HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. Anwendungsgebiet der Erfindung
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Die Erfindung befaßt sich mit einer Vakuumfixiervorrichtung für
Teile, und insbesondere mit einer effektiven Technik, welche zur
Anwendung bei einer Vakuumfixiervorrichtung kommt, welche ein
Teil unter Vakuum oder unter einem Zustand mit herabgesetztem
Druck ansaugt und fixiert, wobei unterschiedliche Teile
aufeinanderfolgend durch einfaches Umschalten von einem kleinen
Vakuumkissen auf ein großes Vakuumkissen oder umgekehrt angesaugt
und fixiert werden können.
2. Stand der Technik
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Beispielsweise wird eine Vakuumfixiervorrichtung zum Ansaugen
und Fixieren eines Teils in einem Teiletransfersystem in einer
ineinandergreifenden Zuordnung zu einer Chipmontageeinrichtung
eingesetzt, welche ein elektronisches Bauteil, wie eine
Halbleitereinrichtung, auf einer gedruckten Schaltungsplatte anbringt.
Hierbei können die elektronischen Bauteile in einer Schale oder
dergleichen aufgenommen sein, und sie werden einzeln an einer
Ladeposition entnommen, angesaugt und fixiert mittels eines
Vakuumkissens der Vakuumfixiervorrichtung. Sie werden zu einer
vorbestimmten Übergabeposition auf einer Transportstrecke
weitertransportiert und anschließend auf der gedruckten
Schaltungsplatte mittels einer Chipmontageeinrichtung angebracht.
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Unter diesen Vakuumfixiervorrichtungen der vorstehend
beschriebenen Art gibt es solche, bei denen ein kleines Vakuumkissen und
ein großes Vakuumkissen vorgesehen sind, welche als gesonderte
Körper ausgebildet sind, die unterschiedliche Durchmesser
voneinander haben. Diese können gegeneinander ausgetauscht werden.
Eine weitere Bauart einer solchen Vorrichtung hat ein System mit
zwei Achsen, bei dem ein kleines Vakuumkissen und ein großes
Vakuumkissen jeweils auf ihren zugeordneten Achsen angeordnet
sind und eine Umschaltung zwischen denselben erfolgen kann. Bei
beiden Bauarten von Vorrichtungen zum Fixieren eines Teils
mittels Vakuum oder herabgesetztem Druck mit einem Vakuumkissen
wird das kleine Vakuumkissen oder das große Vakuumkissen nach
Maßgabe der Abmessungen des zu fixierenden Teils ausgewählt.
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Bei dieser üblichen Technologie jedoch ist es bei einem System
erforderlich, bei dem das kleine Vakuumkissen und das große
Vakuumkissen, welche als gesonderte Körper ausgebildet sind,
auszuwechseln, und für den Wechsel muß ein Arbeiter vorhanden
sein, um den Wechsel nach Maßgabe der Abmessungen eines zu
fixierenden Teils vorzunehmen. Insbesondere wenn eine
Vakuumfixiervorrichtung mit ineinandergreifender Zuordnung mit anderen
Einrichtungen eingesetzt wird, ist ein solcher Wechsel unpraktisch.
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Wenn ferner ein System mit zwei Achsen zum Einsatz kommt, bei
dem eine Umschaltung von dem kleinen Vakuumkissen auf das große
Vakuumkissen oder umgekehrt vorgenommen wird, sind aufgrund der
unterschiedlichen Positionen der beiden Achsen im Verhältnis
zueinander die Positionen zum Aufgeben und Abgeben des Teiles
unterschiedlich in Abhängigkeit davon, ob das kleine
Vakuumkissen oder das große Vakuumkissen zum Einsatz kommt. Hierdurch
wird die Steuerung des Umschaltens oder dergleichen schwierig
und ferner verlängert sich hierdurch die Betriebszeit.
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Aus dem Dökument nach dem nächstliegenden Stand der Technik US-
A-4 728 135 ist eine Vakuumfixiervorrichtung nach dem
einleitenden Teil des Patentanspruchs 1 bekannt. Diese Saug- und
Haltemaschine für Komponenten hat koaxiale kleine und große Heberohre,
welche axial gleitbeweglich zueinander sind, wobei kleine
Komponenten nur mit Hilfe des kleinen Heberohrs angesaugt werden
können und große Komponenten mit Hilfe beider Heberohre
angesaugt werden können. Das große Rohr wird selektiv in
kommunizierende Verbindung mit dem kleinen Rohr über radiale Öffnungen
gebracht, welche in dem kleinen Rohr vorgesehen sind. Diese
Öffnungen sind im Grundzustand durch einen ringförmigen
Vorsprung verschlossen, welcher fest mit dem großen Rohr verbunden
ist. Der Vorsprung macht einen Satz von axialen Öffnungen
erforderlich. O-Ringe sind als Dichtringe für Dichtelemente auf den
beiden inneren Abschnitten des großen Rohres vorgesehen, um
einen Luftverlust zwischen den beiden Rohren zu verhindern.
Beide Ringe gleiten auf den Umfangsabschnitten des kleinen
Rohrs.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Die Erfindung zielt darauf ab, eine Vakuumfixiervorrichtung für
Bauteile bereitzustellen, bei der eine Umschaltung von einem
kleinen Vakuumkissen auf ein großeb Vakuumkissen oder umgekehrt
auf einfache Weise vorgenommen werden kann und unterschiedliche
Teile aufeinanderfolgend angesaugt und fixiert werden können.
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Nach der Erfindung wird hierzu eine Vakuumfixiervorrichtung zum
Ansaugen und Fixieren von Teilen unter Vakuum oder unter einem
Zustand mit vermindertem Druck nach Patentanspruch 1
bereitgestellt.
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Das kleine Heberohr oder der kleine Abschnitt kann folgendes
aufweisen: Ein kleines Vakuumkissen (ein kleines Kissen),
welches einen darin ausgebildeten Saugkanal in axialer Richtung
hat, und einen festgelegten Schaft, welcher fest mit dem kleinen
Kissen verbunden ist, und in welchem der Saugkanal ausgebildet
ist, welcher in kommunizierender Verbindung mit dem Saugkanal
des kleinen Kissens steht, und Luftkanäle vorgesehen sind,
welche sich in diametraler Richtung öffnen.
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Das große Heberohr oder der große Hebeabschnitt kann folgendes
aufweisen: Ein großes Vakuumkissen (ein großes Kissen), welches
mit einem Saugkanal darin ausgebildet ist, welcher einen
Innendurchmesser hat, der größer als ein Außendurchmesser des kleinen
Kissens in axialer Richtung hiervon ist; und einen beweglichen
Schaft, an welchem das große Kissen fest angebracht ist und in
welchem ein Saugkanal ausgebildet ist, welcher in
kommunizierender Verbindung mit dem Saugkanal des großen Kissens und auch in
kommunizierender Verbindung mit den Luftkanälen des kleinen
Kissens steht.
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Ferner können Dichtungselemente an den gleitbeweglichen
Abschnitten und/oder den Kontaktabschnitten zwischen dem äußeren
Umfangsabschnitt des kleinen Kissenteils und des inneren
Umfangsabschnittes des großen Kissenteils angeordnet sein.
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Bei der vorstehend beschriebenen Vakuumfixiervorrichtung für
Teile wird das kleine Kissenteil oder das große Kissenteil,
welche auf ein und derselben Achse vorgesehen sind, gemäß einer
Gleitbewegung in vertikaler Richtung bewegt, wobei das kleine
Kissenteil auf das große Kissenteil oder umgekehrt entsprechend
den Anforderungen umgeschaltet wird. Bei einer Saugwirkung durch
das kleine Kissen des kleinen Kissenabschnitts beispielsweise
führt der bewegliche Schaft des großen Kissenteils eine Gleit
bewegung nach unten aus, und die Saugwirkung erfolgt über den
Saugkanal des kleinen Kissens und den Saugkanal des festgelegten
Schafts.
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Bei einer Saugwirkung durch das große Kissen des großen
Kissenteils hingegen führt der bewegliche Schaft des großen
Kissenteils eine Gleitbewegung nach oben aus, wobei die Saugwirkung
über den Saugkanal des großen Kissens, den Saugkanal des
beweglichen Schafts und die Luftkanäle den Saugkanal des festen
Schaftes des kleinen Kissenteils erfolgt, und zusätzlich auch
über den Saugkanal des kleinen Kissens und den Saugkanal des
festen Schaftes erfolgt, so daß die Saugwirkung über zwei Wege
sich erstrecken kann.
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Bei einer solchen Auslegungsform läßt sich eine Umschaltung von
dem kleinen Kissenteil auf den großen Kissenteil oder umgekehrt
auf einfache Weise in einer vereinfachten Auslegungsform
vornehmen, so daß eine Vielzahl von hinsichtlich den Abmessungen
unterschiedlichen Teilen angesaugt und fixiert werden kann. Ferner
läßt sich bei einem System unter Einsatz der Vorrichtung nach
der Erfindung das Steuern der Positionen, der Höhen und
dergleichen in Relation zu dem Aufgeben und Abgeben der Teile
vereinfachen.
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Insbesondere wenn die Dichtungselemente an gleitbeweglichen
Abschnitten und/oder Kontaktabschnitten zwischen dem kleinen
Kissenteil und dem großen Kissenteil angeordnet sind und selbst
dann, wenn entweder das kleine Kissenteil oder das große
Kissenteil in vertikaler Richtung eine Gleitbewegung ausführt, läßt
sich ein Luftverlust während der Saugwirkung verhindern, so daß
man eine starke Ansaugung und Fixierung realisieren kann.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHUUNGEN
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Vorstehende und weitere Einzelheiten, Zielsetzungen und Merkmale
der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung
von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die bei
gefügte Zeichnung. Darin gilt:
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Figuren 1(a) und 1(b) sind jeweils Schnittansichten zur
Verdeutlichung des Umschaltens von dem kleinen Kissenteil
auf das große Kissenteil oder umgekehrt bei einer
bevorzugten Ausführungsform einer
Vakuumfixiervorrichtung nach der Erfindung.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG VON BEVORZUGTEN
AUSFUHRÜNGSFORMEN
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Zuerst wird eine Auslegungsform einer bevorzugten
Ausführungsform der Vakuumfixiervorrichtung nach der Erfindung unter
Bezugnahme auf die Figuren 1(a) und 1(b) näher erläutert.
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Die Vakuumfixiervorrichtung gemäß dieser bevorzugten
Ausführungsform ist eine solche, welche zum Ansaugen und Fixieren
eines Teils, wie einer Halbleitereinrichtung, beispielsweise
unter Vakuum oder unter einem Zustand mit vermindertem Druck
eingesetzt wird. Die Vakuumfixiervorrichtung weist ein kleines
Heberohr oder einen kleinen Abschnitt 1 und ein großes Heberohr
oder einen großen Abschnitt 2 auf, welche unterschiedliche
Durchmesser im Vergleich zueinander haben, und welche jeweils
darin ausgebildete Saugkanäle besitzen. Entweder das kleine
Kissenteil 1 oder das große Kissenteil 2 führt in vertikaler
Richtung eine Gleitbewegung aus, und hierdurch wird das kleine
Kissenteil 1 auf das große Kissenteil 2 oder umgekehrt
entsprechend den Anforderungen umgeschaltet.
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Das kleine Kissenteil 1 weist folgendes auf: Ein kleines Kissen
4, in welchem ein Saugkanal 3 in axialer Richtung ausgebildet
ist; einen festen Schaft 7, in welchem ein Saugkanal 5
ausgebildet ist, welcher in kommunizierender Verbindung mit dem
Saugkanal 3 des kleinen Kissens 4 steht, und Luftkanäle 6, welche
sich in Durchmesserrichtung öffnen; dieser feste Schaft 7 ist
fest mit dem kleinen Kissen 4 verbunden.
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Das große Kissenteil 2 weist folgendes auf: Ein großes Kissen 9,
in welchem ein Saugkanal 8 in axialer Richtung ausgebildet ist,
wobei der Saugkanal 8 einen Innendurchmesser hat, welcher größer
als der Außendurchmesser des kleinen Kissens 4 ist; und einen
beweglichen Schaft 11, in welchem ein Saugkanal 10 ausgebildet
ist, welcher in kommunizierender Verbindung mit dem Saugkanal 8
des großen Kissens 9 steht und ferner auch in kommunizierender
Verbindung mit den Luftkanälen 6 des kleinen Kissens 4 steht;
der bewegliche Schaft 11 ist fest an dem großen Kissen 9
angebracht.
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Ferner ist ein Dichtungselement 12 zum Verhindern eines
Luftverlustes an einem Gleitbewegungsteil zwischen dem kleinen
Kissenteil 1 und dem großen Kissenteil 2 angeordnet. Insbesondere ist
das Dichtungselement 12 zwischen dem äußeren Umfangsabschnitt
des festen Schaftes 7 in dem kleinen Kissenteil 1 und dem
Endabschnitt des beweglichen Schaftes 11 in dem großen Kissenteil
2 angeordnet. Ferner ist ein Dichtungselement 13 zwischen dem
äußeren Umfangsabschnitt des festen Schaftes 7 und dem Saugkanal
10 des beweglichen Schaftes an ringförmigen Abschnitten
angeordnet, welche in Kontakt miteinander gebracht werden, wenn die
Vorrichtung auf das kleine Kissenteil 1 umgeschaltet wird.
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Nachstehend wir die Arbeitsweise dieser bevorzugten
Ausführungsform unter Bezugnahme auf die Figuren 1(a) und 1(b) näher
beschrieben, bei der tatsächlich ein Teil angesaugt und fixiert
wird. In Figur 1(a) ist ein Beispiel gezeigt, bei dem ein
kleines Teil 10 durch das kleine Kissenteil 1 angesaugt und fixiert
wird, während Figur 1(b) den Fall zeigt, bei dem ein großes Teil
15 durch das große Kissenteil 2 angesaugt und fixiert wird.
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Wenn beispielsweise das kleine Teil 14 mit Abmessungen
entsprechend dem kleinen Kissen 4 des kleinen Kissenteils 1 angesaugt
wird, führt der bewegliche Schaft 11 des großen Kissenteils 2
nach Figur 1(a) eine Gleitbewegung in Richtung nach unten aus.
Zu diesem Zeitpunkt werden die Saugkanäle 8 und 10, von dem
großen Kissenteil 2 und dem kleinen Kissenteil 1, welche in
kommunizierender
Verbindung miteinander sind, durch das
Dichtungselement 13 abgesperrt, und nur der Saugkanal 3 des kleinen
Kissenteils 4 ist mit einer Luftdruckquelle (nicht gezeigt) über
den Saugkanal 5 des festen Schaftes 7 verbunden.
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Bei dieser Anordnung erfolgt eine Saugwirkung von dem Saugkanal
3 des kleinen Kissens 4 über den Saugkanal 5 des festen Schafts
7, so daß das kleine Teil 14, welches eine Außengestalt hat, die
etwa ein oder zweimal so groß ist wie die Saugfläche des kleinen
Kissens 4, durch das kleine Kissen 4 angesaugt und fixiert
werden kann.
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Wenn andererseits das große Teil 15 mit entsprechenden
Abmessungen des großen Kissens 9 des großen Kissenteils 2 angesaugt wird
und fixiert werden soll, führt der bewegliche Schaft 11 des
großen Kissenteils 2 nach Figur 1(b) eine Gleitbewegung nach
oben aus. Zu diesem Zeitpunkt ist der Saugkanal 8 des großen
Kissenteils 9 in Verbindung mit der Luftdruckquelle in dem
Saugkanal 10 des beweglichen Schafts 11, und den Luftkanälen 6 und
dem Saugkanal 5 des festen Schafts 7, während der Saugkanal 3
des kleinen Kissens 4 mit der Luftdruckquelle über den Saugkanal
5 des festen Schaftes 7 verbunden ist.
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Bei dieser Auslegungsform erfolgt somit eine Saugwirkung über
beide Saugwege einschließlich eines Weges, welcher von dem
Saugkanal 8 des großen Kissens 9 über den Saugkanal 10 des
beweglichen Schaftes 11 und den Luftkanälen 6 zu dem Saugkanal 5 des
festen Schaftes 7 führt, sowie über einen weiteren Weg, welcher
von dem Saugkanal 3 des kleinen Kissens 4 zu dem Saugkanal 5 des
festen Schaftes 7 führt, so daß das große Teil 15, welches eine
Außengestalt hat, die etwa ein bis zwei mal so groß ist wie die
Saugfläche des großen Kissens 9, sowohl durch das große Kissen
9 als auch durch das kleine Kissen 4 angesaugt und fixiert
werden kann.
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Die Vakuumfixiervorrichtung gemäß der voranstehenden
Beschreibung wird bei Teileübergabesystemen zum Transportieren von
elektronischen
Bauteilen beispielsweise eingesetzt, und kann in
einer ineinandergreifenden Zuordnung zu einer
Chipmontagevorrichtung eingesetzt werden, welche ein elektronisches Bauteil,
wie eine Halbleitereinrichtung, auf einer gedruckten
Schaltungsplatte anbringt, oder dergleichen.
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Bei den vorstehend beschriebenen Anwendungsfällen ist es beim
Umschalten von dem kleinen Kissenteil 1 auf das große Kissenteil
2 oder umgekehrt möglich mehrere Teile mit unterschiedlichen
Abmessungen auf einfache Weise anzusaugen und zu fixieren, und
insbesondere bei einem Einsatz bei einem Transfersystem und
dergleichen werden die Teile an denselben Positionen bei dem
kleinen Kissenteil 4 und bei dem großen Kissenteil 9 aufgeben
und abgegeben, so daß man eine vereinfachte Steuerung im
Vergleich zu den üblichen Auslegungsweisen erhält, und die
Steuerzeit läßt sich verkürzen.
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Wenn das kleine Kissenteil 1 fest ist und das große Kissenteil
2 beweglich ist, läßt sich das Umschalten einer
Luftdruckschaltung und die Auslegung derselben vereinfachen, und man kann
dieselbe vertikale Position zum Ansaugen und Fixieren sowohl bei
dem kleinen Kissen 4 als auch bei dem großen Kissen 9 vorgeben,
so daß eine Höhensteuerung bei dem kleinen Kissen 4 und dem
großen Kissenteil 9 entfallen kann und sich hierdurch die
Steuerung noch weiter vereinfacht.
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Wenn sich ferner das große Kissenteil 2 automatisch in
vertikaler Richtung bewegt, wenn dieses in einem Transfersystem
angeordnet ist, ist es möglich, daß eine automatische Umschaltung
von dem kleinen Kissenteil 1 auf das große Kissenteil 2 oder
umgekehrt erfolgen kann, so daß man aufeinanderfolgend
unterschiedliche Teile mit ein und derselben Übergabevorrichtung
übergeben kann.
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Bei der Vakuumfixiervorrichtung gemäß der bevorzugten
Ausführungsform wird dadurch, daß der bewegliche Schaft 11 des großen
Kissenteils 2 in vertikaler Richtung gleitbeweglich ist, und das
kleine Kissenteil 1 des kleinen Kissens 4 und den festen Schaft
7 umfaßt, eine Umschaltung auf das große Kissenteil 2 unter
Einschluß des großen Kissens 9 und des beweglichen Schafts 11
oder umgekehrt ermöglicht, so daß die Umschaltsteuerung in
vereinfachter Weise ausgelegt werden kann, und daß sich eine
Vielzahl von Teilen, welche sich hinsichtlich den Abmessungen
voneinander unterscheiden, angesaugt und fixiert werden können.
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Bei der Vakuumfixiervorrichtung gemäß der bevorzugten
Ausführungsform führt der bewegliche Schaft 11 des großen Kissenteils
2 in vertikaler Richtung eine Gleitbewegung aus, um das kleine
Kissenteil 1 auf das große Kissenteil 2 oder umgekehrt
umzuschalten. Die Erfindung ist jedoch hierauf und auf die
bevorzugte Ausführungsform nicht beschränkt, sondern die Erfindung
kann auch dann eingesetzt werden, wenn das kleine Kissenteil in
vertikaler Richtung eine Gleitbewegung ausführen soll.
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Bei der bevorzugten Ausführungsform weist das große Kissen einen
darin ausgebildeten Saugkanal auf, welcher einen
Innendurchmesser hat, welcher größer als der Außendurchmesser des kleinen
Kissens in axialer Richtung hiervon ist. Zum Arbeiten des
Saugkanals des großen Kissens reicht es jedoch, wenn der bewegliche
Schaft nur eine Gleitbewegung nach oben ausführt aus, daß das
große Kissen das kleine Kissen nicht berührt, wobei der
Saugkanal offen ist.
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Im Hinblick auf das kleine Kissenteil 1 und das große Kissenteil
2 bei dieser bevorzugten Ausführungsform bleibt noch zu
erwähnen, daß die Bodenfläche entweder des kleinen Teils 14 oder des
großen Teils 15 angesaugt und fixiert wird. Es braucht nicht
näher erwähnt zu werden, daß unterschiedliche Modifikationen
hinsichtlich der Saugrichtung eines Teils vorgenommen werden
können, wodurch sich entsprechende konstruktive Abänderungen
ergeben. Wenn die obere Seite bei der Auslegung der
Vakuumfixiervorrichtung angesaugt werden soll, erfolgt lediglich eine
Umkehr hinsichtlich der Ober- und der Unterseite, und
entsprechende
Abänderungen werden dann vorgenommen, wenn die
Seitenfläche eines Teils angesaugt werden soll.
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Ferner wurde bei der Beschreibung der bevorzugten
Ausführungsform von dem Anwendungsfall ausgegangen, bei dem die Vorrichtung
in einem Teileübergabesystem oder Teiletransfersystem oder
dergleichen eingesetzt wird. Die Erfindung ist jedoch hierauf nicht
beschränkt und es braucht nicht erwähnt zu werden, daß die
Erfindung auf den verschiedensten Gebieten und auch bei anderen
System eingesetzt werden kann, insbesondere dann, wenn
unterschiedliche Teile angesaugt und fixiert werden sollen.
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Bei der vorstehenden Beschreibung wurde davon ausgegangen, daß
die Erfindung bei einer Vakuumfixiervorrichtung zum Ansaugen und
Fixieren eines elektronischen Bauteils, wie einer
Halbleitereinrichtung, eingesetzt wird. Die Erfindung ist jedoch hierauf
nicht beschränkt und sie kann auch in Verbindung mit anderen
elektronischen Bauteilen und nicht elektronischen Bauteilen zum
Einsatz kommen, welche allgemein angesaugt und fixiert werden
sollen.
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Nachstehend erfolgt eine kurze Beschreibung von Vorteilen, die
man bei typischen Ausführungsformen nach der Erfindung erhält.
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(1) Das kleine Kissenteil und das große Kissenteil, welche
einen voneinander unterschiedlichen Durchmesser haben, und
in denen jeweils Saugkanäle ausgebildet sind, sind auf ein
und derselben Achse vorgesehen, und entweder das kleine
Kissenteil oder das große Kissenteil führt in vertikaler
Richtung eine Gleitbewegung aus, wodurch eine Umschaltung
von dem kleinen Kissen dann auf das große Kissen oder
umgekehrt entsprechend den Anforderungen erfolgen kann, und
daß eine große Anzahl von Teilen mit unterschiedlichen
Abmessungen bei einer vereinfachten Konstruktion angesaugt
und fixiert werden kann.
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(2) Die Dichtungselemente sind an den Gleitabschnitten und/oder
Kontaktabschnitten zwischen dem äußeren Umfangsabschnitt
des kleinen Kissenteils und dem inneren Umfangsabschnitt
des großen Kissenteils vorgesehen, so daß selbst dann, wenn
das kleine Kissenteil oder das große Kissenteil in
vertikaler Richtung eine Gleitbewegung ausführt, ein Luftverlust
infolge der Saugwirkung verhindert werden kann, so daß man
ein kräftiges Ansaugen und Fixieren verwirklichen kann.
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(3) Nach den Ausführungen unter (1) läßt sich die Steuerung der
Positionen für das Aufgeben und das Abgeben eines Teils
vereinfachen, und eine Steuerung der Höhenposition beim
Saugen und Fixieren kann entfallen, so daß die Steuerung
zum Ansaugen eines Teils vereinfacht werden kann und die
Steuerzeit sich verkürzen läßt.
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(4) Nach Maßgabe der Ausführungen unter (1) läßt sich die
Bewegung des kleinen Kissenteils oder des großen Kissenteils in
vertikaler Richtung automatisieren, so daß insbesondere
dann, wenn eine Vakuumfixiervorrichtung in einer
automatischen Transferstraße oder dergleichen zum Einsatz kommt,
unterschiedliche Teile aufeinanderfolgend gehandhabt werden
können.
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(5) Insbesondere unter Berücksichtigung der Ausführungen nach
(1) bis (4) läßt sich bei einem Ansaugen eines Teils unter
Vakuum oder in einem Zustand unter herabgesetztem Druck
eine einfache Umschaltung vom kleinen Kissen auf das große
Kissen oder umgekehrt vornehmen, so daß man eine
Vakuumfixiervorrichtung erhalten kann, welche unterschiedliche
Teile ansaugen und fixieren kann.