TW551007B - Fluid material filling apparatus and related filling method - Google Patents

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551007 A7 B7 五、發明説明（1 ) 發明背景 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明有關一種流體材料充塡裝置及一流體材料充塡 方法，其能夠使一流體材料不只塞滿進入一透孔或一淺閉 端鑽孔，同時也塞滿進入一具有極小直徑及/或深度尺寸 之特定閉端鑽孔。 傳統上，一印刷電路板係具有形成於其一絕緣基板主 體中之通孔。大致上係使用一厚膜網印法以具有流體材料 作用之導電漿料充塡該通孔。 根據傳統之以一導電漿料充塡該通孔之厚膜網印法， 第一步驟正準備一具有各種貫入孔徑之網印板，該孔徑位 在對應於預形成通孔之預疋部份。於下一*步驟中，該網印 板係放置在該絕緣基板主體上。然後，該導電漿料係供給 至該網印板上。然後，該網印板上之導電漿料係沿著網印 表面由一端移動或塗抹至該另一端，這是在藉著一橡皮刮 板推動該網印板之狀態下。如此，在由該橡皮刮板所給與 之壓力下，該導電漿料穿透該貫入孔徑及進入該通孔。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據上述習知方法，其可能強.制地推動該漿料進入一 透孔。然而，該習知方法未能較佳地應用於具有底部之透 孔。例如，當一佈線墊係放置在一基板之底部時，打通越 過該基板主體之通孔必定具有底部。.於此一案例中，每 通孔底部殘留之空氣未能藉著該漿料平順地取代。丨廉此， 不想要之殘留空氣之空隙將保留於各個通孔之底部中。當 安裝在一印刷電路板上之電子元件密度增加時、及當各個 通孔之直徑變小時或當各個通孔之深度變深時，此問題將 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4- 551007 A7 _ _______B7 五、發明説明（2 ) 變嚴重。 發明槪要 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 以上述問題之觀點而言，本發明具有提供一流體材料 充塡裝置及一流體材料充塡方法之目的，其能夠以一流體 材料充分地充塡一閉端孔，及特別是能夠供給該流體材料 深入一基板中所形成各個孔洞之底部。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲了達成上面之及其他相關之目的，本發明提供用於 以流體材料充塡一基板之孔洞之第一充塡裝置，其包括一 淸除區段，其當與一基板表面形成接觸時用於形成第一密 封關閉室，及用於使該第一密封關閉室減壓；一流體材料 之充塡區段，其當與該基板表面形成接觸時用於形成第二 密封關閉室，及用於使該流體材料塞滿進入在該第二密封 關閉室內之基板孔洞；及位移機制，其用於在該基板孔洞 已於該淸除區段之第一密封關閉室中減壓之後，使該流體 材料充塡區段之第二密封關閉室位移至該基板孔洞之一位 置。該第二密封關閉室係設在毗連該第一密封關閉室。該 流體材料充塡區段包含一供給區段，其用於在該第二密封 關閉室內之一基板表面上供給該流體材料；及一濟壓單元 ，其用於將該流體材料推入該第二密封關閉室內之基板孑L 洞。 根據上述之第一流體材料充塡裝置，該淸除區段使該 第一密封關閉室減壓，以致淸除定位於該第一密封關閉室 內之孔洞中之空氣或氣體。然後，該流體材料充塡區段之 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210'乂297公釐） -5- 551007 A7 ________ B7_ 五、發明説明（3 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第二密封關閉室在該基板表面上位移，以便.抵達該孔洞， 而如此減壓。於此狀態中，該流體材料充塡區段將該流體 材料推入該已減壓孔洞。於此案例中，因已預先充分地淸 除該孔洞中之空氣或氣體，該流體材料確實地進入該孔洞 °該孔洞之內部空間可完全充塡該流體材料。 根據該第一流體材料充塡裝置，其較佳的是該擠壓單 元於該第二密封關閉室中造成一項選自由旋轉運動、軌道 式運動、及搖擺運動所組成族群之運動。該轉動或搖擺式 擠壓單元可有效地由不同方向推動該流體材料。如此，其 變得可能以該流體材料確實地充塡該孔洞。 根據該第一流體材料充塡裝置，其較佳的是該擠壓單 元包含一該基板表面上滑動之滑動構件。該滑動構件能將 所供給之流體材料塗抹在該基板表面上及運送該收集之流 體材料進入該孔洞。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據該第一流體材料之充塡裝置，其較佳的是該滑動 構件係由一關於該基板表面傾斜之長方形彈性主體所構成 。與該基板表面呈傾斜關係地定位該滑動構件使其可能產 生一用於在給定角度推動該流體材料進入該孔洞之力量。 可用該流體材料充分地充塡該孔洞。當該滑動構件係由一 具有灑散長方形部份之彈性主體所製成時，每一長方形之 彈性件可撓性地回應於該擠壓單元之旋轉或位移方向之變 化，及亦可跟隨著該基板表面之波浪起伏形狀。可適當地 維持該滑動構件及該基板表面間之接觸。據此，該滑動構 件可在該基板表面上以較高之或然率有效地捕捉所供給之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 551007 A7 ___ _ B7 五、發明説明（4 ) 流體材料。如此，以該流體材料確實地充塡該孔洞。 根據該第一流體材料充塡裝置，其較佳的是該供給區 段在該擠壓單元上方於該第二密封關閉室內將該流體材料 保持在一預定之上方位置，及經由該第二密封關閉室之一 側壁及該擠壓單元間之一間隙供給在該基板表面上之流體 材料。該安排配置不須用於供給該流體材料之特別機構， 因爲該流體材料由在該擠壓單元上方之上方位置確實地向 下流至該基板表面上。再者，當該擠壓單元造成一旋轉運 動時，該擠壓單元之旋轉移動能增進該流體材料之流動指 向該基板表面。在這方面，轉動該擠壓單元係較佳。特別 地是，當該擠壓單元於該第二密封關閉室中造成一軌道式 運動時，周期性地增減在該擠壓單元及該第二密封關閉室 間之間隙。該擠壓單元及該第二密封關閉室間之間隙之周 期性變化能產生一幫浦功能，用於確實地移動或推動該流 體材料。 根據該第一流體材料充塡裝置，其較佳的是該該流體 材料充塡裝置尙包含一爲使該第二密封關閉室減壓之減壓 裝置。假如顯著數量之空氣或氣體留在該第二密封關閉室 中，該殘留之空氣或氣體及該流體材料將在該已減壓孔洞 再重新定位進入該第二密封關閉室時流入已於該第一密封 關閉室中減壓之孔洞。這將導致該流體材料之一不想要之 充塡操作。 根據該第一流體材料充塡裝置，比較於該第一密封關 閉室，其較佳的是該第二密封關閉室係已減壓至一較低之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 I· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -7- 551007 A7 B7 五、發明説明（5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填耗本頁) 真空程度。大致言之，當容納該流體材料之第二密封關閉 室已減壓至一較高之真空程度時，將發生一使得該流體材 料中所含溶劑迅速地蒸發之問題。該流體材料之流動性將 惡化。這將在一較早時機浪費該流體材料及需要一操作員 或工作者獲得新的流體材料。其結果是，將增加該流體材 料之消耗。在另一方面，當該第二密封關閉室係保持在一 適度之真空程度時，其變成可能防止該流體材料惡化及亦 防止該空氣或氣體進入該孔洞。 根據該第一流體材料充塡裝置，當該基板具有複數孔 洞時，其較佳的是該淸除區段之第一密封關閉室及該流體 材料充塡區段之第二密封關閉室造成一關於該基板位移運 動，以便在包括所有該複數孔洞之整個區域上方伸展。這 使其可能輕易地把該流體材料塞入該基板之複數孔洞。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據該第一流體材料充塡裝置，其較佳的是提供該控 制機制，其用於控制該淸除區段之一減壓狀態及亦控制該 位移機制之位移狀態。該第一密封關閉室具有一圍繞該第 二密封關閉室之環狀形狀。該控制機制位移該第一及第二 密封關閉室，以執行一最初之流體材料充塡操作，用於在 該第一密封關閉室已減壓之狀態下將該流體材料塞入該基 板之一孔洞。及然後該控制機制解除該第一密封關閉室之 已減壓狀態及位移該第一及第二密封關閉室，以致再次移 動在業已用該流體材料充塡一次之孔洞上，以執行一流體 材料之再充塡操作，用於將額外之流體材料塞入業已用該 流體材料充塡一次之孔洞。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 551007 A7 _________ B7 _ 五、發明説明（6 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 當該淸除區段之第一密封關閉室圍繞著該第二密封關 閉室時，位在該第二密封關閉室之前導側之第一密封關閉 室具有淸除來自該孔洞之空氣或氣體之功能。然而，位在 該第二密封關閉室之後引側之第一密封關閉室具有吸取出 自該孔洞之流體材料之功能。該流體材料可使一孔洞表面 剝落。爲避免此現象，一流體材料再充塡操作係在該第一 密封關閉室係保持在一實質上同等於該大氣壓力之適當程 度之狀態下執行。如此，其變成可能充塡該漿料，直至其 確實地抵達該孔洞表面。 根據該第一流體材料充塡裝置，其較佳的是該控制機 制造成該第一及第二密封關閉室於一最初之流體材料充塡 操作期間在第一速度下位移，及然後造成該第一及第二密 封關閉室於一流體材料之再充塡操作期間在高於該第一速 度之第二速度下位移。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲了在該基板表面上形成該第一及第二密封關閉室， 每一淸除區段及該流體材料之充塡區段具有一與該基板表 面形成接觸之接觸部份。於用以充塡該孔洞之流體材料之 充塡操作期間該孔洞具有一形成在該基板中之底部，該流 體材料黏著至該接觸部份。於該第一及第二密封關閉室之 位移操作期間，黏著至該接觸部份之流體材料係與該孔洞 中之流體材料形成接觸或合倂。於此案例中，該孔洞中之 流體材料係藉著黏著至該接觸部份之流體材料所引出，及 在此有使該孔洞中之流體材料可拉出該孔洞之可能性。爲 解決此問題，於該流體材料之再充塡操作期間增加該第一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~_ -9 - 551007 A7 B7 五、發明説明（7 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 及第二密封關閉室之位移速度可由黏著至該接觸部份之流 體材料有效地迅速分離該孔洞中之流體材料。這確實地防 止該流體材料被拉出該孔洞，及穩定該孔洞中之流體材料 之數量。 於該最初之流體材料充塡操作期間，其需要充分地供 給該流體材料深入該孔洞之底部。爲此目的，其想要的是 在一相當慢之速度下設定該第一及第二密封關閉室之位移 速度。在另一方面，於該流體材料之再充塡操作期間，該 孔洞幾乎已充塡該流體材料，且因此穩定或調整該流體材 料之充塡數量係重要的。爲此目的，其較佳的是藉著增加 該第一及第二密封關閉室之位移速度供給少量流體材料進 入該孔洞。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 再者，根據該第一流體材料充塡裝置，其較佳的是該 流體材料充塡裝置包含控制機制，其用於控制該淸除區段 之減壓狀態及亦控制位移機制之位移狀態。該第一密封關 閉室及該第二密封關閉室係彼此鄰接對齊。該控制機制控 制該位移機制，以致該淸除區段之第一密封關閉室及該流 體材料充塡區段之第二密封關閉室在該基板上於往前及向 後之兩方向中位移。於該第一及第二密封關閉室之一往前 衝程中，該控制機制使位在該第二密封關閉室之一前導側 之第一密封關閉室高度減壓，及在第一速度設定該第一及 第二密封關閉室之一位移速度。及然後於該第一及第二密 封關閉室之一向後衝程中，該控制機制解除位在該第二密 封關閉室之前導側或後引側之第一密封關閉室之減壓狀態 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） -10- 551007 A7 B7 五、發明説明（8 ) 及將該第一及第二密封關閉室之位移速度改變至高於該第 一速度之第二速度。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以此方式，其較佳的是安排該第一密封關閉室及該第 二密封關閉室，以便彼此鄰接定位。將該淸除區段之第一 密封關閉室維持在一高度減壓狀態及在一較低速度下（亦即 第一速度）於該往前衝程中位移該第一及第二密封關閉室可 有效地充分充塡該流體材料進入該孔洞。再者，解除該第 一密封關閉室之減壓狀態及在一較高速度（亦即第二速度）下 於該向後之衝程中位移該第一及第二密封關閉室可有效地 防止該孔洞中之流體材料拉出該孔洞，及亦有效地穩定或 調整該孔洞中之流體材料之數量。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明提供用於以一流體材料充塡一基板之複數孔洞 之第二充塡裝置，其包括第一淸除區段，其當與一基板表 面形成接觸時用於形成第一密封關閉室，及用於使該第一 密封關閉室減壓；及第二淸除區段，其當與該基板表面形 成接觸時用於形成第二密封關閉室，及用於使該第二密封 關閉室減壓。提供一流體材料之充塡區段，其當與該基板 表面形成接觸時用於在該第一及第二密封關閉室之間形成 第三密封關閉室，及用於使該流體材料塞滿進入在該第三 密封關閉室內之基板孔洞。提供一位移機制，其用於位移 該第一淸除區段之第一密封關閉室、該第二淸除區段之第 二密封關閉室、及該流體材料充塡區段之第三密封關閉室 。及提供一控制機制，其用於控制該第一及第二淸除區段 之減壓狀態及亦控制該位移機制之一位移狀態。該流體材 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -11 - 551007 A7 B7_ 五、發明説明（9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 料充塡區段包含一供給區段，其用於在該第三密封關閉室 內之一基板表面上供給該流體材料；及一擠壓單兀，其用 於將該流體材料推入該第三密封關閉室內之基板孔洞。該 控制機制控制該位移機制之位移方向，以致該第一至第三 密封關閉室在該基板上於來回兩方向中位移。於第一至第 三密封關閉室之往前衝程中，該控制機制使位於在該第三 密封關閉室之一前導側之第一密封關閉室減壓至第一減壓 狀態，及將第一至第三密封關閉室之位移速度設定在第一 速度。及於第一至第三密封關閉室之向後衝程中，該控制 機制使位在該第三密封關閉室之一前導側之第二密封關閉 室減壓至第二減壓狀態，該第二減壓狀態比該第一減壓狀 態減壓更多，且將第一至第三密封關閉室之位移速度改變 至高於該往前衝程中所設定第一速度之第二速度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在該流體材料充塡區段之第三密封關閉室之前側及後 側安排該第一及第二密封關閉室使其可能在該流體材料充 塡區段之第三密封關閉室之前導側於每一往前及向後衝程 中提供一適當之減壓空間，而不需由該第一至第三密封關 閉室所組成之位移組件以改變該對齊方向。 然後，於該往前衝程中，爲供給該流體材料深入每一 孔洞之底部，該第一密封關閉室係維持在一高度減壓狀態（ 亦即第一減壓狀態），且該位移速度係設定至一較低速度（亦 即第一速度）。這使其可能確保有充分之充塡量。 在另一方面，於該向後之衝程中，該第二密封關閉室 係維持在一適當之減壓狀態（亦即第二減壓狀態），且該位移 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公餐） 12- 551007 A7 B7 五、發明説明（10 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 速度係設定至一較高速度（亦即第二速度）。這使其可能當該 孔洞重新定位於該第二密封關閉室中時防止每一孔洞中之 流體材料被拉出該孔洞。然後，在增加該位移速度之狀態 下，供給少量流體材料以再充塡每一孔洞。這有效地防止 每一孔洞中之流體材料被藉著黏著至每一密封關閉室及該 基板表面間之接觸部份之流體材料拉出。如此，能穩定每 一孔洞中之流體材料之數量。 根據該第二流體材料充塡裝置，其較佳的是該於該往 前衝程中，該控制機制使位在該流體材料充塡區段第三密 封關閉室之一後引側之第二淸除區段第二密封關閉室減壓 至第三減壓狀態，該第三減壓狀態比該第一減壓狀態減壓 更多。這使其可能防止每一孔洞中之流體材料在每一孔洞 重新定位於該第二密封關閉室中時藉著該第二淸除區段被 吸出該孔洞。較佳地是該第三減壓狀態實質上係等於該大 氣壓力。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據該第二流體材料充塡裝置，其較佳的是於該向後 之衝程中，該控制機制使位在該流體材料充塡區段第三密 封關閉室之一後引側之第一淸除區段第一密封關閉室減壓 至第四減壓狀態，該第四減壓狀態比該第二減壓狀態減壓 更多。這使其可能防止每一孔洞中之流體材料在每一孔洞 重新定位於該第一密封關閉室中時藉著該第一淸除區段被 吸出該孔洞。較佳地是該第四減壓狀態實質上係等於目亥大 氣壓力。 爲了達成上面及其他之相關目的，本發明尙提供用於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4統格（21〇Χ297公釐） -13· 551007 A7 B7 五、發明説明（11 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以流體材料充塡一基板之孔洞之第一充塡方法，其包括下 列步驟：形成藉著一基板表面之預定區域所局部界定之第 一密封關閉室及使該第一密封關閉室減廳；形成由該基板 表面之預定區域所界定且定位毗連該第一密封關閉室之第 二密封關閉室；供給流體材料至在該第二密封關閉室內之 一基板表面上；及於由該第二密封關閉室至該第一密封關 閉室之方向中位移該第一及第二密封關閉室，及當該已減 壓孔洞重新定位進入該第二密封關閉室時，藉著使用一擠 壓構件在該基板表面上推動所供給之流體材料進入該基板 之一已於該第一密封關閉室減壓中之孔洞。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據該第一流體材料充塡方法，其較佳的是該擠壓構 件於該第二密封關閉室中造成一項選自由旋轉運動、軌道 式運動、及搖擺運動所組成族群之運動。該流體材料在該 第二密封關閉室內係保持在該擠壓構件上方之一預定較高 位置，及係經由該第二密封關閉室之一側壁及該擠壓構件 間之一間隙供給至該基板表面上。再者，其較佳的是該第 一流體材料充塡方法包含一使該第二密封關閉室減壓之步 驟。該第二密封關閉室比較於該第一密封關閉室係已減壓 至一較低之真空程度。 當該基板具有複數孔洞時，其較佳的是該第一及第二 密封關閉室關於該基板造成一位移運動，以便伸展過一包 含所有該複數孔洞之整個區域，以致用該流體材料充塡該 基板之複數孔洞。 例如，該第一密封關閉室具有一圍繞著該第二密封關 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 551007 A7 B7 五、發明説明（12 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 閉室之〗哀狀形狀。藉著位移該第一及第二密封關閉室施订 一最初之流體材料充塡操作，以當該已減壓孔洞重新定位 進入該第二密封關閉室時，將該流體材料塞入該基板之一 已於該第一密封關閉室減壓中之孔洞。及藉著使該第一密 封關閉室之減壓狀態解除至一實質上等於該大氣壓力之程 度，及位移該第一及第二密封關閉室以將額外之流體材料 塞入該孔洞而施行一流體材料之再充塡操作，該孔洞業已 在此一解除壓力狀態下用該流體材料充塡過一次。 於此案例中，該第一及第二密封關閉室於該最初之流 體材料充塡操作期間係在第一速度下位移，及然後，該第 一及第二密封關閉室於該流體材料之再充塡操作期間係在 高於該第一速度之第二速度下位移。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另一選擇爲，該第一密封關閉室及該第二密封關閉室 能彼此鄰接對齊，及在將該流體材料推入該基板之已減壓 孔洞之步驟期間於該基板上往前及向後之兩方向中位移。 於該第一及第二密封關閉室之一往前衝程中，位在該第二 密封關閉室之一前導側之第一密封關閉室係高度減壓，及 該第一及第二密封關閉室之一位移速度係設定至第一速度 。且於該第一及第二密封關閉室之一向後衝程中，解除位 在該第二密封關閉室之前導側或後引側之第一密封關閉室 之減壓狀態及將該第一及第二密封關閉室之位移速度設定 至高於該第一速度之第二速度。 再者，本發明提供用於以流體材料充塡一基板之複數 孔洞之第二充塡方法，其包括下列步驟：形成藉著一基板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 551007 A7 B7 五、發明説明（13 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之預定區域所局部界定之第一密封關閉室，形成由該基板 之預定區域所局部界定之第二密封關閉室，及於該第一及 第二密封關閉室之間由該基板之預定區域所局部界定之第 三密封關閉室；供給流體材料至在該第三密封關閉室內之 一基板表面上；施行一最初之流體材料充塡操作之步驟， 用於使該第一密封關閉室減壓至第一減壓狀態及在第一速 度下於由該第三密封關閉室至該第一密封關閉室之方向中 位移該第一至第三密封關閉室，以便當該已減壓孔洞重新 定位進入該第三密封關閉室時，將該基板表面上之流體材 料塞入該基板之一已於該第一密封關閉室中減壓之孔洞； 及施行流體材料再充塡操作，用於使該第二密封關閉室減 壓至比該第一減壓狀態釋壓更多之第二減壓狀態，及在高 於該第一速度之第二速度下於由該第三密封關閉室至該第 二密封關閉室之方向中位移該第一至第三密封關閉室，以 便當該已減壓孔洞重新定位進入該第三密封關閉室時，將 該基板表面上之流體材料塞入該基板之已於該第二密封關 閉室中減壓之孔洞。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據該第二流體材料充塡方法，其較佳的是於該最初 之流體材料充塡操作期間，位於該第三密封關閉室之一後 引側之第二密封關閉室係已減壓成比該第一減壓狀態釋壓 更多之第三減壓狀態。 根據該第二流體材料充塡方法，其較佳的是於該流體 材料之再充塡操作期間，位於該第三密封關閉室之一後引 側之第一密封關閉室係已減壓成比該第二減壓狀態釋壓更 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -16- 551007 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（14 ) 多之第四減壓狀態。 該流體材料充塡方法之功能及效果係類似於上述充塡 裝置所述者。 圖面簡述 本發明之上述及其他目的 '特色與優點將由以下之詳 細敘述會同閱讀所附圖面而變得更明顯，其中： 圖1係按照本發明第一具體實施例顯示一充塡裝置之 配置槪要圖； 圖2係按照本發明第一具體實施例說明一由該充塡裝 置所施行之充塡操作，以用導電漿料充塡每一通孔之視圖 圖3A係按照本發明第一具體實施例顯示該充塡裝置之 一擠壓單元之正視圖； 圖3 B係按照本發明第一具體實施例顯示該充塡裝置之 一擠壓單元之底部視圖； 圖3C係按照本發明第一具體實施例顯示該充塡裝置之 一擠壓單元之側視圖； 圖4A係按照本發明之第一具體實施例說明一導電漿料 充塡操作之視圖； 圖4B係按照本發明之第一具體實施例說明一導電漿料 再充塡操作之視圖； 圖5係按照本發明之第二具體實施例顯示一充塡裝置 之安排配置之槪要圖； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~ ^------ 一 17- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

551007 由該充塡裝 通孔之視圖 示一充塡裝置 A7 B7 五、發明説明（15 ) 圖6係按照本發明第二具體實施例說明 置所施行之充塡操作，以用導電漿料充塡每 圖7係按照本發明之第三具體實施例顯 之安排配置之槪要圖； 圖8係按照本發明第三具體實施例^ 一 说明〜由該充塡裝 置所施行之充塡操作，以用導電漿料充旖> . ^母〜通孔之視圖 圖9A係按照本發明第四具體實施例 一 」减不該充塡裝置之 一擠壓單兀之正視圖；及 圖9Β係按照本發明第四具體實施例 列頌不該充塡裝置之 擠壓單元之底部視圖。 主要元件對照表 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 充塡裝置 2 基座 3 止動器 3 A 吸入孔 4 充塡頭 5 淸除室 5a 淸除室 5b 淸除室 6 擠壓單元 7a 旋轉軸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 、18、 551007 A7 五、發明説明（16 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 7b 旋轉軸 8 驅動單元 9 漿料室 10 密封構件 11 密封構件 12 滑動構件 13 導電漿料 14 位移裝置 15 真空泵 16 真空泵 16a 真空泵 16b 真空泵 17 真空泵 20 樹脂薄片 21 通孔 30 控制單元 40 密封構件 41 密封構件 50 薄片止動器 5 1 溝槽 52 溝槽 53 吸入孔口 100 充塡裝置 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19- 551007 A7 ____B7_ 五、發明説明（17 ) 較佳具體實施例之敘述 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 下文將參考所附圖面說明本發明之較佳具體實施例。 遍及各圖面之相同零件係標以相同之參考數字。 下文將參考所附圖面說明本發明之較佳具體實施例。 第一具體實施例 圖1係按照本發明第一具體實施例顯示一充塡裝置之 配置槪要圖，該充塡裝置以一導電漿料（亦即流體材料）充塡 一具有基板作用之樹脂薄片之通孔。 於圖1中，樹脂薄片20係由一熱塑性樹脂製成。依據 本具體實施例，該樹脂薄片20包含65至3 5重量百分比之 聚醚·醚酮類樹脂及35至65重量百分比之聚醚-硫亞氨樹脂 。該樹脂薄片20具有25至75微米之厚度。當使用此種樹 脂薄片時，其可能藉著層疊複數樹脂薄片形成多層之基板 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 諸如銅箔片或鋁箔片之導電箔片（未示出）係附著在該樹 脂薄片20之一表面上。該佈線係藉著佈線設計該導電箔片 形成在該樹脂薄片20上。 於該導電箔片已附著在其表面上之樹脂薄片20中，複 數通孔2 1係形成在設有該界面連接之各部份。於佈線設計 該導電箔片之前或達成該導電箔片之佈線設計之後可施行 通孔21之形成。每一通孔21係藉著在樹脂薄片20之一不 具有該導電箔片之裸露表面上照射二氧化碳雷射所形成。 如此該通孔21係形成爲一閉端式通孔，該通孔具有由附著 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20- 551007 A7 ___ B7 五、發明説明（18 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 至該樹脂薄片20之導電箔片所界定之底部。於每一通孔2 1 之形成期間，於照射之輸出及時間兩方面精細地控制二氧 化碳雷射之照射，以致不會損壞該導電箔片。然而其可能 使用異於該二氧化碳雷射之任何適當機制，以形成該閉端 式通孔21。 在達成通孔21之形成之後，圖1所示充塡裝置係用於 以一導電漿料1 3充塡每一通孔2 1，該導電漿料1 3具有一 界面連接材料之作用。該導電漿料13係將銅、銀、錫或類 似之金屬製顆粒加入一接合劑樹脂或一有機溶劑，且然後 將他們搓揉成漿料狀態所製成。在以該導電漿料1 3充塡該 通孔21之前，其較佳的是以聚對苯二甲酸乙二醇酯或類似 之保護薄膜覆蓋該樹脂薄片20之表面。於此案例中，該二 氧化碳雷射係照射於該保護薄膜及該樹脂薄片20之一層疊 層上。該通孔2 1係形成在該樹脂薄片20中，而對應之開 口係設在該保護薄膜上。在以該導電漿料1 3達成該充塡操 作之後，該保護薄膜係移離該樹脂薄片20。使用該保護薄 膜可有效地使樹脂薄片20之表面維持淸潔。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在下文中，將詳細地說明按照本發明之第一具體實施 例之充塡裝置1。如圖1所示，該充塡裝置1具有一用於 安裝該樹脂薄片20之基座2。一用於固持該樹脂薄片20 之止動器3係設在該基座2上。該基座2在其表面上具有 一壁凹部份。當該止動器3係安裝在該基座2上時，一封 閉空間H系形成於該基座2及該止動器3之間。該止動器 3具有複數吸入孔3A，每一吸入孔於該封閉空間，a，及該止 本紙張尺度適财酬家縣（CNS ) A4規格（210X297公釐) '~ " -21 - 551007 A7 B7 五、發明説明（19 ) 動器3外側表面之間提供一傳送通道。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 當該樹脂薄片20係安裝在該止動器3上時，藉著一真 空泵17使該基座2及該止動器3之間所界定之封閉空間，A· 減壓。如此在經由該止動器3之複數吸入孔3 A所提供之一 真空下，安裝在該止動器3上之樹脂薄片20被吸向該止動 器3。這防止該樹脂薄片20浮動離開該止動器3，甚至當 一稍後敘述之淸除室5或漿料室9係遭受一吸入壓力時。 用於固持該樹脂薄片20之方法不限於上述方法。譬如，其 可能藉著於該基座2及該止動器3之間夾住該樹脂薄片2 0 之周邊將該樹脂薄片20牢靠地固持在該基座2上。 具有一上表面之樹脂薄片20係放置於安裝在該基座2 之止動器3上，而該通孔21係形成在該上表面上。該充塡 裝置1之一充塡頭4係放置在該樹脂薄片2〇上，以施行一 用於以該導電漿料1 3充塡該通孔2 1之充塡操作。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在下文中，將詳細地說明該充塡裝置1之充塡頭4之 配置。該充塡頭4具有一圓柱形狀。該充塡頭4具有形成 在其中心之漿料室9。一具有環狀形狀之淸除室5係設在 該漿料室9之外側。該淸除室圍繞著該漿料室9。該淸除 室5係經由一分隔壁設成毗連該漿料室9。 在該淸除室5之開口端側邊，一環狀之密封構件1 〇係 附著至界定該淸除室5之圓柱形壁面之一下端。同理，在 該漿料室9之開口端側邊，一環狀之密封構件11係附著至 界定該漿料室9之圓柱形壁面之一下端。當與該樹脂薄片 20形成接觸時，該環狀之密封構件1 〇提供一用於該淸除室 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 551007 A7 B7 五、發明説明（20 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5之密封關閉空間。當與該樹脂薄片2 〇形成接觸時，該環 狀之密封構件11提供一用於該漿料室9之密封關閉空間。 該淸除室5係連接至一真空泵16。該漿料室9係連接至一 真空泵1 5。當該密封構件i 〇及i i係放置在該樹脂薄片2〇 上時，該淸除室5及該漿料室9係密封關閉。在此狀態之 下，驅動該真空泵1 5及1 6以由該淸除室5及該漿料室9 排出空氣或氣體，藉此使該淸除室5及該漿料室9減壓。 一具有推動該導電漿料1 3進入各個孔洞21之機制作 用之擠壓單元6係可位移地支撐在該漿料室9中。參考圖 3 A至3 C說明該擠壓單元6之詳細操作。 如圖3 A所示，該擠壓單元6在一相向於該樹脂薄片 20之表面具有複數滑動構件12。複數滑動構件12之每一 構件係由一彈性材料製成。如圖3 C所示，該滑動構件1 2 之遠側端係分裂成複數長方形部份。每一長方形之彈性件 可撓性地回應於該擠壓單元之旋轉或位移方向變化，且亦 可遵循著該基板表面之波浪起伏形狀。可適當地維持該滑 動構件1 2及樹脂薄片20表面間之接觸。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 再者，如圖3B所示，複數滑動構件12係彼此平行地 排列。該滑動構件1 2係以使得每一滑動構件1 2關於樹脂 薄片20之表面傾斜之方式附著至該擠壓單元6。以與該基 板表面傾斜之關係定位每一滑動構件1 2使其可能在給與之 角度下產生一推動該導電漿料1 3進入該通孔21之力量。 可用該導電漿料1 3充分地充塡該通孔2 1。 如圖3 C所示，該擠壓單元6係連接至二旋轉軸7 a及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -23- 551007 A7 B7 五、發明説明（21 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 7b。這些旋轉軸7a及7b係分別連接至一定位在該充塡頭 4上方之旋轉驅動單元8。這些旋轉軸7a及7b係以相同 之速度在同一方向中旋轉。 每一旋轉軸7a及7b具有一設在其遠側端點之偏心栓 銷。該旋轉軸之偏心栓銷7a及7b係於同一方向中偏置相 同之距離。這些偏心栓銷係可旋轉地耦合在該擠壓單元6 中。當該旋轉軸7a及7b在同一方向中旋轉時，該軸7a及 7b之偏心栓銷造成一分別繞著該軸7a及7b之旋轉運動。 當該擠壓單元6與該偏心栓銷耦合時，該擠壓單元6本身 不會造成一繞著其自身之軸之旋轉運動。反之，該擠壓單 元6回應於該偏心栓銷之旋轉運動造成一軌道式運動。 以此方式，該擠壓單元6於該漿料室9中造成一軌道 式運動，而每一滑動構件12係固定在一預定方向中。每一 滑動構件12按照該擠壓單元6之移動造成一軌道式運動。 如此，供給在樹脂薄片20之表面上之導電漿料1 3係藉著 該滑動構件1 2由不同方向推動進入該通孔2 1。可用該導電 漿料1 3確實地充塡該通孔2 1。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該導電漿料1 3係在該漿料室9中之擠壓單元6上方保 持在一較高位置。該導電漿料1 3按照該擠壓單元6之軌道 式運動經由該擠壓單元6及該漿料室9之側壁間之一間隙 向下流至該樹脂薄片20之表面上。換句話說，本具體實施 例不須在樹脂薄片20之表面上用於供給該導電漿料13之 特別機構，因爲該導電漿料13在該擠壓單元6上方確實地 由該上方位置流至該基板表面上。再者，當該擠壓單元6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •24- 551007 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（22 ) 造成一軌道式運動時，該擠壓單元6及該漿料室9之側壁 間之間隙周期性地增減。該擠壓單元6及該漿料室9之側 壁間之間隙之周期性變化能產生一泵吸功能，用於確實地 移動或推動該樹脂薄片20之表面上之導電漿料1 3。可藉著 適當地改變該擠壓單元6及該漿料室9之側壁間之間隙調 整導電漿料13之流量。 提供一位移裝置14，以於一包含所有形成在該樹脂薄 片20上之複數通孔2 1之廣泛區域中位移該充塡頭4及該 驅動單元8。譬如，該位移裝置1 4具有一機器手臂或包含 一在X軸及Y軸軌道上前進之行進區段。當該充塡頭4及 該驅動單元8係安裝在該行進區段上時，其可能輕易地將 該充塡頭4及該驅動單元8定位至一包含所有該通孔21之 區域中之預期位置。另一選擇爲可提供該位移裝置14當作 一用於該X軸及Y軸中位移該基座2及該止動器3之機制 ，而用以關於該充塡頭4及該驅動單元8移動該樹脂薄片 20。總之，該位移裝置1 4不限制該位移物體，且因此能夠 以各種方式修改，只要其具有一造成該充塡頭4及該樹脂 薄片20間之相對移動之功能。 再者，該充塡裝置1包含一控制單元3 0。該控制單元 3 〇輸出一控制信號至該位移裝置1 4，以控制該充塡頭4及 驅動單元8之一位移方向及一位移速度。再者，該控制單 元3 0輸出控制信號至各個真空泵1 5至1 7，以控制該漿料 室9、該淸除室5及該基座2及止動器3之間所界定空間 'A1之已減壓狀態。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-25- 551007 A7 B7 五、發明説明（23 ) ±述充塡裝置1具有以下之功能。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 首先，附著至該充塡頭4之密封構件1 〇及11係放置 在安裝於該止動器3上之樹脂薄片20上。在此狀態下，該 真空泵16由該淸除室5排出該空氣或氣體，以使該淸除室 減壓至一預定較高之真空程度（例如0.01百萬巴（Mpa)或更 少）°同理，該真空泵15由該漿料室9排出該空氣或氣體 ，以使該漿料室9減壓至一預定適當之真空程度（例如0.06 百萬巴），其比該淸除室5之真空程度減壓更多。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次，當該擠壓單元6於該漿料室9中造成一軌道式 運動時，該位移裝置1 4沿著該樹脂薄片20之上表面位移 該充塡頭4。當藉著該位移裝置14位移時，該充塡頭4之 位移區域伸展過一包含在該樹脂薄片20之上表面上打開之 所有複數通孔21之整個區域。據此，當該充塡頭4位移過 一任蒽通孔21時，該通孔2 1首先進入定位在該充塡頭4 之徑向外側之淸除室5。該通孔2 1中之殘留空氣或氣體係 由該真空栗16所排出。其後，當該充塡頭4於同一方向中 前進時，如此已於該淸除室5中減壓之通孔21接下去進入 該漿料室9。擠壓單元6之滑動構件12塗抹該樹脂薄片2 〇 上所供給之導電漿料1 3及將所收集之漿料送入該通孔2 1。 於此案例中，當該通孔21中之殘留空氣或氣體係事先排出 時，該滑動構件1 2可平順及確實地推動該導電漿料1 3進 入該通孔2 1。因此，該通孔2 1之內側空間係完全地充塡該 導電漿料1 3。 本具體實施例不只使該淸除室5減壓，同時也因以下 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -26- 551007 A7 B7 五、發明説明（24 ) 之理由使該漿料室9減壓。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 假如只使該淸除室5減壓，一旦該通孔2 1重新定位置 進入該漿料室9，於減壓狀態下之每一通孔2 1將暴露於該 漿料室9中所殘留之空氣或氣體。於此案例中，含有大量 空氣或氣體之導電漿料13將進入該通孔21，導致一令人不 滿意之導電漿料充塡操作。這是爲甚麼本具體實施例使該 漿料室9減壓之故。 然而，當該漿料室9係已減壓時，重要的是使該漿料 室9維持在比該淸除室5減壓更多之適當真空程度。假如 該漿料室9之真空程度係設定至一較高程度，在此將有使 導電漿料中所含溶劑迅速蒸發之可能性，且其結果是使導 電漿料13之品質惡化。 圖2說明用於以該導電漿料1 3充塡每一通孔21之充 塡操作，雖然圖2只顯示該樹脂薄片20之一部份。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該充塡頭4沿著包含所有該通孔21之區域前進。當該 充塡頭4係定位在每一通孔21上時，殘留之空氣或氣體係 首先排出該通孔21，且然後該導電漿料13係塞入該通孔 2 1。依據本具體實施例，該淸除室5具有一環狀之形狀， 以便圍繞著該漿料室9。因此，當該塞入之導電漿料1 3重 新定位進入定位在該漿料室9後引側之淸除室5時，縱使 在該漿料室9中順利地達成該導電漿料充塡操作，在此有 該導電漿料1 3可能被吸出該通孔21之可能性。於此案例 中，該塞入之導電漿料1 3將由該通孔21之地表側邊局部 移去。這將導致一令人不滿意之導電漿料充塡操作。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -27- 551007 A7 B7 五、發明説明（25 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 考慮到此缺點，除了最初之充塡操作外，本具體實施 例施行一項再充塡操作。更特別地是如圖4A所示，該充塡 頭4係沿著包含所有該通孔21之整個區域前進，以在該淸 除室5係已減壓至一預定較高真空程度之狀態下用該導電 漿料13充塡每一通孔21。隨後如圖4B所示，在該淸除室 5已減壓更多至一實質上等於大氣壓力（例如〇.1百萬巴）之 程度之狀態下，返回該充塡頭4以用額外之導電漿料1 3再 充塡該通孔2 1。 加入該再充塡操作可有效地以該導電漿料確實充塡包 含該通孔2 1地表側邊之整個空間。 再者，其較佳的是於該導電漿料之再充塡操作期間， 該充塡頭4之位移速度係高於該充塡頭4於最初充塡操作 期間之位移速度。譬如，該充塡頭4於最初充塡操作期間 之位移速度係設定至30至60毫米/秒範圍中之某一速度 ，而該充塡頭4於該再充塡操作期間之位移速度係設定至 90至160毫米/秒範圍中之某一速度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據該第一具體實施例之配置，使得該密封構件1 〇及 1 1與該樹脂薄片20形成接觸，以形成該密封關閉淸除室5 及該漿料室9。於此案例中，其不可避免的是在樹脂薄片 20之表面上所供給之導電漿料13或該通孔21地表區域中 之導電漿料1 3黏著至該密封構件10及1 1。已附著有該導 電漿料1 3之密封構件1 0及1 1在樹脂薄片20之表面上滑 動。這造成黏著至該密封構件1 〇及1 1之導電漿料1 3與業 已塞入該通孔21之導電漿料1 3接觸或合倂之機會。該通 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ ' -28- 551007 A7 B7 五、發明説明（26 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 孔2 1中之導電漿料1 3可能被吸出朝向黏著至該密封構件 10及11之導電漿料13。其結果是，該塞入之導電漿料13 可能被拉出該通孔2 1。這將導致該通孔2 1中之已塞入導電 漿料1 3之不足。 爲了解決此問題，該充塡頭4於該再充塡操作期間之 位移速度係設定至一預定較高程度，以致在該業已塞入之 導電漿料1 3被黏著至該密封構件丨〇及1 1之導電漿料1 3 拉出該通孔21之前，塞入該通孔21中之導電漿料13可由 黏著至該密封構件1 〇及1 1之導電漿料1 3迅速地分開。這 確實地防止已塞入每一通孔21之導電漿料13之不足。如 此，其變成可能以該導電漿料1 3完全充塡每一通孔2 1。 於該最初之導電漿料充塡操作中，其必需確實地供給 該導電漿料1 3深入每一通孔21之底部。如此，其較佳的 是該充塡頭4於最初導電漿料充塡操作期間之位移速度係 設定至一相當小之値。 第二具體實施例 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將參考圖5及6說明按照第二具體實施例之充塡裝置 。與該第一具體實施例中所揭示完全相同之零組件或各部 份係標以相同之參考數字，且將不於本具體實施例中說明 〇 上述第一具體實施例之特徵爲該淸除室5具有一圍繞 著該漿料室9之環狀之形狀。當該通孔21如上述重新定位 進入定位在該漿料室9後引側之淸除室5時，此配置造成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） -29 - 551007 A7 B7 五、發明説明（27 ) 可能移去每一通孔2 1之地表區域中之導電漿料1 3之問題 〇 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲了解決該問題，本發明之第二具體實施例提供一具 有該淸除室5之充塡裝置，該淸除室係與該漿料室9之前 導側完全偏置。這確實地防止已一次塞入該通孔21中之導 電漿料被不宜地移去。 、 更特別地是如圖5及6所示，該淸除室5具有一連接 至該漿料室9之圓柱形表面之半圓柱形壁面。於圖6所示 說明圖中，該充塡頭4於最初之充塡操作期間位移至右側 方向。該淸除室5係完全位在該漿料室9之右側。具有一 環狀形狀之密封構件11形成一用於該漿料室9之密閉空間 。具有一半圓形狀之密封構件1 〇與密封構件11之一前導 側合作，以形成一用於該淸除室5之密閉空間。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 類似上述之第一具體實施例，除了最初之導電漿料充 塡操作以外，其較佳的是於該第二具體實施例中施行該導 電漿料再充塡操作。換句話說，已用該導電漿料1 3充塡過 該通孔2 1 —次。及然後在一稍後時機，該已塡塞之通孔2 1 係以額外側之導電槳料1 3再充塡。這使其可能以該導電漿 料1 3完全充塡每一通孔2 1。 該最初之充塡操作及後繼之再充塡操作係以下列方式 施行。 首先，於該最初之充塡操作中，該真空泵1 6由該淸除 室5排出該空氣或氣體，以使該淸除室5減壓至一預定聿交 筒真空程度（例如0.01百萬巴或更少）。同理，該真空栗15 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -30- 551007 A7 B7 五、發明説明（28 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由該漿料室9排出該空氣或氣體，以使該漿料室9減壓至 一預定適當之真空程度（例如〇.〇6百萬巴），這是比該淸除 室5之真空程度減壓更多。其次，在上述之已減壓狀態下 ，該位移裝置14沿著該樹脂薄片20之上表面位移該充塡 頭4，而該擠壓單元6於該漿料室9中造成一軌道式運動 。該充塡頭4於一預定方向中連續地移動在該樹脂薄片20 上，以用該導電漿料13充塡在該樹脂薄片20上打開之每 一通孑L 2 1。 其次，於該後繼之再充塡操作中，顛倒該充塡頭4之 位移方向，以用額外之導電漿料1 3再充塡該已經塞入通孔 2 1。於此案例中，其可能颠倒該充塡頭4之方向，以致該 淸除室5係定位在該漿料室9之前導側。換句話說，在該 最初充塡操作之往前衝程及該再充塡操作之向後衝程之每 一衝程中，該淸除室5總是定位在該槳料室9之前導側。 另一選擇爲其亦可能未改變該充塡頭4之位置，雖然該淸 除室5於該向後衝程中係定位在該漿料室9之後引側。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於任何案例中，該淸除室5於該再充塡操作中之已減 壓狀態係改變至一實質上等於該大氣壓力（例如〇. 1百萬巴） 之程度，這比該最初充塡操作中之高真空程度完全地減壓 更多。這有效地防止該已經塞入導電漿料1 3被拉出該通孔 21 ° 再者，類似該第一具體實施例，其較佳的是該充塡頭 4於該導電漿料再充塡操作期間之位移速度係高於該充塡 頭4於該最初充塡操作期間之位移速度。這有效地防止該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -31 - 551007 A7 B7 五、發明説明（29 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 已經塞入導電漿料1 3藉著黏著至該密封構件1 〇及1 1之導 電漿料1 3被拉出該通孔2 1。可用該導電漿料1 3完全地充 塡每一通孔2 1。 第三具體實施例 將參考圖7及8說明按照第三具體實施例之充塡裝置 。與該第一具體實施例中所揭示完全相同之零組件或各部 份係標以相同之參考數字，且將不於本具體實施例中說明 0 上述第一具體實施例之特徵爲該淸除室5具有一圍繞 著該漿料室9之環狀之形狀。按照第三具體實施例之充塡 裝置之特徵爲該淸除室5係分開成二獨立室及定位在該漿 料室9之相向兩側。在下文中，將更詳細地說明按照該第 三具體實施例之充塡裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如7及8圖所示，該充塡裝置1〇〇具有一薄片止動器 50，該樹脂薄片20係安裝在該止動器上。該薄片止動器具 有二、外側及內側溝槽5 1及52，該二溝槽彼此合作而具有 一吸入孔口 53之作用，用於牢靠地固持該樹脂薄片20 °這 些溝槽51及52沿著該樹脂薄片20未提供通孔21之長方 形外圍延伸。換句話說，該溝槽5 1及52係定位成彼此田比 連之類似封閉溝槽及延伸成一長方形之形狀。 在該樹脂薄片20已安裝在該薄片止動器50上之後， 該真空泵1 7經由該吸入孔口 53排出該樹脂薄片20及該薄 片止動器50間之空間中之殘留空氣。其結果是，一由該真 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -32- 551007 A7 B7 五、發明説明（30 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 空泵1 7所造成之吸入壓力在該溝槽5 1及5 2所圍繞之區域 作用於該樹脂薄片20及該止動器50之面臨表面上。在該 吸入孔口 53之真空程度等於或高於各個淸除室5a及5b中 之真空程度。經過此吸入操作，該樹脂薄片20係藉著由該 外側溝槽5 1所施加之吸入壓力所固定。同時，由該內部溝 槽52所施加之吸入壓力於由該外側溝槽52偏置朝內之內 部區域中確保該樹脂薄片20之固定。 如上所述，內部及外側溝槽51及52之真空程度等於 或高於該淸除室5a及5b之真空程度。其結果是，等於該 內部及外側溝槽51及52之真空程度之吸入壓力在該溝槽 51及52所圍繞之區域作用於該樹脂薄片20及該止動器50 之面臨表面上。據此，縱使該已減壓淸除室5 a及5 b造成 一用於由該薄片止動器剝離或分開該樹脂薄片20之力量， 該樹脂薄片20係牢靠地固定在該薄片止動器50上，因爲 一更高之吸入壓力作用於該樹脂薄片20之底部上。如此， 該樹脂薄片20不會浮離該薄片止動器50。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 當一吸入壓力係可用時，該吸入孔口 53固定該樹脂薄 片20之外圍。該薄片止動器50於形成該通孔21之區域中 具有一用於支撐該樹脂薄片20之後方表面之平坦表面。因 此，當該樹脂薄片20係安裝在該薄片止動器上時，該通孔 2 1不變形。其變成可能充分地施行以該導電漿料1 3充塡該 通孔2 1之操作。 以此方式，具有一上表面之樹脂薄片2 0係放置在該薄 片止動器50上，該通孔21係在該上表面上打通。該充塡 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -33- 551007 A7 B7 五、發明説明（31 ) 裝置100之充塡頭4係放在該樹脂薄片20上方，以施行一 充塡操作，用於將該導電漿料1 3塞滿進入該通孔2 1。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在下文中，將詳細地說明該充塡裝置1 00充塡頭4之 配置。如圖8所示，該充塡頭4具有一長方形之盒子形狀 。該充塡頭4具有形成在其中心之漿料室9。二獨立之淸 除室5a及5b係設在該漿料室9之相向兩側。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在該淸除室5a及5b之開口端側邊，一密封構件4〇係 附著至界定每一淸除室5a及5b之長方形盒子壁面之一下 端。同理，在該漿料室9之開口端側邊，一密封構件4 1係 附著至界定該漿料室9之長方形盒子壁面之一下端。當與 該樹脂薄片20形成接觸時，該密封構件40提供用於每一 淸除室5 a及5b之密封關閉空間。當與該樹脂薄片20形成 接觸時，該密封構件41提供一用於該漿料室9之密封關閉 空間。該漿料室9係連接至一真空泵1 5。該淸除室5a係連 接至一真空泵l6a。該淸除室5b係連接至一真空泵16b。 當該密封構件40及41係放置在該樹脂薄片20上時，該淸 除室5a及5b及該漿料室9係密封關閉。在此狀態下，驅 動該真空泵15, 16a及16b以由該淸除室5a及5b以及由該 漿料室9排出該空氣或氣體，藉此使該淸除室5a及5b及 該漿料室9減壓。 具有與該第一具體實施例中所說明相同配置之擠壓單 元6係可位移地支撐在該漿料室9中。 上述充塡裝置100施行最初之充塡操作及後繼之再充 塡操作，用於以該導電漿料1 3於下列方式下充塡每一通孔 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -34· 551007 A7 B7 五、發明説明（32 ) 21 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 首先，於該最初之充塡操作中，該真空泵〗6t)由定位 在該充塡頭4之一前導側之淸除室5b排出該空氣或氣體， 以使該清除室5b減壓至一預定較高真空程度（一 〇〇1百萬 巴或更少，譬如一 0.1百萬巴）。同理，該真空泵15由該漿 料室9排出該空氣或氣體，以使該獎料室9減壓至一預定 之適當真空程度（例如- 0.06百萬巴），這是比該淸除室5b 之真空程度減壓更多。於此案例中，定位在該充塡頭4之 後引側之另一淸除室5 a係維持在一等於大氣壓力之預定程 度（例如0.1百萬巴）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述之減壓狀態下，該位移裝置1 4於一預定方向中 沿著該樹脂薄片20之上表面位移該充塡頭4，而該擠壓單 元6於該漿料室9中造成一軌道式運動。該充塡頭4於該 往前衝程期間之位移速度係參考通孔2 1之深度、配置、及 總數設定至一約由30至60毫米/秒之範圍中之適當値。 據此，當該充塡頭4於一方向中在該樹脂薄片20上滑動時 ，以該導電漿料1 3充塡在該樹脂薄片2 0上打通之每一通 孔21。 當該充塡頭4抵達該樹脂薄片20之遠端時，顛倒該充 塡頭4之位移方向以於該向後衝程中施行該再充塡操作。 換句話說，該已塞入通孔21係再次以該導電漿料13充塡 〇 於最初之充塡操作期間，爲供給充分數量之導電獎料 1 3至每一通孔2 1，該充塡頭4之位移速度係設定至一相對 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35- 551007 A7 B7 五、發明説明（33 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 較慢之値。然而於此案例中，該通孔21上層中之導電漿料 1 3有被黏著至該密封構件40及4 1之導電漿料1 3拉出之可 能性。 因此，該充塡頭4於該再充塡操作期間之位移速度比 較於最初充塡操作期間之位移速度係設定至一較高之値。 譬如，該位移速度係設定至約由90至1 60毫米/秒範圍中 之某値，且參考欲塡塞之導電漿料1 3之數量或成份作調整 。以此設定，縱使已黏著至該密封構件40之導電漿料1 3 接觸或倂入該通孔2 1中之塞入導電漿料1 3，其變得可能在 該已塞入導電漿料1 3被黏著至該密封構件40及4 1之導電 漿料1 3拉出之前迅速地分開他們。如此，施行該再充塡操 作使其可能以該導電漿料1 3完全地充塡每一通孔2 1。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在該再充塡操作期間，該真空泵1 6a使定位在該充塡 頭4前導側之淸除室5a減壓至一適當之真空程度（例如-0.06百萬巴），這是比最初之充塡操作期間之較高真空程度 減壓更多。將該淸除室5a之真空程度設定至一適當之真空 程度使其可能由該通孔21之上層排出該空氣，而防止該導 電漿料1 3沸騰及亦防止該導電漿料1 3被拉出該通孔2 1。 該漿料室9中所支撐之擠壓單元6供給額外側之導電漿料 13進入該通孔21，以便消除導電漿料13之不足。於此案 例中，定位在該充塡頭4之後引側之淸除室5b係位移至一 實質上等於該大氣壓力（例如0.1百萬巴）之程度。 第四具體實施例 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -36- 551007 A7 B7 五、發明説明（34 ) 其次，將參考圖9A及9B說明本發明之第四具體實施 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述第一具體實施例之特徵爲使用該二旋轉軸7a及7b 以造成該擠壓單元6於該漿料室9中造成一軌道式運動。 該第四具體實施例之特徵爲該擠壓單元6繞著其自身 之軸造成一旋轉運動。更特別地是如圖9 A及9B所示，根 據該第四具體實施例之擠壓單元6具有附著在其遠側端點 之十字形旋轉輪葉之單一旋轉軸7。具有一長方形彈性體 之滑動構件1 2係附著至該擠壓單元6之每一輪葉。該滑動 構件1 2係關於樹脂薄片20之表面傾斜。 構成配備有該滑動構件12之擠壓單元6以便於該充塡 頭4之位移移動期間造成一繞著其自身軸之旋轉運動可有 效而確實地由不同方向推動該導電漿料1 3進入每一通孔2 1 。如此，每一通孔21之內側空間可完全地充塡該導電漿料 1 3，而不會留下任何空隙或裂縫。 修改之具體實施例 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據上述第一及第二具體實施例，該漿料室9係架構 成一圓柱形狀。然而，該漿料室9之形狀可修改成如該第 三具體實施例中所說明之長方形或能變爲其他之多邊形。 特別是當該漿料室9係架構成如第三具體實施例中所說明 之長方形盒子形狀時，其較佳的是將該擠壓單元6架構成 具有一長方形之主體，以致該擠壓單元6能於該漿料室9 中造成一軌道式運動。於此案例中，其變成可能確實地供 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'乂297公釐） -37- 551007 A7 _______B7 五、發明説明（35 ) 給一充分數量之導電漿料i 3進入位於該樹脂薄片2〇之外 圍附近之通孔2 1。 再者，其可能構成該擠壓單元6，以便施行一搖擺運 動，而取代施行一軌道式運動或一旋轉運動。於此案例中 ，其亦較佳的是該擠壓單元6造成一複雜之運動，如這些 運動之組合，而取代施行這些運動之一。 再者，上述具體實施例係用於以該導電漿料充塡一樹 脂薄片之通洞之充塡裝置及方法。該樹脂薄片構成多層基 板之一邰份。然而，一金屬或其他材料能用作本發明能應 用之一基板。本發明之使用不限於一絕緣基板。據此，本 發明之充塡裝置及方法可寬廣地應用至任何欲以流體材料 充塡之單孔或多孔之基板。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -38-

Claims (1)

1. 551007 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 第91 122379號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國92年6月30日修正 1 . 一種以流體材料充塡一基板的一孔洞之充塡裝置， 其特徵爲： 一淸除區段（4,16)，其當與一基板表面形成接觸時用於 形成第一密封關閉室（5)，及用於使該第一密封關閉室（5)減 壓； 一流體材料之充塡區段（4,1 5)，其當與該基板表面形成 接觸時用於形成第二密封關閉室（9)，及用於使該流體材料 (13)塞滿進入在該第二密封關閉室（9)內之基板（20)孔洞（21) ;及 位移機制（1 4)，其用於在該基板孔洞已於該淸除區段 (4,16)之第一密封關閉室（5)中減壓之後，使該流體材料充 塡區段（4, 15)之第二密封關閉室（9)位移至該基板（20)孔洞 (21)之一位置；其中 該第二密封關閉室（9)係設成毗連該第一密封關閉室（.5) j 該流體材料充塡區段（4,15)包含一供給區段，其用於在 該第二密封關閉室（9)內之一基板表面上供給該流體材料 (I3);及一擠壓單元（6)，其用於將該流體材料（13).推入該第 二密封關閉室（9)內之基板（20)孔洞（21)。 2 .如申請專利範圍第1項之充塡裝置，其中該擠壓單 元（6)於該第二密封關閉室（9)中造成一選自由旋轉運動、軌 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） Γ7Ί ： ' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

   551007 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 2 道式運動、及搖擺運動所組成族群之運動。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 3 .如申請專利範圍第1項之充塡裝置，其中該擠壓單 元（6)包含一在該基板表面上滑動之滑動構件（1 2)。 4 .如申請專利範圍第3項之充塡裝置，其中該滑動構 件（1 2)係由一關於該基板表面傾斜之長方形彈性主體所構成 〇 5 .如申請專利範圍第1至4項任一項之充塡裝置，其 中該供給區段在該擠壓單元（6)上方於該第二密封關閉室（9) 內將該流體材料（13)保持在一預定之上方位置，及經由該第 二密封關閉室（9)之一側壁及該擠壓單元（6)間之一間隙供給 該流體材料（13)至該基板表面上。 6 .如申請專利範圍第1項之充塡裝置，尙包含一爲使 該第二密封關閉室（9)減壓之減壓裝置（15)。 7 .如申請專利範圍第6項之充塡裝置，其中比較於該 第一密封關閉室（5)，該第二密封關閉室（9)係已減壓至一較 低之真空程度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 .如申請專利範圍第1項之充塡裝置，其中 該基板（20)具有複數孔洞（21)，及 該淸除區段（4,16)之第一密封關閉室（5)及該流體材料 充塡區段（4,15)之第二密封關閉室（9.)造成一關於該基板（20) 之位移運動，以便在包括所有該複數孔洞（21)之整個區域上 方伸展，藉此以該流體材料（1 3 )充塡該基板之複數孔洞（2 1) 〇 - 9 .如申請專利範圍第1項之充塡裝置，尙包括控制機 本^張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） rjl ： 551007 A8 B8 C8 D8 _ _ 六、申請專利範圍 3 制（30)，其用於控制該淸除區段（4, 16)之一減壓狀態及亦控 制該位移機制（14)之位移狀態，其中 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 該第一密封關閉室（5)具有一圍繞該第二密封關閉室（9) 之環狀形狀； 該控制機制（30)位移該第一及第二密封關閉室（5,9)， 以執行一最初之流體材料充塡操作，用於在該第一密封關 閉室（5)已減壓之狀態下將該流體材料（13)塞入位於該第一 密封關閉室（5)中之基板（20)之一孔洞（21);及 該控制機制（30)解除該第一密封關閉室（5)之已減壓狀 態及位移該第一及第二密封關閉室（5,9)，以致再次移動在 業已用該流體材料（13)充塡一次之孔洞（21)上’以執行一流 體材料之再充塡操作，用於將額外之流體材料（13)塞入業已 用該流體材料（13)充塡一次之孔洞（21)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 〇.如申請專利範圍第9項之充塡裝置，其中該控制機 制（3 0)造成該第一及第二密封關閉室（5,9)於一最初之流體 材料充塡操作期間在第一速度下位移，及然後造成該第一 及第二密封關閉室（5,9)於一流體材料之再充塡操作期間.在 高於該第一速度之第二速度下位移。 1 1.如申請專利範圍第1項之充塡裝置，尙包括控制機 制（30)，其用於控制該淸除區段（4, 16)之一減壓狀態及亦控 制該位移機制（14)之位移狀態，其中 該第一密封關閉室（5)及該第二密封關閉室（9)係彼此鄰 接對齊； . 該控制機制（30)控制該位移機制（14) ’以致該淸除區段 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3 - 551007 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 4 之第一密封關閉室（5)及該流體材料充塡區段之第二密封關 閉室（9)在該基板（20)上於往前及向後之兩方向中位移；_ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於該第一及第二密封關閉室（5,9)之一往前衝程中，該 控制機制（3〇)使位在該第二密封關閉室（9)之一前導側之第 一密封關閉室（5)高度減壓，及在第一速度下設定該第一及 第二密封關閉室（5,9)之一位移速度；及 於該第一及第二密封關閉室（5,9)之一向後衝程中，該 控制機制（30)解除位在該第二密封關閉室（9)之前導側或後 引側之第一密封關閉室（5)之減壓狀態，及將該第一及第二 密封關閉室（5,9)之位移速度改變至高於該第一速度之第二 速度。 1 2. —種以流體材料充塡一基板的複數孔洞之充塡裝置 ，其特徵爲： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第一淸除區段（4,16b)，其當與一基板表面形成接觸時 用於形成第一密封關閉室（5b)，及用於使該第一密封關閉室 (5b)減壓；及第二淸除區段（4，16a)，其當與該基板表面形成 接觸時用於形成第二密封關閉室（5a)，及用於使該第二密封 關閉室（5a)減壓； 一流體材料之充塡區段（4,15)，其當與該基板表面形成 接觸時用於在該第一及第二密封關閉室（5b，5 a)之間形成第 三密封關閉室（9)，及用於使該流體材料（13)塞滿進入在該 第三密封關閉室（9)內之基板（20)孔洞（2 1); 位移機制（14)，其用於位移該第一淸除區段之第一密封 關閉室（5b)、該第二淸除區段之第二密封關閉室（5a)、及該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 4 - 551007 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 5 流體材料充塡區段之第三密封關閉室（9);及 控制機制（3 〇)，其用於控制該第一及第二淸除區段之減 壓狀態及亦控制該位移機制（14)之一位移狀態’其中 該流體材料充塡區段（4, 15)包含一供給區段，其用於在 該第三密封關閉室（9)內之一基板表面上供給該流體材料 (13);及一擠壓單元（6)，其用於將該流體材料（I3)推入該第 三密封關閉室（9)內之基板（2〇)孔洞（21) ’ 該控制機制（3 0)控制該位移機制（1 4)，以致該第一至第 三密封關閉室（5b，5 a，9)在該基板（20)上於來回兩方向中位移 於第一至第三密封關閉室（5b，5a,9)之往前衝程中，該 控制機制（30)使位於在該第三密封關閉室（9)之一前導側之 第一密封關閉室（5b)減壓至第一減壓狀態，及將第一至第三 密封關閉室（5b，5a，9)之位移速度設定在第一速度，及 於第一至第三密封關閉室（5b，5a，9)之向後衝程中，該 控制機制（3〇)使位在該第三密封關閉室（9)之一前導側之第 二密封關閉室（5 a)減壓至第二減壓狀態，該第二減壓狀態比 該第一減壓狀態減壓更多，且將第一至第三密封關閉室 (5 b，5 a，9)之位移速度改變至高於該往前衝程中所設定第一 速度之第二速度。 . 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項之充塡裝置，其中於該往前 衝程中，該控制機制（3 0)使位在該流體材料充塡區段之第三 密封關閉室（9)後引側之第二淸除區段之第二密封關閉室 (5a)減壓至第三減壓狀態，該第三減壓狀態比該第一減壓狀 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS )八4規格（210X297公釐） Γ7Ί ： ' --·---5------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 551007 A8 B8 C8 D8 __ 六、申請專利範圍 6 態減壓更多。 1 4 .如申請專利範.圍第12或13項之充ί具裝置^其中於 該向後之衝程中，該控制機制（3 0)使位在該流體材料充塡區 段之第三密封關閉室（9)後引側之第一淸除區段之第一密封 關閉室（5b)減壓至第四減壓狀態，該第四減壓狀態比該第二 減壓狀態減壓更多。 1 5 . —種以流體材料充塡一基板的一孔洞之充塡方法， 其特徵爲包括下列步驟： 形成藉著一基板表面之預定區域所局部界定之第一密 封關閉室（5)及使該第一密封關閉室（5)減壓之步驟； 形成由該基板表面之預定區域所界定且定位毗連該第 一密封關閉室（5)之第二密封關閉室（9)之步驟； 供給該流體材料（I3)至在該第二密封關閉室(9)內之一 基板表面上之步驟；及 於由該第二密封關閉室（9)至該第一密封關閉室（5)之方 向中位移該第一及第二密封關閉室（5,9)，及當該已減壓孔 洞（2 1)重新定位進入該第二密封關閉室（9 )時，藉著使用一 擠壓構件（6)在該基板表面上推動所供給之流體材料（1 3)進 入該基板（20)之一已於該第一密封關閉室（5)中減壓之孔洞 (21)之步驟。 . 1 6 ·如申請專利範圍第1 5項之充塡方法，其中該擠壓構 件（6)於該第二密封關閉室（9)中造成一選自由旋轉運動、軌 道式運動、及搖擺運動所組成族群之運動。 · I7.如申請專利範圍第15或16項之充塡方法，其中該 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 7^ ~ —：—τ-----------訂------ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 551007 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 7 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 流體材料（13)在該擠壓構件（6)上方於該第二密封關閉室（9) 內保持在一預定之上.方位置，及經由該第二密封關閉室（9) 之一側壁及該擠壓構件（6)間之一間隙供給該流體材料（13) 至該基板表面上。 1 8 .如申請專利範圍第1 5項之充塡方法，尙包含一使該 第二密封關閉室（9)減壓之步驟。 19.如申請專利範圍第18項之充塡方法，其中比較於該 第一密封關閉室（5)，該第二密封關閉室（9)係已減壓至一較 低之真空程度。 20 .如申請專利範圍第1 5項之充塡方法，其中 該基板具有複數孔洞（21)，及 該第一及第二密封關閉室（5，9)造成一關於該基板（20) 之位移運動，以便在包括所有該複數孔洞（21)之整個區域上 方伸展，藉此以該流體材料（13)充塡該基板之複數孔洞（21) 〇 2 1 .如申請專利範圍第1 5項之充塡方法，其中 該第一密封關閉室（5)具有一圍繞該第二密封關閉室（.9) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之環狀形狀； 藉著位移該第一及第二密封關閉室（5,9)執行一最初之 流體材料充塡操作，以當該已減壓孔洞（21)重新定位進入該 第二密封關閉室（9)時在該第一密封關閉室（5)已減壓之狀態 下將該流體材料（13)塞入位於該基板（20)之一孔洞（21);及 藉著使該第一密封關閉室（5)之已減壓狀態解除至一實 質上等於大氣壓力之程度及位移該第一及第二密封關閉室 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 7 - 551007 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 8 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (5,9)，以執行一流體材料之再充塡操作，用於在此一解除 壓力狀態下將額外之·流體材料（I3)塞入業已用該流體材料 (13)充塡一次之孔洞（21)。 22 ·如申請專利範圍第2 1項之充塡方法，其中該第一及 第二密封關閉室（5,9)於該最初之流體材料充塡操作期間在 第一速度下位移，及然後該第一及第二密封關閉室（5,9)於 該流體材料之再充塡操作期間在高於該第一速度之第二速 度下位移。 23 .如申請專利範圍第1 5項之充塡方法，其中 該第一密封關閉室及該第二密封關閉室（5,9)係彼此鄰 接對齊，及在將該流體材料推入該基板（20)之已減壓孔洞 (2 1)之步驟期間於該基板（20)上往前及向後之兩方向中位移 5 於該第一及第二密封關閉室（5,9)之一往前衝程中，位 在該第二密封關閉室（9)之一前導側之第一密封關閉室（5)係 高度減壓，及該第一及第二密封關閉室（5,9)之一位移速度 係設定至第一速度，及 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於該第一及第二密封關閉室（5,9)之一向後衝程中，解 除位在該第二密封關閉室（9)之前導側或後引側之第一密封 關閉室（5)之減壓狀態，及將該第一及第二密封關閉室（5,9) 之位移速度設定至高於該第一速度之第二速度。 24. —種以流體材料充塡一基板的複數孔洞之充塡方法 ，其特徵爲包括下列步驟： * 形成藉著一基板（20)之預定區域所局部界定之第一密封 本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) A4規格（210X的7公釐） -8 - 551007 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 9 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 關閉室（5b)，形成藉著該基板（2〇)之預定區域所局部界定之 第二密封關閉室（5 a)，及藉著該基板（2 0)之預定區域所局部 界定之於該第一及第二密封關閉室(5 b，5a)之間之第三密封 關閉室（9)之步驟； 供給該流體材料（13)至在該第三密封關閉室（9)內之一 基板表面上之步驟； 施行一最初之流體材料充塡操作之步驟’用於使該第 一密封關閉室（5b)減壓至第一減壓狀態’及在第一速度下於 由該第三密封關閉室（9)至該第一密封關閉室（5b)之方向中 位移該第一至第三密封關閉室（5b，5 a，9) ’以便當該已減壓 孔洞（2 1)重新定位進入該第三密封關閉室（9)時’將該基板 表面上之流體材料（I3)塞入該基板（20)之一已於該第一密封 關閉室（5b)中減壓之孔洞（21);及 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 施行流體材料再充塡操作，用於使該第二密封關閉室 (5a)減壓至比該第一減壓狀態釋壓更多之第二減壓狀態’及 在高於該第一速度之第二速度下於由該第三密封關閉室（9) 至該第二密封關閉室（5a)之方向中位移該第一至第三密封關. 閉室（5b，5 a，9)，以便當該已減壓孔洞（21)重新定位進入該第 三密封關閉室（9)時，將該基板表面上之流體材料（13)塞入 該基板（20)之一已於該第二密封關閉室（5a)中.減壓之孔洞 (21)。 2 5.如申請專利範圍第24項之充塡方法，其中於該最初 之流體材料充塡操作期間，位於該第三密封關閉‘室（9)之一 後引側之第二密封關閉室（5 a)係已減壓成比該第一減壓狀態 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） _ 9 - 551007 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1〇 釋壓更多之第三減壓狀態。 26.如申請專利範，圍第24項之充塡方法，其中於該流體 材料之再充塡操作期間，位於該第三密封關閉室（9)之一後 引側之第一密封關閉室（5b)係已減壓成比該第二減壓狀態釋 壓更多之第四減壓狀態。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家禚準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 1〇 _