DE19750081C2 - Unterdruckspannvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Unterdruckspannvorrichtung bei Werkstückbearbeitungsmaschinen, insbesondere Holzbearbeitungsmaschinen, mit einer eine Spannfläche aufweisenden Spannbasis, wobei an der Spannfläche eine verschiebliche Werkstückauflage für die zu bearbeitenden an der Werkstückauflage spannbaren Werkstücke ansaugbar ist, wobei in mit Unterdruck beaufschlagbaren Kanälen der Spannbasis mehrere mit ihren Ansaugseiten in der Spannfläche mündende Strömungsventile vorgesehen sind, und wobei die Strömungsventile ein bewegliches den Kanal verschließendes bzw. freigebendes Ventilteil aufweisen, welches bei Vorliegen einer vorbestimmten Druckdifferenz an einem Ventilsitz des Strömungskanals dichtend anliegt.

Eine derartige Unterdruckspannvorrichtung ist aus dem Gebrauchsmuster DE 93 20 952 U1 bekannt.

Aus der DE 34 29 444 A1 ist eine Sauggreifereinrichtung bekannt geworden, welche zum Aufheben und Übergeben von ebenen Körpern verwendet wird. Sie umfasst ein Strömungsventil mit einem Strömungskanal, in dem eine Kugel als Ventilteil angeordnet ist. Liegt die Ansaugseite des Strömungsventils bzw. der Sauggreifereinrichtung auf einem Werkstück auf, wird durch Anlegen eines Unterdrucks die Luft in dem zwischen dem Strömungsventil und dem ebenen Gegenstand sich befindenden Raum abgesaugt. Auf diese Weise können große Haltekräfte erzeugt und der ebene Gegenstand über das Strömungsventil angehoben und transportiert werden. Bei gegenüber der Atmosphäre offenem Strömungsventil verschließt die Kugel den Strömungskanal, so daß der am Sauganschluß anliegende Unterdruck nicht zusammenbricht. Um den Raum zwischen dem Strömungsventil und dem Gegenstand bei geschlossenem Ventil dennoch absaugen zu können, weist das Strömungsventil einen Bypasskanal auf, der den Sauganschluß mit dem zwischen dem Strömungsventil und dem Gegenstand sich befindenden Raum miteinander verbindet. Als nachteilig hat sich herausgestellt, daß die Absaugung der Luft aus dem Raum sehr langwierig ist, da der Strömungswiderstand des Bypasskanals wesentlich größer ist als der Strömungswiderstand des offenen Ventils. Außerdem hat sich gezeigt, daß beim Ansaugen von sehr porösen Gegenständen in dem Raum kein Unterdruck aufgebaut werden kann, da aufgrund des porösen Materials des Gegenstands die abgesaugte Luft sofort wieder nachströmt.

Mit der DE 88 15 392 U1 ist eine weitere Sauggreifereinrichtung mit einem Strömungsventil bekannt geworden, bei dem das im Strömungskanal sich befindende Ventilteil in der Ruhelage vom Ventilsitz abgehoben, also in Öffnungsrichtung vorgespannt, ist. Herrscht zu beiden Seiten des Ventilteils ein geringer Differenzdruck, so bleibt das Ventilteil abgehoben, und es kann ein großer Volumenstrom abgesaugt werden. Ab einem bestimmten Differenzdruck wird das Ventilteil mitgerissen und legt sich an den Ventilsitz an und verschließt dadurch den Strömungskanal. Ein Absaugen kann nunmehr lediglich über einen Bypasskanal erfolgen, der jedoch einen wesentlich größeren Strömungswiderstand aufweist als das offene Ventil. Mit einem derartigen Strömungsventil können geschlossenporige Gegenstände zwar relativ schnell angesaugt werden, jedoch treten bei offenporigen Gegenständen ebenfalls die Probleme auf, daß aufgrund des hohen Strömungsdurchsatzes das Ventilteil in den Ventilsitz gedrückt wird und die Luft lediglich über den Bypasskanal abgesaugt werden kann.

Aus der DE 41 01 248 A1 ist eine weitere Sauggreifereinrichtung bekannt, bei der der Strömungswiderstand des Bypasses des Strömungsventils einstellbar ist. Auf diese Weise kann die Sauggreifereinrichtung auf die Porosität des Gegenstands eingestellt werden, so daß entsprechend der Einstellung sowohl geschlossen- als auch offenporige Gegenstände gleichermaßen gut angesaugt werden können. Wird der Strömungswiderstand des Bypasses erniedrigt, dann können zwar poröse Gegenstände gut angesaugt werden, jedoch erhöht sich dadurch der Leckluftstrom bei nicht am Gegenstand anliegenden Strömungsventilen, d. h. bei gegenüber der Atmosphäre offenen Strömungsventilen.

Mit dem eingangs bereits erwähnten Gebrauchsmuster DE 93 20 952 U1 wurde vorgeschlagen, einen zweiten Strömungskanal zwischen Ansaugseite und Abstromseite des Strömungsventils vorzusehen, der in Abhängigkeit des auf der Ansaugseite des Strömungsventils herrschenden Drucks öffnet oder schließt. Hierdurch sollen auch poröse Gegenstände angesaugt werden können, ohne dass der zusätzlich vorhandene Bypass vergrößert bzw. dessen Strömungswiderstand verkleinert werden muß.

Es wird des Weiteren als nachteilig angesehen, dass bei den nicht durch ein Werkstück "belegten" Stellen einer Spannbasis infolge des stets noch vorhandenen Leckstroms über den Bypass des Strömungsventils eine erhebliche Saugleistung verlorengeht. Hiervon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Unterdruckspannvorrichtung der eingangs genannten Art so zu verbessern, dass im Betrieb weniger Saugleistung verloren geht.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Unterdruckspannvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Danach ist das Strömungsventil bypassfrei ausgebildet. Es wird eine störungsunanfällige, leckagefreie Ansaugung der Werkstückauflage an der Spannbasis erreicht.

Es wird also nach der Erfindung eine bypassartige Strömungsverbindung zwischen der Ansaugseite und der Abstromseite des Strömungsventils vermieden, so daß in der Summe große Leckströme nicht auftreten. Dennoch kann eine Druckdifferenz zwischen Ansaugseite und der Abstromseite festgestellt werden und entweder über mechanische oder elektronische Mittel zum Schließen oder Öffnen des Ventils genutzt werden.

Die Verzögerungseinrichtung wirkt mit der Druckdifferenzerfassungseinrichtung und der Betätigungseinrichtung für das bewegbare Ventilteil derart zusammen, daß bei Erreichen einer vorbestimmten oder vorbestimmbaren Druckdifferenz das Ventilteil in seine Schließstellung gebracht wird, wenn diese Druckdifferenz über ein Zeitintervall von vorbestimmter oder vorbestimmbarer Zeitdauer festgestellt wird.

Kurzzeitige Druckdifferenzen bzw. ein kurzzeitiger Strömungsstoß, wie sie bei Einschalten der Unterdruck erzeugenden Vorrichtung auftreten können, führen nicht zu einem Schließen des Strömungsventils; die hiermit verbundenen Nachteile treten somit nicht auf. Ein weiterer Vorteil ist darin zu sehen, daß der eingangs erwähnte unerwünschte Leckstrom, der im Betrieb der Unterdruckspannvorrichtung bei unbelegten Spannflächenbereichen stets auftritt, erfindungsgemäß vermieden wird. Dies erweist sich insbesondere dann als vorteilhaft, wenn eine Unterdruckspannvorrichtung mit großflächiger Spannfläche für die Aufnahme vozugsweise mehrerer üblicherweise als Blocksauger bezeichneter Werkstückauflagen verwendet wird.

Ein in der Summe sehr großer Leckstrom im unbelegten Bereich der Spannfläche tritt daher nicht auf.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfaßt die Druckdifferenzerfassungeinrichtung wenigstens einen elektronischen Drucksensor, dessen Signal an eine Auswerteeinheit gelegt ist, die mit der Verzögerungseinrichtung zusammenwirkt. Bei in etwa bekanntem Unterdruck auf der Abstromseite des Strömungsventils ist es hinreichend, den wenigstens einen elektronischen Drucksensor auf der Ansaugseite anzuordnen. In der Auswerteeinheit kann dann das Auftreten einer Druckdifferenz zwischen der Ansaugseite und der Abstromseite festgestellt werden. Sofern diese Druckdifferenz nur während eines Zeitintervalls auftritt, das kürzer ist als die vorbestimmte oder vorbestimmbare Zeitdauer, wird die Betätigungseinrichtung für das bewegbare Ventilteil nicht angesteuert, das Strömungsventil bleibt geöffnet.

Die Betätigungseinrichtung kann in vorteilhafter Weise ein Stellglied, insbesondere einen Servomotor umfassen, der das Ventilteil in seine Schließstellung verlagern kann.

Nach einer weiteren Ausführungsform der Erfindung umfaßt die Druckdifferenzerfassungseinrichtung eine volumenveränderliche, mit der Ansaugseite verbundene Kammer, die in Richtung einer Volumenvergrößerung vorgespannt ist. In dieser Kammer kann vorzugsweise ein dem Unterdruck auf der Abstromseite entsprechender Druck vorgegeben sein. Eine Druckerhöhung auf der Ansaugseite des Strömungsventils, etwa durch einen "Lufteinbruch" im Bereich des aufliegenden Blocksaugers 106, bewirkt eine Verringerung des Kammervolumens und damit eine Druckzunahme innerhalb der Kammer. Diese Druckzunahme kann vorteilhafterweise durch einen Drucksensor erfaßt werden. Sofern die Erhöhung des Drucks im Kammerinneren länger andauert als das über die Zeitverzögerungseinrichtung vorbestimmte oder vorbestimmbare Zeitintervall, wird über die Betätigungseinrichtung das Ventilteil in seine Schließstellung gebracht. Im anderen Fall, also bei nur kurzzeitiger Druckerhöhung nimmt das Kammervolumen wieder zu und das Strömungsventil bleibt geöffnet.

Zur Vorspannung der Kammer kann ein Faltenbalg, eine Feder oder dgl. vorgesehen sein.

Es ist jedoch auch denkbar, daß die Kammer in Richtung einer Volumenverringerung vorgespannt ist, in welchem Fall dann in der Kammer ein gegenüber der Umgebung erhöhter Innendruck vorgesehen werden kann.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Unterdruckspannvorrichtung steht die Kammer über einen verhältnismäßig hohen Strömungswiderstand mit der Abstromseite des Ventils in Strömungsverbindung. Über diese Strömungsverbindung kann dann der Kammerinnnendruck auf einen im wesentlichen dem Unterdruck der Abstromseite entsprechenden Wert gebracht werden. Ein "Lufteinbruch" auf der Ansaugseite der Spannbasis bzw. des Ventils führt jedoch, wie im vorstehend beschriebenen Fall, zu einer Kontraktion der Kammer, was mit einer Druckerhöhung im inneren der Kammer einhergeht. Im Unterschied zum vorstehend erwähnten Fall wird das Kammervolumen über die Strömungsverbindung nach und nach evakuiert, so daß die Kammer weiter kontrahieren kann. In Weiterbildung der Erfindung ist es nunmehr möglich, die volumenveränderliche Kammer mit der Betätigungseinrichtung und mit der Verzögerungseinrichtung derart funktionell zu verbinden, daß das Ventilteil in seine Schließstellung gebracht wird, wenn eine Druckdifferenz über ein das vorgegebene Zeitintervall übersteigende Zeitdauer vorliegt. Die Verzögerungseinrichtung kann hierbei von dem Strömungswiderstand, der vorzugsweise durch eine Drossel einstellbar ist, gebildet sein. Je größer der Strömungswiderstand, desto langsamer kann die Kammer bei einem Lufteinbruch evakuiert werden und kontrahieren, was bspw. durch Wegaufnehmer festgestellt werden kann, die auf mechanische oder elektronische Weise, etwa mittels eines Tasters, die Betätigungseinrichtung auslösen.

In noch weitergehender Ausbildung der Erfindung kann die Betätigungseinrichtung des Ventilteils von einer mechanischen Kopplung zwischen dem Ventilteil und der Kammer gebildet sein; die Kopplung kann derart beschaffen sein, daß bei einer Verringerung des Kammervolumens, also bei Kontraktion der Kammer, das Ventilteil in Schließrichtung verlagert wird und umgekehrt, bei Volumenvergrößerung, also Expansion der Kammer, das Ventilteil in Öffnungsrichtung verlagert wird.

Das bewegbare Ventilteil kann vorteilhafterweise von einer an einen Ventilsitz anlegbaren Klappe gebildet sein, die an einem schwenkbaren Hebel angeordnet ist.

Gemäß der vorstehend erwähnten Lösung kann der schwenkbare Hebel an einer lageveränderlichen Wand der Kammer abgestützt sein; es sind jedoch auch andere Möglichkeiten denkbar, die volumenveränderliche Kammer mit dem Ventilteil zu koppeln.

Die nachfolgende Beschreibung zeigt eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung. Es zeigt

Fig. 1 Ein Ausführungsbeispiel der Unterdruckspannvorrichtung;

Fig. 2 eine Schnittansicht des Strömungsventils der Unterdruckspannvorrichtung nach Fig. 1;

Fig. 3 einen Schnitt entlang der Linie II-II in Fig. 1; und

Fig. 4 eine Ansicht in Richtung der Pfeile III-III.

Fig. 1 zeigt eine insgesamt mit dem Bezugszeichen 100 bezeichnete Unterdruckspannvorrichtung einer Holzbearbeitungsmaschine. Die Unterdruckspannvorrichtung umfaßt eine Spannbasis 102 mit einer Spannfläche 104, an der ein Blocksauger 106 als verschiebliche Werkstückauflage hin- und herverschiebbar und ansaugbar ist. Auf der von der Spannfläche 4 gegenüberliegenden Seite des Blocksaugers 106 weist dieser eine Werkstückanlagefläche 108 für ein zu bearbeitendes Werkstück 110 auf. Die Werkstückanlagefläche 108 kommuniziert über eine Saugleitung 111 mit der der Spannfläche 104 zugewandten Auflageseite des Blocksaugers 106. Im Inneren der Spannbasis 2 sind mit Unterdruck beaufschlagbare Kanäle 112 vorgesehen. Die Kanäle 112 münden in der Spannfläche 104. In den Kanälen 112 ist jeweils ein in der Fig. 1 nur schematisch angedeutetes Strömungsventil 114 angeordnet, das bypassfrei ausgebildet ist und nachfolgend beschrieben wird.

Das Strömungsventil 114 umfaßt ein Ventilgehäuse 2 und eine in den Fig. 2 bis 4 vertikal erstreckte Durchgangsöffnung 4, welche einerseits die Ansaugseite 6 und andererseits die Abstromseite 8 des Strömungsventils 114 bildet. Die Durchgangsöffnung 4 ist durch einen im Inneren des Ventilgehäuses ausgebildeten Raum 10 erweitert. Im abstromseitigen Bereich dieses Raums 10 ist ein die Durchgangsöffnung umgebender Ventilsitz 12 vorgesehen, der von einem bewegbaren Ventilteil 14, das von einer Ventilklappe 16 gebildet ist, verschließbar ist. Die Ventilklappe 16 ist an einem zwei Schenkel 18, 20 aufweisenden Hebel 22 angeordnet. Der Hebel 22 ist im Bereich der Durchgangsöffnung 4 vorgesehen und erlaubt die Klappe 16 zwischen einer Schließstellung und einer die Durchgangsöffnung freigebenden Stellung hin und her zu verschwenken.

In dem Raum 10 ist des Weiteren eine volumenveränderliche Kammer 30 angeordnet, die einen Faltenbalg 32 sowie eine den Faltenbalg dichtend abschließende Platte 34 umfaßt. Die Kammer 30 ist gegenüber dem Raum 10 abgedichtet, und ihr Kammerinneres ist über einen im Ventilgehäuse 2 verlaufenden Strömungsweg 36 mit der Abstromseite 8 des Strömungsventils 1 verbunden und kann so von einer Unterdruck erzeugenden Vorrichtung, etwa einem Sauggebläse, an welches die Abstromseite 8 anschließbar ist, evakuiert werden. Der Strömungsweg 36 weist einen verhältnismäßig hohen, jedoch über eine Drosseleinrichtung 38 einstellbaren Strömungswiderstand auf.

Auf der den Faltenbalg 32 abschließenden Platte 34 ist der Schenkel 18 des Hebels 22 abgestützt. Auf diese Weise ist eine mechanische Kopplung 40 zwischen der Ventilklappe 16 und der volumenveränderbaren Kammer 30 erreicht. Aus der Fig. 2 ist die schwenkbare Anordnung des Hebels 22 mittels eines in dem Ventilgehäuse 2 drehbar angeordneten Schwenkzapfens 42 ersichtlich. Wie sich den Fig. 3 und 4 des Weiteren entnehmen läßt, weist der Hebel 22 zungenförmige Gestalt auf. Zur Einstellung des Strömungswiderstands auf der Abstromseite 8 der Durchgangsöffnung 4 ist ein Stellelement 44 in Form eines in eine quer zur Durchgangsöffnung 4 verlaufende Öffnung 46 einsteckbaren Stifts 48 vorgesehen. Der Stift 48 weist im Bereich der Durchgangsöffnung 4 eine Ausnehmung 50 auf und ist in der Öffnung 46 drehbar, so daß die Ausnehmung 50 wahlweise mit der Durchgangsöffnung 4 fluchtet, in welchem Fall die Durchgangsöffnung 4 freigegeben wird, oder nicht fluchtet, in welchem Fall die Durchgangsöffnung 4 wenigstens teilweise versperrt und ihr Strömungswiderstand somit erhöht wird.

Das jeweilige Strömungsventil 114 ist in den Kanälen 112 so angeordnet, dass die Abstromseite 8 an ein Unterdruck erzeugendes Gebläse, eine Pumpe oder dgl. angeschlossen ist, und die Ansaugseite 6 ist der Spannfläche 104 zugewandt.

Wenn das Gebläse abgeschaltet ist, ist der Faltenbalg 32 ausgefahren, die volumenveränderbare Kammer 30 weist ihr . größtmögliches Volumen auf, und der auf der Platte 34 abgestützte Schenkel 18 des Hebels 22 ist in eine obere Stellung verschwenkt, wodurch die Ventilklappe 16 geöffnet ist. Wenn ein Werkstück auf dem Blocksauger positioniert ist, wird das Unterdruck erzeugende Gebläse eingeschaltet. Unmittelbar nach Einschalten des Gebläses liegt auf der Abstromseite 8 des Strömungsventils 114 ein Unterdruck vor, und es ergibt sich im Bereich der "belegten" Strömungsventile ein kurzzeitiger Strömungsstoß, da das ansaugseitige Luftvolumen erst abgesaugt werden muß. Hierdurch kann es zu einer kraftstoßartigen Beaufschlagung der Ventilklappe 16 kommen, welche sich über den Hebel 22 auf die Platte 34 der volumenveränderlichen Kammer 30 überträgt. Hierdurch wird die Kammer 30 kontrahiert, d. h. der Faltenbalg 32 wird zusammengedrückt. Dieses Zusammendrücken führt jedoch, bevor die Ventilplatte 16 ihre Schließstellung erreicht hat, zu einem Druckanstieg im Kammerinneren, der ein weiteres Kontrahieren der Kammer 30 verhindert; das Ventil kann durch den kurzzeitigen Strömungsstoß also nicht geschlossen werden. Kurze Zeit danach ist das ansaugseitige Luftvolumen von dem Vakuumgebläse abgezogen und es stellt sich auf der Ansaugseite 6 im wesentlichen derselbe Unterdruck wie auf der Abstromseite 8 des Strömungsventils 1 ein. Der Schenkel 20 des Hebels 22 wird infolgedessen nicht mehr in Schließrichtung belastet, der Faltenbalg 32 wird wieder ausgefahren und die Ventilklappe 16 wieder vollständig geöffnet.

Im Bereich der "unbelegten" Strömungsventile stellt sich bei Einschalten des Unterdruckgebläses eine starke Strömung in der Durchgangsöffnung 4 ein. Die starke Strömung führt zur Belastung und geringfügigen Kontraktion der volumenveränderlichen Kammer 30. Im Unterschied zu dem vorstehend geschilderten Fall nimmt die Strömung aber nicht kurze Zeit später ab sondern sie hält so lange an, bis die Verbindung zum Unterdruckgebläse unterbrochen oder das Unterdruckgebläse abgeschaltet wird. Aufgrund der Strömungsverbindung 36 zwischen dem Kammerinneren und der Abstromseite 8 wird jedoch die Kammer 30 mit vorgebbarer Geschwindigkeit evakuiert, was ein weiteres Kontrahieren der Kammer 30 bzw. Zusammendrücken des Faltenbalgs 32 ermöglicht. Wenn die starke Strömung lange genug anhält, wird die Ventilplatte 16 schließlich in ihre Schließstellung gebracht und das Strömungsventil 1 ist geschlossen. Je höher der über die Drossel 38 einstellbare Strömungswiderstand der Strömungsverbindung 36 ist, desto länger dauert die zeitliche Verzögerung mit der das Ventil geschlossen wird. Die Drossel 38 stellt also gewissermaßen eine Verzögerungseinrichtung 60 dar, die mit der volumenveränderlichen Kammer 30 als Druckdifferenzerfassungseinrichtung 62 sowie mit dem Hebel 22 als Betätigungseinrichtung 64 für den Ventilteil 14 zusammenwirkt.

Wenn die Ventilklappe 16 dichtend auf dem Ventilsitz 12 aufliegt, bietet das Strömungsventil 1 eine leckfreie Abdichtung zwischen der Ansaugseite 6 und der Abstromseite 8.

Claims (12)

1. Unterdruckspannvorrichtung (100) bei Werkstückbearbeitungsmaschinen, insbesondere Holzbearbeitungsmaschinen, mit einer eine Spannfläche (104) aufweisenden Spannbasis (102), wobei an der Spannfläche (104) eine verschiebliche Werkstückauflage (106) für die zu bearbeitenden an der Werkstückauflage spannbaren Werkstücke (110) ansaugbar ist, wobei in mit Unterdruck beaufschlagbaren Kanälen (112) der Spannbasis (102) mehrere mit ihren Ansaugseiten (6) in der Spannfläche (104) mündende Strömungsventile (114) vorgesehen sind, und wobei die Strömungsventile (114) ein bewegliches den Kanal (112) verschließendes bzw. freigebendes Ventilteil (14) aufweisen, welches bei Vorliegen einer vorbestimmten Druckdifferenz an einem Ventilsitz (12) des Strömungskanals (112) dichtend anliegt, dadurch gekennzeichnet, daß das Strömungsventil (114) bypassfrei ausgebildet ist und dass eine Druckdifferenzerfassungseinrichtung (62) vorgesehen ist, mittels derer ein Vergleich des auf der Ansaugseite (6) und auf der Abstromseite (8) herrschenden Drucks durchführbar ist und welche mit der Abstromseite (8) des Strömungsventils (114) in Strömungsverbindung steht und gegen die Ansaugseite (6) abgedichtet ist, und daß eine mit der Druckdifferenzerfassungseinrichtung (62) zusammenwirkende Betätigungseinrichtung (64) für das bewegbare Ventilteil (14) und eine Verzögerungseinrichtung (60) vorgesehen ist, die mit der Druckdifferenzerfassungeinrichtung (62) und/oder Betätigungseinrichtung (64) derart zusammenwirkt, daß bei Erreichen einer vorbestimmten oder vorbestimmbaren Druckdifferenz der Ventilteil (14) in seine Schließstellung gebracht wird, wenn diese Druckdifferenz über ein Zeitintervall von vorbestimmter oder vorbestimmbarer Zeitdauer festgestellt wird.

2. Unterdruckspannvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckdifferenzerfassungseinrichtung (62) wenigstens einen elektronischen Drucksensor umfaßt, dessen Signal an eine Auswerteeinheit gelegt ist, die mit der Verzögerungseinrichtung (60) zusammenwirkt.

3. Unterdruckspannvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigungseinrichtung (64) ein Stellglied umfaßt.

4. Unterdruckspannvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Stellglied ein Servomotor ist.

5. Unterdruckspannvorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckdifferenzerfassungsvorrichtung (62) eine volumenveränderliche, mit der Ansaugseite (6) verbundene Kammer (30) umfaßt, die in Richtung einer Volumenvergrößerung vorgespannt ist.

6. Unterdruckspannvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (30) einen Faltenbalg (32) oder eine Feder umfaßt, um die Kammer (30) vorzuspannen.

7. Unterdruckspannvorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein Drucksensor zum Erfassen des im Inneren der Kammer herrschenden Drucks vorgesehen ist.

8. Unterdruckspannvorrichtung nach Anspruch 5, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Strömungswiderstand zwischen der Kammer (30) und der Abstromseite (8) durch eine Drossel (38) einstellbar ist.

9. Unterdruckspannvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die volumenveränderliche Kammer (30) mit der Betätigungseinrichtung (64) und mit der Verzögerungseinrichtung (60) derart zusammenwirkt, daß das Ventilteil (14) in seine Schließstellung gebracht wird, wenn eine Druckdifferenz über das vorbestimmte oder vorbestimmbare Zeitintervall festgestellt wird.

10. Unterdruckspannvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigungseinrichtung (64) von einer mechanischen Kopplung zwischen dem Ventilteil (14) und der Kammer (30) gebildet ist derart, daß bei Kontraktion der Kammer (30) das Ventilteil (14) in Schließrichtung und bei Expansion der Kammer (30) entgegen der Schließrichtung verlagert wird.

11. Unterdruckspannvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das bewegbare Ventilteil (14) von einer an einen Ventilsitz (12) anlegbaren Ventilklappe (16) gebildet ist, die an einem schwenkbaren Hebel (22) angeordnet ist.

12. Unterdruckspannvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der schwenkbare Hebel (22) an einer lageveränderlichen Wand (34) der Kammer (30) abgestützt ist.