JPH08323558A - 真空把持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空吸着により被吸着物を把持する場合に被
吸着物の大きさが異なり、そのため吸着穴が複数個以上
必要となってもそれぞれの吸着穴に真空源を設けなくて
もよい構造にする。 【構成】 吸引穴７を通してチャンバ４内を排気し、被
吸着物１２を複数の開口部３のうちの１つ又は幾つかに
当てる。被吸着物１２により塞がれた開口部３の気圧は
低下していき、それによって被吸着物１２が吸着される
とともに、第１プランジャ５が開口部３方向へ移動し開
口部３を第１弁２によって塞ぐ。開口部３の気圧は負圧
となり、他の開口部に被吸着物が吸着されないで開放状
態になっていても、被吸着物１２が外れることはない。
第２プランジャ１１を押し下げると、その先端の第２弁
８が開き、通気路１３、通気穴６を通して開口部３に外
気が供給され被吸着物１２がブロック１から離脱する。
第１プランジャ５はバネ９の作用で元の位置に戻る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空把持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、負圧を利用して部品等を吸着
把持する真空把持装置が知られている（特開平５−１６
９３３０号）。従来の真空把持装置は、被吸着物の大き
さが変化する場合には大きさに対応して数個の吸引穴を
設け、かつ吸引穴に対応してそれぞれ吸引源を設けてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この従来の真空把持装
置では、吸引穴ごとに吸引源を設けているため、被吸着
物の大きさに合せて、吸引源の駆動を制御する必要があ
り、制御系が複雑となると共に、吸引穴の数に応じた吸
引源を用意するため費用も増加するといった問題があっ
た。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の装置は、図１に
示すように、ブロック１と第１プランジャ５を備えてい
る。ブロック１には、吸引穴７を通して排気されるチャ
ンバ４が形成され、さらに、チャンバ４からブロック１
の外部へと通じ被吸着物１２を吸着する複数の開口部３
が形成されている。第１プランジャ５の一端はブロック
１を貫通して外気と接し、その他端には開口部３に対向
し開口部３をチャンバ４側から塞ぐための第１弁部２が
形成されている。第１プランジャ１は、開口部３を塞ぐ
方向に移動自在に装着され、付勢部材９によって、第１
弁部２が開口部３から離れる方向へ常時付勢されてい
る。本発明の装置はさらに開口部３に気圧を供給する通
気手段を備えている。

【０００５】この通気手段は、第１プランジャ５に軸方
向に形成された通気路１３と、通気路１３内に配置され
一端に通気路１３と開口部３とを開通／遮断する第２弁
部８を備えた第２プランジャ１１とにより構成すること
ができる。この場合、第２プランジャ１１の他端に第２
弁部８を閉方向に常時付勢する付勢部材１０を備えるこ
とができる。

【０００６】

【作用】吸引穴７を通してチャンバ４内を排気し、被吸
着物１２を複数の開口部３のうちの１つまたは幾つかに
当てる。被吸着物１２により塞がれた開口部３の気圧は
低下していき、それによって被吸着物１２が吸着される
とともに、第１プランジャ５が開口部３方向へ移動し開
口部３をチャンバ４側から塞ぐ。開口部３の気圧は負圧
となり、他の開口部が被吸着物が吸着されてないで開放
状態になっていても、被吸着物１２が外れることはな
い。被吸着物１２を離脱させるときは通気手段１１，１
３によって開口部３に外気を導入する。

【０００７】

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明の一実施例の真空把持装置を、被吸
着物（電子部品等）を装置の一部に把持した状態で示す
断面図である。

【０００８】図１に示すように、ブロック１はチャンバ
４および複数の開口部３と、真空ポンプ等からの排気を
チャンバ４に通じる吸引穴７とを有している。第１プラ
ンジャ５は円筒形状であり、下端にフランジ状の第１弁
２を有し、その中空の中心部を第２プランジャ１１が貫
通して摺動し、第２プランジャ１１の下端には第２弁８
が設けられている。第１プランジャ５はチャンバ４内を
上下に摺動し、第１プランジャ５の上部はブロック１か
ら突出して外気に接している。ブロック１と第１プラン
ジャ５の上端の鍔部５ａとの間にはバネ９が配設されて
いて、バネ９は伸長状態においてプランジャ５の自重と
平衡している。このとき第１弁２は開口部３を塞いでい
ない。

【０００９】第２プランジャ１１は第１プランジャ５内
を滑らかに摺動し、下端に第１弁２の中心部の穴を閉塞
する第２弁８を有している。第２プランジャ１１は中央
の太くなった部分１５に通気穴６を有し、その通気穴６
の上下の部分の空気を流通させることができる。第２プ
ランジャ１１の上端の鍔部１６の下側と第１プランジャ
５の上端の鍔部５ａの上面との間にバネ１０が配設され
ている。第２弁８によって第１弁２の穴を閉塞してい
る。

【００１０】次に本実施例の動作について説明する。ブ
ロック１の下部の開口部３が形成された面を下にしてそ
の面に被吸着物１２の上面を接触させ、真空ポンプ等に
よって吸引穴７からチャンバ４および開口部３の空気を
排出して負圧にして吸着物１２を吸着する。このとき第
１プランジャ５内の圧力は通気穴６によって外部と流通
しているため、大気圧と同じである。そのため、第１プ
ランジャ５内とブロック１の開口部３内とに圧力差が生
じ、第１プランジャ５は下方（被吸着物１２側）へ移動
し、第１弁２により開口部３は塞がれチャンバ４と遮断
される。このときバネ９は圧縮され、第１プランジャ５
を押し上げようとするが、そのバネの力は、第１プラン
ジャ５を下方へ移動させる力よりも小さくして第１プラ
ンジャ５を押し上げることがないように設定してある。
この状態では他の開口部３が大気と通じていても被吸着
物１２と第１プランジャ５とによって閉塞された開口部
３内は負圧が保持されるため、被吸着物１２は吸着され
たままである。

【００１１】被吸着物１２の把持を解除するときは、第
２プランジャ１１を上方から下方に押し、第２プランジ
ャ１１を第１プランジャ５の中央部の通気路１３内を下
方に移動させる。第２プランジャ１１の押し下げは、た
とえばシリンダ部材を何らかのアクチュエータで駆動さ
せて、第２プランジャ１１の頭部をたたくようにする。
そうすると、今まで第２弁８が第１弁２に密着してその
穴を閉塞していたのが解除されて第２弁８が開く。この
とき通気路１３、通気穴６を通って外気が供給され、開
口部３内の圧力は外気と同じ圧力となるので、被吸着物
１２はブロック１から離脱する。第１プランジャ５は、
開口部３内と第１プランジャ５内の圧力が同一となるた
めバネ９によって上方に移動され、それにより第１弁２
も図１の右側に示す状態の位置に戻る。

【００１２】上記実施例においては通気手段として、第
１プランジャ５内に通気路１３を設け第２弁８を開放し
て開口部３に気圧を供給したが、本発明はそれに限定さ
れない。たとえばブロック１内に開口部３に通じる通気
路を設け、この通気路を通して開口部３内に気圧を提供
してもよい。

【００１３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空把持装置に設けた吸着穴をすべて塞がなくても被吸
着物を把持することができる。また被吸着物を把持後は
真空ポンプ等により継続的に排気を行わなくても被吸着
物の把持状態を保持する。したがって被吸着物の大きさ
が変化しても吸着穴ごとにそれぞれ吸着源を設ける必要
がないという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による真空把持装置の一実施例の断面図

【符号の説明】

１ ブロック ２ 第１弁 ３ 開口部 ４ チャンバ ５ 第１プランジャ ６ 通気穴 ７ 吸引穴 ８ 第２弁 ９，１０ バネ １１ 第２プランジャ １２ 吸着物 １３ 通気路

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸引穴を通して排気されるチャンバを有
   し、前記チャンバからブロックの外部へ通じ被吸着物を
   吸着する複数の開口部が形成されたブロックと、 一端は前記ブロックを貫通して外気と接し、他端には前
   記開口部に対向し前記開口部を前記チャンバ側から塞ぐ
   ための第１弁部が形成され、前記開口部を塞ぐ方向へ移
   動自在に装着された第１プランジャと、 前記第１プランジャを前記第１弁部が前記開口部から離
   れる方向へ常時付勢する付勢部材と、 前記開口部に気圧を供給する通気手段とを備えたことを
   特徴とする真空把持装置。
2. 【請求項２】 前記通気手段は、前記第１プランジャに
   軸方向に形成された通気路と、前記通気路内に配置され
   一端に前記通気路と前記開口部とを開通／遮断する第２
   弁部を備えた第２プランジャとから成る請求項１に記載
   の真空把持装置。
3. 【請求項３】 前記第２プランジャの他端に前記第２弁
   部を閉方向に常時付勢する付勢部材を備えた請求項２に
   記載の真空把持装置。