JPS60131129A - 部品吸着装置 - Google Patents

部品吸着装置

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JPS60131129A
JPS60131129A JP58240228A JP24022883A JPS60131129A JP S60131129 A JPS60131129 A JP S60131129A JP 58240228 A JP58240228 A JP 58240228A JP 24022883 A JP24022883 A JP 24022883A JP S60131129 A JPS60131129 A JP S60131129A
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suction
pipe
suction pipe
vacuum generator
parts
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JP58240228A
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Toshiaki Sugimura
利明 杉村
Yoshihiko Misawa
義彦 三沢
Masazumi Seno
瀬野 眞透
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0408Incorporating a pick-up tool
    • H05K13/0409Sucking devices
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/53Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313Means to assemble electrical device
    • Y10T29/53191Means to apply vacuum directly to position or hold work part

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、チップ状部品の移載等を真空吸着ノズルにて
行う際に使用する部品吸着装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点 近年、機器の小型化に伴い電子部品もチップ化が進み、
各種の部品がチップ状のものに形を変えてきている。例
えばフラット形ICとかチップ形抵抗等がそれである。
これに対応して、プリント基板等へ部品を移載する各種
の装置が提案されている。
以下に従来の部品吸着装置について説明する。
第1図は、従来の部品吸着装置の概念図であり。
第2図は、第1図の吸着パイプの断面図である。
人は吸着用部品、1は吸着パイプ本体%2は吸着パイプ
本体に摺動可能に取りつけられた吸着ノズル、3は真空
発生器、4は真空発生器3と吸着パイプを結ぶ連結管、
6は連結管4と吸着パイプ本体を接続する連結管接続部
である。6は真空回路開閉手段であり、吸着ノズル2に
より部品4を吸着する際真空回路を閉状態にし、部品の
吸着を止める際に真空回路を開状態にする。
以」二のように構成された部品吸着装置について、以下
その動作を説明する。部品吸着時において、真空発生器
3が起動し、連結管4および吸着パイプ本体1内のエア
ーが吸引され、この吸引状態において吸着パイプ1に取
りつけた吸着ノズル2の先端部7が、部品Aの吸着面に
当接し、エアー回路内の真空度が上がることにより部品
Aの吸着が行なわれる。しかしながら上記のように吸着
ノズル先端部(吸着パイプ先端部)が一定した吸着面積
ケ持つ部品吸着装置では、部品の大きさ等の変化に対応
して、吸着ノズルあるいは吸着パイプ本体部と吸着ノズ
ル部の取換を対応部品ごとに変化することが必要となり
、電子部品等の実装工程においては、部品種に対応した
吸着ノズルを持つ移載ヘッドを各装置に備えることによ
り電子部品の装着を行う為、各装置による移載できる部
品形状がせまい範囲に限定され、これにより生産設備コ
ストが高くなり、才だフレキシブル生産への対応に多く
の設備費を必要とするという問題点を有していた。
発明の目的 本発明は上記従来の問題点を解消するもので、吸着面積
を部品形状の変化に対応して、切換えを行うことにより
部品安定した状態で吸着保持出来る部品吸着装置に関す
るものである。
発明の構成 本発明は、エアー回路内の真空を発生させる真空発生装
置と、前記真空発生装置と連結され吸着方向に移動可能
な第1の吸着パイプ部と、前記第1の吸着パイプ部を移
動可能に保持する第1の枠体と、前記第1の吸着パイプ
部の移動方向に対し同一方向に摺動可能に前記第1の吸
着パイプ部内に貫挿され、かつ前記真空発生装置と連結
された第2の吸着パイプ部と、前記第2の吸着パイプを
連結保持する第2の枠体部と、前記第2の枠体に保持さ
れ第1吸着パイプと第2吸着パイプの吸着面から第1吸
着パイプの吸着面が突出しない方向にMiJ記第1の枠
体を所定量移動を行う第1吸着パイプの移動手段とを備
えたことにより、部品の大きさ等の変化に対応し、吸着
面積の異なる吸着パイプによる部品吸着を同一ヘッドに
て行うことができ、ひとつの移載装置により、吸着力の
異なる部品の吸着を安定して行え、これによりフレキシ
ブル生産への対応も容易にすることができるものである
実施例の説明 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
第3図は本発明の一実施例における装置の概略図であり
、第4図は第3図における吸着ヘッド部の断面を示す。
第3図および第4図において10は真空発生装置、11
は第1吸着パイプである外側パイプ% 12は第2吸着
パイプである内側パイプ% 13は第1吸着パイプの枠
体、14は第2吸着パイプの枠体、16はシリンダーで
ある。第1吸着バイブ11および、これに摺動可能かつ
同一軸心上に貫挿された第2吸着パイプ12と真空発生
装置1oは、連結管10′によりそれぞれ接続されてお
り、第1吸着パイプ11を保持する第1の枠体13には
、第2吸着パイプ12と連結管10′の接続部16を移
動可能に保持する為、吸着方向に平行な軸方向B(以下
吸着軸方向と称す)に長穴を設けている。エアシリンダ
ー16[第1の枠体13に取りつけられ、第2吸着パイ
プ12を保持する。シリンダー軸の他端は第1の枠体に
連結されておパンリンダ−の駆動により第2の枠体14
と第1の枠体13との間隔を吸着軸方向Bに対し、第2
の枠体を基準に変化させる。
17は第1の吸着パイプの内面と第2の吸着パイプ外面
と間にエアー回路全形成するスペーサーであり、かつ第
1の吸着パイプと第2吸着パイプとを吸着軸方向Bにつ
いての摺動全可能にし、吸着軸方向Bと平行な回転軸に
対して(d摺動規正する形状となっている。また、第1
吸着パイプと第1枠体および第2吸着パイプ、と第2枠
体と(は取りはずし可能に取り付けが行なわれている。
18a。
18b、180はエアー回路の開閉を行うエア回路の切
換手段用であるソレノイドバルブである。
以」二のように構成された本実施例の部品吸着装置につ
いて以下その動作を説明する。
1ず、フラット形IC等[C代表される比較的太形のチ
ップ部品等の場合の吸着について説明する。
第2の枠体に取りつけられたシリンダーが駆動し第1の
枠体を下部に押し下げ、第6図に示すように第2の吸着
パイプ先端部に形成した部品吸着面の位置せで第2の吸
着パイプの先端部を下降する。
この時点においてソレノイドバルブ180.18&。
18bは開状態となる。その後第2の枠体に連結したヘ
ッド駆動アーム19によりヘッドが吸着軸方向Bに下降
し、第1および第2の吸着先端面が同1時に部品A′の
吸着面に当接し、第1および第2の吸着パイプ12内の
真空度を上げることにより、部品にの吸着を行う。その
後ベッド駆動アーム19の働きで部品A/ 全保持した
ま1上方向に所定量移動し、所定位置に部品Aを移動し
た後エアー回路を大気に開放?行うことにより部品Aの
吸着保持の解除を行う。2○はヘッド回転用アームを示
す。
次に、チップ形抵抗器等に代表される比較的小形のチッ
プ状部品の場合の吸着について説明ケする。
この場合エアーシリンダー16はせず、第1吸着パイプ
11は、第2吸着パイプ12に対して摺動は行なわれな
い。これにより、第6図に示すように第1吸着パイプの
先端部が第1吸着先端部より所定寸法のみ突出した形に
なる。甘たこの時点においてソレノイドバルブ18b、
i80は閉状態であり、他のソレノイドバルブ18aは
開状Mとなっている。この状態でヘッド駆動アームおよ
びソレノイドパルプの働きにより、前記と同様に、部品
人の吸着保持および吸着保持解除の動作が行tわれる。
また、ヘッド部の回転について本実施例によれば第1の
吸着パイプと第2の吸着パイプが同一軸心である為、第
2の枠体下部の連結軸に固定したギヤーと、パルスモー
タ等の駆動部により回転するギヤーとにより、容易に回
転させることも出来る0 以」二のように本実施例によれば、吸着パイプを摺動可
能な二重管式構造とし、かつ外側吸着パイプ(第1の吸
着パイプ)の吸着先端面を内側吸着パイプ(第2の吸着
パイプ)の吸着面位置を基準に内側吸着パイプの吸着先
端面前で移動させることにより、吸着面積の変更が容易
に行えるとともに、吸着を行うヘッド部の吸着面の移動
を、一定した上下ストロークのもとに行うことが出来る
という特有の効果を有する。
発明の効果 以上、本発明は、真空発生装置と、前記真空発生装置に
連結され、吸着方向に移動可能な第1の吸着パイプと、
前記真空発生装置と連結され、かつ前記第1の吸着パイ
プに摺動可能に貫挿された第2の吸着パイプと、前記第
1の吸着パイプおよび第2の吸着パイプを摺動する駆動
部と、前記第1の吸着パイプおよび第2の吸着パイプを
同時に移動するヘッド駆動レバーと、前記真空発生器と
第1の吸着パイプおよび前記真空発生器と第2の吸着パ
イプとのエアー回路を開閉するエアー回路切換手段とを
備えることにより、同一の吸着位置において、大きさの
異なる部品を、吸着ノズルの吸着面積を変更させること
により安定して吸着保持することができ、その効果は犬
なるものがある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の部品吸着装置の概略の正面図、第2図は
第1の吸着ヘッド部の要部断面図、第3図は本発明の一
実施例における部品吸着装置の概略の正面図、第4図は
同吸着ヘッド部の要部側面断図、第6図、第6図は吸着
パイプ先端部要部の断面図である。 1O・・・・・・真空発生装置、11・・・・・・第1
吸着バイア’、12・・・・・・第2吸着パイプ、16
・・・・・・シリンダーs 18J 18b、180・
・・・・・ソレノイドバルブ、19・・・・・・ヘッド
駆動アーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第 2 図 第 3 図 第 4図 第5図 手続補正書 昭和69年12月^90 昭和68年特許願第240228 号 2発明の名称 部品吸着装置 3補正をする台 事f′Iとの関係 猫゛ 許 出 願 人住 所 大阪
府門真市太字門真1006番地名 作 (582)松下
電j++i産業株式会社代表者 山 下 俊 彦 4代理人 〒571 住 所 大阪府門↓′も市大字門真1006番地松下電
器産業株式会社内 明 細 書 1、発明の名称 部品吸着装置 、特許請求の範囲 (1)真空発生装置と、前記真空発生装置とのエアー回
路を形成可能な第1吸着パイプと、前記第1吸着パイプ
に同一軸心で貫挿され、前記真空発生装置に連結管によ
り連結された第2吸着パイプと、前記第1吸着パイプお
よび第2吸着パイプを同時に軸方向に移動する吸着ヘッ
ド駆動手段と、前記真空発生器と第1吸着パイプおよび
前記真空発生器と第2吸着パイプとのエアー回路全開閉
するエアー回路開閉手段とを備え/こことを特徴とする
部品吸着装置。 (2)真空発生装置と、前記真空発生装置とのエアー回
路を形成可能な第1吸着パイプと、前記第1吸着パイプ
に摺動可能にかつ同一軸心で貫挿され、前記真空発生装
置に連結管により連結された第2吸着パイプと、前記第
1吸着パイプと第2吸着パイプを摺動する駆動手段と、
前記第1吸着パイプおよび第2吸着パイプ全同時に軸方
向移動する吸着へノド1駆動手段と、前記真空発生器と
第1吸着パイプおよび前記真空発生器と第2吸着パイプ
とのエアー回路を開閉するエアー回路開閉手段とを備え
だことを特徴とする部品吸着装置。 3、発明の詳細な説明 産業上の利用分野 本発明は、チップ状部品の移載等を真空吸着ノズルにて
行う際に使用する部品吸着装置Vこ関するものである。 従来例の構成とその問題点 近年、機器の小型化に伴い′電子部品もチップ化が進み
、各陣の部品がチップ状のものに形を変えてきている。 例えばフラット形ICとかチップ形抵抗等がそれである
。これに対応して、プリント基板等へ部品を移載する各
種の装置が提案されている。 以下に従来の部品吸着装置について説明する。 第1図は、従来の部品吸着装置の概念図であり、第2図
は、第1図の吸着パイプの断面図である。 Aは吸着用部品、1は吸着パイプ本体、2は吸着パイプ
本体に摺動可能に取りつけられた吸着ノズル、3は真空
発生装置、4は真空発生装置3と吸着パイプを結ぶ連結
管、5は連結管4と吸着・Zイブ本体を接続する連結管
接続部である。6は真空回路開閉手段であり、吸着ノズ
ル2(/こ、l:f)部品4を吸着する際真空回路を閉
状態に1〜、部品の吸着を止める際に真空回路を開状態
にする。 以上のように構成された部品吸着装置f VCついて、
以下その動作を説明する。部品吸着時において、真空発
生器3が起動し、連結管4お」:び吸着・々イブ本体1
内のエーア−が吸引され、この吸引状態に1・゛いて吸
着パイプ1に取りつけだ吸着ノズル2の先端部7が、部
品Aの吸着面に当接し、エアー回路内の真空度が上がる
ことにJ、す部品Aの吸着が行なわれる。しかしながら
上記のように吸着ノズル先端部(吸着パイプ先端部)が
一定した吸着面積を持つ部品吸着装置では、部品の大き
さ等の変化に対応して、吸着ノズルあるいは吸着パイプ
本体部と吸着ノズル部の取換を対応部品ごとに変化する
ことが必四となり、電子部品等の実装工程においては、
部品種に対応した吸着ノズルを持つ移載へノドを各装置
に備えることにより電子部品の装着を行う為、各装置に
よる移載できる部品形状がぜ1い範囲に限定され、これ
により生産設備コストが高くなり、寸だフレキシブル生
産への対応に多くの設備費を・必要とするという問題点
を有していた。 発明の目的 本発明は」ニ記従来の問題点を解消するもので、吸着面
積を部品形状の変化に対応して、切換えを行うことによ
り部品全安定した状態で吸着保持出来る部品吸着装置に
関するものである。 発明の構成 本発明に1、エアー回路内の真空を発生させる真空発生
装置と、前記真空発生装置とのエアー回路を形成可能な
第1の吸着パイプ部と、前記第1の吸着パイプ部を移動
可能に保持する第1の枠体と、前記第1の吸着パイプ部
の移動方向f対し同一方向に摺動可能に前記第1の吸着
パイプ部内に貫挿され、かつ前記真空発生装置と連結さ
れた第2の吸着パイプ部と、前記第2の吸着パイプ全連
結保持する第2の枠体部と、前記第2の枠体に保持され
第1吸着パイプと第2吸着バイゾの吸着面から第1吸着
パイプの吸着面が突出しない方向に前記第1の枠体を所
定量移動を行う第1吸着パイプの移動手段と全備えたこ
とにより、部品の大きさ等の変化に対応し、吸着面積の
異なる吸着パイプによる部品吸着全同一へノドにて行う
ことができ、ひとつの移載装置により、吸着力の異なる
部品の吸着全安定して行え、これVCよりフレキ/プル
生産への対応も容易にすることができるものである。 実施例の説明 以下本発明の一実施例について、図面全参照しながら説
明する。 第3図は本発明の一実施例における装置の概略図であり
、第4図は第3図における吸着ヘッド部の断面を示す。 第3図および第4図において10は真空発生装置、11
は第1吸着パイプである外側パイプ、12は第2吸着パ
イプである内側パイプ、13は第1吸着パイプの枠体、
14は第2吸着パイプの枠体、16はシリンダーであり
、連結管1OaVCf、り加圧源(図示せず)と連結さ
れている。第1吸着バイブ11および、これに摺動可能
かつ同一軸心上に貫挿された第2吸着パイプ12と真空
発生装置f1Oは、連結管10’によりそれぞれ接続さ
れており、第1吸着パイプ11を保持する第1の枠体1
3には、第2吸着パイプ12と連結管10’の接続部1
6を移動可能に保持する為、吸着方向にSP行な軸方向
B(以下吸着軸方向と称す日こ長穴を設けている。エア
シリンダー15は第1の枠体13に取りつけられ、第2
吸着パイプ12を保持する。シリンダー軸の’fll 
DiMは第1の枠体l/(連結されており、シリンダー
の駆動yc、、t:り第2の枠体14と第1の枠体13
との間隔を吸着軸〕j向Bに対し、第2の枠体を基準に
変化させる。 17は第1の吸着パイプの内面と第2の吸着・1イブ外
面との間にエアー回路を形成するスペーサーであり、か
つ第1の吸着パイプと第2吸着パイプとを吸着軸方向B
についての摺動を可能にし、吸着軸方向Bと平行な回転
軸シて対しては摺動規正する形状となっている。17b
はスペーサ−17の下降限のストッパーであり、第2吸
着パイプ12に取付けられている。寸だ、第1吸着パイ
プと第1枠体および第2吸着パイプと第2枠体とは取り
はずし可能に取9伺けが行なわれている。18a。 18b、18Cはエアー回路の開閉を行うエア同口の切
換手段用であるソレノイドバルブである。 19は第2の枠体14を回転可能に保持するヘッド駆動
アームである。 以上のように構成された本実施例の部品吸着装置につい
て以下その動作を説明する。 寸ず、フラット形IC等に代表される比較的太形のチッ
プ部品等の場合の吸着について説明する。 第2の枠体に取りつけられたシリンダーが駆動し第1の
枠体を下部に押し下げ、第5図に示すように第2の吸着
パイプ先端部に形成した部品吸着面の位置壕で第2の吸
着パイプの先端部を下降する。 その後第2の枠体に連結したヘッド駆動アーム19によ
りヘッドが吸着軸方向Bに下降し、この時部品に近接す
る位置においてソレノイドバルブ18a。 18bは開状態となる。第1おJニび第2吸着パイプの
吸着先端面が同時に部品A′の吸着面に当接し、第1お
よび第2の吸着パイプ11.12内の真空度が上がるこ
とにまり、部品A′の吸着を行う。その後−ノド瑯動ア
〜ム19の働きで部品A′を保持した1日−、方向に所
定量移動し、所定位置に部品人を移動した抜工゛アー回
路を大気に開放を行うことにより部品への吸着保持の解
除を行う。2○は部品供給位置と移載位置との間で吸着
へノド部を回転するへノド回転用アームを示す。 次に、チノグ形抵抗器等に代表される比較的小形のチッ
プ状部品の場合の吸着について説明をする。 この場合エアーシリンダー15は動作せず、第1吸着バ
イブ11id:、第2吸着パイプ12に対して摺動d、
行なわれない。これにエリ、第6図に示すjニうに第2
吸着パイプの先端部が第1吸着先端部より所定寸法のみ
突出した形になる。その後第20枠体14に連結したヘ
ッド駆動アーム19により吸着軸方向Bに下降し、この
時点においてソレノイドバルブ18&は開状態となって
いる。この状態で第2の吸着パイプの吸着先端面が部品
Aの吸着面に当接し、ヘッド駆動アームおよびソレノイ
ドバルブの働きにより、前記と同様に、部品への吸着保
持および吸着保持解除の動作が行なわれる。 壕だ、ヘッド部の回転について本実施例によれば第1の
吸着パイプと第2の吸着パイプが同一軸心である為、第
2の枠体下部の連結軸に固定したギヤーと、パルスモー
タ等の駆動部により回転するギヤーとにより、容易に回
転させることも出来る。 以上のように本実施例によ扛ば、吸着パイプを摺動可能
な二重管式構造とし、かつ外側吸着・々イブ(第1の吸
着パイプ)の吸着先端面を内側吸着パイプ(第2の吸着
パイプ)の吸着面位置全基準に内側吸着パイプの吸着先
端面せで移動させることにより、吸着面積の変更が容易
に行えるとともに、吸着を行うヘッド部の吸着面の移動
を、一定した上下ストo−りのもとに行うことが出来る
という特有の効果を有する。 発明の効果 以」=、本発明は、真空発生装置と、前記真空発生装置
に連結され、吸着方向に移動可能な第1の吸着パイプと
、前記真空発生装置と連結され、かつ前記第1の吸着パ
イプに摺動可能に貫挿された第2の吸着パイプと、前記
第1の吸着パイプおよび第2の吸着パイプを摺動する駆
動部と、前記第1の吸着パイプおよび第2の吸着パイプ
を同時に移動するヘッド駆動レバーと、前記真空発生器
と第1の吸着パイプおよび前記真空発生器と第2の吸着
パイプとのエアー回路を開閉するエアー回路切換手段と
を備えることにより、同一の吸着位置において、大きさ
の異なる部品を、吸着ノズルの吸着面積を変更させるこ
とにより安定して吸着作詩することができ、その効果は
大なるものがある。 4、図面の簡単な説明 第1図は従来の部品吸着装置の概略の正面図、第2図は
第1の吸着ヘッド部の要部断面図、第3図は本発明の一
実施例における部品吸着装置の概略の正面図、第4図は
同吸着ヘッド部の要部側断面図、第6図、第6図は吸着
パイプ先端部要部の断面図である。 10・・・・・・真空発生装置、11・・・・第1吸着
パイプ、12・・・・・第2吸着パイプ、16・・・・
シリンダー、1aa 、 1sb 、 18C・−・ツ
レ、/イ)−バルブ、19・・・・・ヘッド駆動アーム

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)真空発生装置と、前記真空発生装置に連結管によ
    り接続された第1吸着パイプと、前記吸着パイプに同一
    軸心で貫挿され、前記真空発生装置に連結管により連結
    された第2吸着パイプと、前記第1吸着・くイブおよび
    第2吸着パイプを同時に軸方向に移動する吸着ヘッド駆
    動手段と、前記真空発生器と第1吸着パイプおよび前記
    真空発生器と第2吸着パイプとのエアー回路を開閉する
    エアー回路開閉手段とを備えたことを特徴とする部品吸
    着装置。
  2. (2)真空発生装置と、前記真空発生装置に連結管によ
    り連結された第1吸着パイプと、前記第1吸着パイプに
    摺動可能にかつ同一軸心で貫挿され、前記真空発生装置
    に連結管により連結された第2吸着パイプと、前記第1
    吸着バイブと第2吸着パイプを摺動する駆動手段と、前
    記第1吸着パイプおよび第2吸着ノくイブを同時に軸方
    向移動する吸着ヘッド駆動手段と、前記真空発生器と第
    1吸着パイプおよび前側真空発生器と第2吸着パイプと
    のエアー回路全開閉するエアー回路開閉手段とを備えた
    ことを特徴とする部品吸着装置。
JP58240228A 1983-12-20 1983-12-20 部品吸着装置 Granted JPS60131129A (ja)

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JP58240228A JPS60131129A (ja) 1983-12-20 1983-12-20 部品吸着装置
US07/009,593 US4728135A (en) 1983-12-20 1987-01-29 Component sucking and holding machine

Applications Claiming Priority (1)

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JP58240228A JPS60131129A (ja) 1983-12-20 1983-12-20 部品吸着装置

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