DE19814262C2 - Ventil für Unterdruckhandhabungs- oder Spanneinrichtungen - Google Patents

Ventil für Unterdruckhandhabungs- oder Spanneinrichtungen

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DE19814262C2 DE1998114262 DE19814262A DE19814262C2 DE 19814262 C2 DE19814262 C2 DE 19814262C2 DE 1998114262 DE1998114262 DE 1998114262 DE 19814262 A DE19814262 A DE 19814262A DE 19814262 C2 DE19814262 C2 DE 19814262C2
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    • B25B11/00Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/005Vacuum work holders

Description

Die Erfindung betrifft ein Ventil für Unterdruckhandhabungs- oder Spanneinrichtungen mit einer eine oder mehrere Ansaugöffnungen aufweisenden Ansaugseite zum Anlegen und Ansaugen von Gegenständen und mit einer Unterdruckseite, welche mit einer Unterdruck erzeugenden Vorrichtung verbindbar ist. Das Ventil umfasst ein Ventilgehäuse mit einem Strömungskanal, einem darin angeordneten Dichtsitz und mit einem gegen den Dichtsitz anlegbaren Ventilkörper, der eine Strömungsverbindung zwischen einer oder mehreren Ansaugöffnungen und der Unterdruck erzeugenden Vorrichtung ganz oder teilweise verschließt oder freigibt.
Aus der DE 34 29 444 A1 ist ein Strömungsventil bekannt, mit einem Strömungskanal, in dem eine Kugel als Ventilkörper angeordnet ist. Liegt die Ansaugseite des Strömungsventils bzw. der Unterdruckhandhabungseinrichtung auf einem Werkstück auf, wird durch Anlegen eines Unterdrucks die Luft in dem zwischen dem Strömungsventil und dem ebenen Gegenstand sich befindenden Raum abgesaugt. Auf diese Weise können große Haltekräfte erzeugt und der ebene Gegenstand über das Strömungsventil angehoben und transportiert werden. Bei unbelegter Ansaugseite wird der Ventilkörper infolge des Strömungsstoßes gegen den Dichtsitz gesogen und verschließt das Strömungsventil dauerhaft. Um den Raum zwischen dem Strömungsventil und dem Gegenstand bei geschlossenem Ventil dennoch absaugen zu können, weist das Strömungsventil einen Bypasskanal auf, der die Vakuumseite mit dem zwischen dem Strömungsventil und dem Gegenstand sich befindenden Raum verbindet. Als nachteilig hat sich herausgestellt, dass die Absaugung der Luft aus dem Raum sehr langwierig ist, da der Strömungswiderstand des Bypasskanals wesentlich größer ist als der Strömungswiderstand des offenen Ventils. Es hat sich außerdem gezeigt, dass das Ansaugen sehr poröser Gegenstände (bei durch den Strömungsstoß verschlossenem Ventil) unmöglich werden kann, da die aufgrund der Porosität des anzusaugenden Gegenstands nachströmende Luft nicht über den Bypass abgesaugt werden kann.
DE 36 17 153 C2 beschreibt ein Ventil für einen Sterilisierbehälter, dessen Ventilkörper eine allseits abgedichtete Druckkammer mit elastischen Wänden umfasst, die zwar deformierbar aber nicht evakuierbar ist.
DE 295 18 188 U1 beschreibt ein Ventil für einen Blocksauger bei einer Unterdruckspanneinrichtung, dessen Dichtsitz auf einem Kolben ausgebildet ist. Beim Anschalten der Unterdruck erzeugenden Vorrichtung wird der Kolben durch Evakuieren eines Hubraums verlagert, und der auf dem Dichtsitz ruhende Ventilkörper wird von einem ortsfesten Dorn vom Dichtsitz abgehoben und das Ventil dadurch geöffnet. Bei anliegendem Unterdruck öffnet das Ventil stets, und zwar unabhängig davon, ob die Ansaugseite belegt ist oder nicht.
Mit der DE 88 15 392 U1 ist eine Unterdruckhandhabungseinrichtung mit einem Strömungsventil bekannt geworden, bei dem der im Strömungskanal angeordnete Ventilkörper in Öffnungsrichtung vorgespannt und daher in der Ruhelage des Ventils vom Dichtsitz abgehoben ist. Bei Ausbildung eines bestimmten Strömungsdrucks wird der Ventilkörper mitgerissen und gegen den Dichtsitz gelegt und verschließt dadurch den Strömungskanal. Die Ansaugseite kann nunmehr lediglich über einen Bypasskanal abgesaugt werden, der jedoch einen wesentlich größeren Strömungswiderstand aufweist als das geöffnete Ventil. Mit einem derartigen Strömungsventil können geschlossenporige Gegenstände zwar relativ schnell angesaugt werden, jedoch treten bei offenporigen Gegenständen ebenfalls die Probleme auf, dass aufgrund des hohen Strömungsdurchsatzes der Ventilkörper in den Dichtsitz gedrückt wird und das Ventil ungewollt geschlossen wird.
Aus der DE 41 01 241 A1 ist eine Unterdruckhandhabungseinrichtung bekannt, bei der der Strömungswiderstand des Bypass des Strömungsventils einstellbar ist. Auf diese Weise kann die Unterdruckhandhabungseinrichtung auf die Porosität des Gegenstands eingestellt werden, so dass bei entsprechender Einstellung sowohl geschlossen- als auch offenporige Gegenstände gleichermaßen gut angesaugt werden können. Wird der Strömungswiderstand des Bypasses erniedrigt, dann können zwar poröse Gegenstände gut angesaugt werden, jedoch erhöht sich dadurch der Leckluftstrom bei unbelegten Ansaugöffnungen.
DE 35 31 010 C1 zeigt ein Ventil für eine Unterdruckhandhabungseinrichtung mit einem Ventilgehäuse, welches zwischen einer Ansaugseite und einer Unterdruckseite der Einrichtung angeordnet ist und einen Strömungskanal mit einem darin vorgesehenen Dichtsitz und einem gegen den Dichtsitz anlegbaren Ventilkörper in Form einer Membran aufweist. Auf einer Seite der Membran strömt die Luft im geöffneten Zustand des Ventils vorbei, und auf der anderen Seite der Membran ist eine Arbeitskammer vorgesehen, die mit der Ansaugseite strömungsverbunden und über eine stets geöffnete Leckstromverbindung zwischen. Unterdruckseite und Ansaugseite evakuierbar ist, so dass die Membran in ihre das Ventil öffnende Stellung gebracht wird. Das Ventil schließt nicht leckstromfrei, und sein Ventilkörper ist Strömungsstößen ausgesetzt.
Gegenüber den vorstehend beschriebenen bekannten Strömungsventilen bei Unterdruckhandhabungs- oder - spanneinrichtungen soll verhindert werden, dass durch die Auswirkung eines insbesondere bei Beginn des Ansaugvorgangs auftretenden Strömungsstoßes der Ventilkörper gegen den Dichtsitz gedrückt wird; ferner sollen die Nachteile eines Bypasses zwischen Ansaugseite und Vakuumseite überwunden werden.
Diese Aufgabe durch ein Ventil mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Es wird also der Gedanke eines zwischen der Ansaugseite und der Vakuumseite des Ventils bypassfreien Konzepts verfolgt, und es wird verhindert, dass zu Beginn des Ansaugvorgangs der Ventilkörper durch die auftretende Strömung bzw. den auftretenden Strömungsstoß in die Schließstellung bewegt wird. Der Ventilkörper wird nach der Erfindung vielmehr von den variierenden Strömungsverhältnissen innerhalb des Ventils unbeeinflusst vorgesehen. Stattdessen wird bei Einschalten der Unterdruck erzeugenden Vorrichtung der vorstehend erwähnte gegenüber der Ansaugseite abgedichtete evakuierbare Raum, der mit der Unterdruck erzeugenden Vorrichtung über einen entsprechend gewählten Strömungswiderstand in Strömungskommunikation steht, evakuiert. Bei Eintreten einer vorbestimmten oder vorbestimmbaren statischen Druckdifferenz zwischen diesem evakuierbaren Raum und der Ansaugseite des Ventils wird der Ventilkörper geschlossen. Wenn die Ansaugöffnungen der Unterdruckhabungseinrichtung mit einem anzusaugenden Gegenstand dichtend belegt sind, so sinkt auch der Druck an der Ansaugseite des Ventils und die vorstehend erwähnte Druckdifferenz wird nicht erreicht, so dass der Ventilkörper in seiner Offenstellung verbleibt. Variierende und kaum voraussehbare Strömungsverhältnisse haben daher keinen Einfluss mehr auf die Stellung des Ventilkörpers. Der Ventilkörper wird nur infolge der Druckdifferenz zwischen der Ansaugseite des Ventils und dem evakuierbaren Raum gewissermaßen kolbenartig betätigt.
In besonders vorteilhafter Weise umfasst der Ventilkörper einen elastisch verformbaren Bereich, welcher den genannten evakuierbaren Raum zumindest teilweise begrenzt, so dass in Abhängigkeit der statischen Druckverhältnisse zwischen der Ansaugseite und dem Inneren des Raums dieser Bereich verformt wird und dabei den Ventilkörper verlagert.
Der elastisch verformbare Bereich ist dabei so ausgebildet und angeordnet, dass er bei zunehmender Druckdifferenz zwischen dem evakuierbaren Raum und der Saugseite des Ventils derart verformt wird, dass der Ventilkörper in Schließrichtung bewegt wird.
Nach einer Variante der Erfindung ist der elastisch verformbare Bereich faltenbalgartig ausgebildet. Er kann auch von einem Elastomermaterial gebildet sein, welches an einen im Wesentlichen starren Teil des Ventilkörpers angeformt ist.
Vorteilhafte Merkmale zweier in den Fig. 1 und 2 dargestellter Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Ventils sind in den Ansprüchen 2 bis 17 beschrieben.
Die in den Fig. 3 bis 6 beschriebene weitere Ausführungsvariante ist Gegenstand der Ansprüche 18 bis 23. Hiernach wird in Weiterbildung der Erfindung vorgeschlagen, dass der Ventilkörper von einer den Strömungskanal teilweise verschließenden Ausgangsstellung (ohne Unterdruck) in eine den Strömungskanal weiter freigebende Stellung bringbar ist, wenn bei belegter Ansaugseite der Unterdruckhandhabungs- oder Spanneinrichtung die Unterdruck erzeugende Vorrichtung eingeschaltet wird. Nach diesem Erfindungsgedanken soll also eine selbstanpassende Steuerung der Schließstellung des Ventils erreicht werden.
Hierzu wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass ein weiterer mit der Ansaugseite und dem Strömungskanal des Ventils kommunizierender Raum vorgesehen ist, der teilweise von einem bewegbaren Begrenzungswandabschnitt begrenzt wird, auf dessen anderer Seite ein gleichbleibender Referenzdruck vorgesehen ist, und dass der Begrenzungswandabschnitt derart an den Ventilkörper gekoppelt ist, dass dieser bei abnehmendem Druck in dem weiteren Raum kolbenartig in Öffnungsrichtung bewegt wird. Im Ergebnis wird dadurch der Strömungswiderstand des Ventils verringert, indem ein größerer Strömungsquerschnitt zur Verfügung gestellt wird. Hierdurch können auch poröse Gegenstände angesaugt werden.
Wenn in der Ausgangsstellung des Ventils (Fig. 3) im nicht-belegten Zustand (Ansaugseite offen) die unterdruckerzeugende Vorrichtung eingeschaltet wird, so ist der Ventilkörper so ausgebildet und positioniert, dass nur ein verhältnismäßig geringer Strömungsquerschnitt durch den Ventilkörper hindurch zur Verfügung steht. Mit zunehmender Evakuierung des Raums wird der Ventilkörper schließlich in seine Schließstellung gebracht. Das Ventil ist leckluftfrei geschlossen.
Wird hingegen ein luftundurchlässiger Gegenstand oder auch ein poröser Gegenstand gegen die Ansaugöffnungen der Unterdruckhandhabungseinrichtung angelegt und anschließend die unterdruckerzeugende Vorrichtung eingeschaltet, so wird aufgrund des absinkenden Drucks in dem weiteren Raum der Ventilkörper in Öffnungsrichtung bewegt wie vorstehend bereits beschrieben. Damit diese den Ventilkörper in Öffnungsrichtung bewegende Kraft größer ist als die den Ventilkörper in Schließrichtung drängende Kraft, wird der Begrenzungswandabschnitt vorteilhafterweise größer gewählt als die darauf projizierte Fläche des den ersten evakuierbaren Raum begrenzenden Bereichs des Ventilkörpers.
Anhand der beigefügten zeichnerischen Darstellung und nachfolgenden Beschreibung werden die vorstehend erwähnten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Ventils beschrieben.
In der Zeichnung zeigt:
Fig. 1 eine Längsschnittdarstellung einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ventils;
Fig. 2 eine Längsschnittdarstellung einer Fig. 1 entsprechenden weiteren Ausführungsform;
Fig. 3 eine Längsschnittdarstellung einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ventils in der Ausgangsstellung;
Fig. 4 eine Längsschnittdarstellung des Ventils nach Fig. 3 im nicht-belegten Zustand der Ansaugseite; und
Fig. 5 eine Längsschnittdarstellung nach Fig. 3 im belegten Zustand der Ansaugseite.
Fig. 1 zeigt ein Ventil für Unterdruckhandhabungs- oder spanneinrichtungen mit einer der nicht dargestellten Unterdruck erzeugenden Vorrichtung zugewandten Seite 2 und einer Ansaugseite 4, welch letztere mit Ansaugöffnungen der Handhabungs- oder Spanneinrichtung kommuniziert. Das Ventil umfasst drei metallische Bauteile 6, 8, 10, die als Drehteile hergestellt sind. Sie bilden einen Strömungskanal 12. In dem mittleren Bauteil ist ein Ventilkörper 14 in einer Längsmittelöffnung 16 in Längsmittelrichtung 18 verschieblich aufgenommen. Auf der der Unterdruck erzeugenden Vorrichtung zugewandten Vakuumseite ist in das mittlere Bauteil 8 ein einen Dichtsitz 20 bildendes Bauteil 22 eingeschraubt, welches in Richtung auf den Ventilkörper 14 kegelförmig ausgebildet ist. Der Ventilkörper 14 umfasst eine komplementär hierzu konisch ausgebildete Formgebung. Parallel zur Längsmittelrichtung 18 sind in dem Bauteil 22 Strömungsöffnungen 24 ausgebildet. Wenn der Ventilkörper 14 mit seinem konischen Ende gegen den Dichtsitz 20 angelegt wird, so ist das Ventil geschlossen. Der Ventilkörper 14 umfasst an seinem von dem Dichtsitz 20 abgewandten Ende, welches mit der Ansaugseite 4 kommuniziert, einen elastisch verformbaren Bereich 26, der einen hülsenartigen Abschnitt 28 des Ventilkörpers 14 konzentrisch umgibt und tellerförmig ausgebildet ist. Der elastisch verformbare Bereich 26 liegt mit seinem konzentrischen Tellerrand 30 gleitend gegen eine axiale Stufe 32 des mittleren Bauteils 8 an. Auf diese Weise begrenzt der Ventilkörper 14 mit seinem hülsenförmigen Abschnitt 28 und seinem elastisch verformbaren Bereich 26 zusammen mit der axialen Stufe 32 des mittleren Bauteils 8 einen Raum 34. Dieser Raum 34 steht über eine Strömungsverbindung 36 in Druckkommunikation mit der Unterdruck- oder Vakuumseite 2 des Ventils und ist über diese Strömungsverbindung 36 evakuierbar. Der Strömungswiderstand dieser Strömungsverbindung 36 ist über eine Madenschraube 37 einstellbar. Wenn währenddessen auf der Ansaugseite 4 des Ventilkörpers 14 Atmosphärendruck herrscht, so wird durch das Evakuieren des Raums 34 der elastisch verformbare Bereich 26 gegen die axiale Stufe 32 gedrückt und dabei der Ventilkörper 14 in Schließstellung in Richtung auf den Dichtsitz 20 bewegt. Der Ventilkörper 14 wird also nicht unter der Wirkung eines Strömungsstoßes in Schließrichtung bewegt, sondern in Abhängigkeit des statischen Druckunterschieds zwischen dem evakuierbaren Raum 34 und der Ansaugseite des Ventilkörpers 14.
Wird also die Unterdruck erzeugende Vorrichtung bei nicht belegter Ansaugseite 4 eingeschaltet, so wird nach und nach der Raum 34 evakuiert, während der Druck auf der Ansaugseite 4 des Ventilkörpers 14 unverändert bleibt. Infolge der sich aufbauenden Druckdifferenz wird der Ventilkörper 14 in Schließstellung bewegt, und das Ventil wird leckstromfrei geschlossen.
Wenn beim Einschalten der Unterdruck erzeugenden Vorrichtung die Ansaugöffnungen einer Handhabungseinrichtung mit einem anzusaugenden Werkstück belegt sind, so wird gleichermaßen der Raum 34 wie auch die Ansaugseite zwischen dem Ventilkörper 14 und dem anzusaugenden Werkstück evakuiert. Der Ventilkörper 14 bleibt geöffnet und der Gegenstand wird angesaugt; in entsprechender Weise wird auch ein poröser Gegenstand angesaugt, sofern die Strömungsquerschnitte innerhalb des Ventils derart sind, dass die infolge der Porosität auf die Ansaugseite des Ventilkörpers 14 einströmende Luft abgesaugt werden kann. Durch eine geeignete Wahl und Gestaltung des den elastisch verformbaren Bereich 26 bildenden Elastomerteils kann bestimmt werden, bei welcher Druckdifferenz das Ventil schließt. Durch Verändern oder Einstellen des Strömungsquerschnitts innerhalb des Ventilkörpers 14 kann (in Abhängigkeit der Leistung der Unterdruckquelle) die erreichbare Druckdifferenz bestimmt werden.
Fig. 2 zeigt eine der Fig. 1 entsprechende Ausführungsform, die sich dadurch unterscheidet, dass keine als Kanal oder Leitung ausgebildete Strömungsverbindung zwischen der Vakuumseite 2 und dem Raum 34 vorgesehen ist, sondern über das Flächenspiel bzw. eine Abflachung oder Nut 40 zwischen dem Ventilkörper 14 und dem mittleren Bauteil 8 eine Druck- bzw. Strömungskommunikation erreicht ist.
Die Fig. 3 bis 5 zeigen eine weitere Ausführungsform, wobei für entsprechende Komponenten gleiche Bezugszeichen verwendet wurden. Der insgesamt mit dem Bezugszeichen 14 bezeichnete Ventilkörper umfasst wiederum einen hülsenförmigen Abschnitt 28 und einen elastisch verformbaren Bereich 26, der den hülsenförmigen Abschnitt 28 faltenbalgartig umgibt und den evakuierbaren Raum 34 begrenzt, der über eine Öffnung 50 mit der der Unterdruck erzeugenden Vorrichtung zugewandten Seite 2 des Ventils kommuniziert. Der Ventilkörper 14 umfasst des Weiteren ein Dicht- oder Schließelement 52, welches über einen Querbolzen 54 innerhalb des hülsenförmigen Abschnitts 28 angeordnet ist und den hülsenförmigen Abschnitt 28 in Richtung auf den Dichtsitz 20 überragt. Auf seiner der Ansaugseite 4 zugewandten Seite des Ventilkörpers 14 ist dieser mit einem Begrenzungswandabschnitt 56 verbunden, welcher einen weiteren Raum 58 begrenzt. Dieser weitere Raum 58 kommuniziert mit der Ansaugseite 4 des Ventils. Auf der anderen Seite des Begrenzungswandabschnitts 56 ist ein unveränderlicher Referenzdruck, beispielsweise Atmosphärendruck vorgesehen.
Die Funktionsweise des in den Fig. 3 bis 5 dargestellten Ventils ist wie folgt:
Fig. 3 zeigt die Grundstellung des Ventils, in der der Ventilkörper 14 mit seinem Dichtelement 52 in eine das Dichtelement 52 im Wesentlichen dichtend und konzentrisch umgebende Öffnung 60 hineinragt. Der Strömungsquerschnitt des Strömungskanals 12 des Ventils ist durch denjenigen einer Längsöffnung 62 des Dichtelements 52 gegeben. Wenn in diesem Zustand die Unterdruck erzeugende Vorrichtung angeschaltet wird und die Ansaugseite 4 des Ventils bzw. der Unterdruckhandhabungseinrichtung nicht mit einem Werkstück belegt ist, so nimmt der Ventilkörper 14 die in Fig. 4 dargestellte Stellung ein, in der das Ventil leckluftfrei geschlossen ist. Über die Öffnung 50 wird der Raum 34 evakuiert, so dass der elastisch verformbare Bereich 26 des Ventilkörpers kontrahiert und dabei den hülsenförmigen Abschnitt 28 und das Dichtelement 52 in Schließrichtung bewegt. In dem weiteren Raum 58 herrscht dabei unverändert Atmosphärendruck.
Wenn dagegen ausgehend von dem Ausgangszustand nach Fig. 3 die unterdruckerzeugende Vorrichtung eingeschaltet wird, wenn die Ansaugseite 4 des Ventils bzw. der Ansaugöffnung der Unterdruckhandhabungseinrichtung mit einem Werkstück belegt ist, so wird der weitere Raum 58 über den Strömungskanal 12 des Ventils evakuiert. Der einseitig unter Referenzdruck stehende Begrenzungswandabschnitt 56 wird daher in Richtung der Ansaugseite 4 verformt und bewegt den Ventilkörper 14 in Öffnungsrichtung. Dabei wird das Dichtelement 52 aus der Öffnung 60 zurückgezogen, so dass ein größtmöglicher Strömungsquerschnitt zur Verfügung steht. Da das Dichtelement 52 in Längsrichtung außen umströmbar ist, wird der Strömungwiderstand nicht mehr vom Strömungsquerschnitt der Längsöffnung 62 bestimmt.
Wie bei den vorstehend beschriebenen Zuständen wird zwar auch der Raum 34 evakuiert. Da aber die auf den Begrenzungswandabschnitt 56 projizierte Fläche des evakuierbaren Raums 34 kleiner ist als diejenige des Begrenzungswandabschnitts 56, wird der Ventilkörper 14 in Öffnungsrichtung bewegt. Auf diese Weise steht auch zum Ansaugen poröser Werkstücke eine größtmögliche Saugkapazität zur Verfügung.

Claims (24)

1. Ventil für Unterdruckhandhabungs- oder -spanneinrichtungen mit einer eine oder mehrere Ansaugöffnungen aufweisenden Ansaugseite (4) zum Anlegen und Ansaugen von Gegenständen und einer Unterdruckseite (2), welche mit einer unterdruckerzeugenden Vorrichtung verbindbar ist, wobei das Ventil ein zwischen der Ansaugseite (4) und der Unterdruckseite (2) angeordnetes Ventilgehäuse (6, 8, 10) umfasst, mit
  • - einem Strömungskanal (12) und
  • - einem in diesem angeordneten Dichtsitz (20),
  • - einem in dem Strömungskanal (12) vorgesehenen, gegen den Dichtsitz (20) anlegbaren Ventilkörper (14) und
  • - einem von einem Teil des Ventilkörpers (14) begrenzten, von der unterdruckerzeugenden Vorrichtung evakuierbaren, jedoch gegen die Ansaugseite (4) strömungsmäßig abgeschlossenen Raum (34), wobei
  • - durch den Ventilkörper (14) eine Strömungsverbindung zwischen einer oder mehreren Ansaugöffnungen und der unterdruckerzeugenden Vorrichtung im unbelegten Zustand der Ansaugseite (4) leckstromfrei verschließbar oder im belegten Zustand ganz oder teilweise freigebbar ist
  • - und der Ventilkörper (14) beim Einschalten der unterdruckerzeugenden Vorrichtung im unbelegten Zustand der Ansaugseite (4) nicht unmittelbar durch Gas- oder Luftströmung in den Strömungskanal, sondern durch eine statische Druckdifferenz zwischen dem Raum (34) und der Ansaugseite (4) in Schließstellung gebracht wird.
2. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Ventilkörper (14) einen elastisch verformbaren Bereich (26) umfasst, welcher den genannten evakuierbaren Raum (34) zumindest teilweise begrenzt.
3. Ventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der elastisch verformbare Bereich (26) so ausgebildet und angeordnet ist, dass er bei zunehmender Druckdifferenz zwischen dem evakuierbaren Raum (34) und der Ansaugseite (4) des Ventils derart verformt wird, dass der Ventilkörper (14) in Schließrichtung bewegt wird.
4. Ventil nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der elastisch verformbare Bereich (26) faltenbalgartig ausgebildet ist.
5. Ventil nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der elastisch verformbare Bereich (26) von einem Elastomermaterial gebildet ist.
6. Ventil nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Elastomermaterial an einen im wesentlichen starren Teil des Ventilkörpers (14) angeformt ist.
7. Ventil nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventilgehäuse aus bearbeiteten metallischen Teilen besteht.
8. Ventil nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei den metallischen Teilen (6, 8, 10) des Ventils um Drehteile handelt.
9. Ventil nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Ventilkörper (14) eine mit der Symmetrieachse (18) fluchtende Strömungsöffnung () aufweist.
10. Ventil nach Anspruch 7, 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventil wenigstens zwei dichtend, insbesondere lösbar aneinandergefügte hülsen- bzw. flanschförmige Drehteile aufweist und dass der Ventilkörper (14) in einer Längsmittelöffnung (16) eines der Drehteile verschieblich gehalten ist.
11. Ventil nach Anspruch 7, 8, 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass in das den Ventilkörper (14) lagernde Drehteil ein den Dichtsitz (20) bildendes Bauteil (22) eingefügt ist, in welchem wenigstens eine durch den Ventilkörper (14) verschließbare Strömungsöffnung (24) ausgebildet ist.
12. Ventil nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventil drei Drehteile aufweist und dass der Ventilkörper (14) in einer Längsmittelöffnung (16) des mittleren Drehteils (8) verschieblich gehalten ist.
13. Ventil nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Ventilkörper (14) mit seinem elastisch verformbaren Bereich (26) gegen ein ihn lagerndes Bauteil (8) abstützt und dabei den evakuierbaren Raum (34) bildet.
14. Ventil nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Ventilkörper (14) mit seinem elastisch verformbaren Bereich (26) gegen eine axiale Stufe (32) des ihn lagernden Bauteils (8) abstützt.
15. Ventil nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass der elastisch verformbare Bereich (26) des Ventilkörpers (14) tellerartig ausgebildet ist und mit seinem Tellerrand (30) eine Dichtlippe bildet.
16. Ventil nach Anspruch 13, 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass der elastisch verformbare Bereich (26) des Ventilkörpers gegen das ihn lagernde Bauteil (8) gleitet.
17. Ventil nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Strömungswiderstand eines den evakuierbaren Raum (34) mit der Unterdruck erzeugenden Vorrichtung verbindenden Strömungspfads (36) einstellbar ist.
18. Ventil nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Strömungswiderstand mittels einer Madenschraube (37) einstellbar ist.
19. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Ventilkörper (14) von einer den Strömungskanal (12) teilweise verschließenden Ausgangsstellung in eine den Strömungskanal weiter freigebende Stellung bringbar ist, wenn an der Ansaugseite (4) der Unterdruckhandhabungs- oder - spanneinrichtung ein poröser Gegenstand angesaugt wird.
20. Ventil nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass ein weiterer mit der Ansaugseite (4) und dem Strömungskanal (12) des Ventils kommunizierender Raum (58) vorgesehen ist, der teilweise von einem bewegbaren Begrenzungswandabschnitt (56) begrenzt wird, auf dessen anderer Seite ein gleichbleibender Referenzdruck vorgesehen ist, und dass der Begrenzungswandabschnitt (56) derart an den Ventilkörper (14) gekoppelt ist, dass dieser von der Ausgangsstellung ausgehend bei abnehmendem Druck in dem weiteren Raum (58) kolbenartig in Öffnungsrichtung bewegt wird, so dass der Strömungswiderstand des Ventils verringert wird.
21. Ventil nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass der Begrenzungswandabschnitt (56) größer ausgebildet ist als die darauf projizierte Fläche des den ersten evakuierbaren Raum (34) begrenzenden Bereichs (26) des Ventilkörpers (14).
22. Ventil nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass der Ventilkörper (14) einen hülsenförmigen Abschnitt (28) aufweist.
23. Ventil nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass der Ventilkörper (14) ein in den hülsenförmigen Abschnitt (28) eingesetztes Dichtelement (52) aufweist, welches über das freie Ende des hülsenförmigen Abschnitts vorsteht und gegen den Dichtsitz (20) ablegbar ist.
24. Ventil nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass das Dichtelement (52) so in dem hülsenförmigen Abschnitt (28) gehalten ist, dass es in Längsrichtung außen umströmbar ist.
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