JPH05146983A - 選択式吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸着対象となる基板の形状、孔や切欠きの有
無に関係なく、何れかの吸着パッドによって確実に吸着
して移送することを可能とする選択式吸着装置を提供す
る。 【構成】 支持板上に複数の吸着装置を配置し、各吸着
装置１は内部に負圧導入路５、６、７及び該負圧導入路
７内に可動に支持された弁体１１を有するとともに、外
面に吸着パッド４を有し、該弁体１１から吸着パッド中
心部に伸びるピン１０が被吸着対象に圧接して押し込め
られた時に該弁体１１が負圧導入路と該ピン外周のピン
挿通孔９とを連通状態にして吸着パッド４と被吸着対象
との間に負圧を導入せしめる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はプリント基板等の吸着搬
送に使用する吸着装置の改良に関する。

【０００２】

【従来技術】電子機器、通信機器等に用いられるプリン
ト基板の製造工程は、未加工の基板に導体パターンを形
成した後で各種部品を搭載する等の各種工程とを含む。

【０００３】図４は、積層した基板を一枚づつ搬送路に
移送する装置を示す平面図であり、基板２１を次工程に
搬送するプリント基板搬送路（レール）２２の近傍に位
置する回動支軸２３には、回動アーム２４の一端が水平
方向に回動自在に枢着されている。回動アーム２４の幅
中央部には長さ方向に伸びる長穴２５が貫通形成され、
この長穴２５には２本のスライドアーム２７、２８が移
動可能に支持されている。

【０００４】各スライドアーム２７、２８も幅中央部に
長さ方向へ伸びる長孔２９、３０を有し、締め付けネジ
３１を回動アーム２４の長穴２５と各スライドアームの
長孔２９、３０内に挿通して締め付けることにより、各
スライドアーム２７、２８を回動アーム２４の適所に所
定の取付け角度で位置決め固定することができる。

【０００５】また、各長孔２９、３０には夫々締め付け
ネジ３３、３４が挿通されており、各締め付けネジ３
３、３４の一端には吸盤固定具３５、３６が止着されて
いる。

【０００６】吸盤固定具３５、３６の下面には図示しな
い吸盤が配置されており、各吸盤固定具を適所まで移動
させた上で各締め付けネジ３３、３４を締め付けて各吸
盤固定具３５、３６を固定することにより、吸着しよう
とする基板の形状に応じて的確に吸着することが可能と
なる。

【０００７】これを詳述すると、各吸盤固定具３５、３
６に設けた吸盤が基板面の適所を吸着するように吸盤固
定具の位置を定めた状態で、図示のように堆積した基板
２１の内の最上部の基板の上面に各吸盤固定具が位置す
る様に回動アーム２４を移動させ、吸盤固定具を基板上
面に降下させて圧接すると、吸盤固定具に設けた吸盤が
基板面に吸着する。この状態で回動アーム２４を搬送路
２２の高さまで上昇させてから矢印方向に所定角度回動
し、吸盤による吸着を解除すると、基板２１は搬送路２
２上に的確に移送される。

【０００８】しかしながら、上記移送装置は、各アーム
や吸盤固定具の事前セットが面倒であるばかりか、取り
扱う基板の形状が変更した場合にはセットをし直す必要
が生じる。更に、基板中に孔、切欠き等がある場合には
この孔を回避した位置に吸盤固定具を配置する等の煩雑
な操作が必要となる。

【０００９】

【発明の目的】本発明は上記に鑑みてなされたものであ
り、吸着対象となる基板の形状、孔や切欠きの有無に関
係なく、何れかの吸着パッドによって確実に吸着して移
送することを可能とする選択式吸着装置を提供すること
を目的としている。

【００１０】

【発明の概要】上記目的を達成するために本発明は以下
の如き構成をとる。

【００１１】即ち、本発明は、被吸着対象を吸着するた
めに支持板上に複数個配列される吸着装置であって、各
吸着装置は該支持板上に一体化した基台と、該基台の外
面に取付けた吸着パッドと、該吸着パッドの中心部から
基台内部に貫通形成したピン挿通孔と、該ピン挿通孔内
に進退可能に遊嵌したピンと、該ピンの軸方向内側端部
に一体化した弁体と、該弁体を収納するために該支持板
内部に形成された弁収納室と、該支持板を貫通して設け
られた第１の負圧導入路と、該負圧導入路と該弁収納室
とを連通する第２の負圧導入路と、該弁収納室と該第２
の負圧導入路との境界に位置し該弁体が閉止方向に移動
した時に閉止される連通孔とを備え、該ピン挿通孔は該
ピンとの間に負圧導入用の空所を有するとともに、該ピ
ン挿通孔の内側端部開口は該弁体が前記閉止方向に移動
したときに前記連通孔と同時に閉止され且つ前記弁体が
開放方向に移動した時に前記連通孔と同時に開放されて
前記吸着パッド中心部に負圧を導入せしめること、前記
ピンの先端部が前記吸着パッドよりも外方に突出してい
るときに前記弁体は前記ピン挿通孔の内側端部開口及び
前記連通孔を同時に閉止するとともに、該前記ピンの先
端部が前記被吸着対象によって前記基台内部に押し込ま
れた時に前記ピン挿通孔の内側端部開口及び前記連通孔
を開放すること及び前記支持板の一部が前記基台を兼ね
ることを特徴としている。

【００１２】

【発明の実施例】以下、添付図面に示した好適な実施例
に基づいて本発明を詳細に説明する。

【００１３】図１(a) 及び(b) は本発明の一実施例の吸
着装置の構成及び動作を示す説明図であり、この吸着装
置１は図３に示した如き支持板２上に適当な間隔で多数
配置する。支持板２は例えば図４の従来例における回動
アーム２４に固定的或は長手方向に移動可能に取り付け
る。各吸着装置１は図１(a) (b) に示すように支持板２
の片面上に一体的に突設した基台３と、基台３の面上に
止着した断面八字状の薄肉弾性部材からなる吸着パッド
（吸盤）４と、支持板２の他面で開口し支持板２を貫通
した第１の負圧導入路５と、第１の導入路５と連通し基
台３の内部に形成した第２の負圧導入路６と、第２の負
圧導入路６と連通した状態で支持板２内部に形成した弁
収納室７と、吸着パッド４の中央部に相当する第２の負
圧導入路６の内壁に突設したピン支持突部８と、ピン支
持突部８を内外方向に貫通するピン挿通孔９と、ピン挿
通孔９により進退自在に支持されたピン１０と、ピン１
０の軸方向内側端部に一体化され弁収納室７内に位置す
る弁体１１と、支持板２と基台３との接合面に介在する
仕切り板１３等を有する。

【００１４】挿通孔９の形状は例えば図２(a) ，(b) に
示すようにピン１０の外径方向に通気用の十分な負圧導
入用空所９ａが形成されるように寸法設定するととも
に、挿通孔９の上端部はピン支持突部８の上端面におい
て開口せしめる。

【００１５】仕切り板１３には連通孔１３ａ，１３ｂを
設けて各導入路５、６と、弁収納室７とを十分に連通さ
せるように配慮する。また、弁体１１の下面（孔１３ｂ
側）には弾性材料から成るパッキン１５を一体化する。

【００１６】第１の負圧導入路５の外側端部は図示しな
いコンバム（真空発生機）と連通せしめ、各導入路５、
６及び弁収納室７内にコンバムからの負圧を導入する。

【００１７】図１(a) に示すようにプリント基板を吸着
していない場合には負圧導入路５、６からの負圧によっ
て弁体１１が吸引されて弁体のパッキン１５が連通孔１
３ｂ周縁に密着して連通孔１３ｂを閉止するとともに、
パッキン１５がピン支持突部８の端面に密着してピン挿
通孔９の開口端部を閉止する。弁体１１と一体のピン１
０は吸着パッド４よりも下方へ突出することとなる。

【００１８】プリント基板Ｐを吸着する場合には、図１
(a) の状態にある吸着装置１の吸着パッド４を図１(b)
に示すようにプリント基板Ｐに圧接する。すると、突出
していたピン１０がプリント基板Ｐによって内部に押し
込まれるため、弁体１１が連通孔１３ｂの周縁及びピン
支持突部８端面から離間して連通孔１３ｂ及び挿通孔９
を開放する。連通孔１３ｂ及び挿通孔９が開放すると、
連通孔１３ｂから導入された負圧が挿通孔９内を介して
吸着パッド４とプリント基板Ｐの板面との間に導入され
る。このため、吸着パッド４は基板Ｐを強固に吸着する
ことが可能となる。

【００１９】基板Ｐに穴や切欠きが存する場合には、当
該穴等に吸着パッドを押し付けてもピン１０の先端部が
内部に押し込まれることがないため、負圧が挿通孔９内
に進入することがなく、吸着することがない。

【００２０】従って、図３に示すように支持板上に多数
の吸着装置１を適当な間隔を有した配列（例えばマトリ
クス状）で配置しておくことにより、作動しない吸着パ
ッドを除いた他の吸着パッドによって強く吸着すること
が可能となり、あらゆる形状の基板を吸着することがで
きる。

【００２１】上記実施例においては、別部材である支持
板２と基台３とを接合した例を示したが、両者は一体構
造物であってもよい。

【００２２】以上のように本発明によれば、予め適当な
間隔で支持板上に配列した多数の吸着装置の内のいくつ
かが基板上の穴、切欠き、凹所等の吸着不能部分に対面
した場合においても、他の吸着装置が強い負圧吸引力に
より正常に作動するため、吸着パッドの位置をセットし
直す等の煩雑な操作が不要となる。

【００２３】上記実施例では吸着対象としてプリント基
板を示したが、本発明の吸着装置は基板以外の吸着対象
物の吸着、搬送にも適用可能である。

【００２４】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、吸着対象
となる基板の形状、孔や切欠きの有無に関係なく、何れ
かの吸着パッドによって確実に吸着して移送することが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】(a) 及び(b) は本発明の一実施例の構成を示す
断面図である。

【図２】(a) 及び(b) はピン及び挿通孔の形状を示す説
明図である。

【図３】吸着装置の配列の一例を示す図である。

【図４】従来例の説明図である。

【符号の説明】

１ 吸着装置、２ 支持板、３ 基台、４ 吸着パッ
ド、５ 第１の負圧導入路、６ 第２の負圧導入路、７
弁収納室、８ ピン支持突部、９ ピン挿通孔、１０
ピン、１１ 弁体、１３ 仕切り板、１３ａ，１３ｂ
孔

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成４年１２月１０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明細書

【発明の名称】 選択式吸着装置

【０００１】

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野】本発明はプリント基板等の吸着搬
送に使用する吸着装置の改良に関する。

【０００２】

【従来技術】電子機器、通信機器等に用いられるプリン
ト基板の製造工程は、未加工の基板に導体パターンを形
成した後で各種部品を搭載する等の各種工程とを含む。
図５は、積層した基板を一枚づつ搬送路に移送する装置
を示す平面図であり、基板２１を次工程に搬送するプリ
ント基板搬送路（レール）２２の近傍に位置する回動支
軸２３には、回動アーム２４の一端が水平方向に回動自
在に枢着されている。回動アーム２４の幅中央部には長
さ方向に伸びる長穴２５が貫通形成され、この長穴２５
には２本のスライドアーム２７、２８が移動可能に支持
されている。

【０００３】各スライドアーム２７、２８も幅中央部に
長さ方向へ伸びる長孔２９、３０を有し、締め付けネジ
３１を回動アーム２４の長穴２５と各スライドアームの
長孔２９、３０内に挿通して締め付けることにより、各
スライドアーム２７、２８を回動アーム２４の適所に所
定の取付け角度で位置決め固定することができる。ま
た、各長孔２９、３０には夫々締め付けネジ３３、３４
が挿通されており、各締め付けネジ３３、３４の一端に
は吸盤固定具３５、３６が止着されている。吸盤固定具
３５、３６の下面には図示しない吸盤が配置されてお
り、各吸盤固定具を適所まで移動させた上で各締め付け
ネジ３３、３４を締め付けて各吸盤固定具３５、３６を
固定することにより、吸着しようとする基板の形状に応
じて的確に吸着することが可能となる。

【０００４】これを詳述すると、各吸盤固定具３５、３
６に設けた吸盤が基板面の適所を吸着するように吸盤固
定具の位置を定めた状態で、図示のように堆積した基板
２１の内の最上部の基板の上面に各吸盤固定具が位置す
る様に回動アーム２４を移動させ、吸盤固定具を基板上
面に降下させて圧接すると、吸盤固定具に設けた吸盤が
基板面に吸着する。この状態で回動アーム２４を搬送路
２２の高さまで上昇させてから矢印方向に所定角度回動
し、吸盤による吸着を解除すると、基板２１は搬送路２
２上に的確に移送される。しかしながら、上記移送装置
にあっては、吸着エラーによる設備の稼働停止を回避す
るために各アームや吸盤固定具の事前セット等の煩雑な
作業が必要であり、しかも取り扱う基板の形状を変更す
る場合にはセットをし直す必要が生じる。特に、上記セ
ット作業に際しては基板中に孔、切欠き等がある場合に
はこの孔を回避した位置に吸盤固定具を配置する等の煩
雑な操作が必要となる。これらは全て工数の増大をもた
らすため、改善が望まれていた。

【０００５】

【発明の目的】本発明は上記に鑑みてなされたものであ
り、吸着対象となる基板の形状、孔や切欠きの有無に関
係なく、何れかの吸着パッドによって確実に吸着して移
送することを可能とする選択式吸着装置を提供すること
を目的としている。

【０００６】

【発明の概要】上記目的を達成するために本発明は以下
の如き構成をとる。即ち、本発明は、被吸着対象を吸着
するために支持板上に複数個配列される吸着装置であっ
て、各吸着装置は該支持板上に一体化した基台と、該基
台の外面に取付けた吸着パッドと、該吸着パッドの中心
部から基台内部に貫通形成したスライド支持孔と、該ス
ライド支持孔内に進退可能に支持されると共に該スライ
ド支持孔内壁に摺接する大径部と該内壁との間に間隙を
形成する小径部とを備えた段付きロッドと、該段付きロ
ッドの軸方向内側端部に一体化した弁本体と、該弁本体
を収納するために該支持板内部に形成され該スライド支
持孔と連通した弁収納室と、該スライド支持孔と該弁収
納室との間を連通するために基台内に形成したバイパス
孔と、該弁収納室内に負圧を導入するための負圧導入路
と、該弁収納室に外気を導入する外気導入孔とを備え、
前記弁本体が閉止位置にある時に該弁本体は前記負圧導
入路を閉止すると共に該ロッド大径部は該スライド支持
孔内壁に開口したバイパス孔の一端を閉止し、該弁本体
が開放位置にある時に該弁本体は前記負圧導入路を開放
すると共に該ロッド大径部が該バイパス孔の一端を開放
することによって該スライド支持孔内壁と該ロッド小径
部との間の間隙を介して前記吸着パッド中心部に負圧を
導入せしめることを特徴とする。

【０００７】

【発明の実施例】以下、添付図面に示した好適な実施例
に基づいて本発明を詳細に説明する。図１(a) 及び(b)
は本願出願人が先行する特許出願（特願平３−１０３１
２２号）において開示した吸着装置の構成及び動作を示
す説明図であり、図４に示す本発明の実施例の理解を助
ける為に少しく説明する。この吸着装置１は図３に示し
た如き支持板２上に適当な間隔で多数配置する。支持板
２は例えば図５の従来例における回動アーム２４に固定
的に、或は長手方向に移動可能に取り付ける。各吸着装
置１は図１(a) (b) に示すように支持板２の片面上に一
体的に突設した基台３と、基台３の面上に止着した断面
八字状の薄肉弾性部材からなる吸着パッド（吸盤）４
と、支持板２の他面で開口し支持板２を貫通した第１の
負圧導入路５と、第１の導入路５と連通し基台３の内部
に形成した第２の負圧導入路６と、第２の負圧導入路６
と連通可能な位置関係で支持板２内部に形成した弁収納
室７と、吸着パッド４の中央部に相当する様に第２の負
圧導入路６の内壁に突設したロッド支持突部８と、ロッ
ド支持突部８を内外方向に貫通するロッド挿通孔９と、
ロッド挿通孔９により進退自在に支持されたロッド１０
と、ロッド１０の軸方向内側端部に一体化され弁収納室
７内に位置する弁体１１と、支持板２と基台３との接合
面に介在する仕切り板１３等を有する。

【０００８】挿通孔９の形状は例えば図２(a) ，(b) の
横断面図に示すようにロッド１０の外径方向に通気用の
十分な負圧導入用空所９ａが形成されるように寸法設定
するとともに、挿通孔９の上端部はロッド支持突部８の
上端面において開口せしめて、弁収納室７と連通可能と
する。仕切り板１３には連通孔１３ａ，１３ｂを設けて
各導入路５、６と、弁収納室７とを十分に連通可能とす
るように配慮する。また、弁体１１の下面（孔１３ｂ
側）には弾性材料から成るパッキン１５を一体化する。
第１の負圧導入路５の外側端部は図示しないコンバム
（真空発生機）と連通せしめ、各導入路５、６及び弁収
納室７内にコンバムからの負圧を導入する。図１(a) に
示すようにプリント基板を吸着していない場合には負圧
導入路５、６からの負圧によって弁体１１が下方へ吸引
されて弁体のパッキン１５が連通孔１３ｂ周縁に密着し
て連通孔１３ｂを閉止するとともに、パッキン１５がロ
ッド支持突部８の端面に密着してロッド挿通孔９の開口
端部を閉止する。弁体１１と一体のロッド１０は吸着パ
ッド４下端縁よりも下方へ突出することとなる。プリン
ト基板Ｐを吸着する場合には、図１(a) の状態にある吸
着装置１の吸着パッド４を図１(b) に示すようにプリン
ト基板Ｐに圧接する。すると、突出していたロッド１０
がプリント基板Ｐによって内部に押し込まれるため、弁
体１１が連通孔１３ｂの周縁及びロッド支持突部８端面
から離間して連通孔１３ｂ及び挿通孔９を開放する。連
通孔１３ｂ及び挿通孔９が開放すると、連通孔１３ｂか
ら導入された負圧が挿通孔９内を介して吸着パッド４と
プリント基板Ｐの板面との間に導入される。このため、
吸着パッド４は基板Ｐを強固に吸着することが可能とな
る。

【０００９】基板Ｐに穴や切欠きが存する場合には、当
該穴等に吸着パッドを押し付けてもロッド１０の先端部
が内部に押し込まれることがないため、負圧が挿通孔９
内に進入することがなく、吸着することがない。従っ
て、図３に示すように支持板上に多数の吸着装置１を適
当な間隔を有した配列（例えばマトリクス状）で配置し
ておくことにより、作動しない吸着パッドを除いた他の
吸着パッドによって強く吸着することが可能となり、あ
らゆる形状の基板を吸着することができる。

【００１０】図４(a) (b) は本発明の一実施例であり、
この吸着装置１も図３に示した如き支持板２上に適当な
間隔で多数配置すると共に、支持板２は図５の従来例に
おける回動アーム２４に固定的に、或は長手方向に移動
可能に取り付ける。各吸着装置１は図４(a) (b) に示す
ように支持板２の片面上に仕切り板５０を介して一体的
に固定した基台３と、基台３の面上（下面）に止着した
断面八字状の薄肉弾性部材からなる吸着パッド（吸盤）
４と、支持板２内に形成された大径の弁収納室５２と、
弁収納室５２から上方へ伸びて弁収納室を外気と連通さ
せる小径の外気導入孔５２ａと、弁収納室５２の中央部
から下方へ延び仕切り板５０と基台３を厚さ方向へ貫通
するスライド支持孔５４と、スライド支持孔５４の内壁
の適所と弁収納室５２とを連通させるために仕切り板５
０の肉厚内部に形成したバイパス孔５６と、弁収納室５
２を図示しないコンバムと接続して負圧を導入する負圧
導入路５８と、弁収納室５２からスライド支持孔５４内
にかけて往復自在に収納した弁体６０とを有する。

【００１１】弁体６０は弁収納室５２内壁に密接して摺
動する大径の弁本体６１と、弁本体６１から一体的に延
びスライド支持孔５４内壁に密接して摺動する大径のロ
ッド部（大径部）６１ａと、大径ロッド部６１ａから一
体的に延びスライド支持孔５４内壁との間に十分な空所
を形成する小径のロッド部（小径部）６１ｂと、小径ロ
ッド部６１ｂの先端部に一体化した被押圧部６１ｃとを
有する。大径ロッド部６１，小径ロッド部６１ｂ及び被
押圧部６１ｃは段付きロッドを構成している。大径ロッ
ド部６１ａは、図４(a) の様に弁体６０が下方（外方）
へ移動して先端の被押圧部６１ｃが吸着パッド４側へ最
大限突出した閉止位置にある時にバイパス孔５６の一方
の開口を完全に閉止し、図４(b) の様に弁体６０全体が
上方（内方）へ移動した開放位置にある時に該バイパス
孔５６を開放してスライド支持孔５４と弁収納室５２と
を直接連通状態にできるようその軸方向長を設定する。
なお、図４(a) のように大径ロッド部６１ａがバイパス
孔５６の一方の開口を閉止した時には弁本体６１がバイ
パス孔５６の他方の開口と、負圧導入路５８の開口を同
時に閉止するよう各構成要素の寸法及び位置関係を設定
する。

【００１２】図４(a) に示した様にプリント基板を吸着
していない状態においては、負圧導入路５８からの負圧
と外気導入孔５２ａからの外気との気圧差によって弁体
６０が吸着パッド４側（閉止方向）へ降下してバイパス
孔５６と負圧導入路５８を共に閉止しているためコンバ
ムからの負圧は吸着パッド内へ導入されることがない。
このため、弁体６０は図示の姿勢を維持し続けることが
できる。そして、基板Ｐに穴や切欠きが存する場合に、
当該穴等に吸着パッドを押し付けても被押圧部６１ｃが
内部に押し込まれることがないため、負圧がバイパス孔
５６及びスライド孔５４内に侵入することがなく、負圧
が漏れることがない。本実施例においては特に、外気導
入孔５２ａから弁収納室５２内に外気を導入しているた
め、図４(a) に示した閉止状態の維持が容易である。

【００１３】プリント基板Ｐを吸着する場合には、図４
(a) の状態にある吸着装置１の吸着パッド４を図４(b)
に示すようにプリント基板Ｐに圧接する。すると、突出
していた被押圧部６１ｃがプリント基板Ｐによって内部
（開放方向）に押し込まれるため、弁本体６１がバイパ
ス孔５６の開口と負圧導入路５８の開口から離間してこ
れらを開放する。バイパス孔５６及び負圧導入路５８が
開放すると、負圧導入路５８からの負圧がスライド支持
孔５４内壁と小径ロッド部６１ｂとの間の間隙を介して
吸着パッド４とプリント基板Ｐの板面との間に導入され
る。このため、吸着パッド４は基板Ｐを強固に吸着する
ことが可能となる。従って、本実施例においても図３に
示すように支持板上に多数の吸着装置１を適当な間隔を
有した配列（例えばマトリクス状）で配置しておくこと
により、作動しない吸着パッドを除いた他の吸着パッド
によって強く吸着することが可能となり、あらゆる形状
の基板を吸着することができる。

【００１４】なお、本実施例では支持板２と仕切り板５
０と基台３とを別体構造としたが、これらのうちの何れ
か或は全てを一体化してもよい。従って、請求の範囲に
おいては、基台と仕切り板５０とを区別することなく、
基台という概念に仕切り板５０を含ませている。また、
バイパス孔５６や負圧導入路５８の形成位置、形状は図
示のものに限定される訳ではなく本発明の目的とする作
用効果を達成し得る範囲内で行う種々の変更はいずれも
本発明の技術的範囲内に含まれるものである。以上のよ
うに本発明によれば、予め適当な間隔で支持板上に配列
した多数の吸着装置の内のいくつかが基板上の穴、切欠
き、凹所等の吸着不能部分に対面した場合においても、
他の吸着装置が強い負圧吸引力により正常に作動するた
め、吸着パッドの位置をセットし直す等の煩雑な操作が
不要となる。本発明が図１に示した先行特許出願の実施
例と相違する点は、スライド孔５４を大径にすることに
より、吸着装置全体を大型化することなく、吸着力、吸
着のＯＮ、ＯＦＦに際しての応答性を向上し、更にスラ
イド孔５４とバイパス孔５６を直結し、且つ該パイパス
孔５６を負圧導入路５８と直結したので上記応答性を更
に高めるばかりでなく、装置全体の肉厚を減縮し、小型
化することができる。また、スライド支持孔５４内壁と
小径ロッド部６１ｂとの間の間隙の存在により、両者の
摺動摩擦による損耗が少なくなり、負圧洩れの発生を防
止して耐久性を向上できる。また、図１の実施例では第
１及び第２の負圧導入路が弁収納室から側方に突出して
いるので、個々の吸着装置の横方向サイズが大型化せざ
るを得ないが、本発明においては図示した構造からも明
白な様に個々の吸着装置が横方向に占める面積は小さ
く、しかも上述の様に吸着能力が高まる為、支持板上に
おける吸着装置の配置個数を減らしてコストダウンを図
ることができる。上記実施例では吸着対象としてプリン
ト基板を示したが、本発明の吸着装置は基板以外の吸着
対象物の吸着、搬送にも適用可能である。

【００１５】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、吸着対象
となる基板の形状、孔や切欠きの有無に関係なく、何れ
かの吸着パッドによって確実に吸着して移送することが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】(a) 及び(b) は本願出願人による先行特許出願
において開示した吸着装置の構成を示す断面図である。

【図２】(a) 及び(b) はロッド及び挿通孔の形状を示す
説明図である。

【図３】吸着装置の配列の一例を示す図である。

【図４】(a) 及び(b) 本発明の一実施例の構成及び動作
を示す断面図である。

【図５】従来例の説明図である。

【符号の説明】 １ 吸着装置、２ 支持板、３ 基台、４ 吸着パッ
ド、５ 第１の負圧導入路、６ 第２の負圧導入路、７
弁収納室、８ ロッド支持突部、９ ロッド挿通孔、
１０ ロッド、１１ 弁体、１３ 仕切り板、１３ａ，
１３ｂ 孔 ５０ 仕切り板、５２ 弁収納室、５２ａ 外気導入
孔、５４ スライド支持孔、５６ バイパス孔、５８
負圧導入路、６０ 弁体、６１ 弁本体、６１ａ大径ロ
ッド部（大径部）、６１ｂ 小径ロッド部（小径部）、
６１ｃ 被押圧部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被吸着対象を吸着するために支持板上に複
   数個配列される吸着装置であって、各吸着装置は該支持
   板上に一体化した基台と、該基台の外面に取付けた吸着
   パッドと、該吸着パッドの中心部から基台内部に貫通形
   成したピン挿通孔と、該ピン挿通孔内に進退可能に遊嵌
   したピンと、該ピンの軸方向内側端部に一体化した弁体
   と、該弁体を収納するために該支持板内部に形成された
   弁収納室と、該支持板を貫通して設けられた第１の負圧
   導入路と、該負圧導入路と該弁収納室とを連通する第２
   の負圧導入路と、該弁収納室と該第２の負圧導入路との
   境界に位置し該弁体が閉止方向に移動した時に閉止され
   る連通孔とを備え、該ピン挿通孔は該ピンとの間に負圧
   導入用の空所を有するとともに、該ピン挿通孔の内側端
   部開口は該弁体が前記閉止方向に移動したときに前記連
   通孔と同時に閉止され且つ前記弁体が開放方向に移動し
   た時に前記連通孔と同時に開放されて前記吸着パッド中
   心部に負圧を導入せしめることを特徴とする選択式吸着
   装置。
2. 【請求項２】前記ピンの先端部が前記吸着パッドよりも
   外方に突出しているときに前記弁体は前記ピン挿通孔の
   内側端部開口及び前記連通孔を同時に閉止するととも
   に、該前記ピンの先端部が前記被吸着対象によって前記
   基台内部に押し込まれた時に前記ピン挿通孔の内側端部
   開口及び前記連通孔を開放することを特徴とする請求項
   １記載の選択式吸着装置。
3. 【請求項３】前記支持板の一部が前記基台を兼ねること
   を特徴とする請求項１又は２記載の選択式吸着装置。