TWI233490B - Probe for load test - Google Patents

Description

1233490 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 - 本發明係有關用於諸如積體電路之平板狀被檢查體之 通電試驗之探針。 【先前技術】 半導體積體電路荨平板狀被檢查體，為確認其是否依 照設計規範書而製造，需要進行通電試驗。該種通電試驗， 係使用具備在被檢查體之各個電極按壓之多個探針之探針 卡（probe card)、探針塊（probe block)、以及探針單元（pr〇be umt)等電氣連接裝置進行。該種電氣連接裝置，係用於將 被檢查體之電極與檢測器予以電氣連接者。 作為這種電氣連接裝置所使用之探針，具有由導電性 金屬細線製造之針型（needle type)、板狀形成之刀刃型 (blade type)、以及使用在電氣絕緣層（膜mm)之一個面上 所形成之配線形成突出電極之探針要素之探針要素型等多 種。 刀刀型探針有：由導電性金屬板製造而成之單一板 型、以及對經過光阻膜之曝光及蝕刻與在該蝕刻部位進行 一次以上電鍍之積層型等多種。 任何類型之探針，都由配線基板等支持元件以單持梁 狀支持，將針尖按壓於被檢查體之電極上。當針尖按壓於 被檢查體之電極上時，過度之按壓力（overdrive)作用於探 針上’使探針彈性變形產生彎曲。 作為刀刀型探針已知有一種，如下述者：此種型式者 315617 6 1233490 包各在第1方向隔—定間隔向 臂部、將該第丨及坌1 万向延伸之第1及第2 之第1及第2連接部、^之先端部以及基端部分別連接 續之針尖部、在第：：在弟1連結部向第1方向之-側延 裝部而呈字狀者(特開平7_11511〇:八向向另：側延續之安 作為刀刀型探針 ^ A報之第1圖）。 著-定間隔向第2方“二有包含在第1方向上，隔

唆 向延伸之第1及第2臂部、將兮第I …臂部之基端部連結之 。將：第1 之第1方向，向—你… ^ 1臂部之先端部 之第1方向，向另 < ,針尖部、在第2臂部之先端部 號公報之第二側延"之安裝部者(特開2。。一 以在之探針，都是將安裝部安裝于適宜的支持元件 ^ =由該支持部材以單持梁狀支持。在該狀態下，將針 :杈[於被檢查體之電極上。這樣，使過度按壓力作用於 探針上，探針在第1及第2臂部，以彈性變形彎曲。、 —仁疋，以往之探針，都只不過是第1及第2臂部都對 —弟1方向呈傾斜之第2方向平行延伸，因此如果增大 過度接壓力而使第！及第2臂部發生大的彈性變形，則第 1及第2臂部，至少有一方將折斷。 特別疋積體電路用之微探針（miCr〇pr〇be)之情況，由 :第1及弟2臂部之斷面積非常小，第1及第2機械強度 弱’因此增大過度按壓力以，使第1及第2臂部產生大彈 性變形則較困難。 如前所述，若不能增大過度按壓力，則不能增加相對 7 315617 1233490 ’因此無法使被檢查 態，因而必須使在第 導致無法正確檢查。 被裰查體之電極之針尖按壓力（針壓） 體之電極與針尖處於良好電氣連接狀 1方向之針尖位置極精確一致。從而 【發明内容】 本發明之目的在於增加過度按壓力，使第1及 丄 曰 , % Α 部可大量彈性變形。 一有關本發明之探針，包含在第1方向，隔著一定間 »弟2方向延伸之第i及第2臂部、將該第i及第2臂 在其先端部以及基端部分別將該第1及第2臂部連社之 方連：部、在前述第1連結部或前述第1臂… 苐方向，向一側延續之針尖部。前述第！及第2臂， ，少一方’該臂部之整體、該臂部之在前述丄向 -側之緣部、以及該臂部之前述第i方向之 一個，為弧狀。 > 2臂部之基端部之第2連 支持，並在該狀態下，將 將針尖按壓於電極上，將 1及第2臂部以彈性變形 鈾述捸針，在連結第1及第 結部側，由支持元件以單持梁狀 針尖按壓於被檢查體之電極上。 過度按壓力作用於探針上，使第 幫曲。 /丨▼ - /入木z耳邵之至少一 少-個具有弧狀部分1此具㈣㈣㈣分 2臂部：機械強度變大。所以，即使有對探 過度接屢力’也不會使第】及第2臂部折 : 形彎曲。 Λ ^ 315617 8 1233490 河述結果，可增大過度按壓力，並增大對被檢查體電 尖，尖按屢力（針壓），因此可實現被檢查體之電極與針 二：好電氣接續狀態’也無需在第！方向使針尖位置極 從而進行正確檢查。 十大保持確貫接觸’ 探針還可包括··相對前述第〗及第：臂部之在前述第 向-側延:另一側之安農部、從該安裝部在前述第1方向， 前述第2連結部之延長部。這樣 女衷#由支持元件支持。 在 探針也可具有使與前述第ι及第2方向交 度方向之板的形狀。 向為厚 前述安裝部，可具有貫穿該厚度 貝牙孔可作為定位用之孔來利用，因此 =，该 針的安裝操作變得簡單。 子支持70件之探 探針還可包括在前述第i方向 方之—側延伸之突起。言 1女裒。卩向其他 田夕了丨 ^ 在支持元件上形成穿去巴山人 用之孔，將該突起H欠合 之探針之定位，因此對支持=孔:即可進行對支持元件 容易了。 、70牛之楝針的安裝操作變得更 前述針尖部，可具借二、 或第2臂部所延續之台座述第1連結部以及前述第丨 1方向_之-方側突出之接觸部以及由該台座部之在前述第 前述接觸部，至少可由血& 作。前4台座部 1述台座部不同之材料製 Γ由與前述第i及第2臂部 315617 9 1233490 述第1及第2連結部相同之材料製作而成。 前述接觸部，可具有相對前述第2 痒+止，山上lL ^ 阿之具有從0.1 角度之先知面，此先端面前述 r姑，、士，丨^ ^向之一端部 至 細述第1連結部側處而成為靠近前述第^ Μ 第1連結部側之部位。 向之别」 —探針還可包括與前料尖部μ處㈣ ^樣，想對探針或被檢查體進行位置對準 〇 (被檢查體側）以區域感測器（area sens〇r)攝影探:從= 感測态之輸出信號加以畫像處 、，字區 影領域内之針尖之座標位置，而求感測器之 果，由於前述探針具備形成於盘/ 之位置。其 因此基準部可使用區域感測器=部位之基準部 二::也可方便地確定基準部之座標:置方::識:i 位置關係不變，所，位…基準 前述基準部，具有與其鄰接之至少 向前述第^方向之光反射特性，如 °:項域不同： 之反射光量之差，而決定基準邛 可利用向其他方“ =包=前述針尖部以及前述 任方向别述第2方向突出 ^ ^ ^ 對該突出部之轴線傾斜之至+大部，該突出部具備和 斜面部之先端延續並垂直於二固傾斜面部、以及從該傾 述針尖向前述臂部側後退之“：軸:表之：坦面部’即自前 前述平坦面部。 一面°卩’前述基準部也可為 315617 10 1233490 而、述突出部，可從前述針尖部或前述第！臂部突出 而财述基準部，則可包含向被 =W大出‘ 性不同之周圍領域所包圍之領域。光反射*

探針還可包含，带 I 以及妒成於勺入 7成别述針尖部之至少1個凹處、 形成於包3該凹處與前述、 性被膜。這樣，使 A。卩之針大之領域之導電 +4# , 破❹比針尖部t其他部q硬f之材 枓製成’即可低減針尖 文更貝之材 於凹處，因此通電試驗由於被膜也形成 按壓於被檢查體之電即使針尖部在以 也可防止被膜從針尖部剝落。 ^生/月動 【實施方式】 ::’在第丨圖㈧中，設上下方向為第 方向為弟2方向、與紙面垂直方向為第3方向，這此方向 依接受應通電之被檢杳體 一 _)而不同。 —體之才木針益⑽叫之夹盤頂⑽讀 參照第1圖（A)及⑻，探針10包括：在第i方向（上 下方向）隔著一定間 、工 及第2臂部12，14將第:：;左：方向)延伸之第1 將弟1及弟2臂部12，14在其先端 部及基端部分別連接之第1及第2連結部16, 18 連結部16之第1方向，之一方側(下緣側)延 20、相對第1及第2臂部u…、在第^方向位於另：方 側（上緣側）之安裝部22、以及在第1方向從安裝部22向一 方側延伸而自帛2連結部！ 8延續之延長部24。 針尖部2〇具簡第i連結部16之下緣部與第2臂部Η 315617 11 1233490 先&側之下緣部一體延續之台座部26、以及從A · 之下緣部突出之接觸部28。 h座部26 延長及T:1及第2W16，18、安裝部1 及σ座部26，擁有具幾乎相同厚产 體板之形狀，因此，探針1〇為整體平坦之刀：型探 y與此相對，接觸部28，具有截頭圓錐形或截頭角 形狀’而對應該種圓錐形或角錐形底 ；右形 座部26之下面。 體开/成有台 ::部28 ’具有相對垂直於上下方向之假設之水平 例中從°·1。至5。角度之先端面。該先端面，在圖示之 '，作為按壓於被檢查體之電極之針尖30而作用。 之：：之左右方向靠近第1連結部16之-方(先端側) °上方面形成傾斜面。但是，針尖30可作為為垂 ;上下方向之面，也可作為半球面之面。並且，針尖％， 也可不作成面而作為先端尖銳之針尖。 第煮°卩12，整體係具有適宜的曲率半徑R1，且具 向上方突出之弧。曲率半徑R1可設計成為適應上下方： 之兩臂12 ’ 14之間隔H、左右方向之兩連結部16, 18之 間隔w、以及從第2連結部18至接觸部28之中心的距離 (臂部之有效長度寸法凡之同時，還可設置將針尖3〇按遷 於破檢查體之電極上時，對應兩者之擦合量之值。 有闕探針1〇之材料，可使用錦1合金（Ni-P)、錄. 鶴合金（Nl-W)、錄（Rh)、鍵青銅（BeCu)、錄⑽、把·軸合 金（d Co)、以及免.鎳.# (pd_Ni_c〇)等導電性金屬材 315617 12 1233490 料。 探針10,其整體可由前逑#料製 曰 則可使用至少與台座部2 6不间 、丫一7^ ’接觸部2 8， J之材料製作。此拉,^ 26，可使用與兩臂12，14、 匕時，台座部 建結部16，18、a 以及延長部24相同之材料製作 、女褒部22 作。 作，也可使用不同之材料製 探針10之整體’使用相同材料製作 觸部28以外之部分’使用相同材料製作 造變得容易。 或是若將除 則探針1 〇 了接 之製 探針10，如後詳述如第1 5闰 ^ 圖至苐19圖所示，紐 楝針卡等電氣連結裝置80上。 、、衷# 有關電氣連結裝置8〇骑. 後面做詳細說明，以下為簡單說明。 、名 電氣連結裝置80係以多個 系釘88將連接於檢測器之 囫形配線基板82、配置於配線基板以上之圓形輔強板84、 以及配置於配線基板82下面之環（dng)86以重疊狀態同南 安裝。圓形連接基板90以及安|基板92係配置於環％ 内側之配線基板82之下側。 配線基板82、環86、連結基板9〇以及安裝基板92， 作為捸針10之支持元件，而產生支持基板之作用。半導體 矽片上之積體電路等被檢查體94係水平配置於檢查台之 失盤頂96上，並由其支持。 探針10即由安裝部22之安裝基板92以單持梁狀支 持’並以該狀悲將針尖3〇按壓於被檢查體94之電極上。 當針尖30被按壓於被檢查體94之電極上時，過度按壓力 13 315617 1233490 即作用於探針1 〇 μ · Τ 1 υ上，兩臂部1 2，14則以彈性變形彎曲。 Υ曰日 ^ 於彳朱針10中，第1臂部12整體以弧狀彎曲， 使弧狀之第1劈 哥W 12之機械強度變大。因此，即使大的過 度按壓力作用Μ @力丄 用於仏針1 0上，兩臂部1 2，1 4也不會有折損， 而兩臂部1 2，Ί 4 w 1 4將以彈性變形彎曲。 前述結果，由％ ^ ^ 田於可增大過度按壓力，並增大對被檢查 體9 4之電極之斜，丨、 計大30之按壓力（針壓），因此可實現被檢 一體、94之包極與針尖％之良好接觸狀態。 被檢查體94之通電試驗中，具有前述構造之多 個探針10,安f^ 展於支持το件（特別是安裝基板92)上。此時， 即使在鄰合探針1〇 上下方向上，即使針尖3 0位置並非 極精確一致，A| μ ,、 也了由於增大過度按壓力，使上下方向之針 :,立置與罪近被檢查體94電極之探針一樣發生大的 彈性變形’從而使被檢杳體94之電;ϋ ,»、u ~ 實現正確的檢查。 與針尖則實接觸， 參照第2圖，安裝部22 之吝個邱# 了在左右方向以隔著一定間隔 之夕個部位，分別具有 別於/古太a 士 、牙，、厗度方向上之孔32，也可分 上二伸之突起有:定間隔之多個部位形㈣ 安裝部22上呈有j丨w 1 上有孔32之探針2 〇，由 對安裝基板92，作為撰4+ 1Λ ㈣1將孔32相 ^ ^ 92 ^ 4 、十之定位孔而利用，因此對安 表基板92之探針1〇之安裝操作變得容易。 ^ 並且’由於具備從安裝 探針10,在安事美板 肖上方延伸之突起34之 -形成突起嵌合用孔，將突起34 315617 14 1233490 插入該嵌合用孔，π、 可進行安裝基板92 探 因此對安裝基板92 + f 々知針10之疋位， 之操針1 〇之安裝操作則更為 如第3圖所示^ F幻文马奋易。 ^ ? ^ ，可不使第1臂部12以弧狀彎曲， 使第2臂部14成A曰> 士 弓w 而 弧狀彎曲。這樣，由 方大出之 丄Α π 由於弟2 #部14之機械強度變大， 大的過按壓力作用於擬 使 ⑺於鉍針10上，也可使兩臂部12， 損折地以彈性變形彎曲。 …、 如弟4圖所示，可作楚 -油座主,… 了使弟1及弟1 ’部14分別成為以適 二曲率+徑IU以及R2而向上方突出之弧狀彎曲；也可如 第5圖所示’使第2臂部i 4成為以適宜曲率半徑R2 方突出弧狀彎曲；遺V丨、；；给A固& _ 工 〇下 弓囬，遷可以如弟6圖所不，使第}及第2臂 部12及14成為分別具有適宜曲率半徑ri及R2，並使之 向下方以突出弧狀彎曲。 第4圖、第5圖及第6圖所示之任一之探針，均由於 第2臂部14之機械強度變大，即使大的過度按壓力作用於 探針10上，也可使兩臂部12，14無損折，並且更易於彈 性變形。 在上述之任一實施例中，可使左右方向之台座部2 6 之覓度尺寸作成為左右方向之第1連結部16之寬度尺寸相 同，也可如第7圖所示將左右方向之第1及第2臂部12，14 之長度尺寸彼此相同。尤其是，後者之情形，由於第2臂 部14更容易彈性變形，即使將大的過度按壓力作用於探針 10，也不會使兩臂部12,14更加拆損，而使兩臂部12，14 更確實地彈性變形。 315617 15 1233490 如述之>{壬一 + 者，， 、 之貝％例，可不用將接觸部2 8在對應其圓 錐形或角，形底面處—體形成於台座部26的下面之方- ，而如第8圖（A)及（B)所示，將接觸部28至少與台座部 別製作，將该接觸部28在對應圓錐形或角錐形底面 处’以焊料導電性接著義接著在台座部26下面。 ^ _所示，可將全體具有相同厚度寸法之台形作 =板狀之接觸部38。而第9圖所示之探針ι〇，則可如第 1 〇圖所示，進行製作。 首先，如第U)圖⑷及（B)所示，準備有基板4〇，該 1Λ 土布有光阻劑42 ’該光阻劑42中，將對應接 卜之探針領域之領域，進行曝光及顯影處理，從 金屬：料及=:::領域形成凹處，將該凹處以導電性 :使用电鑄法之電鍍處理予以填充。 物“第10圖（C)及（D)所示，在光阻劑42及填充 =之Π光阻劑I該光阻劑46中，在對應包含接 …現象：領域之領域，進行曝光及顯影處理，從而在 曝光及現象處理之領域形 材料，使用電禱法之電鍍處理；以=凹處以導電性金屬 圖⑻及（F)所示，在光 該光阻劑5°中，在對應除了接觸… 域’進行曝光及顯影處理，在受曝光及 凹處以導電性全^^ 光阻劑46及5〇,並將該 之後==電鑄法之電鑛處理予以填充。 η 一阻則Ο ’ 46及50，並將與填充物 315617 16 1233490 44, 48以及52成為—體 . 接觸部2 ‘針10,從基板40卸下。 所示，作成在探針IT厚 部56。從探針1〇之^予又方向上成為長半柱面形之接觸 狀。具備接觸部56:探二看接觸部56,具有台形之形 阻劑之曝光顯影處理與:二也可t過多次之前述之光 _驗用之探針單地製作。 之狀態下，對探斜、&係以配置在探針器（ΡΠ) 1〇即從針尖=檢查體進行位置對準。因此探針 1〇之位 * (被檢查體側）由區域感測ϋ攝影。各探針 出在區域攝景出信號加以畫像處理，求 現V領域内針尖3〇之座標位置。 α此，如第12圖所示，探針1〇 位具有基準部60。第12_一夕龙^ 30之不同部 下面形成凹處62 * 基準部6〇,在台座部26 形成從台座部26向下方突出之突出 部⑷成為突出部64之下端之平坦面部。 突出部64係向探針1G之厚度方向延伸，並且由平坦 右°對^基準部6〇、以及相對突出部64之軸線傾斜之左 右-對傾斜面部66，成為台形之斷面形狀。 *基準部（平坦面部）6〇,係由兩傾斜面部“之 績’且與突出部64之軸線垂直’從針尖3g後退至臂部Μ 側，在探針10之厚度方向延伸為帶狀。 在對準相對探針器或被檢查體之位置時，探針10即從 針尖30側（被檢查體側）由區域感測器攝影。而探針2 位置，則將區域輸出信號加以畫像處理，而求出區域攝影 315617 17 1233490 領域内之針尖之座標位置。 第u圖所示之探針ι〇， 同虛之a、隹* 由於具備形成於與針尖m ‘ 处基準。P60,而容易識別使用區域感測器 30不 基準部60與周圍，因此 ^ 輪出信號 俨仿署* 也可报容易地決定基準部60少广 私位置。並且’由於基準部6 “〇之座 針尖30之位置即 穴之位置關係不變， 卩了攸基準部6〇之位置， 基準部60，由於係平垣 决疋。 領域不同之向下方之光…〃有與相鄰之至少-部分 反射光量之差，方便妯 ’ ^。因此’可利用向下方之 差方便地決定基準部60。 參照第13圖，探針彳n & 端部向下方突出，並以*“，大出部64從臂部14之右 部60。 ” *部M之下端平坦面部作為基準 芩照第14圖，探針1〇在 領域68，並使周< 口庄# 26下面，形成有周圍 °圍項域6 8之内側領域作為其 準部70，1向下古+丄c ^乍為基準部70。基 .ie . 光反射特性比周圍領域ό8高，也θ 千坦面。周圍領域68,為使光發生亂反射 :^疋 面。 〜/人％ 趿處理為粗糙 圖示之財，周圍領域6 8 四角形、屋形蝥甘 乂也』以為二角形、 浴荨其他形狀。而周圍區域68 可不形成於台座部26，而形成於臂部14之下：丰。”。， 基準面60及7〇&i&+P(工 , 且，基準邱⑼ 可作為先端尖銳處。並 或相鄰之二域^ 7〇，只要其向下方之光反射特性與周圍 之向下方之光’ 68不同即可，因此可使基準部60及70 射特性設成比周圍或相鄰領域66,68大， 315617 18 1233490 也可比其小。 弟U圖及第14圖所示之任一控 所干十^ 钬針10，均與第12圖' 斤不之棟針產生相同效果。

弟12圖，第13圖及第14圖所干 1、仓 口 m不之任一探針1 0，JL 基準部60或7〇，只要具有相對其 ^ 身 卩領域咼或低的光反 射：性即可，但理想的則為基準部60或7〇與其相鄰領域 之"反射特性大不相同。因此，可將基準部6〇或7q作成 為平坦面，而將其周圍，作成為相對基準面傾斜之傾斜面、 光亂反射面、低光反射面等。 W述之實施例，都是使臂部12或14之整體以弧狀弯 曲，取而代之，也可以是臂部12或14在上下方向上一方 側之緣部 '以及臂部12或14子在上下方向上另一側之緣 部之至少一個為弧狀。 從第1圖至第7圖以及從第11圖至第14圖所示之任 一探針’也與第7圖所示之探針相同，可依第8圖所示之 方法製造。 以下就使用前述之探針之電氣連結裝置之實施例進行 説明。 參照第1 5圖至第19圖，如前已說明，電氣連結裝置 80係以多個螺釘88將其圓形配線基板82、配置於配線基 板82之上面之圓形輔強板84、以及配置於配線基板82下 面之環86，以重疊狀態同軸安裝。在環86之内側，將圓 形連結基板90與安裝基板92配置於配線基板82之下面。 配綠基板82，在其上面周緣部具有連接於檢測器的電 19

把617 1233490 路之夕個榀測台i〇〇(fester iand)，而圖中雖未顯示，配線 基板82之下面或内部具有分別連接於檢測台之多個配_ 線。 輔強板84在中央部具有圓形孔1 02之同時，其周園還 具有新月狀之多個孔丨〇4。環86，具有從下端緣向中心水 平延伸之多個（圖例為3個）板狀保持部丨06，在環86之軸 線周圍，以等角度間隔分佈以便將安裝基板92在内側承 受。 配線基板82、輔強板84以及環86，係以貫穿其厚度 方向之多個定位用之釘108，決定其相對位置。 連接基板90，具備形成在其下面之多個第丨連接台 no,將多個連接子112各個焊接於第丨連接台11〇，將連 接座110以多數之配線（圖中未標出）與配線基板82之配線 各個連接。 連接基板90,以按壓於配線基板82上之狀態以螺 釘等適合的工具，安裝於配線基板82。配線基板Μ、環 86以及連接基板90,構成了用於探針114之支持基板。連 接基板90，也可與配線基板82 一體製作。 如圖所示之例，各連接子112係第工圖或第2圖所示 之挺針’以針尖部20向下方伸出之同時，臂部12,"向 :右方向延伸之狀態，以單持梁狀焊接於安裝部22中所對 應之第1連接台11 〇。 圓 安裝基板92，在圓板狀之主 形邊緣部（flange)，其下方安裝 體部上端外周部，形成有 有多個探針114。安裝基 315617 20 1233490 板92,具有按壓於接觸 12各個之多個第2連接台116、 女衣抹針114各個之多傰狖 们仏針座11 8、將第2連接台n 6 · 以及探針座118以一對一 ° 116 關係連接之多個配線1 20。 各探針114 ’在圖示例中 ^ ^ ]中係弟1圖或第2圖所示之 抓針，以針尖部2〇向 ^ ^ 下方之冋打，臂部12，1 4向橫向证 伸之狀態，以單持梁狀焊接於 蚁白延 i i 8上。 、文政邛22中所對應之探針座 載置於保持部咖並將第2連接 Ή於對應之連接子112之針尖部Μ之狀態，用螺 24以專角度間隔安裝 多 — ’、 安裝於環I /们（圖不例為3個）定位板122 相對環86，甚至配 可作成為彈簧板，以 ’或使探針1 1 4按壓 122之 122之 各定位板122，係以定位釘126 線基板82，決定位置。各定位板122 將安裝基板92向著連接基板9〇彈壓 於被檢查體94時，發生彈性變形。 128安裝於定位板 決定相對各定位板 安裝基板92，係以多個螺釘 上面之同時，還由定位釘13〇， 位置。 安裝基板92,係以接觸子112，向著保持部ι〇6彈慶 這樣使各第2連接台116以及對應連接子ιΐ2之針尖部 20，相對按壓。 大口 定位板⑵，以等角度間隔定位於環86之轴線周圍 由此使向連接子112之第2連接台116之按I力相同。 探針狀連接子Π2，以針尖部20在下方以突出之狀 315617 21 態，安裝於第1連接Α u 針狀連接子112安裝^ 代替這種形式，也可將探 方突出，而成為使針頭^連接台116，使針尖部20向上 態。 、° 0接觸於第1連接台11〇之狀 電氣連結裝置80，如 針尖30按壓於被檢查體J1:圖所不，將各探針114之 力作用於各探針"4上二:極：α由此’使過度按壓 個探針I、*木狀配置於連接基板9G與安裝基板92間之多 如第19 、接子112 ’當探針114與被檢查體94按壓時， 探針" ’在單持針狀f部12, 14f曲，並在按壓 至西4與被檢查體94時’吸收傳達至連接基板90,甚 二己線基板82之力之-部分。由此，低減了按壓探針m ^皮檢查冑94時傳達至連接基板9〇以及配線基板82之 力0 ^ 特別是，作為連接子112以及探針114，如第1圖至 :14圖所示之探針，臂部12, 14之至少一方，該臂部之 整體、該臂部之上方側之緣部、以及該臂部之下方側之緣 P之至夕其中之一，為弧狀之探針10，則如前所述，由於 /、有弧狀部分之臂部之機械強度變大，即使探針上作用了 大的過度按壓力，也可使兩臂部無折損地以彈性變形彎 曲0 其結果，由於可增大過度按壓力，以及增大對被檢查 體94之電極之針尖的按壓力（針壓），因此可使被檢查體94 之電極與針尖處於良好電氣連接狀態，即使在上下方向， 315617 22 1233490 不保持針尖位置的極精確一致，也可保證被檢查體94之電 極與針尖的確實接觸，從而進行正確的檢查。 - 再參照第20圖，探針1 〇還包括，形成於針尖部2〇 之台座部26之凹處72、以及形成於包含該凹處72及針尖 部20之針尖30的領域之導電性被膜74。 凹處72中，圖示例中具有貫穿台座部26之孔，也可 以具有有底孔。此時，可將有底孔形成於台座部26之厚度 方向之兩面、台座部26之先端面以及後端面、台座部予^ 之底面荨台座部26之多處。 而被膜74，並不限於前述之領域，可形成於針尖部π 之整體、也可形成於包括針尖部20整體、臂部ΐ4以及連 結部16之領域、以及探針整體等，還可 、 +4、Ώ 4 · 巴枯則述領 域及其他領域之領域。 依此具有被膜74之探針1〇,可將被膜74以較 尖部20等其他部位更為硬質之材料形成，則 寸於針 3〇之磨耗。再且，凹處72上也形成有被膜74 '針大 針尖30以按壓於被檢查體之電極之狀態，而相對，。即使 動時’也可防止被膜74從針尖部2G剝落。、〜電極滑 本發明並不限於前述之實施例，只要不脫離复匕 可進行各種變更。 〃主旨， 【圖式簡單說明】 為右：：:係探針之第1實施例示意圖，“圖， 第2圖係探針之第2實施例示意圖 (A)為 正面圖 (B) 315617 23 1233490 為右側面圖。 3 | t^> , 圖係表示本發明之探針之第3實施例之正面圖。· 第4圖係表示本發明之探針之第4實施例之正面圖。 第5圖係表示本發明之探針之第5實施例之正面圖。 6 Vi^V 夕 圖係表示本發明之探針之第6實施例之正面圖。 圖係表示本發明之探針之第7實施例之正面圖。 第8圖係表示將接觸台安裝於台座部之方法之一例之 斜視圖，本-〜# 卜V )衣不女裝前之狀態、（B)表示安裝後之狀態。 第9圖係本發明之探針之第8實施例之示意圖，（A) 為正面圖，（B)為右側面圖。 第1 0圖係用於說明第9圖所示之探針之製造方法 及（B)分別為笛1止) 、々 钓弟1步驟之縱向剖面圖及平面圖、（C)及（D)分 :第2步驟之縱向剖面圖及平面圖、（E)及（F)分別為第3 步驟之縱向剖面圖及平面圖。 第11圖係表示本發明之探針之第9實施例之斜視圖。 第12圖係本發明之探針之第10實施例之示意圖，（A) :、、、正面圖、（B)為針尖部之底面圖。 第1 3圖係本發明之探針之第丨丨實施例示意圖， 為正面圖、（B)底面圖。 第14圖係本發明之探針之第12實施例示意圖，（A) “、、針^部之正面圖、（B)為先端部之底面圖。 〜〜第1 5圖係表示使用本發明之探針之電氣連接裝置之 〜實施例之平面圖。 第16固係表示第15圖紙電氣連接裝置之底面圖。 315617 24 1233490 第17圖係表示將第15圖所示之電氣連接襄 板以及環在縱方向斷面之示意圖。 夏之附強 第1 8圖係在第 15圖所示之電氣連接裝 % 1 % A, 基板及安裝基板之部分擴大之示意 圖。 將連接 第1 9圖係在第 1 5圖所示之電 氣連接裝置中 5 U^> . 與被檢查體相對按壓 狀態之示意圖 〇 將探針 圖。 第20圖係表示本發明之探針之第丨3實施例 [元件符號說明] 10 探針 12 第1臂部 14 第2臂部 16 第1連結部 18 第2連結部 20 針尖部 22 安裝部 24 延長部 26 台座部 28 接觸部 30 針尖 32 貫通厚度方向, 之洞 34 突起 38 接觸部 40 基板 42 ^ 46、50 光阻劑 44、 48、52 填充物 56 接觸部 60 基準部 62 \ 72凹處 64 突出部 66 傾斜面部 68 周圍領域 70 基準部 80 電氣連結裝置 82 配線基板 84 圓形輔強板 25 315617 1233490 86 環 88 螺釘 90 圓形連結基板 92 安裝基板 94 被檢查體 96 卡盤頂 100 檢測台 102 圓形洞 104 新月狀洞 106 板狀保持部 108 釘 110 第1連結部 112 連結子 114 探針 116 連結台 118 探針座 120 配線 122 決定位置板 126、 130 決定位置釘 128 螺釘 26 315617

Claims (1)

1233490 拾、申請專利範圍： 1 · 一種通電試驗用探針，包括： 在第1方向隔著一定間隔，而向 1及第2臂部；分別在該第i及第2臂部申之第 基端部將該第1及第2臂部連接之第 碥相及 以及前述第1連結部或前述 、2連結部； 向-方侧延續之針尖部…”之可述第1方向， 灵乏針大邛，剐述第1及第9辟* 方，將該臂部之整體、該臂部之前述第：之至少一 之緣部、以及該臂部之前述第i方向之 σ之一方側 之至少其中之一作成弧狀。 D另一方側之緣部 2. 如申請專利範圍第1項之探針，又包括. 相對前述第i及第2臂部，在前述第 —方側之安裝部、以及從該安 方向位於另 ., 衣口在則述第1古人 -方側延伸之延續前述第2連結部之 向，向 3. 如申請專利範圍第2項之探針 … 1及第2方向交差方向為厚声 '/、有以與前述第 沒方向之板的形此 •如申請專利範圍第3項之探針，前述 : 厚度方向之孔。 具有貫穿該 5·如申請專利範圍第2項之探針，又勺 ^ 向前述第1方向向另一方部側延伸：突=前述安裝部 6·如申請專利範圍第1項之探針， 。 前述第1連結部以及前述第！或’。乂部具備：延續 或第2臂部夕A 及該台座部之在前述第1方向"λ _ 口座部、以 部。 < 方側突出之接觸 315617 27 1233490 申#專利範圍第6項彳 、， 前述么亦却 知針’雨述接觸部侍$ | s边口座部不同之材料製成。 丨係至少由與 •如申請專利範圍第7項之探 前述第1及第2臂部以及前述=部係至少由與 材料製成。 及弟2連結部相同之 9·如申請專利範圍第7 前述m 7 ^ 項之奴針，珂述接觸部，且右4 :述弟2方向上從〇1。至5。角 :、有相對 第2方向之前述第丨連社Α ，係在前述 右& υ 運…”則處’在前述第！方a 有為則述第1連結部側之先端面。 向，具 1〇.如申請專利範圍第1項之探針，又包h、 針尖部之針尖形不同部位之基準部。-成於與前述 11·如申請專利範圍第 &兮I、隹* 針’前述基準部，且古a 與该基準部相鄰之至少—部分領域不同之:具有向 方向之光反射特性。 D則迷第1 12. 如申請專利範圍第1〇項之探針一 以及前述第i臂部之其中：括“述針尖部 出部，今办 八 〇則述第2方向突出之突 出 ϋ"大出邛具備相對該突出部之細錄顧处 個傾斜面部、以及該傾斜面部之先鋒、’之至少-軸線之平坦面部，該平坦面部：：且垂直於前述 側後退，Μ職準料前向前述臂部 13. 如申請專利範圍第12項之探針 / 述針尖部或前述第i臂部突出。，係從前 14. 如：請專利範圍第i。項之探針， 與向珂述第1方向之光反射特 匕括由 m竹f生不同之周圍領域包圍 315617 28 1233490 之領域。 15.如申請專利範圍第1項之探針，又包括，形成於前述針 尖部之至少一個凹處、以及形成於包括該凹處以及前述 針尖部之針尖之領域之導電性被膜。

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