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Technisches
Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft
eine Saugdüse
und insbesondere eine Saugdüse
zum Halten einer Komponente durch Ansaugen in einer Komponenten-Montagevorrichtung
zum Montieren einer Komponente wie einer elektronischen Komponente auf
einem Schaltkreis-Formationsobjekt wie einer Schaltkreis-Platine.
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Technischer
Hintergrund
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13 zeigt
eine konventionelle Saugdüse 1,
die zum Halten einer elektronischen Komponente B durch Ansaugen
in einer Montagevorrichtung für elektronische
Komponenten gehalten wird.
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Die Saugdüse 1 enthält: ein äußeres Düsenelement 2 mit
einem ersten Ansaugkanal 2a; einen Düsenkörper 3, welcher gegenüber dem äußeren Düsenelement 2 versetzbar
ist, und mit einem zweiten Ansaugkanal 3a zum Kommunizieren
mit dem ersten Ansaugkanal 2a; und eine Feder 4,
vorgesehen zwischen dem äußeren Düsenelement 2 und dem
Düsenkörper 3,
um den Düsenkörper 3 elastisch zu
einer vorbestimmten Seite (abwärts
in 13) in der Versatzrichtung
(aufwärts
und abwärts
in 13) zu führen. Der
zweite Ansaugkanal 3a erstreckt sich in der Versatzrichtung
des Düsenkörpers 3.
Ein Ende (das untere Ende in 13)
des zweiten Ansaugkanals 3a ist an einer vorderen Endfläche 3b (untere Endfläche in 13) des Düsenkörpers 3 in
der Versatzrichtung offen, während
das andere Ende (das obere Ende in 13)
davon an der rückwärtigen Endfläche 3c (oberes
Ende in 13) des Düsenkörpers 3 in
der Versatzrichtung offen ist, um eine Kommunikation mit dem ersten
Ansaugkanal 2a zu erlauben.
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Die Saugdüse 1 ist abnehmbar
an einem Düsenschaft 6 einer
Montagekopf-Sektion 5 der Montagevorrichtung für elektronische
Komponenten durch einen Düsenhalter 7 angebracht.
Der Düsenhalter 7 enthält eine
innere Muffe 7b, die innen Kugeln 7a hält, und
eine äußere Muffe 7c,
in welche die innere Muffe 7b eingepresst ist. Die Kugeln 7a sind
in die eingreifende Konkave 2b eingepasst, die an dem äußeren Düsenelement 2 ausgebildet
ist und somit ist die Ansaugdüse 1 an
dem Düsenschaft 6 befestigt.
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Ein Ansaugkanal 6a des Düsenschaftes 6 kommuniziert
mit einer Vakuum-Saugpumpe 8.
Somit wird die elektronische Komponente B gehalten, indem sie an
der vorderen Stirnseite 3b des Düsenkörpers 3 mit einer
Ansaugkraft der Vakuum-Saugpumpe 8 angesaugt
wird, die durch den Ansaugkanal 6a des Düsenschafts 6,
den ersten Ansaugkanal 2a des äußeren Düsenelements 2 und
den zweiten Ansaugkanal 3a des Düsenkörpers 3 wirkt. Der
Düsenschaft 6 ist
mechanisch mit einem Anhebemechanismus 9 und einem Drehantriebsmechanismus 10 verbunden. Die
Ansaugdüse 1 bewegt
sich daher zusammen mit dem Düsenschaft 6 durch
den Anhebemechanismus auf und ab und dreht sich um ihre Achse zusammen mit
dem Düsenschaft 6 durch
den Drehantriebsmechanismus 10.
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Wenn die elektronische Komponente
B durch Ansaugen von einer Zuführungssektion
(nicht dargestellt) der Elektronikkomponenten-Montagevorrichtung
aufgenommen wird, wird die Saugdüse 1 in eine
vorbestimmte Höhenposition
(Ansaughöhen-Position) abgesenkt,
wobei die vordere Endfläche 3b des
Düsenkörpers 3 in
Berührung
mit der elektronischen Komponente B kommt. Die elektronische Komponente
B wird dann an der vorderen Endfläche 3b des Düsenkörpers 3 mit
der Ansaugkraft der Vakuum-Saugpumpe 8 angesaugt. Die die
elektronische Komponente B durch Ansaugen haltende Saugdüse 1 wird
in die ursprüngliche
Höhenposition angehoben.
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Wenn die elektronische Komponente
B auf einer Schaltkreisplatine (nicht dargestellt) zu platzieren
ist, wird die Saugdüse
in eine vorbestimmte Höhenposition
(Platzierungshöhen-Position)
abgesenkt, wobei die elektronische Komponente B in Berührung mit
der Schaltkreisplatine kommt. Die Saugdüse 1 wird weiter abgesenkt,
um eine Last auf die elektronische Komponente B auszuüben, die
bereits in Berührung
mit der Schaltkreisplatine ist. Durch diese Ausübung einer Last wird die elektronische
Komponente B auf der Schaltkreisplatine platziert.
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Die Feder 4 ist vorgesehen
zum Absorbieren des Stoßes
auf die Komponente während
des Ansaugens und der Platzierung der Komponente. Insbesondere absorbiert
die Feder 4 den auf die Komponente B einwirkenden Stoß, wenn
die Komponente B während
des Komponenten-Ansaugens in Berührung
mit dem Düsenkörper 3 kommt.
Die Feder 4 absorbiert ebenfalls den auf die Komponente
B einwirkenden Stoß,
wenn die Komponente B während
der Komponenten-Montage in Berührung
mit der Schaltkreisplatine kommt. Unter Berücksichtigung nur dieser Stoß-Absorptionsfunktion
ist die Betätigungskraft der
Feder 4 bevorzugt so gering wie möglich.
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Während
des Ansaugens der elektronischen Komponente B durch die Saugdüse 1 wirkt
die von der Vakuum-Saugpumpe 8 ausgeübte Saugkraft auch auf die
hintere Endfläche 3c (obere
Endfläche in 13) des Düsenkörpers 3 und
betätigt
den Düsenkörper in
der Richtung, in welcher die Feder 4 gespannt ist. Wenn
diese Saugkraft bewirkt, dass der Düsenkörper 3 versetzt wird
und die Höhenposition der
vorderen Endfläche 3b des
Düsenkörpers 3 ändert, kann
ein Ansaugfehler und ein Platzierungsfehler der elektronischen Komponente
B auftreten. Um diesen Versatz des Düsenkörpers 3 gegenüber dem äußeren Düsenelement 2 in
Folge der Ansaugkraft zu vermeiden, wird die Betätigungskraft der Feder 4 konventionell
auf einen relativ hohen Wert eingestellt (zum Beispiel 3,92 bis
5,88 N (400 bis 600 gf)), so dass die Betätigungskraft der auf den Düsenkörper 3 wirkenden
Kraft widerstehen kann.
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Die hohe Betätigungskraft der Feder 4 verringert
jedoch unvermeidlich die Stoß-Absorptionsfunktion.
Die hohe Betätigungskraft
der Feder 4 resultiert nämlich darin, dass eine relativ
hohe Last auf die elektronische Komponente B ausgeübt wird,
wenn die Saugdüse 1 während des
Komponenten-Ansaugens in Berührung
mit der elektronischen Komponente B kommt. Ebenso wird eine relativ
hohe Last auf die elektronische Komponente B ausgeübt, wenn die
elektronische Komponente während
der Komponentenplatzierung in Berührung mit der Schaltkreisplatine
kommt.
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Einige jüngere elektronische Komponenten weisen
auf einer Rückseite
Lot-Kugeln auf, welche in geeignete Durchmesser aufgebrochen werden
durch eine Belastung während
der Platzierung. Solche kleinen elektronischen Komponenten müssen mit
einer geringen Last platziert werden. Wenn während der Platzierung eine
hohe Last auf solche elektronischen Komponenten ausgeübt wird,
werden die Lot-Kugeln übermäßig aufgebrochen.
Angesichts dessen ist die oben beschriebene, konventionelle Saugdüse 1 nicht geeignet
zum Montieren von der kleinen elektronischen Komponenten mit Lot-Kugeln
auf deren Rückseiten.
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Das Dokument ONG CHUAN AIK ET AL: "ANTI SUCK BACK PICKUP
TIP" MOTOROLA TECHNICAL
DEVELOPMENTS, MOTOROLA INC. SCHAUMBURG, ILLINOIS, US, Band 12, 1.
April 1991 (1991-04-01), Seite 140, XP000229308, offenbart eine
Saugdüse
mit einem Feder-System zum Betätigen
des Düsenkörpers in
Richtung fort von dem äußeren Düsenelement,
wobei die Gestaltung das Vakuum-System
und das Feder-System trennt.
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Offenbarung
der Erfindung
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Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung
ist es, eine Saugdüse
anzugeben, die in der Lage ist, einen Versatz eines Düsenkörpers während des
Ansaugens zu verhindern und ebenfalls den Stoß auf eine Komponente während des
Ansaugens und der Platzierung der Komponente ausreichend zu absorbieren.
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Ein erster Aspekt der Erfindung gibt
eine Saugdüse
zum Halten einer Komponente durch Ansaugen an, mit: einem äußeren Düsenelement,
welches einen ersten Ansaugkanal zum Kommunizieren mit einer Ansaugquelle
an einem Ende davon bildet und einer Düsenkörper-Aufnahmebohrung; einem Düsenkörper zum
Halten der Komponente an einer distalen Endfläche davon durch Ansaugen, mit
einer in der Düsenkörper-Aufnahmebohrung
aufgenommenen proximalen Seite, um in der Richtung einer Achse davon
verschiebbar zu sein, wobei eine distale Seite von dem äußeren Düsenelement
hervorsteht, und einem ersten zylindrischen Abschnitt, welcher von
einer proximalen Endfläche
davon hervorsteht, wobei der Düsenkörper einen
zweiten Ansaugkanal bildet, der sich in der axialen Richtung davon
erstreckt, zum Kommunizieren mit dem ersten Ansaugkanal, und der
zweite Ansaugkanal weist eine Öffnung
an der distalen Endfläche
des Düsenkörpers auf;
und einem Betätigungselement
zum Betätigen des
Düsenkörpers in
einer Richtung fort von dem äußeren Düsenelement,
wobei das Betätigungselement in
einer Betätigungselement-Aufnahmekammer aufgenommen
ist, welche durch wenigstens eine Wandoberflä che der Düsenkörper-Aufnahmebohrung und eine
proximale Endfläche
des Düsenkörpers gebildet
ist.
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Die Saugdüse der vorliegenden Erfindung beinhaltet
die Betätigungselement-Aufnahmekammer, gebildet
an der proximalen Seite des Düsenkörpers, in
welcher das Betätigungselement
aufgenommen ist. Die Betätigungselement-Aufnahmekammer ist
getrennt von den ersten und zweiten Kanälen und kommuniziert mit der
Atmosphäre.
Durch diesen Aufbau ist es möglich,
die Ansaugkraft zu verringern, die von der Ansaugquelle auf den
Düsenkörper in
der Richtung wirkt, in welcher das Betätigungselement zusammengedrückt wird.
Daher kann die Betätigungskraft
des Betätigungselements
gering eingestellt werden, ohne einen Versatz des Düsenkörpers während des
Ansaugens zu bewirken. Durch Einstellen einer geringen Betätigungskraft
für das
Betätigungselement
ist es möglich,
den Stoß auf
die Komponente während
des Ansaugens und der Platzierung der Komponente ausreichend zu
absorbieren. Insbesondere, wenn die Betätigungselement-Aufnahmekammer mit
der Atmosphäre
kommuniziert, wird eine Verringerung der Betätigungskraft der Einwirkung
des Betätigungselements
auf den Düsenkörper effizienter
verwirklicht.
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Insbesondere ist der Düsenkörper mit
einem ersten zylindrischen Abschnitt versehen, der von der proximalen
Endfläche
davon hervorsteht. Der Düsenkörper ist
gegen eine Betätigungskraft
des Betätigungselements
bewegbar von einer ersten Posititon, in welcher eine distale Endfläche des
ersten zylindrischen Abschnitts von einer Bodenwandfläche der Düsenkörper-Aufnahmebohrung
getrennt ist, in eine zweite Position, in welcher die distale Endfläche des ersten
zylindrischen Abschnitts die Bodenwandfläche der Düsenkörper-Aufnahmebohrung berührt.
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Nachdem der Düsenkörper die zweite Position erreicht,
bewegt sich der Düsenkörper integral
mit dem äußeren Düsenelement.
Während
der Platzierung der Komponente drückt daher die Saugdüse in diesem
Zustand die Komponente gegen das Schaltkreis-Formationsobjekt durch
Beaufschlagen mit einer für
die Montage erforderlichen Last. Diese Last kann ungeachtet der
Betätigungskraft
des Betätigungselements
eingestellt werden.
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Das Betätigungselement kann eine Feder sein.
Die Betätigungskraft
der Feder kann z. B. eingestellt sein auf nicht weniger als 0,196
N und nicht mehr als 0,98 N.
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Eine erste ringförmige Nut zum Vergrößern des
Durchmessers der Düsenkörper-Aufnahmebohrung kann
in einem Abschnitt der Oberfläche
der seitlichen Umfangswand der Düsenkörper-Aufnahmebohrung
benachbart zu der Boden-Wandoberfläche ausgebildet
sein. Das Vorhandensein der ersten ringförmigen Nut kann den Gleitwiderstand
verringern, der entsteht, wenn sich der Düsenkörper in der Düsenkörper-Aufnahmebohrung
bewegt. Zusätzlich verhindert
dies ein Eindringen eines Endes des ersten zylindrischen Abschnittes
des Düsenkörpers in die
Oberfläche
der Umfangswand der Düsenkörper-Aufnahmebohrung.
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Eine Zentrierbohrung kann in der
Boden-Wandoberfläche
ausgebildet sein, um das Betätigungselement
zu befestigen. Durch die Befestigung in der Zentrierbohrung wird
das Betätigungselement in
der Betätigungselement-Aufnahmekammer
stabil gehalten und somit daran gehindert, zwischen dem äußeren Düsenelement
und dem Düsenkörper einzudringen.
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Die Struktur zur Kommunikation des
ersten Ansaugkanals mit dem zweiten Ansaugkanal ist nicht besonders
beschränkt.
Zum Beispiel kann der Düsenkörper wenigstens
einen lateralen Kanal bilden, der sich in einer Richtung erstreckt,
welche die Achse des Düsenkörpers kreuzt
und mit dem zweiten Ansaugkanal an einem Ende davon kommuniziert
und das andere Ende des lateralen Kanals kann mit dem anderen Ende
des ersten Ansaugkanals des äußeren Düsenelements
kommunizieren.
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Der Düsenkörper kann einen einzelnen lateralen
Kanal bilden. Alternativ kann der Düsenkörper zwei laterale Kanäle bilden
und die zwei lateralen Kanäle
können
symmetrisch zur Achse des Düsenkörpers sein,
so dass die Ansaugkraft von der Ansaugquelle gleichförmig auf
die äußere seitliche
Umfangswandoberfläche
des Düsenkörpers wirkt.
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Um weitere gleichförmige Ansaugkraft
zu erreichen, welche auf die äußere seitliche
Umfangswandoberfläche
des Düsenkörpers wirkt,
kann eine zweite ringförmige
Nut um die äußere seitliche
Umfangswandoberfläche
des Düsenkörpers ausgebildet sein
und der laterale Kanal kann mit dem anderen Ende des ersten Ansaugkanals
durch die zweite ringförmige
Nut kommunizieren.
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Alternativ kann der Düsenkörper einen
zweiten zylindrischen Abschnitt enthalten, der sich in axialer Richtung
von der proximalen Endfläche
erstreckt. Der zweite zylindrische Abschnitt kann sich durch die
Betätigungselement-Aufnahmekammer
in den ersten Ansaugkanal erstrecken. Der zweite Ansaugkanal kann
mit dem ersten Ansaugkanal durch einen dritten Ansaugkanal kommunizieren,
welcher durch den zweiten zylindrischen Abschnitt ausgebildet ist.
Durch diese Konstruktion kann die Feder-Aufnahmekammer zuverlässiger von
dem ersten und zweiten Ansaugkanal getrennt sein.
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Das äußere Düsenelement kann einen ersten
Vakuum-Unterbrechungskanal bilden, welcher an einem Ende davon mit
der Atmosphäre
kommuniziert. Weiterhin kann der Düsenkörper einen zweiten Vakuum-Unterbrechungskanal
bilden, der mit dem zweiten Ansaugkanal an einem Ende davon kommuniziert.
Die anderen Enden des ersten und zweiten Vakuum-Unterbrechnungskanals
sind voneinander getrennt, wenn die Saugdüse die Komponente durch Ansaugen
hält. Andererseits
kommunizieren die beiden anderen Enden des ersten und zweiten Vakuum-Unterbrechungskanals
miteinander, wenn die Saugdüse
die Komponente auf einem Schaltkreis-Formationsobjekt platziert.
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Die anderen Enden der ersten und
zweiten Vakuum-Unterbrechungskanäle
können
voneinander getrennt sein, wenn der Düsenkörper in der ersten Position
ist und können
miteinander kommunizieren, wenn der Düsenkörper in der zweiten Position
ist, wobei der zweite Kanal zur Atmosphäre offen ist. Durch diesen
Aufbau kann das Ansaugen der Komponente an den Düsenkörper sanft und zuverlässig erreicht
werden, wenn der Düsenkörper in
Berührung mit
dem äußeren Düsenelement
kommt. Wenn zum Beispiel die an den Düsenkörper angesaugte Komponente
gegen das Schaltkreis-Formationsobjekt gedrückt wird und somit der Düsenkörper die
zweite Position erreicht, kommunizieren der erste und der zweite
Vakuum-Unterbrechungskanal
miteinander, was in der Freigabe des Ansaugen resultiert.
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Ein zweiter Aspekt der vorliegenden
Erfindung gibt eine Komponenten-Montagevorrichtung
an zum Platzieren einer Komponente auf einem Schaltkreis- Formationsobjekt,
mit: einer Komponentenzuführungssektion
zum Zuführen
der Komponente; einer Schaltkreis-Formationsobjekt-Transfersektion zum
Transferieren des Schaltkreis-Formationsobjektes zu einer Komponenten-Platzierungsposition;
und eine Montagekopfsektion, welche mit der oben genannten Ansaugdüse ausgestattet
ist, wobei die Montagekopfsektion von der Komponentenzuführungssektion
zu der Komponentenplatzierungsposition bewegt wird, wobei, wenn
die Montagekopfsektion an einer Position entsprechend der Komponentenzuführungssektion
platziert ist, die Ansaugdüse die
von der Komponentenzuführungssektion
zugeführte
Komponente durch Ansaugen an dem distalen Ende des Düsenkörpers hält, und
wobei, wenn die Montagekopfsektion an der Komponentenplatzierungsposition
platziert ist, sich die Ansaugdüse
zu dem Schaltkreis-Formationsobjekt hin bewegt und die an dem distalen
Ende des Düsenkörpers angesaugte
Komponente auf dem Schaltkreis-Formationsobjekt platziert.
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Ein dritter Aspekt der vorliegenden
Erfindung gibt ein Verfahren zum Montieren einer Komponente auf
einem Schaltkreisformationsobjekt unter Verwendung der oben genannten
Saugdüse
an, mit: Halten der Komponente durch Ansaugen an einem distalen Ende
des Düsenkörpers; Bewegen
der Saugdüse
zu einer Position oberhalb des Schaltkreis-Formationsobjektes; Bewegen
der Saugdüse
in der Richtung der Achse des Düsenkörpers zu
dem Schaltkreis-Formationsobjekt, um eine erste Höhenposition
zu erreichen, wo die an dem distalen Ende des Düsenkörpers angesaugte Komponente
in Berührung
mit dem Schaltkreis-Formationsobjekt kommt, während das Betätigungselement
einen durch die Berührung
mit dem Schaltkreis-Formationsobjekt
bewirkten Stoß auf
die Komponente absorbiert; Bewegen der Saugdüse in der Richtung der Achse
des Düsenkörpers zu dem
Schaltkreis-Formationsobjekt
hin von der ersten Höhenposition
zu einer zweiten Höhenposition,
wo eine proximate Seite des Düsenkörpers in
Eingriff mit dem äußeren Düsenelement
ist, mit Bewegen des Düsenkörpers, bezogen
auf das äußere Düsenelement,
entgegen einer Betätigungskraft
des Betätigungselements;
und weiterhin Bewegen der Saugdüse
in der Richtung der Achse des Düsenkörpers von der
zweiten Höhenposition
zu dem Schaltkreis-Formationsobjekt, so dass eine Last von dem Düsenkörper auf
die Komponente ausgeübt
wird, wobei die Komponente durch die Last auf dem Schaltkreis-Formationsobjekt
platziert wird. Das Ansaugen der Komponente durch den Düsenkörper kann
aufhören, wenn
die Saugdüse
die zweite Höhenposition
erreicht.
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Kurzbeschreibung
der Zeichnungen
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1 ist
eine perspektivische Ansicht, welche eine mit einer Saugdüse der vorliegenden
Erfindung ausgestattete Montagevorrichtung für eine elektronische Komponente
darstellt;
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2 ist
eine vertikal Querschnittsansicht, welche eine Saugdüse der ersten
Ausführungsform darstellt;
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3 ist
eine vertikale Querschnittsansicht, welche die Saugdüse der ersten
Ausführungsform darstellt;
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4A ist
eine Querschnittsansicht entlang Linie IV-IV in 2;
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4B ist
eine Querschnittsansicht entlang Linie IV'-IV' in 2;
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4C ist
eine Querschnittsansicht entlang Linie IV''-IV'' in 2;
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5A ist
eine teilweise vergrößerte Ansicht eines
Teiles V in 2;
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5B ist
eine teilweise vergrößerte Ansicht eines
Teiles V' in 3;
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6 ist
eine vertikale Querschnittsansicht, welche eine Saugdüse der zweiten
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung darstellt;
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7 ist
eine Querschnittsansicht entlang Linie VII-VII in 6;
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8 ist
eine vertikale Querschnittsansicht, welche eine Saugdüse der dritten
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung darstellt;
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9 ist
eine vertikale Querschnittsansicht, welche die Saugdüse der dritten
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung darstellt;
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10A ist
eine Querschnittsansicht entlang Linie X-X in 8;
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10B ist
eine Querschnittsansicht entlang Linie X'-X' in 9;
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11 ist
eine vertikale Querschnittsansicht, welche eine Saugdüse der vierten
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung zeigt;
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12 ist
eine Querschnittsansicht entlang Linie XII-XII in 11; und
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13 ist
eine vertikale Querschnittsansicht, welche eine konventionelle Saugdüse darstellt.
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Bester Modus
zum Ausführen
der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung wird jetzt
detailliert entsprechend den in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsformen
beschrieben.
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Erste Ausführungsform
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1 zeigt
eine mit einer Saugdüse 21 der vorliegenden
Erfindung ausgestattete Montagevorrichtung 100 für eine elektronische
Komponente. Die 2 bis 5 stellen die Saugdüse der ersten
Ausführungsform
dar.
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In 1 beinhaltet
die Montagevorrichtung 100 für eine elektronische Komponente:
eine Platinen-Transfersektion 101 zum Transferieren einer Schaltkreisplatine
A; Komponentenzuführungssektionen 102 mit
einer Mehrzahl von Komponentenzuführungseinheiten; eine Montagekopfsektion 103,
an welcher die Saugdüse 21 angebracht
werden kann; eine Platinenerkennungskamera 104 zum Erkennen der
Schaltkreisplatine A; einen X-Y-Roboter 105, welcher in
der Lage ist, die Montagekopfsektion 103 und die Platinenerkennungskamera 104 in
durch die Pfeile X und Y in 1 gezeigten
Richtungen zu bewegen; Komponenten-Abbildungseinheiten 106 zum Abbilden
der Lage einer elektronischen Komponente B, angesaugt und gehalten
von der Saugdüse 21; Komponentenausscheidungssektionen 107 zum Ausscheiden
der elektronischen Komponente B, wenn deren Lage als anormal gefunden
wird; und eine Steuerungseinheit 108 zum Steuern dieser
Vorgänge.
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In 2 ist
die Saugdüse 21 abnehmbar
an einem Düsenschaft 22 der
Montagekopfsektion 103 durch einen Düsenhalter 23 angebracht.
Insbesondere beinhaltet der Düsenhalter 23 Haltekugeln 23a für einen
inneren Halter 23b innen und einen äußeren Halter 23c,
an welchen der innere Halter angedrückt wird. Die Kugeln 23a sind
zum Eingriff in eine Ausnehmung 38 eingepasst, welche in
einem später zu
beschreibenden äußeren Düsenelement 30 ausgebildet
ist, und somit ist die Saugdüse 21 an
dem Düsenschaft 22 befestigt.
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Ein Ansaugkanal 22a des
Düsenschaftes 22 kommuniziert
mit einer Vakuum-Saugpumpe 24.
Der Düsenschaft 22 ist
mechanisch mit einem Hebemechanismus 26 und einem Rotationsantriebsmechanismus 27 verbunden.
Die Saugdüse 21 bewegt
sich daher zusammen mit dem Düsenschaft 22 durch
den Hebemechanismus 26 aufwärts und abwärts und rotiert durch den Rotationsantriebsmechanismus 27 zusammen
mit dem Düsenschaft 22 um
eine Achse davon.
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Die Saugdüse 21 beinhaltet das äußere Düsenelement 30,
einen Düsenkörper 40 und
eine Feder 50.
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Das äußere Düsenelement 30 ist
ausgebildet mit einem ersten Ansaugkanal 31 und einer Düsenkörperaufnahmebohrung 32.
Der erste Ansaugkanal 31 enthält: einen ersten Abschnitt 31a mit
einem vergleichsweise großen
Durchmesser, welcher mit dem Ansaugkanal 22a des Düsenschaftes 22 kommuniziert;
einen zweiten Abschnitt 31b, der mit dem ersten Abschnitt 31a an
einem Ende davon kommuniziert und sich in der Richtung der Achse
L des Düsenkörpers 40 erstreckt;
und einen dritten Abschnitt 31c, der sich von dem äußeren Ende
des zweiten Abschnittes 31b in einer Richtung senkrecht zu
dem zweiten Abschnitt 31b erstreckt. Der dritte Abschnitt 31c ist
an einer seitlichen Umfangswandoberfläche 32a der Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 offen.
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Eine proximate Seite des Düsenkörpers 40 ist
in der Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 des äußeren Düsenelements 30 aufgenommen,
um in der Richtung der Achse L davon gleitfähig zu sein. Eine äußere Umfangswandoberfläche 40a des
Düsenkörpers 40 berührt die
seitliche Umfangswandoberfläche 32a der
Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 dicht
oder luftdicht. Eine distale Seite des Düsenkörpers 40 steht von
dem äußeren Düsenelement 30 abwärts hervor,
wie in 2 gezeigt.
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Der Düsenkörper 40 ist mit einem
zweiten Ansaugkanal 41 ausgebildet, der sich in der Richtung der
Achse L erstreckt und an einer distalen Endfläche 40b davon offen
ist. Der Düsenkörper ist
ebenfalls mit einem lateralen Kanal 42 ausgebildet, der
sich in einer Richtung senkrecht zu der Achse L erstreckt. Der laterale
Kanal 42 kommuniziert mit dem zweiten Ansaugkanal 41 an
einem Ende davon und ist an der äußeren seitlichen
Umfangswandoberfläche 40a des Düsenkörpers 40 an
dem anderen Ende davon offen.
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Wie in den 2 und 4A gezeigt,
ist eine ringförmige
Nut 43 an einer Position der äußeren seitlichen Umfangswandoberfläche 40a des
Düsenkörpers 40 entsprechend
der Öffnung
des lateralen Kanals 42 ausgebildet. Der zweite Ansaugkanal 41 kommuniziert
mit dem dritten Abschnitt 31c des ersten Ansaugkanals 31 durch
die ringförmige
Nut 43 und den seitlichen Kanal 42. Wie in den 2 und 4B gezeigt, erstreckt sich ein erster
zylindrischer Abschnitt 44 von einer proximalen Endfläche 40c des Düsenkörpers 40 in
der Richtung der Achse L. Wie in den 5A und 5B gezeigt, ist das distale
Ende des zylindrischen Abschnitts 44 angefast, wie mit
dem Bezugszeichen 44a bezeichnet, um ein Einsetzen des
Düsenkörpers 40 in
die Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 während der
Herstellung zu unterstützen.
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Ein Raum getrennt von dem ersten
und zweiten Ansaugkanal 31, 41, d. h., eine Feder-Aufnahmekammer 60,
ist gebildet durch die proximate Endfläche 40c des Düsenkörpers 40,
eine Boden-Wandoberfläche 32b der
Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32,
die seitliche Umfangs-Wandoberfläche 32a der Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 und
den ersten zylindrischen Abschnitt 44. Wie in den 2 und 4B gezeigt, kommuniziert die Feder-Aufnahmekammer 60 mit
der Atmosphäre
durch eine elliptische Bohrung 44b, welche durch den ersten
zylindrischen Abschnitt 44 ausgebildet ist, und einen kreisförmigen Sektionskanal 33,
ausgebildet an einer Position des äußeren Düsenelements 30 entsprechend
der elliptischen Bohrung 44b. Daher wird der Druck in Feder-Aufnahmekammer 60 bei
Atmosphärendruck
gehalten, ungeachtet der Position des Düsenkörpers 40, bezogen
auf das äußere Düsenelement 30 und die
Existenz oder Abwesenheit einer durch die Vakuum-Saugpumpe 24 ausgeübten Saugkraft.
Mit anderen Worten wirkt die Saugkraft der Vakuum-Saugpumpe 24 nicht
auf die proximate Endfläche 40c des Düsenkörpers 40.
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Eine Schraubenfeder 50 ist
in dem komprimierten Zustand in der Feder-Aufnahmekammer 60 aufgenommen.
Die Feder 50 beaufschlagt den Düsenkörper 40 elastisch
in der Richtung fort von dem äußeren Düsenelement 30.
Da die Saugkraft der Vakuum-Saugpumpe 24 nicht auf die
proximale Endfläche 40c des
Düsenkörpers 40 wirkt,
wie oben beschrieben, muss die Betätigungskraft der Feder 50 nicht
groß sein,
um der Saugkraft zu widerstehen. Daher kann die Betätigungskraft
der Feder 50 auf einen relativ kleinen Wert eingestellt
werden. Insbesondere kann die Betätigungskraft der Feder 50 auf einen
Wert nicht unter 0,196 N und nicht über 0,98 N eingestellt werden.
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Die Aufnahme der Feder 50 in
der Feder-Aufnahmekammer 60 wird detailliert beschrieben.
Die Feder 50 ist innerhalb des zylindrischen Abschnittes 44 platziert.
Zentrierbohrungen 71A, 71B sind jede in der proximalen
Endfläche 40c des
Düsen körpers 40 und
der Boden-Wandfläche 32b der Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 ausgebildet,
wobei beide die Feder-Aufnahmekammer 60 bilden. Die Enden
der Feder 50 sind jeweils in die Zentrierbohrungen 71A, 71B eingesetzt,
so dass die Feder 50 in der Feder-Aufnahmekammer 60 stabil
gehalten ist. Somit wird die Feder 50 daran gehindert,
in den Raum zwischen dem äußeren Düsenelement 30 und dem
Düsenkörper 40 einzudringen.
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Wie in den 2, 4C, 5A und 5b gezeigt, ist eine ringförmige Nut 34 an
einer Position der seitlichen Umfangswand-Oberfläche 32a der Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 benachbart
zu der Boden-Wandfläche 32b ausgebildet.
Ein Durchmesser der Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 ist
in diesem Abschnitt mit der ringförmigen Nut 34 größer als
in dem anderen Abschnitt. Daher ist in diesem Abschnitt der erste
zylindrische Abschnitt 44 des Düsenkörpers 40 nicht in
Berührung
mit der seitlichen Umfangswand-Oberfläche 32a der Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32,
wie in den 5A und 5B gezeigt. Dies verringert
vorteilhaft den Gleitwiderstand des Düsenkörpers 40, wenn er
innerhalb der Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 gleitet.
Zusätzlich
verhindert das Vorhandensein der ringförmigen Nut 34, dass
das distale Ende des ersten zylindrischen Abschnittes 44 in
die seitliche Umfangswand 32a der Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 eingreift.
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Eine sich in der Richtung der Achse
L erstreckende Eingriffsnut 45 ist in der äußeren seitlichen Umfangswand-Oberfläche 40a des
Düsenkörpers 40 ausgebildet.
Ein an dem äußeren Düsenelement 30 befestigter
Stopper 72 ist locker in die Eingriffsnut 45 eingesetzt,
so dass ein distales Ende des Stoppers 72 in der Eingriffsnut 45 beweglich
ist. Durch Eingriff eines Endabschnittes der Eingriffsnut 45 mit
dem Stopper 72, wie in 2 gezeigt,
ist der Düsenkörper 40 daran
gehindert, durch die Betätigungskraft
der Feder 50 aus der Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 herauszukommen.
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Die Saugkraft der Vakuum-Ansaugpumpe 24 wirkt
auf die elektronische Komponente B an der distalen Endfläche 40b des
Düsenkörpers 40 durch
den Ansaugkanal 22a des Düsenschaftes 22, den
ersten Ansaugkanal 31 des äußeren Düsenelements 30, die ringförmige Nut 43 des
Düsenkörpers 40,
den lateralen Kanal 42 des Düsenkörpers und den zweiten Ansaugkanal 41 des
Düsenkörpers 40.
Durch das Vorhandensein der ringförmigen Nut 43 des
Düsenkörpers 40 versagt
die Saugkraft der Vakuum-Saugpumpe 24 dabei, direkt auf
die äußere seitliche
Umfangswand-Oberfläche 40a des
Düsenkörpers 40 zu
wirken, an einer Verbindung zwischen dem ersten Ansaugkanal 31 des äußeren Düsenelements 30 und dem
lateralen Kanal 42 des Düsenkörpers 40. Dies verhindert,
dass der Düsenkörper 40 an
das äußere Düsenelement 30 an
der Verbindung durch die Saugkraft der Vakuum-Ansaugpumpe 24 angesaugt wird und
stellt somit eine Verringerung des erzeugten Gleitwiderstands sicher,
der erzeugt wird, wenn der Düsenkörper 40 gegenüber dem äußeren Düsenelement 30 versetzt
wird.
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Wenn keine Kraft aufwärts entlang
der Achse L auf die distale Endfläche 40b wirkt, ist
der Düsenkörper 40 in
der in 2 gezeigten ersten
Position, wo der Düsenkörper 40 durch
den Stopper 72 gestoppt wird. In dieser ersten Position,
wie in 5A gezeigt, ist
eine Endfläche 44c des
ersten zylindrischen Abschnittes 44 des Düsenkörpers 40 getrennt von
der Boden-Wandoberfläche 32b der
Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32.
Sobald eine Kraft aufwärts
entlang der Achse L auf die distale Endfläche 40b wirkt, bewegt
sich der Düsenkörper 40 aufwärts zu der
in 3 gezeigten zweiten
Position gegen die Betätigungskraft
der Feder 50. In dieser zweiten Position ist, wie in 5B gezeigt, die Endfläche 44c des
ersten zylindrischen Abschnittes 44 des Düsenkörpers 40 in
Berührung
mit der Boden-Wandfläche 32b der
Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32.
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Dann wird die Wirkungsweise der Montagevorrichtung 100 für eine elektronische
Komponente mit der Saugdüse 21 beschrieben.
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Zuerst transferriert die Platinen-Transfersektion 101 die
Schaltkreisplatine A zu einer Komponenten-Platzierungsposition.
Während
dieses Transfers wird die Platinenerkennungskamera 104 von
dem X-Y-Roboter 105 bewegt, um oberhalb der Schaltkreisplatine
A positioniert zu werden, um eine Position auf der Schaltkreisplatine
A zu erkennen, an welcher die elektronische Komponente B zu platzieren ist.
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Die Montagekopf-Sektion 103 wird
dann von dem X-Y-Roboter 105 zu der Komponenten-Zuführungssektion 102 bewegt,
wo die Saugdüse 21 die von
der Komponenten-Zuführungssektion 102 zugeführte elektronische
Komponente B in der folgenden Weise ansaugt und hält.
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Zuerst wird die Saugdüse 21 auf
eine vorbestimmte Höhenposition
(Ansaughöhenposition)
abgesenkt durch den Hebemechanismus 26, um der distalen
Endfläche 40b des
Düsenkörpers 40 zu
erlauben, in Berührung
mit der von der Komponentenzuführungssektion 102 zugeführten elektronischen Komponente
B zu kommen. Bei diesem Ereignis kann der auf die elektronische
Komponente B ausgeübte
Stoß ausreichend
absorbiert werden, da die Betätigungskraft
der Feder 50 relativ gering ist, wie oben beschrieben.
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Anschließend wird die elektronische
Komponente B an die distale Endfläche 40b des Düsenkörpers 40 angesaugt
mit einer Saugkraft der Vakuum-Ansaugpumpe 24, die durch
den ersten Ansaugkanal 31 des äußeren Düsenelements 30, den
lateralen Kanal 42 des Düsenkörpers 40 und den zweiten Ansaugkanal 41 des
Düsenkörpers 40 wirkt.
Bei diesem Ereignis wird der Düsenkörper 40 durch
die Saugkraft der Vakuum-Ansaugpumpe 24 daran gehindert,
gegenüber
dem äußeren Düsenelement 30 versetzt
zu werden. Dies ist der Fall, weil die an der proximalen Seite des
Düsenkörpers 40 vorgesehene Feder-Aufnahmekammer 60 dazu
dient, die auf den Düsenkörper 40 in
der Richtung der Achse L (die Richtung, in welcher die Feder 50 komprimiert
ist) wirkende Kraft der Vakuum-Ansaugpumpe 24 zu verringern.
Daher ist es möglich,
die Höhenposition
der distalen Endfläche 40b des
die Komponente elektronische Komponente B haltenden Düsenkörpers 40 durch
Ansaugen konstant zu halten. Danach wird die die elektronische Komponente
B haltende Saugdüse 21 durch
den Hebemechanismus 26 aufwärts in die ursprüngliche
Höhenposition
bewegt.
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Die Montagekopfsektion 103 wird
dann von dem X-Y-Roboter 105 derart bewegt, dass die von der
Saugdüse 21 gehaltene
elektronische Komponente B die Komponenten-Abbildungsanordnung 106 passiert.
Während
des Passierens erfasst die Komponenten-Abbildungsanordnung 106 ein
Bild der Lage der von der Saugdüse 21 gehaltenen
elektronischen Komponente B. Basierend auf den Ergebnissen dieser
Abbildung bestimmt die Steuerungseinheit 108, ob die Lage
der elektronischen Komponente B geeignet ist oder nicht. Wenn die
Lage der elektronischen Komponente B als geeignet bestimmt wird, wird
die Position der elektronischen Komponente B basierend auf den erhaltenen
Bildinformationen korriegiert. Insbesondere wird die Saugdüse 21 durch den
Rotations-Antriebsmechanismus 27 um die Achse L rotiert,
um die Rotationsposition der elektronischen Komponente B zu korrigieren.
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Danach wird die Montagekopfsektion 103 durch
den X-Y-Roboter 105 zu der Komponenten-Montageposition
bewegt, wo die von der Saugdüse 21 gehaltene
elektronische Komponente B in der folgenden Weise auf der Schaltkreisplatine
A platziert wird. Zuerst wird die Saugdüse 21 durch den Hebemechanismus 26 in
eine vorbestimmte Höhenposition
(Platzierungs-Höhenposition)
abgesenkt, um der an der distalen Endfläche 40b angesaugten
elektronischen Komponente B zu erlauben, mit der Schaltkreisplatine
A in Berührung
zu kommen. Bei diesem Ereignis kann der auf die elektronische Komponente
B ausgeübte
Stoß ausreichend
absorbiert werden, da die Betätigungskraft
der Feder 50 relativ gering ist, wie oben beschrieben.
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Die Saugdüse 21 wird aus der
Platzierungs-Höhenposition
weiter abgesenkt. Als Ergebnis bewegt sich der Düsenkörper 40 zu dem äußeren Düsenelement 30 gegen
die Betätigungskraft
der Feder 50, um die zweite Position (siehe 2) zu erreichen. Bei diesem
Ereignis wird nur eine geringe Kraft auf die elektronische Komponente
B angewendet, weil die Betätigungskraft
der Feder 50 relativ gering ist.
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In der zweiten Position ist die Endfläche 44c des
ersten zylindrischen Abschnittes 44 des Düsenkörpers 40 in
Berührung
mit der Boden-Wandfläche 32b der
Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 des äußeren Düsenelements 30,
wie oben beschrieben. Daher wird, wenn die Saugdüse 21 weiter abgesenkt wird,
der Düsenkörper 40 zusammen
mit dem äußeren Düsenelement 30 abgesenkt,
ohne gegenüber dem äußeren Düsenelement 30 versetzt
zu werden. Als ein Ergebnis wird eine Last von dem Düsenkörper 40 auf
die elektronische Komponente B ausgeübt, die bereits in Berührung mit
der Schaltkreisplatine A ist. Mit dieser Last wird die elektronische
Komponente B auf der Schaltkreisplatine A platziert. Nach der Beendigung
der Platzierung wird das Ansaugen der Vakuum-Saugpumpe angehalten.
Danach wird die Saugdüse 21 aufwärts in die
ursprüngliche
Höhenposition bewegt.
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Wenn entsprechend dem Abbildungsergebnis
durch die Komponenten-Abbildungsanordnung 106 bestimmt
wird, dass die Lage der elektronischen Komponente B ungeeignet ist,
wird die Montagekopfsektion 103 durch den X-Y-Roboter 105 zu
der Komponenten-Ausscheidesektion 107 bewegt. In der Komponenten-Ausscheidesektion 107 wird
die Saugkraft der Vakuum-Saugpumpe 24 freigegeben, um die
an die Saugdüse 21 angesaugte
elektronische Komponente B auszuscheiden.
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Zweite Ausführungsform
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Die 6 und 7 zeigen eine Saugdüse 21 der
zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. In dieser Ausführungsform beinhaltet der Düsenkörper 40 zwei
laterale Kanäle 42, 42,
bezogen auf die Achse L des Düsenkörpers 40 symmetrisch ausgebildet.
Diese lateralen Kanäle 42, 42 sind
nämlich
an Positionen ausgebildet, die bezogen auf die Achse L 180 Grad
voneinander entfernt sind. Zusätzlich
beinhaltet der erste Ansaugkanal 31 des äußeren Düsenelements 30 zwei
zweite Abschnitte 31b, 31b und zwei dritte Abschnitte 31c, 31c zum
Kommunizieren mit den lateralen Kanälen 42, 42.
Diese zweiten Abschnitte 31b, 31b und dritten
Abschnitte 31c, 31c sind ebenfalls an Positionen
ausgebildet, die bezogen auf die Achse L 180 Grad voneinander entfernt sind.
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In der zweiten Ausführungsform
wirkt die Saugkraft der Vakuum-Saugpumpe 24 auf den zweiten
Ansaugkanal 41 des Düsenkörpers 40 durch
die zwei lateralen Kanäle 42, 42.
Dies macht die auf die äußere seitliche
Umfangswand-Oberfläche 40a des Düsenkörpers 40 wirkende
Ansaugkraft gleichförmiger
und verhindert damit zuverlässiger,
dass der Düsenkörper 40 durch
die Ansaugkraft der Vakuum-Ansaugpumpe 24 von
dem äußeren Düsenelement 30 angesaugt
wird. Als ein Ergebnis kann der Gleitwiderstand während des
Versatzes des Düsenkörpers 40 gegenüber dem äußeren Düsenelement 30 zuverlässiger verringert
werden.
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Der andere Aufbau und die andere
Wirkungsweise der zweiten Ausführungsform
sind die gleichen wie diejenigen der oben beschriebenen ersten Ausführungsform.
Daher sind die gleichen Komponenten mit den gleichen Bezugszeichen
bezeichnet und auf deren Beschreibung wird verzichtet.
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Dritte Ausführungsform
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Die 8 bis 10 zeigen die dritte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. In dieser dritten Ausführungsform
ist ein erster Vakuum-Unterbrechungskanal 36 in dem äußeren Düsenelement 30 ausgebildet
und ein zweiter Vakuum- Unterbrechungskanal 46 ist
in dem Düsenkörper 40 ausgebildet.
Der erste Vakuum-Unterbrechungskanal 36 kommuniziert
mit der Atmosphäre
an einem Ende davon und ist an dem anderen Ende davon offen an der seitlichen
Umfangswand-Oberfläche 32a der
Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32.
Der zweite Vakuum-Unterbrechungskanal 46 kommuniziert
an einem Ende davon mit dem zweiten Ansaugkanal 41 und
ist an dem anderen Ende offen an der äußeren seitlichen Umfangswand-Oberfläche 40a des
Düsenkörpers 40.
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Wie in den 8 und 10A gezeigt,
sind die anderen Enden des ersten und zweiten Vakuum-Unterbrechungskanals 36, 46 voneinander
getrennt, wenn der Düsenkörper 40 in
der ersten Position ist. In der ersten Position kommunizieren jedoch
der erste Ansaugkanal 31 und der zweite Ansaugkanal 41 miteinander.
Daher wird, wenn der Düsenkörper 40 in der
ersten Position ist, die elektronische Komponente B an der distalen
Endfläche 40b des
Düsenkörpers 40 angesaugt
mit der durch die ersten und zweiten Ansaugkanäle 31, 41 wirkenden
Saugkraft der Vakuum-Saugpumpe 24.
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Im Gegensatz dazu kommunizieren die
anderen Enden des ersten und zweiten Vakuum-Unterbrechungskanals 36, 46 miteinander,
wenn, wie in den 9 und 10B gezeigt, der Düsenkörper 40 in der
zweiten Position ist. In der zweiten Position ist jedoch die Position
der ringförmigen
Nut 43 gegenüber der
Position des dritten Abschnittes 31c des ersten Ansaugkanals 31 versetzt
und blockiert die Kommunikation zwischen dem ersten und zweiten
Ansaugkanal 31, 41. Daher verwirklicht ohne Ausblasaktion zum
Freigeben der elektronischen Komponente B nur ein Versatz des Düsenkörpers 40 zu
der zweiten Position und das Anhalten des Ansaugens der Vakuun-Ansaugpumpe 24 eine
sanfte und zuverlässige Freigabe
des Ansaugens der elektronischen Komponente B an der distalen Endfläche 40b des
Düsenkörpers 40.
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Wenn zum Beispiel die die elektronische Komponente
B an dem Düsenkörper 40 ansaugende und
haltende Saugdüse 21 von
der Platzierungshöhen-Position
weiter abgesenkt wird, so dass der Düsenkörper 40 die zweite
Position erreicht und das Ansaugen der Vakuum-Ansaugpumpe 24 angehalten wird,
wird die elektronische Komponente B vom Ansaugen freigegeben. Die
Saugkraft wirkt nicht mehr auf die elektronische Komponente B während des weiteren
Absenkens der Saugdüse 21 aus
der Platzierungshöhen-Position
zum Anwenden einer Last auf die elektronische Komponente B zum Platzieren auf
der Schaltkreisplatine A.
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Der weitere Aufbau und die Wirkungsweise der
dritten Ausführungsform
sind die gleichen wie bei der oben beschriebenen ersten Ausführungsform. Daher
werden die gleichen Komponenten mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet
und auf deren Beschreibung wird verzichtet.
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Vierte Ausführungsform
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Die 11 und 12 stellen die vierte Ausführungsform
der Erfindung dar. In der vierten Ausführungsform steht ein zweiter
zylindrischer Abschnitt 47 in der Richtung der Achse L
koaxial zu dem ersten zylindrischen Abschnitt 44 hervor.
Ein durch den zweiten zylindrischen Abschnitt 47 ausgebildeter
dritter Ansaugkanal 47a kommuniziert mit dem zweiten Ansaugkanal 41 an
einem Ende davon und ist an der distalen Endfläche des zweiten zylindrischen
Abschnittes 47 an dem anderen Ende davon offen.
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Das äußere Düsenelement 30 weist
eine Durchgangsbohrung 37 auf, welche sich von der Boden-Wandfläche 32b der
Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32 zu
dem ersten Ansaugkanal 31 erstreckt. Der zweite zylindrische
Abschnitt 47 erstreckt sich durch die Feder-Aufnahmekammer 60 und
dann das Durchgangsloch 37 zu dem ersten Ansaugkanal 31.
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Die Feder-Aufnahmekammer 60 ist
definiert durch die seitliche Umfangswand-Oberfläche 32a und die Boden-Wandfläche 32b der
Düsenkörper-Aufnahmebohrung 32,
den ersten zylindrischen Abschnitt 44 und eine äußere seitliche
Umfangswand-Oberfläche
des zweiten zylindrischen Abschnittes 47. Wie bei der ersten
Ausführungsform kommuniziert
die Feder-Aufnahmekammer 60 mit der Atmosphäre durch
die elliptische Bohrung 44a, welche in dem ersten zylindrischen
Abschnitt 44 ausgebildet ist, und den durch das äußere Düsenelement 30 ausgebildeten
Kanal 33.
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In der vierten Ausführungsform
kommunizieren der erste und der zweite Ansaugkanal 31, 41 miteinander
durch den dritten Ansaugkanal 47a des zweiten zylindrischen Abschnittes 47.
Bei diesem Aufbau ist die Feder-Aufnahmekammer 60 zuverlässiger von
dem ersten und zweiten Ansaugkanal 31, 41 getrennt.
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Der weitere Aufbau und die Wirkungsweise der
vierten Ausführungsform
sind die gleichen wie diejenigen der oben beschriebenen ersten Ausführungsform.
Daher sind die gleichen Komponenten mit den gleichen Bezugszeichen
bezeichnet und auf deren Beschreibung wird verzichtet. Die Saugdüse der vierten
Ausführungsform
kann mit dem ersten und zweiten Vakuum-Unterbrechungskanal der dritten Ausführungsform
ausgestattet sein.
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In der ersten bis vierten Ausführungsform kommuniziert
die Feder-Aufnahmekammer 60 mit der
Atmosphäre,
wie oben beschrieben. Die Feder-Aufnahmekammer 60 kann
eine luftdicht abgeschlossene Kammer sein, getrennt von nicht nur
von dem ersten und zweiten Ansaugkanal 31, 41 sondern auch
von der Atmosphäre.
Dieser Aufbau verwirklicht ebenso die Verringerung der auf den Düsenkörper 40 wirkenden
Saugkraft durch die Vakuum-Ansaugpumpe 24.
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Obwohl die vorliegende Erfindung
beispielhaft anhand der beigefügten
Zeichnungen vollständig beschrieben
wurde, ist anzumerken, dass vielfältige Änderungen und Modifikationen
für den
Durchschnittsfachmann erkennbar sind. Daher sollen, sofern solche Änderungen
und Modifikationen nicht andernfalls vom Umfang der vorliegenden
Erfindung, wie beansprucht, abweichen, als darin enthalten aufgefasst
werden.