成樹脂製之第1管狀接頭構件 (5 2)及合成樹脂製之第2管狀接頭構件（53);以及介於兩接頭構件（5 2)(5 3 )之相接部分且剖面爲方形的環狀合成樹脂製墊片（54)、以及嵌入第2接頭構件（53)之環狀公螺紋構件 (5 5)、以及與從第1管狀接頭構件（5 2)嵌入之公螺紋構件（55) 螺合的蓋頭螺帽（56)，所構成。各接頭構件（52)、（53)具有互爲相等且橫亙整個長度之一定內徑，其係由相接部之近方的厚璧部（52a)、（53a);及相接部之遠方的薄璧部（52b)、（53b);及設置在厚璧部（52a)、 (53a)之相接端部之凸緣部（52c)(53c) ’所構成。第1管狀接頭構件（52)之相接部端面的徑方向中間部上設置有剖面爲方形的環狀凹部（57) °第2管狀接頭構件（53) 之相接部端面的徑方向中間部上也設置有剖面爲方形的環 -27- 1289642 狀凸部（58)。公螺紋構件（5 5)及蓋頭螺帽（5 6)爲金屬製，公螺紋構件（55) 之相接部與相反側的端部上設置有六角柱狀的凸緣部 (5 5a)，蓋頭螺帽（5 6)之相接部與相反側的端部上設置有開孔圓板狀之頂壁（56a)。公螺紋構件（55)之內徑大致與第2 管狀接頭構件（5 3)之厚璧部（5 3 a)的外徑相等，蓋頭螺帽（56) 之頂壁（56a)的內徑大致與第1管狀接頭構件（52)之厚璧部 (52a)的外徑相等。在此實施形態中，公螺紋構件（55)之外徑及蓋頭螺帽（56) 的內徑，做成比兩接頭構件（52)、（5 3)之凸緣部（52c)、（53c) 更大，蓋頭螺帽（56)的內徑與兩接頭構件（5 2)(5 3 )之凸緣部 (52c) (5 3c)的外徑之間形成有間隙。此間隙中容納有環狀的間隔材（59)。然後，蓋頭螺帽（5 6)的頂壁與第1管狀接頭構件（52)之凸緣部（52c)及間隔材（59)之間設置有，使第1管狀接頭構件（52)之凸緣部（52c)朝向第2管狀接頭構件（5 3)彈設之環狀的盤狀彈簧（50)及彈簧墊圈（60)之彈設構件，而彈簧墊圈（60)設置在凸緣部（52c)側及間隔材（59)側。間隔材 (59)之軸方向長度做成比兩接頭構件（52)(5 3 )之凸緣部（52c) (5 3 c)的軸方向長度之和更小若干。將蓋頭螺帽（5 6)對公螺紋構件（5 5)鎖緊之時，公螺紋構件 (5 5)可將第2管狀接頭構件（5 3)之凸緣部（5 3c)朝向軸方向內推壓，蓋頭螺帽（56)可介由盤狀彈簧（50)及彈簧墊圈（60) 而將第1管狀接頭構件（52)之凸緣部（52c)朝向軸方向內推壓，因而兩接頭構件（52)、（5 3)介由墊片（54)而密接。第1管狀接頭構件（52)之凹部（57)、第2管狀接頭構件（53) -28- 1289642 之凸部（58)、以及墊片（54)之內徑大致相等；並且，第1管 -狀接頭構件（52)之凹部（57)、第2管狀接頭構件（53)之凸部 (58)以及墊片（54)之外徑也大致相等。凹部（57)之凹入量做成比凸部（5 8)之突出量更大，墊片（54)之厚度做成比凹部 (57)之凹入量小若干。然後，凹部（57)之凹入量做成比凸部 (5 8)之突出量與墊片（54)之厚度的和小若干。第8圖係顯示以手將蓋頭螺帽（56)鎖緊到公螺紋構件（55) 的狀態，除了間隔材（5 9)及彈設構件（59)、（60)以外的構成，此管接頭（5 1)與第1圖及第2圖所示之實施形態相同。因而 φ 細部省略，管接頭（51)之手鎖緊的狀態中，整個墊片（54) 嵌入到第1管狀接頭構件（5 2)之凹部（57)內，第2管狀接頭構件（5 3)之凸部（5 8)將此墊片（54)推壓到凹部（57)之底面，而在比第1管狀接頭構件（5 2)之相接端面的凹部（5 7)更靠近徑方向內側之部分與比第2管狀接頭構件（53)之相接端面 < 的凸部（5 8)更靠近徑方向內側之部分之間，存在有第1間隙 (G1)。在比第1管狀接頭構件（5 2)之相接端面的凹部（5 7)更靠近徑方向外側之部分與比第2管狀接頭構件（53)之相接 φ 端面的凸部（5 8)更靠近徑方向外側之部分之間，存在有比第1間隙（G1)更大的第2間隙（G2)。然後，使管接頭（51)到達適當的鎖緊狀態時，墊片（54)及第2管狀接頭構件（53) 之凸部（58)全部嵌入到第1管狀接頭構件（52)之凹部（57) 內，第1管狀接頭構件（52)之凹部（57)內面與第2管狀接頭構件（53)之凸部（58)外面，介由墊片（54)而大致全面地密接；同時’在比第1管狀接頭構件（5 2)之相接端面的凹部（57) 更靠近徑方向內側的部分，與比第2管狀接頭構件（5 3)之相 -29- 1289642 接端面的凸部（5 8)更靠近徑方向內側的部分，大致全面地密接；在比第1管狀接頭構件（52)之相接端面的凹部（57) 更靠近徑方向外側的部分與比第2管狀接頭構件（5 3)之相接端面的凸部（5 8)更靠近徑方向外側的部分，也做成大致全面地密接。利用此實施形態的管接頭（5 1 )，即使合成樹脂製接頭構件 (5 2)、（5 3)及墊片（54)經久產生變化時，第1管狀接頭構件 (5 2)會朝向第2管狀接頭構件（5 3)而經常地以盤狀彈簧施以彈力之故，因而可維持對流體洩露防止性能影響很大的面壓。第9圖係顯示係顯示第1發明的更另一管接頭的實施形態。如第9圖所示，管接頭（61)係由：合成樹脂製之第1 管狀接頭構件（62)及合成樹脂製之第2管狀接頭構件（63); 以及介於兩接頭構件（62)、（63)之相接部分且剖面爲方形的環狀合成樹脂製墊片（64);以及嵌入第2接頭構件（63)之環狀公螺紋構件（55);以及與從第1管狀接頭構件（62)嵌入之公螺紋構件（55)螺合的蓋頭螺帽（56)，所構成。各接頭構件（62)、（63)具有互爲相等且橫亙整個長度之一定內徑，其係由相接部之近方的厚璧部（62a)、（63a)、及相接部之遠方的薄璧部（62b)、（63b)、及設置在厚璧部（62a)、 (63a)之相接端部之凸緣部（62c)、（63c)所構成。第1管狀接頭構件（62)之相接部端面的徑方向中間部上設置有剖面爲方形的環狀凹部（67)。第2管狀接頭構件（63) 之相接部端面的徑方向中間部上也設置有剖面爲方形的環狀凸部（68)。 1289642 公螺紋構件（5 5)及蓋頭螺帽（5 6)爲金屬製，公螺紋構件（55) 之相接部與相反側的端部上設置有六角柱狀的凸緣部 (5 5a)，蓋頭螺帽（56)之相接部與相反側的端部上設置有開孔圓板狀之頂壁（56a)。公螺紋構件（55)之內徑大致與第2 管狀接頭構件（6 3)之厚璧部（63a)的外徑相等，蓋頭螺帽（56) 之頂壁（56a)的內徑大致與第1管狀接頭構件（62)之厚璧部 (62a)的外徑相等。在此實施形態中，公螺紋構件（55)之外徑及蓋頭螺帽（56) 的內徑，做成比兩接頭構件（62)、（63)之凸緣部（62c)、（63c) 更大，在蓋頭螺帽（56)的內徑與兩接頭構件（62)、（63)之凸緣部（62c)、（6 3〇的外徑之間形成有間隙。此間隙中容納有環狀的間隔材（69)。然後，蓋頭螺帽（56)的頂壁與第1管狀接頭構件（62)之凸緣部（62c)及間隔材（69)之間設置有使第1 管狀接頭構件（6 2)之凸緣部（62c)朝向第2管狀接頭構件（63) 彈設之環狀的盤狀彈簧（70)及彈簧墊圏（71)之彈設構件，而彈簧墊圈（71)設置在凸緣部（62c)側及間隔材（69)側。並且，在公螺紋構件（5 5)與第2管狀接頭構件（63)之凸緣部（63c) 及間隔材（69)之間，設置有使第2管狀接頭構件（6 3)之凸緣部（63c)朝向第1管狀接頭構件（62)彈設之環狀的盤狀彈簧 (72)及彈簧墊圈（73)之彈設構件，且彈簧墊圏（73)設置在凸緣部（63c)側及間隔材（69)側。間隔材（69)之軸方向長度做成比兩接頭構件（62)、（63)之凸緣部（62c)、（63c)的軸方向長度之和更小若干。將蓋頭螺帽（56)對公螺紋構件（55)鎖緊之時，公螺紋構件 (55)可介由盤狀彈簧（72)及彈簧墊圈（7 3)而將第2管狀接頭 1289642 構件（63)之凸緣部（63c)朝向軸方向內推壓’蓋頭螺帽（56) 可介由盤狀彈簧（70)及彈簧墊圈（71)而將第1管狀接頭構件 (62)之凸緣部（62c)朝向軸方向內推壓，因而兩接頭構件 (62) 、（63)介由墊片（64)而密接。第1管狀接頭構件（62)之凹部（67)、第2管狀接頭構件（63) 之凸部（68)、以及墊片（64)之內徑大致相等，並且第1管狀接頭構件（62)之凹部（67)、第2管狀接頭構件（63)之凸部 (68)、以及墊片（64)之外徑也大致相等。將凹部（67)之凹入量做成比凸部（6 8)之突出量更大，墊片（64)之厚度做成比凹部（67)之凹入量更小。然後，凹部（67)之凹入量做成比凸部 (68)之突出量與墊片（64)之厚度的和小若干。第9圖係顯示以手將蓋頭螺帽（5 6)鎖緊到公螺紋構件（55) 的狀態，此管接頭（61)除了間隔材（69)及彈設構件（70)、（71) (7 2)、（7 3)以外的構成，係與第1圖及第2圖所示之實施形態相同，因而細部省略。在管接頭（6 1)之手鎖緊的狀態中，整個墊片（64)嵌入到第1管狀接頭構件（62)之凹部（67)內，第2管狀接頭構件（63)之凸部（68)將此墊片（64)推壓到凹部 (67)之底面；在比第1管狀接頭構件（62)之相接端面的凹部 (67)更靠近徑方向內側之部分，與比第2管狀接頭構件（63) 之相接端面的凸部（6 8)更靠近徑方向內側之部分之間存在有第1間隙（G1)，在比第1管狀接頭構件（62)之相接端面的凹部（67)更靠近徑方向外側之部分，與比第2管狀接頭構件 (63) 之相接端面的凸部（6 8)更靠近徑方向外側之部分之間存在有比第1間隙（G1)更大的第2間隙（G2)。然後，使管接頭（61)到達適當的鎖緊狀態時，墊片（64)及第2管狀接頭構 1289642 件（63)之凸部（68)全部嵌入到第1管狀接頭構件（62)之凹部 (67)內，第1管狀接頭構件（62)之凹部（67)內面與第2管狀接頭構件（63)之凸部（68)外面介由墊片（64)而大致全面地密接；同時，比第1管狀接頭構件（62)之相接端面的凹部（67) 更靠近徑方向內側的部分，與比第2管狀接頭構件（63)之相接端面的凸部（68)更靠近徑方向內側的部分，大致全面地密接；比第1管狀接頭構件（62)之相接端面的凹部（67)更靠近徑方向外側的部分，與比第2管狀接頭構件（63)之相接端面的凸部（68)更靠近徑方向外側的部分也做成大致全面地密接。利用此實施形態的管接頭（6 1 )，即使合成樹脂製接頭構件 (62)、（63)及墊片（64)經久產生變化時，第1管狀接頭構件 (62)會朝向第2管狀接頭構件（63)而經常地以盤狀彈簧（70) 施以彈力，並且第2管狀接頭構件（63)會朝向第1管狀接頭構件（62)而經常地以盤狀彈簧（7 2)施以彈力之故，因而可維持對流體洩露防止性能影響很大的面壓。至此，雖然第8圖及第9圖係以第1發明之管接頭的實施形態而說明，但是與第1圖及第2圖相異的這些實施形態之構成亦可適用於第2發明之管接頭的實施形態，及第 3發明之管接頭的各實施形態。並且，間隔材（59)、（69)亦可省略，例如在第1圖所示之實施形態中，亦可做成具有盤狀彈簧之構成。由於間隔材（59)、（69)之使用，亦可將盤狀彈簧（50)、（70)、（72)之徑做成較大。並且彈設構件方面，當然也可以使用螺旋彈簧取代盤狀彈簧（50)、（70)、（72)及彈簧墊圈（60)、（71)、（73)。 1289642 第1 0圖係顯示第1發明的管接頭之另一實施形態。如第 1 0圖所示，管接頭（1)係由：合成樹脂製之第1管狀接頭構件（2)及合成樹脂製之第2管狀接頭構件（3);以及介於兩接頭構件（2)、（3)之相接部分且剖面爲方形的環狀合成樹脂製墊片（4);以及嵌入第2接頭構件（3)之環狀公螺紋構件（5); 以及與從第1管狀接頭構件（2)嵌入之公螺紋構件（5)螺合之蓋頭螺帽（6);以及介於蓋頭螺帽（6)之頂壁（6a)內面與第1 管狀接頭構件（2)之凸緣部（2〇之間的合成樹脂製推力環 (9)，所構成。此實施形態與第1實施形態之相異點僅在推力環（9)之有無，與第1實施形態相同的構成部分均賦予相同符號並省略其說明。而第10圖係對應於第2 (a)圖，其係顯示蓋頭螺帽（6)以手鎖緊到公螺紋構件（5)的狀態。推力環（9)係由與墊片（4)相同的材質或者滑動摩擦係數比其小的材質所形成，其厚度係與墊片（4)相同或者比其小，例如做成約爲墊片（4)厚度之一半。並且，推力環（9) 之內徑大致與蓋頭螺帽（6)之頂壁（6a)的孔徑相等，外徑大致與第1管狀接頭構件（2)之凸緣部（2c)之外徑相等。雖然推力環（9)爲圓環狀，但是亦可爲非完全圓環的C狀。依照此實施形態之管接頭（1)，將蓋頭螺帽（6)轉動而鎖緊的情形時，推力環（9)在接觸蓋頭螺帽（6)之頂壁（6a)內面及第1管狀接頭構件（2)之凸緣部（20側面的狀態下，對這些元件產生滑動，而防止蓋頭螺帽（6)與第1管狀接頭構件（2) 之一起轉動。同樣的推力環（9)可設置在公螺紋構件（5)之前端面與第2管狀接頭構件（3)之間。 1289642 第11圖係顯示第10圖所示之管接頭（1)的另一實施形態。此管接頭（1)係由：合成樹脂製之第1管狀接頭構件 (2)及合成樹脂製之第2管狀接頭構件（3);以及介於兩接頭構件（2)、（3)之相接部分且剖面爲方形的環狀合成樹脂製墊片（4);以及嵌入第2接頭構件（3)之環狀公螺紋構件（5);以及與從第1管狀接頭構件（2)嵌入之公螺紋構件（5)螺合之蓋頭螺帽（6);以及介於蓋頭螺帽（6)之頂壁（6 a)內面與第1管狀接頭構件（2)之凸緣部（2〇之間的合成樹脂製推力環 (10)，所構成。此實施形態與第1實施形態之相異點僅在推力環（10)之有無，與第1實施形態相同的構成部分均賦予相同符號並省略其說明。而，第丨1圖係對應於第2(a)圖，其係顯示蓋頭螺帽（6)以手鎖緊到公螺紋構件（5)的狀態。推力環（10)係由與墊片（4)相同的材質或者滑動摩擦係數比其小的材質所形成，其厚度係與墊片（4)相同或者比其小、例如做成約爲墊片（4)厚度之一半。並且，推力環（1〇) 之內徑大致與蓋頭螺帽（6)之頂壁（6a)的孔徑相等，外徑做成比第1管狀接頭構件（2)之凸緣部（2c)之外徑更大。雖然推力環（10)爲圓環狀，但是亦可爲非完全圓環的C狀。伴隨著推力環（10)之外徑做成比第1管狀接頭構件（2)之凸緣部（2c)之外徑更大之時，在蓋頭螺帽（6)之內周上形成有沿著頂壁（6a)之內面的環狀凹處（6b)，其可用來容納推力環（10)之外周緣部。環狀凹處（6b)之外徑做成與推力環（1〇) 之外徑大致相同。因爲推力環（10)爲合成樹脂製之故，因而具有若干彈性，可預先將外周緣部沿著頂壁（6a)之內面嵌 1289642 入此凹處（6b)中。因而，可防止忘記將推力環（10)置入，同時將蓋頭螺帽（6)卸除之時，亦可防止推力環（10)之脫落。依照此實施形態之管接頭（1)，將蓋頭螺帽（6)轉動而鎖緊的情形時，推力環（10)在接觸蓋頭螺帽（6)之頂壁（6a)內面及第1管狀接頭構件（2)之凸緣部（2c)側面的狀態下，對這些元件產生滑動，而防止蓋頭螺帽（6)與第1管狀接頭構件（2) 之一起轉動。與第10圖所示同樣的推力環（9)可設置在公螺紋構件（5)之前端面與第2管狀接頭構件（3)之間。至此，雖然第1 〇圖及第1 1圖係以第1發明之管接頭的另一實施形態而說明，但是與第1圖及第2圖相異的這些實施形態之構成亦可適用於第2發明之管接頭的實施形態，及第3發明之管接頭的各實施形態。【產業上之利用可行性】本發明之管接頭適合使用在，採用有對金屬之腐蝕性很高的流體的半導體製造裝置之流體控制裝置中。

圖式簡單說I 第1圖係顯示第1之發明的管接頭的實施形態之縱剖面圖；第2(a)、（b)圖係同一要部之放大縱剖面圖，其中第2(a) 圖係顯示以手鎖緊的狀態；第2(b)圖係顯示適當地鎖緊之狀態之圖；第3圖係顯示第2(a)、（b)圖之發明的管接頭的實施形態之縱剖面圖；第4圖係同一要部之放大縱剖面圖；第5圖係顯示第3之發明的管接頭的第1實施形態之縱 -36 - 1289642 剖面圖；第6圖係顯示第3發明的管接頭的第2實施形態之縱剖面圖；第7圖係顯示第3發明的管接頭的第3實施形態之縱剖面圖；第8圖係顯示係顯示第1發明的另一管接頭的實施形態之縱剖面圖；第9圖係顯示係顯示第1發明的更另一管接頭的實施形態之縱剖面圖；第1 0圖係顯示係顯示第1發明的更另一管接頭的實施形態之縱剖面圖；第1 1圖係顯示係顯示第1發明的更另一管接頭的實施形態之縱剖面圖。 1件符號簡單說明： 1，1 1，21，31，41，51，61 …管接頭 2，1 2,22,32,42,52,62 "_第1管狀接頭構件 3，1 3,23,3 3,43,5 3,63 "_第2管狀接頭構件 2a，3a，12a，13a，22a，23a，32a，33a，42a，43a，52a，53a62a，63a···厚璧部 2b，3b，12b，13b，52b，53b，62b，63b.··薄璧部 5,55…公螺紋構件 6,56…蓋頭螺帽 5a，55a···凸緣部 2c，3c，12c，13c，22c，23c，32c，33c，42c，43c,52c，53c，62c，63c …凸緣部 -37- 1289642 7,17,27,28,37,38,47,48,57,67···凹部 8，1 8,5 8,6 8···凸部 G1…第1間隙 G2…第2間隙 2d，3d，12d，13d，22d，23d，32d，33d，42d，43d，52d，53d，62d，63d··· 徑方向內側之部分 2e，3e，12e，13e，22e，23e，32e，33e，42e，43e，52e，53e，62e，63e·"徑方向外側之部分

26,36,46…墊片容納部 59，69…間隔材 60，71，73···彈簧墊圈 50, 70, 72···盤狀彈簧 6 a, 5 6 a…頂壁 9,10…推力環 6 b…凹處

-38-

Claims

1289642 你>月\日修(更)正木第9 2 1 0 6 1 2 2號「管接頭」專利案 (2007年2月1日修正）拾、申請專利範圍 1. 一種管接頭，具備有：第1及第2合成樹脂製管狀接頭構件；以及介於兩接頭構件之相接部分的合成樹脂墊片；以及連結兩接頭構件之螺紋裝置，其特徵爲：第1管狀接頭構件之相接端面上設置有環狀的凹部，使得墊片在整個被嵌入之狀態會留有開口部，同時第2 管狀接頭構件之相接端面上設置有環狀的凸部，凸部嵌合到嵌入有墊片之凹部的開口部上，而在管接頭適當鎖緊狀態中，第1管狀接頭構件之凹部內面與第2 管狀接頭構件之凸部外面係透過墊片而大致整個面互相密接，同時比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分，與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向內側的部分係大致全面地密接，而比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側的部分，與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向外側的部分也大致全面地密接，其中在以手將管接頭鎖緊的狀態下，在比第1 管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側之部分與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向內側之部分之間，存在有第1間隙；而在比第1 管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側之部分與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向外側之部分之間，存在有比第1間隙更大的第2

2.—種管接頭，具備有：第1及第2合成樹脂製管狀接頭構件；以及連結兩接頭構件之螺紋裝置，其特徵爲：第1管狀接頭構件之相接端面上設置有環狀的凹部，同時第2管狀接頭構件之相接端面上設置有環狀的凸部，而在管接頭適當鎖緊狀態中，第2管狀接頭構件之凸部係嵌合到第1管狀接頭構件之凹部內，而使凹部內面與凸部外面大致全面地密接，同時比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分，與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向內側的部分係大致全面地密接，而比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側的部分，與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向外側的部分也大致全面地密接，其中在以手將管接頭鎖緊的狀態下，在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側之部分與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向內側之部分之間，存在有第1間隙；而在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側之部分與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向外側之部分之間，存在有比第1間隙更大的第2間隙。 3·—種管接頭，具備有：第1及第2合成樹脂製管狀接頭構件；介於兩接頭構件之相接部分的合成樹脂墊片；以及連結兩接頭構件之螺紋裝置，其特徵爲：各接頭構件之相接端面上分別設置有環狀的凹部，用以

形成墊片容納部，以於在各接頭構件相接之時容納墊片，而在管接頭適當鎖緊狀態中，第1管狀接頭構件之凹部內面大致全面地密接在墊片上，從同一凹部露出的墊片之面與第2管狀接頭構件之凹部內面大致全面地密接，同時比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分，與比第2管狀接頭構件之相接端面的凸部更靠近徑方向內側的部分係大致全面地密接，而比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側的部分，與比第2管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側的部分也大致全面地密接，其中比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分，比更靠近徑方向外側的部分更突出於軸方向，而比第2管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分亦比更靠近徑方向外側的部分更突出於軸方向。

4 .如申請專利範圍第3項之管接頭，其中比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分與凹部的底面爲同一面，徑方向外側的部分從凹部之底面朝軸方向突出，而比第2管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分係比凹部之底面更突出於軸方向，徑方向外側的部分在軸方向係比凹部之底面更凹入。 5 ·如申請專利範圍第3項之管接頭，其中比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側的部分從凹部的底面更進一步地凹入，徑方向外側的部分係從

凹部之底面相接端面的劃線本朝軸方向突出，而比第2管狀接頭構件之凹部更靠近徑方向內側的部分係比凹部之底面更突出於軸方向，徑方向外側的部分在軸方向係比凹部之底面更凹入。 6.如申請專利範圍第3 ~ 5項中任一項之管接頭，其中在以手將管接頭鎖緊的狀態下，在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側之部分與比第2管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向內側之部分之間，存在有第1間隙；而在比第1管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側之部分與比第2管狀接頭構件之相接端面的凹部更靠近徑方向外側之部分之間，存在有比第1間隙更大的第2間隙。 7 .如申請專利範圍第1〜5項中任一項之管接頭，其中各接頭構件之相接端部上設置有凸緣部，而螺紋裝置是由前端面會與任一方之接頭構件的凸緣部抵接之環狀公螺紋構件，及從另一方接頭構件側被嵌入而頂壁係抵接在同一接頭構件的凸緣部上且與公螺紋構件螺合之蓋頭螺帽所形成。 8.如申請專利範圍第6項之管接頭，其中各接頭構件之相接端部上設置有凸緣部，而螺紋裝置是由前端面會與任一方之接頭構件的凸緣部抵接之環狀公螺紋構件，及從另一方接頭構件側被嵌入而頂壁係抵接在同一接頭構件的凸緣部上且與公螺紋構件螺合之蓋頭螺帽所形成。 9 ·如申請專利範圍第7項之管接頭，其中公螺紋構件與接頭構件的凸緣部之間，以及蓋頭螺帽之頂壁與接頭曰修(更)正本劃線本構件的凸緣部之間，至少一方介入有彈推構件，其可使一方之接頭構件朝向另一方之接頭構件彈推。 1 0 ·如申請專利範圍第7項之管接頭，其中蓋頭螺帽之內徑與兩接頭構件之凸緣部外徑之間形成有環狀間隙，此間隙中容納有環狀隔離材，蓋頭螺帽之頂壁與隔離材之間的至少一方介入有彈推構件，其可使一方之接頭構件朝向另一方之接頭構件彈推。 1 1 ·如申請專利範圍第7項之管接頭，其中蓋頭螺帽之頂壁與接頭構件的凸緣部之間介入有合成樹脂製的推力環。 _ 1 2.如申請專利範圍第1 1項之管接頭，其中推力環之外徑做成比蓋頭螺帽之內徑大，蓋頭螺帽內周上形成有收容推力環之外周緣部用之環狀凹處。

1289642 陸、（一）、本案指定代表圖爲：第_1_圖 (二）、本代表圖之元件代表符號簡單說明： 1…管接頭 2…第1管狀接頭構件 3…第2管狀接頭構件 2a，3a···厚璧部 2b，3b···薄璧部 4…墊片 5…公螺紋構件 6…蓋頭螺帽（cap nut) 5a…凸緣部 2 c，3 c…凸緣部 7…凹部 8…凸部 6a…頂壁柒、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式：