JPH1013092A - 部品装着ヘッド - Google Patents

部品装着ヘッド

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JPH1013092A
JPH1013092A JP8165877A JP16587796A JPH1013092A JP H1013092 A JPH1013092 A JP H1013092A JP 8165877 A JP8165877 A JP 8165877A JP 16587796 A JP16587796 A JP 16587796A JP H1013092 A JPH1013092 A JP H1013092A
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Japan
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nozzle
nozzle member
mounting head
engaging
component mounting
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JP8165877A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Furuya
浩 古屋
Kanji Uchida
完司 内田
Kazuhiko Narisei
和彦 成清
Osamu Okuda
修 奥田
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Priority to DE69703799T priority patent/DE69703799T2/de
Priority to US09/202,620 priority patent/US6161886A/en
Publication of JPH1013092A publication Critical patent/JPH1013092A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0408Incorporating a pick-up tool
    • H05K13/0409Sucking devices
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/53Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313Means to assemble electrical device
    • Y10T29/53191Means to apply vacuum directly to position or hold work part

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高い装着精度にて部品を装着位置へ装着する
ことができる部品装着ヘッドを提供する。 【解決手段】 バキュームロッド23に対して軸回り方
向に回動不能に緩衝部材501を取り付け、かつその一
端には係合部320を備え、ノズル部材22の後端には
上記係合部と係合する係止部221を備え、上記係合部
と上記係止部とを係合させることで上記ノズル部材が軸
回り方向に回動することを防止した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば回路基板へ
装着する例えば電子部品を保持するノズル部材が着脱自
在である部品装着ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の部品装着ヘッドについて図を参照
しながら以下に説明する。図8は実装機全体の斜視図で
あり、部品装着ヘッド1の先端部分には、当該部品装着
ヘッド1に対してワンタッチで着脱可能な構造を有し回
路基板へ装着する電子部品を吸着するノズル部材2が取
り付けられる。3は、装着部品に合わせてノズル部材2
を提供するノズルステーションである。上述したよう
に、ノズル部材2が着脱可能である部品装着ヘッド1の
構造として、従来、以下に説明する従来例(1)〜
(3)に示す構造が存在する。
【0003】まず、上記従来例(1)における装着ヘッ
ド及びノズル部材の構造を図4及び図5を参照して以下
に説明する。図4において、ノズル部材4の嵌合部4a
は、内部にエアー経路11を有する円筒形状であり、バ
キュームロッド5の先端部にてバキュームロッド5の軸
芯に沿ってバキュームロッド5に着脱可能に嵌合され
る。バキュームロッド5に嵌合されたノズル部材4に
は、バキュームロッド5内に上記軸芯に沿って収納され
た圧縮バネ7の付勢力がプッシャー10を介して作用
し、ノズル部材4は図示の下方向に付勢される。尚、図
示するように、プッシャー10の当接面10a及び嵌合
部4aの当接面4bはともに平面であり、プッシャー1
0と嵌合部4aとは面接触している。又、バキュームロ
ッド5及び嵌合部4aには、負圧のエアーが導かれるエ
アー経路11が形成されるが、嵌合部4aにおけるエア
ー経路11を加工した際の穴をふさぐため当接面4b部
分には栓407が圧入されている。このように図示の下
方向に付勢されるノズル部材4は、以下の構造によりバ
キュームロッド5内に保持される。即ち、嵌合部4aの
外周面には、周方向に約180度離れた2カ所に、ノズ
ル部材4の軸方向に沿って適宜な長さの凹部401a,
401bが形成されている。このような各凹部401
a,401b内には、ノズル部材4の軸方向に対して直
交する方向への付勢力を有する圧縮バネ13a,13b
によって、鋼球12a,12bが凹部401a,401
b内へ突入される。尚、図5に示すように、圧縮バネ1
3aにて凹部401a内に突入される鋼球12aと、凹
部401aの側壁403とが当接することにより、ノズ
ル部材4には反時計回りの周方向へ回転力が作用する。
一方、凹部401bを形成する底面402を、圧縮バネ
13bの付勢力により鋼球12bが押圧することで、上
記回転力によるノズル部材4の周方向への回転は制限さ
れる。このように構成されることで、ノズル部材4が上
記周方向へ不用意に回動することを防止している。さら
に又、上記各凹部401a,401bにおける軸方向の
端部404,404と鋼球12a,12bとが当接する
ことで、ノズル部材4における図示の下方向への移動が
制限されノズル部材4はバキュームロッド5内に保持さ
れる。
【0004】次に、上記従来例(2)における装着ヘッ
ド及びノズル部材の構造を図6を参照し以下に説明す
る。ノズル部材14の嵌合部14aは、内部にエアー経
路11を有する円筒形状であり、バキュームロッド15
の先端部にて、バキュームロッド15の軸芯に沿ってバ
キュームロッド15に着脱可能に嵌合される。バキュー
ムロッド15内には、ノズル部材14をノズル部材14
の周方向へ付勢するためのねじりコイルバネ19がバキ
ュームロッド15の軸芯に沿って収納されている。バキ
ュームロッド15内にて、ねじりコイルバネ19とノズ
ル部材14との間には、バキュームロッド15の軸芯に
沿って円筒形状のシャンク18が設けられる。よって、
ねじりコイルバネ19による上記周方向への回転力は、
シャンク18を介してノズル部材14へ伝達される。
尚、ノズル部材14とシャンク18との接触部分は、図
示するように、ノズル部材14が円錐形の凸状でありシ
ャンク18はすり鉢の凹状である。よって、ノズル部材
14とシャンク18とは面接触している。又、シャンク
18の外周面には軸方向に沿って所定の長さにわたり凹
部40が形成され、該凹部40に対してバキュームロッ
ド15の外面からピン20を挿入し凹部40とピン20
とを係合することで、シャンク18の上記周方向への回
転を制限している。又、嵌合部14aの外周面の一部に
は全周にわたり凹部405が形成される。一方、バキュ
ームロッド15に形成された貫通穴406にはめ込ま
れ、かつ弾性体17にてノズル部材14の軸方向に対し
て直交方向に付勢される鋼球16が凹部405に係合す
ることで、バキュームロッド15に対して嵌合部14a
が軸方向へ移動することが制限される。尚、このような
構造は、例えば特公平7−24357号公報及び特開平
4−133400号公報に開示されている。
【0005】次に、上記従来例(3)における装着ヘッ
ド及びノズル部材の構造を図7を参照し以下に説明す
る。尚、図7に示す構造は、図6に示す構造とほぼ同等
であり、相違点のみ説明する。又、図7において、図6
に示す構成部材と同じ構成部材には同じ符号を付してい
る。図7に示す構造においては、ねじりコイルバネ19
に代えて圧縮バネ21を設けた。よって、圧縮バネ21
によりノズル部材14は図の下側へ付勢される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが上述した従来
例(1)〜(3)に示す構造では以下に説明するような
問題点がある。即ち、図4及び図5に示す構造にてな
る、従来例(1)の装着ヘッドでは、ノズル部材4にお
ける周方向への回動を制限するための力の強弱は、圧縮
バネ13a,13bの弾性力のバランスに起因すること
から、不安定なものとなりやすい。よって、装着時にお
ける電子部品の装着精度が悪くなるという問題点があっ
た。一方、圧縮バネ13a及び13bの付勢力を強くし
て、ノズル部材4の回動を制限するための力を大きくし
た場合には、凹部401a,401bからバキュームロ
ッド5側への鋼球12a,12bの後退が困難になるの
で、ノズル部材4をワンタッチで装着ヘッドへ着脱する
ことが困難になってしまったり、ノズル部材4の軸方向
への摺動が悪くなるという問題点があった。
【0007】又、図6に示す従来例(2)における構造
では、ねじりコイルバネ19及びシャンク18によって
ノズル部材14に対して周方向への付勢を行い、ノズル
部材14が不用意に周方向へ回動することを制限してい
るが、ねじりコイルバネ19のねじり力が弱い場合に
は、ノズル部材14は周方向へ容易に回動し装着時にお
ける電子部品の装着精度が悪くなる。逆に、ねじりコイ
ルバネ19のねじり力を強くし過ぎた場合には、シャン
ク18の凹部40とピン20との摩擦力が大きくなりノ
ズル部材14の軸方向への摺動動作が困難になるという
問題点があった。又、シャンク18の組み立て時に、ね
じりコイルバネ19をねじらずにバキュームロッド15
内に組み込んでしまうという組み立てミスを発生しやす
いという問題点もあった。
【0008】又、図7に示す従来例(3)における構造
では、ノズル部材14に対して周方向への付勢は行なわ
れておらず、シャンク18の凹部40とピン20とが密
着しない。よって、ノズル部材14は不用意に周方向へ
回動するという問題点があった。本発明は、このような
問題点を解決するためになされたもので、高い装着精度
にて部品を装着位置へ装着することができる部品装着ヘ
ッドを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、ノズル装着部
と、上記ノズル装着部に緩衝部材を介して着脱可能に挿
入されその先端にて部品を吸着するノズル部材と、を備
えた部品装着ヘッドであって、上記緩衝部材は、上記ノ
ズル装着部に対して軸回り方向に回動不能に取り付けら
れ、かつその一端には係合部を備え、上記ノズル部材の
後端には上記係合部と係合する係止部を備え、上記係合
部と上記係止部とを係合させることで上記ノズル部材が
軸回り方向に回動することを防止することを特徴とす
る。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態である部品装
着ヘッドについて図を参照しながら以下に説明する。
尚、ノズル装着部の機能を果たす一実施形態としてバキ
ュームロッド23が相当し、緩衝部材の機能を果たす一
実施形態としてスプライン軸32,外筒33,圧縮バネ
24,摺動部材28を有する部材が相当し、離脱制限部
材の機能を果たす一実施形態として圧縮バネ25,鋼球
26,ボルト27を有する部材が相当する。例えば図4
を参照して説明したバキュームロッド5に相当する部材
であり、装着ヘッドの先端部分に対応するバキュームロ
ッド23には、バキュームロッド23の内部に設けられ
る上記緩衝部材501と、バキュームロッド23の一端
部502に設けられるノズル部材22とが同軸芯上に配
置される。以下に、緩衝部材501及びノズル部材22
について図1を参照して詳しく説明する。
【0011】まず、緩衝部材501について説明する。
上述したように緩衝部材501は、スプライン軸32,
外筒33,圧縮バネ24,摺動部材28を有して構成さ
れる。バキュームロッド23の内部には、図1に示すよ
うに、軸方向に沿って緩衝部材装着穴503が形成され
る。尚、緩衝部材装着穴503と同軸芯上で緩衝部材装
着穴503の下方であってバキュームロッド23の一端
部502には、後述するノズル部材22が摺動可能に嵌
合されるノズル挿入穴220が形成される。緩衝部材装
着穴503内には、バキュームロッド23に対して緩衝
部材501がその軸回り方向(図示するθ方向)に回動
不能の状態にて緩衝部材501が嵌合される。尚、緩衝
部材501は、スプライン軸32、外筒33及びラジア
ル形式に配置された複数個の鋼球34を有する摺動部材
28から構成される、いわゆるボールスプラインを使用
しており、鋼球34を介してスプライン軸32が軸方向
に慴動する。又、スプライン軸32と外筒33との慴動
にはいわゆる遊びが生じないように、予圧がかけられて
いる。又、外筒33とバキュームロッド23とが軸回り
方向(上記θ方向)に対して緩みが生じないようにキー
35が圧入されている。このように、外筒33及びスプ
ライン軸32は、バキュームロッド23に対して軸回り
方向(上記θ方向)に回動不能とされる。一方、摺動部
材28を設けていることから、スプライン軸32は、外
筒33に対して軸方向に滑らかに移動可能であり、かつ
圧縮バネ24の付勢力によりノズル部材22側へ付勢さ
れる。尚、スプライン軸32と緩衝部材装着穴503の
端面503aとが当接することで、スプライン軸32が
必要以上にノズル部材22側へ移動することが防止され
る。
【0012】又、スプライン軸32の一端には、上記端
面503aに形成された開口を貫通してノズル部材22
側へ延在するシャフト部32aが形成され、該シャフト
部32aの先端部分は係合部320を形成する。尚、本
実施形態における係合部320は、図3に示すように矩
形状の断面を有する四角形状である。係合部320に
は、後述するようにノズル部材22における係止部22
1の係合面221aに対して線接触する直線状の係合エ
ッジ321が形成されている。
【0013】次に、ノズル部材22について説明する。
上述のようにバキュームロッド23の一端部502に
は、当該バキュームロッド23の軸方向に沿って、円形
の横断面を有するノズル挿入穴220が所定深さにて形
成され、該ノズル挿入穴220にはノズル部材22が上
記軸方向に摺動可能に嵌合される。ノズル部材22は、
大略円柱形状であり、その内部にはほぼ軸方向に沿って
負圧エアーの経路29bが形成されている。尚、バキュ
ームロッド23内にもエアー経路29aが形成されてお
り、後述のように鋼球26が凹部30に突入することで
ノズル部材22がノズル挿入穴220に装着された状態
においては、エアー経路29aとエアー経路29bとは
連通する。よってエアー経路29bにおいてノズル部材
22の先端に位置する開口22bにより電子部品の吸
着、吸着解除がなされる。ノズル部材22の後端には、
上述のスプライン軸32の係合部320を係止する係止
部221として、V字状の溝が形成される。V字状の係
止部221は、図3に概略形状を示すように、円柱形状
のノズル部材22の直径方向に延在する2つの係合面2
21a,221aによって形成したV字状の溝である。
又、上記係合面221aは、上記係合部320の係合エ
ッジ321と線接触する面である。
【0014】又、ノズル部材22の後端部分における外
周面の一部の範囲には軸方向に沿って凹部30が所定長
さにて形成される。一方、ノズル挿入穴220の内周面
220aには、バキュームロッド23の軸方向に直交す
る方向へ圧縮バネ25にて付勢された鋼球26の球面の
一部が突出するようなテーパー穴31が形成されてい
る。よって、ノズル部材22がノズル挿入穴220に挿
入され装着された状態において、上記突出した鋼球26
は凹部30へ突入する。尚、圧縮バネ25はバキューム
ロッド23の外面からねじ込まれたボルトにより脱落が
防止される。このように凹部30へ鋼球26が突入する
ことで、電子部品の装着操作時において、ノズル部材2
2は凹部30が延在する範囲内でノズル挿入穴220を
軸方向に摺動可能となる。即ち、矢印I方向へのノズル
部材22の移動は鋼球26の球面と凹部30の後端壁面
30aとが当接することで制限され、矢印II方向へのノ
ズル部材22の移動は鋼球26の球面と凹部30の先端
壁面30bとが当接することで制限される。
【0015】さらに又、スプライン軸32は圧縮バネ2
4にてノズル部材22側へ付勢されていることから、鋼
球26が凹部30に突入してノズル部材22がノズル挿
入穴220に装着された状態においては、スプライン軸
32の係合部320はノズル部材22の係止部221に
押圧された状態で当接し、スプライン軸32の係合部3
20と、ノズル部材22の係止部221とは係合する。
即ち、スプライン軸32の係合部320に形成される係
合エッジ321と、ノズル部材22の係止部221に形
成される係合面221aとは線接触し、かつ上述したよ
うにスプライン軸32は上記軸回り方向に回動しないこ
とから、スプライン軸32の係合部320とノズル部材
22の係止部221とが係合した状態においては、ノズ
ル部材22が上記軸回り方向に回動することは防止され
る。従って、ノズル部材22における軸回り方向の位置
決めは完全に行われることから、高い装着精度にて回路
基板へ電子部品を装着することができる。
【0016】尚、本実施形態における係合部320は、
図3に示すように四角形状であるが、この形状に限るも
のではない。例えば、係合部320は、図2に示すよう
に、係止部221のV字状の断面形状に一致した断面形
状であってもよい。要するに、係合部320と係止部2
21とは、両者が係合したときに上記軸回り方向に緩み
が生じないように係合すればよく、このような係合状態
を達成できる形状であればよい。
【0017】上述したように構成された緩衝部材501
とノズル部材22とを有する部品装着ヘッドの動作を以
下に説明する。このような部品装着ヘッドは、従来にお
ける部品装着ヘッドにおける動作と同様に、ノズル部材
22の先端における開口22bにて電子部品を吸着し、
吸着した電子部品を回路基板の装着位置まで保持しなが
ら移動して、回路基板へ電子部品を装着した時点で吸着
を解除する。尚、電子部品の吸着時及び吸着解除時にお
いて、ノズル部材22が電子部品へ衝撃力を与えないよ
うに、ノズル部材22はスプライン軸32に備わる圧縮
バネ24及び鋼球26の圧縮バネ25の作用により、ノ
ズル挿入穴220へ進退することで緩衝作用を行う。
【0018】鋼球26が凹部30に突入してノズル部材
22がバキュームロッド23のノズル挿入穴220に装
着された状態においては、図1に示されるように、圧縮
バネ24の付勢力によりスプライン軸32の係合部32
0はノズル部材22の係止部221に押圧され、係合部
320と係止部221とが係合する。係合部320と係
止部221とが係合することで、上述したように、ノズ
ル部材22は、ノズル部材22の軸回り方向への回動が
防止された状態となる。従って、ノズル部材22におけ
る軸回り方向の位置決めは完全に行われることから、高
い装着精度にて回路基板へ電子部品を装着することがで
きる。尚、ノズル挿入穴220にノズル部材22が挿入
された状態において、ノズル部材22が配置される軸方
向の位置は、スプライン軸32をノズル部材22側へ付
勢する圧縮バネ24の付勢力と、鋼球26を凹部30側
へ付勢する圧縮バネ25の付勢力との関係によって定ま
る。尚、図1及び図2では、鋼球26が凹部30の後端
壁面30aに当接する位置にノズル部材22が配置され
た状態を示している。
【0019】次に、ノズル部材22を交換する場合を説
明する。ノズル部材22をバキュームロッド23から取
り外す場合、鋼球26の球面と後端壁面30aとを当接
させ、さらにノズル部材22を矢印I方向へ強く引くこ
とで、鋼球26は圧縮バネ25の付勢力に抗してバキュ
ームロッド23内へ押し戻され、鋼球26と凹部30と
の係合状態が解除される。よってノズル部材22はバキ
ュームロッド23から容易に取り外すことができる。別
のノズル部材22−1をバキュームロッド23へ取り付
ける場合、鋼球26の配置位置と、取り付けるノズル部
材22−1の凹部30の配置位置とが合うようにして、
かつ鋼球26がバキュームロッド23内に後退する力に
て、ノズル部材22−1をノズル挿入穴220へ挿入す
る。鋼球26が凹部30に突入してノズル部材22−1
がバキュームロッド23に装着された状態において、上
述したノズル部材22の場合と同様に、ノズル部材22
−1は軸回り方向の回動が防止される。このように、鋼
球26と凹部30との係合によりノズル部材22をノズ
ル挿入穴220に保持しているので、ノズル挿入穴22
0に対してノズル部材22を軸方向へ進退させるだけで
容易にノズル部材の交換を行うことができる。
【0020】尚、上述した実施形態において、緩衝部材
501の外筒33とバキュームロッド23とを固定する
ための固定具としてキー35を使用したが、セットビス
等の他の手段でも良い。又、緩衝部材501の外筒33
とバキュームロッド23とを一体構造として、キー35
を省略するようにしても良い。又、本実施形態では、ノ
ズル部材22にて吸着される部品として電子部品を例に
採り該電子部品は回路基板に装着される場合を例に採っ
たが、部品は電子部品に限られない。よって当該部品が
装着される被着体も回路基板に限るものではない。
【0021】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、ノ
ズル装着部に対して軸回り方向に回動不能に緩衝部材を
取り付け、かつその一端には係合部を備え、ノズル部材
の後端には上記係合部と係合する係止部を備え、上記係
合部と上記係止部とを係合させることで上記ノズル部材
が軸回り方向に回動することを防止したことより、上記
ノズル部材における軸回り方向の位置決めは完全に行わ
れ、従って高い装着精度にて部品の装着を行うことがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態の部品装着ヘッドにおけ
るノズル部材回りの構造を示す断面図である。
【図2】 本発明の他の実施形態の部品装着ヘッドにお
けるノズル部材回りの構造を示す断面図である。
【図3】 図1に示すスプライン軸の係合部とノズル部
材の係止部との概略形状を示す斜視図である。
【図4】 従来の部品装着ヘッドにおけるノズル部材回
りの構造を示す断面図である。
【図5】 図4に示すIII−III線における部品装着ヘッ
ドの断面図である。
【図6】 従来の他の部品装着ヘッドにおけるノズル部
材回りの構造を示す断面図である。
【図7】 従来の別の部品装着ヘッドにおけるノズル部
材回りの構造を示す断面図である。
【図8】 実装機全体を示した実装機の斜視図である。
【符号の説明】
22…ノズル部材、23…バキュームロッド、24…圧
縮バネ、25…圧縮バネ、26…鋼球、27…ボルト、
28…摺動部材、32…スプライン軸、33…外筒、2
21…係止部、221a…係合面、320…係合部、3
21…係合エッジ、501…緩衝部材。
フロントページの続き (72)発明者 奥田 修 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ノズル装着部(23)と、上記ノズル装
    着部に緩衝部材(501)を介して着脱可能に挿入され
    その先端にて部品を吸着するノズル部材(22)と、を
    備えた部品装着ヘッドであって、 上記緩衝部材は、上記ノズル装着部に対して軸回り方向
    に回動不能に取り付けられ、かつその一端には係合部
    (320)を備え、上記ノズル部材の後端には上記係合
    部と係合する係止部(221)を備え、上記係合部と上
    記係止部とを係合させることで上記ノズル部材が軸回り
    方向に回動することを防止することを特徴とする部品装
    着ヘッド。
  2. 【請求項2】 上記係合部は、上記係止部に対して線接
    触する直線状の係合エッジ(321)を有する凸部であ
    り、上記係止部は上記係合エッジと線接触する係合面
    (221a)を有する凹部である、請求項1記載の部品
    装着ヘッド。
  3. 【請求項3】 上記係合部である凸部は矩形状の断面に
    てなり、上記係止部である凹部はV字状の断面にてな
    る、請求項2記載の部品装着ヘッド。
  4. 【請求項4】 上記緩衝部材は、上記係合部を上記係止
    部側へ常時付勢する付勢部材(24)を有し、上記ノズ
    ル装着部には、上記付勢部材の付勢力により上記ノズル
    部材が上記ノズル装着部から離脱するのを制限する離脱
    制限部材(25,26,27)を有する、請求項1ない
    し3のいずれかに記載の部品装着ヘッド。
  5. 【請求項5】 上記緩衝部材は、さらに、上記ノズル装
    着部に対して軸回り方向に回動不能に密着嵌合される外
    筒(33)と、上記ノズル部材と同軸芯上にて上記外筒
    内に設けられ軸方向に移動可能であり、かつ上記付勢部
    材にて上記ノズル部材側へ付勢されるスプライン軸(3
    2)と、を有する、請求項4記載の部品装着ヘッド。
  6. 【請求項6】 上記外筒と上記スプライン軸との接合部
    分には、上記スプライン軸の軸方向に沿って、上記スプ
    ライン軸の軸方向への移動を円滑にする摺動部材(2
    8)を設けた、請求項5記載の部品装着ヘッド。
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