TW587023B - Method of generating ejection pattern data and head motion pattern data; apparatus for generating ejection pattern data; apparatus for ejecting functional liquid droplet; drawing system; method of manufacturing organic EL device, electron emitting device - Google Patents

Description

587023 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於噴出圖案資料生成方法、噴頭動作圖案 資料生成方法、噴出圖案資料生成裝置、功能液滴噴出裝 置、描繪裝置、液晶顯不裝置之製造方法、有機el裝置 之製造方法、電子放射裝置之製造方法、PDP裝置之製造 方法、電泳顯示裝置之製造方法、彩色濾光器之製造方法 •、有機E L之製造方法、間隔件形成方法、金屬配線形成 方法、透鏡形成方法、光阻劑形成方法及光擴散體形成方 法。 【先前技術】 以往，噴射印表機等，在噴頭（功能液滴吐出噴頭） 上以同間距所配列的噴嘴列，吐出油墨（功能液滴）形成 點的功能液滴吐出裝置中，使1個油墨噴頭於主掃描方向 % 及副掃描方向相對於工件相對移動，藉此進行掃描。此時 ，各噴嘴的吐出圖案資料（描繪圖案資料）生成於各個噴 嘴列（噴頭），將生成的資料依序送至噴頭驅動裝置，進 行1列量之功能液滴的吐出（描繪）。 但是，大型的印表機等，考慮功能液滴吐出噴頭的精 度，並非以單一功能液滴吐出噴頭而是以複數個功能液滴 吐出噴頭構成副掃描方向之噴嘴的全行（1行）。因此， 例如以6個並排具有2列噴嘴列之功能液滴吐出噴頭構成 1行時，全部必須生成1 2列量的吐出圖案資料。但是， (2) 587023 生成1 2列量的吐出圖案資料時，會形成極大的資料 因此以習知的各個噴嘴列生成吐出圖案資料的方法事 不可能生成。 本發明是提供..從列設在複數個功能液滴吐出噴頭 嘴列選擇性吐出功能液滴至工件以進行描繪場合的可 生成各噴嘴之吐出圖案資料的噴出圖案資料生成方法 頭動作圖案資料生成方法、噴出圖案資料生成裝置、 • 液滴噴出裝置、描繪裝置、液晶顯示裝置之製造方法 機EL裝置之製造方法、電子放射裝置之製造方法、 裝置之製造方法、電泳顯示裝置之製造方法、彩色濾 之製造方法、有機EL之製造方法、間隔件形成方法 屬配線形成方法、透鏡形成方法、光阻劑形成方法及 散體形成方法爲課題。 【發明內容】 • 本發明之吐出圖案資料生成方法是從列設於功能 吐出噴頭的複數個噴嘴選擇性吐出功能液滴，對於工 的1個以上的晶片形成區域進行描繪之生成各噴嘴之 圖案資料的吐出圖案資料生成方法，其特徵爲，具備 定晶片形成區域的画素配列有關的画素資訊的画素設 驟；設定工件上之晶片形成區域的配置之相關晶片資 晶片設定步驟；設定各噴嘴配置之相關噴嘴資訊的噴 定步驟；及’根據工件及功能液滴吐出噴頭的位置關 從設定的画素資訊、晶片資訊及噴嘴資訊生成各噴嘴 量， 實上 的噴 容易 、噴 功能 、有 PDP 光器 、金 光擴 液滴 件上 吐出 :設 定步 訊的 嘴設 係， 的吐 -8- (3) 587023 出圖案資料的資料生成步驟。 又’本發明的吐出圖案資料生成裝置從列設於功能液 滴吐出噴頭的複數個噴嘴選擇性吐出功能液滴，在工件上 的1個以上的晶片區域進行描繪之生成各噴嘴吐出圖案資 料的吐出圖案資料生成裝置，其特徵爲，具備：設定晶片 形成區域的画素配列有關的画素資訊的画素設定手段；設 定工件上之晶片形成區域的配置之相關晶片資訊的晶片設 φ 定手段；設定各噴嘴配置之相關噴嘴資訊的噴嘴設定手段 ;記憶所設定的画素資訊、晶片資訊及噴嘴資訊的記憶手 段；及，根據工件及功能液滴吐出噴頭的位置關係與記憶 在記憶手段的各資訊生成各噴嘴的吐出圖案資料的資料生 成手段。 由於以上構成，根據工件及功能液滴吐出噴頭的位置 關係與所設定的画素資訊、晶片資訊及噴嘴資訊生成吐出 圖案資料，因此可以總括生成所有噴嘴的吐出圖案資料。 • 亦即，不論噴嘴數皆可容易且迅速生成各噴嘴的吐出圖案 資料。 此時，画素資訊包含功能液滴的顏色資訊，資料生成 步驟則以生成顏色別的吐出圖案資料爲佳。 又，此時画素包含功能液滴的顏色資訊，資料生成手 段則以生成顏色別的吐出圖案資料爲佳。 根據此一構成，吐出圖案數據由於生成顏色別，因此 藉複數色画素進行晶片形成區域的描繪時（進行彩色描繪 時），可容易進行描繪處理。 -9- (4) 587023 該等的場合，複數個噴嘴以構成整齊配置一直線上的 1個以上噴嘴列，噴嘴資訊以包含噴嘴列的基準位置相關 的資訊爲佳。 根據此一構成，複數個噴嘴由於構成整齊配置在直線 上的1個以上噴嘴列，因此僅設定噴嘴列的基準位置相關 資訊，即可總括設定構成噴嘴列的噴嘴所有的配置。因而 省略設定所有噴嘴位置等的繁雜勞力。 Φ 此時，噴嘴資訊以包含噴嘴列的不使用噴嘴位置相關 的資訊爲佳。 根據此一構成，例如使用以壓電式吐出功能液滴的噴 嘴時等，根據功能液滴吐出噴頭上的噴嘴位置會產生不均 勻的吐出量，因此不使用產生不均勻位置的噴嘴，即可穩 定吐出量。 該等的場合，噴嘴資訊是以含功能液滴吐出噴頭的主 掃描方向或副掃描方向的噴嘴間距，或是相對於主掃描方 Φ 向或副掃描方向之噴嘴列的相關傾斜資訊爲佳。 根據此一構成，可設定功能液滴吐出噴頭的主掃描方 向或副掃描方向的噴嘴間距，或是相對於主掃描方向或副 掃描方向之噴嘴列的相關傾斜資訊，即可對應吐出對象物 變更吐出間距。 該等的場合，功能液滴吐出噴頭是以列設噴嘴列的複 數個單位噴頭構成爲佳。 根據此一構成，功能液滴吐出噴頭由於是以列設噴嘴 列的複數個單位噴頭所構成，因此可大量生產同型的單位 -10- (5) 587023 噴頭，進而可以廉價製造功能液滴吐出噴頭。 該等的場合，画素資訊以包含画素的配列、鑲嵌配列 、三角形配列及直線形配列中’可任意的配列資訊爲佳。 根據此一構成，一般的画素配列之鑲嵌配列、三角形 配列及直線形配列中，可設定任意的配列。換言之，可以 該等的配列生成進行描繪而獲得吐出圖案資料。 該等的場合，画素資訊以包含画素數、画素尺寸及相 φ 鄰画素間的間距的相關資訊爲佳。 根據此一構成，可以種種的画素數、画素尺寸及相鄰 画素間的間距（画素間距）生成進行描繪而獲得吐出圖案 資料。 該等的場合，晶片資訊以包含工件上之晶片形成區域 的配置方向、晶片形成區域數、晶片形成區域尺寸及相鄰 晶片形成區域間距相關的資訊爲佳。 根據此一構成，可生成種種的以晶片形成區域的配置 • 方向、晶片形成區域數、晶片形成區域尺寸及相鄰晶片形 成區域間距（間距形成距離間的間距）進行描繪所獲得的 吐出圖案資料。 該等的場合，更具備設定1画素內之功能液滴的吐出 位置之有關吐出位置資訊的吐出位置設定步驟，資料生成 步驟以根據吐出位置資訊，生成各噴嘴的吐出圖案資料爲 佳。 又，該等的場合，更具備設定1画素內之功能液滴的 吐出位置之相關吐出位置資訊的吐出位置設定手段，資料 -11 - (6) 587023 生成手段以根據吐出位置資訊，生成各噴嘴的吐出圖案資 料爲佳。 根據此一構成，由於可設定1画素內之功能液滴的吐 出位置，因此可以使功能液滴著位於預定的位置。 該等的場合，更具備設定相對於1画素之功能液滴的 吐出次數之相關吐出次數資訊的吐出次數設定步驟，資料 生成步驟以根據吐出次數資訊，生成各噴嘴的吐出圖案資 • 料爲佳。 又，該等的場合，更具備設定相對於1画素之功能液 滴的吐出次數之相關吐出次數資訊的吐出次數設定手段， 資料生成手段以根據吐出次數資訊，生成各噴嘴的吐出圖 案資料爲佳。 根據此一構成，由於可設定1画素內之功能液滴的吐 出次數。即，可設定4個、8個等任意的每1個画素的點 數。 • 上述中，可藉吐出次數設定步驟，設定吐出次數爲複 數次時，更具備設定噴嘴偏位資訊之噴嘴偏位設定手段可 分別從不同的噴嘴吐出功能液滴，資料生成手段以根據噴 嘴偏位資訊，生成各噴嘴的吐出圖案資料爲佳。 根據此一構成，可對於1画素分割成複數次分別從不 同的噴嘴吐出功能液滴。因此，即使因噴嘴導致功能液滴 的吐出量不均勻的場合，仍可使相對於1画素的功能液滴 吐出量平均化。 上述中，可藉吐出次數設定步驟，設定吐出次數爲複 -12- (7) 587023 數次時，更具備設定偏位資訊之偏位設定步驟可分別從不 同的吐出位置吐出功能液滴，資料生成手段以根據偏位資 訊，生成各噴嘴的吐出圖案資料爲佳。 又’上述中，可藉吐出次數設定手段，設定吐出次數 爲複數次時，更具備設定偏位資訊之偏位設定手段可分別 從不同的吐出位置吐出功能液滴，資料生成手段以根據偏 位資訊，生成各噴嘴的吐出圖案資料爲佳。 0 根據此一構成，1画素內由於可分割成複數次分別將 功能液滴吐出至不同的吐出位置，因此可毫不遺漏地描繪 1画素。 本發明之噴頭動作圖案資料生成方法係將列設複數個 噴嘴的功能液滴吐出噴頭相對於工件一邊移動，驅動功能 液滴吐出噴頭，從複數個噴嘴選擇性吐出功能液滴，在工 件上的1以上的晶片形成區域進行描繪之生成功能液滴吐 出噴頭的噴頭動作圖案資料的噴頭動作圖案資料生成方法 •，其特徵爲，具備：設定有關功能液滴吐出噴頭相對移動 之相關噴頭移動資訊的噴頭移動設定步驟；設定有關工件 上之晶片形成區域的配置之晶片資訊的晶片設定步驟；設 定有關噴嘴的配置之噴嘴資訊的噴嘴設定步驟；及，從設 定的噴頭移動資訊、晶片資訊及噴嘴資訊生成噴頭動作圖 案資料的資料生成步驟。 由於此一構成，根據噴頭移動資訊、晶片資訊及噴嘴 資訊，可生成使功能液滴吐出噴頭一邊相對於工件移動進 行描繪時的噴頭動作圖案資料，因此可總括生成所有噴頭 -13- (8) 587023 的噴頭動作圖案資料。亦即，不論噴頭數可容易且迅速生 成各噴頭的噴頭動作圖案資料。 此時，複數個噴嘴在直線上構成整齊配置的1以上的 噴嘴列，噴嘴資訊以包含噴嘴列之基準位置的相關資訊爲 佳。 根據此一構成，複數個噴嘴由於是在直線上構成整齊 配置的1以上的噴嘴列，因此只需設定噴嘴列之基準位置 φ 的相關資訊，即可總括設定構成噴嘴列的噴嘴的所有配置 。因此，可省略設定所有噴嘴位置等繁雜的勞力。 此時，功能液滴吐出噴頭是配設在托架上’噴嘴資訊 以包含形成於托架上的對準標記及噴嘴列的基準位置之相 對位置的相關資訊爲佳。 根據此一構成，由於以形成在擔載功能液滴吐出噴頭 之托架上的對準標記爲基準時，可設定噴嘴列基準位置的 相對位置，因此進行對準可將功能液滴吐出至工件上的正 0 確位置。 該等的場合，噴嘴資訊以包含功能液滴吐出噴頭的主 掃描方向或副掃描方向的噴嘴間距，或相對於主掃描方向 或副掃描方向之噴嘴列傾斜的相關資訊爲佳。 根據此一構成，由於可設定功能液滴吐出噴頭的主掃 描方向或副掃描方向的噴嘴間距，或相對於主掃描方向或 副掃描方向之噴嘴列傾斜的相關資訊，可因應吐出對象物 變更吐出間距。 該等的場合，功能液滴吐出噴頭以列設噴嘴列的複數 •14- (9) 587023 個單位噴頭構成爲佳。 根據此一構成，功能液滴吐出噴頭 列的複數個單位噴頭構成，因此可大量 頭，進而可以廉價製造功能液滴吐出噴 該等的場合，晶片資訊以包含形成 記，及最初描繪前頭晶片形成區域之相 爲佳。 φ 根據此一構成，由於以形成在工件 準時，可設定最初描繪前頭晶片形成區 此可藉對準的進行在工件上的正確位置 〇 該等的場合，更具備可設定1画素 位置的相關位置資訊的吐出位置設定步 以根據吐出位置資訊生成噴頭動作圖案 根據此一構成，由於可設定1画素 • 位置，可將功能液滴著位於預定的位置 該等的場合，更具備設定相對於1 吐出次數之相關吐出次數資訊的吐出次 生成步驟以根據吐出次數資訊，生成各 爲佳。 根據此一構成，由於可設定1 _素 出次數。即，可設定4個、8個等任意 數。 上述中，藉吐出次數設定步驟，設 由於是以列設噴嘴 生產同型的單位噴 頭。 在工件上的對準標 對位置的相關資訊 上的對準標記爲基 域的相對位置，因 描繪晶片形成區域 內之功能液滴吐出 驟，資料生成步驟 資料爲佳。 內的功能液滴吐出 〇 画素之功能液滴的 數設定步驟，資料 噴頭動作圖案資料 內之功能液滴的吐 的每1個画素的點 定吐出次數爲複數 -15- (10) 587023 次的場合，更具備分別從不同噴嘴吐出功能液滴而設定噴 嘴偏位資訊的噴嘴偏位設定步驟，資料生成步驟以根據噴 嘴偏位資訊生成噴頭動作圖案資料爲佳。 根據此一構成，可對於1画素，分割爲複數次並分別 從不同噴嘴吐出功能液滴。因此即使因噴嘴使得功能液滴 吐出量不均勻的場合，仍可獲得相對於1画素之功能液滴 吐出量的平均化。 • 上述中，藉吐出次數設定步驟，設定吐出次數爲複數 次的場合，更具備分別對不同吐出位置吐出功能液滴而設 定噴嘴偏位資訊的噴嘴偏位設定步驟，資料生成步驟以根 據偏位資訊生成噴頭動作圖案資料爲佳。 根據此一構成，可對於1画素，分割爲複數次並分別 對不同吐出位置吐出功能液滴，因而可均勻地描繪1画素 0 該等的場合，更具備設定晶片形成區域之画素配列相 • 關之画素資訊的画素設定步驟，資料生成步驟以根據画素 資訊生成噴頭動作圖案資料爲佳。 根據此一構成，可以種種的画素配列生成描繪噴頭動 作圖案資料。 該等的場合，更具備設定工件周邊溫度資訊的溫度設 定步驟，資料生成步驟以根據溫度資訊生成噴頭動作圖案 資料爲佳。 根據此一構成，生成考慮因溫度造成工件伸縮的噴頭 動作圖案資料。因此，可以使功能液滴著位於工件上預定 •16- (11) 587023 的正確位置。 本發明之功能液滴吐出裝置，其特徵爲：具備上述任 意所記載的吐出圖案資料生成裝置。 根據此一構成，提供不論噴嘴數（功能液滴吐出噴頭 數）皆可容易且迅速生成各噴嘴之吐出圖案資料的功能液 滴吐出裝置。 此時，以更具備：設定對於功能液滴吐出噴頭的工件 • 之相對移動的有關噴頭移動資訊的噴頭移動設定手段，及 根據記憶於記憶手段的各資訊與噴頭移動資訊，生成功能 液滴吐出圖案噴頭之噴頭動作圖案資料的噴頭動作圖案資 料生成手段爲佳。 根據此一構成，可容易且迅速總括生成各噴嘴的吐出 圖案資料，及移動功能液滴吐出噴頭的噴頭動作圖案資料 〇 本發明的描繪裝置具備對應複數顏色複數而具備上述 • 所記載任意的功能液滴吐出裝置，可根據色別的吐出圖案 資料，藉複數個功能液滴吐出裝置描繪晶片形成區域。即 ，以1個功能液滴吐出裝置（功能液滴吐出噴頭）進行1 色描繪的場合，可總括地容易且迅速生成複數色量的吐出 圖案資料。 上述中，具備複數個功能液滴吐出裝置的各功能液滴 吐出噴頭以同數、同配置地配置有噴嘴列，分別的噴嘴列 上從一側端賦予相同噴嘴號碼的場合，描繪手段以對於相 鄰的画素，同一號碼的噴嘴不吐出功能液滴爲佳。 -17- (12) 587023 根據此一構成，對應複數色之複數個功能液滴吐出裝 置具備以同數、同配置而配置有噴嘴列的功能液滴吐出噴 頭，分別的噴嘴列上從一側端賦予相同噴嘴號碼的場合， 對於相鄰的画素，由於同一號碼的噴嘴不吐出功能液滴， 因此整體而言可獲得功能液滴吐出量的平均化。即，例如 相鄰画素爲R (紅色）與G (綠色）時，相對於R的画素 以吐出噴嘴號碼（X )吐出功能液滴的場合，相對於G的 φ 画素以吐出噴嘴號碼（X+ 1 0 )吐出功能液滴時，即使因 噴嘴的位置產生吐出量不均勻的場合，仍不容易以目視辨 識吐出不均勻現象。 本發明之液晶顯示裝置的製造方法是使用上述功能液 滴吐出裝置，在彩色濾光器的基板上形成多數濾器元件之 液晶顯示裝置的製造方法，其特徵爲：將各色過濾材導入 複數個功能液滴吐出噴頭，使功能液滴吐出噴頭對於基板 相對進行掃描，可選擇性吐出濾色材形成多數濾器元件。 φ 本發明之有機EL裝置的製造方法是使用上述功能液 滴吐出裝置，在基板上的多數画素上分別形成EL發光層 的有機EL裝置的製造方法，其特徵爲：將各色發光材料 導入複數個功能液滴吐出噴頭，使功能液滴吐出噴頭對於 基板相對進行掃描，可選擇性吐出發光材料形成多數的 EL發光層。 本發明之電子放射裝置的製造方法是使用上述功能液 滴吐出裝置，在電極上形成多數螢光體之電子放射裝置的 製造方法，其特徵爲：將各色的螢光材料導入複數個功能 -18- (13) 587023 液滴吐出噴頭，使功能液滴吐出噴頭對於電極相對進行掃 描’可選擇性吐出螢光材料形成多數的螢光體。 本發明之PDP裝置的製造方法是使用上述功能液滴 吐出裝置’在背面基板上的多數個凹部分別形成螢光體之 PDP裝置的製造方法，其特徵爲：將各色螢光材料導入複 數個功能液滴吐出噴頭，使功能液滴吐出噴頭對於背面基 板相對進行掃描，可選擇性吐出螢光材料形成多數個螢光 _ 體。 本發明之電泳顯示裝置的製造方法是使用上述功能液 滴吐出裝置，在電極上的多數凹部形成泳動體之電泳顯示 裝置的製造方法，其特徵爲：將各色泳動體材料導入複數 個功能液滴吐出噴頭，使功能液滴吐出噴頭對於電極相對 進行掃描，可選擇性吐出泳動體材料形成多數的泳動體。 以上’將上述功能液滴吐出裝置運用於液晶顯示裝置 的製造方法、有機EL ( Electro-Luminescence )裝置的製 φ 造方法、電子射出裝置的製造方法、PDP ( Plasma Display Panel)裝置的製造方法及電用顯示裝置的製造方 法’藉此可將各裝置所求得的過爐材或發光材料等選擇適 當的量供給適當的位置。並且，液滴吐出噴頭的掃描一般 是形成主掃描及副掃描，即以單一的液滴吐出盆頭構成1 生產線時，僅形成副掃描。又，電子射出裝置即包含FED (Field Emission Display)裝置的槪念。 本發明彩色濾光器是使用上述功能液滴吐出裝置，在 基板上製造配列多數濾器元件所成的彩色濾光器的製造方 -19- (14) 法，其特徵爲··將各色過濾材導入複數個功能液滴吐出噴 頭，使功能液滴吐出噴頭對於基板相對進行掃描，選擇性 吐出濾色材形成多數濾器元件。 此時，形成包覆多數濾器元件的罩光塗層膜，在形成 濾器元件之後，將透光性塗層材料導入複數個功能液滴吐 出噴頭，使功能液滴吐出噴頭對於基板相對進行掃描，選 擇性吐出塗層材形成罩光塗層膜。 本發明之有機EL的製造方法是使用上述功能液滴吐 出裝置，在基板上配列含EL發光層之多數画素所成的有 機EL的製造方法，其特徵爲：將各色發光材料導入複數 個功能液滴吐出噴頭，使功能液滴吐出噴頭對於基板相對 進行掃描，選擇性吐出發光材料形成多數的EL發光層。 此時，多數EL發光層與基板之間，對應EL發光層 形成多數的画素電極，將液狀電極材料導入複數個功能液 滴吐出噴頭，使功能液滴吐出噴頭對於基板相對進行掃描 ’選擇性吐出液狀電極材料形成多數画素電極爲佳。 此時，形成覆蓋多數EL發光層的對置電極，形成EL 發光層之後，將液狀電極材料導入複數個功能液滴吐出噴 頭’使功能液滴吐出噴頭對於基板相對進行掃描，選擇性 吐出液狀電極材料形成對置電極爲佳。 本發明之間隔件形成方法是使用上述功能液滴吐出裝 置’在2片基板之間形成微小單元間隙構成的多數粒子狀 間隔件的間隔件形成方法，將構成間隔件的粒子材料導入 複數個功能液滴吐出噴頭，使功能液滴吐出噴頭對於至少 -20- (15) 587023 一側基板相對進行掃描，選擇性吐出粒子材料在基板上形 成間隔件。 本發明之金屬配線形成方法是使用上述功能液滴吐出 裝置，在基板上形成金屬配線的金屬配線形成方法，將液 狀金屬材料導入複數個功能液滴吐出噴頭，使功能液滴吐 出噴頭對於基板相對進行掃描，選擇性吐出液狀金屬材料 形成金屬配線。 φ 本發明之透鏡形成方法是使用上述功能液滴吐出裝置 ，在基板上形成多數個微透鏡的透鏡形成方法，將透鏡材 料導入複數個功能液滴吐出噴頭，使功能液滴吐出噴頭對 於基板相對進行掃描，選擇性吐出透鏡材料形成多數個微 透鏡。 本發明之光阻劑形成方法是使用上述功能液滴吐出裝 置’在基板上形成任意形狀的光阻劑的光阻劑形成方法， 將抗蝕材導入複數個功能液滴吐出噴頭，使功能液滴吐出 φ 噴頭對於基板相對進行掃描，選擇性吐出抗蝕材形成光阻 劑。 本發明之光擴散體形成方法是使用上述功能液滴吐出 裝置’在基板上形成多數個光擴散體的光擴散體形成方法 ’將光擴散材料導入複數個功能液滴吐出噴頭，使功能液 滴吐出噴頭對於基板相對進行掃描，選擇性吐出光擴散材 料形成多數個光擴散體。 如上述’將上述功能液滴吐出裝置運用在彩色濾光器 的製造方法、有機EL的製造方法、間隔件形成方法、金 -21 - (16) 587023 屬配線形成方法、透鏡形成方法、光阻劑形成方法及光擴 散體形成方法，藉此可選擇適當量之各電子裝置或各光裝 置求得的過濾材或發光材料等供給適當的位置。 【實施方式】 參閱添附圖示，針對本發明的實施形態說明如下。構 成描繪裝置的功能液滴吐出裝置可以從配列在其功能液滴 φ 吐出噴頭的複數個噴嘴，高精度地吐出點狀的微小液滴， 因此功能液中使用特殊油墨或感光性•發光性的樹脂等， 期待可運用於各種零件製造區域。 本實施形態之吐出圖案資料生成裝置、噴頭動作圖案 資料生成裝置、功能液滴吐出裝置及描繪裝置，例如可運 用於液晶顯示裝置或有機EL裝置等的所謂平面顯示器的 製造裝置中，從其複數個功能液滴吐出噴頭吐出過濾材或 發光材料的功能液（噴墨式），形成液晶顯示裝置的R ( φ 紅色）、G (綠色）、B (藍色）的濾器元件，或形成有 機EL裝置之各画素的EL發光層及空穴注入層。因此本 實施形態中以組裝於液晶顯示裝置的製造裝置等的描繪裝 置爲例，針對其吐出圖案資料生成方法、噴頭動作圖案資 料生成方法等說明如下。 如第1圖及第2圖表示，構成描繪裝置1的功能液滴 吐出裝置10具有X軸台23及與此正交的Y軸台24;設 置在Y軸台24的主托架25;及，搭載於主托架25的噴 頭單元26。詳細雖然如後述，但是在噴頭單元26經副托 -22· (17) 587023 架41搭載有複數個功能液滴吐出噴頭7。又，對應該等 複數個功能液滴吐出噴頭7，在X軸台2 3的吸附台2 8上 設定基板（工件）W。 本實施形態的功能液滴吐出裝置1 0是與功能液滴吐 出噴頭7的驅動（功能液滴的選擇性吐出）同步移動基板 7的構成，功能液滴吐出噴頭7的所謂主掃描是藉著朝X 軸台23的X軸方向往返的兩動作進行。又，對應於此所 φ 謂的副掃描是藉著朝Y軸台24的功能液滴吐出噴頭7之 Y軸方向往返的兩動作進行。此外，也可僅以X軸方向的 前進（後退）動作進行上述主掃描。 噴頭單元26具備副托架4 1，及搭載於副托架4 1的 複數個（12個）功能液滴吐出噴頭7。12個功能液滴吐 出噴頭7分成左右各6個，相對於主掃描方向以預定的傾 斜角度配設。並且，本實施形態的功能液滴吐出噴頭7使 用應用壓電效果的精密噴頭，將微小液滴選擇性地吐出著 ^ 色層形成區域。 又，各6個功能液滴吐出噴頭7是相對於副掃描方向 形成互相偏位配設，1 2個功能液滴吐出噴頭7的全吐出 噴嘴3 8在副掃描方向形成連續（部分重複）。亦即，實 施形態的噴頭配列在副托架4 1上，形成2列朝著同一方 向傾斜配置的6個功能液滴吐出噴頭。如上述，以預定角 度（相對於副掃描方向的角度0 )的傾斜狀態進行主掃描 ，藉此可以使複數個噴嘴的噴嘴間間距配合基板W上的 画素間距。又，各功能液滴吐出噴頭7互相平行列設2條 -23- (18) 587023 噴嘴列37、37，各噴嘴列37以等間距並排180個（圖示 爲模式表示）吐出噴嘴38。 原來該配列圖案爲其中之一例’例如以9 0 °角度保持 各噴頭列鄰接的功能液滴吐出噴頭7、7彼此間配置（鄰 接噴頭彼此間呈「八」字型），或者以90°角度保持各噴 頭列鄰接的功能液滴吐出噴頭7配置（鄰接噴頭彼此間呈 「八」字型）。無論如何，12個功能液滴吐出噴頭7的 φ 全吐出噴嘴3 8的點在副掃描方向形成連續即可。 又，相對於各種基板W以功能液滴吐出噴頭7作爲 專用零件時，可不需傾斜設定功能液滴吐出噴頭7，只需 呈鋸齒狀或階梯狀配設即可。此外，只要構成預定長度的 噴嘴列3 7 (點列），也可以單一的功能液滴吐出噴頭7 構成或者以複數個功能液滴吐出噴頭7構成。亦即，可以 任意的功能液滴吐出噴頭7的個數或列數，或配列圖案。 以下，簡單說明描繪裝置的一連動作。首先，準備階 φ 段是將供給作業的基板W用的噴頭單元26置入功能液滴 吐出裝置1 〇內，將該等設定於主托架2 5上。噴頭單元 26 —旦設定於主托架25時，Y軸台24將噴頭單元26移 動至圖外之噴頭辨識攝影機的位置，以噴頭辨識攝影機檢 測噴頭對準標記，進行噴頭單元的位置辨識。其中，根據 此一辨識結果，進行噴頭單元2 6的0校正，且在資料上 進行噴頭單元2 6的X軸方向及γ軸方向的位置校正。位 置校正後使噴頭單元（主托架2 5 ) 2 6回到啓始位置。 另一方面，在X軸台23的吸附台28上，導入料斗 -24- (19) 587023 取出的基板（此時，個導入基板）W時，在此位置（傳遞 位置）以圖外的基板辨識攝影機檢測基板對準標記（參閱 第3 7圖），藉此可進行基板W的位置辨識。以上根據此 一辨識結果進行基板W的Θ校正，且在資料上進行基板 W的X軸方向及Y軸方向的位置校正。位置校正後使基 板（吸附台2 8 ) W回到啓始位置。 如上述完成準備時，實際的液滴吐出作業中，首先驅 φ 動X軸台23，基板W朝著主掃描方向往返移動的同時驅 動複數個功能液滴吐出噴頭7，進行對功能液滴之基板W 的選擇性吐出動作（画素E的形成）。基板W回動之後 驅動Y軸彈24，以1間距量使噴頭單元26朝著副掃描方 向移動，再次進行對基板W之主掃描方向的往返移動及 功能液滴吐出噴頭7的驅動。並且數次重複驅動時，可進 行全晶片形成區域C的描繪（塊狀噴灑；參閱第3 5圖） 〇 φ 藉上述，完成構成晶片形成區域C的R · G · B的3 色中之例如：R的描繪時，將基板W搬運至例如吐出G功 能液滴的功能液滴吐出裝置1 〇進行G的描繪。並且，最 後搬運至吐出B功能液滴的功能液滴吐出裝置1 0進行B 的描繪，分別切成彩色描繪的全晶片形成區域C，藉此獲 得1個晶片形成區域C。 另一方面，使上述動作同時進行，在液滴吐出裝置 1 〇的功能液滴吐出噴頭7上以空氣供給裝置42作爲壓力 供給源從功能液滴供給裝置43連續供給功能液，且在吸 -25- (20) 587023 附台28可藉吸附基板W的真空吸附裝置1 5進行空氣吸 附。又，液滴吐出作業瞬間前，使噴頭單元26鄰接圖外 的洗淨單元及擦拭單元，進行來自功能液滴吐出噴頭7之 全吐出噴嘴3 8的功能液吸附，及隨後之噴嘴形成面的擦 拭。並且在液滴吐出作業中，適當使噴頭單元26鄰接沖 洗單元，進行沖洗（參閱第24圖）。 此外，本實施形態中，雖是針對噴頭單元26使其吐 φ 出對象物的基板W朝主掃描方向（X軸方向）移動，但 是也可以形成使噴頭單元26朝著主掃描方向移動的構成 。又，可以固定噴頭單元26，使基板W朝著主掃描方向 及副掃描方向移動的構成。 其次，參閱第3圖，針對功能液滴吐出裝置1 0的控 制構成說明如下。功能液滴吐出裝置1 〇爲功能液滴吐出 噴頭7 (壓電元件驅動噴頭）：具有與此連接用噴頭介面 基板1 1 1的噴頭部1 1 0 ;波形•圖案記憶電路基板1 2 1 ; φ 與此連接用的介面基板1 22 ;將觸發脈衝傳送至波形•圖 案記憶電路基板1 2 1的觸發基板1 23，驅動功能液滴吐出 噴頭7的驅動部1 20 ;具有直流電源1 3 1，將電源供給波 形•圖案記憶電路基板1 2 1的電源部1 3 0 ;具有線性標度 1 4 1，檢測掃描進給的進給檢測部1 40 ;控制裝置整體的 第1 PC 1 5 1 ;及，具有主要控制功能液滴吐出噴頭7的驅 動之第2PC 152的控制部150等，所構成。 噴頭部1 1 0的功能液滴吐出噴頭7爲上述的構成，2 列使用每1噴頭爲1 80個的噴嘴列。噴頭介面基板1 1 1將 -26- (21) 587023 來自波形•圖案記憶電路基板1 2 1傳送的訊號變換爲差動 訊號，將驅動功能液滴吐出用之壓電元件的壓電元件驅動 訊號、吐出圖案資料及噴頭動作圖案資料傳送至功能液滴 吐出噴頭7。 驅動部1 20的波形•圖案記憶電路基板1 2 1接受來自 第2PC 152的壓電元件的驅動訊號生成驅動波形。並根據 來自線性標度1 4 1的訊號計測功能液滴吐出距離的觸發基 • 板1 23，作成觸發脈衝，波形•圖案記憶電路基板1 2 1接 受該觸發脈衝預先從第2PC 152傳送，依序取出儲存的吐 出圖案資料及噴頭動作圖案資料。並且波形•圖案記憶電 路基板121是預先從第2PC 152傳送，將對應儲存之波形 參數的壓電元件驅動波形與觸發脈波同步生成。又，波形 •圖案記憶電路基板1 2 1藉著電源部1 3 1的直流電流1 3 1 (作爲噴頭驅動用）供給電源。 進給檢測部1 4 0的線性標度1 4 1是以0 · 5 // m間距檢 # 測掃描的進給，將位置脈衝傳送至觸發基板1 2 3。又，控 制部150的第2PC152是藉第1PC151與RS-232C連接， 接受第1PC151的指令回送功能液滴吐出噴頭7之驅動結 果的相關資料。又，第2PC152生成吐出圖案資料，經由 介面基板1 22將轉送控制訊號傳送至波形·圖案記憶電路 基板1 2 1的同時，將觸發控制訊號及吐出控制訊號傳送至 觸發基板1 2 3。 其次，針對從功能液滴吐出噴頭7對工件選擇性吐出 功能液滴而描繪用之吐出圖案資料的生成方法及功能液滴 -27- (22) 587023 吐出噴頭7的噴頭動作圖案資料生成方法說明如下。該等 吐出圖案資料及噴頭動作圖案資料根據使用者所設定之形 成描繪對象的基板W或功能液滴吐出噴頭7等相關的種 種資訊，可根據預定的演算法總括地生成。 如第4圖表示，使用者根據基板W的相關資訊（画 素資訊、晶片資訊：基板資料）、功能液滴吐出噴頭7的 相關資訊（噴嘴資訊、噴頭移動資訊：噴頭資料）及其他 φ 資訊（編譯選擇），可配合不同裝置（R · G · B )的資訊 (裝置資料）編譯，藉此可生成各裝置（各色）的吐出圖 案資料（描繪資料）及噴頭動作圖案資料（位置資料）。 如上述，由於在不同裝置（色別）生成吐出圖案資料及噴 頭動作圖案資料，因此可容易進行描繪處理。又，一次設 定基板W的相關資訊或功能液滴吐出噴頭7的相關資訊 ，可總括生成各裝置的吐出圖案資料及噴頭動作圖案資料 ，因此可容易且迅速生成該等資料。 φ 參閱表示儲存吐出圖案資料及噴頭動作圖案資料之程 式的第2PC152的顯示畫面的圖面（第5圖至第30圖） ，根據操作程序說明如下。此外，此一操作不一定非利用 第2PC 152進行，也可以其他PC進行主操作，將生成的 吐出圖案資料及噴頭動作圖案資料紀錄在紀錄媒體（CD-ROM等）內，讀入第2PC152內。 如第5圖表示，首先選擇使用之描繪裝置1的機種。 另外選擇其機種之各描繪色的裝置及使用的功能液滴吐出 噴頭7。其中，由於使用的噴頭全部相同（「Headl」） -28- (23) 587023 ，因此以後設定的噴頭資料（參閱第1 8圖至第23圖）只 需輸入該「Headl」的相關資訊即可。如果其中使用的功 能液滴吐出噴頭7全然不同時，必須分別輸入3個噴頭資 料。 其次，如第6圖表示，選擇描繪裝置1(機種名「 646aU — 4d-200」）使用的機種檔案。以下，第7圖至第 17圖是表示在此選擇之基種檔案（機種名「 φ 646aU —4d — 200」）的編輯畫面。 第7圖至第10圖爲選擇單元模式（画素E的配列） 的畫面，第7圖爲鑲嵌配列，第8圖及第9圖爲三角形配 列’第1 〇圖是表示選擇直線形配列之例。其中，除了選 擇單元模式之外，也可以選擇單元（画素E )的配色，設 定可針對哪一單元E吐出哪一顏色的功能液滴。 此外，「單元配色」表示的英文字母「A」室表示晶 片形成區域C的基準位置。又，三角形配列的「A型」及 # 「B型」是選擇最接近基準位置「A」的画素E爲全画素 或（第8圖）半画素的不同。 又，分別配列的一例是如第3 1 A圖至第3 1 C圖表示 ，第3 1A圖爲鑲嵌配列，第3 1B圖爲三角形配列，第 3 1 C圖爲直線形配列的一例。如以上表示，直線形配列是 矩陣的縱或橫列形成完全同色的配列，鑲嵌配列爲縱•橫 並排的任意3個画素是形成R · G · B的3色配列。又’ 三角形配列形成画素配列的段差，任意鄰接的3個画素是 形成R · G · B的3色配列。因此，各個配色的選擇例如 -29- (24) 587023 爲第7圖之鑲嵌配列的場合，一旦將右上的画素設定 R」時，同圖表示的其他2個画素也設定爲「R」。 ’其次將任意的場所設定爲「G」或「B」時，必然 決定在此顯示所有画素的配色。 第1 1圖是設定彩色濾光器（CF :晶片形成區域 之設定値1的畫面，形成可設定（選擇）相對於画素 画素尺寸、画素間距及工件之C F (晶片形成區域C • 設定方向。相對於工件之CF的設置方向形成工件基 參閱第3 3圖）在右上時的設置方向。因此，以此設 設置方向描繪的CF是形成第33圖表示的方向。 第12圖爲設定工件（基板）W的設定値1的畫 形成可設定（選擇）CF數、CF尺寸、CF間距、CF 央間距（圖示a )、工件（WF )尺寸及料斗間距。並 其中「橫向」是指工件W的長度方向。又，圖示的 ，CF的中央間距設定爲「無」（不檢查「有中央間 φ )。此係表示所有的CF在橫向以等間距配列（參閱: 圖）。又，工件尺寸形成可以從2種類之中選擇其中 ，當然也可以數値輸入，設定構成任意的尺寸。另外 斗間距是指載置放置工件W之供料架的間隔，根據 W (玻璃製）的厚度，由於其撓曲量不同而可選擇2 的間距。 第1 3圖是設定工件（基板）w的設計値2的畫 可設定從主基板對準標記至前頭單元間的距離及從主 對準標記至附屬基板對準標記間的距離。附屬基板對 爲「 並且 地可 C ) 數、 )的 準（ 定的 面， 的中 且， 場合 距」 % 33 之一 ，料 工件 種類 面， 機板 準標 -30- (25) 587023 記也可以設置複數個，但是，在此是表示1個附屬基板對 準標記的場合。此外在此表示的「掃描方向」是指上述的 「主掃描方向（X方向）」，「改行方向」則是指上述的 「副掃描方向（Y方向）」。又，辨識該等標記用的基板 辨識攝影機爲工件縱向放置的場合與橫向放置的場合’各 別的場合配設總計4個檢測用的主基板對準標記及附屬基 板對準標記。 φ 第14圖是進行（關於工件W的對準）影像設定的畫 面，形成可設定WF (工件W )對準用影像處理裝置的設 定値。此係因工件W形成不同的標記形狀（圖案）。如 上述，對準用的標記有2種類，但是必須分別設定圖案名 稱、精度、複雜度、中途下限値及最終下限値。本實施形 態如第3 7圖表示，主基板對準標記與附屬基板對準標記 是形成同一形狀。其中，圖案名稱爲預定設定的圖案名稱 。因此，必須要預先進行複數個圖案的登錄。並且，精度 • 是選擇圖案具有哪一程度的精度，複雜度是將標記形狀的 複雜度予以數値化，從1至1 0中選擇（第3 7圖表示的對 準標記複雜度爲「5」，因此較此複雜形狀的場合，複雜 度形成6至1 0 )。 又’中途下限値在以基板辨識攝影機辨識時，具有哪 一程度的匹配性時，可判斷辨識其標記時的基準値，「中 途下限値65 00」是在65 %以上匹配性時可辨識的標記。 又，設定中途下限値與最終下限値是由於高速處理化將處 理分爲2階段進行標記的辨識（圖案匹配）。亦即，第1 -31 - (26) 587023 階段是將認爲近似的圖案（尋找候補點），第2階段是評 估候補點是否爲真正搜尋的圖案。因此，第1階段中顯示 「中途下限値」以上相關値時判斷爲「可認爲在此附近存 有圖案」，將處理傳至第2階段，在第2階段顯示「最終 下限値」以上相關値時，判斷其候補點爲真正搜尋的圖案 。因此，「中途下限値」低的場合會出現多數個候補點， 因此會增加第2階段的處理。相反地「中途下限値」高時 φ 形成高速的處理速度，但是過高時會導致失去原來搜尋的 圖案，因此設定値在60 00〜7 000左右爲佳。另外，「最終 下限値」爲最終判斷爲「發現」的臨界値，因此低於「中 途下限値」的値時毫無意義，因此一般是假設設定搜尋的 影像爲最差的狀態。並且，設定過低的値時，會導致不能 期待的圖案，因此已設定在8000以上爲佳。 第1 5圖爲設定描繪資訊的畫面，以吐出解像能力及 X軸描繪速度作爲各個描繪色（R · 〇 · B )的描繪資訊’ φ 並設定沖洗次數作爲描繪色共同的描繪資訊。吐出解析能 力與X軸描繪速度可對應功能液的種類，或選擇的功能 液滴吐出噴頭7的特性變更’本實施形態的場合是使用同 一種類的功能液滴及功能液滴吐出噴頭7 ’因此皆形成同 一條件。又，沖洗次數在配設於描繪方向前後的沖洗區域 (參閱第2圖）中，每1噴嘴設定前後分別各吐出幾次功 能液滴（是否沖洗）。 第1 6圖爲設定画素內描繪設計的畫面，形成可設定 每階段画素內油墨滴著位開始位置及油墨滴（功能液滴） -32- (27) 587023 數。此時’第1 · 2階段是從著位位置（吐出位置 (描繪方向的）正方向吐出油墨，第3 · 4階段是 方向吐出油墨。此係吐出方法爲所謂的「塊狀噴灑 閱第3 5圖），噴頭相對於工件w朝著正方向相對 (即’工件W朝著負方向移動時），吐出第1 · 2 功能液滴’噴頭朝著負方向相對移動時（即，工件 著正方向移動時），吐出第3 · 4階段的功能液滴 # 述’在1画素內分割複數次吐出功能液滴的場合， 於各個不同的吐出位置吐出功能液滴，因此可均勻 1個画素。 第1 7圖是進行選擇設定的畫面，可設定溫度 的溫度尤其是指工件W的周邊溫度，預先將修正 使工件W伸縮用的校正値作爲表列記憶，根據所 溫度適當地校正X軸台23及/或Y軸台24 (功能 出噴頭7)的送出量。如上述，考慮因溫度造成的 # 縮，可以使功能液滴著位於工件W上的預定正確位 再者，工件W工給的吸附台2 8附近具備溫度 此可根據每一預定時間，或者計測工件W工給時 ，校正噴頭動作圖案資料。根據此一構成，可節省 設定的時間，同時可進行正確的溫度校正。又，此 先載置工件W的料斗周邊溫度，及吸附台28供給 邊溫度預先設定同一溫度爲佳。根據此一構成可進 確的溫度校正。 第1 8圖是選擇噴頭檔案的畫面，選擇對應第 )朝著 朝著負 」（參 移動時 階段的 W朝 。如上 可設定 地描繪 。此時 因溫度 設定的 液滴吐 基板伸 置。 計，藉 的溫度 使用者 時以預 時的周 行更正 5圖選 -33- (28) 587023 擇使用的噴頭（「Headl」）的檔案。以下，第19圖至第 23圖是表示在此選擇之噴頭（噴頭檔名「Headl」）的編 輯畫面。並且，未預先保存噴頭檔案的場合，在此必須進 行噴頭檔案的相關資料輸入。 第1 9圖爲輸入噴頭設計値的畫面，可設定每1噴頭 的噴嘴數、對於噴頭托架的噴頭安裝角度及噴頭托架安裝 時的噴嘴間距。每1噴頭的噴嘴數中，形成可選擇從前頭 # 不使用噴嘴數及最後端噴嘴不使用噴嘴數，但是如第3 6 圖表示此係壓電方式的功能液滴吐出噴頭7的特性，尤其 會在噴嘴列3 7兩端側有油墨吐出量多的傾向，因此不使 用該等兩端附近的噴嘴可獲得吐出量的均勻化。 又，其中所謂「噴頭托架」是指副托架4 1，但是也 可以設定對此副托架4 1的噴頭安裝角度及托架安裝時的 噴嘴間距的其中任一方。並且，在此設定的噴頭間距以予 画素間距不同時爲佳。本實施形態的場合，使用對應R · φ G · B的描繪色的3個裝置（同一設計、同一噴嘴配列） ，雖然各個裝置吐出油墨的位置不同，但是根據此一構成 ，可進可能地使用多數的噴嘴進行該等3個著色圖案的著 色。亦即可竭力消除吐出不勻稱（描繪不勻稱）（如以直 線形配列配合間距的場合，各色僅能使用1 /3的噴嘴）° 第2 0圖是輸入噴頭托架設計値1的畫面，可設定以 噴頭1 A列爲基準時的個噴嘴列3 7的間隔（各噴嘴列3 7 爲止的距離）。並且，噴頭安裝的「通常」、「反轉」是 表示從噴頭7至噴頭1 2爲止，以1 8 0 °轉動安裝噴頭1至 -34- (29) 587023 噴頭6的功能液滴吐出噴頭7。 第2 1圖爲輸入噴頭托架設計値2的畫面，可設$ ^ 頭對準標記間距離及從各標記的主噴嘴間的距離。噴頭對 準標記是利用雷射蝕刻等形成於副托架4 1上，分別於丨 處形成主噴頭對準標記及附屬噴頭對準標記。又，主_ _ 是指噴頭1 A列的前端噴嘴（以黑原點圖示）。 第22圖爲進行噴頭對準用的畫像設定畫面，可設@ φ 噴頭對準用畫像處理裝置的設定値。此係因托架形成不同 的標記形狀。如上述，對準用的標記有2種類，必須分別 設定圖案名稱、精度、複雜度、中途下限値、最終下限値 、二進位化位準、面積下限値及面積上限値。其中，圖案 名稱、精度、複雜度、中途下限値、最終下限値與第i 4 圖的「WF對準用畫像處理裝置的設定」相同，因此省略 說明。 二進位化位準、面積下限値及面積上限値是藉著圖案 φ 比對是在對準標記檢測之後’算出標記的重心時使用，二 進位化位準是設定將對準標記的輝度分解成25 6色調時的 二進位化的基準點。即將此設定的設定値以下輝度的位置 轉換成『黑』。又，面積下限値及面積上限値是藉著二進 位化位準，分爲『白』與『黑』區域的對準標記的『黑區 域的面積』在下限以上、上限以下時，算出『黑區域』重 心之用。因此，此時『黑區域的面積』在10°/。以上3 5%以 下時，可算出對準標記的重心。 第23圖是進行選擇設定的畫面，可設定噴頭驅動頻 -35- (30) 587023 率。可根據此一噴頭驅動頻率及描繪方向的移動速度，決 疋1個噴嘴的可吐出間距’但是不一定進行輸入（輸入並 非必要是項）。 其次，使用的功能液滴吐出裝置1 0的裝置1至3中 ，舉裝置1爲例’以下第24圖至第27圖中，顯示裝置1 之資料檔的編輯操作的第24圖是進行機械設計値1的輸 入畫面，形成可設定裝置的尺寸。如上述，基板辨識攝影 φ 機有縱向放置與橫向放置的場合，各個場合總共配設有4 個爲檢測主基板對準標記及附屬基板對準標記之用。以該 等4個攝影機中的攝影機1 (以粗體字+圖示）爲基準， 設定從前後沖洗區域的區域。並且，此表示的圖是從上側 顯示工件時的平面圖，顯示與攝影機1之掃描方向的相對 位置。 第2 5圖是進行機械設計値2的輸入畫面，可設定形 成基準之攝影機1與各攝影機間的掃描方向的距離。此外 φ ，以攝影機1、3辨識工件W縱向放置時的標記，以攝影 機2、4辨識工件W橫向放置時的標記。 第26圖是進行軸參數的輸入畫面，可設定描繪軸（ X軸）的參數及改行軸（Y軸）的參數。描繪軸（X軸） 的參數有輸入解像能力、啓動頻率、最高速度穩定待機時 間，其中解像能力等於線性標度的解析能力。又，最高速 度穩定待機時間是指噴頭掃描描繪方向時至最高速度爲止 (可穩定掃描爲止）的待機時間。又，啓動頻率是作爲生 成X · Y兩軸的噴頭動作圖案資料時，算出驅動時加速區 -36- (31) 587023 域（速度未穩定的區域）時使用。另一方面，改行軸（Y 軸）之參數的最高頻率是使用於以下說明的點脫落檢查。 點脫落檢查是一邊移動功能液滴吐出噴頭7，吐出功能液 滴進行檢查之用。但是在此所設定的最高頻率式設定該時 之功能液滴吐出噴頭7的移動速度，算出哪一位置從哪一 噴嘴3 8吐出功能液滴時使用。 第2 7圖是進行點檢查參數的輸入畫面，可設定點檢 φ 查時的描繪區域、點感測器1與感測器2間的距離、點檢 查開始時的前頭噴嘴與感測器間的距離、點檢測感測檢測 寬度及點檢查吐出時的吐出解析能力。該「點檢查參數」 是使用於檢查噴嘴阻塞之用，圖示之雙重長方形是表示功 能液滴的承盤。又，使用感測器1與感測器2的2個感測 器是由於副托架4 1上的噴頭列3 7形成2列，作爲該等各 列檢查之用。 其次，針對點選主畫面的「編譯選擇」圖像可設定之 # 編譯選擇的設定操作，參閱第2 8圖至第3 0圖說明如下。 第2 8圖是進行偏位噴灑的設定畫面’以複數色（彩色） 進行晶片形成區域C的描繪，從一側端賦予裝置1至3之 功能液滴吐出噴頭7的各個噴嘴列3 7相同的噴嘴號碼時 (噴嘴數爲1 8 0，因此賦予1至1 8 0的號碼）’對於相鄰 的画素（第32圖中，R1與G1、G1與Β1等），設定相 同號碼的噴嘴3 8不吐出功能液滴。其中’偏位噴嘴數爲 「1〇」，因此以裝置1的噴嘴號碼20吐出Ri的闽素時， 形成以裝置2的噴嘴號碼1〇或30吐出G1的画素。又’ -37- (32) 587023 以裝置1的噴嘴號碼1吐出R1的画素時，形成以裝置2 的噴嘴號碼1 1或或相鄰噴嘴列3 7或功能液滴吐出噴頭7 的噴嘴號碼1 71吐出G1的画素。因此，即使因噴嘴3 8 的位置導致吐出量不勻稱（參閱第3 6圖）時，仍可獲得 各1画素之功能液滴吐出量的均勻化，因此可以使吐出不 勻稱辨識困難。 再者，各配列（鑲嵌配列、三角形配列、直線形配列 φ )的相鄰画素是指如第34A圖至第34C圖表示之相對於 画素α的画素3。但是第3 4圖的直線形配列也可以除了 画素/5以外並包含画素7之画素α的相鄰画素，設定同一 號碼的噴嘴3 8不吐出功能液滴。 另一方面，掃描偏位是指1画素藉著複數次的功能液 滴的吐出描繪時（本實施形態的場合，分爲4次描繪：參 閱第1 6圖），分別從不同的噴嘴吐出功能液滴。其中， 偏位噴嘴數爲「80」，在對於某一画素以噴嘴號碼1 〇吐 φ 出第1階段時，第2階段爲噴嘴號碼90，第3階段爲噴 嘴號碼1 70，第4階段爲噴嘴號碼3 7或形成以功能液滴 吐出噴頭7的噴嘴號碼70吐出。因此，即使因噴嘴3 8位 置造成功能液滴的吐出量不均勻時（參閱第3 6圖），仍 可以獲得相對於1画素之功能液滴吐出量平均化。 第2 9圖是進行對於工件W ( X台2 3 )之功能液滴吐 出噴頭7的驅動方式的一種「不規則噴灑」等的設定畫面 ，可設定「不規則噴灑」或「順向噴灑」。並且，其中尤 其未指定的場合（本實施形態的場合），則爲「塊狀噴灑 -38- (33) 587023 」。各驅動方式係如第3 5圖所示。 第3 0圖是進行位元映射檔案形式（保存形式）的設 定畫面，可設定「通常（BIN檔案）」或者「調試（TXT 檔案）」的其中之一。其中，「通常（BIN檔案）」是 形成功能液滴吐出噴頭7的驅動資料的二進位資料，「調 試（TXT檔案）」爲可以測試編輯器顯示的測試資料。 如上述，進行第7圖至第11圖表示的機種檔案（基 φ 板資料），第1 9圖至第23圖表示的噴頭檔案（噴頭資料 )，第24圖至第27圖表示的裝置檔案（裝置資料）的編 輯，並根據需要進行第28圖至第30圖表示之編譯選擇的 設定之後，點選第5圖表示之主畫面的編譯圖像時，可進 行編譯並進行各描繪色（各裝置）的描繪資料（吐出圖案 資料）及位置資料（噴頭動作圖案資料）的生成（參閱第 4圖）。如上述，由於可根據任意設定的画素資訊與晶片 資訊（基板資料）與噴嘴資訊及噴頭移動資訊（噴頭資料 φ )，藉預定演算生成吐出圖案資料及噴頭動作圖案資料， 因此可總括容易且迅速地生成所有噴嘴3 8的吐出圖案資 或所有裝置（功能液滴吐出噴頭7 )的噴頭動作圖案資料 〇 其中，本發明之描繪裝置1及功能液滴吐出裝置1 〇 是如前述，同時可運用於各種平面顯示器的製造方法，獲 各種電子設備及光設備的製造方法等。其中，以液晶顯示 裝置的製造方法及有機EL裝置的製造方法爲例說明使用 該描繪裝置1及功能液滴吐出裝置1 0的製造方法如下。 -39- (34) 587023 第38A-B圖爲液晶顯示裝置之彩色濾光器的部分擴 大圖。第38A圖爲平面圖，第38B圖爲第38A圖的B-B， 線剖面圖。剖面圖各部的陰影爲部分省略。 如第38A圖表示，彩色濾光器400具備呈矩陣狀排 列的画素（濾器元件）4 1 2，画素與画素的邊界以間隔件 412區隔。各個画素412內導入紅（R)、綠（G)、藍（ B )得任一種油墨（過濾材）。本例中以紅、綠、藍的配 # 置即所謂的三角形配置，但是也可以直線形配列、鑲嵌配 列等的其他配列。 如第3 8圖表示，彩色濾光器400具備透光性基板 4 1 1，及透光性的間隔件4 1 3。未形成（除去）間隔件4 1 3 的部分構成上述画素412。導入該画素412內各色的油墨 構成著色層421。間隔件413及著色層421的上面形成罩 光塗層422及電極層423。 第3 9圖是說明本發明實施形態的彩色濾光器之製造 ^ 方法的製造步驟剖面圖。剖面圖各部的陰影爲部分省略。 以熱濃硫酸添加1重量％之過氧化氫水的洗淨液淸洗 膜厚0.7mm、縱向38cm、橫向30cm的無鹼玻璃之透明基 板4 1 1的表面，以純水沖洗後，進行空氣乾燥獲得潔淨表 面。在此表面上以濺射法形成平均0.2 // m膜厚的鉻膜， 獲得金屬層414’（第39圖：S1)。 將此基板在熱板上，以8 0 °乾燥5分鐘之後，在金屬 層4 1 4 ’表面上藉旋轉塗膠形成感光性樹脂層（未圖式） 。該基板表面密接描繪預定之矩陣圖案形狀的遮罩膜，進 -40- (35) 587023 行紫外線的曝光。其次，將此浸漬在含有氫氧化鉀8重量 %之比例的鹼性顯像液中，除去未曝光部分的感光性樹脂 ’濺射光阻劑。其次以鹽酸爲主成份的蝕刻液蝕刻除去外 露的金屬層。如此可獲得具有預定矩陣圖案的遮光層（黑 矩陣）414(第39圖：S2)。遮光層414的膜厚大約爲 0.2//m。並且，遮光層414的寬度大約是22//m。 該基板上仍然以旋轉塗膠法塗敷膠捲型透明丙烯酸類 φ 的感光性樹脂組成物4 1 5 ’（第3 9圖：S 3 )。將此以1 0 0 °C預烘20分鐘之後，使用描繪預定的矩陣圖案形狀的遮 罩膜進行紫外線曝光。未曝光部分的樹脂仍以鹼性顯像液 顯像，以純水沖洗後旋轉乾燥。以200 °C進行30分鐘作 爲最後乾燥的後烘，使樹脂層充分硬化後，形成群集層 4 1 5，形成遮光層4 1 4及群集層4 1 5所構成的間隔件4 i 3 (第39圖：S4)。該群集層415的膜厚平均爲2.7/zm。 並且，群集層415的寬度大約爲14//m。 φ 爲了改善遮光層414及群集層415所區隔的著色層形 成區域（尤其是玻璃基板4 1 1的露出面）的油墨濡濕性， 進行乾蝕刻，即電漿處理。具體而言，氨氣內添加氧20% 的混合氣體中外加高壓電，在電漿外圍形成蝕刻點，將基 板通過該蝕刻點進行蝕刻。 其次，在間隔件4 1 3區隔所形成的画素4 1 2內，以噴 墨方式導入上述R、G、B的各油墨（第39圖：S5)。功 能液滴吐出噴頭7 (噴墨噴頭）使用應用壓電效果的精密 噴頭，可將微小的墨滴選擇性地噴射1 〇滴至各著色層形 -41 · (36)587023

成區域。驅動頻率爲14.4kHz，即各墨滴的吐技 爲6 9.5 //秒。噴頭與目標的距離設定爲0.3mm。 從噴頭至目標的著色層形成區域的稱爲飛行速度 度、衛星之分裂散射滴的發生，油墨的物性是D 的壓電元件的波形（含電壓）爲重。因此，將S 定後的波形予以程式化，同時塗敷紅、綠、藍3 將油墨塗敷在預定的配射圖案上。 油墨（過濾材）是例如使用將無機顏料分徵 酯樹脂之後，添加滴沸點溶劑的環己酮及醋酸7 高沸點溶劑的二甘醇一丁醚乙酸，並添加非離子 化劑0.0 1重量％作爲分散劑，使用黏度爲6〜8厘 其次，使塗敷的油墨乾燥。首先，放置在自 境3小時進行油墨層4 1 6的設定後，在8 0 °C白< 熱40分鐘，最後在烘爐中以200 °C加熱30分鐘 層416的硬化處理，獲得著色層421 (第39圖： 上述基板旋轉塗敷透明丙烯酸樹脂塗料形员 面的罩光塗層 422。並在上面以預定圖案形 Indium Tin Oxide)所構成的電極層 423，形域 器400(第39圖：S7)。並且，以功能液滴吐 噴射噴頭）的噴墨方式形成該罩光塗層422。 第40圖爲本發明製造方法所製造的電光 面顯示器）之一例的彩色液晶顯示裝置的剖面 各部的陰影爲部分省略。 該彩色液晶顯示裝置45 0是組合彩色濾光 間隔設定 爲了防止 、飛行曲 驅動噴頭 先條件設 色的墨滴 於低聚氨 酯，添加 系表面活 泊。 然周圍環 熱板上加 進行油墨 S6 ) 〇 具有平滑 成 ITO ( 彩色濾光 :!噴投7 ( 裝置（平 I。剖面圖 :4 0 0與對 -42- (37) 587023 置基板4 6 6，在兩者尖封入液晶組成物4 6 5所製造。液晶 顯示裝置4 5 0 —側的基板4 6 6的內側面矩陣式形成T F T ( 薄膜電晶體）元件（未圖示）與画素電極463。又，另一 側的基板，在画素電極463相對的位置上設置配列有紅、 綠、藍之著色層421的彩色濾光器400。 基板466與彩色濾光器400相對的各個面上形成有定 向模461、464。該等定向膜461、464施以硏磨處理，可 φ 以使液晶分子配列於一定方向。並在基板4 6 6與彩色濾光 器400的外側面上分別黏貼偏光板462、467。又，一般 使用螢光燈（未圖示）與散射板的組合作爲背光，藉著使 液晶組成物作爲變化背光之穿透率的光調節功能進行顯示 〇 此外，電光學裝置本發明中不僅限於上述的彩色液晶 顯示裝置，也可以使用例如薄形的真空管，或者使用液晶 調節板等小型電視、EL顯示裝置、電漿顯示器、CRT顯 • 示器、FED ( Field Emission Display )面板等種種電光學 手段。 其次，參閱第41圖至第53圖，說明有機EL裝置（ 有機EL顯示裝置）與其製造方法如下。 第41圖至第53圖爲含有機EL元件的有機EL裝置 的製造過程的同時，並顯示其構造。該製造過程是具備群 集部形成步驟；電漿處理步驟；空穴注入/輸送層形成步 驟及發光層形成步驟所構成的發光元件形成步驟；對置電 極形成步驟；及封閉步驟所構成。 -43- (38) 587023 群集部形成步驟中，預先形成於基板5 0 1之電路元件 部501上及電極511 (同時稱画素電極）上的預定位置上 ，層積無機物群集層512a與有機物群集層512b，形成具 有開口部5 1 2g的群集部5 1 2。如上述，群集部形成步驟 在電極5 1 1的一部份包含形成無機物群集層5 1 2a的步驟 ’及無機物群集層上形成有機物群集層512b的步驟。 首先，形成無機物群集層5 1 2a的步驟中，無機物群 # 集層512a係如第41圖所示，電路元件部5 02的第2層間 絕緣膜544b及画素電極511上形成無機物群集層512a。 例如藉著CVD法、塗敷法、濺射法、蒸鍍法等在第2層 間絕緣層544b及画素電極51 1的全面形成Si02、Ti02等 的無機物膜。 其次利用飩刻等濺射該無機物膜，設置對應電極5 1 1 之電極面511a的形成位置的下部開口部512c。此時，必 須將無機物群集層5 1 2a預先形成與電極5 1 1的周圍緣部 # 重疊。如此形成無機物群集層512a使電極511的周圍緣 部（一部份）與無機物群集層5 1 2 a重疊，可藉以控制發 光層510b的發光區域。 其次形成有機物群集層512b的步驟中，如第42圖所 示在無機物群集層512a上形成有機物群集層512b。藉著 光刻技術等蝕刻有機物群集層5 1 2b，形成有機物群集層 512b之上部開口部512d。上部開口部51 2d是設置在對應 電極面511a及下部開口部512c的位置上。 上部開口部512d是如第42圖表示，以較下部開口部 -44- (39) 587023 5 1 2 c寬，較電極面5 1 1 a狹窄爲佳。藉此使包圍無機物群 集層512a之下部開口部512c的第1層積部512e形成較 有機物群集層5 1 2 b更朝著電極5 1 1的中央側延伸而出的 形狀。如上述，連通上部開口部5 1 2 d、下部開口部5 1 2 c ’形成可貫穿無機物群集層512a及有機物群集層512b的 開口部5 1 2 g。 其次，電漿處理步驟是在群集部512的表面與画素電 # 極的表面5 1 1 a上，形成顯示親油墨性區域，及顯示油墨 撥離性的區域。該電漿處理步驟大致區分爲預備加工步驟 ;加工使群集部512上面（512f)與開口部512g的壁面 及画素電極5 1 1的電極面5 1 1 a具有親油墨性的親油墨化 步驟；加工使有機物群集層5 1 2b的上面5 1 2f及上部開口 部5 1 2d的壁面具有油墨撥離性的油墨撥離化步驟；及， 冷卻步驟。 首先，預備加熱步驟是將包含群集部5 1 2的基板5 0 1 • 加熱至預定的溫度爲止。加熱是例如於載置基板5 0 1的台 上安裝加熱器，藉此一加熱器進行各該等台之基板501的 加熱。具體而言，基板501的預備加熱溫度例如以7〇〜80 t的範圍爲佳。 其次，親油墨化步驟是在大氣環境中以氧氣作爲處理 氣體的電漿處理（〇2電漿處理）。藉此一 〇2電漿處理’ 如第43圖表示對画素電極511的電極面511a、無機物群 集層512a的第1層積部512e及有機物群集層512b的上 部開口部5 1 2 d的壁面及上面5 1 2 f施以親油墨處理。藉此 -45- (40) 〜親油墨處理，將氫氧基導入該等各面賦予親油墨性。第 4 3圖是以一點虛線表示親油墨處理的部分。 其次’油墨撥離化步驟是在大氣周圍環境中進行以4 氟代甲烷爲處理氣體的電漿處理（CF4電漿處理）。藉 CF4電漿處理如第4圖表示，進行上部開口部512d壁面 及有機物群集層的上面512f的油墨撥離處理。藉此一油 墨撥離處理將氟基導入該等各面內賦予油墨撥離性。第 # 44圖是以兩點虛線表示油墨撥離性的區域。 其次’冷卻步驟是將電漿處理用而加熱的基板5 0 1冷 卻至室溫’或者噴射步驟（功能液滴吐出步驟）的管理溫 度。將電漿處理後的基板5 0 1冷卻至室溫，或者預定的溫 度（例如進行噴射步驟的管理溫度），可以一定的溫度進 行隨後之空穴注入/輸送層形成步驟。 其次’發光元件形成步驟是在画素電極511上藉著形 成空穴注入/輸送層及發光層以形成發光元件。發光元件 # 形成步驟中包含4個步驟。即，包含：將形成空穴注入/ 輸送層用的第1組成物吐出至各画素電極上的第1功能液 滴吐出步驟；乾燥吐出後的第1組成物在画素電極上形成 空穴注入/輸送層的空穴注入/輸送層形成步驟；將形成 發光層用的第2組成物吐出於空穴注入/輸送層上第2功 能液滴吐出步驟；的空穴注入/輸送層形成步驟；及，乾 燥吐出後的第2組成物在空穴注入/輸送層上形成發光層 的發光層形成步驟。 首先’第1功能液滴吐出步驟是利用噴墨法（功能液 -46 - (41) 587023 滴吐出法），將含有空穴注入/輸送層形成材料的第 成物吐出電極面5 1 1 a上。並且該第丨功能液滴吐出 以後以無氫、氧氣的氮氣周圍環境，氬氣周圍環境等 性氣體周圍環境下進行爲佳。（此外，僅画素電極上 空穴注入/輸送層的場合，不形成鄰接有機物群集層 成的空穴注入/輸送層）。 如第4 5圖表示，噴射噴頭（功能液滴吐出噴頭 • 內塡充含空穴注入/輸送層形成材料的第1組成物， 射噴頭Η的吐出噴嘴與位在下部開口部5 1 2c內的電 5 1 1 a相對，使噴射噴頭Η與基板5 0 1 —邊相對移動 吐出噴嘴控制每1滴液量的第1組成物滴5 1 0c吐出 極面5 1 1 a上。 以上使用的第1組成物，例如可使用將聚乙烯二 吩（PEDOT )等的聚噻吩介質與聚乙烯磺酸（PSS ) 混合物溶解於極性溶媒的組成物。極性溶媒可舉例如 % 醇（IPA)、正丁醛、r-丁內酯、N-甲基吡咯烷酮（ )、1,3-二甲基-2-咪唑酮 （DMI)及其介質、二甘！ 醚乙酸酯、二甘醇-丁醚乙酸酯等的乙二醇醚類等。 如第45圖表示，吐出的第1組成物滴510c在親 處理後的電極面5 1 1 a及第1層積部5 1 2c上擴開，充 部、上部開口部5 1 2c、5 1 2d內。吐出電極面5 1 1 a上 1組成物量是以下部、上部開口部5 1 2c、5 1 2d的大 形成時的空穴注入/輸送層的厚度、第1組成物中的 注入/輸送層形成的濃度等來決定。又，第1組成 1組 步驟 的惰 形成 所形 7 ) Η 使噴 極面 ，將 於電 氧噻 等的 異丙 ΝΜΡ 淳·乙 油墨 滿下 的第 小、 空穴 物滴 47- (42) 587023 5 1 0 c不僅限於1次，也可以分成數次吐出於同一電極面 5 1 1 a 上。 其次的空穴注入/輸送層形成步驟是如第46圖表示 ’進行吐出後第1組成物的乾燥處理及熱處理使第1組成 物內含的極性溶媒蒸發，藉以在電極面5 1 1 a上形成空穴 注入/輸送層。進行乾燥處理時，含於第1組成物滴 5 1 0 c的極性溶媒的蒸發主要是在接近無機物群集層5 1 2 a φ 及有機物群集層5 1 2b的附近發生，配合極性溶媒的蒸發 使空穴注入/輸送層形成材料濃縮析出。 藉此如第46圖表示，利用乾燥處理即使在電極面 5 1 1 a上仍可產生極性溶媒的蒸發，藉此在電極面5 1 1 a上 形成空穴注入/輸送層形成材料所成的平坦部5 1 0 a。電 極面5 1 1 a上由於極性溶媒形成大致均一的蒸發速度，因 此空穴注入/輸送層的形成材料在電極面5 1 1 a均勻地濃 縮，可藉此形成均勻厚度的平坦部510a。 # 其次，第2功能液滴吐出步驟是利用噴墨法（功能液 滴吐出法），將含有發光層形成材料的第2組成物吐出至 空穴注入/輸送層5 1 0a上。該第2功能液滴吐出步驟爲 了防止空穴注入/輸送層5 1 0 a的在溶解，發光層形成時 使用的第2組成物的溶媒，是使用對於空穴注入/輸送層 5 0 1 a不溶解的非極性溶媒。 但是其一方空穴注入/輸送層5 1 0a由於相對於非極 性溶媒的親合性低，因此即使將含有非極性溶媒的第2組 成物吐出至空穴注入/輸送層510a上，仍有不能使空穴 -48- (43) 587023 注入/輸送層510a與發光層密接，或者不能均勻塗敷發 光層5 1 0 b之虞。因此，爲了提高對於非極性溶媒及發光 層形成材料之空穴注入/輸送層5 1 0 a表面的親合性，在 形成發光前之前以進行表面改性步驟爲佳。 因此首先針對表面改性步驟說明如下。表面改性步驟 是以噴墨法（功能液滴吐出法）、旋轉塗膠法或深塗法將 與發光層形成時使用的第1組成物的非極性溶媒相同的溶 # 媒或者類似之溶媒的表面改性用溶媒塗敷在空穴注入/輸 送層5 1 0a之後進行乾燥所得。 例如，利用噴墨法的塗敷是如第4 7圖表示，在噴射 噴頭Η內塡充表面改性用溶媒，將噴射噴頭η的吐出噴 嘴與基板（即，形成空穴注入/輸送層5 1 0a的基板）相 對，一邊使噴射噴頭Η與基板5 0 1相對移動，從吐出噴 嘴Η將表面改性用溶媒5 1 0 d吐出至空穴注入/輸送層 5 1 0 a上進行。並且如第4 8圖表示，乾燥表面改性用溶媒 φ 5 1 0d。 隨之第2功能液滴吐出步驟是利用噴墨法（功能液滴 吐出法），將含有發光層形成材料的第2組成物吐出至空 穴注入/輸送層510a上。如第49圖表示，在噴射噴頭η 內塡充含藍色（Β )發光層形成材料的第2組成物，將噴 射噴頭Η的吐出噴嘴與位在下部、上部開口部5丨2c、 512d內的空穴注入/輸送層510a相對，一邊使噴射噴頭 Η與基板5 0 1相對移動，從吐出噴嘴吐出控制每1滴液量 的第2組成物滴5 1 0 e，將此第2組成物滴5 1 0 e吐出至空 -49- (44) 587023 穴注入/輸送層5l〇a上。 發光層形成材料可以使用聚芴系高分子介質，或者（ 聚）對苯乙嫌介質、聚亞苯介質、聚乙烯咔唑、聚噻吩介 質 '菲系色素、香豆系色素、若丹明系色素，或者可以於 上述高分子摻雜有機EL材料使用。例如可以摻雜紅熒烯 、茈、9,10 -二苯蒽、四苯基丁二烯、尼羅紅、香豆素6、 喹丫啶酮等使用。 # 非極性溶媒以不溶於空穴注入/輸送層5 1 0a爲佳， 例如可以使用環己苯、苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等 。將以上非極性溶媒使用於發光層5丨0b的第2組成物時 ’不會使空穴注入/輸送層510a再溶解而可塗敷第2組 成物。 如第49圖表示，吐出的第2組成物滴510e在空穴注 入/輸送層5 1 0 a上擴開，充滿下部、上部開口部5 1 2 c、 51 2d內。吐出第2組成物510e不僅限於1次，也可以分 φ 成數次吐出於空穴注入/輸送層5 1 0a上。此時，各次吐 出的第2組成物的量相同時也可以在各次改變第2組成物 量。 其次的發光層形成步驟在吐出第2組成物後進行乾燥 處理及熱處理，在空穴注入/輸送層510a上形成發光層 5 1 〇b。乾燥處理藉著乾燥處理第2組成物使含於第2組成 物的非極性溶媒蒸發，形成第5 0圖表示藍色（B )發光層 5 1 Ob ° 隨後，如第51圖表示，與藍色（B)發光層51 Ob的 -50- (45) 587023 場合相同，形成紅色（R)發光層510b，最後形成綠色（ G)發光層510b。此外，發光層510b的形成順序不限於 上述的順序，任意的順序形成皆可。例如，也可以根據發 光層形成材料決定形成的順序。 其次之對置電極形成步驟是如第52圖表示，在發光 層510b及有機物群集層512b的全面形成陰極5 03 (對置 電極）。此外，陰極5 03也可以層積複數的材料形成。例 # 如’在接近發光層側以形成功函數小的材料爲佳，例如可 以使用Ca、Ba等，並可以根據材料在下層形成薄的Li F 等。又上部側（封閉側）以功函數高於下部側爲佳。該等 的陰極部（陰極層）5 03，例如以蒸鍍法、濺射法、CVD 法等形成爲佳，尤其是以蒸鍍法形成可防止因發光層 5 1〇b產生熱造成的損傷。 又，氟化鋰也可以僅形成在發光層5 1 Ob上，尤其也 可以僅形成於藍色（B )發光層5 1 0 b上。此時，其他的紅 • 色（R)發光層及綠色（G)發光層510b、510b形成連接 LiF所成的上部陰極層5 03 b。又陰極12的上部以使用蒸 鍍法、濺射法、CVD法等形成的A1膜、Ag膜等爲佳。或 者陰極5 03上設置氧化防止用的Si02、SiN等的保護層。 最後，第5 3圖表示的封閉步驟是在氮、氬、氦等的 惰性氣體周圍環境中，在有機EL元件5 04上層積封閉用 基板5 05。封閉步驟是以氮、氬、氦等的惰性氣體周圍環 境中進行爲佳。大氣中進行時，陰極5 03產生氣孔等的缺 陷時，水或氧氣等會從該缺陷部分進入陰極5 03而會有使 -51 - (46) (46)587023 得陰極5 0 3氧化之虞。並且’最後在撓性基板的配線連接 陰極5 0 3的同時，驅動1C連接電路元件部5 02的配線 ，可獲得本實施形態的有機EL裝置5 00。 此外，画素電極5 1 1及陰極（對置電極）5 0 3的形成 中，也可以採用噴墨噴頭Η的噴墨方式。亦即，將液體 的電極材料分別導入噴射噴頭Η，從噴射噴頭Η將此吐出 ，分別形成画素電極51 1及陰極5 03 (含乾燥步驟）。 同樣地，本實施形態的功能液滴吐出裝置1 0也可以 運用於電子放射的製造方法、P D Ρ裝置的製造方法及電泳 顯示裝置的製造方法等。 電子放射裝置的製造方法是將R、G、Β各色的螢光 材料導入複數個功能液滴吐出噴頭7內，主掃描或副掃描 複數個功能液滴吐出噴頭7，選擇性吐出螢光材料，在電 極上形成多數個螢光體。並且，電子放射裝置是包含FED (自動電子發射顯示器）的上位槪念。 PDP裝置的製造方法是將R、G、B各色的螢光材料 導入複數個功能液滴吐出噴頭7內，主掃描或副掃描複數 個功能液滴吐出噴頭7，選擇性吐出螢光材料，在背面基 板上的多數個凹部分別形成螢光體。 電泳顯不裝置的製造方法是將各色的泳動體材料導入 複數個功能液滴吐出噴頭7內，主掃描或副掃描複數個功 能液滴吐出噴頭7，選擇性吐出油墨材料，在電極上的多 數個凹部分別形成泳動體。並以帶電粒子與染料所成的泳 動體封入微膠囊內爲佳。 -52- (47) 587023 另一方面’本實施形態之功能液滴吐出裝置1 〇也可 以運用在間隔件形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成 方法、光阻劑形成方法及光擴散體形成方法等之中。 間隔件形成方法是形成在2片基板間構成微小單元間 距的多數個粒子狀間隔件，複數個功能液滴吐出噴頭7內 導入構成間隔件的粒子材料，主掃描或副掃描複數個功能 液滴吐出噴頭7，選擇性吐出粒子材料，並至少在一側的 φ 基板上形成間隔件。例如，有利於構成上述液晶顯示裝置 或電泳顯示裝置的2片基板間之單元間距的場合，當然也 可以運用在必須其他種微小間距的半導體製造技術。 金屬配線形成方法是將液狀金屬材料導入複數個功能 液滴吐出噴頭7內，主掃描或副掃描複數個功能液滴吐出 噴頭7，選擇性吐出液狀金屬材料，在基板上形成金屬配 線。例如可以運用在連接上述液晶顯示裝置的驅動器與各 電極的金屬配線，或連接上述有機EL裝置的TFT等與各 φ 電極的金屬配線。又，除了該種平面顯示器之外，當然也 可以運用在一般的半導體製造技術中。 透鏡形成方法是將透鏡材料導入複數個功能液滴吐出 噴頭7內，主掃描或副掃描複數個功能液滴吐出噴頭7， 選擇性吐出透鏡材料，在透明基板上形成多數個微透鏡。 例如可以運用在上述FED裝置的光束收束用裝置。當然 也可以運用在各種的光設備上。 光阻劑形成方法是將抗蝕材料導入複數個功能液滴吐 出噴頭7內，主掃描或副掃描複數個功能液滴吐出噴頭7 -53- (48) 587023 ，選擇性吐出抗蝕材料，在基板上形成任意形狀的光阻劑 。例如藉著上述各種顯示裝置的群集形成，在形成半導體 製造技術主體的光刻遮罩法中可廣泛地運用於光阻劑的塗 敷。 光擴散形成方法是在基板上形成多數個光擴散體的光 擴散形成方法，將光擴散材料導入複數個功能液滴吐出噴 頭7內，主掃描或副掃描複數個功能液滴吐出噴頭7，選 φ 擇性吐出光擴散材料形成多數個光擴散體。此時當然也可 以運用於各種的光設備。 〔發明效果〕 如上述，根據本發明之吐出圖案資料生成方法、吐出 圖案資料生成裝置、功能液滴吐出裝置及描繪裝置，使用 者任意設定的画素資訊、晶片資訊及噴嘴資訊生成吐出圖 案資料，因此可總括生成所有的噴嘴吐出圖案資料。亦即 ’不論噴嘴數量爲何皆可容易且迅速獲得生成各噴嘴的吐 出圖案資料等的效果。 又’根據本發明之噴頭動作圖案資料生成裝置，使用 者設定的晶片資訊或噴嘴資訊等，生成功能液滴吐出噴頭 的噴頭動作圖案資料，因此可容易且迅速地生成種種條件 的噴頭動作圖案資料。 另一方面’根據本發明液晶顯示裝置之製造方法、有 機EL裝置之製造方法、電子放射裝置之製造方法、pDp 裝置之製造方法及電泳顯示裝置之製造方法，可以簡單地 -54- (49) 587023 導入適於各裝置之過濾材或發光材料等的功能液滴吐出噴 頭’提升其製造效率。 又’根據本發明之彩色濾光器之製造方法、有機EL 之製造方法、間隔件形成方法、金屬配線形成方法、透鏡 形成方法、光阻劑形成方法及光擴散體形成方法，可以簡 單地導入適於各電子設備或各光設備之過濾材或發光材料 等的功能液滴吐出噴頭，提升其製造效率。 【圖式簡單說明】 第1圖爲實施形態之描繪裝置的模式圖。 第2圖爲實施形態之功能液滴吐出噴頭與基板的模式 圖。 第3圖爲實施形態之功能液滴吐出噴頭之控制系的方 塊圖。 第4圖是表示描繪資料及位置資料之生成方法的槪要 第5圖是表示實施形態之操作畫面的一例之主畫面的 畫面圖。 第6圖是表示實施形態之操作畫面的一例之機種檔案 的選擇畫面圖。 第7圖是表示實施形態之操作畫面的一例之單元圖案 的輸入畫面圖。 第8圖是表示與第7圖不同之單元圖案的輸入畫面圖 -55- (50) 587023 第9圖是表示與第7圖及第8圖不同之單元圖案的輸 入畫面圖。 第10圖是表示與第7圖、第8圖及第9圖不同之單 元圖案的輸入畫面圖。 第1 1圖是表示實施形態之操作畫面的一例之C F設 計値1的輸入畫面圖。 第1 2圖是表示實施形態之操作畫面的一例之工件設 φ 計値1的輸入畫面圖。 第1 3圖是表示實施形態之操作畫面的一例之工件設 計値2的輸入畫面圖。 第1 4圖是表示實施形態之操作畫面的一例之影像設 定的輸入畫面圖。 第1 5圖是表示實施形態之操作畫面的一例之描繪資 訊的輸入畫面圖。 第1 6圖是表示實施形態之操作畫面的一例之画素內 # 描繪設計的輸入畫面圖。 第1 7圖是表示實施形態之操作畫面的一例之選擇的 輸入畫面圖。 第1 8圖是表示實施形態之操作畫面的一例之噴頭檔 案的選擇畫面圖。 第1 9圖是表示實施形態之操作畫面的一例之噴頭設 曰十値的輸入畫面圖。 第2 0圖是表示實施形態之操作畫面的一例之噴頭托 架設計値1的輸入畫面圖。 -56- (51) 587023 第2 1圖是表示實施形態之操作畫面的一例之噴頭托 架設計値2的輸入畫面圖。 第22圖是表示實施形態之操作晝面的一例之影像設 定的輸入畫面圖。 第23圖是表示實施形態之操作畫面的一例之選擇的 輸入畫面圖。 第24圖是表示實施形態之操作晝面的一例之機械設 # 計値1的輸入畫面圖。 第2 5圖是表示實施形態之操作晝面的一例之機械設 計値2的輸入畫面圖。 第26圖是表示實施形態之操作畫面的一例之軸參數 的輸入畫面圖。 第2 7圖是表示實施形態之操作畫面的一例之點檢查 參數的輸入畫面圖。 第2 8圖是表示實施形態之操作畫面的一例之偏位噴 # 灑的輸入畫面圖。 第29圖是表示實施形態之操作晝面的一例之不規則 噴灑的輸入畫面圖。 第3 0圖是表示實施形態之操作畫面的一例之位元映 射檔案形式的輸入畫面圖。 第3 1 A-C圖是表示實施形態之画素配列的一例圖。 第3 2圖是表示實施形態的晶片內之R、G、B画素配 列的一例圖。 第3 3圖是表示實施形態之基板上晶片配列之一例圖 -57- (52) (52)587023 第34A-C圖是表示實施形態之鄰接画素的一例圖。 第3 5圖是表示實施形態之功能液滴吐出噴頭的驅動 方式之一例圖。 第3 6圖是表示實施形態之噴嘴位置與功能液滴吐出 量的關係圖。 第3 7圖是表示實施形態之基板對準標記的一例圖。 第3 8 A、B圖爲實施形態之彩色濾光器的製造方法所 製造之彩色濾光器的部分擴大圖。 第3 9圖是以模式表示實施形態之彩色濾光器的製造 方法的製造步驟剖面圖。 第40圖爲實施形態之彩色濾光器的製造方法所製造 之液晶顯示裝置的剖面圖。 第41圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之群 集部形成步驟（無機物群集）的剖面圖。 第42圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之群 集部形成步驟（有機物群集）的剖面圖。 第43圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之電 漿處理步驟（親水化處理）的剖面圖。 第44圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之電 漿處理步驟（撥水化處理）的剖面圖。 第45圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之空 穴注入層形成步驟（功能液滴吐出）的剖面圖。 第46圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之空 -58- (53) (53)587023 穴注入層形成步驟（乾燥）的剖面圖。 第4 7圖爲實施形態之有機E L裝置的製造方法之表 面改性步驟（功能液滴吐出）的剖面圖。 第48圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之表 面改性步驟（乾燥）的剖面圖。 第49圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之B 發光層形成步驟（功能液滴吐出）的剖面圖。 第5 0圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之B 發光層形成步驟（乾燥）的剖面圖。 第5 1圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之R · G · B發光層形成步驟的剖面圖。 第52圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之對 置電極形成步驟的剖面圖。 第53圖爲實施形態之有機EL裝置的製造方法之封 閉步驟的剖面圖。 【主要元件對照表】 7 功能液滴吐出噴頭 10 功能液滴吐出裝置 23 X軸台 24 Y軸台 25 主托架 26 噴頭單元 28 吸附台 -59- (54)587023

37 噴嘴歹ij 3 8 Pf I]觜 4 1 副托架 110 噴頭部 120 驅動部 130 電源部 140 進給檢測部 150 控制部 152 第2PC 400 彩色濾光器 4 12 画素 4 15 群集層 4 16 油墨層 422 罩光塗層 466 基板 500 有機EL裝置 50 1 基板 502 電路元件部 504 有機EL元件 5 10a 空穴注入/輸送層 5 10b 發光層 C 晶片形成區域 E 画素 W 工件 -60-

Claims (1)

1. (1) 587023 拾、申請專利範圍 1 · 一種吐出圖案資料生成方法，係從列設於功能液滴 吐出噴頭的複數個噴嘴選擇性吐出功能液滴，對於工件上 的1個以上的晶片形成區域進行描繪之生成各噴嘴之吐出 圖案資料的吐出圖案資料生成方法，其特徵爲，具備： 設定上述晶片形成區域的画素配列有關的画素資訊的 画素設定步驟； • 設定上述工件上之上述晶片形成區域的配置之相關晶 片資訊的晶片設定步驟； 設定上述各噴嘴配置之相關噴嘴資訊的噴嘴設定步驟 ;及， 根據上述工件及上述功能液滴吐出噴頭的位置關係， 從設定的上述画素資訊、上述晶片資訊及上述噴嘴資訊生 成各噴嘴的吐出圖案資料的資料生成步驟。 2 ·如申請專利範圍第1項記載的吐出圖案資料生成方 • 法，其中上述画素資訊包含功能液滴的顏色資訊，上述資 料生成步驟生成顏色別的吐出圖案資料。 3 .如申請專利範圍第1項記載的吐出圖案資料生成方 法，其中上述複數個噴嘴係構成整齊配置一直線上的1個 以上噴嘴列， 上述噴嘴資訊包含上述噴嘴列之基準位置相關的資訊 〇 4.如申請專利範圍第3項記載的吐出圖案資料生成方 法，其中上述噴嘴資訊包含上述噴嘴列之不使用噴嘴位置 -61 - (2) 587023 的相關資訊。 5 .如申請專利範圍第3項記載的吐出圖案資料生成方 法，其中上述噴嘴資訊包含上述功能液滴吐出噴頭的主掃 描方向或副掃描方向的噴嘴間距，或相對於主掃描方向或 副掃描方向之噴嘴列的相關傾斜資訊。 6. 如申請專利範圍第3項記載的吐出圖案資料生成方 法，其中上述功能液滴吐出噴頭是以列設上述噴嘴列的複 # 數個單位噴頭構成。 7. 如申請專利範圍第1項記載的吐出圖案資料生成方 法，其中上述画素資訊，画素的配列係以含鑲嵌配列、三 角形配列及直線形配列中，任意配列的資訊。 8 .如申請專利範圍第1項記載的吐出圖案資料生成方 法，其中上述画素資訊包含画素數、画素尺寸及相鄰画素 間之間距的相關資訊。 9.如申請專利範圍第1項記載的吐出圖案資料生成方 # 法，其中上述晶片資訊包含上述工件上之晶片形成區域的 配置方向、晶片形成區域數、晶片形成區域尺寸及相鄰晶 片形成區域間之間距的相關資訊。 1 0 .如申請專利範圍第1項記載的吐出圖案資料生成 方法，其中更具備設定1画素內之功能液滴吐出位置的相 關吐出位置資訊的吐出位置設定步驟， 上述資料生成步驟係根據吐出位置資訊，生成各噴嘴 的吐出圖案資料。 Π ·如申請專利範圍第1項記載的吐出圖案資料生成 -62- (3) 587023 方法，其中更具備設定1画素內之功能液滴吐出次數的相 關吐出次數資訊的吐出次數設定手段， 上述資料生成手段係根據吐出次數資訊，生成各噴嘴 的吐出圖案資料。 1 2·如申請專利範圍第1 1項記載的吐出圖案資料生成 方法，其中藉著上述吐出次數設定手段，設定吐出次數爲 複數次時，更具備設定噴嘴偏位資訊之噴嘴偏位設定手段 Φ 可分別從不同噴嘴吐出功能液滴， 上述資料生成手段根據上述噴嘴偏位資訊，生成各噴 嘴的吐出圖案資料。 1 3 ·如申請專利範圍第1 1項記載的吐出圖案資料生成 方法，其中藉著上述吐出次數設定步驟，設定吐出次數爲 複數次時，更具備設定偏位資訊之偏位設定步驟可分別從 不同的吐出位置吐出功能液滴， 上述資料生成手段根據上述偏位資訊，生成各噴嘴的 # 吐出圖案資料。 1 4. 一種噴頭動作圖案資料生成方法，係將列設複數 個噴嘴的功能液滴吐出噴頭相對於工件一邊相對移動，驅 動功能液滴吐出噴頭，從上述複數個噴嘴選擇性吐出功能 液滴，在上述工件上的1以上的晶片形成區域進行描繪之 生成上述功能液滴吐出噴頭的噴頭動作圖案資料的噴頭動 作圖案資料生成方法，其特徵爲，具備： 設定有關上述功能液滴吐出噴頭相對移動之相關噴頭 移動資訊的噴頭移動設定步驟·， -63· (4) 587023 設定有關上述工件上之晶片形成區域的配置之相關晶 片資訊的晶片設定步驟； 設定有關上述噴嘴的配置之相關噴嘴資訊的噴嘴設定 步驟；及， 從設定的上述噴頭移動資訊、上述晶片資訊及上述噴 嘴資訊生成上述噴頭動作圖案資料的資料生成步驟。 1 5 .如申請專利範圍第1 4項記載的噴頭動作圖案資料 φ 生成方法，其中上述複數個噴嘴係構成整齊配置在直線上 的1以上的噴嘴列， 上述噴嘴資訊係包含上述噴嘴列之基準位置的相關資 訊。 1 6 ·如申請專利範圍第1 5項記載的噴頭動作圖案資料 生成方法，其中上述功能液滴吐出噴頭是配設在托架上， 上述噴嘴資訊係包含形成於上述托架上的對準標記及 上述噴嘴列的基準位置之相對位置的相關資訊。 • 1 7 ·如申請專利範圍第1 4項記載的噴頭動作圖案資料 生成方法’其中上述噴嘴資訊係包含上述功能液滴吐出噴 頭的主掃描方向或副掃描方向的噴嘴間距，或相對於主掃 描方向或副掃描方向之上述噴嘴列傾斜的相關資訊。 1 8 ·如申請專利範圍第1 4項記載的噴頭動作圖案資料 生成方法，其中上述功能液滴吐出噴頭係以列設上述噴嘴 列的複數個單位噴頭所構成。 1 9 ·如申請專利範圍第1 4項記載的噴頭動作圖案資料 生成方法，其中上述晶片資訊係包含形成於上述工件上的 -64 - (5) 587023 對準標記，及最初描繪前頭晶片形成區域之相對位置的相 關資訊。 2 0 ·如申請專利範圍第1 4項記載的噴頭動作圖案資料 生成方法，其中更具備設定1画素內之功能液滴吐出位置 的相關吐出位置資訊的吐出位置設定步驟， 上述資料生成步驟係根據上述吐出位置資訊生成噴頭 動作圖案資料。 • 2 1 .如申請專利範圍第1 4項記載的噴頭動作圖案資料 生成方法，其中更具備設定相對於1画素之功能液滴的吐 出次數之相關吐出次數資訊的吐出次數設定步驟， 上述資料生成步驟係根據上述吐出次數資訊，生成各 噴頭動作圖案資料。 22.如申請專利範圍第21項記載的噴頭動作圖案資料 生成方法，其中藉更具備上述吐出次數設定步驟，設定吐 出次數爲複數次的場合，分別從不同噴嘴吐出功能液滴而 • 設定噴嘴偏位資訊的噴嘴偏位設定步驟， 上述資料生成步驟係根據上述噴嘴偏位資訊生成噴頭 動作圖案資料。 23·如申請專利範圍第22項記載的噴頭動作圖案資料 生成方法，其中更具備藉上述吐出次數設定步驟，設定吐 出次數爲複數次的場合，分別對不同吐出位置吐出功能液 滴而設定偏位資訊的偏位設定步驟， 上述資料生成步驟係根據上述偏位資訊生成噴頭動作 圖案資料。 -65- (6) 587023 2 4 ·如申請專利範圍第1 4項記載的噴頭動作圖案資料 生成方法’其中更具備設定上述晶片形成區域之画素配列 相關之画素資訊的画素設定步驟， 上述資料生成步驟係根據上述画素資訊生成噴頭動作 圖案資料。 2 5 ·如申請專利範圍第丨4項記載的噴頭動作圖案資料 生成方法，其中更具備設定上述工件周邊溫度相關資訊的 φ 溫度設定步驟， 上述資料生成步驟係根據上述溫度資訊生成噴頭動作 圖案資料。 26·—種吐出圖案資料生成裝置，係從列設於功能液 滴吐出噴頭的複數個噴嘴選擇性吐出功能液滴，在工件上 的1個以上的晶片區域進行描繪之生成各噴嘴吐出圖案資 料的吐出圖案資料生成裝置，其特徵爲，具備： 設定上述晶片形成區域之画素的配列相關画素資訊的 φ 画素設定手段； 設定上述工件上之上述晶片形成區域之配置的相關晶 片資訊之晶片設定手段； 設定上述各噴嘴配置之相關噴嘴資訊的噴嘴設定手段 記憶所設定的上述画素資訊、上述晶片資訊及上述噴 嘴資訊的記憶手段；及， 根據上述工件及上述功能液滴吐出噴頭的位置關係與 記憶在上述記憶手段的各資訊，生成各噴嘴的吐出圖案資 -66· (7) 587023 料的資料生成手段。 27·如申請專利範圍第26項記載的吐出圖案資料生成 裝置，其中上述画素資訊包含上述功能液滴的顏色資訊， 上述資料生成步驟係生成顏色別的吐出圖案資料。 28·如申請專利範圍第27項記載的吐出圖案資料生成 裝置，其中上述複數個噴嘴係構成整齊配置一直線上的1 個以上噴嘴列， • 上述噴嘴資訊係包含上述噴嘴列的基準位置相關的資 訊。 29. 如申請專利範圍第28項記載的吐出圖案資料生成 裝置，其中上述噴嘴資訊係包含上述噴嘴列的不使用噴嘴 位置相關的資訊。 30. 如申請專利範圍第28項記載的吐出圖案資料生成 裝置，其中上述噴嘴資訊包含上述功能液滴吐出噴頭的主 掃描方向或副掃描方向的噴嘴間距，或相對於主掃描方向 • 或副掃描方向之噴嘴列的相關傾斜資訊。 3 1 .如申請專利範圍第2 8項記載的吐出圖案資料生成 裝置，其中上述功能液滴吐出噴頭爲列設上述噴嘴列的複 數個單位噴頭所構成。 32. 如申請專利範圍第27項記載的吐出圖案資料生成 裝置，其中上述画素資訊包含画素的配列爲鑲嵌配列、三 角形配列及直線形配列中任意配列的資訊。 33. 如申請專利範圍第27項記載的吐出圖案資料生成 裝置，其中上述画素資訊包含画素數、画素尺寸及相鄰画 -67- (8) 587023 素間的間距的相關資訊。 3 4 .如申請專利範圍第2 7項記載的吐出圖案資料生成 裝置，其中上述晶片資訊包含上述工件上之晶片形成區域 的配置方向、晶片形成區域數、晶片形成區域尺寸及相鄰 晶片形成區域間之間距的相關資訊。 35.如申請專利範圍第27項記載的吐出圖案資料生成 裝置，其中更具備設定1画素內之功能液滴的吐出位置之 φ 有關吐出位置資訊的吐出位置設定手段， 上述資料生成手段係根據上述吐出位置資訊，生成各 噴嘴的吐出圖案資料。 3 6 ·如申請專利範圍第2 7項記載的吐出圖案資料生成 裝置，其中更具備設定相對於1画素之功能液滴的吐出次 數之相關吐出次數資訊的吐出次數設定手段， 上述資料生成手段係根據上述吐出次數資訊，生成各 噴嘴的吐出圖案資料。 φ 3 7 .如申請專利範圍第3 6項記載的吐出圖案資料生成 裝置，其中更具備藉上述吐出次數設定步驟，設定吐出次 數爲複數次時，設定噴嘴偏位資訊之噴嘴偏位設定手段可 分別從不同的噴嘴吐出功能液滴， 上述資料生成手段係根據上述噴嘴偏位資訊，生成各 噴嘴的吐出圖案資料。 3 8 ·如申請專利範圍第3 6項記載的吐出圖案資料生成 裝置’其中更具備藉上述吐次數設定步驟，設定吐出次數 爲複數次時，設定偏位資訊之偏位設定手段可分別從不同 -68- 587023 Ο) 的吐出位置吐出功能液滴， 上述資料生成手段係根據上述偏位資訊，生成各噴嘴 的吐出圖案資料。 3 9 · —種功能液滴吐出裝置，其特徵爲：具備申請專 利範圍第27項記載的吐出圖案資料生成裝置。 40·如申請專利範圍第36項記載的功能液滴吐出裝置 ，其中更具備：設定對於上述功能液滴吐出噴頭的上述工 # 件相對移動之相關噴頭移動資訊的噴頭移動設定手段，及 根據記憶於上述記憶手段的各資訊與上述噴頭移動資 訊，生成上述功能液滴吐出圖案噴頭之噴頭動作圖案資料 的噴頭動作圖案資料生成手段。 4 1 · 一種描繪裝置，其特徵爲：對應上述複數顏色複 數具備申請專利範圍第3 9項記載的功能液滴吐出裝置， 根據上述顏色別的吐出圖案資料，藉上述複數個功能 液滴吐出裝置描繪上述晶片形成區域的描繪手段。 # 42 ·如申請專利範圍第4 1項記載的描繪裝置，其中上 述複數個功能液滴吐出裝置所具備的各功能液滴吐出噴頭 以同數量、同配置地配置噴嘴列，分別的噴嘴列上從一側 端賦予相同噴嘴號碼的場合， 上述描繪手段係對於相鄰的画素，於同一號碼的噴嘴 不吐出上述功能液滴。 4 3 · —種液晶顯示裝置的製造方法，係使用申請專利 範圍第3 9項記載的功能液滴吐出裝置，在彩色濾光器的 基板上形成多數濾器元件，其特徵爲： -69- (10) 587023 將各色過濾材導入複數個上述功能液滴吐出噴頭， 使上述功能液滴吐出噴頭對上述基板相對進行掃描， 選擇性吐出上述過濾材形成多數個上述濾器元件。 44·一種有機EL裝置的製造方法，係使用申請專利範 圍第3 9項記載的功能液滴吐出裝置，在基板上的多數像 素上分別形成EL發光層，其特徵爲： 將各色發光材料導入複數個上述功能液滴吐出噴頭， φ 使上述功能液滴吐出噴頭對上述基板相對進行掃描， 選擇性吐出上述發光材料形成多數的上述EL發光層。 4 5 · —種電子放射裝置的製造方法，係使用申請專利 範圍第3 9項記載的功能液滴吐出裝置，在電極上形成多 數螢光體，其特徵爲： 將各色的螢光材料導入複數個上述功能液滴吐出噴頭 使上述功能液滴吐出噴頭對上述電極相對進行掃描， • 選擇性吐出上述螢光材料形成多數的上述螢光體。 46·—種PDP裝置的製造方法，係使用申請專利範圍 第3 9項記載的功能液滴吐出裝置，在背面基板上的多數 個凹部分別形成螢光體，其特徵爲： 將各色螢光材料導入複數個上述功能液滴吐出噴頭， 使上述功能液滴吐出噴頭對上述背面基板相對進行掃 描，選擇性吐出上述螢光材料形成多數個上述螢光體。 4 7 · —種電泳顯示裝置的製造方法，係使用申請專利 範圍第39項記載的功#液滴吐出裝置，在電極上的多數 -70- (11) 587023 凹部形成泳動體，其特徵爲： 將各色泳動體材料導入複數個上述功能液滴吐出噴頭 使上述功能液滴吐出噴頭對上述電極相對進行掃描， 選擇性吐出上述泳動體材料形成多數的上述泳動體。 4 8 · —種彩色濾光器的製造方法，係使用申請專利範 圍第3 9項記載的功能液滴吐出裝置，在基板上製造配列 φ 多數濾器元件所構成，其特徵爲： 將各色過濾材導入複數個上述功能液滴吐出噴頭， 使上述功能液滴吐出噴頭對上述基板相對進行掃描， 選擇性吐出上述濾色材形成多數個上述濾器元件。 49·如申請專利範圍第48項記載的彩色濾光器的製造 方法，其中形成包覆上述多數濾器元件的罩光塗層膜， 在形成上述濾器元件之後， 將透光性塗層材料導入複數個上述功能液滴吐出噴頭 •， 使上述功能液滴吐出噴頭對上述基板相對進行掃描， 選擇性吐出上述塗層材料形成上述罩光塗層膜。 5 0 · —種有機EL的製造方法，係使用申請專利範圍第 3 9項記載的功能液滴吐出裝置，在基板上配列含EL發光 層之多數像素所構成，其特徵爲： 將各色發光材料導入複數個上述功能液滴吐出噴頭， 使上述功能液滴吐出噴頭對上述基板相對進行掃描， 選擇性吐出上述發光材料形成多數的上述EL發光層。 -71 - (12) 587023 51. 如申請專利範圍第5〇項記載的有機el的製造 方法，其中多數的上述EL發光層與上述基板之間，對應 上述EL發光層形成多數個画素電極， 將液狀電極材料導入複數個上述功能液滴吐出噴頭， 使上述功能液滴吐出噴頭對上述基板相對進行掃描， 選擇性吐出上述液狀電極材料形成多數個上數画素電極。 52. 如申請專利範圍第51項記載的有機EL的製造 φ 方法，其中形成覆蓋多數的EL發光層的對置電極， 形成上述EL發光層之後， 將液狀電極材料導入複數個上述功能液滴吐出噴頭， 使上述功能液滴吐出噴頭對上述基板相對進行掃描， 選擇性吐出上述液狀電極材料形成上述對置電極。 5 3 · —種間隔件形成方法，係使用申請專利範圍第3 9 項記載的功能液滴吐出裝置，在2片基板之間形成構成微 小單元間隙的多數粒子狀間隔件，其特徵爲： • 將構成間隔件的粒子材料導入複數個上述功能液滴吐 出噴頭， 使上述功能液滴吐出噴頭對至少一側的上述基板相對 進行掃描，選擇性吐出上述粒子材料而在上述基板上形成 間隔件。 5 4 · —種金屬配線形成方法，係使用申請專利範圍第 3 9項記載的功能液滴吐出裝置，在基板上形成金屬配線 ’其特徵爲： 將液狀金屬材料導入複數個上述功能液滴吐出噴頭， •72- (13) 587023 使上述功能液滴吐出噴頭對上述基板相對進行掃描， 選擇性吐出上述液狀金屬材料形成上述金屬配線。 5 5 · —種透鏡形成方法，係使用申請專利範圍第3 9項 6己載的功#液滴吐出裝置，在基板上形成多數個微透鏡， 其特徵爲： 將透鏡材料導入複數個上述功能液滴吐出噴頭， 使上述功能液滴吐出噴頭對上述基板相對進行掃描， φ 選擇性吐出上述透鏡材料形成多數個上述微透鏡。 5 6 · —種光阻劑形成方法，係使用申請專利範圍第3 9 項記載的功能液滴吐出裝置，在基板上形成任意形狀的光 阻劑，其特徵爲： 將抗蝕材導入複數個上述功能液滴吐出噴頭， 使上述功能液滴吐出噴頭對上述基板相對進行掃描， 選擇性吐出上述抗蝕材形成上述光阻劑。 5 7. —種光擴散體形成方法，係使用申請專利範圍第 • 3 9項記載的功能液滴吐出裝置，在基板上形成多數個光 擴散體，其特徵爲： 將光擴散材料導入複數個上述功能液滴吐出噴頭， 使上述功能液滴吐出噴頭對上述基板相對進行掃描， 選擇性吐出上曙光擴散材料形成多數個上述光擴散體。 -73-