CN1445086A - 喷出图案数据生成方法、形成装置、液滴喷出装置、扫描装置、液晶显示装置 - Google Patents

喷出图案数据生成方法、形成装置、液滴喷出装置、扫描装置、液晶显示装置 Download PDF

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Abstract

一种喷出图案数据生成方法，是由多个喷嘴(38)选择性喷出功能液滴，对工件(W)上一个以上芯片形成区进行扫描，生成各喷嘴(38)的喷出图案数据的一种喷出图案数据生成方法，其中备有设定与芯片形成区(C)中象素(E)的排列有关的象素信息的象素设定工序，设定与工件(W)上的芯片形成区(C)的配置有关的芯片信息的芯片设定工序，设定与各喷嘴(38)的配置有关的喷嘴信息的喷嘴设定工序，以及基于工件(W)与功能液滴喷头(7)的位置关系，由设定的象素信息、芯片信息和喷嘴信息生成各喷嘴(38)的喷出图案数据的数据生成工序。按列设置在多功能液滴喷头上的各喷头的喷出图案数据能容易而迅速地生成。

Description

喷出图案数据生成方法、形成装置、 液滴喷出装置、扫描装置、液晶显示装置
技术领域
本发明涉及喷出图案数据生成方法、喷头动作图案数据生成方法、喷出图案数据成成装置、功能液滴喷出装置、扫描装置、液晶显示装置的制造方法、有机EL元件装置的制造方法、电子释放装置的制造方法、PDP装置的制造方法、电泳显示装置的制造方法、滤色器的制造方法、有机EL的制造方法、间隔(スペ—サ)形成方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、抗蚀层形成方法和光扩散体形成方法。
背景技术
过去喷墨打印机等，是由以相同间距排列在喷墨头(功能液滴喷头)上的喷嘴列喷出油墨(功能液滴)形成点的功能液滴喷出装置，以一个喷墨头沿着主扫描方向和副扫描方向作对工件的相对移动的方式进行扫描。这种情况下，各喷嘴的喷出图案数据(扫描图案数据)，由每列喷嘴(喷头)生成，依次将生成的数据输送给喷头驱动装置，以这种方式进行一列功能液滴的喷出(扫描)。
然而对大型打印机而言，考虑到功能液滴喷头的成品率，并排(一行)的副扫描方向的喷嘴，不是由单一功能液滴喷头，而是由多功能液滴喷头构成。因此，例如由具有两列喷嘴的功能液滴喷头六个并排排列构成一行的情况下，必须全部生成12列的喷出图案数据。但是要生成12列的喷出图案数据，因数据量庞大而事实上不能用过去的那种每列喷嘴生成喷出图案数据的方法生成。
本发明的课题在于，提供一种以由整列排列在多功能液滴喷头上的喷嘴列向工件选择性喷出功能液滴，以此方式进行扫描的情况下，能够由各喷嘴容易生成喷出图案数据的喷出图案数据生成方法、喷头动作图案数据生成方法、喷出图案数据生成装置、功能液滴喷出装置、扫描装置、液晶显示装置的制造方法、有机EL元件装置的制造方法、电子释放装置的制造方法、PDP装置的制造方法、电泳显示装置的制造方法、滤色器的制造方法、有机EL的制造方法、间隔形成方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、抗蚀层形成方法和光扩散体形成方法。
发明内容
本发明的喷出图案数据生成方法，是一种由按列设置在功能液滴喷头上的多个喷嘴选择性喷出功能液滴，对工件上的一个以上芯片形成区进行扫描，生成各喷嘴的喷出图案数据的喷出图案数据生成方法，其特征在于其中包括设定与芯片形成区内象素排列有关的象素信息的象素设定工序、设定与工件上芯片形成区的配置有关的芯片信息的芯片设定工序、设定与各喷嘴的配置有关的喷嘴信息的喷嘴设定工序、以及基于工件与功能液滴喷头的位置关系，由设定的象素信息、芯片信息和喷嘴信息生成各喷嘴的喷出图案数据的数据生成工序。
而且，本发明的喷出图案数据生成装置，是一种由按列设置在功能液滴喷头上的多个喷嘴选择性喷出功能液滴，对工件上的一个以上芯片形成区进行扫描，生成各喷嘴的喷出图案数据的喷出图案数据生成装置，其特征在于其中具有设定与芯片形成区内象素排列有关的象素信息用的象素设定机构，设定与工件上芯片形成区的配置有关的芯片信息用的芯片设定机构，设定与各喷嘴的配置有关的喷嘴信息用的喷嘴设定机构，存储设定的象素信息、芯片信息和喷嘴信息的存储机构，以及基于工件与功能液滴喷头的位置关系及存储机构存储的各种信息，生成各喷嘴的喷出图案数据的数据生成机构。
根据这种构成，能够根据工件与功能液滴喷头的位置关系以及设定的象素信息、芯片信息和喷嘴信息，为了生成喷出图案数据，总体生成全部喷嘴的喷出图案数据。也就是说，与喷嘴数目无关，能够容易而迅速地生成各喷嘴的喷出图案数据。
这种情况下，象素信息中已经包含功能液滴的颜色信息，在数据生成工序中优选分色生成喷出图案数据信息。
而且这种情况下，象素信息中已经包含功能液滴的颜色信息，数据生成机构优选分色生成喷出图案数据信息。
根据这种构成，喷出图案数据由于是分色生成的，所以根据多色象素对芯片形成区进行扫描的情况(进行彩色扫描的情况)下，容易进行扫描处理。
这种情况下，多个喷嘴由在直线上整列排列的一列以上喷嘴列构成，所以喷嘴信息优选包含与喷嘴列基准位置有关的信息。
根据这种构成，由于多个喷嘴由在直线上整列排列的一列以上喷嘴列构成，所以只要设定与喷嘴列基准位置有关的信息，就能总体设定构成喷嘴列的全部喷嘴的配置。因而能够节省设定全部喷嘴位置所需的繁杂手续。
这种情况下，喷嘴信息优选包含喷嘴列中有关不使用喷嘴位置的信息。
根据这种构成，例如使用压电式喷出功能液滴喷嘴的情况下等，因喷嘴在功能液滴喷头上的位置而使喷出量产生波动，当不使用产生那种波动位置上的喷嘴时能使喷出量稳定。
这些情况下，喷嘴信息优选包括与功能液滴喷头的主扫描方向或副扫描方向上喷嘴的间距有关或者与喷嘴列相对于主扫描方向或副扫描方向的倾斜度有关的信息。
根据这种构成，由于能够设定与功能液滴喷头的主扫描方向或副扫描方向上喷嘴间距有关或者与喷嘴列相对于主扫描方向或副扫描方向上的倾斜度有关的信息，因而能够根据喷出对向物改变喷出间距。
这些情况下，功能液滴喷头优选由成列设置的喷嘴列的多个单位喷头构成。
根据这种构成，功能液滴喷头是由成列设置的喷嘴列的多个单位喷头构成的，所以能够大量生产同型的单位喷头，进而能够低价制造功能液滴喷头。
这些情况下，象素信息优选马赛克排列、三角形排列和线条状排列的象素排列中，各种排列都包括在内的象素信息。
根据这种构成，能够设定作为一般象素排列的马赛克排列、三角形排列和线条状排列的象素排列中的各种排列。换句话说，能够生成用这些排列进行扫描所得到的喷出图案数据。
这种情况下，象素信息优选包含与象素数目、象素尺寸以及相邻象素间间距有关的信息。
根据这种构成，能够生成在各种象素数目、象素尺寸以及相邻象素间间距(象素间距)下进行扫描得到的喷出图案数据。
这种情况下，芯片信息优选包含与工件上芯片形成区域的配置方向、芯片形成的区域尺寸以及相邻芯片形成区域之间的间距有关的信息。
根据这种构成，能够生成在各种工件上芯片形成区域的配置方向、芯片形成的区域尺寸以及相邻芯片形成区域之间的间距(芯片形成间距)下进行扫描得到的喷出图案数据。
这些情况下，优选还备有设定与一个象素内的功能液滴喷出位置有关的喷出位置信息的喷出位置设定工序，在数据生成工序中可以根据喷出位置信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
而且这些情况下，还优选备有设定与一个象素内的功能液滴喷出位置有关的喷出位置信息的喷出位置设定机构，数据生成机构根据喷出位置信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
根据这种构成，由于能够设定一个象素内功能液滴的喷出位置，所以能够使功能液滴落在所希望的位置上。
这些情况下，优选还备有设定与一个象素内的功能液滴喷出次数有关的喷出次数信息的喷出次数设定工序，在数据生成工序中可以根据喷出次数信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
而且这些情况下，优选还备有设定与一个象素内的功能液滴喷出次数有关的喷出次数信息的喷出次数设定机构，数据生成机构根据喷出次数信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
根据这种构成，能够设定一个象素的功能液滴喷出次数。也就是说，能够将与一个象素相当的点数任意设定为4个、8个等。
上述的利用喷出次数设定工序将喷出次数设定为多数次的情况下，优选进一步备有设定喷嘴错开信息的喷嘴错开设定工序，分别用不同的喷嘴喷出功能液滴，在数据生成工序中可以根据喷嘴错开信息，生成各喷嘴的喷出图案数据。
而且，上述的利用喷出次数设定机构将喷出次数设定数次的情况下，优选进一步备有设定喷嘴错开信息分别使不同的喷嘴喷出功能液滴的喷嘴错开设定机构，数据生成机构根据喷嘴错开信息，生成各喷嘴的喷出图案数据。
根据这种构成，能对一个象素分数次分别从不同的喷嘴喷出功能液滴。所以喷嘴功能液滴的喷出量即使有波动的情况下，也能使对一个象素的功能液滴喷出量平均化。
上述的方案中，能用喷出次数设定工序将喷出次数设定为多数的情况下，优选进一步备有设定位置错开信息的位置错开设定工序，分别在不同喷出位置喷出功能液滴，在数据生成工序中可以根据位置错开信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
而且上述的方案中，能用喷出次数设定机构将喷出次数设定为多次的情况下，优选进一步备有设定位置错开信息的位置错开设定机构，分别在不同喷出位置喷出功能液滴，数据生成机构可以根据位置错开信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
根据这种构成，在一个象素内由于能够分数次分别向不同喷出位置喷出功能液滴，所以能够在没有不均的条件下描绘一个象素。
本发明的喷头动作图案数据生成方法，是一种喷头动作图案数据生成方法，其中一边使成列设置多个喷嘴的功能液滴喷头作相对于工件的移动，一边驱动功能液滴喷头，自多个喷嘴选择性喷出功能液滴，对工件上的一个以上芯片形成区域进行描绘用的，生成功能液滴喷头的喷头动作图案数据，其特征在于：包括设定与功能液滴喷头的相对运动有关的喷头移动信息的喷头移动信息设定工序、设定与工件上芯片形成区的配置有关的芯片信息的芯片设定工序、设定与喷嘴的配置有关的喷嘴信息的喷嘴设定工序、以及由设定的喷头移动信息、芯片信息和喷嘴信息生成喷头动作图案数据的数据生成工序。
根据这种构成，基于喷头移动信息、芯片信息和喷嘴信息，由于生成一边使功能液滴喷头作相对于工件的移动一边进行描绘的情况下的喷头动作图案数据，所以能总体生成全部喷头的喷头动作图案数据。也就是说，能够容易而迅速生成各喷头的喷头动作图案数据而与喷头数目无关。
这种情况下，多个喷嘴构成在直线上整列配置的一列以上喷嘴，而喷嘴信息优选包含有关喷嘴列基准位置的信息。
根据这种构成，多个喷嘴由于是由直线上整列配置的一列以上喷嘴构成的，所以只要设定与喷嘴列的基准位置有关的信息，就能总体设定构成喷嘴列的全部喷嘴的配置。因此能够省去设定全部喷嘴位置所需的繁杂手续。
这种情况下，功能液滴喷头被事先设置在支承架上，喷嘴信息优选包括与支承架上形成的成排标记和与喷嘴列的基准位置相对位置有关的信息。
根据这种构成，以承载功能液滴喷头的支承架上形成的成排标记为基准的情况下，由于能够设定喷嘴列基准位置的相对位置，所以通过排列能够向工件的正确位置喷出功能液滴。
这些情况下，喷嘴信息优选包括与功能液滴喷头的主扫描方向或副扫描方向上喷嘴的间距有关或者与喷嘴列相对于主扫描方向或副扫描方向的倾斜度有关的信息。
根据这种构成，由于能够设定与功能液滴喷头的主扫描方向或副扫描方向上喷嘴的间距有关或者与喷嘴列相对于主扫描方向或副扫描方向的倾斜度有关的信息，所以能够根据喷出对向物使喷出间距变更。
这些情况下功能液滴喷头优选由成列设置的喷嘴列的多个单位喷头构成。
根据这种构成，功能液滴喷头是由成列设置的喷嘴列的多个单位喷头构成的，所以能够大量生产同型的单位喷头，进而能够低价制造功能液滴喷头。
这种情况下，芯片信息优选包含与支承架上形成的成排标记有关，以及与最初描绘的排头芯片形成区域有关的信息。
根据这种构成，以工件上形成的成排标记为基准的情况下，由于能够设定最初描绘的排头芯片形成区域的相对位置，所以通过进行排列能在工件上的正确位置描绘芯片形成区域。
这些情况下，优选进一步备有设定与一个象素内功能液滴的喷出位置有关的喷出位置信息的喷出位置设定工序，在数据形成工序中可以根据喷出位置信息生成喷头动作图案数据。
根据这种构成，由于能够设定一个象素内功能液滴的喷出位置，所以能使功能液滴落在所需的位置上。
这些情况下，优选进一步备有设定与对一个象素功能液滴喷出次数有关的喷出次数信息的喷出位置设定工序，在数据形成工序中可以根据喷出次数信息生成喷头动作图案数据。
根据这种构成，能够设定一个象素内功能液滴的喷出次数。也就是说，能够将与一个象素相当的点数任意设定成4个、8个等。
上述的方案中利用喷出次数设定工序，可以将喷出次数设定为多数次的情况下，优选进一步备有设定喷嘴错开信息的喷嘴错开设定工序，分别用不同的喷嘴喷出功能液滴，在数据生成工序中可以根据喷嘴错开信息，生成喷头动作图案数据。
根据这种构成，能够对一个象素分数次分别从不同的喷嘴喷出功能液滴。所以来自喷嘴的功能液滴的喷出量即使有波动的情况下，也能使对一个象素的功能液滴喷出量平均化。
上述的方案中，能用喷出次数设定工序将喷出次数设定为多数次的情况下，优选进一步备有设定位置错开信息的位置错开设定工序，分别在不同喷出位置喷出功能液滴，在数据生成工序中可以根据位置错开信息生成喷头动作图案数据。
根据这种构成，由于能在一个象素内分数次分别向不同喷出位置喷出功能液滴，所以能在无不均的条件下描绘一个象素。
这些情况下，优选进一步备有设定与芯片形成区域中象素的排列有关的象素信息用的象素设定工序，在数据生成工序中可以根据象素信息生成喷头动作图案数据。
根据这种构成，能够生成以各种象素排列描绘而成的喷头动作图案数据。
这些情况下，优选进一步备有设定与工件周边温度有关信息的温度设定工序，在数据生成工序中可以根据温度信息生成喷头动作图案数据。
根据这种构成，能够生成考虑了温度引起伸缩的喷头动作图案数据。因而能使功能液滴落在工件上所需的正确位置上。
本发明的功能液滴喷出装置，其特征在于备有上述任何一项记载的喷出图案数据生成装置。
根据这种构成，能够提供一种与喷嘴数目(功能液滴喷头数目)无关，可以容易而迅速生成各喷嘴的喷出图案数据的功能液滴喷出装置。
这种情况下，优选进一步备有设定与功能液滴喷头相对于工件作相对移动有关的喷头移动信息的喷头移动设定机构，以及根据存储机构存储的各种信息和喷头移动信息，生成功能液滴喷头的喷头动作图案数据的喷头动作图案数据生成机构。
根据这种构成，能使各喷嘴喷出的图案数据与使功能液滴喷头移动的喷头动作方式图案数据一起容易而迅速地生成。
本发明的描绘装置，其特征在于其中备有与多种颜色对应的多个上述任何一项记载的功能液滴喷出装置，备有根据分色喷出图案数据由多个功能液滴喷出装置描绘芯片形成区域的描绘机构。
根据这种构成，能够根据分色喷出图案数据由多个功能液滴喷出装置描绘芯片形成区域。也就是说，即使用一个功能液滴喷出装置(功能液滴喷头)进行单色扫描的情况下，也能容易而迅速地总体生成多个分色的喷出图案数据。
上述中可以备有多个功能液滴喷出装置的各功能液滴喷头，以相同数目和相同配置喷嘴列，将各喷嘴列的一端赋予相同编号的情况下，描绘机构优选不使用同一编号的喷嘴向互相相邻的象素喷出功能液滴。
根据这种构成，与多色对应的多个功能液滴喷出装置，在备有以相同数目和相同配置喷嘴列的功能液滴喷头，自各喷嘴列一端赋予相同喷嘴编号的情况下，由于不使用相同编号的喷嘴向互相相邻的象素喷出功能液滴，所以能使功能液滴的喷出量全体平均化。即，例如相邻象素为R(红色)和G(绿色)的情况下，使用编号(x)喷嘴对R象素喷出功能液滴的情况下，用编号(x+10)喷嘴对G象素喷出功能液滴，这样一来即使喷出量因喷嘴位置而产生波动，也\很难发现喷出不均。
本发明的液晶显示装置的制造方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，在滤色器的基板上形成多数滤色元件的液晶显示装置的制造方法，其特征在于将各种颜色的滤色器材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，选择性喷出滤色器材料形成多个滤色元件。
本发明的有机EL装置的制造方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，在基板上的多个象素象元(ピクセル)上分别形成EL发光层的有机EL装置的制造方法，其特征在于将各种颜色的发光材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，选择性喷出发光材料形成多个EL发光层。
本发明的电子释放装置的制造方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，在电极上形成多个荧光体的电子释放装置制造方法，其特征在于将各种颜色的荧光材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于电极作相对扫描，选择性喷出荧光材料形成多个荧光体。
本发明的PDP装置的制造方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，在背面基板上的多个凹部分别形成荧光体的PDP装置的制造方法，其特征在于：将各种颜色的荧光材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于背面基板作相对扫描，选择性喷出荧光材料形成多个荧光体。
本发明的电泳显示装置的制造方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，在电极上的多个凹部分别形成电泳体的电泳显示装置的制造方法，其特征在于：将各种颜色的电泳体材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于电极作相对扫描，选择性喷出电泳体材料形成多个电泳体。
综上所述，通过在液晶显示装置的制造方法、有机EL(电致发光)装置的制造方法、电子释放装置的制造方法、PDP(等离子显示板)装置的制造方方法和电泳显示装置的制造方法中使上述的功能液滴喷出装置，能够选择性地向适当位置供给各装置要求的适量滤色器材料和发光材料等。其中液滴喷头的扫描，虽然一般有主扫描和副扫描，但是当由单一液滴喷头构成所谓一行的情况下仅有副扫描。而且电子释放装置这一概念，包括所谓FED(场致发射显示)装置在内。
本发明的滤色器的制造方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，制造在基板上由多个滤色元件排列而成滤色器的滤色器的制造方法，其特征在于，将各种颜色的滤色器材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，选择性喷出滤色器材料形成多个滤色元件。
这种情况下，优选事先形成覆盖多个滤色元件的表涂层膜，形成滤色元件后，将透光性涂料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，选择性喷出涂料形成表涂层膜。
本发明的有机EL的制造方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，使包含EL发光层的多个象素顶部网眼在基板上排列而成的有机EL装置的制造方法，其特征在于，将各种颜色的发光材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，选择性喷出发光材料形成多个EL发光层。
这种情况下，优选在多个EL发光层与基板之间可以事先与EL发光层对应形成多个的象素电极，将液体电极材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，选择性喷出液体电极材料形成多个象素电极。
这种情况下，优选事先形成对电极覆盖多个EL发光层，EL发光层形成后，将液体电极材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，选择性喷出液体电极材料形成多个对电极。
本发明的间隔形成方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，在两块基板之间形成应能构成微小单元间隙(cellgap)的多数颗粒状间隔的间隔形成方法，其特征在于，将构成间隔的颗粒状材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头至少相对于一块基板作相对扫描，选择性喷出颗粒状材料在基板上形成间隔。
本发明的金属配线形成方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，在基板上形成金属配线的金属配线形成方法，其特征在于，将液态金属材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，选择性喷出液态金属材料形成金属配线。
本发明的透镜形成方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，在基板上形成多个微透镜的透镜形成方法，其特征在于，将透镜材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，选择性喷出透镜材料形成多个微透镜。
本发明的抗蚀层形成方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，在基板上形成任意形状抗蚀层的抗蚀层形成方法，其特征在于，将抗蚀层材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，选择性喷出抗蚀层材料形成抗蚀层。
本发明的光扩散体形成方法，是一种使用上述的功能液滴喷出装置，在基板上形成多个光扩散体的光扩散体形成方法，其特征在于，将光扩散材料导入多个功能液滴喷头中，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，选择性喷出光扩散材料形成多个光扩散体。
如此所述，通过在滤色器的制造方法、有机EL制造方法、间隔制造方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、抗蚀层形成方法和光扩散体形成方法中使用上述的功能液滴喷出装置，能够以适当数量选择性地将各种电子器件和各种光学器件所要求的滤色器材料和发光材料等供给适当位置。
附图说明
图1是实施方式涉及的描绘装置的示意图。
图2是实施方式涉及的功能液滴喷头和基板的模式图。
图3是实施方式涉及的功能液滴喷头控制系统的方框图。
图4是表示描绘数据和位置数据的生成方法概要的说明图。
图5是表示实施方式中一个操作画面实例的主菜单画面的图。
图6是表示实施方式中一个操作画面实例的机种文件选择图。
图7是表示实施方式中一个操作画面实例的单元图案输入画面图。
图8是表示不同于图7的单元图案输入画面图。
图9是表示不同于图7和图8的单元图案输入画面图。
图10是表示不同于图7、图8和图9的单元图案输入画面图。
图11是表示实施方式中一个操作画面实例的CF设计值1的输入画面图。
图12是表示实施方式中一个操作画面实例的工件设计值1的输入画面图。
图13是表示实施方式中一个操作画面实例的工件设计值2的输入画面图。
图14是表示实施方式中一个操作画面实例的图像设定的输入画面图。
图15是表示实施方式中一个操作画面实例的扫描信息的输入画面图。
图16是表示实施方式中一个操作画面实例的象素内描绘的输入画面图。
图17是表示实施方式中一个操作画面实例的任选项的输入画面图。
图18是表示实施方式中一个操作画面实例的喷头文件的输入画面图。
图19是表示实施方式中一个操作画面实例的喷头设计值的输入画面图。
图20是表示实施方式中一个操作画面实例的喷头支承架设计值1的输入画面图。
图21是表示实施方式中一个操作画面实例的喷头支承架设计值2的输入画面图。
图22是表示实施方式中一个操作画面实例中画像设定的输入画面图。
图23是表示实施方式中一个操作画面实例中任选项的输入画面图。
图24是表示实施方式中一个操作画面实例中机械设计值1的输入画面图。
图25是表示实施方式中一个操作画面实例中机械设计值2的输入画面图。
图26是表示实施方式中一个操作画面实例中轴参数的输入画面图。
图27是表示实施方式中一个操作画面实例中点检查参数的输入画面图。
图28是表示实施方式中一个操作画面实例中错开进行的输入画面图。
图29是表示实施方式中一个操作画面实例中往返进行的输入画面图。
图30是表示实施方式中一个操作画面实例中位标志文件形式的输入画面图。
图31A-C是表示实施方式中象素排列方式实例的图。
图32是实施方式中芯片内一种R.G.B.象素排列实例的示意图。
图33是实施方式中基板上一种芯片排列实例的示意图。
图34A-C是实施方式中一种相邻象素实例的示意图。
图35是实施方式中功能液滴喷头的一种驱动方式实例的示意图。
图36是实施方式中喷嘴位置与功能液喷出量之间关系的示意图。
图37是实施方式中一种基板排列标志实例的示意图。
图38A，B是用实施方式中滤色器制造方法制造的滤色器的局部放大图。
图39是示意说明实施方式中滤色器制造方法的制造工序断面图。
图40是用实施方式中滤色器制造方法制造的也具有显示装置的断面图。
图41是实施方式的有机EL装置制造方法中存储部(bank)形成工序(无机物存储体)的断面图。
图42是实施方式的有机EL装置制造方法中存储形成工序(有机物存储体)的断面图。
图43是实施方式的有机EL装置制造方法中等离子处理工序(亲水处理)的断面图。
图44是实施方式的有机EL装置制造方法中等离子处理工序(疏水处理)的断面图。
图45是实施方式的有机EL装置制造方法中空穴注入层形成工序(功能液滴喷出)的断面图。
图46是实施方式的有机EL装置制造方法中空穴注入层形成工序(干燥)的断面图。
图47是实施方式的有机EL装置制造方法中表面改质工序(功能液滴喷出)的断面图。
图48是实施方式的有机EL装置制造方法中空穴注入层形成工序(干燥)的断面图。
图49是实施方式的有机EL装置制造方法中B发光层形成工序(功能液滴喷出)的断面图。
图50是实施方式的有机EL装置制造方法中B发光层形成工序(干燥)的断面图。
图51是实施方式的有机EL装置制造方法中R·G·B发光层形成工序的断面图。
图52是实施方式的有机EL装置制造方法中对电极形成工序的断面图。
图53是实施方式的有机EL装置制造方法中密封工序的断面图。
具体实施方式
以下参照附图说明本发明的实施方式。构成描绘装置的功能液滴喷出装置，由于能够从配置排列在该功能液滴喷头上的多个喷嘴，以到精度喷出点状微小液滴，所以通过在功能液中使用特殊油墨以及感光性发光性树脂等，可以期待在各种产品制造领域中的应用。
本实施方式的喷出图案数据生成装置、喷头动作图案数据生成装置、功能液滴喷出装置和描绘装置，可以用在例如液晶显示装置和有机EL装置等所谓平面显示装置的制造中，自该多功能液滴喷头喷出滤色器材料和发光材料等功能液(喷墨方式)，形成也具有显示装置中的R(红)、G(绿)、B(蓝)色滤色元件，以及有机EL装置中各象素的EL发光层和空穴注入层。其中在本实施方式中，将以组装在液晶显示装置的制造装置等中的描绘装置为例，说明该喷出图案数据生成方法、喷头动作图案数据生成方法等。
如图1和图2所示，构成描绘装置1的功能液滴喷出装置10，具有X轴台架23和与其正交的Y轴台架24，设置在Y轴台架24上的主拖架25，以及搭载在主拖架25上的喷头组件26。其细节详见后述，多个功能液滴喷头7通过次拖架41搭载在喷头组件26上。而且与这多个功能液滴喷头7对应地将基板(工件)W设置在X轴台架23的吸附台架28上。
在本实施方式的功能液滴喷出装置10中，在驱动功能液滴喷头7(选择性喷出功能液滴)的同时使基板W移动，功能液滴喷头7的所谓主扫描，沿着X轴台架23的X轴方向以往复运动方式进行。而且与此对应，所谓副扫描通过Y轴台架24使功能液滴喷头7沿着Y轴方向以往复运动方式进行。其中也可以使上述的主扫描仅仅沿着X轴台架23的X轴方向以往动(或复动)的方式进行。
喷头组件26备有副拖架41，以及搭载在副拖架41上的多个(12个)功能液滴喷头7。12个功能液滴喷头7，各六个一组左右排列得与主扫描方向成预定角度倾斜。其中本实施方式的功能液滴喷头7，可以使用利用压电效果的精密喷头，在着色层形成区域选择性喷出微小液滴。
而且每组六个功能液滴喷头7，相对于副扫描方向被设置得位置互相错开，使12个功能液滴喷头7的全喷出喷嘴38沿副扫描方向上连续(部分重复)。也就是说实施方式中的喷头设置，是在副拖架41上排列有两列沿同一方向倾斜设置六个功能液滴喷头7。这样一来，通过在预定角度(相对于副扫描方向成θ角)的倾斜状态下进行主扫描，能使多个喷嘴的喷嘴间间距与基板W上象素的间距互相吻合。而且在各功能液滴喷头7上互相平行排列两列喷嘴37和37，每列喷嘴37由等间距排列的180个(图中以示意方式表示)喷嘴38构成。
然而这种排列图案只是其中一例，例如各列喷头中相邻的功能液滴喷头7和7之间以90°角排列(相邻喷头间成“八”字形)，或者各列喷头间的功能液滴喷头7以90°角排列(列间喷头间成“八”字形)等也是可能的。但是无论哪种情况，12个功能液滴喷头7中的全喷出喷嘴38的喷头，可以沿副扫描方向连续。
而且对各种基板W而言，若以功能液滴喷头7作为专用部件，则根本不比将功能液滴喷头7倾斜设置，可以设置成交错式和阶梯形。进一步讲，只要能构成预定长度的喷嘴列(点列)，既可以由单一的功能液滴喷头7构成，也可以由多个功能液滴喷头7构成，而且其排列图案也是任意的。
以下简单说明描绘装置1的一系列动作。首先在准备阶段，将供操作的基板W用的喷头组件26装入功能液滴喷出装置10中，将其固定在主拖架25上。喷头组件26在主拖架25上固定后，Y轴台架24使喷头组件26移动到图外的喷头识别相机的位置上，由喷头识别相机检查喷头排列标记，对喷头组件26作位置确认。在此根据此确认的结果，对喷头组件26作θ补正，而且喷头组件26的X轴方向和Y轴方向上的位置补正以数据进行。位置补正后，喷头组件(主拖架25)26返回到室内位置上。
另一方面，从料盘中取出的基板(这种情况下被导入的每块基板)W一旦被导入X轴台架23的吸附台架28上，就会在此位置(交接位置)上由图外的基板识别相机检查基板排列标记(参见图37)，对基板W作位置确认。在这里根据此确认结果，对基板W作θ补正，而且基板W的X轴方向和Y轴方向上的位置补正以数据进行。位置补正后，基板(吸附台桌28)W返回到原来位置(homeposition)上。
一旦这样完成准备后，在实际液滴喷出操作中，就会首先驱动X轴台架23，使基板W沿着主扫描方向作往复运动，同时驱动多个功能液滴喷头7，进行功能液滴向基板W选择性喷出动作(象素E的形成)。当基板W复动后，这次驱动Y轴台桌24，使喷头组件26沿着副扫描方向移动一个间距，然后再进行基板W向主扫描方向的往复运动和功能液滴喷头7的驱动。于是以数次重复此过程的方式进行全部芯片区域C的描绘(按区段进行；参见图35)。
综上，构成芯片形成区域C的R.G.B.三色中例如有关R的描绘一旦终止，就会将基板W移送到例如喷出G功能液滴的功能液滴喷出装置10进行G的描绘。于是最后移送至喷出B功能液滴的功能液滴喷出装置10进行B的描绘，通过分别描绘出彩色描绘的全部芯片形成区域C，能够得到一个芯片形成区域C。
另一方面，在上述动作的同时，以空气供给装置42作为压力供给源连续将功能液供给液滴喷出装置10的功能液滴喷头7，而且在吸附台桌28中由能吸附基板W的真空抽吸装置15抽吸空气。此外，在液滴喷出操作之前，喷头组件26面临图外的清洁组件和擦拭组件受到来自功能液滴喷头7的全喷喷嘴38的功能液的吸引，然后对喷嘴形成面进行擦拭。而且在液滴喷出操作中，适当的喷头组件26面临冲洗组件进行冲洗(参见图24)。
此外，本实施方式中虽然使作为该对象物的基板W沿着主扫描方向(X轴方向)移动，但是也可以具有使喷头组件26沿着主扫描方向移动的结构。而且还可以具有将喷头组件26固定，使基板W沿着主扫描方向和副扫描方向移动的结构。
以下参照图3说明功能液滴喷出装置10的控制结构。功能液滴喷出装10，由具有功能液滴喷头7(压电元件驱动油墨喷头)、和与其连接用喷头界面基板11的喷头部分110；具有波形图案存储电路基板121、与其连接用界面基板122、和向波形图案存储电路基板121输送触发电路脉冲的触发电路基板123，驱动功能液滴喷头7的驱动部分120；具有直流电源131，向波形图案存储电路基板121供给电源的电源部分130；具有线型标度141，扫描进给量检出的进给量检出部分140；以及具有控制装置全体的第一PC151；和主要控制功能液滴喷头7驱动用的第二PC152的控制部分150所构成。
喷头部分110的功能液滴喷头7具有上述结构，使用两列每个喷头有180个喷嘴的喷嘴列。喷头界面基板111，自波形图案存储电路基板121送来的信号进行差动信号变换后，将驱动功能液滴喷出用的驱动压电元件的压电元件驱动信号、喷出图案数据和喷头动作图案数据输送给功能液滴喷头7。
驱动部分120的波形图案存储电路基板121，接受来自第二PC152的压电元件驱动信号生成驱动波形。而且，根据线性标度141发出的信号由对功能液滴喷出距离计数的触发电路基板123调制成触发电路脉冲，波形图案存储电路基板121接受此触发电路脉冲后预先由第PC152输送，依次取出存储的喷出图案数据和喷头动作图案数据。此外波形图案存储电路基板121，与触发电路脉冲同期生成和预先由第PC152输送、存储的波形图案数据对应的压电元件驱动波形。而且波形图案存储电路基板121，由电源部分131的直流电源131(喷头驱动用)供给电源。
进给量检出部分141，以0.5微米检出扫描的进给量，将位置脉冲输送到触发电路基板123。而且控制部分150的第二PC152，通过RS-232C与第一PC151连接，接受第一PC151发出的指令回送关于功能液滴喷头7的驱动结果等。而且第二PC152生成喷出图案数据，通过界面基板122将转送的控制信号送到波形图案存储电路基板121的同时，向触发电路基板123输送触发电路控制信号和喷出控制信号。
以下，就由功能液滴喷头7向工件(基板W)选择性喷出功能液滴描绘用喷出图案数据的生成方法以及功能液滴喷头7的喷头动作图案数据生成方法进行说明。这些喷出图案数据和喷头动作图案数据，可以根据与作用户设定的描绘对象用的基板W和功能液滴喷头7等有关的各种信息，按预定算法一并生成。
如图4所示，用户根据与基板W有关的信息(象素信息、芯片信息：基板数据)、有关功能液滴喷头7的信息(喷嘴信息、喷头移动信息：喷头数据)和其他信息(编辑任选项)，结合装置类别(R.G.B)的信息(装置数据)，通过编辑可以生成各装置(各颜色)的喷出图案数据(描绘数据)和喷头动作图案数据(位置数据)。这样，由于喷出图案数据和喷头动作图案数据可以按装置类别(颜色)生成，所以容易进行描绘处理。而且一旦设定了与基板W有关的信息和与功能液滴喷头7有关的信息，由于各装置的喷出图案数据和喷头动作图案数据一并生成，因而能容易而迅速地生成这些数据。
以下参照附图(图5～图30)，根据操作顺序进行说明，其中这些附图表示由存储了喷出图案数据和喷头动作图案数据的程序的第二PC152所显示的画面。其中这些操作不一定由第二PC152进行，也可以用其他PC进行，将生成的喷出图案数据和喷头动作图案数据记录在记录介质(CD-ROM等)上，将其读到第二PC152之中。
如图5所示，首先选择使用描绘装置的机种。然后选择该机种中每种颜色描绘装置和使用的功能液滴喷头7。其中由于使用的喷头都相同(“喷头1”)，所以以后设定的喷头数据(参照附图18至23)可以仅输入与这种“喷头1”有关的信息。反之，若其中使用的功能液滴喷头7完全不同，则应当分别输入三种喷头数据。
接着，如图6所示，选择描绘装置1(机种名称“646all-4d-200”)中使用的机种文件。其中附图7至17，是表示在这里选择的机种文件(机种文件名称“646all-4d-200”)的编辑画面。
附图7至10是选择单元图案(象素E的排列)的画面，图7、图8与图9，和图10所示的分别是选择马赛克排列，三角形排列，和条状排列的实例。其中除选择单元图案之外，还可以事先选择单元(象素E)的配色，能够对哪个单元E设定喷出哪种颜色的功能液滴。
其中在“单元的配色”一栏所示的字母“A”，表示芯片形成区域C的基准位置。而且三角形排列中的“A型”和“B型”，是指以最接近基准位置“A”的象素E作为全部象素(图8)，还作为半象素(图9)之间可能选择的差别。
而且各种排列的一个实例如图31A至图31C所示，分别有图31A的马赛克排列，图31B的三角形排列，和图31C的条状排列实例。正如其中所示的那样，条状排列是基体的纵列或横列完全同色的排列；马赛克排列是纵和横并排的任意三个象素以R.G.B三种颜色的排列。而且三角形排列是使象素排列形成阶梯状，任意相邻的三个象素以R.G.B三种颜色的排列。因此，各种颜色的选择，例如图7中马赛克排列的情况下，一旦将右上方的象素设定为“R”，同图所示的另外两个象素也被设定为“R”。而且，无论将哪个场所设定为“G”或“B”，必将决定其中所示的全部象素的配色。
图11是设定滤色器(CF：芯片形成区域)的设计值1的画面，可以设定象素数目、象素尺寸、象素间距和CF相对于工件的设置方向。CF相对于工件的设置方向，应当使工件基准(参见图33)处于右上方。因此在这里设定的设置方向下描绘的CF将处于图33所示的方向上。
图12是设定工件(基板W)设计值1的画面，可以设定(选择)CF数目、CF尺寸、CF间距、CF的中央间距(图中a)、工件(WF)尺寸和软盘盒间距。其中这里所述的“横”是指工件W的纵向。而且在图中示出的情况下，CF的中央间距被设定为“无”(在“有中央间距”项未核实)。这表示全部CF沿横向等间距排列(参见图33)。而且工件尺寸可以选择两种中任何一种，当然只要能输入数值，也可以设定成任意尺寸。此外所谓软盘盒间距是指放置工件W的软盘盒隔板的间隔，由于其挠曲量因工件W(玻璃材料制)厚度而异，所以可以选择两种间距。
图13是设定工件(基板)W的设计值2的画面，可以设定主基板排列标记与排头网眼间的距离以及主基板排列标记与辅助基板排列标记之间的距离。辅助基板排列标记虽然可以设计为多个，但是这里示出的是设计一个辅助基板排列标记的情况。其中这里所示的“描绘方向”是指上述的“主扫描方向(X方向)”，所述的“改行方向”是指上述的“副扫描方向(Y方向)”。而且，工件W有纵置和横置两种情况，为了在各种情况下都能识别出主基板排列标记与辅助基板排列标记，所以识别这些标记用的基板识别用照相机总计设置四台。
图14是进行(与工件W排列有关的)图像设定的画面，可以设定WF(工件W)排列用图像处理装置的设定值。这是因为标记的形状(图案)因工件W不同而异的缘故。如上所述，排列用的标记有两种，必须就其每一种分别设定图案名称、精度、复杂程度、中途的下限值和最终下限值。本实施方式中，如图37所示，主基板排列标记和辅助基板排列标记形状相同。其中所述的图案名称是事先设定的图案名称。因此必须实现登录多个图案。而且所谓精度是指选择该图案应当具有的精度等级，所谓复杂程度是指将标记形状的复杂程度数字化后，从1至10中选出的数值(图37中所示的排列标记，复杂程度为“5”，比其更复杂的情况下复杂程度将变成6～10)。
所谓中途下限值，是指用基板识别照相机识别时，若有一定程度的一致性，识别该标记时作为判断用基准的数值；所谓“中途下限值6500”是指一致性达到65％以上时能识别标记的数值。之所以设定中途下限值和最终下限值的原因在于，为了使处理高速化，将标记的识别(图案匹配)分成两个阶段进行。也就是说，第一阶段找到视为相似的图案(可以发现候补点)，在第二阶段将评价该候补点是否是真正匹配的图案。因此第一阶段中，若显示超过“中途下限值”的相关数值，则判断为“好像存在与此相当的图案”，交给第二阶段处理，在第二阶段若显示超过“最终下限值”，则判断该候补点是否真正匹配的图案。因此，由于“中途下限值”低的情况下出现的候补点多，所以第二阶段的处理将会增加。反之，提高“中途下限值”虽然处理速度增高，但是一旦过高会使本来不应发现的图案也被发现，所以设定值优选处于6000～7000左右。而且“最终下限值”由于是最终判断为“发现了”的阈值，所以这并不意味着其数值比“中途下限值”低，一般而言是在设想设定检索图像的最差状态。而且，若事先将该值设定得过低，则由于不能像预期那样检索图案，所以优选设定在8000以上。
图15是设定描绘信息的画面，能够设定喷出分辨率和X轴描绘速度作为每种描绘颜色(R.G.B)的描绘信息，而且还能设定冲洗次数作为各种描绘颜色所共有的描绘信息。喷出分辨率和X轴描绘速度，根据功能液体的种类，或者根据选择的功能液滴喷头7的特性变更，在本实施方式的情况下，由于使用同一种功能液滴和功能液滴喷头7，所以任何条件都是一样的。而且冲洗次数是，在描绘方向前后设置的冲洗区域内(参见图24)，对每个喷嘴分别设定前后各喷出(冲洗)若干次功能液滴的次数。
图16是设定象素内描绘设计的画面，可以设定油墨液滴在每此通过的象素内开始滴落的位置和油墨滴(功能液滴)的数目。这种情况下，第一和第二次通过时自滴落位置(喷出位置)向(描绘方向的)正方向喷出油墨，在第三和第四次通过时朝负方向喷出油墨。这是因为喷出方法采用所谓“区块方式进行”的缘故(参见图35)，当喷头相对于工件W沿正方向作相对移动时(即工件W沿负方向移动时)，第一次和第二次通过喷出功能液滴，而且当喷头沿负方向相对移动时(即工件W沿正方向移动时)，第三次和第四次通过喷出功能液滴。这样一来，在一个象素内分多次喷出功能液滴的情况下，由于能够设定得在各自不同的喷出位置上喷出功能液滴，所以能够在无不均的条件下描绘一个象素。
图17是进行任选项设定的画面，可以设定温度。这种情况下的温度专指工件W周围的温度，事先将补正工件W因温度变化而伸缩用的补正表存储起来，根据所设定的温度适当补正X轴台架23和/或Y轴台架24(功能液滴喷头7)的进给量。因此由于考虑了温度造成基板的伸缩，所以能使功能液滴落在工件W的所需的正确位置上。
另外，在供给工件W的吸附台架28附近备有温度计，每个一定时间用此温度计测定或者供给工件W时测定温度，根据此测定的温度可以对喷头动作图案数据进行补正。根据这种构成，能够节省用户设定的时间，同时还能进行正确的温度补正。而且优选使装载工件W的料盘周围温度，与向吸附台架28上供给时的周围温度相同。根据这种构成，能够进行更正确的温度补正。
图18是选择喷头文件的画面，可以选择与图5选择使用的喷头(“喷头1”)对应的文件。以下图19至图23是表示其中选择的喷头文件(喷头文件名称“喷头1”)的编辑画面。另外，在没有预先存储喷头文件的情况下，这里必须输入重新有关喷头文件的数据。
图19是输入喷头设计值的画面，可以设定每个喷头所相当的喷嘴数目、喷头在喷头拖架上安装的角度以及安装喷头拖架时喷嘴的间距。在每个喷头所相当的喷嘴数目中可以选择自排头喷嘴不使用喷嘴的数目和距最末尾喷嘴不使用喷嘴的数目，这是因为，如图36所示，因压电式功能液滴喷头7的特性而特别使喷嘴列37两端的油墨喷出量具有增多的倾向，在不使用这两端附近喷嘴的情况下使喷出量平均化的缘故。
而且这里所述的“喷头拖架”是指子拖架41，但在这种子拖架41上喷头的安装角度和拖架安装时喷嘴的间距中只要一方设定，另一方的数值也确定，因而可以只需输入其中任何一方的数值。另外，这里设定的喷嘴间距，优选设定成与象素间距不同的数值。本实施方式的情况下，使用与R.G.B描绘颜色对应的三个装置(设计相同、喷嘴排列相同)，虽然每个装置喷出油墨的位置各异，但是根据这种构成应当使用尽可能多的喷嘴使这三个着色图案着色。也就是说，能够极大地减少喷出不均(描绘不均)(假定在条状排列下考虑间距时，各种颜色只能使用1/3的喷嘴。)
图20是输入喷头拖架设计值1的画面，可以设定以喷头1A列为基准时各喷嘴列间的间距(至各喷嘴列37的距离)。其中喷头安装中的所谓“通常”和“反转”，分别表示安装喷头7至喷头12，以及使喷头1至喷头6中的功能液滴喷头7旋转180°后安装。
图21是输入喷头拖架设计值2的画面，可以设定喷头排列标记间的距离以及各标记与主喷嘴间的距离。喷头排列标记是用激光腐蚀设法等在子拖架41上形成的，以主喷头排列标记和辅助喷头排列标记形式分别在每处形成。而且所述的主喷嘴是指喷头1A列的端部喷嘴(图中用黑圆点表示)。
图22是进行喷头排列用图像设定的画面，可以设定喷头排列用图像处理装置的设定值。这是因为标记形状因拖架而异的缘故。如上所述，排列用的标记有两种，但这两种都必须设定图案名称、精度、复杂程度、中途下限值、最终下限值、双值化水准、面积下限值和面积上限值。其中关于图案名称、精度、复杂程度、中途下限值和最终下限值，因为与图14中的“WF排列用图像处理装置的设定”相同而省略其说明。
双值化水准、面积下限值和面积上限值，能用图案搭配法检出排列标记后，计算标记重心时使用的参数，双值化水准是将排列标记的亮度分解为256级的情况下，作为双值化基准点用的。也就是说，将低于其中设定的设定值之处将变成“黑”。而且面积下限值和面积上限值，是用双值化水准法分成“白”和“黑”区后，排列标记的“黑区面积”处于下限之上和上限之下的情况下，计算“黑区”的重心用的参数。因此，这种情况下当“黑区的面积”处于10％以上和35％以下的情况下，可以计算出排列标记的重心。
图23是进行任选项的设定，可以设定喷头驱动频率。根据这种喷头驱动频率和描绘方向的移动速度，虽然可以决定一个喷嘴喷出的可能的间距，但是却不一定输入(不是必须输入的项目)。
进而列举所用功能液滴喷出装置10的1至3中的装置1为例，以下在图24至图27中表示装置1数据文件的编辑操作。图24是输入机械设计值1的画面，可以设定装置尺寸。如上所述，工件W有纵置和横置两种情况，在各种情况下为了能检出主基板排列标记和辅助基板排列标记，总计设置四台基板识别照相机。以这四台照相机中的照相机1(以粗加号表示)作为基准，设定前后冲洗区的区域。另外，这里所示的图是从上方观察工件时的平面视图，表示与照相机1描绘方向的相对位置。
图25是输入机械涉及值2的画面，可以设定作基准用的照相机1与各照相机间在描绘方向上的距离。其中用照相机1和3识别工件W纵置情况下的标记，而用照相机2和4识别工件横置情况下的标记。
图26是输入轴参数的画面，可以设定描绘轴(X轴)的参数和改行轴(Y轴)的参数。作为描绘轴(X轴)的参数，输入分辨率、起动频率和最高速度稳定等待时间；其中分辨率等于线型标度的分辨率。而且，所谓最高速度稳定等待时间，是指喷头在描绘方向上扫描时，达到最高速度之前(能够达到稳定扫描之前)的等待时间。此外所述的起动频率，是指生成X和Y两轴的喷头动作图案数据的情况下，计算起动时的加速区(速度不稳定区域)用的频率。另一方面，改行轴(Y轴)参数的最高频率，可以用于以下说明的点丢失检查中。所谓点丢失检查是指，边使功能液滴喷头7移动边喷出功能液滴的方式进行检查，使用这里设定的最高频率，设定该时刻功能液滴喷头7的移动速度，以便计算出在什么位置上由哪个喷嘴38喷出功能液滴。
图27是输入点检查参数的画面，可以设定点检查时扫描区长度、点敏感元件1和敏感元件2之间的距离、点检查开始时排头喷嘴与敏感元件之间的距离、点检查敏感元件检出的宽度和点检查喷出时的喷出分辨率。这种“点检查参数”用于检查喷嘴堵塞，图示的双线长方形表示功能液滴的承受皿。而且之所以使用敏感元件1和敏感元件2两个敏感元件，是因为拖架41上的喷头列有两列，分别用于检查其中每列用的缘故。
以下参照图28至图30，就通过点击(click)主菜单中的“编辑任选项”栏(ICON)，能够设定编辑任选项的设定操作进行说明。图28是设定错开方式的画面，可以设定描绘颜色错开和扫描错开。所谓描绘颜色错开是指用多色(彩色)芯片形成区C进行描绘的情况，对装置1至3的功能液滴喷头7的各自喷嘴列37自一端开始赋予同一喷嘴符号时(由于喷嘴数为180，所以决定赋予编号1至180)，对于相邻象素(图32中R1与G1、G1与B1等)设定得不用同一编号的喷嘴38喷出功能液滴。这里由于错开的喷嘴数为“10”，所以用装置1的20号喷嘴喷出R1象素的情况下，决定用装置2的10号或30号喷嘴喷出G1的象素。而且，用装置1的1号喷嘴喷出R1的象素的情况下，决定用装置2的11号或相邻的喷嘴列37或功能液滴喷头7的171号喷嘴喷出G1的象素。因此，即使喷出量因喷嘴38的位置而产生波动的情况下(参见图36)，为了使与一个象素相当的功能液滴的喷出量平均化，也能使喷出不均难以辨认出来。
其中所谓各种排列(马赛克排列、三角形排列、条状排列)中相邻的象素是指，如图34A至图34C所示，象素β相对于象素α的排列。但是在图34C的条状排列中，作为与象素α相邻的象素除象素β之外还包括象素γ，也可以不用同一编号的喷嘴38喷出功能液滴。
另一方面，所谓扫描错开，通过多次喷出功能液滴描绘一个象素的情况下(本实施方式的情况下分四次描绘，参见图16)，能够分别用不同的喷嘴喷出功能液滴。其中由于错开的喷嘴数为80，所以用10号喷嘴对某个象素第一次通过喷出的情况下，第二次通过决定用90号喷嘴、第三次通过决定用170号喷嘴，第四次通过决定用相邻喷嘴列37或者功能液滴喷头7的70号喷嘴喷出。因此，因喷嘴38的位置而使功能液滴的喷出量即使产生波动的情况下(参见图36)，也能使对一个象素的功能液滴喷出量平均化。
图29是作为功能液滴喷头7对工件W(X阶段23)一种驱动方式的“逆向进行”进行设定用的画面，可以设定“逆向进行”或者“同向进行”。其中只要这里没有特别指定(本实施方式的情况下)，将变成“区块进行”。各种驱动方式如图35所示。
图30是对位标志文形式件(保存形式)进行设定的画面，可以设定“通常(BIN文本)”或者“调试(デバツク)(TXT文本)”中任何一种文本。其中“通常(BIN文本)”是形成功能液滴喷头7的驱动数据的二进制数据，而“调试(TXT文本)”是能用测试编辑程序表示的测试数据。
如上所述，对图7至图17表示的机种文件(基板数据)、图19至图23表示的喷头文件(喷头数据)、以及图24至图27表示的装置文件(装置数据)进行编辑后，必要时对图28至图30表示的编辑任选项进行设定后，通过点击图5所示的主菜单中的编辑栏可以进行编辑，生成每种描绘颜色(每个装置)的描绘数据(喷出图案数据)和位置数据(喷头动作图案数据)(参见图4)。这样一来，基于任意设定的象素信息和芯片信息(基板数据)，以及喷嘴信息和喷头移动信息(喷头数据)，由于用预定算法生成喷出图案数据和喷头动作图案数据，所以能够容易而迅速地一并生成全部喷嘴38的喷出图案数据和全部装置(功能液滴喷头7)的喷头动作图案数据。
然而本发明的描绘装置1和功能液滴喷出装置10，如上所述，也能用于各种平板显示器的制造方法、以及各种电子器件和光学器件的制造方法。其中以液晶显示装置的制造方法和有机EL装置的制造方法为例，说明使用这种描绘装置1和功能液滴喷出装置10的制造方法。
图38A-B是液晶显示装置中滤色器的部分放大图。图381是平面图，图38B是图38A的B-B’线断面图。断面视图各部分的断面线部分省略。
如图38A所示，滤色器400具有矩阵状排列的象素412(滤色元件)，象素与象素间的交界处由隔板413隔开。在一个一个象素412中导入红(R)、绿(G)、蓝(B)色中任何颜色的油墨(滤色材料)。本例中虽然是将红、绿和蓝配置成所谓三角形排列，但是也可以呈条状、马赛克等其他形状排列。
如图38B所示，滤色器400具有透过性基板411和遮光性隔板413。未形成隔板413(除去)的部分构成上述象素。导入这种象素412中的各色油墨构成着色层421。在隔板413和着色层421的上面形成表涂层422和电极层423。
图39是说明本发明实施方式的滤色器制造方法用的制造工序的断面视图。断面视图各部分的断面线部分省略。
使用热浓硫酸中添加了1重量％双氧水的洗涤液，洗涤由膜厚0.7毫米、长38厘米、宽30厘米的无碱玻璃制成的透明基板411的表面，用纯水漂洗后进行空气干燥，获得清洁表面。用溅射法在此表面上形成平均0.2微米膜厚的铬膜，得到金属层414’(图39LS1)。
在电热板上80℃下将此基板干燥5分钟后，用旋涂法在金属表面414上形成抗蚀层(图中未示出)。使描绘了所需矩阵图案形状的掩膜滤色器于此基板表面贴紧，用紫外线进行曝光。接着将其浸渍在含有8重量的氢氧化钾的碱性显影液中，除去未曝光部分的抗蚀层，使抗蚀层形成图案。进而使用以盐酸为主要成分的腐蚀液腐蚀除去露出的金属层。这样能够得到具有预定矩阵图案的遮光层(黑矩阵)414(图39S2)。遮光层414的膜厚大约0.2微米，遮光层414的宽度大约22微米。
再同样用旋涂法在此基板上涂布负片型透明丙烯酸系感光性树脂组合物415(图39：S3)。在100℃下将其预焙20分钟后，使用描绘了预定矩阵图案形状的掩膜滤色器进行紫外线曝光。同样用碱性显影液使未曝光部分的树脂显影，经纯水洗涤后旋转干燥。作为最终干燥的后焙在200℃下进行30分钟，通过使树脂部分固化形成存储层415，形成由遮光层414和存储层415构成的隔板413(图39：S4)。此存储层415的膜厚平均2.7微米，而且存储层415的宽度大约14微米。
为了改善由得到的遮光层414和存储层415所区分的着色层形成区(特别是玻璃基板411的露出面)对油墨的润湿性，进行干式蚀刻处理，即等离子处理。具体讲对氦气中加入20％氧气的混合气体施加高电压，在等离子气氛中形成腐蚀辉点，使基板在这种蚀刻辉点下通过，以此方式进行蚀刻。
然后用油墨喷射方式向被隔板413隔开形成的象素412内，导入上述R、G、B各色油墨(图39：S5)。功能液滴喷头7(油墨喷头)使用采用压电效果的精密喷头，向每个着色层形成区选择性喷吐10滴微小油墨滴。驱动频率设定为14.4kHz，即每滴油墨喷出间隔69.5微秒。喷头与靶间距离设定为0.3毫米。为了防止喷头在向作为靶的着色层形成区的运动过程中出现飞翔速度、飞行弯曲和被称为卫星的分裂散乱液滴，油墨的性质、不用说驱动喷头压电元件的波形(包括电压)是重要的。因此，将事先设定条件的波形制成程序，同时涂布红、绿、蓝三色油墨液滴，根据预定配色图案涂布油墨。
作为油墨(滤色材料)，例如将无机颜料在聚氨酯树脂低聚物之中分散后，加入作低沸点溶剂用的环己酮和乙酸丁酯，以及作高沸点溶剂用的丁基卡必醇乙酸酯，进而添加0.01重量％非离子型表面活性剂作为分散剂，制成粘度6～8厘泊的物质后使用。
接着使涂布的油墨干燥。首先在天然气体气氛中放置3小时，使油墨层416固化后，于80℃的电热板上加热40分钟，最后在烘箱中200℃下加热30分钟，对油墨进行固化处理，得到了着色层421(图39：S6)。
在上述基板上旋涂透明丙烯酸系树脂涂料，形成具有平滑表面的表面涂层422。进而在其上面根据所需图案形成由ITO(Indium Tin Oxide)形成的电极层423，制成滤色器400(图39：S7)。其中，这种表面涂层422，也可以借助于功能液滴喷头7(油墨喷头)以油墨喷射方式形成。
图40是用本发明的制造方法制造的作为电光学装置(平板显示器)一种实例的彩色液晶显示装置的断面图。断面图各部分的断面线有部分省略。
这种彩色液晶显示装置450，是将滤色器400与对向基板466组合后，在二者间封入液晶组合物465的方法制造的。液晶显示装置450的一个基板466的内侧面上，以矩阵状形成有TFT(薄膜晶体管)元件(图中未示出)和象素电极463。而且作为另一基板，设置有滤色器400，使与象素电极463相对的为止上排列有红、绿、蓝着色层421。
在基板466和滤色器400相对的每个表面上，形成有取向膜461和464。这些取向膜461和464，事先经摩擦处理可以使液晶分子根据一定方向排列。而且在基板466和滤色器400的外侧面上，分别粘结有偏光板462和467。作为背光一般使用荧光灯(图中未示出)与散射板的组件，利用使液晶组合物465具有使背光的透过率发生变化的功能进行显示。
另外，本发明的电光学装置，并不限于上述的彩色液晶显示装置，也可以利用例如薄型阴极射线管、或采用液晶光栏等的小型电视机、EL显示装置、等离子显示器、CRT显示器、FED(场致发射显示器)板等各种电光学装置。
以下参照图41至图53说明有机EL装置(有机EL显示装置)及其制造方法。
图41至图53同时表示包括有机EL元件的有机EL装置的制造方法及其结构。这种制造方法由存储部分形成工序、等离子处理工序、空穴注入/输送层形成工序和发光层形成工序组成的发光元件形成工序，以及对电极形成工序、密封工序构成。
在存储层形成工序中，利用在事先于基板501上形成了电路元件部分502上和电极511(也叫作象素电极)上的预定位置处层叠无机物存储层512a和有机物存储层512b的方法，形成具有开口部分512g的存储部分512。因此，存储部分形成工序包括在电极511的一部分上形成无机物存储层512a的工序，和在无机物存储层上形成有机物存储层512b的工序。
在无机物存储层512a的形成工序中，如图41所示，在电路元件部分502的第二层间绝缘膜544b上和象素电极511上形成无机物存储层512a。无机物存储层512a，例如用CVD法、涂敷法、溅射法、蒸镀法等在第二层间绝缘膜544b及象素电极511的全表面上形成SiO2、TiO2等无机物膜。
进而用蚀刻法等将此无机物膜图案化，设置与电极511的电极面511a的形成位置对应的下部开口部分。此时，必须事先形成无机物存储层512a，使之与电极511的周围部分重叠。因此以这种方式形成无机物存储层512a，使电极511的周围部分(一部分)与无机物存储层512a重叠，能够控制发光层510B的发光区域。
然后在有机物存储层512b的形成工序中，如图42所示，在无机物存储层512a上形成有机物存储层512b。利用光刻技术蚀刻有机物存储层512b，形成有机物存储层512b的上部开口部分512d。上部开口部分512d，设在与电极面511a和下部开口部分511c对应的位置上。
上部开口部分512d，如图42所示，优选形成得比下部开口部分511c宽，比电极面511a窄。这样包围无机物存储层512a下部开口部分512c的第一层叠部分512e，将会形成比有机物存储层512b还要向电极511的中央部分延伸的形状。这样一来通过使上部开口部分512d与下部开口部分512c连通，可以形成贯通无机物存储层512a和有机物存储层512b的开口部分512g。
接着在等离子处理工序中，于存储部分512的表面和象素电极的表面511a上形成显示亲油墨性的区域和显示疏油墨性的区域。这种等离子处理工序，可以大致分为预热工序，使存储部分512的上面(512f)和开口部分512g的壁面以及象素电极511的电极面511a具有亲油墨性的亲油墨化加工工序，使有机物存储层512b的上面512f和上部开口部分512d的壁面以具有疏油墨性的疏油墨化加工工序，冷却工序。
首先在预热工序中，将包含存储部分512的基板501加热至预定温度。加热，例如可以在装载基板501的阶段安装加热器，用该加热器在该每个阶段加热基板501的方式进行。具体讲，优选将基板501的预热温度设定在例如70～80℃范围内。
接着在亲油墨化工序中，在大气气氛中以氧气作处理气体进行等离子处理(O2等离子处理)。通过这种O2等离子处理，如图43所示，可以使象素电极511的电极面511a、无机物存储层512a的第一层叠部分512e以及有机物存储层512b的上部开口部分512d的壁面和上面512f亲油墨化。利用这种亲油墨处理，这些表面的各面因被导入羟基而被赋予亲油墨性。图43中，亲油墨处理的部分用点划线表示。
然后在疏油墨工序中，在大气气氛中以四氟化碳作处理气体进行等离子处理(CF4等离子处理)。通过这种CF4等离子处理，如图44所示，可以使上部开口部分512d的壁面和有机物存储层的上面512f疏油墨化。利用这种疏油墨处理，这些表面的各面因被导入氟原子而被赋予疏油墨性。图44中，疏油墨处理的部分用双点划线表示。
进而在冷却工序中，将为等离子处理而加热的基板501冷却到室温或者喷墨工序(功能液滴喷出)的管理温度下。通过将等离子处理后的基板501冷却到室温或者预定温度(例如进行喷墨工序所需的管理温度)下，能够使其后的空穴注入/输送层形成工序在一定温度下进行。
然后在发光元件形成中，利用在象素电极511上形成空穴注入/输送层和发光层的方法形成发光元件。发光元件形成工序包含四个工序。即在各象素电极上喷出形成空穴注入/输送层用第一组合物的第一功能液滴喷出工序，使喷出的第一组合物干燥在象素电极上形成空穴注入/输送层的空穴注入/输送层形成工序，在空穴注入/输送层上喷出形成发光层用第二组合物的第二功能液滴喷出工序，以及使喷出的第二组合物干燥在空穴注入/输送层上的形成发光层的发光层形成工序。
首先在第一功能液滴喷出工序中，用喷墨法(功能液滴喷出法)在电极面511a上喷出含有空穴注入/输送层形成材料的第一组合物。其中在此第一功能液滴喷出工序以后，优选在无水和氧的氮气、氩气等惰性气体气氛中进行。(其中在象素电极上仅形成空穴注入/输送层的情况下，可以不形成与有机物存储层相邻形成的空穴注入/输送层)
如图45所示，将含有空穴注入/输送层形成材料的第一组合物充填在油墨喷头(功能液滴喷头7)H中，使油墨喷头H的喷嘴与处于下部开口部分512c内的电极面511a相对，一边使油墨喷头H与基板501作相对移动，一边从喷嘴向电极面511a喷出每滴液量得到控制的第一组合物液滴510c。
这里使用的第一组合物，例如可以使用将聚乙烯二氧代噻吩(PEDOT)等聚噻吩衍生物与聚乙烯磺酸(PSS)等混合物溶解在极性溶剂中的组合物。作为极性溶剂，例如可以举出异丙醇(IPA)、正丁醇、γ-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1，3-二甲基-2-咪唑二酮(DMI)及其衍生物、卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯等乙二醇醚类等。其中空穴注入/输送层形成材料，既可以使用对于R·G·B各发光层510b来说是相同的材料，也可以随着每个发光层而改变。
如图45所示，被喷出的第一组合物510c，在经过亲油墨处理的电极面511a、和第一层叠部分512e上扩展，在下部、上部开口部分512c、512d内充满。在电极面511a上喷出的第一组合物量，取决于下部、上部开口部分512c和512d的大小、欲形成的空穴注入/输送层厚度、第一组合物中空穴注入/输送层形成材料的浓度等。而且第一组合物510c，不仅一次，也可以分数次喷出在同一电极面511a上。
接着在空穴注入/输送层形成工序中，如图46所示，对喷出后的第一组合物进行干燥处理和热处理，使第一组合物中所含的极性溶剂蒸发，在电极面511a上形成空穴注入/输送层510a。一旦进行干燥处理，第一组合物液滴510c中所含极性溶剂的蒸发，就主要发生在靠近无机物存储层512a和有机物存储层512b之处，在使极性溶剂蒸发的同时，空穴注入/输送层形成材料因浓缩而析出。
这样一来，如图46所示，即使电极面511a上因干燥处理而引起极性溶剂蒸发，也能用这种方法在电极面511a上形成由空穴注入/输送层形成材料构成的平坦部分510a。由于电极面511a上极性溶剂的蒸发速度大体均匀，所以空穴注入/输送层形成材料在电极面511a上被均匀浓缩，因而能形成均匀厚度的平坦部分510a。
然后在第二功能液滴喷出工序中，用喷墨法(功能液滴喷出法)在空穴注入/输送层510a上喷出含有发光层形成材料的第二组合物。在此第二功能液滴喷出工序中，为了防止空穴注入/输送层510a再溶解，作为发光层形成时用第二组合物的溶剂，使用对于空穴注入/输送层510a来说不溶性非极性溶剂。
但是从另一方面来看，空穴注入/输送层510a由于对非极性溶剂的亲和性低，即使在空穴注入/输送层510a上喷出含有非极性溶剂的第二组合物，既不能使空穴注入/输送层510a与发光层510b紧密附着，也不能均匀涂布发光层510b。因此为了提高非极性溶剂以及发光层形成材料与空穴注入/输送层510a表面的亲和性，优选在形成发光层之前进行表面改质工序。
为此首先说明表面改质工序。表面改质工序进行如下：用喷墨法(功能液滴喷出法)、旋涂法或浸涂法，在空穴注入/输送层510a上涂布表面改质用溶剂后，进行干燥。所述的表面改质用溶剂，是与发光层形成时用第一组合物中的非极性溶剂同一溶剂或者与之同类的溶剂。
例如用喷墨法涂布进行如下，如图47所示，将表面改质用溶剂填充在油墨喷头H中，使油墨喷头H的喷嘴与基板(即形成有空穴注入/输送层510a的基板)相对，一边使油墨喷头H与基板510作相对移动，一边从喷嘴H向空穴注入/输送层510a上喷出表面改质用溶剂510d。于是如图48所示，将表面改质用溶剂510d干燥。
接着在第二功能液滴喷出工序中，用喷墨法(功能液滴喷出法)在空穴注入/输送层510a上喷出含有发光层形成材料的第二组合物。如图49所示，将含有蓝色(B)发光层形成材料的第二组合物填充在油墨喷头H中，使油墨喷头H的喷嘴与处于下部、上部开口部分512c和512d内的向空穴注入/输送层510a相对，一边使油墨喷头H与基板501作相对移动，一边从喷嘴喷出每滴液量得到控制的第二组合物液滴510e，在空穴注入/输送层510a上形成这种第二组合物液滴510e。
作为发光层形成材料，可以使用聚烯烃系高分子衍生物、以及(聚)对苯撑乙烯醇衍生物、聚苯撑衍生物、聚乙烯醇卡必醇、聚噻吩衍生物、二萘嵌苯系色料、香豆素系色料、绕丹宁系色料、或者在上述高分子中掺杂有机EL材料后使用。例如可以在掺杂红荧烯、二萘嵌苯、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等后使用。
作为非极性溶剂，优选使用对空穴注入/输送层510a不溶性的溶剂，例如可以使用环己基苯、二氢苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。通过在发光层510b的第二组合物中使用这样的非极性溶剂，能够在不使空穴注入/输送层510a再溶解的条件下涂布第二组合物。
如图49所示，被喷出的第二组合物510e，在空穴注入/输送层510a上扩展，在下部、上部开口部分512c、512d内充满。第二组合物510e，不仅一次，也可以分数次在空穴注入/输送层510a上喷出。这种情况下，各次喷出的第二组合物量，既可以相同，也可以每次改变第二组合物的喷出量。
接着在发光层形成工序中，喷出第二组合物后通过实施干燥处理和热处理，在空穴注入/输送层510a上形成发光层510b。干燥处理，通过对喷出后的第二组合物进行干燥处理使第二组合物中所含的非极性溶剂蒸发，形成图50所示的蓝色(B)发光层510b。
进而，如图51所示，与蓝色(B)发光层510b的情况同样形成红色(R)发光层510b，最后形成绿色(G)发光层510b。其中，发光层510b的形成顺序，并不限于上述的顺序，也可以根据发光层形成材料决定形成顺序。
其次在对电极形成工序中，如图52所示，在发光层510b和有机物存储层512b的全部表面上形成阴极503(对电极)。其中阴极503也可以层叠形成多数材料。例如靠近发光层一侧优选形成功函数小的材料，例如可以使用钙、钡等，而且有时也可以根据材料在下层形成LiF等薄层。此外，上部一侧(密封侧)优选形成功函数比下部一侧高的材料层。这些阴极(阴极层)503，例如优选用蒸镀法、溅射法、CVD法等形成，从能够防止发光层510b的热损伤的角度来看，特别优选用蒸镀法形成。
另外，氟化锂，既可以仅在发光层510b上形成，也可以仅在蓝色(B)发光层510b上形成。这种情况下，由LiF形成的上部阴极层将于其他的红色(R)发光层和绿色(G)发光层510b、510b连接。而且在阴极12的上部，优选使用通过蒸镀法、溅射法、CVD法等形成的Al膜、Ag膜。此外在阴极层503上，也可以设有防止氧化用的SiO2、SiN等保护膜。
最后，在图53所示的密封工序中，在氮气、氩气、氦气等惰性气体气氛中，在有机EL元件504上层叠密封用板505。密封工序优选在氮气、氩气、氦气等惰性气体气氛中进行。若在大气中进行，当阴极503上产生了针孔等缺陷的情况下，水份和氧气等就会从这些缺陷部分侵入，有导致阴极503氧化之危险而不优选。最后，将阴极503与柔性基板的配线连接，同时通过将电路元件部分502的配线与驱动IC连接，可以得到本实施方式的有机EL装置500。
在象素电极511和阴极(对电极)503的形成中，也可以采用油墨喷头H的喷墨方式。也就是说，分别将液体电极材料导入油墨喷头H中，用油墨喷头H将其喷出，分别形成象素电极511和阴极(对电极)503(包括干燥工序)。
同样，本实施方式的功能液滴喷出装置10，也能用于电子释放装置的制造方法、PDP装置的制造方法和电泳显示装置的制造方法等中。
在电子释放装置的制造方法中，将R、G、B各色荧光材料导入多个功能液滴喷头7之中，使多个功能液滴喷头7作主扫描和副扫描，选择性喷出荧光材料，在电极上形成多个荧光体。其中电子释放装置，是包括FED(场致释放显示器)在内的上位概念。
在PDP装置的制造方法中，将R、G、B各色荧光材料导入多个功能液滴喷头7之中，使多个功能液滴喷头7作主扫描和副扫描，选择性喷出荧光材料，在背面基板上的多个凹部分别形成电泳体。其中优选将由带电微粒和染料形成的电泳体，封入微胶囊中。
另一方面，本实施方式的功能液滴喷出装置10，也能用于间隔形成方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、抗蚀层形成方法和光扩散体形成方法等。
间隔形成方法是在两块基板间形成应当构成微小的单元(cell)间隙的多个数微粒状间隔的方法，将构成间隔的材料导入多个功能液滴喷头7之中，使多个功能液滴喷头7作主扫描和副扫描，选择性喷出粒状材料，至少在一块基板上形成间隔。例如，用于上述液晶显示装置和电泳显示装置中的两块基板之间构成单元间隙的情况，当然也可以用于其他以这种微小间隙为必要条件的半导体制造技术之中。
在金属配线方法中，将液体金属材料导入多个功能液滴喷头7之中，使多个功能液滴喷头7作主扫描和副扫描，选择性喷出液体金属材料，在基板上形成配线的方法。例如可以用于连接上述液晶显示装置中的末级前置放大器和各电极的金属配线、以及用于连接上述有机EL装置中的TFT等与各电极的金属配线。而且除这种平板显示器之外，当然还可以用于一般的半导体制造技术之中。
在透镜形成方法中，将透镜材料导入多个功能液滴喷头7之中，使多个功能液滴喷头7作主扫描和副扫描，选择性喷出透镜材料，在透明基板上形成多个微小透镜的方法。例如可以用作上述的FED装置中电子束聚焦用器件。而且当然还可以用于各种光学器件之中。
在抗蚀层形成方法中，将抗蚀层材料导入多个功能液滴喷头7之中，使多个功能液滴喷头7作主扫描和副扫描，选择性喷出抗蚀层材料，在基板上形成任意形状抗蚀层的方法。例如上述各种显示装置中存储的形成，在以半导体制造技术为主体的光刻法中，当然能够广泛用于抗蚀层的涂布。
在光扩散体形成方法，是在基板上形成多个光扩散体的一种光扩散体形成方法，其中将光扩散材料导入多个功能液滴喷头7之中，使多个功能液滴喷头7作主扫描和副扫描，选择性喷出光扩散材料形成多个光扩散体方法。这种情况下当然也能适用于各种光学器件。
综上所述，根据本发明的喷出图案数据生成方法、喷出图案数据生成装置、功能液滴喷出装置和描绘装置，由于喷出图案数据是根据用户任意设定的象素信息、芯片信息和喷嘴信息生成的，所以全部喷嘴的喷出图案数据能够一并生成。也就是说，具有能在与喷嘴数目无关的情况下，容易而迅速地生成各喷嘴的喷出图案数据等效果。
而且，根据本发明的喷头动作图案数据生成装置，由于功能液滴喷头的喷头动作图案数据是根据用户设定的芯片信息和喷嘴信息生成的，所以能够容易而迅速地生成各种条件的喷头动作图案数据。
另外，根据本发明的液晶显示装置的制造方法、有机EL装置的制造方法、电子释放装置的制造方法、PDP装置的制造方法和电泳显示装置的制造方法，由于能够简单地将适于各装置使用的滤色器材料和发光材料等导入功能液滴喷头之中，因而能够提高制造效率。
而且根据本发明的滤色器的制造方法、有机EL的制造方法、间隔形成方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、抗蚀层形成方法和光扩散体形成方法，由于能简单地将适于电子器件和光学器件中用的滤色器材料和发光材料等导入功能液滴喷头之中，因而能够提高制造效率。

Claims (57)

1、一种喷出图案数据生成方法，是一种由按列设置在功能液滴喷头上的多个喷嘴选择性喷出功能液滴，对工件上的一个以上芯片形成区进行扫描，生成各喷嘴的喷出图案数据的喷出图案数据生成方法，其特征在于，其中包括：
设定与所述芯片形成区内象素排列有关的象素信息的象素设定工序，
设定与所述工件上的所述芯片形成区的配置有关的芯片信息的芯片设定工序，
设定与所述喷嘴的配置有关的喷嘴信息的喷嘴设定工序，以及基于所述工件与所述功能液滴喷头的位置关系，由设定的所说的象素信息、所述芯片信息和所述喷嘴信息，生成各喷嘴的喷出图案数据的数据生成工序。
2、根据权利要求1所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于：所述象素信息包括所述功能液滴的颜色信息，在所述数据生成工序中可以生成分色的喷出图案数据。
3、根据权利要求1所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于：其中所述多个喷嘴由在直线上按列排列的一个以上喷嘴列构成，所述喷嘴信息包括与所述喷嘴列的基准位置有关的信息。
4、根据权利要求3所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于：其中所述喷嘴信息，包括与所述喷嘴列中不使用喷嘴的位置有关的信息。
5、根据权利要求3所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于：其中所述喷嘴信息，包括与所述功能液滴喷头的主扫描方向或副扫描方向上的喷嘴间距，或者所述喷嘴列相对于主扫描方向或副扫描方向倾斜度有关的信息。
6、根据权利要求3所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于：其中所述功能液滴喷头，由所述喷嘴列按列设置的多个单位喷头构成。
7、根据权利要求1所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于：其中所述象素信息中包括象素排列的马赛克排列、三角形排列和条状排列中任何一种排列的信息。
8、根据权利要求1所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于：其中所述象素信息中包括有关象素数目、象素尺寸和相邻象素间间距的信息。
9、根据权利要求1所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于：其中所述芯片信息中包括与所述工件上芯片形成区域的设置方向、芯片形成区域数目、芯片形成区域尺寸和相邻芯片形成区域间间距有关的信息。
10、根据权利要求1所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于：其中还备有设定与一个象素内功能液滴的喷出位置有关的喷出位置信息的喷出位置设定工序，
所述数据形成工序中，可以根据所述喷出位置信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
11、根据权利要求1所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于：其中还备有设定与一个象素内功能液滴的喷出次数有关的喷出次数信息的喷出次数设定工序，
所述数据形成工序中，可以根据所述喷出次数信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
12、根据权利要求11所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于其中还备有利用所述喷出次数设定工序，将喷出次数设定为多次的情况下，设定喷嘴错开信息的喷嘴错开信息设定工序，以便分别从不同的喷嘴喷出功能液滴，
所述数据形成工序中，可以根据所述喷嘴错开信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
13、根据权利要求11所述的喷出图案数据生成方法，其特征在于：其中还备有利用所述喷出次数设定工序，将喷出次数设定为多次的情况下，设定位置错开信息的位置错开信息设定工序，以便分别在不同的喷出位置上喷出功能液滴，
所述数据形成工序中，可以根据所述位置错开信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
14、一种喷头动作图案数据生成方法，是一种喷头动作图案数据生成方法，其中一边使成列设置多个喷嘴的功能液滴喷头作相对于工件的移动，一边驱动所述功能液滴喷头，自所述多个喷嘴选择性喷出功能液滴，对所述工件上的一个以上芯片形成区域进行描绘用的，生成所述功能液滴喷头的喷头动作图案数据，其特征在于，其中包括：
设定与所述功能液滴喷头相对运动有关的喷头移动信息的喷头移动设定工序，
设定与所述工件上所述芯片形成区的配置有关的芯片信息的芯片设定工序，
设定与所述喷嘴配置有关的喷嘴信息的喷嘴设定工序，以及
由设定的所述喷头移动信息、所述芯片信息和所述喷嘴信息，生成所述喷头动作图案数据的数据生成工序。
15、根据权利要求14所述的喷头动作图案数据的数据生成方法，其特征在于：所述多个喷嘴由在直线上按列配置的一个以上喷嘴列构成，
所述喷嘴信息包括与所述喷嘴列的基准位置有关的信息。
16、根据权利要求15所述的喷头动作图案数据的数据生成方法，其特征在于：所述功能液滴喷头设置在拖架上，
所述喷嘴信息包括在所述拖架上形成的排列标记，和与所述喷嘴列基准位置的相对位置有关的信息。
17、根据权利要求14所述的喷头动作图案数据的数据生成方法，其特征在于：所述喷嘴信息包括与所述功能液滴喷头在主扫描方向或副扫描方向上的喷嘴间距有关的信息，或者与所述喷嘴列相对于主扫描方向或副扫描方向的倾斜度有关的信息。
18、根据权利要求14所述的喷头动作图案数据的数据生成方法，其特征在于：其中所述功能液滴喷头由按列排列的所述喷嘴列的多个单位喷头构成。
19、根据权利要求14所述的喷头动作图案数据的数据生成方法，其特征在于：其中所述芯片信息包括与所述工件上形成排列标记，以及最初描绘的排头芯片形成区域的相对位置有关的信息。
20、根据权利要求14所述的喷头动作图案数据的数据生成方法，其特征在于：还备有设定与一个象素内功能液滴喷出位置有关的喷出位置信息的喷出位置设定工序，
在所述数据生成工序中，可以根据所述喷出位置信息生成喷头动作图案数据。
21、根据权利要求14所述的喷头动作图案数据的数据生成方法，其特征在于：还备有设定与一个象素内功能液滴喷出次数有关的喷出次数信息的喷出次数设定工序，
在所述数据生成工序中，可以根据所述喷出次数信息生成喷头动作图案数据。
22、根据权利要求21所述的喷头动作图案数据的数据生成方法，其特征在于：其中还备有通过所述喷出次数设定工序，将喷出次数设定为多次的情况下，设定喷嘴错开信息的喷嘴错开信息设定工序，以便分别从不同的喷嘴喷出功能液滴，
所述数据形成工序中，可以根据所述喷嘴错开信息生成喷头图案数据。
23、根据权利要求22所述的喷头动作图案数据的数据生成方法，其特征在于：其中还备有通过所述喷出次数设定工序，将喷出次数设定为多次的情况下，设定位置错开信息的位置错开信息设定工序，以便分别在不同的喷出位置上喷出功能液滴，
所述数据形成工序中，可以根据所述位置错开信息生成喷头动作图案数据。
24、根据权利要求14所述的喷头动作图案数据的数据生成方法，其特征在于：还备有设定与所述芯片形成区域中象素的排列有关的象素信息的象素信息设定工序，
在所述数据形成工序中，可以根据所述象素信息生成喷头动作图案数据。
25、根据权利要求14所述的喷头动作图案数据的数据生成方法，其特征在于：还备有设定与所述工件周边温度有关信息的温度设定工序，
在所述数据形成工序中，可以根据所述温度信息生成喷头动作图案数据。
26、一种喷头图案数据生成装置，是一种由按列设置在功能液滴喷头上的多个喷嘴选择性喷出功能液滴，对工件上的一个以上芯片形成区进行扫描，生成各喷嘴的喷出图案数据的喷出图案数据生成装置，其特征在于：其中具有：
设定与所述芯片形成区内象素排列有关的象素信息用的象素设定机构，
设定与所述工件上的所述芯片形成区配置有关的芯片信息用的芯片设定机构，
设定与所述各喷嘴的配置有关的喷嘴信息用的喷嘴设定机构，
存储设定的所述象素信息、所述芯片信息和所述喷嘴信息的存储机构，以及
基于所述工件与所述功能液滴喷头间的位置关系以及所述存储机构存储的各种信息，生成各喷嘴的喷出图案数据的数据生成机构。
27、根据权利要求26所述的喷出图案数据生成装置，其特征在于：其中所述数据生成机构生成分色的喷出图案数据。
28、根据权利要求27所述的喷出图案数据生成装置，其特征在于：其中所述多个喷嘴，由在直线上整列配置的一列以上喷嘴列，所述喷嘴信息包括与所述喷嘴列的基准位置有关的信息。
29、根据权利要求28所述的喷出图案数据生成装置，其特征在于：其中所述喷嘴列信息包括与所述喷嘴列中不使用的喷嘴位置有关的信息。
30、根据权利要求28所述的喷出图案数据生成装置，其特征在于：其中所述喷嘴列信息，包括与所述功能液滴喷头的主扫描方向或副扫描方向上的喷嘴间距，或者所述喷嘴列相对于主扫描方向或副扫描方向倾斜度有关的信息。
31、根据权利要求28所述的喷出图案数据生成装置，其特征在于：其中所述功能液滴喷头，由所述喷嘴列按列设置的多个单位喷头构成。
32、根据权利要求27所述的喷出图案数据生成装置，其特征在于：其中所述象素信息中包括象素排列的马赛克排列、三角形排列和条状排列中任何一种排列信息。
33、根据权利要求27所述的喷出图案数据生成方装置，其特征在于：其中所述象素信息中包括与象素数目、象素尺寸和相邻象素间间距有关的信息。
34、根据权利要求27所述的喷出图案数据生成装置，其特征在于：其中所述芯片信息中包括与所述工件上芯片形成区域的设置方向、芯片形成区域数目、芯片形成区域尺寸和相邻芯片形成区域间间距有关的信息。
35、根据权利要求27所述的喷出图案数据生成装置，其特征在于：其中还备有设定与一个象素内功能液滴的喷出位置有关的喷出位置信息的喷出位置设定机构，
所述数据形成机构，可以根据所述喷出位置信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
36、根据权利要求27所述的喷出图案数据生成装置，其特征在于其中还备有设定与一个象素内功能液滴的喷出次数有关的喷出次数信息的喷出次数设定机构，
所述数据形成机构，可以根据所述喷出次数信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
37、根据权利要求36所述的喷出图案数据生成装置，其特征在于其中还备有利用所述喷出次数设定机构，将喷出次数设定为多次的情况下，设定喷嘴错开信息的喷嘴错开信息设定机构，以便分别从不同的喷嘴喷出功能液滴，
所述数据形成机构，可以根据所述喷嘴错开信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
38、根据权利要求36所述的喷出图案数据生成装置，其特征在于：其中还备有利用所述喷出次数设定机构，将喷出次数设定为多次的情况下，设定位置错开信息的位置错开信息设定机构，以便分别在不同的喷出位置上喷出功能液滴，
所述数据形成机构，可以根据所述位置错开信息生成各喷嘴的喷出图案数据。
39、一种功能液滴喷出装置，其特征在于其中备有权利要求27所述喷出图案数据生成装置。
40、根据权利要求39所述的功能液滴喷出装置，其特征在于：其中还备有设定与所述功能液滴喷头相对于所述工件相对移动有关的喷头移动信息的喷头移动设定机构，和
基于所述存储机构存储的各种信息以及所述喷头移动信息，生成所述功能液滴喷头的喷头动作图案数据的喷头动作图案数据生成机构。
41、一种描绘装置，其特征在于：其中备有与所述多种颜色对应数目的权利要求39中所述功能液滴喷出装置，以及
基于所述分色的喷出图案数据，由所述多功能液滴喷出装置描绘所述芯片形成区域的描绘机构。
42、根据权利要求41所述的描绘装置，其特征在于在所述多功能液滴喷出装置所具有的各功能液滴喷头上，配置有相同数目、相同配置的喷嘴列，从各自的喷嘴列一端赋予同一喷嘴编号的情况下，所述描绘机构并不用同一编号的喷嘴对相邻象素喷出所述功能液滴。
43、一种液晶显示装置的制造方法，是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，在滤色器基板上形成多个滤色元件的一种液晶显示装置的制造方法，其特征在于：
向多个的所述功能液滴喷头导入各种颜色的滤色材料，
使所述功能液滴喷头对所述基板作相对扫描，选择性喷出所述滤色材料，形成多个的所述滤色元件。
44、一种有机EL装置的制造方法，是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，在基板上多个象素象元上分别形成发光层的一种有机EL装置的制造方法，其特征在于：
向多个的所述功能液滴喷头导入各种颜色的发光材料，
使所述功能液滴喷头对所述基板作相对扫描，选择性喷出所述发光材料，形成多个的所述EL发光层。
45、一种电子释放装置的制造方法，其特征在于是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，在基板上形成多个荧光体的一种电子释放装置的制造方法，其特征在于：
向多个所述功能液滴喷头导入各种颜色的荧光材料，
使所述功能液滴喷头对所述电极作相对扫描，选择性喷出所述荧光材料，形成多个的所述荧光体。
46、一种PDP装置的制造方法，是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，在背面基板上的多个凹部分别形成多个荧光体的一种PDP装置的制造方法，其特征在于：
向多个所述功能液滴喷头导入各种颜色的荧光材料，
使所述功能液滴喷头对所述背面基板作相对扫描，选择性喷出所述荧光材料，形成多个的所述荧光体。
47、一种电泳显示装置的制造方法，是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，在电极上的多个凹部形成电泳体的一种电泳显示装置的制造方法，其特征在于：
向多个的所述功能液滴喷头导入各种颜色的电泳体材料，
使所述功能液滴喷头对所述电极作相对扫描，选择性喷出所述电泳体材料，形成多个的所述电泳体。
48、一种滤色器的制造方法，是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，制造在基板上由多个滤色元件排列而成滤色器的一种滤色器的制造方法，其特征在于：
向多个的所述功能液滴喷头导入各种颜色的滤色材料，
使所述功能液滴喷头对所述基板作相对扫描，选择性喷出所述滤色材料，形成多个的所述彩色滤色元件。
49、根据权利要求48所述的滤色器的制造方法，其特征在于：事先形成表涂层膜覆盖所述多个的滤色元件，
所述滤色元件形成后，
向多个的所述功能液滴喷头导入透光性涂敷材料，
使所述功能液滴喷头对所述基板作相对扫描，选择性喷出所述涂敷材料，形成所述表涂层膜。
50、一种有机EL的制造方法，是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，制造由含有EL发光层的多个的象素部象元在基板上排列而成有机EL的制造方法，其特征在于：
向多个的所述功能液滴喷头导入各种颜色的发光材料，
使所述功能液滴喷头对所述基板作相对扫描，选择性喷出所述发光材料，形成多个的所述EL发光层。
51、根据权利要求50所述的有机EL的制造方法，其特征在于：在多个的所述EL发光层与所述基板之间事先与所述EL发光层对应地形成多个象素电极，
向多个的所述功能液滴喷头导入液体电极材料，
使所述功能液滴喷头对所述基板作相对扫描，选择性喷出所述液体电极材料，形成多个的所述象素电极。
52、根据权利要求51所述的有机EL的制造方法，其特征在于事先形成对电极覆盖多个的所述EL发光层，
所述EL发光层形成后，
向多个的所述功能液滴喷头导入液体电极材料，
使所述功能液滴喷头对所述基板作相对扫描，选择性喷出所述液体电极材料，形成所述对电极。
53、一种间隔的形成方法，是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，在两块基板间形成应当构成微小的单元间隙的多个颗粒状间隔的一种间隔的形成方法，其特征在于：
向多个的所述功能液滴喷头导入构成间隔的颗粒材料，
使所述功能液滴喷头至少对一块所述基板作相对扫描，选择性喷出所述颗粒材料，在所述基板上形成所述间隔。
54、一种金属配线的形成方法，是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，在基板上形成金属配线的一种金属配线形成方法，其特征在于：
向多个的所述功能液滴喷头导入液体金属材料，
使所述功能液滴喷头对所述基板作相对扫描，选择性喷出所述液体金属材料，形成所述金属配线。
55、一种透镜的形成方法，是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，在基板上形成多个微透镜的一种透镜形成方法，其特征在于：
向多个的所述功能液滴喷头导入透镜材料，
使所述功能液滴喷头对所述基板作相对扫描，选择性喷出所述透镜材料，形成多个所述微透镜。
56、一种抗蚀层的形成方法，是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，在基板上形成任意形状的抗蚀层的一种抗蚀层形成方法，其特征在于：
向多个的所述功能液滴喷头导入抗蚀层材料，
使所述功能液滴喷头对所述基板作相对扫描，选择性喷出所述抗蚀层材料，形成所述抗蚀层。
57、一种光扩散体的形成方法，是使用权利要求39所述的功能液滴喷出装置，在基板上形成多个的光扩散体的一种光扩散体形成方法，其特征在于：
向多个的所述功能液滴喷头导入光扩散材料，
使所述功能液滴喷头对所述基板作相对扫描，选择性喷出所述光扩散材料，形成多个的所述光扩散体。
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