JPH0624882U - チャック装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 サイズにかかわらず部品チップをチャック爪
で安定的に挟持可能なチャック装置を提供することを目
的とする。 【構成】 貫通孔３８の周囲に１８０度間隔で配設さ
れ、ラジアル方向へ移動可能な第１のチャック爪４２
ａ、４２ｂと、貫通孔３８の周囲に１８０度間隔で配設
され、かつ１対の第１のチャック爪４２ａ、４２ｂとは
９０度間隔をもって配設され、ラジアル方向へ移動可能
な第２のチャック爪４６ａ、４６ｂと、第１のチャック
爪４２ａ、４２ｂを接離動させるための第１のリンク機
構４８ａ、４８ｂ、４８ｃと、第２のチャック爪４６
ａ、４６ｂを接離動させるための第２のリンク機構４８
ｄ、４８ｅ、４８ｆと、第１のチャック爪４２ａ、４２
ｂを接近させる第１の付勢手段６０ａと、第２のチャッ
ク爪４６ａ、４６ｂを接近させる第２の付勢手段６０ｂ
と、スピンドル１０が下動した際には第１のチャック爪
４２ａ、４２ｂを離反させる第１のカム機構５８ａ、６
２、第２のチャック爪４６ａ、４６ｂを離反させる第２
のカム５８ｂ、６４とを具備する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、チャック装置に関し、一層詳細にはハウジングと、ハウジング内を 貫通して上下動可能に設けられ、下端部において部品チップを吸着可能であるス ピンドルと、スピンドルに吸着された部品チップを４方向から挟持可能な２対の チャック爪とを具備するチャック装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、ハウジングと、ハウジング内を貫通して上下動可能に設けられ、下端部 において部品チップを吸着可能であるスピンドルと、スピンドルに吸着された部 品チップを４方向から挟持可能な２対のチャック爪とを具備するチャック装置と しては特公平３−１５３５９号に開示される技術がある。 このチャック装置は、チャック爪は各１対の第１および第２ロケータの下端に 設けられている。その各１対の第１および第２ロケータはハウジングに対して上 端が回動可能、かつ回動方向が互いに直交するよう配設されている。 部品チップを挟持する場合、図９に示すようにスピンドル１００に部品チップ １０２を吸着し、チャック爪１０４ａ、１０４ｂを開閉制御すべく回動手段（不 図示）を介して第１ロケータ１０６ａ、１０６ｂを矢印Ｘ、Ｙ方向へ回動させる 。すると、チャック爪１０４ａ、１０４ｂが両側から部品チップ１０２を挟持す る。第２ロケータ（不図示）は第１ロケータ１０６ａ、１０６ｂに対し周方向へ ９０度偏倚して配設されている。従って、部品チップ１０２をチャック爪１０４ ａ、１０４ｂ、・・・・・で４方向から挟持可能となる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記の従来のチャック装置には次のような課題がある。 第１ロケータ１０６ａ、１０６ｂおよび第２ロケータ（不図示）がハウジング に対して回動することによりチャック爪１０４ａ、１０４ｂを開閉させるので、 部品チップ１０２のサイズによってはチャック爪１０４ａ、１０４ｂの先端面全 面で部品チップ１０２を挟持できず、図９に示すようにチャック爪１０４ａ、１ ０４ｂの先端の僅かな部分で部品チップ１０２を挟持することになる。その結果 、挟持状態が不安定になり、ひいては後工程における部品チップ１０２の位置決 め精度が低下するという課題がある。 従って、本考案はサイズにかかわらず部品チップをチャック爪で安定的に挟持 可能なチャック装置を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するため本考案は次の構成を備える。 すなわち、ハウジングと、該ハウジング内を貫通して上下動可能に設けられ、 下端部において部品チップを吸着可能であるスピンドルと、前記ハウジングの下 端部に、前記スピンドルの上下動方向と直角な方向に設けられると共に、前記ス ピンドルが通過可能な貫通孔が穿設されたベースプレートと、該ベースプレート の下面において、前記貫通孔の周囲に１８０度間隔で配設されると共に、ベース プレートの下面に沿ってラジアル方向へ移動可能に設けられた１対の第１のチャ ック爪と、前記ベースプレートの下面において、前記貫通孔の周囲に１８０度間 隔で配設され、かつ前記１対の第１のチャック爪とはそれぞれ９０度間隔をもっ て配設されると共に、ベースプレートの下面に沿ってラジアル方向へ移動可能に 設けられた１対の第２のチャック爪と、前記ベースプレートに設けられ、前記１ 対の第１のチャック爪を同時に前記貫通孔に対して接離動させるための第１のリ ンク機構と、前記ベースプレートに設けられ、前記１対の第２のチャック爪を同 時に前記貫通孔に対して接離動させるための第２のリンク機構と、前記第１のリ ンク機構を、前記１対の第１のチャック爪が互いに接近する方向へ常時付勢する 第１の付勢手段と、前記第２のリンク機構を、前記１対の第２のチャック爪が互 いに接近する方向へ常時付勢する第２の付勢手段と、前記スピンドルが下動した 際には前記第１の付勢手段に抗して第１のリンク機構を、前記１対の第１のチャ ック爪が互いに離反する方向へ作動させる第１のカム機構と、前記スピンドルが 下動した際には前記第２の付勢手段に抗して第２のリンク機構を、前記１対の第 ２のチャック爪が互いに離反する方向へ作動させる第２のカム機構とを具備する ことを特徴とする。 また、前記第１のカム機構と第２のカム機構は、前記スピンドルの下動に伴う 前記第１のリンク機構と第２のリンク機構の作動タイミングに差を生じさせる形 状もしくは位置関係をもって配設するようにしてもよい。

【０００５】

【作用】

作用について説明する。 １対の第１のチャック爪はベースプレートの下面において、貫通孔の周囲に１ ８０度間隔で配設されると共に、ベースプレートの下面に沿ってラジアル方向へ 移動可能に設けられている。一方、１対の第２のチャック爪はベースプレートの 下面において、貫通孔の周囲に１８０度間隔で配設され、かつ１対の第１のチャ ック爪とはそれぞれ９０度間隔をもって配設され、ベースプレートの下面に沿っ てラジアル方向へ移動可能に設けられているので、第１および第２のチャック爪 はベースプレート下面に沿って直線運動を行う。従って、挟持する部品チップの サイズにかかわらず第１および第２のチャック爪の先端面全面で当該部品チップ を挟持可能となる。 特に、第１のカム機構と第２のカム機構は、スピンドルの下動に伴う第１のリ ンク機構と第２のリンク機構の作動タイミングに差を生じさせる形状もしくは位 置関係をもって配設するようにすると、部品チップを確実に所定の位置で挟持可 能となる。

【０００６】

【実施例】

以下、本考案の好適な実施例について添付図面とともに詳述する。 図１には電子部品チップを回路基板上の所定位置に装着する装置に用いられる 本実施例のチャック装置の一部破断正面図を示す。 図１において、１０はスピンドルであり、不図示の上下動機構（例えばエアシ リンダ装置）を介して上下動可能になっている。スピンドル１０は筒状に形成さ れ、内部には吸引管１３が挿通されている（図２参照）。吸引管１３の上端は不 図示の真空発生装置に接続されており、下端に設けられている吸着部１２で矩形 の部品チップを吸着可能になっている。 １４はハウジングであり、円筒状のメインシリンダ部１６と、フランジ２０を 有すると共に大径部２２、小径部２４を有する連結シリンダ部１８から成る。メ インシリンダ部１６は固定されているが、連結シリンダ部１８はメインシリンダ 部１６に対してボールベアリング２６を介して回動可能に設けられている。連結 シリンダ１８の外周にはタイミングプーリ２６が設けられ不図示のモータとの間 をタイミングベルト（不図示）で連結され、当該モータが駆動されると連結シリ ンダ１８が回動する。

【０００７】 スピンドル１０はハウジング１４内を貫通しており、メインシリンダ１６内へ 圧空を給排することにより上下動可能になっている。スピンドル１０には軸線方 向の長孔２８が貫設され、ラジアル方向へ貫通して配設された規制ピン３０が当 該長孔２８内を挿通されている。規制ピン３０は吸引管１３に固定されている。 従ってスピンドル１０の上下動と吸引管１３の上下動に時間差を与えると共に、 軸線回りの回転も規制されている。しかし、スピンドル１０は連結シリンダ１８ と一体となっての回動は可能になっている。 ３２はヘッド部であり、ハウジング１４を構成する連結シリンダ部１８のフラ ンジ２０下方に設けられている。ヘッド部３２はベースプレート３４を有し、ベ ースプレート３４は連結部３６を介してフランジ２０と連結されている。ベース プレート３４には後述するチャック爪等、部品チップの挟持機構が配設されてい る。

【０００８】 ベースプレート３４は、円板状に形成され、スピンドル１０の上下動方向と直 角な水平方向に配設されている。ベースプレート３４の中央には、図２に明示さ れるように吸引管１３の吸着部１２が、スピンドル１０の上下動に伴ってが通過 可能な貫通孔３８が穿設されている。吸着部１２は部品チップ４０を吸着する際 に貫通孔３８を通過して下動可能になっている。

【０００９】 続いて、図３および図４と共に、チャック爪について説明する。図３にはチャ ック爪が閉じた状態のベースプレート３４の底面図を示し、図４にはチャック爪 が開いた状態のベースプレート３４の底面図を示す。 ４２ａ、４２ｂは第１のチャック爪であり、ベースプレート３４の下面におい て、貫通孔３８の周方向へ１８０度の間隔をおいて配設されている。すなわち、 第１のチャック爪４２ａ、４２ｂは互いに貫通孔３８を挟んで対向配置されてい る。第１のチャック爪４２ａ、４２ｂはベースプレート３４にラジアル方向へ刻 設されたガイドスリット４４ａ、４４ｂにそれぞれ摺動可能に嵌合されており、 ベースプレート３４の下面に沿って水平にラジアル方向（図３および図４におい て左右方向）へ移動可能になっている。

【００１０】 ４６ａ、４６ｂは第２のチャック爪であり、ベースプレート３４の下面におい て、貫通孔３８の周方向へ１８０度の間隔をおいて配設されると共に、１対の第 １のチャック爪４２ａ、４２ｂとはそれぞれ９０度間隔をもって配設されている 。すなわち、第２のチャック爪４６ａ、４６ｂも互いに貫通孔３８を挟んで対向 配置され、第１のチャック爪４２ａ、４２ｂと第２のチャック爪４６ａ、４６ｂ は互いに９０度間隔に配設されている。第２のチャック爪４６ａ、４６ｂもベー スプレート３４にラジアル方向へ刻設されたガイドスリット４４ｃ、４４ｄにそ れぞれ摺動可能に嵌合されており、ベースプレート３４の下面に沿って水平にラ ジアル方向（図３および図４において上下方向）へ移動可能になっている。第２ のチャック爪４６ａ、４６ｂの先端の幅は第１のチャック爪４２ａ、４２ｂの幅 と比べて幅狭に形成されている。

【００１１】 次に図５および図６を参照して第１のチャック爪４２ａ、４２ｂおよび第２の チャック爪４６ａ、４６ｂを移動させるためのリンク機構等について説明する。 なお、図５には第１のチャック爪４２ａ、４２ｂおよび第２のチャック爪４６ａ 、４６ｂが開いた状態のベースプレート３４の平面図を示し、図６には第１のチ ャック爪４２ａ、４２ｂおよび第２のチャック爪４６ａ、４６ｂが閉じた状態の ベースプレート３４の平面図を示す。 まず、第１のチャック爪４２ａ、４２ｂを同時に貫通孔３８に対して接離動さ せて、開閉させるための第１のリンク機構について説明する。 リンク片４８ａの一端は、ベースプレート３４上に固定されている固定軸５０ ａを中心に回動可能になっている。リンク片４８ａの他端にはスリット５２ａが 刻設され、第１のチャック爪４２ａの上面に立設されているピン５４ａと係合し ている。

【００１２】 リンク片４８ｃは、中間部分がベースプレート３４上に固定されている固定軸 ５０ｂを中心に回動可能になっている。リンク片４８ａの一端にはスリット５２ ｂが刻設され、第１のチャック爪４２ｂの上面に立設されているピン５４ｃと係 合している。 リンク片４８ｂはＶ字状に形成され、一端はリンク片４８ａの中央部分に可動 軸５６ａを介して軸着されている。リンク片４８ｂの他端はリンク片４８ｃの他 端に可動軸５６ｂを介して軸着されている。リンク片４８ｂ上であって、一端部 近傍にはカムフォロア５８ａが回動可能に配設されている。 リンク片４８ｂの中央部分に立設されたピン５４ｂと、ベースプレート３４上 に立設されたピン５４ｇとの間には第１の付勢手段の一例であるスプリング６０ ａが架設されている。スプリング６０ａは、ピン５４ｂをピン５４ｇ方向へ常時 付勢している。すなわち、１対の第１のチャック爪４２ａ、４２ｂはスプリング ６０ａにより互いに接近する方向へ常時付勢されている。第１のチャック爪４２ ａ、４２ｂが閉じた状態における第１のリンク機構等の状態は図６のとおりであ る。

【００１３】 次に、第２のチャック爪４６ａ、４６ｂを同時に貫通孔３８に対して接離動さ せて、開閉させるための第２のリンク機構について説明する。 リンク片４８ｄは、中間部分がベースプレート３４上に固定されている固定軸 ５０ｃを中心に回動可能になっている。リンク片４８ｄの一端にはスリット５２ ｃが刻設され、第２のチャック爪４６ｂの上面に立設されているピン５４ｄと係 合している。 リンク片４８ｆの一端は、ベースプレート３４上に固定されている固定軸５０ ｄを中心に回動可能になっている。リンク片４８ｆの他端にはスリット５２ｄが 刻設され、第２のチャック爪４６ａの上面に立設されているピン５４ｆと係合し ている。 リンク片４８ｅの一端はリンク片４８ｄの他端に可動軸５６ｃを介して軸着さ れている。リンク片４８ｅの他端はリンク片４８ｆの中央部分に可動軸５６ｄを 介して軸着されている。リンク片４８ｅ上であって、他端部近傍にはカムフォロ ア５８ｂが回動可能に配設されている。

【００１４】 リンク片４８ｅの中央部分に立設されたピン５４ｅと、ベースプレート３４上 に立設されたピン５４ｇとの間には第２の付勢手段の一例であるスプリング６０ ｂが架設されている。スプリング６０ｂは、ピン５４ｅをピン５４ｇ方向へ常時 付勢している。すなわち、１対の第２のチャック爪４６ａ、４６ｂはスプリング ６０ｂにより互いに接近する方向へ常時付勢されている。第２のチャック爪４６ ａ、４６ｂが閉じた状態における第２のリンク機構等の状態も図６のとおりであ る。

【００１５】 続いて第１のチャック爪４２ａ、４２ｂと第２のチャック爪４６ａ、４６ｂを 開閉すべく第１および第２のリンク機構を作動する第１および第２のカム機構に ついて図７を参照して説明する。 ６２は第１のカムであり、スピンドル１０の外周面に上下方向へ形成されてい る。第１のカム６２はスピンドル１０の上下動の際にスプリング６０ａの付勢力 に抗してカムフォロア５８ａを押動し、第１のリンク機構を、第１のチャック爪 ４２ａ、４２ｂが互いに離反する方向へ作動させる。従って、第１のカム６２と カムフォロア５８ａとで第１のカム機構を構成する。

【００１６】 ６４は第２のカムであり、スピンドル１０の外周面に上下方向へ形成されてい る。第２のカム６４はスピンドル１０の上下動の際にスプリング６０ｂの付勢力 に抗してカムフォロア５８ｂを押動し、第２のリンク機構を、第２のチャック爪 ４６ａ、４６ｂが互いに離反する方向へ作動させる。従って、第２のカム６４と カムフォロア５８ｂとで第２のカム機構を構成する。第２のカム６４は第１のカ ム６２より下方に配設されており、スピンドル１０が下動した際には、第２のチ ャック爪４６ａ、４６ｂが先に開き、第１のチャック爪４２ａ、４２ｂが後に開 く。一方、スピンドル１０が上動した際には、第１のチャック爪４２ａ、４２ｂ が先に閉じ、第２のチャック爪４６ａ、４６ｂが後に閉じる。この関係は第１の カム６２と第２のカム６４の位置、斜面の長さ等を調整することにより時間差を 可変でき、また第１のチャック爪４２ａ、４２ｂと第２のチャック爪４６ａ、４ ６ｂの開閉順序を逆にすることもできる。さらに、第１のカム６２と第２のカム ６４とを別体にすることなく１個のカム部材を第１のカム６２と第２のカム６４ に相当する部分を有する形状に形成しても実現可能である。

【００１７】 上記の構成を有するチャック装置において、スピンドル１０が部品チップ４０ を吸着すべく下動すると、まず、外筒部１１に設けられた第２のカム６４がスプ リング６０ｂの付勢力に抗してカムフォロア５８ｂを押動し、リンク片４８ｄ、 ４８ｅ、４８ｆから成る第２のリンク機構を作動する。すると、第２のチャック 爪４６ａ、４６ｂがガイドスリット４４ｃ、４４ｄに沿って同時にラジアル方向 外側へ移動し開く。続いて外筒部１１に設けられた第１のカム６２がスプリング ６０ａの付勢力に抗してカムフォロア５８ａを押動し、リンク片４８ａ、４８ｂ 、４８ｃから成る第１のリンク機構を作動する。すると、第１のチャック爪４２ ａ、４２ｂがガイドスリット４４ａ、４４ｂに沿って同時にラジアル方向外側へ 移動し開く（図４および図５の状態参照）。 第１のチャック爪４２ａ、４２ｂと第２のチャック爪４６ａ、４６ｂが開いた 後、吸着部１２は長孔２８により時間差をもって下動して下死点まで移動し、部 品チップ４０を吸着する。部品チップ４０を吸着したら、その状態で吸着部１２ とスピンドル１０が上動する。

【００１８】 吸着部１２とスピンドル１０が所定量上動すると、先に第１のカム６２がカム フォロア５８ａの押動を徐々に解除し、リンク片４８ａ、４８ｂ、４８ｃから成 る第１のリンク機構はスプリング６０ａの付勢力により従前状態へ戻される。そ の際、第１のチャック爪４２ａ、４２ｂが図８に示すようにガイドスリット４４ ａ、４４ｂに沿って同時にラジアル方向内側（矢印Ａ、Ｂ）へ水平に移動し、両 先端面で部品チップ４０の一方向の両側面を挟持する。時間をおいて次に第２の カム６４がカムフォロア５８ｂの押動を徐々に解除し、リンク片４８ｄ、４８ｅ 、４８ｆから成る第２のリンク機構もスプリング６０ｂの付勢力により従前状態 へ戻される。その際、第２のチャック爪４６ａ、４６ｂが、第１のチャック爪４ ２ａ、４２ｂ同様ガイドスリット４４ｃ、４４ｄに沿って同時にラジアル方向内 側へ水平に移動し、両先端面で部品チップ４０の他方向の両側面を挟持する（図 ３および図６の状態参照）。その際、第１のチャック爪４２ａ、４２ｂの挟持と 第２のチャック爪４６ａ、４６ｂの挟持との間に時間差が設定されているため部 品チップ４０の挟持位置の補正を行うことができる。

【００１９】 スピンドル１０の上動が上死点に達する間に部品チップ４０は４方向から第１ のチャック爪４２ａ、４２ｂと第２のチャック爪４６ａ、４６ｂにより確実に所 定位置で挟持される。この状態で部品チップ４０は装着される基板（不図示）の 所定位置まで搬送され、スピンドル１０の下降と共に第１のチャック爪４２ａ、 ４２ｂと第２のチャック爪４６ａ、４６ｂから解放されると共に、スピンドル１ ０からも解放されて当該位置に装着される。

【００２０】 次に図１０を参照して別の実施例について説明する。図１０に示す実施例は第 １のカム機構および第２のカム機構についての別実施例である。なお、先行実施 例と同一の部材には先行実施例と同一の部材符号を付し、説明は省略する。 先の実施例において、第１のカム機構は第１のカム６２とカムフォロア５８ａ とから成り、第２のカム機構は第２のカム６４とカムフォロア５８ｂとから成る 。第１のカム６２と第２のカム６４の高さ位置は、第１のリンク機構と第２のリ ンク機構の作動タイミングに差を生じさせる形状、位置関係に配置されていた。 図１０の実施例においては、第１のカム６２と第２のカム６４という２個のカ ムに代えて、スピンドル１０の外筒部１１の外周面に形成されたカム面６５と、 カム面６５に当接可能な２個のカムフォロア５８ａ、５８ｂから成る。カム面６ ５は外筒部１１外周全面に亙り形成されている。第１のリンク機構と第２のリン ク機構の作動タイミングに差を生じさせるべく、この実施例ではカムフォロア５ ８ａ、５８ｂの高さ位置に差Ｄを設けている。スピンドル１０の下降、上昇に伴 い、１個のカム面６５であってもカムフォロア５８ａと５８ｂとの当接時間に差 を設けることができるので、第１のリンク機構と第２のリンク機構の作動タイミ ングに差を生じさせることが可能となる。 以上、本考案の好適な実施例について種々述べてきたが、本考案は上述の実施 例に限定されるのではなく、例えば、部品チップ４０の挟持に際しては第２のチ ャック爪４６ａ、４６ｂを先に閉じ、第１のチャック爪４２ａ、４２ｂを後で閉 じるようにしてもよい等、考案の精神を逸脱しない範囲でさらに多くの改変を施 し得るのはもちろんである。

【００２１】

【考案の効果】

本考案に係るチャック装置を用いると、１対の第１のチャック爪はベースプレ ートの下面において、貫通孔の周囲に１８０度間隔で配設されると共に、ベース プレートの下面に沿ってラジアル方向へ移動可能に設けられている。一方、１対 の第２のチャック爪はベースプレートの下面において、貫通孔の周囲に１８０度 間隔で配設され、かつ１対の第１のチャック爪とはそれぞれ９０度間隔をもって 配設され、ベースプレートの下面に沿ってラジアル方向へ移動可能に設けられて いるので、第１および第２のチャック爪はベースプレート下面に沿って直線運動 を行う。従って、挟持する部品チップのサイズにかかわらず第１および第２のチ ャック爪の先端面全面で当該部品チップを挟持可能となるので、部品チップをチ ャック爪で確実かつ安定的に挟持可能となり部品チップの位置決め精度を向上さ せることができる。 また、請求項２の構成を採用すると、部品チップの挟持位置をより正確にでき るので、位置決め精度をさらに向上させることができる等の著効を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るチャック装置の実施例を示した一
部破断正面図。

【図２】スピンドルの構造を示した部分正面断面図。

【図３】チャック爪が閉じた状態のベースプレートの底
面図。

【図４】チャック爪が開いた状態のベースプレートの底
面図。

【図５】第１のチャック爪および第２のチャック爪が開
いた状態のベースプレートの平面図。

【図６】第１のチャック爪および第２のチャック爪が閉
じた状態のベースプレートの平面図。

【図７】第１のカムと第２のカムとの位置関係を示した
スピンドルの部分図。

【図８】第１のチャック爪の動作を示した部分図。

【図９】従来のチャック装置におけるチャック爪の動作
を示した部分図。

【図１０】第１のカム機構と第２のカム機構について別
の実施例を示したスピンドル近傍の部分断面図。

【符号の説明】

１０ スピンドル １４ ハウジング ３４ ベースプレート ３８ 貫通孔 ４０ 部品チップ ４２ａ、４２ｂ 第１のチャック爪 ４６ａ、４６ｂ 第１のチャック爪 ４８ａ〜４８ｆ リンク片 ５８ａ、５８ｂ カムフォロア ６０ａ、６０ｂ スプリング ６２ 第１のカム ６４ 第２のカム ６５ カム面

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ハウジングと、 該ハウジング内を貫通して上下動可能に設けられ、下端
   部において部品チップを吸着可能であるスピンドルと、 前記ハウジングの下端部に、前記スピンドルの上下動方
   向と直角な方向に設けられると共に、前記スピンドルが
   通過可能な貫通孔が穿設されたベースプレートと、 該ベースプレートの下面において、前記貫通孔の周囲に
   １８０度間隔で配設されると共に、ベースプレートの下
   面に沿ってラジアル方向へ移動可能に設けられた１対の
   第１のチャック爪と、 前記ベースプレートの下面において、前記貫通孔の周囲
   に１８０度間隔で配設され、かつ前記１対の第１のチャ
   ック爪とはそれぞれ９０度間隔をもって配設されると共
   に、ベースプレートの下面に沿ってラジアル方向へ移動
   可能に設けられた１対の第２のチャック爪と、 前記ベースプレートに設けられ、前記１対の第１のチャ
   ック爪を同時に前記貫通孔に対して接離動させるための
   第１のリンク機構と、 前記ベースプレートに設けられ、前記１対の第２のチャ
   ック爪を同時に前記貫通孔に対して接離動させるための
   第２のリンク機構と、 前記第１のリンク機構を、前記１対の第１のチャック爪
   が互いに接近する方向へ常時付勢する第１の付勢手段
   と、 前記第２のリンク機構を、前記１対の第２のチャック爪
   が互いに接近する方向へ常時付勢する第２の付勢手段
   と、 前記スピンドルが下動した際には前記第１の付勢手段に
   抗して第１のリンク機構を、前記１対の第１のチャック
   爪が互いに離反する方向へ作動させる第１のカム機構
   と、 前記スピンドルが下動した際には前記第２の付勢手段に
   抗して第２のリンク機構を、前記１対の第２のチャック
   爪が互いに離反する方向へ作動させる第２のカム機構と
   を具備することを特徴とするチャック装置。
2. 【請求項２】 前記第１のカム機構と第２のカム機構
   は、前記スピンドルの下動に伴う前記第１のリンク機構
   と第２のリンク機構の作動タイミングに差を生じさせる
   形状もしくは位置関係をもって配設されていることを特
   徴とする請求項１記載のチャック装置。