JP2008151684A - 電気的接続装置およびその使用方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気的接続装置は、平坦な上面に凹所が形成された電極を有する被検査体の電気検査のために用いられる。電気的接続装置は、複数のプローブを備え、各プローブは、プローブ基板に結合された基部と、該基部からプローブ基板に沿ってこれから間隔をおいて被検査体の電極の上方へ伸びる弾性変形可能のアーム部と、プローブ基板から離れる方向へ向けてアーム部より突出する針先部とを有する。各プローブの針先部の先端は、アーム部に撓みを伴う変形が生じていない状態で電極の上面の凹所を除く平坦面領域に当接可能である。電気的接続装置は、プローブに電極へ向けてのオーバドライブ力が作用してアーム部に撓み変形が生じたとき針先部の先端は平坦面領域から逸脱することなく該平坦面領域上を移動するように、用いられる。
【選択図】図5
Description
18 プローブ基板
44 プローブ
44a 針先(先端)
56 半導体ウエハ(被検査体)
58 電極
66 電極の上面
66a 平坦面領域
68 凹所
Claims (10)
- 上面に凹所が形成された電極を有する被検査体の電気検査のために前記上面に当接可能な複数のプローブを備える電気的接続装置であって、前記各プローブは、プローブ基板に結合された基部と、該基部から前記プローブ基板に沿ってこれから間隔をおいて前記被検査体の前記電極の上方へ伸びる弾性変形可能のアーム部と、前記プローブ基板から離れる方向へ向けて前記アーム部より突出する針先部とを備え、該針先部の先端は、前記アーム部に撓みを伴う変形が生じていない状態で前記上面の前記凹所を除く平坦面領域に当接可能でありかつ前記プローブに前記電極へ向けてのオーバドライブ力が作用して前記アーム部に撓み変形が生じたとき前記針先部の先端は前記平坦面領域から逸脱することなく該平坦面領域上を移動可能であることを特徴とする電気的接続装置。
- 前記電極はバンプ電極である、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記プローブの前記先端は、前記アーム部に撓みを伴う変形が生じていない状態で、前記プローブの前記基部から遠い側に位置する前記上面の一半領域に接触可能である、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記アーム部の長手方向仮想延長線は、前記バンプ電極の前記上面のほぼ中心を通る軸線と交差する、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記凹所は前記電極の前記上面の中央部に形成され、該凹所の周壁が該凹所の底部へ向けて傾斜し、前記平坦面領域が前記凹所の傾斜周壁に連続して該傾斜周壁を取り巻くように枠状に形成されており、前記プローブにオーバドライブ力が作用するときおよび該オーバドライブ力が解除されるとき、前記先端は前記傾斜周壁に移行することなく前記平坦面領域上を移動可能である、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記複数のプローブは、前記針先を直線状に整列させるように、また前記アーム部の長手方向が前記針先の整列方向とほぼ直角でありかつそれぞれの前記プローブの前記基部から前記針先部へ向けての方向が前記針先の整列方向へ交互に逆方向となるように、配列されている、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 上面に凹所が形成された電極を有する被検査体の電気検査のために前記上面に当接可能なプローブを備える電気的接続装置の使用方法であって、前記プローブはプローブ基板に結合された基部と、該基部から前記プローブ基板に沿ってこれから間隔をおいて前記被検査体の前記電極の上方へ伸びる弾性変形可能のアーム部と、前記プローブ基板から離れる方向へ向けて前記アーム部より突出する針先部とを備え、該針先部の先端は、前記アーム部に撓みを伴う変形が生じていない状態で前記上面の前記凹所を除く平坦面領域に当接可能でありかつ前記プローブに前記電極へ向けてのオーバドライブ力が作用して前記アーム部に撓み変形が生じたとき前記針先部の先端は前記平坦面領域から逸脱することなく該平坦面上を移動することを特徴とする電気的接続装置の使用方法。
- 前記プローブの前記先端は、前記アーム部に撓みを伴う変形が生じていない状態で前記プローブの前記基部に遠い側に位置する前記上面の一半領域に接触可能である、請求項7に記載の電気的接続装置の使用方法。
- 前記アーム部の長手方向仮想延長線は、前記バンプ電極の前記上面のほぼ中心を通る軸線と交差する、請求項7に記載の電気的接続装置の使用方法。
- 前記凹所は前記電極の前記上面の中央部に形成され、該凹所の周壁が該凹所の底部へ向けて傾斜し、前記平坦面領域が前記凹所の前記周壁に連続して該周壁を取り巻くように枠状に形成されており、前記プローブにオーバドライブ力が作用するときおよび該オーバドライブ力が解除されるとき、前記針先は前記傾斜周壁に移行することなく前記平坦面領域上を移動する、請求項7に記載の電気的接続装置の使用方法。
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