CN1672056A - 通电试验用探针 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种探针，包括：在上下方向隔着一定间隔，而向左右方向延伸的第1及第2臂部；分别在该第1及第2臂部前端部以及基端部将该第1及第2臂部连接的第1及第2连接部；以及衔接在第1连接部的上下方向向一侧延续的针尖部。第1及第2臂部的至少其中之一，是将该臂部的整体、该臂部上下方向的一侧边缘部、以及该臂部上下方向的另一侧的边缘部中的至少其中之一做成弧状。

Description

通电试验用探针

                               技术领域

本发明是有关用于诸如集成电路的平板状被检查体的通电试验的探针。

                               背景技术

半导体集成电路等平板状被检查体，为确认其是否依照设计规范书而制造，需要进行通电试验。这种通电试验，是使用具备在被检查体的各个电极按压的多个探针的探针卡(probe card)、探针块(probe block)、以及探针单元(probe unit)等电气连接装置进行。该种电气连接装置，用于将被检查体的电极与检测器予以电气连接。

作为这种电气连接装置所使用的探针，具有由导电性金属细线制造的针型(needletype)、板状形成的刀刃型(blade type)、以及使用在电气绝缘层(膜)的一个面上所形成的配线中形成突出电极的探针要素的探针要素型等多种。

刀刃型探针有：由导电性金属板制造而成的单一板型、以及对经过光阻膜的曝光及蚀刻与在该蚀刻部位进行一次以上电镀的积层型等多种。

任何类型的探针，都由配线基板等支持组件以悬臂梁的方式支持，将针尖按压于被检查体的电极上。当针尖按压于被检查体的电极上时，过度的按压力(over drive)作用于探针上，使探针弹性变形产生弯曲。

作为刀刃型探针已知有一种，如下述者：这种型式包含在第1方向隔一定间隔向第2方向延伸的第1及第2臂部、将该第1及第2臂部的前端部以及基端部分别连接的第1及第2连接部、在第1连接部向第1方向的一侧延续的针尖部、在第2连接部的第1方向向另一侧延续的安装部而呈Z字状(特开平7-115110号公报的图1)。

作为刀刃型探针的另一种，有包含在第1方向上，隔着一定间隔向第2方向延伸的第1及第2臂部、将该第1及第2臂部的基端部连接的连接部、在第1臂部的前端部的第1方向，向一侧延续的针尖部、在第2臂部的前端部的第1方向，向另一侧延续的安装部(特开2003-57264号公报的图2)。

以往的探针，都是将安装部安装于适宜的支持组件上，而由该支持组件以悬臂梁的方式支持。在该状态下，将针尖按压在被检查体的电极上。这样，使过度按压力作用于探针上，探针在第1及第2臂部，以弹性变形弯曲。

但是，以往的探针，都只不过是第1及第2臂部都对着与第1方向呈倾斜的第2方向平行延伸，因此如果增大过度按压力而使第1及第2臂部发生大的弹性变形，则第1及第2臂部，至少有一方将折断。

特别是集成电路用的微探针(micro probe)的情况，由于第1及第2臂部的截面积非常小，第1及第2机械强度弱，因此增大过度按压力，以使第1及第2臂部产生大弹性变形则较困难。

如前所述，若不能增大过度按压力，则不能增加相对被检查体的电极的针尖按压力(针压)，因此无法使被检查体的电极与针尖处于良好电气连接状态，因而必须使在第1方向的针尖位置极精确一致。从而导致无法正确检查。

                               发明内容

本发明的目的在于增加过度按压力，使第1及第2臂部可大量弹性变形。

有关本发明的探针，包含在第1方向，隔着一定间隔向第2方向延伸的第1及第2臂部、将该第1及第2臂部在其前端部以及基端部分别将该第1及第2臂部连接的第1及第2连接部、在前述第1连接部或前述第1臂部的前述第1方向，向一侧延续的针尖部。前述第1及第2臂部的至少一方，该臂部的整体、该臂部在前述第1方向一侧的缘部、以及该臂部的前述第1方向的另一侧的至少一个为弧状。

前述探针，在连接第1及第2臂部的基端部的第2连接部侧，由支持组件以悬臂梁的方式支持，并在该状态下，将针尖按压于被检查体的电极上。将针尖按压于电极上，将过度按压力作用于探针上，使第1及第2臂部以弹性变形弯曲。

但是，前述的探针，第1及第2臂部的至少一方的至少一个具有弧状部分，因此具有这种弧状部分的第1或第2臂部的机械强度变大。所以，即使对探针施加很大的过度按压力，第1及第2臂部也能够弹性变形、并能够不折损地弯曲。

前述结果，可增大过度按压力，并增大对被检查体电极的针尖按压力(针压)，因此可实现被检查体的电极与针尖的良好电气接续状态，也无需在第1方向使针尖位置极精确一致，也可使被检查体的电极与针尖保持确实接触，从而进行正确检查。

探针还可包括：相对前述第1及第2臂部的在前述第1方向位于另一侧的安装部、从该安装部在前述第1方向，向一侧延伸的延续前述第2连接部的延长部。这样，可在安装部由支持组件支持。

探针也可具有使与前述第1及第2方向交差方向为厚度方向的板的形状。

前述安装部，可具有贯穿该厚度方向的孔。这样，该贯穿孔可作为定位用的孔来利用，因此，对支持组件的探针的安装操作变得简单。

探针还可包括在前述第1方向，自前述安装部向其他方的一侧延伸的突起。这样，在支持组件上形成突起嵌合用的孔，将该突起插入该嵌合用孔，即可进行对支持组件的探针的定位，因此对支持组件的探针的安装操作变得更容易了。

前述针尖部，可具备从前述第1连接部以及前述第1或第2臂部所延续的基座部、以及由该基座部在前述第1方向的一侧突出的接触部。

前述接触部，至少可由与前述基座部不同的材料制作。前述基座部，至少可由与前述第1及第2臂部以及前述第1及第2连接部相同的材料制作而成。

前述接触部，可具有相对前述第2方向的具有从0.1°至5°角度的前端面，此前端面的前述第2方向的一端部靠近前述第1连接部侧处而成为靠近前述第1方向的前述第1连接部侧的部位。

探针还可包括在与前述针尖部的针尖不同处所形成的基准部。这样，想对探针或被检查体进行位置对准时，可从针尖侧(被检查体侧)以区域传感器(area sensor)摄影探针，将区域传感器的输出信号加以画像处理，求出在区域传感器的摄影领域内的针尖的坐标位置，而求得各探针的位置。其结果，由于前述探针具备形成于与针尖不同部位的基准部，因此基准部可使用区域传感器的输出信号，方便地识别周围，因此也可方便地确定基准部的坐标位置。并且，由于基准部与针尖的位置关系不变，所以针尖位置可由基准部的位置容易决定。

前述基准部，具有与其邻接的至少一部分领域不同的向前述第1方向的光反射特性，如此即可利用向其它方向的反射光量的差，而决定基准部。

探针还包括从前述针尖部以及前述第1臂部其中的任一方，向前述第2方向突出的突出部，该突出部具备相对该突出部的轴线倾斜的至少一个倾斜面部、以及从该倾斜面部的前端延续并垂直于前述轴线的平坦面部，即自前述针尖向前述臂部侧后退的平坦面部，前述基准部也可为前述平坦面部。

前述突出部，可从前述针尖部或前述第1臂部突出。而前述基准部，则可包含被与前述第1方向的光反射特性不同的周围区域所包围的区域。

探针还可包含，形成于前述针尖部的至少1个凹处、以及形成于包含该凹处与前述针尖部的针尖领域的导电性涂层。这样，使涂层由比针尖部等其它部位更硬质的材料制成，即可低减针尖部的磨耗。并且，由于涂层也形成于凹处，因此通电试验时的过度按压时，即使针尖部在以按压于被检查体的电极的状态下，相对该电极发生滑动，也可防止涂层从针尖部剥落。

                             附图说明

图1是探针的第1实施例示意图，(A)为正面图，(B)为右侧面图；

图2是探针的第2实施例示意图，(A)为正面图，(B)为右侧面图；

图3是表示本发明的探针的第3实施例的正面图；

图4是表示本发明的探针的第4实施例的正面图；

图5是表示本发明的探针的第5实施例的正面图；

图6是表示本发明的探针的第6实施例的正面图；

图7是表示本发明的探针的第7实施例的正面图；

图8是表示将接触部安装于基座部的方法的一例的立体图，(A)表示安装前的状态、(B)表示安装后的状态；

图9是本发明的探针的第8实施例的示意图，(A)为正面图，(B)为右侧面图；

图10是用于说明图9所示的探针的制造方法，(A)及(B)分别为第1步骤的纵向剖面图及平面图、(C)及(D)分别为第2步骤的纵向剖面图及平面图、(E)及(F)分别为第3步骤的纵向剖面图及平面图；

图11是表示本发明的探针的第9实施例的立体图；

图12是本发明的探针的第10实施例的示意图，(A)为正面图、(B)为针尖部的底面图；

图13是本发明的探针的第11实施例示意图，(A)为正面图、(B)底面图；

图14是本发明的探针的第12实施例示意图，(A)为针尖部的正面图、(B)为前端部的底面图；

图15是表示使用本发明的探针的电气连接装置的一实施例的平面图；

图16是表示图15所示的电气连接装置的底面图；

图17是表示将图15所示的电气连接装置的加强板以及环在纵方向断面的示意图；

图18是在图15所示的电气连接装置中，将连接基板及安装基板的部分扩大的示意图；

图19是在图15所示的电气连接装置中，将探针与被检查体相对按压状态的示意图；

图20是表示本发明的探针的第13实施例的斜视图。

                            具体实施方式

以下，在图1(A)中，设上下方向为第1方向、左右方向为第2方向、与纸面垂直方向为第3方向，这些方向依据接收应通电的被检查体的探针器(pober)的夹盘顶(chuck top)而不同。

参照图1(A)及(B)，探针10包括：在第1方向(上下方向)隔着一定间隔，向第2方向(左右方向)延伸的第1及第2臂部12，14、将第1及第2臂部12，14在其前端部及基端部分别连接的第1及第2连接部16，18、在第1连接部16的第1方向的一侧(下缘侧)延续的针尖部20、相对第1及第2臂部12，14在第1方向位于另一侧(上缘侧)的安装部22、以及在第1方向从安装部22向一侧延伸而自第2连接部18延续的延长部24。

针尖部20具备第1连接部16的下缘部与第2臂部14的前端侧的下缘部一体延续的基座部26、以及从基座部26的下缘部突出的接触部28。

臂部12，14、第1及第2连接部16，18、安装部22、延长部24以及基座部26，构型得成为拥有几乎相同厚度尺寸的一体的板状，因此，探针10为整体平坦的刀刃型探针。

与此相对，接触部28具有截头圆锥形或截头角锥形形状，而对应这种圆锥形或角锥形底面处，一体形成在基座部26的下侧。

接触部28，具有相对垂直于上下方向的假设的水平面，有从0.1°至5°角度θ的前端面。该前端面，在图标的例中，作为按压于被检查体的电极的针尖30而作用。

针尖30的左右方向靠近第1连接部16的一侧(前端侧)的部位朝上面形成倾斜面。但是，针尖30可作为为垂直于上下方向的面，也可作为半球面的面。并且，针尖30，也可不做成面而作为前端尖锐的针尖。

第1臂部12，整体具有适宜的曲率半径R1，且具有向上方突出的弧。曲率半径R1可设计成为适应上下方向的两臂12，14的间隔H、左右方向的两连接部16，18的间隔W、以及从第2连接部18至接触部28的中心的距离(臂部的有效长度)L的同时，还可设置将针尖30按压于被检查体的电极上时，对应两者的擦合量的值。

有关探针10的材料，可使用镍·磷合金(Ni-P)、镍·钨合金(Ni-W)、铑(Rh)、铍青铜(BeCu)、镍(Ni)、钯·轱合金(Pd-Co)、以及钯·镍·轱(Pd-Ni-Co)等导电性金属材料。

探针10，其整体可由前述材料制作。但是，接触部28，则可使用至少与基座部26不同的材料制作。此时，基座部26，可使用与两臂12，14、两连接部16，18、安装部22以及延长部24相同的材料制作，也可使用不同的材料制作。

探针10的整体，使用相同材料制作，或是若将除了接触部28以外的部分使用相同材料制作，则探针10的制造变得容易。

探针10，如后详述如图15至图19所示，组装于探针卡等电气连接装置80上。有关电气连接装置80将在后面做详细说明，以下为简单说明。

电气连接装置80以多个螺钉88将连接于检测器的圆形配线基板82、配置于配线基板82上的圆形加强板84、以及配置于配线基板82下面的环(ring)86以重叠状态同轴安装。圆形连接基板90以及安装基板92配置于环86内侧的配线基板82的下侧。

配线基板82、环86、连接基板90以及安装基板92，作为探针10的支持组件，而产生支持基板的作用。半导体硅片上的集成电路等被检查体94水平配置于检查台的夹盘顶96上，并由其支持。

探针10即由安装部22的安装基板92以悬臂梁的方式支持，并以该状态将针尖30按压于被检查体94的电极上。当针尖30被按压于被检查体94的电极上时，过度按压力即作用于探针10上，两臂部12，14则以弹性变形弯曲。

但是，由于探针10中，第1臂部12整体以弧状弯曲，使弧状的第1臂部12的机械强度变大。因此，即使大的过度按压力作用于探针10上，两臂部12，14也不会有折损，而两臂部12，14将以弹性变形弯曲。

前述结果，由于可增大过度按压力，并增大对被检查体94的电极的针尖30的按压力(针压)，因此可实现被检查体94的电极与针尖30的良好接触状态。

并且，被检查体94的通电试验中，具有前述构造的多个探针10，安装于支持组件(特别是安装基板92)上。此时，即使在邻接探针10的上下方向上，即使针尖30位置并非极精确一致，也可由于增大过度按压力，使上下方向的针尖30的位置与靠近被检查体94电极的探针一样发生大的弹性变形，从而使被检查体94的电极与针尖30确实接触，实现正确的检查。

参照图2(A)和图2(B)，安装部22可在左右方向以隔着一定间隔的多个部位，分别具有贯穿其厚度方向上的孔32，也可分别于左右方向有一定间隔的多个部位形成从安装部22向上方延伸的突起34。

安装部22上具有孔32的探针10，由于可将孔32相对于安装基板92，作为探针10的定位孔而利用，因此对安装基板92的探针10的安装操作变得容易。

并且，根据具备从安装部22向上方延伸的突起34的探针10，通过在安装基板92上形成突起嵌合用孔，将突起34插入该嵌合用孔，可将探针10相对于安装基板92的定位，因此在安装基板92上安装探针10的操作则更为容易。

如图3所示，也可不使第1臂部12以弧状弯曲，而使第2臂部14成为具有适宜曲率半径R2而向上方突出的弧状弯曲。这样，由于第2臂部14的机械强度变大，即使大的过度按压力作用于探针10上，也可使两臂部12，14无损折地以弹性变形弯曲。

如图4所示，可使第1及第2臂部12，14分别成为以适宜曲率半径R1以及R2而向上方突出的弧状弯曲；也可如图5所示，使第2臂部14成为以适宜曲率半径R2向下方突出弧状弯曲；还可以如图6所示，使第1及第2臂部12及14成为分别具有适宜曲率半径R1及R2，并使其向下方以突出弧状弯曲。

图4、图5及图6所示的任一探针，均由于第2臂部14的机械强度变大，所以即使大的过度按压力作用于探针10上，也可使两臂部12，14无损折，并且更易于弹性变形。

在上述的任一实施例中，可使左右方向的基座部26的宽度尺寸做成为左右方向的第1连接部16的宽度尺寸相同，也可如图7所示将左右方向的第1及第2臂部12，14的长度尺寸彼此相同。尤其是，后者的情形，由于第2臂部14更容易弹性变形，即使将大的过度按压力作用于探针10，也不会使两臂部12，14更加折损，而使两臂部12，14更确实地弹性变形。

前述的任一实施例，可不用将接触部28在对应其圆锥形或角锥形底面处一体形成于基座部26下面的方式，而如图8(A)及图8(B)所示，将接触部28至少与基座部26独立制作，将该接触部28在对应圆锥形或角锥形底面处，以焊锡等导电性粘着剂粘接在基座部26下面。

如图9(A)和图9(B)所示，可将所有具有相同厚度的梯形作为板状的接触部38。而图9(A)和图9(B)所示的探针10，则可如图10所示，进行制作。

首先，如图10(A)及图10(B)所示，准备有基板40，该基板40上，涂布有光阻剂42，该光阻剂42中，将对应接触部38以外的探针领域的领域，进行曝光及显影处理，从而在曝光及显影处理的领域形成凹处，将该凹处以导电性金属材料，使用电铸法的电镀处理予以填充。

接着，如图10(C)及图10(D)所示，在光阻剂42及填充物44上，涂布光阻剂46，该光阻剂46中，在对应包含接触部38的前端区域，进行曝光及显影处理，从而在曝光及显影处理的领域形成凹处，将该凹处以导电性金属材料，使用电铸法的电镀处理予以填充。

如图10(E)及图10(F)所示，在光阻剂46及填充物48上涂布光阻剂50，该光阻剂50中，在对应除了接触部38以外的探针领域的领域，进行曝光及显影处理，在光阻剂46及50中的受曝光及显影处理的领域中形成有凹处，并将该凹处以导电性金属材料使用电铸法的电镀处理予以填充。

之后，除去所有光阻剂42，46及50，并将与填充物44，48以及52成为一体的探针10，从基板40卸下。

接触部28可不做成为圆锥形、角锥形，而如图11所示，做成在探针10的厚度方向上成为长半柱面形的接触部56。从探针10的厚度方向看接触部56，具有梯形的形状。具备接触部56的探针10，也可经过多次的前述光阻剂的曝光显影处理与电镀处理，而简单地制作。

通电试验用的探针，一般是以配置在探测器(prober)的状态下，对探测器或被检查体进行位置对准。因此探针10即从针尖30侧(被检查体侧)由区域传感器摄影。各探针10的位置，即将区域传感器的输出信号加以图像处理，求出在区域摄影领域内针尖30的坐标位置。

因此，如图12所示，探针10在与针尖3O不同的部位具有基准部60。图12所示的基准部60，在基座部26下面形成凹处62，并形成从基座部26向下方突出的突出部64，成为突出部64下端的平坦面部。

突出部64是向探针10的厚度方向延伸，并且由平坦面部，即基准部60、以及相对突出部64的轴线倾斜的左右一对倾斜面部66，成为梯形的断面形状。

基准部(平坦面部)60，由两倾斜面部66的前端延续，且与突出部64的轴线垂直，从针尖30后退至臂部14侧，在探针10的厚度方向延伸为带状。

在对准相对探针器或被检查体的位置时，探针10即从针尖30侧(被检查体侧)由区域传感器摄影。而探针10的位置，则将区域输出信号加以图像处理，而求出区域摄影领域内针尖的坐标位置。

图12所示的探针10，由于具备形成于与针尖30不同处的基准部60，而容易通过使用区域传感器的输出信号将基准部60从周围识别出来，因此也可很容易地决定基准部60的坐标位置。并且，由于基准部60与针尖30的位置关系不变，针尖30的位置即可从基准部60的位置，较容易地决定。

基准部60，由于是平坦面，具有与相邻的至少一部分区域不同的向下方的光反射特性。因此，可利用向下方的反射光量的差，方便地决定基准部60。

参照图13，探针10中，突出部64从臂部14的右端部向下方突出，并以突出部64的下端平坦面部作为基准部60。

参照图14，探针10在基座部26下面，形成有周围区域68，并使周围区域68的内侧领域作为基准部70。基准部70，其向下方的光反射特性比周围区域68高，也是平坦面。周围区域68，为使光发生乱反射，被处理为粗糙面。

图标的例中，周围领域68是圆形，也可以为三角形、四角形、星形等其它形状。而周围区域68以及基准部70，可不形成于基座部26，而形成于臂部14的下面。

基准面60及70也可做成尖锐部分而不是平坦面。并且，基准部60及70，只要其向下方的光反射特性与周围或相邻的区域66，68不同即可，因此可使基准部60及70的向下方的光反射特性设成比周围或相邻区域66，68大，也可比其小。

图13及图14所示的任一探针10，均与图12所示的探针产生相同效果。

图12，图13及图14所示的任一探针10，其基准部60或70，只要具有相对其相邻区域高或低的光反射特性即可，但理想的则为基准部60或70与其相邻领域的光反射特性大不相同。因此，可将基准部60或70做成为平坦面，而将其周围，做成为相对基准面倾斜的倾斜面、光乱反射面、低光反射面等。

前述的实施例，都是使臂部12或14的整体以弧状弯曲，取而代之，也可以是臂部12或14在上下方向上一侧的缘部、以及臂部12或14在上下方向上另一侧的缘部的至少一个为弧状。

从图1至图7以及从图11至图14所示的任一探针，也与图7所示的探针相同，可依图8所示的方法制造。

以下就使用前述的探针的电气连接装置的实施例进行说明。

参照图15至图19，如前已说明，电气连接装置80是以多个螺钉88将其圆形配线基板82、配置于配线基板82的上面的圆形加强板84、以及配置于配线基板82下面的环86，以重叠状态同轴安装。在环86的内侧，将圆形连接基板90与安装基板92配置于配线基板82的下面。

配线基板82，在其上面周缘部具有连接于检测器的电路的多个检测台100(festerland)，而图中虽未显示，配线基板82的下面或内部只有分别连接于检测台的多个配线。

加强板84在中央部具有圆形孔102的同时，其周围还具有新月状的多个孔104。环86，具有从下端缘向中心水平延伸的多个(图例为3个)板状保持部106，在环86的轴线周围，以等角度间隔分布以便将安装基板92在内侧承受。

配线基板82、加强板84以及环86，是以贯穿其厚度方向的多个定位用的钉108，决定其相对位置。

连接基板90，具备形成在其下面的多个第1连接台110，将多个连接构件112分别焊接于第1连接台110，将连接座110通过多个配线(图中未标出)与配线基板82的配线分别连接。

连接基板90，以按压于配线基板82上的状态，以螺钉等适合的工具，安装于配线基板82。配线基板82、环86以及连接基板90，构成了用于探针114的支持基板。连接基板90，也可与配线基板82一体制作。

如图所示之例，各连接构件112是图1或图2所示的探针，以针尖部20同下方伸出的同时，臂部12，14向左右方向延伸的状态，以悬臂梁的方式焊接于安装部22中所对应的第1连接台110。

安装基板92，在圆板状的主体部上端外周部，形成有圆形边缘部(flange)，其下方安装有多个探针114。安装基板92具有分别按压于连接构件112的多个第2连接台116、分别安装有探针114的多个探针座118、将第2连接台116以及探针座118以一对一关系连接的多个配线120。

各探针114，在图标例中，是图1或图2所示的探针，以针尖部20向下方的同时，臂部12，14向横向延伸的状态，以悬臂梁的方式焊接于安装部22中所对应的探针座118上。

安装基板92，以载置于保持部106并将第2连接台116按压于对应的连接构件112的针尖部20的状态，用螺钉24以等角度间隔安装的多个(图标例为3个)定位板122，安装于环86。

各定位板122，是以定位钉126，相对环86，甚至配线基板82，决定位置。各定位板122可做成为弹簧板，以将安装基板92向着连接基板90弹压，或使探针114按压于被检查体94时，发生弹性变形。

安装基板92，是以多个螺钉128安装于定位板122的上面的同时，还由定位钉130，决定相对各定位板122的位置。

安装基板92，是以连接构件112，向着保持部106弹压，这样使各第2连接台116以及对应连接构件112的针尖部20，相对按压。

定位板122，以等角度间隔定位于环86的轴线周围，由此使向连接构件112的第2连接台116的按压力相同。

除了探针状连接构件112，以针尖部20在下方以突出的状态，安装于第1连接台110上这种形式，也可将探针状连接构件112安装于第2连接台116，使针尖部20向上方突出，而成为使针头部20接触于第1连接台110的状态。

电气连接装置80，如图19所示，将各探针114的针尖30按压于被检查体94的电极上。由此，使过度按压力作用于各探针114上，使两臂部12，14以弹性变形弯曲。

以悬臂梁的方式配置于连接基板90与安装基板92间的多个探针状连接构件112，当探针114与被检查体94按压时，如图19所示，在如同悬臂梁的臂部12，14弯曲，并在按压探针114与被检查体94时，吸收传达至连接基板90，甚至配线基板82的力的一部分。由此，当按压探针114与被检查体94时减低了传达至连接基板90以及配线基板82的力。

特别是，作为连接构件112以及探针114，如图1至图14所示的探针，臂部12，14的至少一方，该臂部的整体、该臂部的上侧的缘部、以及该臂部的下侧的缘部的至少其中之一，为弧状的探针10，则如前所述，由于具有弧状部分的臂部的机械强度变大，即使探针上作用了大的过度按压力，也可使两臂部无折损地以弹性变形弯曲。

其结果，由于可增大过度按压力，以及增大对被检查体94的电极的针尖的按压力(针压)，因此可使被检查体94的电极与针尖处于良好电气连接状态，即使在上下方向，不保持针尖位置的极精确一致，也可保证被检查体94的电极与针尖的确实接触，从而进行正确的检查。

再参照图20，探针10还包括，形成于针尖部20的基座部26的凹处72、以及形成于包含该凹处72及针尖部20的针尖30的领域的导电性涂层74。

凹处72中，图标例中具有贯穿基座部26的孔，也可以具有有底孔。此时，可将有底孔形成于基座部26的厚度方向的两面、基座部26的前端面以及后端面、基座部26的底面等基座部26的多处。

而涂层74，并不限于前述的领域，可形成于针尖部20的整体、也可形成于包括针尖部20整体、臂部14以及连接部16的领域、以及探针整体等，还可形成于包括前述区域及其它区域的区域。

依此具有涂层74的探针10，可将涂层74以比附于针尖部20等其它部位更为硬质的材料形成，则可减低针尖30的磨耗。再且，凹处72上也形成有涂层74，因此即使针尖30以按压于被检查体的电极的状态，而相对该电极滑动时，也可防止涂层74从针尖部20剥落。

本发明并不限于前述的实施例，只要不脱离其主旨，可进行各种变更。

组件符号说明

10      探针                            12          第1臂部

14      第2臂部                         16          第1连接部

18      第2连接部                       20          针尖部

22      安装部                          24          延长部

26      基座部                          28          接触部

30      针尖                            32          贯通厚度方向的洞

34      突起                            38          接触部

40      基板

42、46、50                                          光阻剂

44、48、52                                          填充物

56      接触部                          60          基准部

62、72  凹处                            64          突出部

66      倾斜面部                        68          周围领域

70      基准部                          80          电气连接装置

82      配线基板                        84          圆形加强板

86      环                              88          螺钉

90      圆形连接基板                    92          安装基板

94      被检查体                        96          卡盘顶

100     检测台                          102         圆形洞

104     新月状洞                        106         板状保持部

108           钉                               110           第1连接部

112           连接构件                         114           探针

116           连接台                           118           探针座

120           配线                             122           决定位置板

126、130                                       决定位置钉

128           螺钉

Claims (15)

1.一种通电试验用探针，其特征在于，包括：

在第1方向隔着一定间隔，而向第2方向延伸的第1及第2臂部；分别在该第1及第2臂部的前端部以及基端部将该第1及第2臂部连接的第1及第2连接部；以及在前述第1连接部或前述第1臂部的前述第1方向的一侧延续的针尖部；前述第1及第2臂部的至少一方，将该臂部的整体、该臂部的前述第1方向的一侧的缘部、以及该臂部的前述第1方向的另一侧的缘部的至少其中之一做成弧状。

2.如权利要求1所述的探针，其特征在于，又包括：

相对前述第1及第2臂部，在前述第1方向位于另一侧的安装部、以及从该安装部在前述第1方向，向一侧延伸的延续前述第2连接部的延长部。

3.如权利要求2所述的探针，其特征在于，该探针具有以与前述第1及第2方向交叉方向为厚度方向的板的形状。

4.如权利要求3所述的探针，其特征在于，前述安装部具有贯穿该厚度方向的孔。

5.如权利要求2到4中任一项所述的探针，其特征在于，又包括：从前述安装部向前述第1方向向另一侧延伸的突起。

6.如权利要求1所述的探针，其特征在于，前述针尖部具备：延续前述第1连接部以及前述第1或第2臂部的基座部、以及从该基座部的前述第1方向的一侧突出的接触部。

7.如权利要求6所述的探针，其特征在于，前述接触部至少由与前述基座部不同的材料制成。

8.如权利要求7所述的探针，其特征在于，前述基座部至少由与前述第1及第2臂部以及前述第1及第2连接部相同的材料制成。

9.如权利要求7或8所述的探针，其特征在于，前述接触部，具有相对前述第2方向上从0.1°至5°角度的前端面，是在前述第2方向的前述第1连接部侧处，在前述第1方向，具有成为前述第1连接部侧的前端面。

10.如权利要求1到9中任一项所述的探针，其特征在于，又包括：形成于与前述针尖部的针尖不同部位的基准部。

11.如权利要求10所述的探针，其特征在于，前述基准部，具有与该基准部相邻的至少一部分区域不同的在前述第1方向上的光反射特性。

12.如权利要求10或11所述的探针，其特征在于，又包括从前述针尖部以及前述第1臂部的任意一方向前述第2方向突出的突出部，该突出部具备相对该突出部的轴线倾斜的至少一个倾斜面部、以及该倾斜面部的前端延续且垂直于前述轴线的平坦面部，该平坦面部从前述针尖向前述臂部侧后退，而前述基准部为前述平坦面部。

13.如权利要求12所述的探针，其特征在于，前述突出部，从前述针尖部或前述第1臂部突出。

14.如权利要求10到13中任一项所述的探针，其特征在于，前述基准部，包括由与向前述第1方向的光反射特性不同的周围区域包围的区域。

15.如权利要求1到14中任一项所述探针，其特征在于，又包括，形成于前述针尖部的至少一个凹处、以及形成于包括该凹处以及前述针尖部的针尖的区域的导电性涂层。

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