KR100237608B1 - 부품진공 고정장치 - Google Patents

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KR100237608B1
KR100237608B1 KR1019940000886A KR19940000886A KR100237608B1 KR 100237608 B1 KR100237608 B1 KR 100237608B1 KR 1019940000886 A KR1019940000886 A KR 1019940000886A KR 19940000886 A KR19940000886 A KR 19940000886A KR 100237608 B1 KR100237608 B1 KR 100237608B1
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카쥬시게 오자와
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기타바타케 미치아키
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Abstract

소형패드부(1)와 대형패드부(2)로 구성되는 부품진공고정장치는 서로다른 직경을 가지고 동일축상에 배설되어 소형패드부(1)에서 대형패드부(2)로 또는 역으로 전환된다. 소형부품(14)가 흡착될때는 대형패드부(2)의 가동축(11)이 하방향으로 이동하고, 소형패드(4)의 흡인로(3)와 고정축(7)의 흡인로(5)를 통하여 흡착되고, 대형부품(15)이 흡착될때는 대형패드(9)의 흡인로(8)로 가동축(11)의 흡인로(10)와 공기통로(6)와 고정축(7)의 흡인로(5)를 통한 통로와, 소형패드(4)의 흡인로(3)와 고정축(7)의 흡인로(5)를 통한 또하나의 통로를 포함하는 두 개의 통로를 통하여 흡착이 수행된다.

Description

부품진공 고정장치
제1(a)도와 제1(b)도는 부품진공고정장치의 각 실시예의 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 소형패드부 2 : 대형패드부
3 : 흡인로 4 : 소형패드
5 : 흡인로 6 : 공기통로
7 : 고정축 8 : 흡인로
9 : 대형패드 10 : 흡인로
11 : 가동축 12 : 실부재
13 : 실부재 14 : 소형부품
15 : 대형부품
본 발명은 부품진공고정장치에 관한 것으로, 특히 진공 또는 감압상태에 의하여 한 개의 부품을 흡착고정하는 진공고정장치에 적용하는 효과적인 기술에 관한 것이며, 소형패드를 대형패드로 또는 역으로 전환시킴으로써 다종부품을 연속적으로 흡착고정할 수 있도록한 것이다.
예를 들어, 부품흡착용 진공고정장치는 트레이에 있는 전자부품등을 로딩위치에서 한 개씩 배출하고, 진공고정장치의 진공패드에 의하여 흡착고정하고, 운송경로를 통하여 소정의 이탈위치로 운송하여 칩마운터로 인쇄기판에 실장하는 방법으로, 인쇄기판에 반도체소자와 같은 전자부품을 장착하는 칩마운터와 연동하는 부품이송시스템에 사용된다.
상술한바와 같이, 종래의 진공고정장치는 서로다른 직경을 가지는 분리된 몸체로 형성되어 있는 소형패드와 대형패드중에서 하나만 존재하고, 소형패드에서 대형패드로의 전환 또는 역으로의 전환이 가능하다. 종래의 장치의 다른 형태는 소형패드와 대형패드가 각기 설치되어 있는 두 개의 축을 사용하고, 각 축을 서로 전환할수 있다. 상기의 두가지 형태의 장치는 소형패드와 대형패드가 고정될 부품의 크기에 따라 선택되어진다.
그러나 상기 종래의 기술에 따르면, 고정될 부품의 크기변화와 특히 부품진공고정장치가 다른 장치와 연동하여 사용되어질때에 분리된 몸체를 형성하고, 전환되는 소형패드와 진공패드를 작업자가 전환해야 하는 문제점이 있고, 전환이 불가능할 수도 있다.
또한, 소형패드에서 대형패드로의 전환을 위하여 사용되어지는 두 개의 축시스템의 경우에 있어서, 상기 두축의 서로다른 위치 때문에 부품의 로딩과 이탈위치가 소형패드 또는 대형패드가 사용되어지는 여부에 따라 달라져서, 각 패드의 전환제어등이 어려워지고, 작동시간이 길어지는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 소형패드를 대형패드로 또는 역으로의 전환이 간단히 수행되고, 다종부품을 연속적으로 흡착고정할 수 있는 진공고정장치를 제공하려는 것이다.
본원에서 개시된 것중에서 전형적인 발명의 개요를 간단히 설명된다.
본 발명의 부품진공고정장치는 진공, 감압상태에서 부품을 흡착하기위한 부품장치로서, 내부에 흡인로를 형성하고 있으며 각기 다른 직경을 가지는 소형패드부와 대형패드부를 동일축상에 배설하고, 소형패드부 또는 대형패드부는 상하방향으로 이동이 가능하다.
소형패드부는 축방향으로 흡인로를 내부에 형성하고 있는 소형패드와; 소형패드를 고정하고, 소형패드의 흡인로와 그직경방향에 개방인 공기통로와 연통되는 흡인로를 내부에 형성하고 있는 고정축을 포함하여 구성된다.
대형패드부는 축방향으로 소형패드의 외경보다 큰 내경을 가지는 흡인로를 내부에 형성하고 있는 대형패드와; 대형패드를 고정하고, 대형패드의 흡인로와 소형패드의 공기통로에 연통되어진 흡인로를 내부에 형성하고 있는 가동축을 포함하여 구성한다.
또한, 실부재들을 이동부위와/또는 소형패드부의 외주부와 대형패드부의 내주부 사이의 접촉부위에 끼운다.
상기의 부품진공고정장치에 있어서, 동일축상에 배설된 소형패드부와 대형패드부중 하나가 상하방향으로 이동하고, 필요에 따라 소형패드부를 대형패드부로 또는 역으로 전환한다. 예를들어 소형패드부의 소형패드의 흡착의 경우에는 대형패드부의 가동축은 하방향으로 이동하고, 소형패드의 흡인로와 고정축의 흡인로를 통하여 흡착을 수행한다.
다른 한편으로, 대형패드부의 대형패드에 의하여 흡착되는 경우에는 대형패드부의 가동축은 상방향으로 이동하고, 흡착이 대형패드의 흡인로와, 가동축의 흡인로와, 소형패드부의 고정축의 공기통로를 통하여 이루어지고, 그리고 부가적으로 고정축의 흡인로와 소형패드의 흡인로의 경로를 통하여 흡착을 수행한다. 따라서, 두 개의 경로를 통하여 흡착을 수행할 수 있다.
이러한 구성에 따라, 소형패드부에서 대형패드부로 또는 역으로의 전환을 간단한 구조로 쉽게 수행하고, 따라서 크기면에서 다종부품을 흡착,고정할 수 있다. 또한 본 발명의 장치를 사용하는 시스템에 있어서, 부품의 로딩과 이탈에 관계되는 위치 또는 높이등의 제어가 간단하다.
특히, 실부재들을 이동부위와/또는 소형패드부 외주부사이와 대형패드부의 내주부 사이의 접촉부위에 끼웠을 때 비록 소형패드부 또는 대형패드부가 상하 방향으로 이동할지라도 공기누출이 방지되어 강한흡착, 고정을 실현할수 있다.
상술됐거나 또는 그렇지 않은 목적들 그리고 본 발명의 가상적 형상은 첨부도면을 참조로한 명세서의 기술로부터 좀더 명확해질 것이다.
제1(a)도와 제1(b)도는 소형패드부에서 대형패드부로 또는 역으로 전환되는 본 발명에 따른 진공고정장치의 일실시예에서 각각의 단면도를 도시한 것이다.
첫 번째로, 본 발명에 따른 진공고정장치의 일실시예의 구성을 제1(a)도와 제1(b)도를 참조로하여 설명할 수 있다.
이러한 실시예에 있어서, 진공고정장치는 예를들어 진공 또는 감압상태로 반도체장치와 같은 부품을 흡착고정하고, 각기 다른 직경을 가지고, 각기 내부에 흡인로를 형성하고 있는 소형패드부(1)와 대형패드부(2)로 구성되고, 소형패드부(1)또는 대형패드부(2)는 상하방향으로 이동하고, 필요에 따라 소형패드부(1)가 대형패드부(2)로 또는 역으로 전환한다.
소형패드부(1)는 축방향으로 형성된 흡인로(3)를 내부에 형성한 소형패드(4)와; 소형패드(4)를 고정하고, 소형패드(4)의 흡인로(3)와 직경방향에 개방인 공기통로(6)와 연통되는 흡인로(5)를 내부에 형성하고 있는 고정축(7)을 포함하여 구성한다.
대형패드부(2)는 축방향으로 소형패드(4)의 외경보다 큰 내경을 가지는 흡인로(8)를 내부에 형성하고 있는 대형패드(9)와; 대형패드(9)의 흡인로(8)와 소형패드(4)의 공기통로(6)에 연통되는 흡인로(10)를 내부에 형성하고, 대형패드(9)에 고정되는 가동축(11)을 포함하여 구성한다.
공기누출을 방지하기위한 실부재(12)를 소형패드부(1)와 대형패드부(2)사이의 이동부위, 특히, 소형패드부(1)의 고정축(7)의 외주부와 대형패드부(2)의 가동축(11)의 단부 사이에 끼우고, 실부재(13)를 그장치가 소형패드부(1)로 전환될 때 접촉되는 부분인 고정축(7)의 외주부와 가동축(11)의 흡인로(10) 사이에 끼운다.
다음은 제1(a)도와 제1(b)도를 참조로하여 실제로 흡착고정하는 일실시예의 동작을 기술한다. 제1(a)도에 있어서, 소형패드부(1)를 통하여 소형부품(14)가 흡착고정된 경우를 보여주고, 제1(b)도는 대형패드부(2)를 통하여 흡착고정된 대형부품이 흡착고정된 경우를 보여주고 있다.
예를들어, 소형패드부(1)의 소형패드(4)의 크기에 상응하는 소형부품(14)이 흡착되었을때는 제1(a)도에 도시한 바와 같이 대형패드부(2)의 가동축(11)은 하방향으로 이동한다. 이때에는 대형패드부(2)에서 소형패드부(1)로 연통되어 있는 흡인로(8,10)들이 실부재(13)에 의하여 닫혀지고, 단지 소형패드(4)의 흡인로(3)만이 고정축(7)의 흡인로(5)를 통하여 공기압원(도시하지 않음)에 연결된다.
이러한 구성에 있어서, 고정축(7)의 흡인로(5)를 통하여 소형패드(4)의 흡인로(3)로부터 흡착을 수행하고, 소형패드(4)의 흡착표면의 1배~2배의 외형을 갖는 소형부품(14)을 소형패드(4)에 의하여 흡착고정할 수 있다.
한편, 대형패드부(2)의 대형패드(9)의 크기에 상응하는 대형부품(15)이 흡착고정되었을때는 제1(b)도에 도시한 바와 같이 대형패드부(2)의 가동축(11)은 상방향으로 이동한다. 이때에는 대형패드(9)의 흡인로(8)는 가동축(11)의 흡인로(10)와 공기통로(6)와 고정축(7)의 흡인로(5)를 통하여 공기압원에 연결되고, 소형패드(4)의 흡인로(3)는 고정축(7)의 흡인로(5)를 통하여 공기압원에 연결된다.
이러한 구성에 있어서, 대형패드(9)의 흡인로(8)로부터 가동축(11)의 흡인로(10)와 공기통로(6)를 통하여 고정축(7)의 흡인로(5)까지 연결된 통로와, 소형패드(4)의 흡인로(3)으로부터 고정축(7)의 흡인로(5)까지의 통로를 포함하는 두 개의 흡인로에 의하여 흡착을 수행하고, 대형패드(9)의 흡착표면에 존재하는 대형패드(9)의 흡착표면의 1배~2배의 외형을 갖는 대형부품(15)을 대형패드(9)와 소형패드(4)로 흡착고정할 수 있다.
상기의 부품진공고정장치는 예를들어 전자부품들의 이송을 위한 부품이송시스템에 사용되어지고, 인쇄기판등에 장착되는 반도체장치와 같은 전자부품의 장착을 위한 칩마운터와 연동하여 실용화할 수 있다.
상기의 경우에 있어서, 소형패드부(1)에서 대형패드부(2)로 또는 역으로의 전환은 크기에 있어서 서로 다른 다종부품을 쉽게 흡착고정이 가능하게 하고, 특히 이송시스템등에 장착되었을 때 부품들이 대형패드(9)와 소형패드(4)에 상관없이 동일위치에 로딩 또는 이탈되므로, 종래의 기술보다 제어가 쉽고, 제어시간을 단축할수 있다.
또한, 고정된 소형패드부(1)와 이동가능한 대형패드부(2)를 제작함으로써, 공기압회로와 구조의 전환이 간단하게 이루어지고, 소형패드(4)와 대형패드(9)에 동일한 흡착고정위치가 채택될 수 있어 소형패드(4)와 대형패드(9)의 높이제어가 불필요하고, 제어가 좀더 간단해진다.
또한, 이송시스템에 장착될 때 대형패드부(2)가 상하방향으로 자동적으로 이동가능하게 만들어짐으로써, 소형패드부(1)를 대형패드부(2)로 또는 역으로의 자동전환이 가능하고, 동일한 이송장치에 의하여 다종부품이 연속적으로 이송가능하다.
따라서, 진공고정장치의 일실시예에 있어서, 대형패드부(2)의 가동축(11)이 상하방향으로 이동함으로써, 소형패드(4)와 고정축(7)을 포함하는 소형패드부(1)에서 대형패드(9)와 가동축(11)을 포함하는 대형패드부(2)로 또는 역으로 전환되어짐으로써 전환제어가 간단해지고 각기다른 크기를 가지는 다종부품을 흡착고정할 수 있다.
상기에서, 본 발명은 일실시예를 참조로하여 자세히 설명되었으나 본 발명은 상기의 일실시예에 한정되는 것은 아니고, 발명의 범위내에서 다양한 변조가 가능하다.
예를들어, 일실시예의 진공고정장치에 있어서, 대형패드부(2)의 가동축(11)이 소형패드부(1)를 대형패드부(2)로 또는 역으로 전환시키기위하여 상하방향으로 이동된다. 그러나 본 발명은 상기 일실시예에 한정되지 않고, 소형패드부(1)가 상하방향으로 이동되는 경우에도 적용할 수 있다.
일실시예에 있어서, 대형패드(9)는 축방향으로 소형패드(4)의 외경보다 큰 내경을 갖는 흡인로(8)를 내부에 형성한다. 그러나, 대형패드(9)의 흡인로(8)가 작동되기 위하여, 가동축(11)이 상방향으로 이동할 때, 대형패드(9)는 소형패드(4)와 접촉하지 않고 흡인로(8)는 개방되는 것이 필수적이다.
또한, 이러한 일실시예의 소형패드부(1)와 대형패드부(2)에 있어서, 각 소형부품(14)과 각 대형부품(15)의 하부표면을 흡착고정한다. 상하 반전에 의하여 변경되어지는 진공고정장치의 구조에 있어서 예컨데 상부표면을 흡착하는 경우와 부품의 측면을 흡착하는 경우처럼 흡착되는 부품의 방향에 따라 다양한 변경이 가능한 것이다.
또한 상기에서 일실시예가 부품이송시스템에 사용되어지는 경우에 대하여 설명되어졌다. 그러나 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 특히 다종부품의 흡착 고정이 요구되는 다른 시스템에 널리 적용할 수 있는 것이다.
상기에 있어서, 본 발명이 반도체장치와 같은 전자부품을 흡착고정하기위하여 진공고정장치가 적용되는 경우를 들었다. 그러나 본 발명이 이것이 한정되는 것은 아니고, 일반적으로 흡착고정되어질 수 있는 비전기적 부품과 다른 전자부품에 폭 넓게 적용할 수 있는 것이다.
이하 개시된 발명들중에서 전형적인 발명들에 의하여 얻어진 효과를 간단히 설명한다.
(1) 각기 다른 구경을 갖고 각기 흡인로를 내부에 형성한 소형패드부와 대형패드부를 동일축상에 배설하고, 소형패드부 또는 대형패드부는 상하방향으로 이동하고, 소형패드부에서 대형패드부로 또는 역으로 전환을 필요에 의해 수행할 수 있어 각기 다른 크기를 가지는 다종부품들을 간단히 흡착고정할 수 있다.
(2) 실부재들을 이동부위와/또는 대형패드부의 내주부와 소형패드부의 외주부 사이의 접촉부위에 끼워, 소형패드부 또는 대형패드부가 상하방향으로 이동할때에 공기누출을 방지할수 있어, 강한 흡착고정을 수행할 수 있다.
(3) 상기(1)항에 의하여, 부품의 로딩과 이탈의 위치제어가 간단하고 흡착고정의 높이위치제어가 불필요해져, 부품의 흡착에 대한 제어가 간단하고 제어시간이 단축된다.
(4) 상기(1)항에 의하여, 소형패드부와 대형패드부의 상하방향이로의 이동이 자동화되어질 수 있어, 특히 진공고정장치가 자동이송라인등과 같은 장치에 장착되었을 때 다종부품을 연속적으로 취급할 수 있다.
(5) 상기(1)항과 (4)항에 의하여, 특히 진공이나 감압상태로 부품을 흡착하는 경우에 있어서, 소형패드에서 대형패드로의 전환을 간단히 수행하여, 다종부품을 흡착고정할 수 있는 진공고정장치가 얻어질 수 있다.

Claims (6)

  1. 소형 패드부(1)와 대형 패드부(2)로서, 상기 소형패드부(1) 및 대형패드부(2)는 각기 다른 직경을 가지고 동일축상에 배설되며, 각기 내부에 대응의 흡인로(3 ,5;8 ,10)가 형성되고 상기 패드부(1,2)중 하나가 축방향으로 슬라이드 가능하여 상기 소형 패드 부(1)만에 의해 소형 부품(14)을 흡착하도록 그리고 상기 소형 패드부(1) 및 대형패드부(2) 모두에 의해 대형 부품(15)을 흡착하도록 상기 소형 패드부가 대형 패드부(2)로 또는 그 역으로 전환하도록 된 소형 패드부(1) 및 대형 패드부(2)를 구비하는 진공 또는 감압으로 상기 소형부품(14) 및 대형 부품(15)을 흡착 고정하는 진공고정장치에 있어서: 상기 소형 패드부(1)상에 설치된 복수의 공기통로(6)와; 상기 대형 패드부(2)와 상기 소형 패드부(1)의 외주부사이에 설치된 제1 및 제2실 부재(12,13)를 구비하며; 상기 공기통로(6)는 상기 흡인로(3, 5; 8, 10)사이의 소통을 이루게 하도록 영구적으로 개방되어 있으며; 상기 제1실부재(12)는 상기 소형 패드부(1)의 슬라이딩 외주부와 상기 대형 패드부(2)의 단부 사이에 개재되어 있으며; 상기 제2실부재(13)는 상기 대형 패드부(2)의 흡인로(8,10)로부터의 공기를 누출을 방지하여 상기 소형 패드부(1)에 의해 흡인을 유도하도록 상기 소형 패드부(1)의 다른 외주부와 이 다른 외주부와의 접촉을 일으키는 상기 대형 패드부(2)의 한 부분 사이에 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 진공 고정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 인쇄 회로 기판상에 상기 소형 부품 및 대형 부품(14,15)를 장착하기 위해 칩 마운터와 연동하여 사용할 수 있도록 상기 실 부재(13)가 상기 대형 패드부(2)의 흡인로(8,10)의 중간 부분에 고정되는 것을 특징으로 하는 부품 진공 고정 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 소형 패드부(1)는 소형 패드(4) 및 상기 소형 패드(4)에 고정된 고정축(7)을 구비하며; 상기 대형 패드부(2)는 대형 패드(9) 및 상기 대형 패드(9)에 고정되며, 상기 고정 축(7)쪽으로 축방향으로 가동하는 가동축(11)을 구비하며; 상기 대형 패드부(2)의 흡인로(8,10)는 상기 소형 패드(4) 및 상기 고정 축(7)의 외경 보다 큰 내경을 가지는 것을 특징으로 하는 부품 진공 고정 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 소형 패드부(1)의 흡인로(3)는 상기 소형 패드(4)내에 형성되고, 상기 소형 패드부(1)의 흡인로(5)는 상기 고정축(7)내에 형성되며; 상기 대형 패드부(2)의 흡인로(8)는 상기 대형 패드(9)내에 형성되고, 상기 대형 패드부(2)의 흡인로(10)는 상기 가동축(7)내에 형성되며, 상기 공기통로(6)은 상기 고정축(7)의 흡인로(5)와 상기 가동축(11)의 흡인로(10)사이의 소통을 위해 상기 고정축(7)내에 설치되는 것을 특징으로 하는 부품 진공 고정 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1실부재(12)는 상기 가동축(7)의 일단에 고정되며, 상기 제1실부재(12)가 슬라이드 가능한 상기 외주부는 상기 가동축(7)의 흡인로(10)로부터의 공기의 누출을 방지하도록 상기 고정축(7)상에 설치되는 것을 특징으로 하는 부품 진공 고정 장치.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 제2실부재(13)는 상기 가동축(11)의 내주부와 접촉을 이루도록 상기 고정축(7)의 외주부에 고정되어, 상기 가동축(11)에 의해 상기 내주부와 상기 외주부가 접촉하는 경우 상기 소형 패드(4)를 통해서만 흡착이 생기며, 상기 가동축(11)이 상기 외주부에서 상기 내주부의 접촉을 해제하는 경우 상기 소형 패드(4)와 상기 대형 패드(9)모두를 통해서 흡착이 생기는 것을 특징으로 하는 부품 진공 고정 장치.
KR1019940000886A 1993-01-18 1994-01-18 부품진공 고정장치 KR100237608B1 (ko)

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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1267490B1 (it) * 1994-11-09 1997-02-05 Sapim Amada Spa Dispositivo di presa e movimentazione di pezzi di materiale in foglio e manipolatore di pezzi di materiale in foglio comprendente tale
JPH0983193A (ja) * 1995-09-13 1997-03-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品実装機の部品吸着ヘッド
US6463644B1 (en) * 1996-04-29 2002-10-15 The Paslin Company Tool for aligning vehicle fender on vehicle during assembly
US6093197A (en) * 1997-12-08 2000-07-25 Axon Engineering, Inc. Spiral nerve cuff electrode implantation tool
US6079091A (en) * 1998-10-19 2000-06-27 Ford Global Technologies, Inc. Valve assembly tool
GB0017684D0 (en) * 2000-07-19 2000-09-06 Bae Systems Plc Tool positioning system
KR100344905B1 (ko) * 2000-09-09 2002-07-20 미래산업 주식회사 표면실장장치에서 모듈헤드의 부품흡착장치
US20070048120A1 (en) * 2005-08-15 2007-03-01 Texas Instruments Incorporated Vacuum shroud for a die attach tool
AT509261B1 (de) * 2009-12-11 2012-03-15 Heitec Systemtechnik Gmbh Verfahren und vorrichtung zum aufnehmen von kleinteilen
CN104985604A (zh) * 2015-08-10 2015-10-21 苏州普京真空技术有限公司 一种真空夹持装置
CN108472814B (zh) * 2016-01-08 2021-07-16 伯克希尔格雷股份有限公司 用于获取并移动物体的系统和方法
AT519911B1 (de) * 2017-04-26 2021-02-15 Putz Stefan Saugnapfvorrichtung und Saugförderer mit einer derartigen Saugnapfvorrichtung
US10500738B2 (en) 2017-11-28 2019-12-10 Amazon Technologies, Inc. Mechanism for exchanging concentric suction cups
CN108714908A (zh) * 2018-05-20 2018-10-30 佛山市高芯科技服务有限公司 一种汽车三角窗玻璃生产用下料机器人
US11084175B2 (en) * 2018-12-13 2021-08-10 Amazon Technologies, Inc. End-of-arm tool having concentric suction cups, and related systems and methods
US11351678B1 (en) * 2020-03-10 2022-06-07 Amazon Technologies, Inc. Dynamically adjustable suction cups
WO2022020159A1 (en) 2020-07-22 2022-01-27 Berkshire Grey, Inc. Systems and methods for object processing using a passively collapsing vacuum gripper
US20220024705A1 (en) 2020-07-22 2022-01-27 Berkshire Grey, Inc. Systems and methods for object processing using a vacuum gripper that provides object retention by evacuation
DE102020128656B4 (de) * 2020-10-30 2022-05-12 J. Schmalz Gmbh Greifeinrichtung für eine Handlingsvorrichtung einer Bearbeitungsmaschine

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60131129A (ja) * 1983-12-20 1985-07-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品吸着装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1193921A (en) * 1968-01-17 1970-06-03 Strachan & Henshaw Ltd A Suction Cup Assembly for Laminate and Plate Handling
FR2040681A5 (en) * 1969-04-09 1971-01-22 Radiotechnique Compelec Gripping-soldering device for light objects
DE3535610A1 (de) * 1985-10-05 1987-04-09 Basf Ag Unterdruckheber fuer montageteile
CH668023A5 (de) * 1985-11-12 1988-11-30 Zevatech Ag Vorrichtung zur aufnahme und zum transport von bauteilen.
US4703965A (en) * 1986-02-25 1987-11-03 Micro Component Technology, Inc. Integrated circuit placement device vacuum head
JPH0831711B2 (ja) * 1987-04-24 1996-03-27 日立テクノエンジニアリング株式会社 部品吸着装置
JPS63306890A (ja) * 1987-06-08 1988-12-14 株式会社日立製作所 部品吸着装置
GB8714175D0 (en) * 1987-06-17 1987-07-22 Dynapert Precima Ltd Suction pick-up apparatus
US4815779A (en) * 1987-08-21 1989-03-28 American Telephone And Telegraph Co. Method and apparatus for part pickup
US4887351A (en) * 1988-09-09 1989-12-19 Universal Instruments Corporation Pick and place nozzle with concentric grooves
JP2706538B2 (ja) * 1989-10-25 1998-01-28 株式会社富士通宮城エレクトロニクス 真空吸着装置
JPH04343693A (ja) * 1991-05-17 1992-11-30 Toyota Motor Corp 吸着ノズル

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60131129A (ja) * 1983-12-20 1985-07-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品吸着装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06216577A (ja) 1994-08-05
DE69409135T2 (de) 1998-08-27
US5542726A (en) 1996-08-06
JP2543652B2 (ja) 1996-10-16
DE69409135D1 (de) 1998-04-30
EP0607901A1 (en) 1994-07-27
EP0607901B1 (en) 1998-03-25

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