JPH04343693A - 吸着ノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えばＩＣ等のチッ
プ部品を吸着保持しながら搬送するのに使用される吸着
ノズルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ＩＣ等のチップ部品を１個ず
つ選択的に搬送するために、吸着ノズルの先端にチップ
部品を吸着保持する技術が種々提案されている。又、チ
ップ部品には大小の規格が幾つかあることから、チップ
部品の大小に応じて使い分けるために大小異なるノズル
を備えた技術が、実開昭５６−７６８６号公報、特開昭
６２−１５８９１号公報及び実開昭６３−７０８９４号
公報等において幾つか提案されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記各従来
公報の技術では、大小異なるノズルを使い分けるために
特別な切替手段を設けていたため、その分だけ構造が複
雑になるばかりでなく、大小異なるノズルを切替える際
には、切替手段を別途に操作、或いは制御しなければな
らなかった。

【０００４】この発明は前述した事情に鑑みてなされた
ものであって、その目的は、大小異なるノズルを使い分
けるために、特別な切替手段とその操作を省略して行う
ことが可能な吸着ノズルを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明においては、チップ部品を先端の吸着口
にて負圧吸着する吸着ノズルにおいて、大径ノズル内に
て軸方向へ摺動自在に設けられると共に、先端側が常に
大径ノズル開口端よりも突出可能に設けられた小径ノズ
ルと、大径ノズルと小径ノズルとの間に設けられた空気
圧室と、その空気圧室へ通じる空気圧経路と、小径ノズ
ルが大径ノズル内へ所定量だけ押し込まれるのに伴い、
空気圧経路が開かれて空気圧室に導入される空気圧によ
り、小径ノズル全体を大径ノズル内へ収容保持可能に切
替える空気圧経路切替機構とを備えている。

【０００６】

【作用】上記の構成によれば、小径ノズルの先端側が常
に大径ノズル開口端よりも突出可能に設けられているの
で、小型のチップ部品を吸着する際には、小径ノズルの
先端側、即ち開口端をそのチップ部品に密着させて負圧
を作用させることにより吸着することができる。

【０００７】一方、大型のチップ部品を吸着する際には
、先ず小径ノズルの先端側をそのチップ部品に押し付け
て大径ノズル内へ所定量だけ押し込むことにより、小径
ノズルの開口端と大径ノズル開口端とを共にチップ部品
に密着させる。この押圧状態では、小径ノズルが大径ノ
ズル内へ所定量だけ押し込まれるのに伴い、空気圧経路
が開かれる。そして、その状態において負圧を作用させ
ることにより、大径ノズルの開口端にて大型のチップ部
品が吸着されると共に、大径ノズルと小径ノズルとの間
の空気圧室に空気圧が導入されて、小径ノズル全体が大
径ノズル内へ引かれて収容保持される。

【０００８】

【実施例】

（第１実施例）以下、この発明の吸着ノズルを具体化し
た第１実施例を図１〜図６に基づいて詳細に説明する。 図２はこの実施例における吸着ノズル１を装備したオー
トハンドラ２を示す斜視図である。オートハンドラ２は
その吸着ノズル１にてＩＣ等のチップ部品３を負圧吸着
して保持しながら搬送（ハンドリング）するものである
。

【０００９】即ち、オートハンドラ２は、テーブル４上
に設けられてモータ及びアクチュエータ等によって上下
左右自在に動く自在アーム５を備えている。又、テーブ
ル４上の搬入位置６には、オートローダ７を通じてチッ
プ部品３が１個ずつ供給されるようになっている。更に
、吸着ノズル１は自在アーム５の先端側ケーシング８に
おいて下方へ突出して設けられている。

【００１０】そして、オートローダ７から搬入位置６へ
供給されたチップ部品３は、先ず吸着ノズル１の先端に
て１個ずつ吸着される。次に、自在アーム５が上下方向
の動きを伴いながら横方向へ振り回されるように遠心運
動することにより、チップ部品３が別の位置のテストヘ
ッド９までハンドリングされる。続いて、チップ部品３
はテストヘッド９にて正確に位置決めされて吸着ノズル
１から放された後に、良品・不良品のテストに供される
。

【００１１】尚、自在アーム５の動きは、予め行われる
ティーチングにより設定されるようになっている。次に
、この実施例の吸着ノズル１の構成について説明する。 図１は吸着ノズル１の断面図を示している。吸着ノズル
１は大径ノズル１１と小径ノズル１２を備えている。即
ち、自在アーム５の先端側ケーシング８にて下方へ開口
するボス８ａには、ノズルガイド１３が軸方向へ、即ち
上下方向へ摺動自在に組付けらている。ボス８ａとノズ
ルガイド１３との間には、ノズルガイド１３を下方へ付
勢する第１のスプリング１４が介在されている。そして
、ノズルガイド１３の先端側には、大径ノズル１１の基
端側が螺着されている。

【００１２】大径ノズル１１の開口端は、図４，５に示
すように大型チップ部品３Ｂを吸着する吸着口１１ａと
なっている。又、吸着口１１ａよりもやや内側位置には
隔壁１１ｂが形成され、その隔壁１１ｂの中央には連通
穴１１ｃが形成されている。更に、大径ノズル１１には
、隔壁１１ｂよりもやや上側位置において、外部から大
径ノズル１１内へ通じる空気圧経路を構成する複数の空
気穴１１ｄが形成されている。

【００１３】一方、小径ノズル１２は大径ノズル１１内
にて軸方向、即ち上下方向へ摺動自在に設けられている
。小径ノズル１２は大径ノズル１１の内壁に沿って摺動
する大筒部１２ａと、その大筒部１２ａの中央に位置し
て前記隔壁１１ｂの連通穴１１ｃに沿って摺動可能な小
筒部１２ｂとからなっている。小筒部１２ｂの下側開口
端は、図３に示すように小型チップ部品３Ａを吸着する
ための吸着口１２ｃとなっている。小筒部１２ｂの長さ
は大筒部１２ａのそれよりも大きく設定されている。 そして、小径ノズル１２と、大径ノズル１１及びその隔
壁１１ｂとにより第１の空気圧室１５が形成され、大径
ノズル１１内にて小径ノズル１２の上側が第２の空気圧
室１６になっている。この第２の空気圧室１６と外部と
は、小筒部１２ｂによって連通している。

【００１４】又、大径ノズル１１内にて小径ノズル１２
とノズルガイド１３との間には、小径ノズル１２を下方
へ付勢する第２のスプリング１７が介在されている。こ
の第２のスプリング１７により、小径ノズル１２はその
大筒部１２ａが大径ノズル１１の隔壁１１ｂに当接する
位置まで付勢されている。そして、その付勢状態におい
て、隔壁１１ｂを貫通する小筒部１２ｂの吸着口１２ｃ
が、常に大径ノズル１１の吸着口１１ａよりも下方へ突
出可能に設けられている。又、その付勢状態において、
大径ノズル１１の空気穴１１ｄは小径ノズル１２の大筒
部１２ａにより閉鎖されるようになっている。

【００１５】そして、上記のように小径ノズル１２と、
第２のスプリング１７及び空気穴１１ｄにより空気圧経
路切替機構が構成されており、小径ノズル１２が第２の
スプリング１７の付勢力に抗して大径ノズル１１内へ、
即ち上方へ所定量だけ押し込まれるのに伴い、空気穴１
１ｄが開かれて第１の空気圧室１５に大気圧が導入され
るようになっている。又、第１の空気圧室１５に導入さ
れた大気圧と第２の空気圧室１６に導入される負圧との
作用により、小径ノズル１２の全体が大径ノズル１１内
へ収容保持可能に切替えらるようになっている。

【００１６】尚、大径ノズル１１及び小径ノズル１２の
各吸着口１１ａ，１２ｃにはそれぞれ導電性ゴムよりな
るゴムリング１８，１９が取付けられており、各チップ
部品３Ａ，３Ｂを吸着する際の緩衝と負圧洩れ防止が図
られている。ここで、吸着ノズル１を作動させるための
空気圧回路について図６に従って説明する。

【００１７】吸着ノズル１には、二つの管路２１、２２
が合流して接続されており、その一方の管路２１には負
圧ポンプ２３が、他方には正圧ポンプ２４がそれぞれ接
続されている。又、各管路２１，２２の途中には開閉制
御用の電磁バルブ２５，２６がそれぞれ設けられている
。各電磁バルブ２５，２６はバルブコントローラ２７か
らの制御信号に基づいて開閉制御されるようになってい
る。又、バルブコントローラ２７はオートハンドラ２を
制御するためのハンドラコントローラ２８からの制御信
号に同期して、各電磁バルブ２５，２６へ制御信号を出
力するようになっている。

【００１８】従って、オートハンドラ２の自在アーム５
が搬入位置６へ移動されることにより、それに同期して
バルブコントローラ２７が負圧ポンプ２３側の電磁バル
ブ２５のみを開かせ、吸着ノズル１に負圧を供給してチ
ップ部品３を吸着させる。又、ハンドリングによって自
在アーム５がテストヘッド９に移動されることにより、
それに同期してバルブコントローラ２７が正圧ポンプ２
４側の電磁バルブ２６のみを開かせ、吸着ノズル１に正
圧を供給してチップ部品３を吸着ノズル１から放させる
。

【００１９】次に、上記のように構成した吸着ノズル１
の作用について説明する。図３は搬入位置６の凹所６ａ
に位置決めされた小型チップ部品３Ａを吸着する状態を
示している。このように小型チップ部品３Ａを吸着する
には、小径ノズル１２の吸着口１２ｃを小型チップ部品
３Ａの上面へわずかに押し付けて密着させる。又、小径
ノズル１２の押圧力は、その大筒部１２ａが第２のスプ
リング１７の付勢力に抗して押し上げられても、大径ノ
ズル１１の空気穴１１ｄが閉鎖され続ける程度である。 その押圧力、即ち吸着ノズル１の下動位置は、オートハ
ンドラ２のティーチングにより予め設定されている。 又、この押圧時の衝撃は、ゴムリング１９及び第２のス
プリング１７によって緩和される。

【００２０】そして、その押圧状態で前記負圧ポンプ２
３により第２の空気圧室１６に負圧を作用させると、小
型チップ部品３Ａが小径ノズル１２の吸着口１２ｃに吸
着される。このとき自在アーム５を駆動させると、小型
チップ部品３Ａが吸着された状態でハンドリングされる
。一方、図４，５は搬入位置６の凹所６ｂに位置決めさ
れた大型チップ部品３Ｂを吸着する状態を示している。 このように大型チップ部品３Ｂを吸着するには、先ず図
４において、大径ノズル１１及び小径ノズル１２の両吸
着口１１ａ、１２ｃを大型チップ部品３Ｂの上面へ押圧
して密着させる。又、このときの押圧力は、小径ノズル
１２の大筒部１２ａが第２のスプリング１７の付勢力に
抗して押し上げられ、大径ノズル１１の空気穴１１ｄが
適度に開かれる程度である。その押圧力、即ち吸着ノズ
ル１の下動位置は、オートハンドラ２のティーチングに
より予め設定されている。又、この押圧時の衝撃は、ゴ
ムリング１８，１９、第１及び第２のスプリング１４，
１７によって緩和される。

【００２１】そして、その押圧状態で前記負圧ポンプ２
３により第２の空気圧室１６に負圧を作用させると、大
型チップ部品３Ｂが大径ノズル１１の吸着口１１ａに吸
着される。これと同時に、第１の空気圧室１５内は空気
穴１１ｄを通じて大気圧となっていることから、両空気
圧室１５，１６の間に差圧が生じる。従って、その差圧
により、図５に示すように小径ノズル１２の全体が第２
のスプリング１７の付勢力に抗して上方へ引かれ、完全
に大径ノズル１１の内部へ収容され、その状態が保持さ
れる。このとき自在アーム５を駆動させると、大型チッ
プ部品３Ｂが吸着された状態でハンドリングされる。

【００２２】上記のように、この実施例の吸着ノズル１
では、小型チップ部品３Ａを吸着する場合には、それに
見合った大きさの小径ノズル１２の吸着口１２ｃを使用
して、確実に小型チップ部品３Ａを吸着保持することが
できる。又、大型チップ部品３Ｂを吸着する場合には、
それに見合った大きさの大径ノズル１１の吸着口１１ａ
を使用して、確実に大型チップ部品３Ｂを吸着保持する
ことができる。しかも、大小異なる大径ノズル１１及び
小径ノズル１２を使い分けるために、従来から使用され
ている各ノズル１１，１２及び第２のスプリング１７の
他は、空気穴１１ｄを設けて吸着ノズル１の下動位置を
変えているだけで、何ら特別な切替手段を設ける必要が
ない。つまり、オートハンドラ２により吸着ノズル１を
上下にずらすだけで、各ノズル１１，１２の切替えを自
動的に行うことができる。

【００２３】従って、切替手段を省略することができ、
吸着ノズル１の構造を簡略化することができる。又、大
小異なる各ノズル１１，１２を切替える際に、特別な切
替手段の別途な操作、或いは制御を省略して行うことが
できる。又、この実施例では、小型チップ部品３Ａはも
とより大型チップ部品３Ｂをも確実に吸着保持しながら
ハンドリングできるので、ハンドリングの際の遠心力に
よる各チップ部品３Ａ，３Ｂの位置ずれを防止すること
ができる。よって、スピードを落とすことなくハンドリ
ングを行うことができ、各チップ部品３Ａ，３Ｂのテス
ト時間を短縮させることができ、テスト効率を向上させ
ることができる。しかも、テストヘッド９に対する各チ
ップ部品３Ａ，３Ｂの位置決めを、高精度に行うことが
できる。

【００２４】更に、この実施例の吸着ノズル１では、大
径ノズル１１と小径ノズル１２とが互いに所定量だけ相
対移動可能であることから、吸着ノズル１自体を緩衝性
をもって各チップ部品３Ａ，３Ｂに接触させることがで
きる。従って、吸着ノズル１の上下方向の動きをティー
チングする際に、そのティーチング位置の設定自由度を
大きくとることができ、ティーチング時間を短縮させる
ことができる。このティーチング位置の設定自由度は、
大径ノズル１１と小径ノズル１２との相対移動量を大き
くするほど大きくとることができる。

【００２５】（第２実施例）次に、この発明の吸着ノズ
ルを具体化した第２実施例を図面に従って説明する。図
７はこの実施例における吸着ノズル３１の断面図を示し
ており、大径ノズル３２と小径ノズル３３を備えている
。この吸着ノズル３１は前記第１実施例と同様に、オー
トハンドラの自在アーム先端側に設けられている。

【００２６】大径ノズル３２は基端側の大筒部３２ａと
先端側の小筒部３２ｂとからなり、小筒部３２ｂの開口
端が大型チップ部品を吸着するための吸着口３２ｃとな
っている。大筒部３２ａと小筒部３２ｂとの間の境界壁
３２ｄの一部には、連通穴３２ｅが形成されている。 又、境界壁３２ｄよりもやや上側位置の大筒部３２ａに
は、その大筒部３２ａ内を上下に二分する隔壁片３４が
固定されている。この隔壁片３４の中央には、大筒部３
２ａの軸方向へ貫通する貫通穴３４ａが形成されている
。又、その貫通穴３４ａの途中には、隔壁片３４の下側
面へ延びて開口する空気圧経路を構成する分岐穴３４ｂ
が形成されている。

【００２７】一方、小径ノズル３３は大径ノズル３２内
にて軸方向、即ち上下方向へ摺動自在に設けられている
。小径ノズル３３は大径ノズル３２の小筒部３２ｂ沿っ
て摺動可能な大径部３３ａと、その大径部３３ａから上
方へ延びて隔壁片３４の貫通穴３４ａに沿って摺動可能
な小径部３３ｂと、大径部３３ａと小径部３３ｂの間で
大径ノズル３２の大筒部３２ａに沿って摺動可能なフラ
ンジ部３３ｃとを備えている。そして、大径ノズル３２
の大筒部３２ａ、隔壁片３４及びフランジ部３３ｃによ
り第１の空気圧室３５が形成され、隔壁片３４を境に第
１の空気圧室３５の反対側が第２の空気圧室３６となっ
ている。又、小径部３３ｂの途中には空気圧経路を構成
する連通穴３３ｄが形成され、その連通穴３３ｄが小径
部３３ｂの上下動に伴って分岐穴３４ｂに整合して連通
可能になっている。更に、大径部３３ａの下端側は小径
に形成され、その開口端が小型チップ部品を吸着するた
めの吸着口３３ｅとなっている。

【００２８】大径ノズル３２内にて小径ノズル３３のフ
ランジ部３３ｃと隔壁片３４との間には、小径ノズル３
３を下方へ付勢するスプリング３７が介在されている。 このスプリング３７により、小径ノズル３３はそのフラ
ンジ部３３ｃが大径ノズル３２の境界壁３２ｄに当接す
る位置まで付勢されている。そして、その付勢状態にお
いて、小径ノズル３３の吸着口３３ｅが常に大径ノズル
３２の吸着口３２ｃよりも下方へ突出可能に設けられて
いる。又、その付勢状態において、隔壁片３４の分岐穴
３４ｂは小径ノズル３３の小径部３３ｂにより閉鎖され
るようになっている。

【００２９】そして、上記のように小径ノズル３３、そ
の連通穴３３ｄ、スプリング３７、隔壁片３４及びその
分岐穴３４ｂにより空気圧経路切替機構が構成されてお
り、小径ノズル３３がスプリング３７の付勢力に抗して
大径ノズル３２内へ、即ち上方へ所定量だけ押し込まれ
るのに伴い、連通穴３３ｄと分岐穴３４ｂとが整合して
連通するようになっている。又、第１の空気圧室３５に
負圧が導入されることにより、フランジ部３３ｃが上方
へ引かれて小径ノズル３３の全体が大径ノズル３２内へ
収容保持可能に切替えらるようになっている。

【００３０】尚、大径ノズル３２及び小径ノズル３３の
各吸着口３２ｃ，３３ｅにはそれぞれ導電性ゴムよりな
るゴムリング３８，３９が取付けられており、チップ部
品を吸着する際の緩衝と空気圧洩れ防止が図られている
。次に、上記のように構成した吸着ノズル３１の作用に
ついて説明する。この吸着ノズル３１で小型チップ部品
を吸着するには、小径ノズル３３の吸着口３３ｅを小型
チップ部品の上面へわずかに押し付けて密着させる。 又、小径ノズル３３の押圧力、即ち吸着ノズル３１の下
動位置は、その小径部３３ｂがスプリング３７の付勢力
に抗して押し上げられても、隔壁片３４の分岐穴３４ｂ
が閉鎖され続ける程度である。

【００３１】そして、その押圧状態で負圧ポンプにより
第２の空気圧室３６に負圧を作用させると、小型チップ
部品が小径ノズル３３の吸着口３３ｅに吸着される。こ
のとき自在アームを駆動させると、小型チップ部品が吸
着された状態でハンドリングされる。一方、この吸着ノ
ズル３１により大型チップ部品を吸着するには、先ず大
径ノズル３２及び小径ノズル３３の両吸着口３２ｃ、３
３ｅを大型チップ部品の上面へ押し付けて密着させる。 このときの押圧力は、小径ノズル３３のフランジ部３３
ｃがスプリング３７の付勢力に抗して押し上げられて、
連通穴３３ｄが隔壁片３４の分岐穴３４ｂに適度に連通
する程度である。その押圧力、即ち吸着ノズル３１の下
動位置は、オートハンドラのティーチングにより予め設
定されている。又、この押圧時の衝撃は、ゴムリング３
８，３９及びスプリング３７によって緩和される。

【００３２】そして、その押圧状態で負圧ポンプにより
第２の空気圧室３６に負圧を作用させると、大型チップ
部品が大径ノズル３２の吸着口３２ｃに吸着される。こ
れと同時に、第１の空気圧室３５内が分岐穴３４ｂ及び
連通穴３３ｄを通じて負圧となることから、境界壁３２
ｄの連通穴３２ｅを通じて第１の空気圧室３５と外部と
の間に差圧が生じる。従って、その差圧により、フラン
ジ部３３ｃがスプリング３７の付勢力に抗して上方へ引
かれ、その結果として小径ノズル３３の全体が上方へ引
かれ、完全に大径ノズル３２の内部へ収容され、その状
態が保持される。このとき自在アームを駆動させると、
大型チップ部品が吸着された状態でハンドリングされる
。

【００３３】上記のように、この実施例の吸着ノズル３
１では、小型チップ部品を吸着する場合には、それに見
合った大きさの小径ノズル３３の吸着口３３ｅを使用し
て、確実に小型チップ部品を吸着保持することができる
。又、大型チップ部品を吸着する場合には、それに見合
った大きさの大径ノズル３２の吸着口３２ｃを使用して
、確実に大型チップ部品を吸着保持することができる。 しかも、大小異なる大径ノズル３２及び小径ノズル３３
を使い分けるために、従来から使用されている各ノズル
３２，３３の他は、隔壁片３４とその分岐穴３４ｂ等を
設けて吸着ノズル３１の下動位置を変えているだけで、
何ら特別な切替手段を設ける必要がない。つまり、オー
トハンドラにより吸着ノズル３１を上下にずらすだけで
、各ノズル３２，３３の切替えを行うことができる。

【００３４】従って、切替手段を省略することができて
吸着ノズル３１の構造を簡略化することができる。又、
大小異なる各ノズル３２，３３を切替える際に、特別な
切替手段の別途な操作、或いは制御を省略して行うこと
ができる。尚、この発明は前記各実施例に限定されるも
のではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で構成の一部
を適宜に変更して次のように実施することもできる。

【００３５】（１）前記第１実施例では、軸方向全体に
渡って等径に形成された大径ノズル１１及び小径ノズル
１２を組合せて吸着ノズル１を構成したが、図８に示す
ように、大径ノズル１１及び小径ノズル１２の先端側を
それぞれ絞って吸着口１１ａ，１２ｃを形成し、吸着ノ
ズル４１を構成してもよい。この場合は、吸着ノズル４
１の外径寸法が大きいままとなり、大径ノズル１１と小
径ノズル１２を切替えて使い分けることにより、小さめ
の２種類のチップ部品を確実に吸着して保持することが
できる。

【００３６】（２）前記第１実施例では、小径ノズル１
２の先端側を常に大径ノズル１１の吸着口１１ａよりも
下方へ突出させるために、第２のスプリング１７を設け
たが、第２のスプリング１７を省略して、小径ノズルの
自重のみにより小径ノズルの先端側を常に大径ノズルの
吸着口よりも下方へ突出させるようにすることもできる
。

【００３７】（３）前記各実施例では、吸着ノズル１，
３１を大径ノズル１１，３２及び小径ノズル１２，３３
により２段に構成したが、同様の構成により吸着ノズル
を３段以上の多段に構成することにより、多種類の寸法
のチップ部品に対応して使用可能にすることもできる。

【００３８】

【発明の効果】以上詳述したようにこの発明によれば、
大径ノズル内にて軸方向へ摺動自在な小径ノズルの先端
側を常に大径ノズル開口端よりも突出可能に設け、小径
ノズルが大径ノズル内へ所定量だけ押し込まれるのに伴
い、空気圧経路が開かれて大径ノズルと小径ノズルとの
間の空気圧室に導入される空気圧により、小径ノズル全
体が大径ノズル内へ収容保持可能に構成したので、大径
ノズルと小径ノズルとを使い分けるために、小径ノズル
が大径ノズル内へ所定量だけ押し込まれるように全体の
位置をわずかにずらすだけでよく、特別な切替手段とそ
の操作を省略して行うことができるという優れた効果を
発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明を具体化した第１実施例における吸着
ノズルを示す断面図である。

【図２】第１実施例におけるオートハンドラを示す斜視
図である。

【図３】第１実施例において吸着ノズルにより小型チッ
プ部品を吸着する状態を示す断面図である。

【図４】第１実施例において吸着ノズルにより大型チッ
プ部品を吸着する状態を示す断面図である。

【図５】第１実施例において、同じく吸着ノズルにより
大型チップ部品を吸着する状態を示す断面図である。

【図６】第１実施例において吸着ノズルを作動させる空
気圧回路を示す図である。

【図７】この発明を具体化した第２実施例における吸着
ノズルを示す断面図である。

【図８】この発明を具体化した別の実施例における吸着
ノズルを示す断面図である。

【符号の説明】

３…チップ部品、３Ａ…小型チップ部品、３Ｂ…大型チ
ップ部品、１１…大径ノズル、１１ｄ…空気圧経路を構
成する空気穴、１２…小径ノズル、１５…第１の空気圧
室、１７…第２のスプリング（１１ｄ，１２，１７等に
より空気圧経路切替機構が構成されている）、３２…大
径ノズル、３３…小径ノズル、３３ｄ…空気圧経路を構
成する連通穴、３４…隔壁片、３４ｂ…空気圧経路を構
成する分岐穴、３５…第１の空気圧室、３７…スプリン
グ（３３，３４，３７等により空気圧経路切替機構が構
成されている）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　チップ部品を先端の吸着口にて負圧吸
   着する吸着ノズルにおいて、大径ノズル内にて軸方向へ
   摺動自在に設けられると共に、先端側が常に大径ノズル
   開口端よりも突出可能に設けられた小径ノズルと、前記
   大径ノズルと前記小径ノズルとの間に設けられた空気圧
   室と、前記空気圧室へ通じる空気圧経路と、前記小径ノ
   ズルが前記大径ノズル内へ所定量だけ押し込まれるのに
   伴い、前記空気圧経路が開かれて前記空気圧室に導入さ
   れる空気圧により、前記小径ノズル全体を前記大径ノズ
   ル内へ収容保持可能に切替える空気圧経路切替機構とを
   備えた吸着ノズル。